CN113685728B - 气体供应装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于提供一种气体供应装置：可以在替换气体储藏容器时将向盖分离部及连接器紧固部提供旋转驱动力的致动器设置于与设置有盖分离部及连接器紧固部的位置隔开的位置的同时能够顺畅地传递旋转驱动力。用于实现此目的的本发明包括：盖分离部，将覆盖容器上端的阀部所配备的阀连接器的盖分离；连接器紧固部，用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到阀连接器；致动器，为了盖的分离以及将连接配管连接器连接到阀连接器而向盖分离部和连接器紧固部提供旋转驱动力；动力传递部，将致动器的旋转驱动力传递至盖分离部及连接器紧固部且构成为实现平移及摇动，并且配备为将致动器可设置于与设置有盖分离部及连接器紧固部的位置隔开的位置。

Description

气体供应装置
技术领域
本发明涉及一种气体供应装置，尤其涉及一种如下的气体供应装置，即，在替换气体存储容器时，使向盖分离部及连接器紧固部提供旋转驱动力的致动器可以设置于与设置有盖分离部及连接器紧固部的位置隔开的位置的同时能够顺畅地传递旋转驱动力。
背景技术
通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备的执行精密作业的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。
为了有效地提供气体，许多种类的气体在高压状态下保管，尤其，具有易燃性、毒性、腐蚀性等有害特性的气体在与人类隔离的单独的空间进行严格管理。
保管气体的气体储存容器(以下，简称为“容器”)连接于气体需求处，若保管在容器的气体被全部消耗，则将连接于气体需求处的连接配管从气体容器分离并替换容器，之后将连接于气体需求处的连接配管连接器结合到替换后的容器的阀连接器并再次供应气体。
在这样替换容器的情况下，操作者必须将容器放置在容器装载部的正常位置，但是若没有配备用于将容器放置到正常位置的自动化装置，则存在操作者难以将容器准确地放置到正常位置的问题。
当然，若配备有自动化装置，则能够将容器放置到正常位置，但是存在装置的构成复杂且制造成本高的问题。
考虑到这样的问题，正在开发一种半自动式气体供应装置：当替换容器时，在将容器放置于容器装载部之后，将配备有阀连接器的模块移动至操作者手动设定的位置而执行对准(align)作业，并且若如上所述的对准作业结束，则以自动化方式执行容器替换作业。
然而，现有的气体供应装置构成为如下的结构：提供用于使盖分离部和连接器紧固部旋转的驱动力的致动器一同安装到设置有所述盖分离部及连接器紧固部的模块，其中，所述盖分离部分离覆盖在容器上端的阀部配备的阀连接器的盖，连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到阀连接器。因此，模块的重量及体积变大，导致设置空间受到限制，并且存在操作者难以进行手动移动模块以进行对准的操作的问题。
并且，如上所述的现有的气体供应装置存在如下问题：当致动器发生故障时不易替换致动器，并且即使发生由于致动器故障而导致的紧急状况，也没有应对方法，从而可能引起更大的事故。
[现有技术文献]
[专利文献]
韩国公开专利第10-1998-0056124号
韩国授权专利第10-0857212号
韩国授权专利第10-1360312号
发明内容
本发明是为了解决上述的各种问题而提出的，其目的在于提供一种如下的气体供应装置：在替换气体存储容器时，使向盖分离部及连接器紧固部提供旋转驱动力的致动器可以设置于与设置有盖分离部及连接器紧固部的位置隔开的位置的同时能够顺畅地传递旋转驱动力。
用于实现上述目的的本发明的一种气体供应装置包括：盖分离部，分离盖，该盖覆盖容器上端的阀部所配备的阀连接器；连接器紧固部，用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器；致动器，为了所述盖的分离以及将所述连接配管连接器连接到所述阀连接器而向所述盖分离部和所述连接器紧固部提供旋转驱动力；以及动力传递部，将所述致动器的旋转驱动力传递至所述盖分离部及所述连接器紧固部且构成为实现平移及摇动，并且配备为将所述致动器设置于与设置有所述盖分离部及所述连接器紧固部的位置隔开的位置。
所述动力传递部的一侧端可以结合于所述致动器的旋转轴，另一端结合于向所述盖分离部和所述连接器紧固部传递所述旋转驱动力的连接轴。
所述动力传递部可拆装地结合于所述连接轴，且在所述连接轴的端部形成有多边形部，使得当分离所述动力传递部时能够利用工具进行旋转操作。
所述动力传递部可以构成为包括：第一轭，结合于所述致动器的旋转轴；管，以第一十字轴为媒介可摇动地连接于所述第一轭；花键轴，可平移运动地连接于所述管；第二轭，以第二十字轴为媒介可摇动地连接于所述花键轴，并且可拆装地结合于所述连接轴。
所述动力传递部可以利用两端可拆装地结合于所述致动器的旋转轴和所述连接轴的挠性轴构成。
还可以包括：相互啮合的多个齿轮，以将传递到所述连接轴的致动器的旋转驱动力传递至所述盖分离部及所述连接器紧固部。
所述多个齿轮可以包括：蜗杆，结合于所述连接轴的外围；蜗轮，啮合于所述蜗杆，并且将传递到所述连接轴的旋转驱动力的旋转方向转换为垂直的方向；第一平齿轮，与所述蜗轮结合于相同的轴；第二平齿轮，啮合于所述第一平齿轮的一侧，并且与所述盖分离部结合于相同的轴；以及第三平齿轮，啮合于所述第二平齿轮的一侧，并且与所述连接器紧固部结合于相同的轴。
还可以包括：上部模块，配备有在从所述阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板；以及下部模块，包括所述盖分离部、所述连接器紧固部和通过与配备于所述第一阀部的第一对准部的结合而实现与所述容器的对准的第二对准部，其中，所述下部模块能够相对于所述上部模块而沿水平方向和垂直方向移送，其中，在所述盖没有插入到所述盖分离部的状态下，在所述盖与所述盖分离部以对向的方式对准时，配备为所述第一对准部与第二对准部的一部分能够结合。
所述第一对准部和第二对准部中的任意一个可以构成为具有水平方向的长度的销形状的对准销，另一个构成为所述对准销插入的对准销插入槽。
所述第一对准部可以配备于与所述阀部结合的固定块，在所述下部模块邻近于所述第二对准部而配备有第二结合部用于结合到在所述固定块邻近于所述第一对准部而配备的第一结合部，若所述第二对准部向所述第一对准部方向移送，使得所述第一对准部与第二对准部从一部分结合状态成为完全结合状态，则所述第一结合部与第二结合部结合，从而保持所述固定块与所述下部模块的结合状态。
在所述下部模块可以结合有对准块，所述第二结合部利用配备于所述对准块而朝向所述第一结合部凸出的固定块结合部件而构成，所述第一结合部构成为形成于所述固定块的固定槽，以使所述固定块结合部件插入。
若在旋转所述盖分离部的状态下沿所述阀部方向移送所述下部模块，则所述第一对准部与第二对准部可以从一部分结合状态成为完全结合状态，并且所述盖与盖分离部的槽的形状吻合而插入到所述盖分离部的槽。
所述下部模块可以构成为相对于所述上部模块能够沿水平方向旋转的同时直线移动。
在所述上部模块可以配备有：第一移送引导件，为了引导所述下部模块沿作为水平方向中的某一个的第一方向移送而配备；以及第二移送引导件，为了引导所述下部模块沿水平方向中与第一方向垂直的第二方向移送。
在所述上部模块中，所述上部板、中间板、下部板可以从上部向下部彼此隔开配备，所述第一移送引导件配备于所述上部板与中间板之间，所述第二移送引导件配备于所述中间板与下部板之间。
在所述上部模块可以配备有：第三移送引导件，用于引导所述下部模块的垂直方向移送。
在所述下部模块可以配备有：连接器紧固部移送机构，用于将所述盖分离部和连接器紧固部相对于所述阀部沿左右方向和前后方向一体地移送；旋转机构，用于使所述盖分离部和连接器紧固部旋转，其中，所述气体供应装置配备有：控制部，用于控制所述移送机构的移送及所述旋转机构的旋转。
在所述上部模块可以配备有：第三移送引导件，用于引导所述下部模块的垂直方向移送；阀开闭部，用于旋转用于使所述阀部的阀开闭的手柄；阀开闭部移送机构，用于与根据所述第三移送引导件的垂直方向移送独立地将所述阀开闭部沿垂直方向移送。
根据本发明的气体供应装置，通过利用动力传递部将致动器的旋转驱动力传递至盖分离部和连接器紧固部，从而能够减小设置盖分离部和连接器紧固部的下部模块的重量和体积，并且由于致动器的设置位置不受限制，因此能够有效地利用气体供应装置内部空间。
并且，致动器配备于与下部模块分离的位置，从而能够减小下部模块的重量和体积，因此当替换气体储藏容器时，能够手动地移动下部模块，从而简便地执行对准操作，使得盖与盖分离部对向。
并且，动力传递部能够平移及摇动，或者可以挠性移动，从而即使与动力传递部连接的紧固部移动，也能够不发生负荷地顺畅地传递致动器的旋转驱动力。
并且，当致动器发生故障的紧急状况时，通过将动力传递部从连接轴分离，之后使用工具手动地对形成于连接轴端部的多边形部进行旋转操作，能够替换气体储藏容器，并且能够应付危急状况。
并且，下部模块能够沿竖直方向升降移动，同时当水平方向移送时实现对准，从而能够防止对准部的破损，并且下部模块相对于上部模块可旋转，从而能够更准确地进行对准。
并且，即使操作者未将容器置于容器装载部的准确位置也能够实现容器的准确对准，因此作业便利。
附图说明
图1的(a)、(b)是从一侧和另一侧示出本发明的气体供应装置的立体图。
图2是示出在本发明的气体供应装置中结合有用于将致动器的动力传递至盖分离部和连接器紧固部的动力传递部的情形的立体图。
图3是图2所示的致动器和动力传递部的分解立体图。
图4是用于说明图2所示的动力传递部的平移运动和摇动运动的图。
图5是示出当致动器发生故障时动力传递部的第二轭与连接轴分离的情形的立体图。
图6的(a)是示出用于将致动器的动力传递至盖分离部和连接器紧固部的动力传递部的齿轮连接结构的实施例的立体图，(b)是示出用于将致动器的动力传递至盖分离部和连接器紧固部的动力传递部的齿轮连接结构的实施例的平面图。
图7是示出在本发明的气体供应装置中在容器的阀部结合有固定块的状态的立体图。
图8是示出本发明的气体供应装置的上部模块的立体图。
图9是从与图3不同的方向示出本发明的气体供应装置的上部模块的立体图。
图10是示出从本发明的气体供应装置的上部模块去除上部板的状态的立体图。
图11是从下部观察本发明的气体供应装置的上部模块的立体图。
图12是示出本发明的气体供应装置的下部模块的立体图。
图13是示出本发明的气体供应装置的上部模块中的底板、固定销及引导销的图。
图14是示出在本发明的气体供应装置中第一对准部与第二对准部布置为对向的状态的平面图。
图15是示出在图14的状态下使下部模块前进而使第一对准部与第二对准部部分结合的状态的平面图。
图16是示出在图15的状态下使下部模块进一步前进而使第一对准部与第二对准部完全结合的状态的平面图。
图17是示出在图16的状态下盖分离部从阀连接器分离且盖分离部与连接器紧固部沿Y方向被一体地移送使得连接器紧固部布置为与阀连接器对向的状态的平面图。
符号说明
1：气体供应装置                 2：上部模块
3：下部模块                     10：容器
20：阀                          30：阀连接器
31：盖                          50：手柄
211：上部板                     212：中间板
213：下部板                     220：第一移送引导件
225：水平方向制动部             230：第二移送引导件
241、242：第三移送引导件         243、244：移送引导件结合板
251、252：移送引导件支撑部件     253：底板
253a、253b：引导销插入孔         254：固定销
255、256：引导销                 260：垂直方向制动部
270：开关盒                     271：第一开关
272：第二开关                   311：上部壳体
312：第一侧面壳体               313：第二侧面壳体
314：下部壳体                   315：内部壳体
316：插头模块支撑台             317：支撑块
320：盖分离部                   330：连接器紧固部
331：连接配管连接器             340：连接器紧固部移送机构
350：对准块                     351：第二对准部(对准销)
352：第二结合部(固定块结合部件) 352a：凸起
360：插头模块                   361：插头
362：插头支撑部件               363：插头支撑壳体
364：插头移送引导件             370：垫片供应部
400：阀开闭部                   410：手柄结合部
412：手柄卡定部                 420：手柄驱动部
510、520、530：固定块             511：第一结合部(固定槽)
512：第一对准部(对准销插入槽)   600：致动器
610：旋转轴                     700：动力传递部
710：第一轭                     720：第一十字轴
730：管                         731：轭部
740：花键轴                     741：轭部
750：第二十字轴                 760：第二轭
810：连接轴                     811：多边形部
820：蜗杆                       830：蜗轮
840：第一平齿轮                 850：第二平齿轮
860：第三平齿轮
具体实施方式
以下，参照附图对关于本发明的优选实施例的构成及作用进行详细说明。
在此，对方向进行命名时，将图1所示的X轴称为前后方向，Y轴称为左右方向，Z轴称为垂直方向。并且，水平方向包括由XY平面构成的所述左右方向和前后方向。
参照图1，本发明的气体供应装置1包括：盖分离部320(图12)，分离盖31，该盖31覆盖容器10上端的阀部所配备的阀连接器30(图7)；连接器紧固部330(图12)，用于将连接于气体需求处的连接配管连接器331(图12)连接到所述阀连接器30；致动器600，为了所述盖31的分离以及将所述连接配管连接器331连接到所述阀连接器30而向所述盖分离部320和所述连接器紧固部330提供旋转驱动力；以及动力传递部700，将所述致动器600的旋转驱动力传递至所述盖分离部320及所述连接器紧固部330且构成为实现平移及摇动，并且配备为可将致动器600设置于与设置有所述盖分离部320及所述连接器紧固部330的位置隔开的位置。
所述致动器600可以通过所述动力传递部700与设置有所述盖分离部320及所述连接器紧固部330的下部模块3分离，进而固定设置于与所述下部模块3隔开布置的固定部件601。
参照图2至图6，所述动力传递部700的一侧端结合于所述致动器600的旋转轴610，另一端结合于向所述盖分离部320和所述连接器紧固部330传递所述旋转驱动力的连接轴810。
所述动力传递部700可拆装地结合于所述连接轴810，在所述连接轴810的端部形成有当分离所述动力传递部700时能够利用扳手等工具进行旋转操作的多边形部811(图5)。
在本实施例中以所述多边形部811构成为四边形的情形为示例进行了说明，然而除了四边形之外，所述多边形部811可以多样地变形实施为六边形、八边形等。
作为一实施例，所述动力传递部700可以构成为包括：第一轭710，结合于所述致动器600的旋转轴610；管730，以第一十字轴720为媒介与所述第一轭710可摇动地连接；花键轴740，与所述管730可平移运动地连接；第二轭760，以第二十字轴750为媒介与所述花键轴740可摇动地连接，并且可拆装地结合于所述连接轴810。
根据如上所述的构成，所述动力传递部700配备为：通过所述第一十字轴720和第二十字轴750的构成使得第一轭710与管730下端的轭部731能够相互摇动，所述花键轴740上端的轭部741与第二轭760能够相互摇动，所述花键轴740能够沿管730的内侧面进行平移运动。
作为另一实施例，所述动力传递部700可以利用两端可拆装地结合于所述致动器600的旋转轴610和所述连接轴810的挠性轴(未图示)。所述挠性轴构成为可以弯曲成多种角度而能够顺畅地传递旋转驱动力，可以采用公知的多种形态的挠性轴。
如上所述，本发明的气体供应装置1通过利用动力传递部700将致动器600的旋转驱动力传递至盖分离部320和连接器紧固部330，从而能够减小设置所述盖分离部320和连接器紧固部330的下部模块3的重量和体积，并且由于致动器600的设置位置不受限制，因此能够有效地利用气体供应装置1内部空间。
并且，所述致动器600配备于与下部模块3分离的位置，从而能够减小下部模块3的重量和体积，因此当替换气体储藏容器10时，如后文所述，能够手动地移动下部模块3，从而简便地执行使盖31(图7)与盖分离部320对准的对准操作。
并且，动力传递部700能够平移及摇动，或者可以挠性移动，从而即使与动力传递部700连接的紧固部移动，也能够不发生负荷而顺畅地传递致动器600的旋转驱动力。
并且，当致动器600发生故障的紧急状况时，通过使用工具将动力传递部700从连接轴810分离，之后使用工具手动地对形成于连接轴810端部的多边形部811进行旋转操作，能够替换气体储藏容器10，并且能够应付危急状况。
另外，参照图6，为了将传递到所述连接轴810的致动器600的旋转驱动力传递至所述盖分离部320及所述连接器紧固部330，还可以包括相互啮合的多个齿轮820、830、840、850、860。
作为一实施例，所述多个齿轮820、830、840、850、860可以包括：蜗杆820，结合于所述连接轴810的外围；蜗轮830，啮合于所述蜗杆820，并且将传递到所述连接轴810的旋转驱动力的旋转方向转换为垂直的方向；第一平齿轮840，结合于与所述蜗轮830相同的轴；第二平齿轮850，啮合于所述第一平齿轮840的一侧，并且与所述盖分离部320结合于相同的轴；以及第三平齿轮860，啮合于所述第二平齿轮850的一侧，并且与所述连接器紧固部330结合于相同的轴。
根据如上所述的构成，可以以一个致动器600为驱动源而向所述盖分离部320及所述连接器紧固部330传递旋转驱动力，从而能够简化动力传递结构。
以下，对构成本发明的气体供应装置1的上部模块2和下部模块3的构成以及替换容器10时的对准过程进行说明。
参照图1，本发明的气体供应装置1形成为包括：上部模块2，包括在从配备于容器10上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板211；下部模块3，包括第二对准部351(图14)，并且能够相对于所述上部模块2沿垂直方向升降移送，其中，第二对准部351(图14)配备于所述上部模块2的下部，并且当水平方向移送时通过与配备于所述容器10侧的第一对准部512(图7)结合而实现所述容器10的对准。
在所述上部模块2配备有阀开闭部400，所述阀开闭部400配备为能够与所述下部模块3的垂直方向移送独立地沿垂直方向移送，且用于旋转配备于所述阀部上端的手柄50而开闭所述阀部的阀。
参照图7，所述容器10为用于储藏并供应向半导体装置等气体需求处供应的工程气体的构成，且在容器10的上部配备有所述阀部。
所述阀部构成为包括：阀(未图示)，用于限制气体的供应；阀连接器30，配备于所述阀的一侧而紧固于下部模块3的连接器紧固部330(图12)；阀关闭器(未图示)，开闭所述阀；手柄50，连接于所述阀关闭器的上部，通过旋转而使阀关闭器升降，从而开闭阀。
在所述阀部结合有固定块510、520、530。在所述固定块510、520、530配备有所述第一对准部512。
所述固定块510、520、530可以包括包围所述阀部的第一固定块510、第二固定块520及第三固定块530。
若通过所述第二固定块520及第三固定块530的结合而包围所述阀部，则所述阀部中的所述阀连接器30及盖31相对于所述固定块520、530而向侧方向凸出并暴露，所述阀部中的所述手柄50相对于所述固定块520、530向上方向凸出并暴露。
所述第一固定块510构成为具有Y轴方向的长度的四棱柱形状，并且在所述Y轴方向的一侧面结合有所述第二固定块520，在X轴方向的一侧面结合有所述第一对准部512。
所述第一对准部512可以构成为凹陷地形成于所述X轴方向的一侧面的对准销插入槽512。
参照图14，所述第二对准部351可以构成为从后文所述的下部模块3的对准块350向作为与所述第一对准部512相面对的方向的X轴方向凸出而具有水平方向的长度的对准销351。
通过使所述对准销351插入到所述对准销插入槽512而实现所述容器10的对准。
在本实施例中，以第一对准部512构成为对准销插入槽，第二对准部351构成为对准销的情形为示例进行了说明，然而也可以将第一对准部构成为对准销，将第二对准部构成为对准销插入槽。
并且，在本实施例中，以对准销插入到对准销插入槽的情形为示例进行了说明，然而并不局限于此，第一对准部与第二对准部也可以构成为紧固或结合。将所述第一对准部与第二对准部插入、紧固、结合的方式统称定义为“结合”。
所述第一固定块510在与所述第一对准部512邻近的位置配备有第一结合部511，与所述第一结合部511实现结合的第二结合部352配备于所述下部模块3的对准块350。
所述第一结合部511可以形成为：与所述第一对准部512在所述第一固定块510所形成的面相同的面在X轴方向上凹陷地形成的固定槽511。
所述第二结合部352可以形成为：在对准块350的与所述第二对准部351邻近的位置朝向所述第一结合部511凸出的固定块结合部件352。
在所述第二结合部352的外侧面配备有多个凸起352a，所述多个凸起352a被配备于内部的弹簧(未图示)弹性支撑。在所述固定槽511的内部形成有所述凸起352a插入的凸起插入槽(未图示)。若所述固定块结合部件352插入到所述固定槽511，则所述凸起352a插入到所述凸起插入槽，从而防止所述固定块结合部件352从所述固定槽511脱离，进而可以保持所述下部模块3结合于所述第一固定块510的状态。
在将所述固定块结合部件352从固定槽511拔出的情况下，若供应空气(air)而使所述凸起352a克服所述弹簧的弹力而从固定块结合部件352的表面进入到内侧，则所述凸起352a从所述凸起插入槽脱离。因此，所述固定块结合部件352可以从固定槽511脱离。
参照图8至图11，在所述上部模块2配备有上部板211、中间板212、下部板213、第一移送引导件220、第二移送引导件230、第三移送引导件241、242、阀开闭部400。
所述上部板211构成为平板形状，结合于诸如未图示的机柜等位置被固定的相对物。
所述中间板212也构成为平板形状，并且以中间部较高的方式构成为阶梯形状，配备为与所述上部板211的下部隔开。
所述下部板213也构成为平板形状，并且配备为与所述中间板212的下部隔开。
所述第一移送引导件220可以配备于所述上部板211与中间板212之间，且构成为引导包括所述中间板212、第二移送引导件230、下部板213、第三移送引导件241、242、下部模块3及阀开闭部400的所有连接于所述中间板212的下部的部件沿作为水平方向的Y轴方向(第一方向)移送的LM引导件。
所述第二移送引导件230可以配备于所述中间板212与下部板213之间，且构成为引导包括所述下部板213、第三移送引导件241、242、下部模块3及阀开闭部400的所有连接于所述下部板213的下部的部件沿作为水平方向的与Y轴方向垂直的X轴方向(第二方向)移送的LM引导件。
在所述下部板213，在Y轴方向的两侧面结合有一对移送引导件结合板243、244，在与所述一对移送引导件结合板243、244隔开的位置配备有一对移送引导件支撑部件251、252。
所述一对移送引导件结合板243、244在所述下部板213的一侧与另一侧配备为对向，并且构成为具有上下方向的长度的板形状。
所述一侧的移送引导件支撑部件251和另一侧的移送引导件支撑部件252构成为具有上下方向的长度的矩形的板形状，并且从所述一侧的移送引导件结合板243和另一侧的移送引导件结合板244分别向Y轴方向的外侧隔开配备。
在所述一侧的移送引导件结合板243与移送引导件支撑部件251之间、所述另一侧的移送引导件结合板244与移送引导件支撑部件252之间分别配备有第三移送引导件241、242。
在所述一侧的移送引导件支撑部件251和另一侧的移送引导件支撑部件252的下端部分别结合有具有Y轴方向的长度的矩形形状的底板253的一侧面和另一侧面。在所述底板253的下部结合有所述下部模块3。
所述第三移送引导件241、242可以构成为：引导所述一对移送引导件支撑部件251、252、底板253以及结合于所述底板253的下部模块3一体地沿垂直方向移送的LM引导件。
在所述第一移送引导件至第三移送引导件220、230、241、242未连接驱动机构，而仅起到使操作者能够手动移送的引导功能。即，若操作者用手抓持下部模块3并沿X轴、Y轴、Z轴方向施加力，则在施加力的方向上沿各个移送引导件移送下部模块3。
在所述第一移送引导件220和第三移送引导件241、242可以配备有起到制动功能的制动部。
可以配备有水平方向制动部225，其中，在被所述第一移送引导件220引导而沿第一方向移送的情况下，所述水平方向制动部225执行用于在特定位置保持停止状态的制动功能。
可以配备有垂直方向制动部260，其中，在借助于所述第三移送引导件241、242沿垂直方向移送的情况下，所述垂直方向制动部260执行用于在特定位置保持停止状态的制动功能。
所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260可以构成为：在利用弹簧(未图示)的按压力抓持LM引导件的轨道的状态下保持制动力，而若供应空气(air)而从轨道去除所述弹簧的按压力，则解除制动力。
可以配备有用于施加所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的操作信号的开关盒270。
所述开关盒270配备有：第一开关271，用于施加及解除所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力；第二开关272，用于后文所述的连接器紧固部330和盖分离部320的旋转及停止。所述第一开关271和第二开关272既可以构成为以操作者用手操作的方式，也可以如电磁阀一样地构成为不用手操作而打开/关闭的方式。
在操作者按压所述开关盒270的第一开关271而处于操作的状态下，可以通过供应空气(air)解除所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力，从而下部模块3被第一移送引导件220和第三移送引导件241、242引导而沿Y轴及Z轴方向自由移动。当操作者将手离开第一开关271而解除开关的操作的瞬间，开关可以借助于弹簧的力自动恢复，使得所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力被施加，从而保持下部模块3不移动而被固定的状态。
所述第二开关272可以构成为拨动开关。所述第二开关272配备为能够使所述连接器紧固部330和盖分离部320沿正方向旋转或者沿反方向旋转。
所述下部模块3的上部和所述上部模块2的下部可以构成为通过固定销结合，在所述下部模块3和上部模块2中的任意一个结合有至少一个引导销，并且在另一个形成有所述引导销插入的引导销插入孔，使得下部模块3能够以所述固定销为旋转中心而旋转。参照图8对如上所述的构成的一例进行说明。
参照图13，在所述底板253的中央形成有固定销254插入的固定销插入孔(未图示)，在所述固定销插入孔的两侧部形成有一对引导销插入孔253a、253b。
所述引导销插入孔253a、253b可以构成为具有X轴方向的长度的长孔。在所述一对引导销插入孔253a、253b分别插入有一对引导销255、256。
所述固定销254和引导销255、256的头部向底板253的上部暴露，躯干部分别插入到固定销插入孔和引导销插入孔253a、253b，下端部螺纹结合与后文所述的下部模块3的上部壳体311。所述固定销254以穿过所述固定销插入孔的方式插入，从而能够相对于底板253旋转。
所述引导销插入孔253a、253b分别构成为长孔，从而所述引导销255、256能够沿所述引导销插入孔253a、253b的长度方向移动。并且，为了能够使引导销255、256以固定销254为中心旋转，所述引导销插入孔253a、253b可以形成为圆弧形状。
若如上所述地构成，则所述下部模块3能够相对于所述上部模块2沿水平方向旋转。即，若操作者沿欲使下部模块3旋转的方向施加力，则下部模块3以固定销254为旋转中心旋转。在这种情况下，所述引导销255、256在引导销插入孔253a、253b内被引导，并且旋转角度被引导销插入孔253a、253b的长度所限制。
如上所述，所述下部模块3能够相对于所述上部模块2沿水平方向旋转，与此同时，能够借助于第一移送引导件至第三移送引导件220、230、241、242沿X轴、Y轴、Z轴方向直线移动，因此操作者能够容易地进行对准，并且能够实现准确的对准，因此当对准时能够防止第一对准部512与第二对准部351碰撞。
所述阀开闭部400配备为能够旋转用于使所述阀部的阀开闭的手柄50。
所述阀开闭部400包括：手柄结合部410，所述手柄50插入到内部空间411；手柄驱动部420，提供用于使所述手柄结合部410旋转的驱动力。
在所述手柄结合部410的内部形成有多个手柄卡定部412，所述多个手柄卡定部412以对应于手柄50的形状的方式向内侧凸出而与手柄卡定，进而一体旋转。若在所述手柄50插入到内部空间411的状态下驱动手柄驱动部420，则手柄50旋转而开闭阀部的阀。
配备有用于沿垂直方向移送所述阀开闭部400的阀开闭部移送机构(未图示)。所述阀开闭部移送机构配备为与所述第三移送引导件241、242独立地沿垂直方向移送。即，下部模块3整体能够被第三移送引导件241、242引导而沿垂直方向移动，在所述下部模块3中，仅有阀开闭部400能够单独地借助于所述阀开闭部移送机构沿垂直方向移动。为此，所述阀开闭部移送机构可以包括用于引导沿垂直方向的移送的第四移送引导件430和提供能够沿所述第四移送引导件430移送的驱动力的驱动部(未图示)。所述第四移送引导件430可以构成为LM引导件。
参照图12，对下部模块3进行说明。
在所述下部模块3配备有多个壳体311、312、313、314、盖分离部320、连接器紧固部330、连接器紧固部移送机构340、对准块350、插头模块360、垫片供应部370。
所述多个壳体311、312、313、314包括：上部壳体311，以板形状配备于所述下部模块3的上部；第一侧面壳体312和第二侧面壳体313，分别结合于所述上部壳体311的Y轴方向两侧；下部壳体314，与所述上部壳体311向下侧隔开，并且两侧结合于所述第一侧面壳体312和第二侧面壳体313。
在所述上部壳体311结合有上部模块2的固定销254和引导销255、256的下端部。所述上部壳体311、第一侧面壳体312、第二侧面壳体313及下部壳体314配备为包围除了所述下部模块3的前后方之外的上部、下部及两侧部。
所述盖分离部320将覆盖配备于所述阀部的阀连接器30的盖31从所述阀连接器30分离。
所述盖分离部320形成有槽，使得所述盖31插入到内部，并且若在所述盖31插入到所述盖分离部320的槽的状态下驱动旋转机构(未图示)而使所述盖分离部320旋转，则所述盖31从所述阀连接器30分离。与此相反，可以驱动所述旋转机构而将从所述盖分离部320分离的盖31结合于所述阀连接器30。
所述连接器紧固部330配备为能够将连接于气体需求处的连接配管连接器331结合于所述阀连接器30。若在所述连接器紧固部330与阀连接器30连接的状态下开放阀(未图示)，则容器10内部的气体通过阀连接器30和连接配管连接器331向气体需求处供应。
所述连接器紧固部移送机构340沿左右方向(Y轴方向)和前后方向(X轴方向)一体地移送所述盖分离部320和连接器紧固部330。所述连接器紧固部移送机构340可以包括：第一移送机构，用于沿前后方向一体地移送所述盖分离部320和连接器紧固部330；第二移送机构，用于沿左右方向一体地移送所述盖分离部320和连接器紧固部330。
所述第一移送机构可以包括用于沿前后方向进行移送的移送引导件和通过供应空气(air)而施加移送力的气缸。并且，所述第二移送机构可以包括用于沿左右方向进行移送的移送引导件和通过供应空气(air)而施加移送力的气缸。
所述旋转机构使所述盖分离部320和连接器紧固部330旋转。所述旋转机构包括发生旋转力的马达和减速器，并且包括用于向所述盖分离部320和连接器紧固部330传递所述旋转力的旋转传递部件。
所述旋转传递部件分别向盖分离部320和连接器紧固部330传递所述旋转力，若所述马达驱动，则所述盖分离部320和连接器紧固部330同时旋转。与此不同，所述旋转机构(未图示)也可以构成为配备有两个马达，并且利用所述两个马达来使所述盖分离部320和连接器紧固部330分别旋转。
可以配备有控制部，所述控制部用于控制包括所述阀开闭部移送机构、连接器紧固部移送机构340和所述旋转机构的本发明的整个气体供应装置。
可以配备有开放前方和后方并包围左右和上下的内部壳体315，从而设置所述盖分离部320和连接器紧固部330。所述内部壳体315可以结合于下部壳体314的上部。
所述对准块350结合为在所述内部壳体315的前方端部凸出，并且大致构成为多面体形状。在所述对准块350的前方面，作为第二对准部351的对准销351形成为朝向所述阀部凸出的形状，而在所述对准销351的侧部，作为所述第二结合部352的固定块结合部件352形成为朝向所述阀部凸出的形状。
所述插头模块360构成为包括：插头361，为了在阀连接器30与连接器紧固部330未紧固的状态下防止异物流入到连接器紧固部330内部而结合于连接器紧固部330；插头支撑部件362，用于支撑所述插头361的端部；插头支撑壳体363，所述插头支撑部件362结合于该插头支撑壳体363而得到支撑；插头移送引导件364，用于沿前后方向一体地移送所述插头361、插头支撑部件362及插头支撑壳体363；插头模块支撑台316，所述插头移送引导件364结合于该插头模块支撑台316而得到支撑，并且结合于所述第一侧面壳体312。
所述垫片供应部370用于在替换容器10时在所述连接配管连接器331安装新的垫片，且构成为包括：垫片夹持器(未图示)，夹持垫片(未图示)；垫片收容部(未图示)，收容多个垫片；垫片移送机构，为了将收容于所述垫片收容部的垫片安装到所述连接配管连接器331而进行移送。所述垫片移送机构配备为在所述垫片夹持器夹持有垫片的状态下沿Y轴方向往返移动。
参照图14至图17对根据本发明的气体供应装置的操作进行说明。
首先，为了替换容器，将新的容器10装载于容器装载部(未图示)上。在这种情况下，由于水平方向制动部225和垂直方向制动部260为处于制动的状态，因此下部模块3不会沿Y轴方向及Z轴方向移动而保持被固定的状态。
接下来，操作者按压第一开关271。若按压所述第一开关271，则所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力解除，从而下部模块3处于能够被第一移送引导件220和第三移送引导件241、242引导而沿Y轴及Z轴方向自由移动的状态。
在该状态下，操作者向下部模块3施加力而沿前后方向、左右方向、上下方向移动，从而如图14所示，以第二对准部351与第一对准部512相面对的方式进行对准。在这种情况下，第二结合部352布置为与第一结合部511相面对。
当如上所述地对准时，若操作者向下部模块3施加力使其沿水平方向旋转，则一对引导销255、256以固定销254为旋转中心旋转而在引导销插入孔253a、253b内部沿前后方向移动，从而下部模块3在XY平面上旋转，因此能够实现第一对准部512与第二对准部351的准确对准。
在图14的状态下，操作者继续调节下部模块3的位置，进而如图15所示，仅有对准销351的一部分插入到对准销插入槽512。
图14的状态和图15的状态可以由于操作者的连续操作而通过一次操作实现。
如此，若操作者将下部模块3沿前后方向、左右方向、上下方向移送额同时使其沿水平方向旋转，则能够易于将第一对准部512与第二对准部351对准。
另外，若对准销351从对准块350凸出的长度形成为大于作为第二结合部352的固定块结合部件352从对准块350凸出的长度，从而仅所述对准销351的一部分插入到对准销插入槽512，则第一结合部511与第二结合部352为未结合的状态，并且盖分离部320与被盖31覆盖的阀连接器30布置为对向。
若处于这种状态，则操作者将手离开第一开关271。若将手离开所述第一开关271，则水平方向制动部225和垂直方向制动部260被施加制动力，从而下部模块3不会沿Y轴方向及Z轴方向移动而保持被固定的状态。
在该状态下，若操作者对第二开关272进行操作，则旋转机构被驱动，从而所述盖分离部320旋转。作为一例，在所述盖31的形状构成为六边形的情况下，所述盖分离部320的槽也以与其对应的方式构成为六边形。
在所述盖分离部320的槽的六边形与盖31的六边形的相位不一致的状态下，若为了将盖31插入到所述盖分离部320的槽内部而使下部模块3前进，则盖分离部320与盖31发生碰撞。
因此，在本发明中，若操作者对第二开关272进行操作而使盖分离部320旋转并使下部模块3前进，则能够在盖分离部320的槽与盖31的相位一致的瞬间实现盖分离部320与盖31的吻合，从而实现无碰撞地结合。
并且，也具有利用传感器来感测盖31的六边形形状而使其与盖分离部320的相位一致的方法，然而根据本发明，无需配备传感器。
若在图15的状态下进一步向前方推动下部模块3，则如图16所示，整个对准销351插入到对准销插入槽512而处于第一对准部512与第二对准部351的完全结合状态。在这种情况下，第二结合部352插入到第一结合部511而凸起352a插入到所述凸起插入槽，从而能够实现所述第一结合部511与第二结合部352的结合，进而下部模块3不会沿X轴方向移动而保持被固定的状态。并且，盖31插入到盖分离部320的槽。
若处于这种状态，则下部模块3沿Y轴及Z轴方向的移送通过水平方向制动部225和垂直方向制动部260被制动，沿X轴方向的移送通过第一结合部511与第二结合部352的结合而被制动，因此能够针对X、Y、Z轴所有方向保持被固定的状态。
若处于图16的状态，则之后的操作通过操作者施加操作信号而借助于控制部自动进行操作。
若通过所述控制部驱动旋转机构而使盖分离部320旋转，同时驱动所述第一移送机构而使盖分离部320向后方移动，则盖31从阀连接器30分离。
在所述盖31从阀连接器30分离之后，若驱动连接器紧固部移送机构340的第二移送机构，则如图17所示，盖分离部320和连接器紧固部330沿Y轴方向一体地移动，从而连接器紧固部330与阀连接器30布置为相面对。
之后，驱动垫片移送机构，进而在垫片夹持器夹持有垫片的状态下沿Y轴方向移送，从而垫片(未图示)位于阀连接器30的端部。
接下来，若驱动连接器紧固部移送机构340的第一移送机构而向前方移送连接器紧固部330，同时驱动旋转机构而旋转连接器紧固部330，则阀连接器30结合于连接器紧固部330的连接配管连接器331，并且驱动垫片移送机构，从而垫片夹持器向从阀连接器30脱离的位置移动。
通过如上所述的过程，若在阀连接器30结合于连接配管连接器331的状态下驱动阀开闭部移送机构的驱动部，则阀开闭部400被第四移送引导件430引导而沿垂直方向向下移动，并且手柄50插入到手柄结合部410的内部空间411。
若在手柄50插入到所述手柄结合部410的状态下驱动手柄驱动部420，则手柄50旋转而使阀部的阀开放，并且收容于容器10的气体供应至气体需求处。
根据如上所述的构成，下部模块3能够沿垂直方向升降，同时当水平方向移送时实现对准，从而能够防止第一对准部和第二对准部的破损。并且，下部模块3相对于上部模块2可旋转，从而能够更准确地进行对准。并且，即使操作者未将容器10置于容器装载部的准确位置也能够实现容器的准确对准，因此操作便利。
如上所述，本发明并不限于上述的实施例，在本发明所属的技术领域中具有基本知识的人员可以在不脱离权利要求范围内的本发明的技术思想内实现显而易见的变形，且这些变形实施例属于本发明的范围。

Claims (17)

1.一种气体供应装置，包括：
盖分离部，用于分离盖，所述盖用于覆盖容器上端的阀部所配备的阀连接器；
连接器紧固部，用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器；
致动器，为了所述盖的分离以及将所述连接配管连接器连接到所述阀连接器而向所述盖分离部和所述连接器紧固部提供旋转驱动力；以及
动力传递部，将所述致动器的旋转驱动力传递至所述盖分离部及所述连接器紧固部且构成为实现平移及摇动，并且配备为将所述致动器可设置于与设置有所述盖分离部及所述连接器紧固部的位置隔开的位置，
所述动力传递部的一侧端结合于所述致动器的旋转轴，另一端可拆装地结合于向所述盖分离部和所述连接器紧固部传递所述旋转驱动力的连接轴。
2.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述连接轴的端部形成有多边形部，使得当分离所述动力传递部时能够利用工具进行旋转操作。
3.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
所述动力传递部包括：
第一轭，结合于所述致动器的旋转轴；
管，以第一十字轴为媒介可摇动地连接于所述第一轭；
花键轴，可平移运动地连接于所述管；
第二轭，以第二十字轴为媒介可摇动地连接于所述花键轴，并且可拆装地结合于所述连接轴。
4.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
所述动力传递部利用两端可拆装地结合于所述致动器的旋转轴和所述连接轴的挠性轴构成。
5.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
还包括：相互啮合的多个齿轮，以将传递到所述连接轴的致动器的旋转驱动力传递至所述盖分离部及所述连接器紧固部。
6.根据权利要求5所述的气体供应装置，其特征在于，
所述多个齿轮包括：
蜗杆，结合于所述连接轴的外围；
蜗轮，啮合于所述蜗杆，并且将传递到所述连接轴的旋转驱动力的旋转方向转换为垂直的方向；
第一平齿轮，与所述蜗轮结合于相同的轴；
第二平齿轮，啮合于所述第一平齿轮的一侧，并且与所述盖分离部结合于相同的轴；以及
第三平齿轮，啮合于所述第二平齿轮的一侧，并且与所述连接器紧固部结合于相同的轴。
7.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，还包括：
上部模块，配备有在从所述阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板；以及
下部模块，包括所述盖分离部、所述连接器紧固部和通过与配备于所述阀部的第一对准部的结合而实现与所述容器的对准的第二对准部，其中，所述下部模块能够相对于所述上部模块而沿水平方向和垂直方向移送，
其中，在所述盖没有插入到所述盖分离部的状态下，在所述盖与所述盖分离部以对向的方式对准时，配备为所述第一对准部与第二对准部的一部分能够结合。
8.根据权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，
所述第一对准部和第二对准部中的任意一个构成为具有水平方向的长度的销形状的对准销，另一个构成为所述对准销插入的对准销插入槽。
9.根据权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，
所述第一对准部配备于与所述阀部结合的固定块，
在所述下部模块邻近于所述第二对准部而配备有第二结合部，用于结合到在所述固定块邻近于所述第一对准部而配备的第一结合部，
若所述第二对准部向所述第一对准部方向移送，使得所述第一对准部与第二对准部从一部分结合状态成为完全结合状态，则所述第一结合部与第二结合部结合，从而保持所述固定块与所述下部模块的结合状态。
10.根据权利要求9所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述下部模块结合有对准块，
所述第二结合部利用配备于所述对准块而朝向所述第一结合部凸出的固定块结合部件而构成，
所述第一结合部构成为形成于所述固定块的固定槽，以使所述固定块结合部件插入。
11.根据权利要求9所述的气体供应装置，其特征在于，
若在旋转所述盖分离部的状态下沿所述阀部方向移送所述下部模块，则所述第一对准部与第二对准部从一部分结合状态成为完全结合状态，并且所述盖与盖分离部的槽的形状吻合而插入到所述盖分离部的槽。
12.根据权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，
所述下部模块相对于所述上部模块能够沿水平方向旋转的同时直线移动。
13.根据权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述上部模块配备有：
第一移送引导件，为了引导所述下部模块沿作为水平方向中的某一个的第一方向移送而配备；以及
第二移送引导件，为了引导所述下部模块沿水平方向中与第一方向垂直的第二方向移送。
14.根据权利要求13所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述上部模块中，所述上部板、中间板、下部板从上部向下部彼此隔开配备，
所述第一移送引导件配备于所述上部板与中间板之间，
所述第二移送引导件配备于所述中间板与下部板之间。
15.根据权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述上部模块配备有：第三移送引导件，用于引导所述下部模块的垂直方向移送。
16.根据权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述下部模块配备有：连接器紧固部移送机构，用于将所述盖分离部和连接器紧固部相对于所述阀部沿左右方向和前后方向一体地移送；旋转机构，用于使所述盖分离部和连接器紧固部旋转，
其中，所述气体供应装置配备有：控制部，用于控制所述连接器紧固部移送机构的移送及所述旋转机构的旋转。
17.根据权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述上部模块配备有：
第三移送引导件，用于引导所述下部模块的垂直方向移送；
阀开闭部，用于旋转用于使所述阀部的阀开闭的手柄；
阀开闭部移送机构，用于与根据所述第三移送引导件的垂直方向移送独立地将所述阀开闭部沿垂直方向移送。
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