CN113623540A - 能够独立地移送多个模块的气体供应装置 - Google Patents

Abstract

本发明的能够独立地移送多个模块的气体供应装置包括：包括在从配备于容器上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板；下部模块，配备有盖分离部和连接器紧固部，其中，所述盖分离部将覆盖配备于所述阀部的阀连接器的盖分离，所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接于所述阀连接器；阀开闭模块，用于开闭所述阀部的阀；第一垂直移送部，配备为使所述下部模块相对于所述上部模块能够沿垂直方向移送；以及第二垂直移送部，配备为独立于所述下部模块的垂直方向移送，而使所述阀开闭模块相对于所述上部模块能够沿垂直方向移送。

Description

能够独立地移送多个模块的气体供应装置

技术领域

本发明涉及一种能够独立地移送多个模块的气体供应装置，更加详细地涉及一种如下的气体供应装置：能够独立地移送多个模块，从而当对准容器时能够实现细微调整，并且能够实现小型化。

背景技术

通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备的执行精密作业的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。

为了有效地提供气体，许多种类的气体在高压状态下保管，尤其，具有易燃性、毒性、腐蚀性等有害特性的气体在与人类隔离的单独的空间进行严格管理。

保管气体的气体储存容器(以下，简称为“容器”)连接于气体需求处，若保管在容器的气体被全部消耗，则将连接于气体需求处的连接配管从气体容器的阀分离并替换容器，之后将连接于气体需求处的连接配管连接器结合到替换后的容器的阀连接器并再次供应气体。

在这样替换容器的情况下，操作者必须将容器放置在容器装载部的正常位置，但是若没有配备用于将容器放置到正常位置的自动化装置，则存在操作者难以将气体桶准确地放置到正常位置的问题。

当然，若配备有自动化装置，则能够将容器放置到正常位置，但是存在装置的构成复杂且制造成本高的问题。

并且，为了将连接配管连接器结合于容器的阀，容器应当对准在正常位置。为了这样的对准，操作者以手动移动装置的方法已公开。然而，由于装置较大并且较重，因此存在操作者以手动移动较为困难的问题，并且存在很难执行细微的对准的问题。

作为关于半导体装备的气体供应装置的现有技术，公开有韩国授权专利第10-0242982号。

发明内容

本发明为了解决上述的诸多问题而提出，其目的在于提供一种如下的气体供应装置：能够分别独立地移送多个模块，从而由于移送的模块的重量较轻，而当对准容器时能够实现细微的调整。

本发明的另一目的在于提供一种如下的气体供应装置：能够分别独立地移送多个模块，从而使操作者能够容易地进行对准。

本发明的另一目的在于提供一种如下的气体供应装置：沿垂直方向能够升降的同时，当沿水平方向移送时实现对准，从而能够防止对准部受损。

本发明的另一目的在于提供一种如下的气体供应装置：当沿水平方向移送时，使对准部的旋转能够实现，从而实现更加准确的对准。

本发明的另一目的在于提供一种如下的气体供应装置：可以维持将上部模块和下部模块巩固地结合于配备于容器侧的固定块的状态。

本发明的另一目的在于提供一种当盖和盖分离部结合时可以防止受损的气体供应装置。

用于实现上述目的本发明的气体供应装置包括：上部模块，包括在从配备于容器上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板；下部模块，配备有盖分离部和连接器紧固部，其中，所述盖分离部将配备于所述上部模块的下部，以分离覆盖配备于所述阀部的阀连接器的盖体盖分离，所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接于所述阀连接器；阀开闭模块，用于开闭所述阀部的阀；第一垂直移送部，配备为使所述下部模块相对于所述上部模块能够沿垂直方向移送；以及第二垂直移送部，配备为独立于所述下部模块的垂直方向移送，而使所述阀开闭模块相对于所述上部模块能够沿垂直方向移送。

第一垂直移送部可以包括配备于所述上部模块而用于引导所述下部模块的垂直方向移送的第一垂直移送引导件，所述第二垂直移送部可以包括配备于所述上部模块而用于引导所述阀开闭模块相对于所述上部模块沿垂直方向移送的第二垂直移送引导件。

气体供应装置还可以包括：阀开闭模块移送机构，产生用于使所述阀开闭模块相对于所述上部模块沿垂直方向移送的驱动力。

所述上部模块可以包括：下部板，在上部结合有用于使所述下部模块相对于所述上部模块沿水平方向移送的水平移送引导件；以及第二垂直移送引导件结合板，在所述下部板的底面以具有垂直方向的长度的方式结合，所述阀开闭模块可以包括：第二垂直移送引导件支撑部件，以在与所述第二垂直移送引导件结合板之间配备所述第二垂直移送引导件的方式设置为与所述第二垂直移送引导件结合板对向，从而与所述发开闭模块一同沿垂直方向移送。

所述阀开闭模块可以包括：第二垂直移送引导件支撑部件，结合有所述第二垂直移送引导件，并具有垂直方向的长度；第一水平板，垂直地结合于所述第二垂直移送引导件支撑部件，并具有垂直方向的长度；以及阀开闭模块主体，结合于所述第一水平板的下部，并包括手柄结合部，所述手柄结合部使开闭所述阀部的阀的手柄插入。

所述阀开闭模块可以包括：阀开闭模块主体，包括插入使所述阀部的阀开闭的手柄的手柄结合部；以及第一水平板，配备为与所述阀开闭模块主体一同借由所述第二垂直移送引导件沿垂直方向移送，并实现所述阀开闭模块主体的相对旋转。

所述阀开闭模块可以包括：第二水平板，配备于所述第一水平板的下部；以及结合强度调节部，将所述第一水平板和第二水平板结合，并且能够调节所述结合的强度，其中，若在所述结合强度调节部使结合强度变强，则所述阀开闭模块主体可以相对于所述第一水平板不进行相对旋转，若在结合强度调节部使所述结合强度变弱，则所述阀开闭模块主体可以相对于所述第一水平板进行相对旋转。

所述结合强度调节部可以包括：轴部件，形成有螺栓结合于所述第一水平板的螺栓部，并沿上下贯通所述第二水平板；以及手把部，形成为在所述轴部件的下端部与所述轴部件形成为一体，以能够旋转所述轴部件。

所述阀开闭模块可以包括：第二水平板，配备于所述第一水平板的下部，并形成有圆弧形状的引导孔，而且结合有所述阀开闭模块主体；以及轴部件，结合于所述第一水平板，并插入于所述引导孔，其中，若旋转所述阀开闭模块主体和第二水平板，则所述轴部件可以在所述引导孔内移动。

所述上部模块可以配备有多个板，所述阀开闭模块的一侧可以结合于所述第二垂直移送引导件，并且在另一侧可以配备有能够与所述多个板中的一个结合或分离的结合分离部。

在所述多个板中的某一个可以配备有使所述结合分离部结合的卡接部，所述结合分离部可以包括卡接于所述卡接部而实现结合或者使卡接解除而分离的卡接部件。

所述阀开闭模块可以包括：阀开闭模块主体，包括插入使所述阀部的阀开闭的手柄的手柄结合部；以及第一水平板，配备为与所述阀开闭模块主体一同借由所述第二垂直移送引导件沿垂直方向移送，并实现所述阀开闭模块主体的相对旋转，所述结合分离部还可以包括结合于所述第一水平板的结合部主体和结合于所述结合部主体的销，所述卡接部件可以以所述销为中心转动，从而可以卡接于所述卡接部或者解除卡接。

在所述上部模块可以配备有用于将所述下部模块沿水平方向移送的水平移送引导件。

所述水平移送引导件可以包括：第一水平移送引导件，为了使所述下部模块沿作为水平方向中的某一个的第一方向移送而配备；以及第二水平移送引导件，用于引导所述下部模块沿水平方向中的与所述第一方向垂直的第二方向移送。

上部板、中部板以及下部板可以彼此相隔地从上部到下部配备于所述上部模块，在所述上部板和中间板之间可以配备有所述第一水平移送引导件，在所述中间板和下部板之间可以配备有所述第二水平移送引导件。

所述下部模块可以包括借由与配备于所述阀部的第一对准部的结合而实现与所述容器的对准的第二对准部。

在所述盖以未插入于所述盖分离部的状态设置为彼此对向的情况下，当进行所述对准时，所述第一对准部和所述第二对准部的一部分可以结合。

所述第一对准部和第二对准部中的某一个可以构成为具有水平方向的长度的销形状的对准销，剩余一个可以构成为插入所述对准销的对准销插入槽。

所述第一对准部可以配备于结合在所述阀部的固定块，用于结合于在所述固定块配备为相邻于所述第一对准部的第一结合部的第二结合部配备为在所述下部模块相邻于所述第二对准部，若所述第二对准部朝所述第一对准部方向移送，使所述第一对准部和第二对准部从一部分结合状态变为完全结合状态，则所述第一结合部和第二结合部结合，从而维持所述固定块和所述下部模块的结合状态。

根据本发明，能够分别独立地移送多个模块，从而由于移送的模块的重量较轻，而当对准容器时能够实现细微的调整。

并且，能够分别独立地移送多个模块，从而可以使操作者能够较简单地进行对准。

并且，可以独立地沿水平方向旋转阀开闭部，从而可以使阀开闭部和手柄的结合变得简单。

并且，下部模块沿垂直方向能够升降的同时，当沿水平方向移送时实现对准，从而能够防止对准部受损。

并且，使下部模块相对于上部模块能够旋转，从而可以更加准确地进行对准。

并且，即使操作者未将容器放置在容器装载部的准确的位置，也能够实现容器的准确的对准，而使作业便利。

并且，可以维持上部模块和下部模块巩固地结合于配备在容器侧的固定块的状态。

并且，当盖和盖分离部结合时，可以防止受损。

附图说明

图1的(a)、(b)是从一侧和另一侧示出本发明的气体供应装置的立体图。

图2是示出在本发明的气体供应装置中在容器的阀部结合有固定块的状态的立体图。

图3是示出本发明的气体供应装置的上部模块和阀开闭模块的立体图。

图4是从与图3不同的方向示出本发明的气体供应装置的上部模块和阀开闭模块的立体图。

图5是示出从本发明的气体供应装置的上部模块和阀开闭模块去除上部板的状态的立体图。

图6是从下部观察本发明的气体供应装置的上部模块以及阀开闭模块的立体图。

图7是示出本发明的气体供应装置的下部模块的立体图。

图8是示出本发明的气体供应装置的上部模块的底板、固定销以及引导销的图。

图9是从侧面示出本发明的气体供应装置的侧视图。

图10示出本发明的气体供应装置的上部模块的剖面结构的图。

图11是示出在本发明的气体供应装置中构成上部模块的多个板、构成阀开闭模块的多个板以及结合分离部的图。

图12是示出在本发明的气体供应装置中构成上部模块的多个板和构成阀开闭模块的多个板的图。

图13是示出在本发明的气体供应装置中第一对准部与第二对准部布置为对向的状态的平面图。

图14是示出在图13的状态下使下部模块前进而第一对准部与第二对准部一部分结合的状态的平面图。

图15是示出在图14的状态下使下部模块进一步前进而第一对准部与第二对准部完全结合的状态的平面图。

图16是示出在本发明的气体供应装置中阀开闭模块向下移动的状态的侧视图。

图17是示出在图15的状态下从阀连接器分离盖分离部且盖分离部与连接器紧固部一体地沿Y方向移送而连接器紧固部布置为与阀连接器对向的状态的平面图。

符号说明

1：气体供应装置 2：上部模块

3：下部模块 4：阀开闭模块

10：容器 30：阀连接器

31：盖 50：手柄

211：上部板 212：中间板

213：下部板 214：第二垂直移送引导件结合板

220：第一水平移送引导件 225：水平方向制动部

230：第二水平移送引导件 241、242：第一垂直移送引导件

243、244：移送引导件结合板

251、252：移送引导件支撑部件 253：底板

253a、253b：引导销插入孔 254：固定销

255、256：引导销 260：垂直方向制动部

270：开关盒 271：第一开关

272：第二开关 311：上部壳体

312：第一侧面壳体 313：第二侧面壳体

314：下部壳体 315：内部壳体

316：插头模块支撑台 320：盖分离部

330：连接器紧固部 331：连接配管连接器

340：连接器紧固部移送机构 350：对准块

351：第二对准部 352：第二结合部

352a：凸起 360：插头模块

361：插头 362：插头支撑部件

363：插头支撑壳体 364：插头移送引导件

370：垫片供应部 410：手柄结合部

412：手柄卡接部 420：手柄驱动部

430：第二垂直移送引导件 441：第二垂直移送引导件支撑部件

442：第一水平板 443：第二水平板

450：结合分离部 451：结合部主体

452：卡接部件 453：销

461：轴部件 461a：螺栓部

462：手把部 510、520、530：固定块

511：第一结合部 512：第一对准部

440：阀开闭部支撑部件

具体实施方式

以下，参照附图对本发明进行详细说明。

在此，对方向进行命名时，将图1所示的X轴称为前后方向，Y轴称为左右方向，Z轴称为垂直方向。并且，水平方向包括由XY平面构成的所述左右方向和前后方向。

参照图1，本发明的能够独立地移送多个模块的气体供应装置1包括：上部模块2，包括在从配备于容器10上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板211；；下部模块3，配备有盖分离部320(图7)和连接器紧固部330(图7)，其中，所述盖分离部320将配备于所述上部模块2的下部而覆盖配备于所述阀部的阀连接器30(图2)的盖31(图2)分离，所述连接器紧固部330用于将连接于气体需求处的连接配管连接器331(图7)连接于所述阀连接器30；阀开闭模块4，用于开闭所述阀部的阀；第一垂直移送部(图3)，配备为使所述下部模块3相对于所述上部模块2能够沿垂直方向实现移送；第二垂直移送部，配备为使所述阀开闭模块4独立于所述下部模块3的垂直方向移送而相对于所述上部模块2能够沿垂直方向实现移送。

参照图2，所述容器10为用于储藏并供应向半导体装置等气体需求处供应的工程气体的构成，且在容器10的上部配备有所述阀部。

所述阀部构成为包括：阀(未图示)，用于限制气体的供应；阀连接器30，配备于所述阀的一侧而紧固于下部模块3的连接器紧固部330；盖31，覆盖所述阀连接器30；阀关闭器(未图示)，开闭所述阀；手柄50，连接于所述阀关闭器的上部，通过旋转而使阀关闭器升降，从而开闭阀。

在所述阀部结合有固定块510、520、530。在所述固定块510、520、530配备有所述第一对准部512。

所述固定块510、520、530可以包括包围所述阀部的第一固定块510、第二固定块520及第三固定块530。

若通过所述第二固定块520及第三固定块530的结合而包围所述阀部，则所述阀部中的所述阀连接器30及盖31相对于所述固定块520、530而向侧方向凸出并暴露，所述阀部中的所述手柄50相对于所述固定块520、530向上方向凸出并暴露。

所述第一固定块510构成为具有Y轴方向的长度的四棱柱形状，并且在所述Y轴方向的一侧面结合有所述第二固定块520，在X轴方向的一侧面配备有第一对准部512。

所述第一对准部512可以构成为凹陷地形成于所述X轴方向的一侧面的对准销插入槽。

所述下部模块3相对于上部模块2能够实现水平方向移送的同时，也能够沿垂直方向实现升降移送。

当下部模块3沿水平方向移送时，所述第一对准部512借由与配备于下部模块3的第二对准部351(图8)的结合而实现容器10的对准。

参照图7，所述第二对准部351可以构成为从后文所述的下部模块3的对准块350向作为与所述对准销插入槽相面对的方向的X轴方向凸出而具有水平方向的长度的对准销351。

通过使所述对准销351插入到所述对准销插入槽而实现所述容器10的对准。

在本实施例中，以第一对准部512构成为对准销插入槽，第二对准部351构成为对准销的情形为示例进行了说明，然而也可以将第一对准部构成为对准销，将第二对准部构成为对准销插入槽。

并且，在本实施例中，以对准销插入到对准销插入槽的情形为示例进行了说明，然而并不局限于此，第一对准部与第二对准部也可以构成为紧固或结合。将所述第一对准部与第二对准部插入、紧固、结合的方式统称定义为“结合”。

所述第一固定块510在与所述第一对准部512邻近的位置配备有第一结合部511，与所述第一结合部511实现结合的第二结合部352配备于所述下部模块3的对准块350。

所述第一结合部511可以形成为：与所述第一对准部512在所述第一固定块510所形成的面相同的面在X轴方向上凹陷地形成的固定槽511。

所述第二结合部352可以形成为：在对准块350的与所述第二对准部351邻近的位置朝向所述第一结合部511凸出的固定块结合部件352。

在所述固定块结合部件352的外侧面配备有多个凸起352a，所述多个凸起352a被配备于内部的弹簧(未图示)弹性支撑。在所述固定槽511的内部形成有使所述凸起352a插入的凸起插入槽(未图示)。若所述固定块结合部件352插入到所述固定槽511，则所述凸起352a插入到所述凸起插入槽，从而防止所述固定块结合部件352从所述固定槽511脱离，进而可以保持所述下部模块3结合于所述第一固定块510的状态。

在将所述固定块结合部件352从固定槽511拔出的情况下，若供应空气(air)而使所述凸起352a克服所述弹簧的弹力而从固定块结合部件352的表面进入到内侧，则所述凸起352a从所述凸起插入槽脱离。因此，所述固定块结合部件352可以从固定槽511脱离。

参照图3至图6，在所述上部模块2配备有上部板211、中间板212、下部板213、第一水平移送引导件220、第二水平移送引导件230、第一垂直移送部。

所述上部板211构成为平板形状，结合于诸如未图示的机柜等位置被固定的相对物。

所述中间板212也构成为平板形状，并且以中间部较高的方式构成为阶梯形状，配备为与所述上部板211的下部隔开。

所述下部板213也构成为平板形状，并且配备为与所述中间板212的下部隔开。

所述第一水平移送引导件220可以配备于所述上部板211与中间板212之间，从而可以构成为如下：引导包括所述中间板212、第二水平移送引导件230、下部板213、第一垂直移送部、下部模块3及阀开闭模块4的所有连接于所述中间板212的下部的部件沿作为水平方向的Y轴方向(第一方向)移送的LM引导件。

所述第二水平移送引导件230可以配备于所述中间板212与下部板213之间，从而可以构成为如下：引导包括所述下部板213、第一垂直移送部、下部模块3及阀开闭模块4的所有连接于所述下部板213的下部的部件沿作为水平方向的与Y轴方向垂直的X轴方向(第二方向)移送的LM引导件。

在所述下部板213，在Y轴方向的两侧面结合有一对移送引导结合板243、244，在与所述一对移送引导结合板243、244隔开的位置配备有一对移送引导支撑部件251、252。

所述一对移送引导结合板243、244在所述下部板213的一侧与另一侧配备为彼此对向，并且构成为具有上下方向的长度的板形状。

所述一侧的移送引导支撑部件251和另一侧的移送引导支撑部件252构成为具有上下方向的长度的矩形的板形状，并且从所述一侧的移送引导结合板243和另一侧的移送引导结合板244分别向Y轴方向的外侧隔开配备。

在所述一侧的移送引导结合板243与移送引导支撑部件251之间、所述另一侧的移送引导结合板244与移送引导支撑部件252之间分别配备有第一垂直移送部。

在所述一侧的移送引导支撑部件251和另一侧的移送引导支撑部件252的下端部分别结合有具有Y轴方向的长度的矩形形状的底板253的一侧面和另一侧面。在所述底板253的下部结合有所述下部模块3。

所述第一垂直移送部可以构成为用于引导沿垂直方向的直线移送的第一垂直移送引导件241、242。所述第一垂直移送引导件241、242可以构成为引导所述一对移送引导件支撑部件251、252、底板253以及结合于所述底板253的下部模块3一体地沿垂直方向移送的LM引导件。

在所述第一水平移送引导件220、第二水平移送引导件230及第一垂直移送引导件241、242未连接驱动结构，而仅起到使操作者能够手动移送的引导功能。即，若操作者用手抓持下部模块3并沿X轴、Y轴、Z轴方向施加力，则在施加力的方向上沿各个移送引导件移送下部模块3。在此情况下，当沿X轴以及Y轴方向移送时，阀开闭模块4与下部模块3一同被移送，然而当沿Z轴方向移送时，仅下部模块3被第一垂直移送引导件241、242引导并移送。

在所述第一水平移送引导件220和第一垂直移送引导件241、242可以配备有起到制动功能的制动部。

可以配备有水平方向制动部225，所述水平方向制动部225在被所述第一水平移送引导件220引导而沿第一方向移送的情况下，执行用于在特定位置保持停止状态的制动功能。

可以配备有垂直方向制动部260，所述垂直方向制动部260在借助于所述第一垂直移送引导件241、242沿垂直方向移送的情况下，执行用于在特定位置保持停止状态的制动功能。

所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260可以构成为：在利用弹簧(未图示)的按压力抓持LM引导件的轨道的状态下保持制动力，而若供应空气(air)而从轨道去除所述弹簧的按压力，则解除制动力。

可以配备有用于施加所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的操作信号的开关盒270。

所述开关盒270配备有：第一开关271，用于施加及解除所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力；第二开关272，用于后文所述的连接器紧固部330和盖分离部320的旋转及停止。所述第一开关271和第二开关272既可以构成为以操作者用手操作的方式，也可以如电磁阀一样地构成为不用手操作而打开/关闭的方式。

在操作者按压所述开关盒270的第一开关271而处于操作的状态下，可以通过供应空气(air)解除所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力，从而下部模块3被第一水平移送引导件220和第一垂直移送引导件241、242引导而沿Y轴及Z轴方向自由移动。当操作者将手离开第一开关271而解除开关的操作的瞬间，开关可以借助于弹簧的力自动恢复，使得所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力被施加，从而保持下部模块3不移动而被固定的状态。

所述第二开关272可以构成为拨动开关。所述第二开关272配备为能够使所述连接器紧固部330和盖分离部320沿正方向旋转或者沿反方向旋转。

所述下部模块3的上部和所述上部模块2的下部可以构成为通过固定销结合，在所述下部模块3和上部模块2中的任意一个结合有至少一个引导销，并且在另一个形成有所述引导销插入的引导销插入孔，使得下部模块3能够以所述固定销为旋转中心而旋转。参照图8对如上所述的构成的一例进行说明。

参照图8，在所述底板253的中央形成有固定销254插入的固定销插入孔(未图示)，在所述固定销插入孔的两侧部形成有一对引导销插入孔253a、253b。

所述引导销插入孔253a、253b可以构成为具有X轴方向的长度的长孔。在所述一对引导销插入孔253a、253b分别插入有一对引导销255、256。

所述固定销254和引导销255、256的头部向底板253的上部暴露，躯干部分别插入到固定销插入孔和引导销插入孔253a、253b，下端部螺纹结合于后文所述的下部模块3的上部壳体311。所述固定销254以穿过所述固定销插入孔的方式插入，从而能够相对于底板253旋转。

所述引导销插入孔253a、253b分别构成为长孔，从而所述引导销255、256能够沿所述引导销插入孔253a、253b的长度方向移动。并且，为了能够使引导销255、256以固定销254为中心旋转，所述引导销插入孔253a、253b可以形成为圆弧形状。并且，也可以构成为仅有一对引导销插入孔253a、253b中的一个构成为圆弧形状。

若如上所述地构成，则所述下部模块3能够相对于所述上部模块2沿水平方向旋转。即，若操作者沿欲使下部模块3旋转的方向施加力，则下部模块3以固定销254为旋转中心旋转。在这种情况下，所述引导销255、256在引导销插入孔253a、253b内被引导，并且旋转角度被引导销插入孔253a、253b的长度所限制。

如上所述，所述下部模块3能够相对于所述上部模块2沿水平方向旋转，与此同时，能够借助于第一水平移送引导件220、第二水平移送引导件230及第一垂直移送引导件241、242沿X轴、Y轴、Z轴方向直线移动，因此操作者能够容易地进行对准，并且能够实现准确的对准，因此当对准时能够防止第一对准部与第二对准部碰撞。

参照图7，对下部模块3进行说明。

在所述下部模块3配备有多个壳体311、312、313、314、盖分离部320、连接器紧固部330、连接器紧固部移送机构340、对准块350、插头模块360、垫片供应部370。

所述多个壳体311、312、313、314包括：上部壳体311，以板形状配备于所述下部模块3的上部；第一侧面壳体312和第二侧面壳体313，分别结合于所述上部壳体311的Y轴方向两侧；下部壳体314，与所述上部壳体311向下侧隔开，并且两侧结合于所述第一侧面壳体312和第二侧面壳体313。

在所述上部壳体311结合有上部模块2的固定销254和引导销255、256的下端部。所述上部壳体311、第一侧面壳体312、第二侧面壳体313及下部壳体314配备为包围除了所述下部模块3的前后方之外的上部、下部及两侧部。

所述盖分离部320将覆盖配备于所述阀部的阀连接器30的盖31从所述阀连接器30分离。

所述盖分离部320形成有槽，使得所述盖31插入到内部，并且若在所述盖31插入到所述盖分离部320的槽的状态下驱动旋转机构(未图示)而使所述盖分离部320旋转，则所述盖31从所述阀连接器30分离。与此相反，可以驱动所述旋转机构而将从所述盖分离部320分离的盖31结合于所述阀连接器30。

所述连接器紧固部330配备为能够将连接于气体需求处的连接配管连接器331连接于所述阀连接器30。若在所述连接器紧固部330与阀连接器30连接的状态下开放阀(未图示)，则容器10内部的气体通过阀连接器30和连接配管连接器331向气体需求处供应。

所述连接器紧固部移送机构340沿左右方向(Y轴方向)和前后方向(X轴方向)一体地移送所述盖分离部320和连接器紧固部330。所述连接器紧固部移送机构340可以包括：第一移送机构，用于沿前后方向一体地移送所述盖分离部320和连接器紧固部330；第二移送机构，用于沿左右方向一体地移送所述盖分离部320和连接器紧固部330。

所述第一移送机构可以包括用于沿前后方向进行移送的移送引导件和通过供应空气(air)而施加移送力的气缸。并且，所述第二移送机构可以包括用于沿左右方向进行移送的移送引导件和通过供应空气(air)而施加移送力的气缸。

所述旋转机构使所述盖分离部320和连接器紧固部330旋转。所述旋转机构包括发生旋转力的马达和减速器，并且包括用于向所述盖分离部320和连接器紧固部330传递所述旋转力的旋转传递部件。

所述旋转传递部件分别向盖分离部320和连接器紧固部330传递所述旋转力，若所述马达驱动，则所述盖分离部320和连接器紧固部330同时旋转。与此不同，所述旋转机构(未图示)也可以构成为配备有两个马达，并且利用所述两个马达来使所述盖分离部320和连接器紧固部330分别旋转。

可以配备有控制部，所述控制部用于控制包括所述阀开闭部移送机构、连接器紧固部移送机构340和所述旋转机构的本发明的整个气体供应装置。

可以配备有开放前方和后方并包围左右和上下的内部壳体315，从而设置所述盖分离部320和连接器紧固部330。所述内部壳体315可以结合于下部壳体314的上部。

所述对准块350结合为在所述内部壳体315的前方端部凸出，并且大致构成为多面体形状。在所述对准块350的前方面，作为第二对准部351的对准销351形成为朝向所述阀部凸出的形状，并且在所述对准销351的侧部，作为所述第二结合部352的固定块结合部件352形成为朝向所述阀部凸出的形状。

所述插头模块360构成为包括：插头361，为了在阀连接器30与连接器紧固部330未紧固的状态下防止异物流入到连接器紧固部330内部而结合于连接器紧固部330；插头支撑部件362，用于支撑所述插头361的端部；插头支撑壳体363，使所述插头支撑部件362结合于该插头支撑壳体363而得到支撑；插头移送引导件364，用于沿前后方向一体地移送所述插头361、插头支撑部件362及插头支撑壳体363；插头模块支撑台316，使所述插头移送引导件364结合于该插头模块支撑台316而得到支撑，并且结合于所述第一侧面壳体312。

所述垫片供应部370用于在替换容器10时在所述连接配管连接器331安装新的垫片，且构成为包括：垫片夹持器(未图示)，夹持垫片(未图示)；垫片收容部(未图示)，收容多个垫片；垫片移送机构，为了将收容于所述垫片收容部的垫片安装到所述连接配管连接器331而进行移送。所述垫片移送机构配备为在所述垫片夹持器夹持有垫片的状态下沿Y轴方向往返移动。

参照图6、图9至图12对阀开闭模块4进行说明。

所述阀开闭模块4配备为使配备于所述阀部的上端的手柄50旋转而使所述阀部的阀开闭。

所述阀开闭模块4包括：手柄结合部410，使所述手柄50插入于所述手柄结合部410的内部空间411；手柄驱动部420，提供用于旋转所述手柄结合部410的驱动力；阀开闭模块主体401，包括所述手柄结合部410。

在所述手柄结合部410的内部形成有多个手柄卡接部412，所述多个手柄卡接部412以对应于手柄50的形状的方式朝内侧突出，以卡接于手柄而一体地旋转。若所述手柄50以插入于内部空间411的状态驱动手柄驱动部420，则手柄50旋转而使阀部的阀开闭。

所述阀开闭模块4借由所述第二垂直移送部而以独立于所述下部模块3的沿垂直方向的移送的方式相对于所述上部模块2能够沿垂直方向实现移送。为此，所述第二垂直移送部包括：第二垂直移送引导件430，配备于所述上部模块2，而用于引导所述阀开闭模块4相对于所述上部模块2沿垂直方向移送。所述第二垂直移送引导件430可以以具有垂直方向的长度的LM引导件构成，所述LM引导件由LM轨和LM块构成。

在此情况下，所述第二垂直移送部可以构成为由操作者以手动沿垂直方向移送，并且也可以构成为借由产生用于沿垂直方向移送的驱动力的阀开闭模块移送机构而沿垂直方向移送。以下，针对由操作者以手动沿垂直方向移送的情形进行说明。

在所述上部模块2，第二垂直移送引导件结合板214结合于所述下部板213的底面。所述第二垂直移送引导件结合板214作为平行于YZ平面的板形状，以具有垂直方向的长度的方式结合于所述下部板213。

所述阀开闭模块4包括：第二垂直移送引导件支撑部件441，与所述第二垂直移送引导件结合板214之间配备有所述第二垂直移送引导件430；第一水平板442，结合于所述第二垂直移送引导件支撑部件441的上端。

所述第二垂直移送引导件支撑部件441作为平行于YZ平面的板形状，以具有垂直方向的长度的方式配备，以设置为与所述第二垂直移送引导件结合板214对向。在所述阀开闭模块4随第二垂直移送引导件430沿垂直方向移送的情况下，所述第二垂直移送引导件支撑部件441与阀开闭模块4一同沿垂直方向移送。

所述第一水平板442作为平行于XY平面的板的形状，具有水平方向的长度，在一侧端底面垂直地结合有所述第二垂直移送引导件支撑部件441。所述阀开闭模块主体401将第二水平板443置于之间而结合于所述第一水平板442的底面。因此，所述第一水平板442与所述阀开闭模块主体401一同由所述第二垂直移送引导件430沿垂直方向移送。

另外，所述第一水平板442配备为实现所述阀开闭模块主体401的相对旋转。即，所述第二水平板443配备于所述第一水平板442的下部，并且所述第一水平板442和第二水平板443结合。并且，在所述第二水平板443的底面结合有所述阀开闭模块主体401。在此情况下，配备有结合强度调节部(即，轴部件461和手把部462)，以能够调节所述第一水平板442和第二水平板443之间的结合的强度。

所述结合强度调节部包括：轴部件461，螺纹结合于所述第一水平板442的螺栓部461a形成于上侧端部，并且沿上下贯通所述第二水平板443；以及手把部462，一体形成于所述轴部件461的下端部，并沿侧方向延伸形成，以能够旋转所述轴部件461。

在此情况下，在所述第二水平板443形成有圆弧形状的引导孔443a，所述轴部件461插入于所述引导孔443a，以沿上下贯通所述第二水平板443。

若手持所述手把部462将所述轴部件沿一侧方向旋转，则所述螺栓部461a的螺栓结合紧固，并且结合强度在所述结合强度调节部变强。因此，所述第一水平板442和第二水平板443沿对向的面彼此紧贴的方向结合得较强，以使所述阀开闭模块主体401、手柄结合部410、手柄驱动部420以及第二水平板443不会相对于所述第一水平板442实现相对旋转。

若手持所述手把部462将所述轴部件461沿另一侧方向旋转，则所述螺栓部461a的螺栓结合将变得松弛，而所述结合强度调节部的结合强度将变弱。因此，由于所述第一水平板442和第二水平板443的结合力变弱，而使对向的面不会彼此较强地紧贴，从而可以使所述阀开闭模块主体401、手柄结合部410、手柄驱动部420以及第二水平板443相对于第一水平板442沿水平方向旋转。在如此旋转的情况下，所述轴部件461以插入于所述引导孔443a内的状态沿引导孔443a引导所述旋转，并且旋转范围被引导孔443a的长度限制。

如上所述，若将阀开闭模块主体401、手柄结合部410、手柄驱动部420以及第二水平板443构成为能够相对于所述第一水平板442实现旋转，则在操作者将手柄结合部410结合于手柄50的情况下，可以使手柄50的形状和手柄结合部410的位相匹配，而可以较简单地结合。

在所述阀开闭模块4可以配备有结合分离部450。所述阀开闭模块4的一侧配备为通过所述第二垂直移送引导件支撑部件441而结合于所述第二垂直移送引导件430，所述阀开闭模块4的另一侧配备为借由所述结合分离部450结合于配备于上部模块2的多个板211、212、213中的任意一个，或者可以分离。

在本实施例中，构成为结合分离部450结合于所述多个板211、212、213中的中间板212的情形。

在所述中间板212配备有以

字形状构成的卡接部212a。

所述结合分离部450包括：卡接部件452，卡接于所述卡接部212a的端部212b而实现结合，或者解除卡接而分离；结合部主体451，结合于所述第一水平板442，销453，结合于所述结合部主体451，并且以使所述卡接部件452能够转动的方式结合。

所述卡接部件452的上侧端部452a构成为钩子形状，若将所述卡接部件452向上转动而使所述钩子形状部分卡接于所述卡接部213a，则阀开闭模块4成为卡接于中间板212的结构，从而防止阀开闭模块4向下移动。

并且，在操作者要将阀开闭模块4向下移动的情况下，可以将所述卡接部件452以销453为中心转动，以解除卡接部件452的钩子形状部分与卡接部213a的卡接状态，从而可以将阀开闭模块4向下移动。在此状态下，若操作者手动地将阀开闭模块4向下移动，则阀开闭模块4将沿第二垂直移送引导件430向下移动。

参照图13至图17对根据本发明的气体供应装置的操作进行说明。

首先，为了替换容器，将新的容器10装载于容器装载部(未图示)上。在这种情况下，由于水平方向制动部225和垂直方向制动部260处于制动的状态，因此下部模块3不会沿Y轴方向及Z轴方向移动而保持被固定的状态。

接下来，操作者按压第一开关271。若按压所述第一开关271，则所述水平方向制动部225和垂直方向制动部260的制动力解除，从而下部模块3处于能够被第一水平移送引导件220和第一垂直移送引导件241、242引导而沿Y轴及Z轴方向自由移动的状态。

在该状态下，操作者向下部模块3施加力而沿前后方向、左右方向、上下方向移动，从而如图13所示，以第二对准部351与第一对准部512相面对的方式进行对准。在这种情况下，第二结合部352布置为与第一结合部511相面对。

当如上所述地对准时，若操作者向下部模块3施加力使其沿水平方向旋转，则一对引导销255、256以固定销254为旋转中心旋转而在引导销插入孔253a、253b内部沿前后方向移动，从而下部模块3在XY平面上旋转，因此能够实现第一对准部512与第二对准部351的准确对准。

在图13的状态下，操作者继续调节下部模块3的位置，进而如图14所示，仅有对准销351的一部分插入到对准销插入槽。

图13的状态和图14的状态可以由于操作者的连续作业而通过一次操作实现。

如此，若操作者将下部模块3沿前后方向、左右方向、上下方向移送而同时使其沿水平方向旋转，则能够易于将第一对准部512与第二对准部351对准。

另外，对准销351从对准块350凸出的长度形成为大于作为第二结合部352的固定块结合部件352从对准块350凸出的长度，从而若仅所述对准销351的一部分插入到对准销插入槽，则第一结合部511与第二结合部352为未结合的状态，并且盖分离部320与被盖31覆盖的阀连接器30布置为对向。

若处于这种状态，则操作者将手离开第一开关271。若将手离开所述第一开关271，则水平方向制动部225和垂直方向制动部260被施加制动力，从而下部模块3不会沿Y轴方向及Z轴方向移动而保持被固定的状态。

在该状态下，若操作者对第二开关272进行操作，则旋转机构被驱动，从而所述盖分离部320旋转。作为一例，在所述盖31的形状构成为六边形的情况下，所述盖分离部320的槽也以与其对应的方式构成为六边形。

在所述盖分离部320的槽的六边形与盖31的六边形的相位不一致的状态下，若为了将盖31插入到所述盖分离部320的槽内部而使下部模块3前进，则盖分离部320与盖31发生碰撞。

因此，在本发明中，若操作者对第二开关272进行操作而使盖分离部320旋转并使下部模块3前进，则能够在盖分离部320的槽与盖31的相位一致的瞬间实现盖分离部320与盖31的吻合，从而实现无碰撞地结合。

并且，也具有利用传感器来感测盖31的六边形形状而使其与盖分离部320的相位一致的方法，然而根据本发明，无需配备传感器。

若在图14的状态下进一步向前方推动下部模块3，则如图15所示，整个对准销351插入到对准销插入槽而处于第一对准部512与第二对准部351的完全结合的状态。在这种情况下，第二结合部352插入到第一结合部511而凸起352a插入到所述凸起插入槽，从而能够实现所述第一结合部511与第二结合部352的结合，进而下部模块3不会沿X轴方向移动而保持被固定的状态。并且，盖31插入到盖分离部320的槽。

若处于这种状态，则下部模块3的沿Y轴及Z轴方向的移送通过水平方向制动部225和垂直方向制动部260被制动，沿X轴方向的移送通过第一结合部511与第二结合部352的结合而被制动，因此能够针对X、Y、Z轴所有方向保持被固定的状态。

随后，操作者使阀开闭模块4的手柄结合部410和手柄50结合。为此，若使卡接部件452以销453为中心转动，则卡接部212a和卡接部件452的上侧端部452a的卡接状态将解除。

在此状态下，若将阀开闭模块4向下移送，则阀开闭模块4借由第二垂直移送引导件430而引导并沿垂直方向移送，从而成为图16所示的状态，以使手柄50插入于手柄结合部410的内部。在此情况下，若在将轴部件461旋转使得第一水平板442和第二水平板443的结合强度变弱的状态下，使所述阀开闭模块主体401、手柄结合部410、手柄驱动部420以及第二水平板443相对于所述第一水平板442沿水平方向旋转，则由于轴部件461沿引导孔443a旋转，从而可以更加容易地实现手柄50和手柄结合部410的结合。

如上所述，若实现手柄结合部410和手柄50结合，则之后的操作通过操作者施加操作信号而借助于控制部自动进行操作。

若通过所述控制部驱动旋转机构而使盖分离部320旋转，同时驱动所述第一移送机构而使盖分离部320向后方移动，则盖31从阀连接器30分离。

在所述盖31从阀连接器30分离之后，若驱动连接器紧固部移送机构340的第二移送机构，则如图17所示，盖分离部320和连接器紧固部330一体地沿Y轴方向移动，从而连接器紧固部330与阀连接器30布置为相面对。

在此状态下，将连接器紧固部330朝阀连接器30方向移送，而将连接配管连接器331连接于所述阀连接器30。

随后，若在手柄50插入于手柄结合部410的状态下，驱动手柄驱动部420，则手柄50旋转，而使阀部的阀开放，并且收容于容器10的气体将供应至气体需求处。

根据如上的构成，使多个模块2、3、4能够分别独立地实现移送，而使移送的模块的重量变轻，以能够实现对准容器时的细微调整。并且，使多个模块2、3、4能够分别独立地实现移送，从而使操作者可以较容易地进行对准。

如上所述，针对本发明举优选的实施例进行了详细的说明，然而本发明并不局限于上述的实施例，在权利要求书范围和发明的详细的说明以及附图的范围内能够变形为多种而实施，并且这也属于本发明。

Claims (19)

1.一种气体供应装置，其特征在于，包括：

上部模块，包括在从配备于容器上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板；

下部模块，配备有盖分离部和连接器紧固部，其中，所述盖分离部将覆盖配备于所述阀部的阀连接器的盖分离，所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接于所述阀连接器；

阀开闭模块，用于开闭所述阀部的阀；

第一垂直移送部，配备为使所述下部模块相对于所述上部模块能够沿垂直方向移送；以及

第二垂直移送部，配备为独立于所述下部模块的垂直方向移送，而使所述阀开闭模块相对于所述上部模块能够沿垂直方向移送。

2.如权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，

第一垂直移送部包括配备于所述上部模块而用于引导所述下部模块的垂直方向移送的第一垂直移送引导件，

所述第二垂直移送部包括配备于所述上部模块而用于引导所述阀开闭模块相对于所述上部模块沿垂直方向移送的第二垂直移送引导件。

3.如权利要求2所述的气体供应装置，其特征在于，还包括：

阀开闭模块移送机构，产生用于使所述阀开闭模块相对于所述上部模块沿垂直方向移送的驱动力。

4.如权利要求2所述的气体供应装置，其特征在于，

所述上部模块包括：

下部板，在上部结合有用于使所述下部模块相对于所述上部模块沿水平方向移送的水平移送引导件；以及

第二垂直移送引导件结合板，在所述下部板的底面以具有垂直方向的长度的方式结合，

所述阀开闭模块包括：第二垂直移送引导件支撑部件，以在与所述第二垂直移送引导件结合板之间配备所述第二垂直移送引导件的方式设置为与所述第二垂直移送引导件结合板对向，从而与所述发开闭模块一同沿垂直方向移送。

5.如权利要求2所述的气体供应装置，其特征在于，

所述阀开闭模块包括：

第二垂直移送引导件支撑部件，结合有所述第二垂直移送引导件，并具有垂直方向的长度；

第一水平板，垂直地结合于所述第二垂直移送引导件支撑部件，并具有垂直方向的长度；以及

阀开闭模块主体，结合于所述第一水平板的下部，并包括手柄结合部，所述手柄结合部使开闭所述阀部的阀的手柄插入。

6.如权利要求2所述的气体供应装置，其特征在于，

所述阀开闭模块包括：

阀开闭模块主体，包括手柄结合部，所述手柄结合部使开闭所述阀部的阀的手柄插入；以及

第一水平板，配备为与所述阀开闭模块主体一同借由所述第二垂直移送引导件沿垂直方向移送，并实现所述阀开闭模块主体的相对旋转。

7.如权利要求6所述的气体供应装置，其特征在于，

所述阀开闭模块包括：

第二水平板，配备于所述第一水平板的下部；以及

结合强度调节部，将所述第一水平板和第二水平板结合，并且能够调节所述结合的强度，

其中，若在所述结合强度调节部使结合强度变强，则所述阀开闭模块主体相对于所述第一水平板不进行相对旋转，

若在结合强度调节部使所述结合强度变弱，则所述阀开闭模块主体相对于所述第一水平板进行相对旋转。

8.如权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，

所述结合强度调节部包括：

轴部件，形成有螺栓结合于所述第一水平板的螺栓部，并沿上下贯通所述第二水平板；以及

手把部，形成为在所述轴部件的下端部与所述轴部件形成为一体，以能够旋转所述轴部件。

9.如权利要求6所述的气体供应装置，其特征在于，

所述阀开闭模块包括：

第二水平板，配备于所述第一水平板的下部，并形成有圆弧形状的引导孔，而且结合有所述阀开闭模块主体；以及

轴部件，结合于所述第一水平板，并插入于所述引导孔，

其中，若旋转所述阀开闭模块主体和第二水平板，则所述轴部件在所述引导孔内移动。

10.如权利要求2所述的气体供应装置，其特征在于，

所述上部模块配备有多个板，

所述阀开闭模块的一侧结合于所述第二垂直移送引导件，并且在另一侧配备有能够与所述多个板中的一个结合或分离的结合分离部。

11.如权利要求10所述的气体供应装置，其特征在于，

在所述多个板中的某一个配备有使所述结合分离部结合的卡接部，

所述结合分离部包括卡接于所述卡接部而实现结合或者使卡接解除而分离的卡接部件。

12.如权利要求10所述的气体供应装置，其特征在于，

所述阀开闭模块包括：

阀开闭模块主体，包括插入使所述阀部的阀开闭的手柄的手柄结合部；以及

第一水平板，配备为与所述阀开闭模块主体一同借由所述第二垂直移送引导件沿垂直方向移送，并实现所述阀开闭模块主体的相对旋转，

所述结合分离部还包括结合于所述第一水平板的结合部主体和结合于所述结合部主体的销，

所述卡接部件以所述销为中心转动，从而卡接于所述卡接部或者解除卡接。

13.如权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，

在所述上部模块配备有用于将所述下部模块沿水平方向移送的水平移送引导件。

14.如权利要求13所述的气体供应装置，其特征在于，

所述水平移送引导件包括：

第一水平移送引导件，为了使所述下部模块沿作为水平方向中的某一个的第一方向移送而配备；

第二水平移送引导件，用于引导所述下部模块沿水平方向中的与所述第一方向垂直的第二方向移送。

15.如权利要求14所述的气体供应装置，其特征在于，

上部板、中部板以及下部板彼此相隔地从上部到下部配备于所述上部模块，

在所述上部板和中间板之间配备有所述第一水平移送引导件，

在所述中间板和下部板之间配备有所述第二水平移送引导件。

16.如权利要求13所述的气体供应装置，其特征在于，

所述下部模块包括借由与配备于所述阀部的第一对准部的结合而实现与所述容器的对准的第二对准部。

17.如权利要求16所述的气体供应装置，其特征在于，

在所述盖以未插入于所述盖分离部的状态设置为彼此对向的情况下，当进行所述对准时，所述第一对准部和所述第二对准部的一部分能够结合。

18.如权利要求17所述的气体供应装置，其特征在于，

所述第一对准部和第二对准部中的某一个构成为具有水平方向的长度的销形状的对准销，剩余一个构成为插入所述对准销的对准销插入槽。

19.如权利要求17所述的气体供应装置，其特征在于，

所述第一对准部配备于结合在所述阀部的固定块，

用于结合于在所述固定块配备为相邻于所述第一对准部的第一结合部的第二结合部配备为在所述下部模块相邻于所述第二对准部，

若所述第二对准部朝所述第一对准部方向移送，使所述第一对准部和第二对准部从一部分结合状态变为完全结合状态，则所述第一结合部和第二结合部结合，从而维持所述固定块和所述下部模块的结合状态。

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