TWI833994B - 氣體供應裝置 - Google Patents

Abstract

本發明的目的在於提供一種氣體供應裝置：可以在替換氣體儲藏容器時將向蓋分離部及連接器緊固部提供旋轉驅動力的致動器設置於與設置有蓋分離部及連接器緊固部的位置隔開的位置的同時能夠順暢地傳遞旋轉驅動力。用於實現此目的的本發明包括：蓋分離部，將覆蓋容器上端的閥部所配備的閥連接器的蓋分離；連接器緊固部，用於將連接於氣體需求處的連接配管連接器連接到閥連接器；致動器，為了蓋的分離以及將連接配管連接器連接到閥連接器而向蓋分離部和連接器緊固部提供旋轉驅動力；以及動力傳遞部，將致動器的旋轉驅動力傳遞至蓋分離部及連接器緊固部且構成為實現平移及搖動，並且配備為將致動器可設置於與設置有蓋分離部及連接器緊固部的位置隔開的位置。

Description

氣體供應裝置

本發明涉及一種氣體供應裝置，尤其涉及一種如下的氣體供應裝置，即，在替換氣體存儲容器時，使向蓋分離部及連接器緊固部提供旋轉驅動力的致動器可以設置於與設置有蓋分離部及連接器緊固部的位置隔開的位置的同時能夠順暢地傳遞旋轉驅動力。

通常，對於向利用氣體的裝置（尤其，向諸如半導體設備的執行精密作業的氣體需求處）供應氣體的裝置而言，要求適合各種目的的種類的氣體滿足預定的濃度和壓力等。

為了有效地提供氣體，許多種類的氣體在高壓狀態下保管，尤其，具有易燃性、毒性、腐蝕性等有害特性的氣體在與人類隔離的單獨的空間進行嚴格管理。

保管氣體的氣體儲存容器（以下，簡稱為「容器」）連接於氣體需求處，若保管在容器的氣體被全部消耗，則將連接於氣體需求處的連接配管從氣體容器分離並替換容器，之後將連接於氣體需求處的連接配管連接器結合到替換後的容器的閥連接器並再次供應氣體。

在這樣替換容器的情況下，操作者必須將容器放置在容器裝載部的正常位置，但是若沒有配備用於將容器放置到正常位置的自動化裝置，則存在操作者難以將容器準確地放置到正常位置的問題。

當然，若配備有自動化裝置，則能夠將容器放置到正常位置，但是存在裝置的構成複雜且製造成本高的問題。

考慮到這樣的問題，正在開發一種半自動式氣體供應裝置：當替換容器時，在將容器放置於容器裝載部之後，將配備有閥連接器的模塊移動至操作者手動設定的位置而執行對準（align）作業，並且若如上所述的對準作業結束，則以自動化方式執行容器替換作業。

然而，現有的氣體供應裝置構成為如下的結構：提供用於使蓋分離部和連接器緊固部旋轉的驅動力的致動器一同安裝到設置有所述蓋分離部及連接器緊固部的模塊，其中，所述蓋分離部分離覆蓋在容器上端的閥部配備的閥連接器的蓋，連接器緊固部用於將連接於氣體需求處的連接配管連接器連接到閥連接器。因此，模塊的重量及體積變大，導致設置空間受到限制，並且存在操作者難以進行手動移動模塊以進行對準的操作的問題。

並且，如上所述的現有的氣體供應裝置存在如下問題：當致動器發生故障時不易替換致動器，並且即使發生由於致動器故障而導致的緊急狀況，也沒有應對方法，從而可能引起更大的事故。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

韓國公開專利 第10-1998-0056124號

韓國授權專利 第10-0857212號

韓國授權專利 第10-1360312號

本發明是為瞭解決上述的各種問題而提出的，其目的在於提供一種如下的氣體供應裝置：在替換氣體存儲容器時，使向蓋分離部及連接器緊固部提供旋轉驅動力的致動器可以設置於與設置有蓋分離部及連接器緊固部的位置隔開的位置的同時能夠順暢地傳遞旋轉驅動力。

用於實現上述目的的本發明的一種氣體供應裝置包括：蓋分離部，分離蓋，該蓋覆蓋容器上端的閥部所配備的閥連接器；連接器緊固部，用於將連接於氣體需求處的連接配管連接器連接到所述閥連接器；致動器，為了所述蓋的分離以及將所述連接配管連接器連接到所述閥連接器而向所述蓋分離部和所述連接器緊固部提供旋轉驅動力；以及動力傳遞部，將所述致動器的旋轉驅動力傳遞至所述蓋分離部及所述連接器緊固部且構成為實現平移及搖動，並且配備為將所述致動器設置於與設置有所述蓋分離部及所述連接器緊固部的位置隔開的位置。

所述動力傳遞部的一側端可以結合於所述致動器的旋轉軸，另一端結合於向所述蓋分離部和所述連接器緊固部傳遞所述旋轉驅動力的連接軸。

所述動力傳遞部可拆裝地結合於所述連接軸，且在所述連接軸的端部形成有多邊形部，使得當分離所述動力傳遞部時能夠利用工具進行旋轉操作。

所述動力傳遞部可以構成為包括：第一軛，結合於所述致動器的旋轉軸；管，以第一十字軸為媒介可搖動地連接於所述第一軛；花鍵軸，可平移運動地連接於所述管；第二軛，以第二十字軸為媒介可搖動地連接於所述花鍵軸，並且可拆裝地結合於所述連接軸。

所述動力傳遞部可以利用兩端可拆裝地結合於所述致動器的旋轉軸和所述連接軸的撓性軸構成。

還可以包括：相互嚙合的多個齒輪，以將傳遞到所述連接軸的致動器的旋轉驅動力傳遞至所述蓋分離部及所述連接器緊固部。

所述多個齒輪可以包括：蝸桿，結合於所述連接軸的外圍；蝸輪，嚙合於所述蝸桿，並且將傳遞到所述連接軸的旋轉驅動力的旋轉方向轉換為垂直的方向；第一平齒輪，與所述蝸輪結合於相同的軸；第二平齒輪，嚙合於所述第一平齒輪的一側，並且與所述蓋分離部結合於相同的軸；以及第三平齒輪，嚙合於所述第二平齒輪的一側，並且與所述連接器緊固部結合於相同的軸。

還可以包括：上部模塊，配備有在從所述閥部向上側隔開的位置固定設置的上部板；以及下部模塊，包括所述蓋分離部、所述連接器緊固部和通過與配備於所述第一閥部的第一對準部的結合而實現與所述容器的對準的第二對準部，其中，所述下部模塊能夠相對於所述上部模塊而沿水平方向和垂直方向移送，其中，在所述蓋沒有插入到所述蓋分離部的狀態下，在所述蓋與所述蓋分離部以對向的方式對準時，配備為所述第一對準部與第二對準部的一部分能夠結合。

所述第一對準部和第二對準部中的任意一個可以構成為具有水平方向的長度的銷形狀的對準銷，另一個構成為所述對準銷插入的對準銷插入槽。

所述第一對準部可以配備於與所述閥部結合的固定塊，在所述下部模塊鄰近於所述第二對準部而配備有第二結合部用於結合到在所述固定塊鄰近於所述第一對準部而配備的第一結合部，若所述第二對準部向所述第一對準部方向移送，使得所述第一對準部與第二對準部從一部分結合狀態成為完全結合狀態，則所述第一結合部與第二結合部結合，從而保持所述固定塊與所述下部模塊的結合狀態。

在所述下部模塊可以結合有對準塊，所述第二結合部利用配備於所述對準塊而朝向所述第一結合部凸出的固定塊結合部件而構成，所述第一結合部構成為形成於所述固定塊的固定槽，以使所述固定塊結合部件插入。

若在旋轉所述蓋分離部的狀態下沿所述閥部方向移送所述下部模塊，則所述第一對準部與第二對準部可以從一部分結合狀態成為完全結合狀態，並且所述蓋與蓋分離部的槽的形狀吻合而插入到所述蓋分離部的槽。

所述下部模塊可以構成為相對於所述上部模塊能夠沿水平方向旋轉的同時直線移動。

在所述上部模塊可以配備有：第一移送引導件，為了引導所述下部模塊沿作為水平方向中的某一個的第一方向移送而配備；以及第二移送引導件，為了引導所述下部模塊沿水平方向中與第一方向垂直的第二方向移送。

在所述上部模塊中，所述上部板、中間板、下部板可以從上部向下部彼此隔開配備，所述第一移送引導件配備於所述上部板與中間板之間，所述第二移送引導件配備於所述中間板與下部板之間。

在所述上部模塊可以配備有：第三移送引導件，用於引導所述下部模塊的垂直方向移送。

在所述下部模塊可以配備有：連接器緊固部移送機構，用於將所述蓋分離部和連接器緊固部相對於所述閥部沿左右方向和前後方向一體地移送；旋轉機構，用於使所述蓋分離部和連接器緊固部旋轉，其中，所述氣體供應裝置配備有：控制部，用於控制所述移送機構的移送及所述旋轉機構的旋轉。

在所述上部模塊可以配備有：第三移送引導件，用於引導所述下部模塊的垂直方向移送；閥開閉部，用於旋轉用於使所述閥部的閥開閉的手柄；閥開閉部移送機構，用於與根據所述第三移送引導件的垂直方向移送獨立地將所述閥開閉部沿垂直方向移送。

根據本發明的氣體供應裝置，通過利用動力傳遞部將致動器的旋轉驅動力傳遞至蓋分離部和連接器緊固部，從而能夠減小設置蓋分離部和連接器緊固部的下部模塊的重量和體積，並且由於致動器的設置位置不受限制，因此能夠有效地利用氣體供應裝置內部空間。

並且，致動器配備於與下部模塊分離的位置，從而能夠減小下部模塊的重量和體積，因此當替換氣體儲藏容器時，能夠手動地移動下部模塊，從而簡便地執行對準操作，使得蓋與蓋分離部對向。

並且，動力傳遞部能夠平移及搖動，或者可以撓性移動，從而即使與動力傳遞部連接的緊固部移動，也能夠不發生負荷地順暢地傳遞致動器的旋轉驅動力。

並且，當致動器發生故障的緊急狀況時，通過將動力傳遞部從連接軸分離，之後使用工具手動地對形成於連接軸端部的多邊形部進行旋轉操作，能夠替換氣體儲藏容器，並且能夠應付危急狀況。

並且，下部模塊能夠沿竪直方向升降移動，同時當水平方向移送時實現對準，從而能夠防止對準部的破損，並且下部模塊相對於上部模塊可旋轉，從而能夠更準確地進行對準。

並且，即使操作者未將容器置於容器裝載部的準確位置也能夠實現容器的準確對準，因此作業便利。

以下，參照附圖對關於本發明的優選實施例的構成及作用進行詳細說明。

在此，對方向進行命名時，將圖1所示的X軸稱為前後方向，Y軸稱為左右方向，Z軸稱為垂直方向。並且，水平方向包括由XY平面構成的所述左右方向和前後方向。

參照圖1，本發明的氣體供應裝置1包括：蓋分離部320（圖12），分離蓋31，該蓋31覆蓋容器10上端的閥部所配備的閥連接器30（圖7）；連接器緊固部330（圖12），用於將連接於氣體需求處的連接配管連接器331（圖12）連接到所述閥連接器30；致動器600，為了所述蓋31的分離以及將所述連接配管連接器331連接到所述閥連接器30而向所述蓋分離部320和所述連接器緊固部330提供旋轉驅動力；以及動力傳遞部700，將所述致動器600的旋轉驅動力傳遞至所述蓋分離部320及所述連接器緊固部330且構成為實現平移及搖動，並且配備為可將致動器600設置於與設置有所述蓋分離部320及所述連接器緊固部330的位置隔開的位置。

所述致動器600可以通過所述動力傳遞部700與設置有所述蓋分離部320及所述連接器緊固部330的下部模塊3分離，進而固定設置於與所述下部模塊3隔開佈置的固定部件601。

參照圖2至圖6，所述動力傳遞部700的一側端結合於所述致動器600的旋轉軸610，另一端結合於向所述蓋分離部320和所述連接器緊固部330傳遞所述旋轉驅動力的連接軸810。

所述動力傳遞部700可拆裝地結合於所述連接軸810，在所述連接軸810的端部形成有當分離所述動力傳遞部700時能夠利用扳手等工具進行旋轉操作的多邊形部811（圖5）。

在本實施例中以所述多邊形部811構成為四邊形的情形為示例進行了說明，然而除了四邊形之外，所述多邊形部811可以多樣地變形實施為六邊形、八邊形等。

作為一實施例，所述動力傳遞部700可以構成為包括：第一軛710，結合於所述致動器600的旋轉軸610；管730，以第一十字軸720為媒介與所述第一軛710可搖動地連接；花鍵軸740，與所述管730可平移運動地連接；第二軛760，以第二十字軸750為媒介與所述花鍵軸740可搖動地連接，並且可拆裝地結合於所述連接軸810。

根據如上所述的構成，所述動力傳遞部700配備為：通過所述第一十字軸720和第二十字軸750的構成使得第一軛710與管730下端的軛部731能夠相互搖動，所述花鍵軸740上端的軛部741與第二軛760能夠相互搖動，所述花鍵軸740能夠沿管730的內側面進行平移運動。

作為另一實施例，所述動力傳遞部700可以利用兩端可拆裝地結合於所述致動器600的旋轉軸610和所述連接軸810的撓性軸（未圖示）。所述撓性軸構成為可以彎曲成多種角度而能夠順暢地傳遞旋轉驅動力，可以採用公知的多種形態的撓性軸。

如上所述，本發明的氣體供應裝置1通過利用動力傳遞部700將致動器600的旋轉驅動力傳遞至蓋分離部320和連接器緊固部330，從而能夠減小設置所述蓋分離部320和連接器緊固部330的下部模塊3的重量和體積，並且由於致動器600的設置位置不受限制，因此能夠有效地利用氣體供應裝置1內部空間。

並且，所述致動器600配備於與下部模塊3分離的位置，從而能夠減小下部模塊3的重量和體積，因此當替換氣體儲藏容器10時，如後文所述，能夠手動地移動下部模塊3，從而簡便地執行使蓋31（圖7）與蓋分離部320對準的對準操作。

並且，動力傳遞部700能夠平移及搖動，或者可以撓性移動，從而即使與動力傳遞部700連接的緊固部移動，也能夠不發生負荷而順暢地傳遞致動器600的旋轉驅動力。

並且，當致動器600發生故障的緊急狀況時，通過使用工具將動力傳遞部700從連接軸810分離，之後使用工具手動地對形成於連接軸810端部的多邊形部811進行旋轉操作，能夠替換氣體儲藏容器10，並且能夠應付危急狀況。

另外，參照圖6，為了將傳遞到所述連接軸810的致動器600的旋轉驅動力傳遞至所述蓋分離部320及所述連接器緊固部330，還可以包括相互嚙合的多個齒輪820、830、840、850、860。

作為一實施例，所述多個齒輪820、830、840、850、860可以包括：蝸桿820，結合於所述連接軸810的外圍；蝸輪830，嚙合於所述蝸桿820，並且將傳遞到所述連接軸810的旋轉驅動力的旋轉方向轉換為垂直的方向；第一平齒輪840，結合於與所述蝸輪830相同的軸；第二平齒輪850，嚙合於所述第一平齒輪840的一側，並且與所述蓋分離部320結合於相同的軸；以及第三平齒輪860，嚙合於所述第二平齒輪850的一側，並且與所述連接器緊固部330結合於相同的軸。

根據如上所述的構成，可以以一個致動器600為驅動源而向所述蓋分離部320及所述連接器緊固部330傳遞旋轉驅動力，從而能夠簡化動力傳遞結構。

以下，對構成本發明的氣體供應裝置1的上部模塊2和下部模塊3的構成以及替換容器10時的對準過程進行說明。

參照圖1，本發明的氣體供應裝置1形成為包括：上部模塊2，包括在從配備於容器10上端的閥部向上側隔開的位置固定設置的上部板211；下部模塊3，包括第二對準部351（圖14），並且能夠相對於所述上部模塊2沿垂直方向升降移送，其中，第二對準部351（圖14）配備於所述上部模塊2的下部，並且當水平方向移送時通過與配備於所述容器10側的第一對準部512（圖7）結合而實現所述容器10的對準。

在所述上部模塊2配備有閥開閉部400，所述閥開閉部400配備為能夠與所述下部模塊3的垂直方向移送獨立地沿垂直方向移送，且用於旋轉配備於所述閥部上端的手柄50而開閉所述閥部的閥。

參照圖7，所述容器10為用於儲藏並供應向半導體裝置等氣體需求處供應的工程氣體的構成，且在容器10的上部配備有所述閥部。

所述閥部構成為包括：閥（未圖示），用於限制氣體的供應；閥連接器30，配備於所述閥的一側而緊固於下部模塊3的連接器緊固部330（圖12）；閥關閉器（未圖示），開閉所述閥；手柄50，連接於所述閥關閉器的上部，通過旋轉而使閥關閉器升降，從而開閉閥。

在所述閥部結合有固定塊510、520、530。在所述固定塊510、520、530配備有所述第一對準部512。

所述固定塊510、520、530可以包括包圍所述閥部的第一固定塊510、第二固定塊520及第三固定塊530。

若通過所述第二固定塊520及第三固定塊530的結合而包圍所述閥部，則所述閥部中的所述閥連接器30及蓋31相對於所述固定塊520、530而向側方向凸出並暴露，所述閥部中的所述手柄50相對於所述固定塊520、530向上方向凸出並暴露。

所述第一固定塊510構成為具有Y軸方向的長度的四稜柱形狀，並且在所述Y軸方向的一側面結合有所述第二固定塊520，在X軸方向的一側面結合有所述第一對準部512。

所述第一對準部512可以構成為凹陷地形成於所述X軸方向的一側面的對準銷插入槽512。

參照圖14，所述第二對準部351可以構成為從後文所述的下部模塊3的對準塊350向作為與所述第一對準部512相面對的方向的X軸方向凸出而具有水平方向的長度的對準銷351。

通過使所述對準銷351插入到所述對準銷插入槽512而實現所述容器10的對準。

在本實施例中，以第一對準部512構成為對準銷插入槽，第二對準部351構成為對準銷的情形為示例進行了說明，然而也可以將第一對準部構成為對準銷，將第二對準部構成為對準銷插入槽。

並且，在本實施例中，以對準銷插入到對準銷插入槽的情形為示例進行了說明，然而並不局限於此，第一對準部與第二對準部也可以構成為緊固或結合。將所述第一對準部與第二對準部插入、緊固、結合的方式統稱定義為「結合」。

所述第一固定塊510在與所述第一對準部512鄰近的位置配備有第一結合部511，與所述第一結合部511實現結合的第二結合部352配備於所述下部模塊3的對準塊350。

所述第一結合部511可以形成為：與所述第一對準部512在所述第一固定塊510所形成的面相同的面在X軸方向上凹陷地形成的固定槽511。

所述第二結合部352可以形成為：在對準塊350的與所述第二對準部351鄰近的位置朝向所述第一結合部511凸出的固定塊結合部件352。

在所述第二結合部352的外側面配備有多個凸起352a，所述多個凸起352a被配備於內部的彈簧（未圖示）彈性支撐。在所述固定槽511的內部形成有所述凸起352a插入的凸起插入槽（未圖示）。若所述固定塊結合部件352插入到所述固定槽511，則所述凸起352a插入到所述凸起插入槽，從而防止所述固定塊結合部件352從所述固定槽511脫離，進而可以保持所述下部模塊3結合於所述第一固定塊510的狀態。

在將所述固定塊結合部件352從固定槽511拔出的情況下，若供應空氣（air）而使所述凸起352a克服所述彈簧的彈力而從固定塊結合部件352的表面進入到內側，則所述凸起352a從所述凸起插入槽脫離。因此，所述固定塊結合部件352可以從固定槽511脫離。

參照圖8至圖11，在所述上部模塊2配備有上部板211、中間板212、下部板213、第一移送引導件220、第二移送引導件230、第三移送引導件241、242、閥開閉部400。

所述上部板211構成為平板形狀，結合於諸如未圖示的機櫃等位置被固定的相對物。

所述中間板212也構成為平板形狀，並且以中間部較高的方式構成為階梯形狀，配備為與所述上部板211的下部隔開。

所述下部板213也構成為平板形狀，並且配備為與所述中間板212的下部隔開。

所述第一移送引導件220可以配備於所述上部板211與中間板212之間，且構成為引導包括所述中間板212、第二移送引導件230、下部板213、第三移送引導件241、242、下部模塊3及閥開閉部400的所有連接於所述中間板212的下部的部件沿作為水平方向的Y軸方向（第一方向）移送的LM引導件。

所述第二移送引導件230可以配備於所述中間板212與下部板213之間，且構成為引導包括所述下部板213、第三移送引導件241、242、下部模塊3及閥開閉部400的所有連接於所述下部板213的下部的部件沿作為水平方向的與Y軸方向垂直的X軸方向（第二方向）移送的LM引導件。

在所述下部板213，在Y軸方向的兩側面結合有一對移送引導件結合板243、244，在與所述一對移送引導件結合板243、244隔開的位置配備有一對移送引導件支撐部件251、252。

所述一對移送引導件結合板243、244在所述下部板213的一側與另一側配備為對向，並且構成為具有上下方向的長度的板形狀。

所述一側的移送引導件支撐部件251和另一側的移送引導件支撐部件252構成為具有上下方向的長度的矩形的板形狀，並且從所述一側的移送引導件結合板243和另一側的移送引導件結合板244分別向Y軸方向的外側隔開配備。

在所述一側的移送引導件結合板243與移送引導件支撐部件251之間、所述另一側的移送引導件結合板244與移送引導件支撐部件252之間分別配備有第三移送引導件241、242。

在所述一側的移送引導件支撐部件251和另一側的移送引導件支撐部件252的下端部分別結合有具有Y軸方向的長度的矩形形狀的底板253的一側面和另一側面。在所述底板253的下部結合有所述下部模塊3。

所述第三移送引導件241、242可以構成為：引導所述一對移送引導件支撐部件251、252、底板253以及結合於所述底板253的下部模塊3一體地沿垂直方向移送的LM引導件。

在所述第一移送引導件至第三移送引導件220、230、241、242未連接驅動機構，而僅起到使操作者能夠手動移送的引導功能。即，若操作者用手抓持下部模塊3並沿X軸、Y軸、Z軸方向施加力，則在施加力的方向上沿各個移送引導件移送下部模塊3。

在所述第一移送引導件220和第三移送引導件241、242可以配備有起到制動功能的制動部。

可以配備有水平方向制動部225，其中，在被所述第一移送引導件220引導而沿第一方向移送的情況下，所述水平方向制動部225執行用於在特定位置保持停止狀態的制動功能。

可以配備有垂直方向制動部260，其中，在借助於所述第三移送引導件241、242沿垂直方向移送的情況下，所述垂直方向制動部260執行用於在特定位置保持停止狀態的制動功能。

所述水平方向制動部225和垂直方向制動部260可以構成為：在利用彈簧（未圖示）的按壓力抓持LM引導件的軌道的狀態下保持制動力，而若供應空氣（air）而從軌道去除所述彈簧的按壓力，則解除制動力。

可以配備有用於施加所述水平方向制動部225和垂直方向制動部260的操作信號的開關盒270。

所述開關盒270配備有：第一開關271，用於施加及解除所述水平方向制動部225和垂直方向制動部260的制動力；第二開關272，用於後文所述的連接器緊固部330和蓋分離部320的旋轉及停止。所述第一開關271和第二開關272既可以構成為以操作者用手操作的方式，也可以如電磁閥一樣地構成為不用手操作而打開/關閉的方式。

在操作者按壓所述開關盒270的第一開關271而處於操作的狀態下，可以通過供應空氣（air）解除所述水平方向制動部225和垂直方向制動部260的制動力，從而下部模塊3被第一移送引導件220和第三移送引導件241、242引導而沿Y軸及Z軸方向自由移動。當操作者將手離開第一開關271而解除開關的操作的瞬間，開關可以借助於彈簧的力自動恢復，使得所述水平方向制動部225和垂直方向制動部260的制動力被施加，從而保持下部模塊3不移動而被固定的狀態。

所述第二開關272可以構成為撥動開關。所述第二開關272配備為能夠使所述連接器緊固部330和蓋分離部320沿正方向旋轉或者沿反方向旋轉。

所述下部模塊3的上部和所述上部模塊2的下部可以構成為通過固定銷結合，在所述下部模塊3和上部模塊2中的任意一個結合有至少一個引導銷，並且在另一個形成有所述引導銷插入的引導銷插入孔，使得下部模塊3能夠以所述固定銷為旋轉中心而旋轉。參照圖8對如上所述的構成的一例進行說明。

參照圖13，在所述底板253的中央形成有固定銷254插入的固定銷插入孔（未圖示），在所述固定銷插入孔的兩側部形成有一對引導銷插入孔253a、253b。

所述引導銷插入孔253a、253b可以構成為具有X軸方向的長度的長孔。在所述一對引導銷插入孔253a、253b分別插入有一對引導銷255、256。

所述固定銷254和引導銷255、256的頭部向底板253的上部暴露，軀幹部分別插入到固定銷插入孔和引導銷插入孔253a、253b，下端部螺紋結合與後文所述的下部模塊3的上部殼體311。所述固定銷254以穿過所述固定銷插入孔的方式插入，從而能夠相對於底板253旋轉。

所述引導銷插入孔253a、253b分別構成為長孔，從而所述引導銷255、256能夠沿所述引導銷插入孔253a、253b的長度方向移動。並且，為了能夠使引導銷255、256以固定銷254為中心旋轉，所述引導銷插入孔253a、253b可以形成為圓弧形狀。

若如上所述地構成，則所述下部模塊3能夠相對於所述上部模塊2沿水平方向旋轉。即，若操作者沿欲使下部模塊3旋轉的方向施加力，則下部模塊3以固定銷254為旋轉中心旋轉。在這種情況下，所述引導銷255、256在引導銷插入孔253a、253b內被引導，並且旋轉角度被引導銷插入孔253a、253b的長度所限制。

如上所述，所述下部模塊3能夠相對於所述上部模塊2沿水平方向旋轉，與此同時，能夠借助於第一移送引導件至第三移送引導件220、230、241、242沿X軸、Y軸、Z軸方向直線移動，因此操作者能夠容易地進行對準，並且能夠實現準確的對準，因此當對準時能夠防止第一對準部512與第二對準部351碰撞。

所述閥開閉部400配備為能夠旋轉用於使所述閥部的閥開閉的手柄50。

所述閥開閉部400包括：手柄結合部410，所述手柄50插入到內部空間411；手柄驅動部420，提供用於使所述手柄結合部410旋轉的驅動力。

在所述手柄結合部410的內部形成有多個手柄卡定部412，所述多個手柄卡定部412以對應於手柄50的形狀的方式向內側凸出而與手柄卡定，進而一體旋轉。若在所述手柄50插入到內部空間411的狀態下驅動手柄驅動部420，則手柄50旋轉而開閉閥部的閥。

配備有用於沿垂直方向移送所述閥開閉部400的閥開閉部移送機構（未圖示）。所述閥開閉部移送機構配備為與所述第三移送引導件241、242獨立地沿垂直方向移送。即，下部模塊3整體能夠被第三移送引導件241、242引導而沿垂直方向移動，在所述下部模塊3中，僅有閥開閉部400能夠單獨地借助於所述閥開閉部移送機構沿垂直方向移動。為此，所述閥開閉部移送機構可以包括用於引導沿垂直方向的移送的第四移送引導件430和提供能夠沿所述第四移送引導件430移送的驅動力的驅動部（未圖示）。所述第四移送引導件430可以構成為LM引導件。

參照圖12，對下部模塊3進行說明。

在所述下部模塊3配備有多個殼體311、312、313、314、蓋分離部320、連接器緊固部330、連接器緊固部移送機構340、對準塊350、插頭模塊360、墊片供應部370。

所述多個殼體311、312、313、314包括：上部殼體311，以板形狀配備於所述下部模塊3的上部；第一側面殼體312和第二側面殼體313，分別結合於所述上部殼體311的Y軸方向兩側；下部殼體314，與所述上部殼體311向下側隔開，並且兩側結合於所述第一側面殼體312和第二側面殼體313。

在所述上部殼體311結合有上部模塊2的固定銷254和引導銷255、256的下端部。所述上部殼體311、第一側面殼體312、第二側面殼體313及下部殼體314配備為包圍除了所述下部模塊3的前後方之外的上部、下部及兩側部。

所述蓋分離部320將覆蓋配備於所述閥部的閥連接器30的蓋31從所述閥連接器30分離。

所述蓋分離部320形成有槽，使得所述蓋31插入到內部，並且若在所述蓋31插入到所述蓋分離部320的槽的狀態下驅動旋轉機構（未圖示）而使所述蓋分離部320旋轉，則所述蓋31從所述閥連接器30分離。與此相反，可以驅動所述旋轉機構而將從所述蓋分離部320分離的蓋31結合於所述閥連接器30。

所述連接器緊固部330配備為能夠將連接於氣體需求處的連接配管連接器331結合於所述閥連接器30。若在所述連接器緊固部330與閥連接器30連接的狀態下開放閥（未圖示），則容器10內部的氣體通過閥連接器30和連接配管連接器331向氣體需求處供應。

所述連接器緊固部移送機構340沿左右方向（Y軸方向）和前後方向（X軸方向）一體地移送所述蓋分離部320和連接器緊固部330。所述連接器緊固部移送機構340可以包括：第一移送機構，用於沿前後方向一體地移送所述蓋分離部320和連接器緊固部330；第二移送機構，用於沿左右方向一體地移送所述蓋分離部320和連接器緊固部330。

所述第一移送機構可以包括用於沿前後方向進行移送的移送引導件和通過供應空氣（air）而施加移送力的氣缸。並且，所述第二移送機構可以包括用於沿左右方向進行移送的移送引導件和通過供應空氣（air）而施加移送力的氣缸。

所述旋轉機構使所述蓋分離部320和連接器緊固部330旋轉。所述旋轉機構包括發生旋轉力的馬達和減速器，並且包括用於向所述蓋分離部320和連接器緊固部330傳遞所述旋轉力的旋轉傳遞部件。

所述旋轉傳遞部件分別向蓋分離部320和連接器緊固部330傳遞所述旋轉力，若所述馬達驅動，則所述蓋分離部320和連接器緊固部330同時旋轉。與此不同，所述旋轉機構（未圖示）也可以構成為配備有兩個馬達，並且利用所述兩個馬達來使所述蓋分離部320和連接器緊固部330分別旋轉。

可以配備有控制部，所述控制部用於控制包括所述閥開閉部移送機構、連接器緊固部移送機構340和所述旋轉機構的本發明的整個氣體供應裝置。

可以配備有開放前方和後方並包圍左右和上下的內部殼體315，從而設置所述蓋分離部320和連接器緊固部330。所述內部殼體315可以結合於下部殼體314的上部。

所述對準塊350結合為在所述內部殼體315的前方端部凸出，並且大致構成為多面體形狀。在所述對準塊350的前方面，作為第二對準部351的對準銷351形成為朝向所述閥部凸出的形狀，而在所述對準銷351的側部，作為所述第二結合部352的固定塊結合部件352形成為朝向所述閥部凸出的形狀。

所述插頭模塊360構成為包括：插頭361，為了在閥連接器30與連接器緊固部330未緊固的狀態下防止異物流入到連接器緊固部330內部而結合於連接器緊固部330；插頭支撐部件362，用於支撐所述插頭361的端部；插頭支撐殼體363，所述插頭支撐部件362結合於該插頭支撐殼體363而得到支撐；插頭移送引導件364，用於沿前後方向一體地移送所述插頭361、插頭支撐部件362及插頭支撐殼體363；插頭模塊支撐台316，所述插頭移送引導件364結合於該插頭模塊支撐台316而得到支撐，並且結合於所述第一側面殼體312。

所述墊片供應部370用於在替換容器10時在所述連接配管連接器331安裝新的墊片，且構成為包括：墊片夾持器（未圖示），夾持墊片（未圖示）；墊片收容部（未圖示），收容多個墊片；墊片移送機構，為了將收容於所述墊片收容部的墊片安裝到所述連接配管連接器331而進行移送。所述墊片移送機構配備為在所述墊片夾持器夾持有墊片的狀態下沿Y軸方嚮往返移動。

參照圖14至圖17對根據本發明的氣體供應裝置的操作進行說明。

首先，為了替換容器，將新的容器10裝載於容器裝載部（未圖示）上。在這種情況下，由於水平方向制動部225和垂直方向制動部260為處於制動的狀態，因此下部模塊3不會沿Y軸方向及Z軸方向移動而保持被固定的狀態。

接下來，操作者按壓第一開關271。若按壓所述第一開關271，則所述水平方向制動部225和垂直方向制動部260的制動力解除，從而下部模塊3處於能夠被第一移送引導件220和第三移送引導件241、242引導而沿Y軸及Z軸方向自由移動的狀態。

在該狀態下，操作者向下部模塊3施加力而沿前後方向、左右方向、上下方向移動，從而如圖14所示，以第二對準部351與第一對準部512相面對的方式進行對準。在這種情況下，第二結合部352佈置為與第一結合部511相面對。

當如上所述地對準時，若操作者向下部模塊3施加力使其沿水平方向旋轉，則一對引導銷255、256以固定銷254為旋轉中心旋轉而在引導銷插入孔253a、253b內部沿前後方向移動，從而下部模塊3在XY平面上旋轉，因此能夠實現第一對準部512與第二對準部351的準確對準。

在圖14的狀態下，操作者繼續調節下部模塊3的位置，進而如圖15所示，僅有對準銷351的一部分插入到對準銷插入槽512。

圖14的狀態和圖15的狀態可以由於操作者的連續操作而通過一次操作實現。

如此，若操作者將下部模塊3沿前後方向、左右方向、上下方向移送額同時使其沿水平方向旋轉，則能夠易於將第一對準部512與第二對準部351對準。

另外，若對準銷351從對準塊350凸出的長度形成為大於作為第二結合部352的固定塊結合部件352從對準塊350凸出的長度，從而僅所述對準銷351的一部分插入到對準銷插入槽512，則第一結合部511與第二結合部352為未結合的狀態，並且蓋分離部320與被蓋31覆蓋的閥連接器30佈置為對向。

若處於這種狀態，則操作者將手離開第一開關271。若將手離開所述第一開關271，則水平方向制動部225和垂直方向制動部260被施加制動力，從而下部模塊3不會沿Y軸方向及Z軸方向移動而保持被固定的狀態。

在該狀態下，若操作者對第二開關272進行操作，則旋轉機構被驅動，從而所述蓋分離部320旋轉。作為一例，在所述蓋31的形狀構成為六邊形的情況下，所述蓋分離部320的槽也以與其對應的方式構成為六邊形。

在所述蓋分離部320的槽的六邊形與蓋31的六邊形的相位不一致的狀態下，若為了將蓋31插入到所述蓋分離部320的槽內部而使下部模塊3前進，則蓋分離部320與蓋31發生碰撞。

因此，在本發明中，若操作者對第二開關272進行操作而使蓋分離部320旋轉並使下部模塊3前進，則能夠在蓋分離部320的槽與蓋31的相位一致的瞬間實現蓋分離部320與蓋31的吻合，從而實現無碰撞地結合。

並且，也具有利用傳感器來感測蓋31的六邊形形狀而使其與蓋分離部320的相位一致的方法，然而根據本發明，無需配備傳感器。

若在圖15的狀態下進一步向前方推動下部模塊3，則如圖16所示，整個對準銷351插入到對準銷插入槽512而處於第一對準部512與第二對準部351的完全結合狀態。在這種情況下，第二結合部352插入到第一結合部511而凸起352a插入到所述凸起插入槽，從而能夠實現所述第一結合部511與第二結合部352的結合，進而下部模塊3不會沿X軸方向移動而保持被固定的狀態。並且，蓋31插入到蓋分離部320的槽。

若處於這種狀態，則下部模塊3沿Y軸及Z軸方向的移送通過水平方向制動部225和垂直方向制動部260被制動，沿X軸方向的移送通過第一結合部511與第二結合部352的結合而被制動，因此能夠針對X、Y、Z軸所有方向保持被固定的狀態。

若處於圖16的狀態，則之後的操作通過操作者施加操作信號而借助於控制部自動進行操作。

若通過所述控制部驅動旋轉機構而使蓋分離部320旋轉，同時驅動所述第一移送機構而使蓋分離部320向後方移動，則蓋31從閥連接器30分離。

在所述蓋31從閥連接器30分離之後，若驅動連接器緊固部移送機構340的第二移送機構，則如圖17所示，蓋分離部320和連接器緊固部330沿Y軸方向一體地移動，從而連接器緊固部330與閥連接器30佈置為相面對。

之後，驅動墊片移送機構，進而在墊片夾持器夾持有墊片的狀態下沿Y軸方向移送，從而墊片（未圖示）位於閥連接器30的端部。

接下來，若驅動連接器緊固部移送機構340的第一移送機構而向前方移送連接器緊固部330，同時驅動旋轉機構而旋轉連接器緊固部330，則閥連接器30結合於連接器緊固部330的連接配管連接器331，並且驅動墊片移送機構，從而墊片夾持器向從閥連接器30脫離的位置移動。

通過如上所述的過程，若在閥連接器30結合於連接配管連接器331的狀態下驅動閥開閉部移送機構的驅動部，則閥開閉部400被第四移送引導件430引導而沿垂直方向向下移動，並且手柄50插入到手柄結合部410的內部空間411。

若在手柄50插入到所述手柄結合部410的狀態下驅動手柄驅動部420，則手柄50旋轉而使閥部的閥開放，並且收容於容器10的氣體供應至氣體需求處。

根據如上所述的構成，下部模塊3能夠沿垂直方向升降，同時當水平方向移送時實現對準，從而能夠防止第一對準部和第二對準部的破損。並且，下部模塊3相對於上部模塊2可旋轉，從而能夠更準確地進行對準。並且，即使操作者未將容器10置於容器裝載部的準確位置也能夠實現容器的準確對準，因此操作便利。

如上所述，本發明並不限於上述的實施例，在本發明所屬的技術領域中具有基本知識的人員可以在不脫離權利要求範圍內的本發明的技術思想內實現顯而易見的變形，且這些變形實施例屬於本發明的範圍。

1:氣體供應裝置 2:上部模塊 3:下部模塊 10:容器 30:閥連接器 31:蓋 50:手柄 211:上部板 212:中間板 213:下部板 220:第一移送引導件 225:水平方向制動部 230:第二移送引導件 241、242:第三移送引導件 243、244:移送引導件結合板 251、252:移送引導件支撐部件 253:底板 253a、253b:引導銷插入孔 254:固定銷 255、256:引導銷 260:垂直方向制動部 270:開關盒 271:第一開關 272:第二開關 311:上部殼體 312:第一側面殼體 313:第二側面殼體 314:下部殼體 315:內部殼體 316:插頭模塊支撐台 317:支撐塊 320:蓋分離部 330:連接器緊固部 331:連接配管連接器 340:連接器緊固部移送機構 350:對準塊 351:第二對準部（對準銷） 352:第二結合部（固定塊結合部件） 352a:凸起 360:插頭模塊 361:插頭 362:插頭支撐部件 363:插頭支撐殼體 364:插頭移送引導件 370:墊片供應部 400:閥開閉部 410:手柄結合部 411:內部空間 412:手柄卡定部 420:手柄驅動部 430第四移送引導件 440:閥開閉部支撐部件 510、520、530:固定塊 511:第一結合部（固定槽） 512:第一對準部（對準銷插入槽） 600:致動器 601:固定部件 610:旋轉軸 700:動力傳遞部 710:第一軛 720:第一十字軸 730:管 731:軛部 740:花鍵軸 741:軛部 750:第二十字軸 760:第二軛 810:連接軸 811:多邊形部 820:蝸桿 830:蝸輪 840:第一平齒輪 850:第二平齒輪 860:第三平齒輪

圖1的（a）、（b）是從一側和另一側示出本發明的氣體供應裝置的立體圖。 圖2是示出在本發明的氣體供應裝置中結合有用於將致動器的動力傳遞至蓋分離部和連接器緊固部的動力傳遞部的情形的立體圖。 圖3是圖2所示的致動器和動力傳遞部的分解立體圖。 圖4是用於說明圖2所示的動力傳遞部的平移運動和搖動運動的圖。 圖5是示出當致動器發生故障時動力傳遞部的第二軛與連接軸分離的情形的立體圖。 圖6的（a）是示出用於將致動器的動力傳遞至蓋分離部和連接器緊固部的動力傳遞部的齒輪連接結構的實施例的立體圖，圖6的（b）是示出用於將致動器的動力傳遞至蓋分離部和連接器緊固部的動力傳遞部的齒輪連接結構的實施例的平面圖。 圖7是示出在本發明的氣體供應裝置中在容器的閥部結合有固定塊的狀態的立體圖。 圖8是示出本發明的氣體供應裝置的上部模塊的立體圖。 圖9是從與圖3不同的方向示出本發明的氣體供應裝置的上部模塊的立體圖。 圖10是示出從本發明的氣體供應裝置的上部模塊去除上部板的狀態的立體圖。 圖11是從下部觀察本發明的氣體供應裝置的上部模塊的立體圖。 圖12是示出本發明的氣體供應裝置的下部模塊的立體圖。 圖13是示出本發明的氣體供應裝置的上部模塊中的底板、固定銷及引導銷的圖。 圖14是示出在本發明的氣體供應裝置中第一對準部與第二對準部佈置為對向的狀態的平面圖。 圖15是示出在圖14的狀態下使下部模塊前進而使第一對準部與第二對準部部分結合的狀態的平面圖。 圖16是示出在圖15的狀態下使下部模塊進一步前進而使第一對準部與第二對準部完全結合的狀態的平面圖。 圖17是示出在圖16的狀態下蓋分離部從閥連接器分離且蓋分離部與連接器緊固部沿Y方向被一體地移送使得連接器緊固部佈置為與閥連接器對向的狀態的平面圖。

1:氣體供應裝置

2:上部模塊

3:下部模塊

10:容器

50:手柄

211:上部板

270:開關盒

400:閥開閉部

510:固定塊

600:致動器

601:固定部件

700:動力傳遞部

Claims (15)

1. 一種氣體供應裝置，係包括：蓋分離部，分離蓋，該蓋覆蓋容器上端的閥部所配備的閥連接器；連接器緊固部，用於將連接於氣體需求處的連接配管連接器連接到該閥連接器；固定部件，與該蓋分離部及該連接器緊固部隔開佈置；致動器，為了該蓋的分離以及將該連接配管連接器連接到該閥連接器而向該蓋分離部和該連接器緊固部提供旋轉驅動力，並且設置於該固定部件而與該蓋分離部及該閥連接器隔開配備；以及動力傳遞部，利用一側端可拆裝地結合於該致動器的旋轉軸並且另一端可拆裝地結合於向該蓋分離部和該連接器緊固部傳遞該旋轉驅動力的連接軸的撓性軸構成，從而將該致動器的旋轉驅動力傳遞給該蓋分離部及該連接器緊固部。
2. 根據請求項1所述的氣體供應裝置，其中該動力傳遞部可拆裝地結合於該連接軸，在該連接軸的端部形成有多邊形部，使得當分離該動力傳遞部時能夠利用工具進行旋轉操作。
3. 根據請求項1所述的氣體供應裝置，還包括相互嚙合的複數齒輪，以將傳遞到該連接軸的致動器的旋轉驅動力傳遞至該蓋分離部及該連接器緊固部。
4. 根據請求項3所述的氣體供應裝置，其中該等齒輪包括：蝸桿，結合於該連接軸的外圍；蝸輪，嚙合於該蝸桿，並且將傳遞到該連接軸的旋轉驅動力的旋轉方向轉換為垂直的方向； 第一平齒輪，與該蝸輪結合於相同的軸；第二平齒輪，嚙合於該第一平齒輪的一側，並且與該蓋分離部結合於相同的軸；以及第三平齒輪，嚙合於該第二平齒輪的一側，並且與該連接器緊固部結合於相同的軸。
5. 根據請求項1所述的氣體供應裝置，還包括：上部模塊，配備有在從該閥部向上側隔開的位置固定設置的上部板；以及下部模塊，包括該蓋分離部、該連接器緊固部和通過與配備於該閥部的第一對準部的結合而實現與該容器的對準的第二對準部，其中，該下部模塊能夠相對於該上部模塊而沿水平方向和垂直方向移送，其中，在該蓋沒有插入到該蓋分離部的狀態下，在該蓋與該蓋分離部以對向的方式對準時，配備為該第一對準部與第二對準部的一部分能夠結合。
6. 根據請求項5所述的氣體供應裝置，其中該第一對準部和該第二對準部中的任意一個構成為具有水平方向的長度的銷形狀的對準銷，另一個構成為該對準銷插入的對準銷插入槽。
7. 根據請求項5所述的氣體供應裝置，其中該第一對準部配備於與該閥部結合的固定塊，在該下部模塊鄰近於該第二對準部而配備有第二結合部，用於結合到在該固定塊鄰近於該第一對準部而配備的第一結合部，若該第二對準部向該第一對準部方向移送，使得該第一對準部與該第二對準部從一部分結合狀態成為完全結合狀態，則該第一結合部與該第二結合部結合，從而保持該固定塊與該下部模塊的結合狀態。
8. 根據請求項7所述的氣體供應裝置，其中在該下部模塊結合有對準塊，該第二結合部利用配備於該對準塊而朝向該第一結合部凸出的固定塊結合部件而構成，該第一結合部構成為形成於該固定塊的固定槽，以使該固定塊結合部件插入。
9. 根據請求項7所述的氣體供應裝置，其中若在旋轉該蓋分離部的狀態下沿該閥部方向移送該下部模塊，則該第一對準部與該第二對準部從一部分結合狀態成為完全結合狀態，並且該蓋與蓋分離部的槽的形狀吻合而插入到該蓋分離部的槽。
10. 根據請求項5所述的氣體供應裝置，其中該下部模塊相對於該上部模塊能夠沿水平方向旋轉的同時直線移動。
11. 根據請求項5所述的氣體供應裝置，其中在該上部模塊配備有：第一移送引導件，為了引導該下部模塊沿作為水平方向中的某一個的第一方向移送而配備；以及第二移送引導件，為了引導該下部模塊沿水平方向中與第一方向垂直的第二方向移送。
12. 根據請求項11所述的氣體供應裝置，其中在該上部模塊中，該上部板、中間板、下部板從上部向下部彼此隔開配備，該第一移送引導件配備於該上部板與該中間板之間，該第二移送引導件配備於該中間板與該下部板之間。
13. 根據請求項5所述的氣體供應裝置，其中在該上部模塊配備有第三移送引導件，用於引導該下部模塊的垂直方向移送。
14. 根據請求項5所述的氣體供應裝置，其中該下部模塊配備有連接器緊固部移送機構，用於將該蓋分離部和該連接器緊固部相對於該閥部沿左右方向和前後方向一體地移送；旋轉機構，用於使該蓋分離部和該連接器緊固部旋轉，其中，該氣體供應裝置配備有控制部，用於控制該移送機構的移送及該旋轉機構的旋轉。
15. 根據請求項5所述的氣體供應裝置，其中在該上部模塊配備有：第三移送引導件，用於引導該下部模塊的垂直方向移送；閥開閉部，用於旋轉用於使該閥部的閥開閉的手柄；以及閥開閉部移送機構，用於與根據該第三移送引導件的垂直方向移送獨立地將該閥開閉部沿垂直方向移送。