TWI833993B - 氣體供應裝置及氣體供應裝置的密封墊更換方法 - Google Patents

Abstract

本發明的目的在於提供一種能夠防止密封墊粘在容器的閥連接器而導致密封墊雙重插入的情形的氣體供應裝置和密封墊更換方法。根據本發明的氣體供應裝置的密封墊更換方法，包括如下步驟：a）將密封墊置於配備在容器的閥連接器與連接在氣體需求處的連接配管連接器之間而結合所述閥連接器和所述連接配管連接器；b）解除所述閥連接器和連接配管連接器的結合；c）從所述閥連接器和連接配管連接器之間分離所述密封墊之後，移送所述密封墊，其中，在執行所述a）步驟至c）步驟的過程中，包括密封墊夾持器夾持所述密封墊，並且同時移送夾持了所述密封墊的密封墊夾持器和所述連接配管連接器的過程。

Description

氣體供應裝置及氣體供應裝置的密封墊更換方法

本發明涉及氣體供應裝置和密封墊更換方法，更加詳細地，涉及能夠防止密封墊的脫離並且防止密封墊粘在容器的閥連接器的情形的氣體供應裝置和密封墊更換方法。

通常，對於向利用氣體的裝置（尤其，向諸如半導體設備等進行精細操作的氣體需求處）供應氣體的裝置而言，要求適合各種目的的種類的氣體滿足預定的濃度和壓力等。

為了有效地提供這樣的氣體，以高壓狀態保管許多種類的氣體，尤其是，具有可燃性、毒性、腐蝕性等有害性質的氣體在與人類隔離的獨立空間被嚴格管理。

保管氣體的氣體儲存容器（以下，簡稱為「容器」）連接在氣體需求處，如果容器中保管的氣體被全部耗盡，則從氣體容器的閥分離連接在氣體需求處的連接配管之後更換容器，然後將包括連接在氣體需求處的連接配管連接器的連接器緊固部結合到更換後的容器的閥連接器而重新供應氣體。

在將所述容器的閥連接器和連接配管連接器結合的情形下，配備有用於維持兩者之間的氣密性的密封墊（gasket）。這種密封墊是利用樹脂材質構成的，因此在閥連接器和連接配管連接器長時間結合的狀態下為了更換容器而從閥連接器分離連接配管連接器便會發生密封墊仍然粘在閥連接器的情形。

如上所述，在密封墊粘在閥連接器的情形下，並沒有感測此的額外的機構，並且為了利用感測傳感器等確認密封墊是否粘結則需要額外的部件，因此具有裝置的製造費用增加的問題。

如果在用於閥連接器的密封墊仍然被粘結的狀態下，將新的密封墊結合到連接配管連接器之後結合連接配管連接器和閥連接器，則由於連接配管連接器與閥連接器之間以雙重插入方式插入有兩個密封墊（已有的密封墊和新的密封墊），因此可能由於無法維持氣密性而發生氣體洩漏的事故。

並且，在把新的密封墊結合到連接配管連接器的狀態下移送連接配管連接器而將連接配管連接器結合到閥連接器，在移送連接配管連接器的期間內可能發生新的密封墊從連接配管連接器脫離的問題。

作為關於半導體設備的氣體供應裝置的現有技術，公開有韓國授權專利第10-0242982號。

本發明是為瞭解決上述諸般問題而想出的，其目的在於提供一種能夠防止發生密封墊粘在容器的閥連接器而導致密封墊雙重插入的情形的氣體供應裝置和密封墊更換方法。

本發明的另一目的在於提供一種在為了更換密封墊而移送連接配管連接器時能夠防止發生密封墊從連接配管連接器脫離的情形的氣體供應裝置和密封墊更換方法。

用於達成所述目的的本發明的氣體供應裝置的密封墊更換方法，包括如下步驟：a）將密封墊置於配備在容器的閥連接器與連接在氣體需求處的連接配管連接器之間而結合所述閥連接器和所述連接配管連接器；b）解除所述閥連接器和連接配管連接器的結合；c）從所述閥連接器和連接配管連接器之間分離所述密封墊之後，移送所述密封墊，其中，在執行所述a）步驟至c）步驟的過程中，包括密封墊夾持器夾持所述密封墊，並且同時移送夾持了所述密封墊的密封墊夾持器和所述連接配管連接器的過程。

在所述b）步驟，所述密封墊夾持器可以在所述閥連接器和連接配管連接器的結合被解除的狀態下夾持所述密封墊。

在所述c）步驟之後，可以執行所述密封墊夾持器解除所述密封墊的夾持而將所述密封墊回收到密封墊回收部的步驟。

在所述c）步驟中，可以在將所述連接配管連接器和夾持了所述密封墊的密封墊夾持器一起在與所述閥連接器對向的方向上遠離所述閥連接器的方式進行第一次移送之後，沿與所述第一次移送垂直的方向將所述密封墊夾持器進行第二次移送。

所述a）步驟可以包括如下步驟：a-1）所述密封墊夾持器從密封墊供應部夾持新的密封墊，並移送所述密封墊夾持器，從而將夾持的所述密封墊結合到所述連接配管連接器；a-2）在所述密封墊夾持器夾持所述密封墊的狀態下，將所述密封墊夾持器與連接配管連接器在相同的方向上同時移送而使所述閥連接器和連接配管連接器將所述密封墊置於其之間而結合。

在所述a-2）步驟中，可以驅動第一移送機構進行第一次移送來將包括所述連接配管連接器的連接器連接部移送到所述閥連接器的位置，驅動連接配管連接器移送機構進行第二次移送來僅移送所述連接配管連接器而結合所述閥連接器和連接配管連接器。

所述密封墊夾持器可以通過一對密封墊夾持部件彼此靠近而夾持所述密封墊或者一對密封墊夾持部件彼此遠離而解除對所述密封墊的夾持狀態。

移送所述密封墊夾持器的密封墊夾持器移送機構可以在水平方向上移動所述密封墊夾持器，並且在與所述閥連接器相對的方向上移送，或者在垂直於與所述閥連接器相對的方向的方向上移送。

本發明的另一氣體供應裝置的密封墊更換方法，包括如下步驟：a）將密封墊結置於配備在容器的閥連接器和連接在氣體需求處的連接配管連接器之間而結合所述閥連接器和所述連接配管連接器；b) 解除所述閥連接器和連接配管連接器的結合，密封墊夾持器夾持所述密封墊；c）同時移送夾持了所述密封墊的密封墊夾持器和所述連接配管連接器來從所述閥連接器分離所述密封墊。

本發明的氣體供應裝置，包括：連接器緊固部，用於將連接在氣體需求處的連接配管連接器連接到配備在容器的閥連接器；第一移送機構和第二移送機構，所述第一移送機構使所述連接器緊固部向所述閥連接器方向前進和後退，所述第二移送機構沿與所述前進和後退的方向垂直的水平方向移送所述連接器緊固部；密封墊移送部，包括密封墊夾持器以在夾持了介於所述閥連接器與連接配管連接器之間的密封墊的狀態下進行移送；控制部，進行控制來使得夾持了與所述連接配管連接器結合的密封墊的密封墊夾持器與所述連接配管連接器被同時移送。

所述控制部可以進行控制使得所述閥連接器和連接配管連接器在其之間置有密封墊而結合的狀態下，解除所述閥連接器和連接配管連接器的結合，在密封墊夾持器夾持所述密封墊之後同時移送所述連接配管連接器和密封墊夾持器。

所述控制部可以進行控制使得在將夾持了所述密封墊的密封墊夾持器移送到密封墊回收部的位置之後，解除所述密封墊的夾持使得所述密封墊被回收到所述密封墊回收部。

所述控制部可以進行控制使得，以使所述連接配管連接器和密封墊夾持器在與所述閥連接器對向的方向上遠離的方式進行第一次移送後，將所述密封墊夾持器以與所述第一次移送垂直的方向進行第二次移送。

所述控制部可以控制使得所述密封墊夾持器從密封墊供應部夾持新的密封墊，移送所述密封墊夾持器將所述夾持的密封墊結合到所述連接配管連接器，在所述密封墊夾持器夾持了所述密封墊的狀態下將所述密封墊夾持器與所述連接配管連接器在相同的方向上同時移送而使所述閥連接器和連接配管連接器將所述密封墊置於其之間而得到結合。

所述密封墊夾持器可以利用彼此靠近或者彼此遠離的一對密封墊夾持部件構成，還包括密封墊夾持器操作機構，移送所述一對密封墊夾持部件使其彼此靠近或者遠離；密封墊夾持器移送機構，沿水平方向移送所述密封墊夾持器，其中，所述控制部進行控制來驅動所述密封墊夾持器操作機構，使得所述一對密封墊夾持部件彼此靠近而夾持所述密封墊或者彼此遠離而解除所述密封墊的夾持狀態。

可以配備有：連接配管連接器殼體，圍繞所述連接配管連接器的外部；第一移送機構，用於向所述閥連接器方向一體地移送所述連接配管連接器和連接配管連接器殼體；連接配管連接器移送機構，用於向所述閥連接器方向僅移送所述連接配管連接器，而不移送所述連接配管連接器殼體。

根據本發明，可以防止發生密封墊粘在容器的閥連接器而導致密封墊的雙重插入的情形。

並且，可以防止在為了更換密封墊而移送連接配管連接器的情形下密封墊從連接配管連接器脫離的情形。

以下參照附圖詳細說明本發明。

此處，在指代方向時，將圖1所示的X軸稱作前後方向、Y軸稱作左右方向、Z軸稱作垂直方向。並且，水平方向包括由XY平面構成的所述左右方向和前後方向。並且，在區分前後方向時，將佈置有容器10的這一側稱作前方，佈置有下部模塊3的這一側稱作後方。並且，在以蓋體分離部320和連接器緊固部330為基準區分左右方向時，將佈置有蓋體分離部320的這一側定義為右側，將佈置有連接器緊固部330的這一側定義為左側。

參照圖1至圖3，本發明的氣體供應裝置1可以包括：上部模塊2，包括設置為固定在從配備於容器10的上端的閥部朝上側相隔的位置的上部板211；下部模塊3，配備在所述上部模塊2的下部，配備有蓋體分離部320和連接器緊固部330，所述蓋體分離部320分離覆蓋閥連接器30的蓋體31，所述閥連接器30配備於所述閥部，所述連接器緊固部330用於將連接到氣體需求處的連接配管連接器331連接到所述閥連接器30；閥開閉模塊4，用於開閉所述閥部的閥。

所述容器10作為用於儲存供應至半導體裝置等氣體需求處的工藝氣體並將其供應的構成，在容器10的上部配備有所述閥部。

所述閥部構成為包括：閥（未示出），用於控制氣體的供應；閥連接器30，配備在所述閥的一側而緊固到所述下部模塊3的連接器緊固部330；蓋體31，覆蓋所述閥連接器30；閥閘（valve shutter，未示出）開閉所述閥；手柄50，連接於所述閥閘的上部，隨著旋轉而使閥閘升降，從而對閥進行開閉。

在所述閥部結合有固定塊510、520、530。在所述固定塊510、520、530配備有第一對準部512。

所述固定塊510、520、530可以利用圍繞所述閥部的第一固定塊510、第二固定塊520以及第三固定塊530構成。

如果通過所述第二固定塊520和第三固定塊530的結合圍繞所述閥部，則所述閥部中所述閥連接器30和蓋體31相對於所述固定塊520、530向側方向突出而暴露，所述閥部中所述手柄50相對於所述固定塊520、530向上方向突出而暴露。

所述第一固定塊510構成為具有沿Y軸方向的長度的四角桶狀，在所述Y軸方向的一側面結合有所述第二固定塊520，在X軸方向的一側面配備有第一對準部512。

所述第一對準部512可以由在所述X軸方向的一側面凹陷地形成的對準銷插入槽512構成。

所述下部模塊3形成為在能夠相對於上部模塊2進行水平方向移送的同時，還能夠進行垂直方向的升降移送。

所述第一對準部512構成為在下部模塊3進行水平方向移送時，通過與配備在下部模塊3的第二對準部351的結合而實現容器10的對準。

所述第二對準部351可以由從後述的下部模塊3的對準塊350沿作為與所述對準銷插入槽512相對向的方向的X軸方向突出而具有水平方向的長度的對準銷351構成。

通過使所述對準銷351被插入到所述對準銷插入槽512，從而實現所述容器10的對準。

雖然本實施例中示出了第一對準部512構成為對準銷插入槽，第二對準部351構成為對準銷的情形，但也可以將第一對準部構成為對準銷，將第二對準部構成為對準銷插入槽。

並且，雖然本實施例中示出了對準銷被插入到對準銷插入槽的情形，但並不限於此，也可以構成為第一對準部與第二對準部緊固或者結合的情形。將所述第一對準部和第二對準部被插入、緊固、結合的方式統稱為「結合」。

在所述第一固定塊510，在與所述第一對準部512相鄰的位置配備有第一結合部511，並且在所述下部模塊3的對準塊350配備有與所述第一結合部511實現結合的第二結合部352。

所述第一結合部511可以由所述第一固定塊510中的與形成有所述第一對準部512的面相同的面沿X軸方向凹陷地形成的固定槽511構成。

所述第二結合部352可以由在與所述第二對準部351相鄰的位置的對準塊350向所述第一結合部511突出的固定塊結合部件352構成。

在所述固定塊結合部件352的外側面配備有多個凸起352a，所述多個凸起352a通過配備在內部的彈簧（未示出）而被彈性支撐。在所述固定槽511的內部形成有使所述凸起352a插入的凸起插入槽（未示出）。如果所述固定塊結合部件352插入到所述固定槽511，則所述凸起352a被插入到所述凸起插入槽，從而可以防止所述固定塊結合部件352從所述固定槽511脫離，進而使所述下部模塊3維持結合在所述第一固定塊510的狀態。

在從所述固定槽511拉出所述固定塊結合部件352的情形下，如果供應空氣（air）而使所述凸起352a克服所述彈簧的彈性力並從固定塊結合部件352的表面向內側移動，則所述凸起352a從所述凸起插入槽脫離。因此，所述固定塊結合部件352能夠從固定槽511脫離。

在所述上部模塊2可以配備有移送引導件（未示出），以能夠分別向X軸、Y軸以及Z軸方向移送所述下部模塊3。如果操作人員用手抓住所述下部模塊3並對其沿軸方向施加力，則下部模塊3可以向X軸、Y軸以及Z軸中的某一個方向被移送。並且，可以通過這種下部模塊3的移送而實現第一對準部512和第二對準部351的結合，通過這種結合可以實現容器10的對準。

在所述下部模塊3配備有多個殼體311、312、313、314；蓋體分離部320；連接器緊固部330、子模塊移送機構340、對準塊350、插塞模塊360、密封墊供應部370以及密封墊移送部380。

所述多個殼體311、312、313、314構成為包括上部殼體311，在所述下部模塊3的上部配備為板狀；第一側面殼體312、第二側面殼體313，分別結合在所述上部殼體311的Y軸方向兩側；下部殼體314，從所述上部殼體311向下側相隔，兩側與所述第一側面殼體312和第二側面殼體313結合。

所述上部殼體311和第一側面殼體312、第二側面殼體313以及下部殼體314配備為圍繞所述下部模塊3的前後方以外的上部和下部以及兩側部。

所述蓋體分離部320從所述閥連接器30分離覆蓋閥連接器30的蓋體31，其中所述閥連接器30配備於所述閥部。

所述蓋體分離部320形成有槽，以使所述蓋體31被插入到內部，如果在所述蓋體31被插入到所述蓋體分離部320的槽的狀態下驅動旋轉機構（未示出）而旋轉所述蓋體分離部320，則所述蓋體31從所述閥連接器30分離。與此相反地，可以驅動所述旋轉機構將從所述蓋體分離部320分離的蓋體31結合到所述閥連接器30。

所述連接器緊固部330包括連接配管連接器331，連接到氣體需求處；連接配管連接器殼體332（圖7），圍繞所述連接配管連接器331的外側。所述連接器緊固部330配備為能夠將所述連接配管連接器331連接到所述閥連接器30。如果在所述連接器緊固部330和閥連接器30連接的狀態下旋轉手柄50而開放閥，則容器10內部的氣體通過閥連接器30和連接配管連接器331供應至氣體需求處。所述連接配管連接器331和連接配管連接器殼體332通過所述旋轉機構的驅動而一起旋轉。

所述子模塊移送機構340將所述蓋體分離部320和連接器緊固部330一體地沿左右方向（Y軸方向）和前後方向（X軸方向）移送。所述子模塊移送機構340可以構成為包括第一移送機構340a，用於將所述蓋體分離部320和連接器緊固部330一體地沿前後方向移送；第二移送機構340b，用於將所述蓋體分離部320和連接器緊固部330一體地沿左右方向移送。

所述第一移送機構340a可以利用用於沿前後方向進行移送的移送引導件和用於通過供應空氣（air）而施加移送力的氣缸構成。並且，所述第二移送機構340b可以利用用於沿左右方向進行移送的移送引導件和用於通過供應空氣（air）而施加移送力的氣缸構成。

所述旋轉機構旋轉所述蓋體分離部320和連接器緊固部330。所述旋轉機構包括產生旋轉力的馬達和減速器，並且包括用於將所述旋轉力傳遞至所述蓋體分離部320和連接器緊固部330的旋轉傳遞部件。

所述旋轉傳遞部件將所述旋轉力分別傳遞到蓋體分離部320和連接器緊固部330，如果驅動所述馬達，則所述蓋體分離部320和連接器緊固部330將同時旋轉。與此不同地，所述旋轉機構還可以構成為配備有兩個馬達，並且利用所述兩個馬達使所述蓋體分離部320和連接器緊固部330分別旋轉。

可以配備有前方和後方被開放且圍繞左右和上下的內部殼體315，以能夠設置所述蓋體分離部320和連接器緊固部330。所述內部殼體315能夠與下部殼體314的上部結合。

所述對準塊350以從所述內部殼體315的前方端部突出的方式結合，並且構成為大致的多面體形狀。在所述對準塊350的前方表面以向所述閥部突出的形狀形成有作為第二對準部351的對準銷351，在所述對準銷351的側部以向所述閥部突出的形狀形成有作為所述第二結合部352的固定塊結合部件352。

參照圖3和圖4說明插塞模塊360。

所述插塞模塊360構成為包括插塞361，為了防止在閥連接器30和連接器緊固部330沒有被緊固的狀態下異物進入連接器緊固部330內部而結合在連接器緊固部330；插塞支撐部件362，用於支撐所述插塞361的端部；插塞支撐殼體363，所述插塞支撐部件362被結合而支撐；插塞移送引導件364，為了將所述插塞361、插塞支撐部件362以及插塞支撐殼體363一體地沿前後方向移送而起到引導作用；插塞移送驅動部365，提供用於將所述插塞361、插塞支撐部件362以及插塞支撐殼體363一體地沿前後方向移送的驅動力。

參照圖3和圖5說明密封墊供應部370。

所述密封墊供應部370是為了供應在更換容器10時用於安裝到連接配管連接器331與閥連接器30之間的新的密封墊（gasket）的部件，包括收納部372，收納多個密封墊371a；密封墊收納部移送機構373，用於沿前後方向移送所述密封墊收納部372。

所述密封墊收納部移送機構373可以構成為包括移送引導件，引導沿前後方向的移送；驅動部，提供驅動力以能夠隨著所述移送引導件而被移送。

在所述密封墊收納部372以竪立的狀態配備有多個密封墊371a，構成為在後述的密封墊夾持器381夾持位於一側邊沿的密封墊後使其能夠通過作為形成在密封墊收納部372的開口部的密封墊排出部372a脫離。

參照圖3和圖6說明密封墊移送部380。

所述密封墊移送部380構成為包括：密封墊夾持器381，為了夾持密封墊而利用一對密封墊夾持器部件381a、381b構成；密封墊夾持器操作機構382，用於使所述一對密封墊夾持器部件381a、381b以彼此靠近或者彼此遠離的方式操作；第一密封墊夾持器移送機構383，用於將所述密封墊夾持器381和密封墊夾持器操作機構382一體地沿前後方向移送；第二密封墊夾持器移送機構384，用於將所述密封墊夾持器381和密封墊夾持器操作機構382以及第一密封墊夾持器移送機構383一體地沿左右方向移送。

所述第一密封墊夾持器移送機構383和第二密封墊夾持器移送機構384可以利用用於在前後方向和左右方向上引導移送的移送引導件和提供驅動力以能夠隨著所述移送引導件被移送的驅動部構成。

參照圖7說明連接配管連接器移送機構335。

所述蓋體分離部320和連接器緊固部330可以通過第一移送機構340a實現向前方和後方的直線移送。雖然也可以構成為驅動所述第一移送機構340a而將連接配管連接器331結合到所述閥連接器30，但由於通過所述第一移送機構340a的驅動，包括分離部320和連接器緊固部330而用於使蓋體分離部320和連接器緊固部330旋轉的整個構成部件會一同被移送，因此由於其重量，在將連接配管連接器331結合到閥連接器30時可能產生衝擊。

為了防止這種問題，可以構成為與第一移送機構340a獨立地配備了連接配管連接器移送機構335，從而在將連接配管連接器331結合到閥連接器30的情形下，不驅動第一移送機構340a，而是驅動連接配管連接器移送機構335，以僅使連接配管連接器331沿前後方向移送。

所述連接配管連接器移送機構335可以包括連接器卡接部件335-1，下部的一部分被插入到形成在連接配管連接器331的端部的槽（未示出），從而實現與連接配管連接器331的卡接；卡接軸335-2，卡接到所述連接器卡接部件335-1的上部並配備為能夠被沿前後方向直線移送；驅動部（未示出），提供驅動力以使所述卡接軸335-2能夠被沿前後方向直線移送；引導軸335-3，在所述卡接軸335-2被直線移送的情形下起到引導功能。

在所述閥連接器30和連接配管連接器331彼此相鄰地佈置的狀態下，如果驅動所述連接配管連接器移送機構335的驅動部，則所述卡接軸335-2、被卡接在所述卡接軸335-2的連接器卡接部件335-1、卡接在所述連接器卡接部件335-1的連接器331被一體地移送到後方，從而使連接配管連接器331結合到閥連接器30。

在此情形下，連接配管連接器331可以在結合到閥連接器30時通過旋轉機構的驅動而同時實現旋轉。並且，由於所述蓋體分離部320、用於旋轉蓋體分離部320和連接器緊固部330的構成部件不與所述連接配管連接器331一起被移送，因此在連接配管連接器331與閥連接器30結合時可以最小化衝擊。

此外，配備有控制部，控制部控制所述子模塊移送機構340、旋轉機構、插塞移送驅動部365、密封墊收納部移送機構373、第一密封墊夾持器移送機構383、第二密封墊夾持器移送機構384，從而用於控制本發明的氣體供應裝置。並且，配備有用於將安裝在所述閥連接器30與連接配管連接器331之間的第二密封墊分離後回收的密封墊回收部390。

參照圖8至圖17說明更換容器10時進行的密封墊更換方法。

圖8至圖13示出了在容器10的閥連接器30與連接配管連接器331之間安裝新的密封墊（第一密封墊）的過程，圖14至圖17示出了分離並去除安裝在容器10的密封墊（第二密封墊）的過程。

圖8示出了用於更換密封墊的初始狀態。雖然在圖8未示出，但其為第一對準部512和第二對準部351已經結合而實現了容器10的對準的狀態。密封墊夾持器381與密封墊供應部370相隔，並且與連接器緊固部330也相隔。將此時的各部件的位置稱作「初始位置」。

參照圖9，在圖8的狀態下驅動密封墊收納部移送機構373而將密封墊收納部372向後方移送至密封墊夾持器381的位置。在此狀態下，驅動密封墊操作機構382以使一對密封墊夾持部件381a、381b彼此靠近，則密封墊收納部372中位於最後方的一個第一密封墊371a被夾持到一對密封墊夾持部件381a、381b之間。

參照圖10，在圖9的狀態下驅動第二密封墊夾持器移送機構384將夾持了第一密封墊371a的密封墊夾持器381移送到右側，並再次驅動第一密封墊夾持器移送機構383而將密封墊夾持器381移送到後方，從而將第一密封墊371a結合到連接配管連接器331的前方端部。

在圖10的狀態下，如圖11所示，在所述第一密封墊371a的中央部形成有孔，所述連接配管連接器331的前方端部形成有圓筒形狀的突出部331a，以使所述突出部331a被插入到所述第一密封墊371a的孔的方式實現第一密封墊371a與連接配管連接器331的結合。

參照圖12，在圖10的狀態下同時驅動第二移送機構340b和第二密封墊夾持器移送機構384，從而將連接器緊固部330和夾持了第一密封墊371a的密封墊夾持器381向右側方向進行第一次移送，之後同時驅動第一密封墊移送機構383和第一移送機構340a而使連接器緊固部330和夾持了第一密封墊371a的密封墊夾持器381向前方進行第二次移送，則連接配管連接器331會將第一密封墊371a置於之間而佈置在靠近閥連接器30的後方的位置。在此情形下，驅動密封墊收納部移送機構373而再次向前方移送密封墊收納部372，使得變回初始位置。

由於以往將密封墊插入到連接配管連接器331的突出部331a，從而在連接配管連接器331結合於密封墊的狀態被移送，因此具有密封墊從連接配管連接器331的突出部331a脫離的問題，但在本發明中，若如上所述地移送連接配管連接器331，則密封墊夾持器381以夾持第一密封墊371a的狀態與連接配管連接器331一同被移送，因此可以防止第一密封墊371a從連接配管連接器331脫離的情形。

參照圖13，在圖12的狀態下驅動密封墊夾持器操作機構382而使一對密封墊夾持部件381a、381b彼此遠離，從而解除第一密封墊371a的夾持狀態，並驅動第二密封墊夾持器移送機構384而將其移送至左側。在此情形下，第一密封墊371a將維持被插入到連接配管連接器331的突出部331a的狀態。並且，在驅動旋轉機構而使連接器緊固部330旋轉的同時驅動連接配管連接器移送機構335而將連接配管連接器331移送至前方，從而將連接配管連接器331和閥連接器30結合。

在通過如上所述的過程而使第一密封墊371a介於連接配管連接器331與閥連接器30之間的狀態下，實現連接器緊固部330和閥連接器30的結合。如果實現所述連接器緊固部330和閥連接器30的結合，則閥開閉模塊4使手柄50旋轉而打開閥，從而使容器10的氣體通過連接配管連接器331被供應至氣體需求處。

參照圖14至圖17說明分離和去除被安裝在容器10的第二密封墊371b的過程。

參照圖14，驅動旋轉機構和連接配管連接器移送機構335而解除連接配管連接器331與閥連接器30的結合，並驅動第一密封墊移送機構383和第二密封墊夾持器移送機構384以及密封墊夾持器操作機構382而使密封墊夾持器381從初始位置被移送，密封墊夾持器381夾持位於連接配管連接器331與閥連接器30之間的第二密封墊371b。

參照圖15，在圖14的狀態下，驅動第一移送機構340a、連接配管連接器移送機構335以及第一密封墊夾持器移送機構383而使密封墊夾持器381在夾持第二密封墊371b的狀態下向後方進行被第一次移送，並驅動第二移送機構340b和第二密封墊夾持器移送機構384而使密封墊夾持器381在夾持第二密封墊371b的狀態下與連接器緊固部330一起向左側被第二次移送。

在以往的氣體供應裝置中，在從閥連接器30分離連接配管連接器331時，第二密封墊371b可能不與連接配管連接器331一起被分離而殘留在閥連接器30。即，如果在連接配管連接器331和閥連接器30將所述第二密封墊371b置於之間而結合的狀態下經過預定時間，則所述第二密封墊371b和閥連接器30接觸的面被擠壓。在此狀態下，如果從閥連接器30分離連接配管連接器331，則第二密封墊371b可能粘在閥連接器30的接觸面，從而第二密封墊371b不與連接配管連接器331一起被分離而殘留在閥連接器30。如果在這種狀態下將新的第一密封墊安裝到連接配管連接器331與閥連接器30之間，則未被去除而殘留的第二密封墊和新的第一密封墊被雙重安裝，從而具有氣體洩漏的風險。

在本發明中，由於密封墊夾持器381在夾持第二密封墊371b的狀態下將第二密封墊371b從閥連接器30分離，因此可以防止第二密封墊371b粘在容器10的閥連接器30而與第一密封墊371a一起在連接配管連接器331與閥連接器30之間被雙重安裝密封墊的情形。

參照圖16，在圖15的狀態下，驅動第一密封墊夾持器移送機構383而向前方移送夾持了第二密封墊371b的密封墊夾持器381，然後驅動密封墊夾持器操作機構382而解除密封墊夾持器381的夾持狀態。通過解除所述密封墊夾持器381的夾持狀態，使第二密封墊371b被回收到密封墊回收部390。

參照圖17，在圖16的狀態下，驅動第二密封墊夾持器移送機構384，從而將密封墊夾持器381移送至左側回歸初始位置。

雖然以上以氣體供應裝置利用上部模塊2和下部模塊3構成的結構為例進行了說明，但並不限於此，可以應用於多種結構。

並且，雖然以手動地進行容器10的對準的氣體供應裝置為例進行了說明，但並不限於此，也可以應用於自動地進行容器10的對準的氣體供應裝置。

如前所述，雖然以優選實施例為例詳細說明瞭本發明，但本發明並不限於前述的實施例，可以在權利要求書和發明的詳細說明以及附圖的範圍內進行多種變形而實施，並且這些也屬於本發明。

2:上部模塊 3:下部模塊 4:閥開閉模塊 10:容器 30:閥連接器 31:蓋體 50:手柄 211:上部板 311:上部殼體 312:第一側面殼體 313:第二側面殼體 314:下部殼體 315:內部殼體 320:蓋體分離部 330:連接器緊固部 331:連接配管連接器 331a:突出部 332:連接配管連接器殼體 335:連接配管連接器移送機構 335-1:連接器卡接部件 335-2:卡接軸 335-3:引導軸 340:子模塊移送機構 340a:第一移送機構 340b:第二移送機構 350:對準塊 351:第二對準部 352:第二結合部 352a:凸起 360:插塞模塊 361:插塞 362:插塞支撐部件 363:插塞支撐殼體 364:插塞移送引導件 365:插塞移送驅動部 370:密封墊供應部 371a、371b:密封墊 372:密封墊收納部 372a:密封墊排出部 373:密封墊收納部移送機構 380:密封墊移送部 381:密封墊夾持器 381a:密封墊夾持部件 381b:密封墊夾持部件 382:密封墊夾持器操作機構 383:第一密封墊夾持器移送機構 384:第二密封墊夾持器移送機構 390:密封墊回收部 510、520、530:固定塊 511:第一結合部 512:第一對準部

圖1是示出本發明的氣體供應裝置的立體圖。 圖2是示出本發明的氣體供應裝置中，在容器的閥部結合有固定塊的狀態的立體圖。 圖3是示出根據本發明的氣體供應裝置的下部模塊的立體圖。 圖4是示出根據本發明的氣體供應裝置中的插塞模塊的立體圖。 圖5是示出本發明的氣體供應裝置中的密封墊供應部的立體圖。 圖6是示出本發明的氣體供應裝置中的密封墊移送部的立體圖。 圖7是示出本發明的氣體供應裝置中的連接配管連接器移送機構的立體圖。 圖8是示出本發明的氣體供應裝置中用於結合閥連接器和連接配管連接器的初始狀態的平面圖。 圖9是示出在圖8的狀態下，密封墊供應部被移送而使密封墊夾持器夾持密封墊的狀態的平面圖。 圖10是示出在圖9的狀態下，密封墊移送部將密封墊結合到連接配管連接器的狀態的平面圖。 圖11是在另一角度觀察的圖10，示出了將密封墊結合到連接配管連接器的狀態的立體圖。 圖12是示出在圖10的狀態下密封墊移送部和連接器緊固部同時被移送而使連接配管連接器和閥連接器彼此對向地佈置的狀態的平面圖。 圖13是示出在圖12的狀態下連接配管連接器被旋轉並移送，從而連接配管連接器和閥連接器被結合的狀態的平面圖。 圖14是示出在更換容器的狀態下，連接器緊固部被旋轉並移送，從而連接配管連接器和閥連接器被分離，並且密封墊夾持器被移送而夾持密封墊的狀態的平面圖。 圖15是示出在圖14的狀態下夾持密封墊的密封墊夾持器與連接器緊固部被一起被移送的狀態的平面圖。 圖16是示出在圖15的狀態下將密封墊夾持器的密封墊回收到密封墊回收部的狀態的平面圖。 圖17是示出在圖16的狀態下密封墊夾持器被移送到初始位置的狀態的平面圖。

2:上部模塊

3:下部模塊

4:閥開閉模塊

10:容器

50:手柄

211:上部板

510:固定塊

Claims (14)

1. 一種氣體供應裝置的密封墊更換方法，包括如下步驟：a)將密封墊置於配備在容器的閥連接器與連接在氣體需求處的連接配管連接器之間而結合該閥連接器和該連接配管連接器；b)從該閥連接器分離該連接配管連接器，並利用密封墊夾持器夾持該密封墊；以及c)在該密封墊夾持器夾持該密封墊的狀態下從該閥連接器分離該密封墊之後，移送該密封墊，其中，在該c)步驟中，同時移送夾持了該密封墊的該密封墊夾持器和該連接配管連接器，以使該密封墊在被移送期間不會從該連接配管連接器脫離，在該c)步驟之後，執行僅將夾持該密封墊的該密封墊夾持器向前方移送而將該密封墊從該連接配管連接器分離，並使該密封墊夾持器解除對該密封墊的夾持而將該夾持器回收到密封墊回收部的步驟。
2. 如請求項1所述的氣體供應裝置的密封墊更換方法，其中在該b)步驟，該密封墊夾持器在該閥連接器和該連接配管連接器的結合被解除的狀態下夾持該密封墊。
3. 如請求項1所述的氣體供應裝置的密封墊更換方法，其中在該c)步驟中，在將該連接配管連接器和夾持了該密封墊的該密封墊夾持器一起在與該閥連接器對向的方向上遠離該閥連接器的方式進行第一次移送之後，沿與該第一次移送垂直的方向將該密封墊夾持器進行第二次移送。
4. 如請求項1所述的氣體供應裝置的密封墊更換方法，其中該a)步驟包括如下步驟： a-1)該密封墊夾持器從密封墊供應部夾持新的密封墊，並移送該密封墊夾持器，從而將夾持的該新的密封墊結合到該連接配管連接器；a-2)在該密封墊夾持器夾持該新的密封墊的狀態下，將該密封墊夾持器與該連接配管連接器在相同的方向上同時移送而使該閥連接器和該連接配管連接器將該新的密封墊置於其之間而結合。
5. 如請求項4所述的氣體供應裝置的密封墊更換方法，其中在該a-2)步驟中，驅動第一移送機構進行第一次移送來將包括該連接配管連接器的連接器連接部移送到該閥連接器的位置，驅動連接配管連接器移送機構進行第二次移送來僅移送該連接配管連接器而結合該閥連接器和該連接配管連接器。
6. 如請求項1所述的氣體供應裝置的密封墊更換方法，其中該密封墊夾持器通過一對密封墊夾持部件彼此靠近而夾持該密封墊或者一對密封墊夾持部件彼此遠離而解除對該密封墊的夾持狀態。
7. 如請求項1所述的氣體供應裝置的密封墊更換方法，其中移送該密封墊夾持器的密封墊夾持器移送機構在水平方向上移動該密封墊夾持器，並且在與該閥連接器相對的方向上移送，或者在垂直於與該閥連接器相對的方向的方向上移送。
8. 一種氣體供應裝置，包括：連接器緊固部，用於將連接在氣體需求處的連接配管連接器連接到配備在容器的閥連接器；第一移送機構和第二移送機構，該第一移送機構使該連接器緊固部向該閥連接器方向前進和後退，該第二移送機構沿與該前進和後退的方向垂直的水平方向移送該連接器緊固部； 密封墊移送部，包括密封墊夾持器以在夾持了介於該閥連接器與該連接配管連接器之間的密封墊的狀態下進行移送；以及控制部，進行控制來使得在該密封墊夾持器夾持該密封墊的狀態下從該閥連接器分離該密封墊，之後在移送該密封墊的期間同時移送夾持了該密封墊的該密封墊夾持器和該連接配管連接器，以使該密封墊在被移送期間不會從該連接配管連接器脫離，之後僅將夾持該密封墊的該密封墊夾持器向前方移送而將該密封墊從該連接配管連接器分離，並使該密封墊夾持器解除對該密封墊的夾持而將該夾持器回收到密封墊回收部。
9. 如請求項8所述的氣體供應裝置，其中該控制部進行控制使得該閥連接器和該連接配管連接器在其之間置有該密封墊而結合的狀態下，解除該閥連接器和該連接配管連接器的結合，在該密封墊夾持器夾持該密封墊之後同時移送該連接配管連接器和該密封墊夾持器。
10. 如請求項8所述的氣體供應裝置，其中該控制部進行控制使得在將夾持了該密封墊的該密封墊夾持器移送到密封墊回收部的位置之後，解除該密封墊的夾持使得該密封墊被回收到該密封墊回收部。
11. 如請求項8所述的氣體供應裝置，其中該控制部進行控制使得，以使該連接配管連接器和該密封墊夾持器在與該閥連接器對向的方向上遠離的方式進行第一次移送後，將該密封墊夾持器以與該第一次移送垂直的方向進行第二次移送。
12. 如請求項8所述的氣體供應裝置，其中該控制部進行控制使得該密封墊夾持器從密封墊供應部夾持新的密封墊，移送該密封墊夾持器將該新的密封墊結合到該連接配管連接器，在該密封墊夾持器夾持了該新的密封墊的狀 態下將該密封墊夾持器與該連接配管連接器在相同的方向上同時移送而使該閥連接器和該連接配管連接器將該新的密封墊置於其之間而得到結合。
13. 如請求項8所述的氣體供應裝置，其中該密封墊夾持器利用彼此靠近或者彼此遠離的一對密封墊夾持部件構成，其中，該密封墊夾持器還包括：密封墊夾持器操作機構，移送該一對密封墊夾持部件使其彼此靠近或者遠離；以及密封墊夾持器移送機構，沿水平方向移送該密封墊夾持器；其中，該控制部進行控制來驅動該密封墊夾持器操作機構，使得該一對密封墊夾持部件彼此靠近而夾持該密封墊或者彼此遠離而解除該密封墊的夾持狀態。
14. 如請求項8所述的氣體供應裝置，其中配備有：連接配管連接器殼體，圍繞該連接配管連接器的外部；第一移送機構，用於向該閥連接器方向一體地移送該連接配管連接器和該連接配管連接器殼體；以及連接配管連接器移送機構，用於向該閥連接器方向僅移送該連接配管連接器，而不移送該連接配管連接器殼體。