TWI777241B - 配備有對準功能的氣體供應裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠沿垂直方向升降的同時當水平方向移送時進行對準，從而能夠防止對準部破損的配備有對準功能的氣體供應裝置。氣體供應裝置包括：上部模塊，包括主板，所述主板固定設置在配備於容器上端的閥部的上側；下部模塊，包括蓋分離部、連接器緊固部和第二對準部，並且能夠相對於所述上部模塊沿垂直方向升降，其中，所述蓋分離部將覆蓋閥連接器的蓋從所述閥連接器分離，所述閥連接器配備於所述閥部，所述連接器緊固部用於將連接於氣體需求處的連接配管連接器連接到所述閥連接器，所述第二對準部當水平方向移送時通過與配備於所述閥部的第一對準部結合而實現所述容器的對準。

Description

配備有對準功能的氣體供應裝置

本發明涉及一種氣體供應裝置，尤其涉及一種當替換氣體儲存容器時能夠在將氣體儲存容器的閥連接器與連接於氣體需求處的連接配管連接器緊固之前對準氣體儲存容器的氣體供應裝置。

通常，對於向利用氣體的裝置（尤其，向諸如半導體設備等執行精密作業的氣體需求處）供應氣體的裝置而言，要求適合於各種目的的種類的氣體滿足預定的濃度和壓力等。

為了進行有效的提供，許多種類的氣體在高壓狀態下進行保管，尤其，具有可燃性、毒性、腐蝕性等有害特性的氣體在與人類隔離的單獨的空間進行嚴格管理。

保管氣體的氣體儲存容器（以下，簡稱為「容器」）連接於氣體需求處，若保管在容器的氣體被全部消耗，則將連接於氣體需求處的連接配管從氣體容器的閥分離而替換容器之後，將連接於氣體需求處的連接配管連接器結合到替換後的容器的閥連接器而再次供應氣體。

在這樣替換容器的情況下，操作者必須將容器放置在容器裝載部的原位置，但是若沒有配備用於將容器放置到原位置的自動化裝置，則具有操作者難以將氣體桶準確地放置到原位置的問題。

當然，若配備有自動化裝置，則能夠將容器放置到原位置，但是具有裝置的構成複雜且製造成本高的問題。

作為關於半導體設備的氣體供應裝置的現有技術，公開有韓國授權專利第10-0242982號。

本發明是為瞭解決上述的各種問題而提出的，其目的在於提供一種能夠沿垂直方向升降的同時當水平方向移送時進行對準，從而能夠防止對準部破損的氣體供應裝置。

本發明的另一目的在於提供一種當水平方向移送時使對準部能夠進行旋轉，從而能夠實現更準確的對準的氣體供應裝置。

用於達成上述目的的本發明的配備有對準功能的氣體供應裝置包括：上部模塊，配備有主板，所述主板固定設置在配備於容器上端的閥部的上側；下部模塊，包括蓋分離部、連接器緊固部和第二對準部，並且能夠相對於所述上部模塊沿垂直方向升降，其中，所述蓋分離部將覆蓋閥連接器的蓋從所述閥連接器分離，所述閥連接器配備於所述閥部所述連接器緊固部用於將連接於氣體需求處的連接配管連接器連接到所述閥連接器，所述第二對準部當水平方向移送時通過與配備於所述閥部的第一對準部結合而實現所述容器的對準。

所述第一對準部和第二對準部中的任意一個可以由具有水平方向的長度的銷形狀的對準銷構成，其餘一個由供所述對準銷插入的對準銷插入槽構成。

所述第二對準部可以與配備於所述下部模塊的外側的側面殼體結合。

在所述側面殼體可以結合有對準塊，所述第二對準部在所述對準塊配備於朝向所述閥部的面。

所述第一對準部可以配備於與所述閥部結合的固定塊，所述固定塊包括：第一固定塊和第二固定塊，所述第一固定塊和第二固定塊以如下方式包圍所述閥部：使得使用於管制氣體的供應的閥開閉的手柄向上部暴露，使所述閥連接器向所述連接配管連接器所在的方向暴露，所述第一固定塊具有水平方向的長度，並且所述水平方向的一側部包圍所述閥部，在所述水平方向的另一側部配備有所述第一對準部。

用於結合到在所述固定塊鄰近於所述第一對準部而配備的第一結合部的第二結合部可以配備於所述下部模塊，當所述第一對準部與第二對準部結合時，所述第一結合部與第二結合部結合，從而保持所述固定塊與所述下部模塊的結合狀態。

在所述下部模塊可以結合有對準塊，所述第二結合部由配備於所述對準塊且朝向所述第一結合部凸出的固定塊結合部件構成，所述第一結合部由形成於所述固定塊而使所述固定塊結合部件插入的固定槽構成，若所述固定塊結合部件插入到所述固定槽，則所述固定塊結合部件被防止從所述固定槽脫離，若供應空氣，則所述固定塊結合部件能夠從所述固定槽脫離。

所述下部模塊可以配備為能夠相對於所述上部模塊沿水平方向旋轉。

所述下部模塊的上部與所述上部模塊的下部可以通過固定銷結合，在所述下部模塊和上部模塊中的任意一個結合有引導銷，在其餘一個形成有圓弧形狀的引導槽，以使所述引導銷插入所述引導槽而能夠以所述固定銷為旋轉中心旋轉。

在所述上部模塊可以配備有：一對移送引導件，用於沿垂直方向移送所述下部模塊；一對移送引導件支撐部件，結合於所述一對移送引導件的下部，其中，所述一對移送引導件支撐部件中的一側的移送引導件支撐部件與所述下部模塊通過所述固定銷結合，在形成於另一側的移送引導件支撐部件的所述引導槽插入有結合於所述下部模塊的引導銷。

所述下部模塊可以相對於所述上部模塊能夠沿水平方向旋轉的同時直線移動。

在所述上部模塊可以配備有：第一移送引導件，為了引導所述下部模塊沿作為水平方向中的任意一個的第一方向移送而配備；第二移送引導件，用於引導所述下部模塊沿水平方向中的與第一方向垂直的第二方向移送。

所述主板、中間板、下部板可以配備為從上部向下部彼此隔開，所述第一移送引導件配備於所述主板與中間板之間，所述第二移送引導件配備於所述中間板與下部板之間。

在所述上部模塊可以配備有：第三移送引導件，用於引導所述下部模塊沿垂直方向移送。

在所述第三移送引導件可以配備有用於對垂直方向移送進行制動的垂直方向制動部。

可以配備有用於對所述水平方向中的至少任意一個直線方向移送進行制動的水平方向制動部。

在所述下部模塊可以配備有：移送機構，用於相對於所述閥部沿前後方向和左右方向一體地移送所述蓋分離部和連接器緊固部；旋轉機構，用於使所述蓋分離部和連接器緊固部旋轉，並且配備有：控制部，用於控制所述移送機構的移送及所述旋轉機構的旋轉。

根據本發明，下部模塊能夠沿垂直方向升降的同時，當水平方向移送時進行對準，從而能夠防止對準部破損。

並且，下部模塊相對於上部模塊可旋轉，從而能夠實現更準確的對準。

並且，即使操作者未將容器置於容器裝載部的準確位置也能夠實現容器的準確對準，因此作業便利。

以下，參照附圖對本發明進行詳細說明。

在此，對方向進行命名時，將圖1所示的X軸稱為前後方向，Y軸稱為左右方向，Z軸稱為垂直方向。並且，水平方向包括由XY平面構成的所述左右方向和前後方向。

參照圖1，本發明的配備有對準功能的氣體供應裝置1構成為包括：上部模塊2，配備有主板211，所述主板211固定設置在從配備於容器10上端的閥部向上側隔開的位置固定設置；下部模塊3，配備於所述上部模塊2的下部，能夠相對於所述上部模塊2沿垂直方向升降，並且包括第二對準部351（圖4），該第二對準部351當水平方向移送時通過與配備於所述容器10側的第一對準部530（圖2）結合而實現所述容器10的對準。

參照圖2，所述容器10作為用於儲存並供應向半導體裝置等氣體需求處供應的工藝氣體的構成，在容器10的上部配備有所述閥部。

所述閥部構成為包括：閥20，用於管制氣體的供應；閥連接器30，配備於所述閥20的一側而緊固於連接器緊固部330；蓋31，覆蓋所述閥連接器30；閥閘（Valve Shutter）40，開閉所述閥20；手柄50，連接於所述閥閘40的上部，通過旋轉而使閥閘40升降，從而開閉閥20。

在所述閥部結合有固定塊510、520。在所述固定塊510、520配備有所述第一對準部530。

所述固定塊510、520可以包括包圍所述閥部的第一固定塊510和第二固定塊520。

若通過所述第一固定塊510與第二固定塊520的結合而包圍所述閥部，則所述閥部中的所述閥連接器30及蓋31相對於所述固定塊510、520向側方向凸出並暴露，所述閥部中的所述手柄50相對於所述固定塊510、520向上方凸出並暴露。

所述第一固定塊510具有水平方向的長度，並且所述水平方向的一側部包圍所述閥部，在所述水平方向的另一側部配備有所述第一對準部530。

所述第一固定塊510的一側部形成有槽以收容所述閥部，在所述槽收容所述閥部的狀態下，利用所述第二固定塊520包圍所述閥部，之後利用結合銷540使第一固定塊510與第二固定塊520保持結合的狀態。

所述第一對準部530可以由從所述第一固定塊510的側面向作為與所述閥連接器30相同的方向的X軸方向凸出而具有水平方向的長度的對準銷530構成。

所述第二對準部351可以由形成於後文所述的下部模塊3的對準塊350（圖4）的對準銷插入槽351構成。

通過使所述對準銷530插入到所述對準銷插入槽351而實現所述容器10的對準。

在本實施例中，以第一對準部530由對準銷構成，且第二對準部351由對準銷插入槽構成的情形為例進行了說明，然而也可以是第一對準部由對準銷插入槽構成，使第二對準部由對準銷構成。

並且，在本實施例中，以對準銷插入到對準銷插入槽的情形為例進行了說明，然而並不侷限於此，也可以構成為第一對準部與第二對準部緊固或結合的結構。將所述第一對準部與第二對準部插入、緊固、結合的方式統稱定義為「結合」。

所述第一固定塊510在與所述第一對準部530鄰近的位置配備有第一結合部511。與所述第一結合部511實現結合的第二結合部352配備於所述下部模塊3。

所述第一結合部511可以由固定槽511構成，所述固定槽511在所述第一固定塊510中的與形成所述第一對準部530的面相同的面沿X軸方向凹陷而形成。

所述第二結合部352可以由固定塊結合部件352構成，所述固定塊結合部件352在與所述第二對準部351鄰近的位置的對準塊350朝向所述第一結合部511凸出。

在所述固定塊結合部件352的外側面配備有多個凸起352a，所述多個凸起352a被配備於內部的彈簧（未圖示）彈性支撐。在所述固定槽511的內部形成有供所述凸起352a插入的凸起插入槽（未圖示）。若所述固定塊結合部件352插入到所述固定槽511，則所述凸起352a插入到所述凸起插入槽，從而可以防止所述固定塊結合部件352從所述固定槽511脫離，進而保持所述下部模塊3結合於所述第一固定塊510的狀態。

在從固定槽511拔出所述固定塊結合部件352的情況下，若供應空氣（air）而使所述凸起352a克服所述彈簧的彈力並從固定塊結合部件352的表面進入到內側，則所述凸起352a從所述凸起插入槽脫離。據此，所述固定塊結合部件352可以從固定槽511脫離。

參照圖3，在所述上部模塊2配備有所述主板211、中間板212、下部板213、第一移送引導件220、第二移送引導件230、第三移送引導件241、242。

所述主板211構成為平板形狀，結合於諸如未圖示的櫃體等位置被固定的相對物。

所述中間板212構成為平板形狀並配備為與所述主板211的下部隔開。所述下部板213構成為平板形狀並配備為與所述中間板212的下部隔開。

所述第一移送引導件220可以配備於所述主板211與中間板212之間，由如下的LM引導件構成：引導包括所述中間板212、第二移送引導件230、下部板213及下部模塊3在內的所有連接於所述中間板212的下部的部件使其沿作為水平方向的Y軸方向（第一方向）移送。

所述第二移送引導件230可以配備於所述中間板212與下部板213之間，由如下的LM引導件構成：引導包括所述下部板213及下部模塊3在內的所有連接於所述下部板213的下部的部件使其沿作為水平方向的與Y軸垂直的X軸方向（第二方向）移送。

在所述下部板213結合有一對移送引導件結合板243、244，在所述一對移送引導件結合板243、244配備有一對第三移送引導件241、242。

所述一對移送引導件結合板243、244在所述下部板213的一側和另一側彼此對向而配備，並且構成為具有上下方向的長度的板形狀。

在所述第三移送引導件241、242的下部結合有所述下部模塊3，所述第三移送引導件241、242可以由引導所述下部模塊3使其沿垂直方向移送的LM引導件構成。

在所述一對第三移送引導件241、242的下端部結合有一對移送引導件支撐部件251、252。

在所述第一移送引導件至第三移送引導件220、230、241、242未連接有驅動結構，而僅起到使操作者能夠手動移送的引導功能。即，若操作者用手抓持下部模塊3而沿X軸、Y軸、Z軸方向施加力，則下部模塊3在施加力的方向上沿各個移送引導件被移送。

另外，在所述第一移送引導件至第三移送引導件220、230、241、242可以配備有起到制動功能的制動部。

可以配備有執行如下制動功能的水平方向制動部（未圖示）：在被所述第一移送引導件220引導而沿第一方向移送的情況下，在特定位置保持停止狀態。並且，可以配備有執行如下制動功能的水平方向制動部（未圖示）：在被所述第二移送引導件230引導而沿第二方向移送的情況下，在特定位置保持停止狀態。並且，可以配備有執行如下制動功能的垂直方向制動部260：在借助於所述第三移送引導件241、242沿垂直方向移送的情況下，在特定位置保持停止狀態。

在這種情況下，所述水平方向制動部可以分別配備於所述第一移送引導件220和第二移送引導件230，也可以僅配備於所述第一移送引導件220和第二移送引導件230這兩個中的任意一個。優選地可以構成為，所述水平方向制動部僅配備於所述第一移送引導件220而不配備於所述第二移送引導件230，對於所述第二方向的制動而言，通過所述第一結合部511與第二結合部352的結合而保持固定狀態。

所述水平方向制動部和垂直方向制動部260可以構成為在利用彈簧（未圖示）的按壓力抓持LM引導件的軌道的狀態下保持制動力，若供應空氣（air）而從軌道去除所述彈簧的按壓力，則解除制動力。

可以配備有用於施加所述水平方向制動部和垂直方向制動部260的操作信號的制動開關（未圖示）。若處於操作者按壓所述制動開關的狀態，則所述水平方向制動部和垂直方向制動部260的制動力被解除，從而下部模塊3能夠被第一移送引導件220和第三移送引導件241、242引導而沿Y軸及Z軸方向自由移動。在操作者從制動開關拿開手的瞬間，開關借助於彈簧的力自動恢復，從而被施加所述水平方向制動部和垂直方向制動部260的制動力，進而下部模塊3可以不發生移動而保持被固定的狀態。

所述一對移送引導件支撐部件251、252其截面為「└」字形狀，且配備為彼此對向，從而成為對稱的形狀。所述移送引導件支撐部件251、252的主體部251a、252a的上端部結合於所述第三移送引導件241、242的下端部，下端部結合於下部模塊3的上端部。

所述一側的移送引導件支撐部件251的底部251b與所述下部模塊3通過固定銷253結合。所述固定銷253以相對於所述移送引導件支撐部件251可自轉的方式結合於所述移送引導件支撐部件251。

在所述另一側的移送引導件支撐部件252的底部252b形成有圓弧形狀的引導件槽252c，並且結合於所述下部模塊3上部的引導銷254插入到所述引導件槽252c。所述引導銷254設計為在所述引導件槽252c內部可移動。

若如上所述地構成，則當操作者向下部模塊3沿旋轉的方向施加力時，下部模塊3將以所述固定銷253為旋轉中心旋轉。在這種情況下，所述引導銷254在引導件槽252c內被引導，進而旋轉角度被限制。

參照圖4，在所述下部模塊3配備有多個殼體311、312、313、蓋分離部320、連接器緊固部330、移送機構340、對準塊350、插頭模塊360、墊片供應部370及旋轉機構380（圖1）。

所述多個殼體311、312、313包括：上部殼體311，以板形狀配備於所述下部模塊3的上部；第一側面殼體312和第二側面殼體313，分別結合於所述上部殼體311的兩側。

在所述上部殼體311結合有上部模塊2的固定銷253和引導銷254。所述上部殼體311、第一側面殼體312、第二側面殼體313配備為包圍所述下部模塊3的上部及外側周圍的一部分。

所述蓋分離部320將覆蓋閥連接器30的蓋31從所述閥連接器30分離，其中，所述閥連接器30配備於所述閥部。

所述蓋分離部320形成有槽，使得所述蓋31插入到內部，若在所述蓋31插入到所述蓋分離部320的槽的狀態下驅動所述旋轉機構380而使所述蓋分離部320旋轉，則所述蓋31從所述閥連接器30分離。與此相反，可以驅動所述旋轉機構380而將從所述蓋分離部320分離的蓋31結合到所述閥連接器30。

所述連接器緊固部330配備為能夠將連接於氣體需求處的連接配管連接器331結合於所述閥連接器30。若在所述連接器緊固部330與閥連接器30連接的狀態下開放閥20，則容器10內部的氣體通過閥連接器30和連接配管連接器331向氣體需求處供應。

所述移送機構340將所述蓋分離部320和連接器緊固部330一體地沿左右方向（Y軸方向）和前後方向（X軸方向）移送。

所述移送機構340可以包括：第一移送機構，用於將所述蓋分離部320和連接器緊固部330一體地沿前後方向移送；第二移送機構，用於將所述蓋分離部320和連接器緊固部330一體地沿左右方向移送。

所述第一移送機構可以包括用於沿前後方向進行移送的移送引導件和通過供應空氣（air）而施加移送力的氣缸。並且，所述第二移送機構可以包括用於沿左右方向進行移送的移送引導件和通過供應空氣（air）而施加移送力的氣缸。

所述旋轉機構380使所述蓋分離部320和連接器緊固部330旋轉。所述旋轉機構380包括發生旋轉力的馬達和減速器，並且包括用於向所述蓋分離部320和連接器緊固部330傳遞所述旋轉力的旋轉傳遞部件。

所述旋轉傳遞部件分別向蓋分離部320和連接器緊固部330傳遞所述旋轉力，若所述馬達驅動，則所述蓋分離部320和連接器緊固部330將同時旋轉。與此不同，所述旋轉機構380也可以構成為配備有兩個馬達，並且利用所述兩個馬達使得所述蓋分離部320和連接器緊固部330分別旋轉。

配備有控制部，所述控制部用於控制包括所述移送機構340和所述旋轉機構380在內的本發明的整個氣體供應裝置1。

所述對準塊350在所述第二側面殼體313的前方端部以凸出的方式結合，並且構成為大致四角筒形狀。在所述對準塊350的前方表面形成有作為第二對準部351的對準銷插入槽351，在所述對準銷插入槽351的下側，作為所述第二結合部352的固定塊結合部件352形成為朝向所述閥部凸出的形狀。

參照圖4和圖5，對插頭模塊360和墊片供應部370進行說明。

所述插頭模塊360構成為包括：插頭361，為了在閥連接器30與連接器緊固部330未緊固的狀態下防止異物流入到連接器緊固部330內部而結合於連接器緊固部330；插頭支撐部件362，用於支撐所述插頭361的端部；插頭支撐殼體363，結合併支撐所述插頭支撐部件362；插頭移送引導件364，用於將所述插頭361、插頭支撐部件362及插頭支撐殼體363一體地沿前後方向移送；插頭模塊支撐台314，結合併支撐所述插頭移送引導件364，並且結合於所述上部殼體311。

所述墊片供應部370用於當替換容器10時在所述連接配管連接器331安裝新的墊片，構成為包括：墊片抓持器372，抓持墊片371；墊片收容部373，收容多個墊片371；墊片移送機構374，為了將收容於所述墊片收容部373的墊片371安裝到所述連接配管連接器331而進行移送。所述墊片移送機構374配備為在所述墊片抓持器372抓持有墊片371的狀態下沿Y軸方嚮往返移動。

參照圖6至圖11對根據本發明的氣體供應裝置的操作進行說明。

首先，為了替換容器10，將容器10裝載於容器裝載部（未圖示）上。

接下來，操作者使下部模塊3沿前後方向、左右方向、上下方向移動，從而如圖6所示，以第二對準部351與第一對準部530相面對的方式進行對準。

如上所述，若操作者為了進行對準而沿前後方向、左右方向、上下方向向下部模塊3施加力，則下部模塊3向施加力的方向沿各個移送引導件220、230、241、242被移送。

並且，若操作者向下部模塊3施加力以使其沿水平方向旋轉，則以固定銷253為旋轉中心旋轉而引導銷254沿引導槽252c內部旋轉，從而下部模塊3在XY平面上旋轉而實現對準。

因此，操作者可以將力施加為使下部模塊3不僅能夠沿前後方向、左右方向、上下方向移送，還能夠沿水平方向旋轉，因此能夠易於使第一對準部530與第二對準部351對準。

若在圖6的狀態下進一步向作為X軸方向的前方推動下部模塊3，則如圖7所示，作為第一對準部530的對準銷530插入到作為第二對準部351的對準銷插入槽351。在這種情況下，第一結合部511與第二結合部352結合，從而能夠防止下部模塊3與固定塊510、520分離。並且，蓋分離部320佈置為與蓋31相面對。

若在圖7的狀態下驅動移送機構340的第一移送機構而使蓋分離部320向前方移動，則如圖8所示，蓋31插入到蓋分離部320。在這種情況下，也可以構成為使蓋分離部320向X軸方向的前方移動，並且驅動旋轉機構380而使蓋分離部320旋轉，從而蓋31插入到蓋分離部320。

若蓋31插入到所述蓋分離部320，則如圖8至圖11所示的操作受到控制部的控制而自動進行操作。

若通過所述控制部驅動旋轉機構380而使蓋分離部320旋轉，同時驅動所述第一移送機構而使蓋分離部320向後方移動，則蓋31從閥連接器30分離。

在所述蓋31從閥連接器30分離之後，若驅動移送機構340的第二移送機構，則如圖9所示，蓋分離部320和連接器緊固部330一體地沿Y軸方向移動，從而連接器緊固部330與閥連接器30佈置為相面對。

若在圖9的狀態下驅動墊片移送機構374，則如圖10所示，墊片371被墊片抓持器372抓持的狀態下沿X軸及Y軸方向移送，從而墊片371將被佈置於閥連接器30的端部。

與此不同，可以構成為不將所述墊片371佈置於閥連接器30的端部，而是將所述墊片371先結合於連接配管連接器331。即，也可以構成為在墊片抓持器372抓持墊片371的狀態下沿X軸及Y軸方向移送，從而將墊片371結合於連接配管連接器331，在該狀態下將連接器緊固部330和抓持有墊片371的墊片抓持器372沿X軸方向移送，從而使墊片371佈置於閥連接器30的端部。

若在圖10的狀態下驅動移送機構340的第一移送機構而向前方移送連接器緊固部330的同時，驅動旋轉機構380而使連接器緊固部330旋轉，則如圖11所示，閥連接器30結合於連接器緊固部330的連接配管連接器331，並且通過驅動墊片移送機構374，從而使墊片抓持器372向脫離閥連接器30的位置移動。

通過如上所述的過程，若在閥連接器30結合於連接配管連接器331的狀態下旋轉手柄50而開放閥20，則收容於容器10的氣體將被供應至氣體需求處。

在這種情況下，還可以配備有用於使所述手柄50旋轉的手柄旋轉部（未圖示），所述手柄旋轉部可以構成為其位置被控制部控制，從而自動地開放所述手柄50。

根據如上所述的構成，下部模塊3能夠沿垂直方向升降的同時當水平方向移送時實現對準，從而能夠防止第一對準部和第二對準部的破損。並且，下部模塊3相對於上部模塊2可旋轉，從而能夠更準確地進行對準。並且，即使操作者未將容器10置於容器裝載部的準確位置也能夠實現容器10的準確對準，因此便於作業。

如上文所述，雖然以優選的實施例為例對本發明進行了詳細的說明，但是本發明並不限於上述的實施例，在權利要求範圍和本發明的詳細說明以及附圖的範圍內能夠進行各種變形而實施，且這些也屬於本發明。

1:氣體供應裝置 2:上部模塊 3:下部模塊 10:容器 20:閥 30:閥連接器 31:蓋 40:閥閘 50:手柄 211:主板 212:中間板 213:下部板 220:第一移送引導件 230:第二移送引導件 241、242:第三移送引導件 243、244:移送引導件結合板 251、252:移送引導件支撐部件 251a、252a:主體部 251b、252b:底部 252c:引導槽 253:固定銷 254:引導銷 260:垂直方向制動部 311:上部殼體 312:第一側面殼體 313:第二側面殼體 314:插頭模塊支撐台 320:蓋分離部 330:連接器緊固部 331:連接配管連接器 340:移送機構 350:對準塊 351:第二對準部 352:第二結合部 352a:凸起 360:插頭模塊 361:插頭 362:插頭支撐部件 363:插頭支撐殼體 364:插頭移送引導件 370:墊片供應部 371:墊片 372:墊片抓持器 373:墊片收容部 374:墊片移送機構 380:旋轉機構 510、520:固定塊 511:第一結合部 530:第一對準部 540:結合銷

圖1是示出本發明的氣體供應裝置的立體圖。 圖2是示出在本發明的氣體供應裝置中閥固定模塊結合於容器的狀態的立體圖。 圖3是示出本發明的氣體供應裝置的上部模塊的立體圖。 圖4是示出本發明的氣體供應裝置的下部模塊的立體圖。 圖5是示出本發明的氣體供應裝置中的插頭模塊和墊片供應部的立體圖。 圖6是示出在本發明的氣體供應裝置中第一對準部與第二對準部佈置為對向的狀態的平面圖。 圖7是示出在圖6的狀態下使下部模塊前進而第一對準部與第二對準部結合的狀態的平面圖。 圖8是示出在圖7的狀態下使蓋分離部前進而結合於蓋的狀態的平面圖。 圖9是示出在圖8的狀態下連接器緊固部佈置為與閥連接器對向的狀態的平面圖。 圖10是示出在圖9的狀態下從墊片供應部向閥連接器供應墊片的狀態的平面圖。 圖11是示出在圖10的狀態下墊片抓持器移動且連接器緊固部與閥連接器連接狀態的平面圖。

1:氣體供應裝置

2:上部模塊

3:下部模塊

10:容器

211:主板

241、242:第三移送引導件

251、252:移送引導件支撐部件

311:上部殼體

340:移送機構

350:對準塊

380:旋轉機構

510:固定塊

Claims (18)

1. 一種配備有對準功能的氣體供應裝置，包括：上部模塊，配備有主板，該主板固定設置在配備於容器上端的閥部的上側；下部模塊，包括蓋分離部與連接器緊固部；固定塊，與該閥部結合；其中，該蓋分離部將覆蓋閥連接器的蓋從該閥連接器分離，該閥連接器配備於該閥部，該連接器緊固部用於將連接於氣體需求處的連接配管連接器連接到該閥連接器，配備於該固定塊的第一結合部與配備於該下部模塊的第二結合部結合，從而保持該固定塊與該下部模塊的結合狀態，該第一結合部與該第二結合部的結合根據是否供應空氣而解除。
2. 根據請求項1所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中該下部模塊包括第二對準部，當水平方向移送時通過與配備於該閥部的第一對準部結合而實現該容器的對準，該下部模塊能夠相對於該上部模塊沿垂直方向升降。
3. 根據請求項2所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中該第一對準部和第二對準部中的任意一個由具有水平方向的長度的銷形狀的對準銷構成，其餘一個由供該對準銷插入的對準銷插入槽構成。
4. 根據請求項2所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中該第二對準部與配備於該下部模塊的外側的側面殼體結合。
5. 根據請求項4所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中在該側面殼體結合有對準塊，該第二對準部在該對準塊配備於朝向該閥部的面。
6. 根據請求項2所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中該第一對準部配備於該固定塊，該固定塊包括：第一固定塊和第二固定塊，該第一固定塊和第二固定塊以如下方式包圍該閥部：使得使用於管制氣體的供應的閥開閉的手柄向上部暴露，並且使該閥連接器向該連接配管連接器所在的方向暴露，該第一固定塊具有水平方向的長度，並且該水平方向的一側部包圍該閥部，在該水平方向的另一側部配備有該第一對準部。
7. 根據請求項2所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中該第一對準部以鄰近於該第一結合部的方式配備於該固定塊，當該第一對準部與該第二對準部結合時，該第一結合部與該第二結合部結合。
8. 根據請求項7所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中在該下部模塊結合有對準塊，該第二結合部由配備於該對準塊且朝向該第一結合部凸出的固定塊結合部件構成，該第一結合部由形成於該固定塊而使該固定塊結合部件插入的固定槽構成，若該固定塊結合部件插入到該固定槽，則該固定塊結合部件被防止從該固定槽脫離，若供應空氣，則該固定塊結合部件能夠從該固定槽脫離。
9. 根據請求項1所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中該下部模塊能夠相對於該上部模塊沿水平方向旋轉。
10. 根據請求項9所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中該下部模塊的上部與該上部模塊的下部通過固定銷結合，在該下部模塊和該上部模塊中的任意一個結合有引導銷，在其餘一個形成有圓弧形狀的引導槽，以使該引導銷插入該引導槽而能夠以該固定銷為旋轉中心旋轉。
11. 根據請求項10所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中在該上部模塊配備有：一對移送引導件，用於沿垂直方向移送該下部模塊；以及一對移送引導件支撐部件，結合於該一對移送引導件的下部，其中，該一對移送引導件支撐部件中的一側的移送引導件支撐部件與該下部模塊通過該固定銷結合，在形成於另一側的移送引導件支撐部件的該引導槽插入有結合於該下部模塊的引導銷。
12. 根據請求項9所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中該下部模塊相對於該上部模塊能夠沿水平方向旋轉的同時直線移動。
13. 根據請求項1所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中在該上部模塊配備有：第一移送引導件，為了引導該下部模塊沿作為水平方向中的任意一個的第一方向移送而配備；以及第二移送引導件，用於引導該下部模塊沿水平方向中的與該第一方向垂直的第二方向移送。
14. 根據請求項13所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中該主板、中間板、下部板配備為從上部向下部彼此隔開，該第一移送引導件配備於該主板與該中間板之間，該第二移送引導件配備於該中間板與下部板之間。
15. 根據請求項2所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中在該上部模塊配備有：第三移送引導件，用於引導該下部模塊沿該垂直方向移送。
16. 根據請求項15所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中在該第三移送引導件配備有用於對該垂直方向移送進行制動的垂直方向制動部。
17. 根據請求項1所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中配備有用於對該水平方向中的至少任意一個直線方向移送進行制動的水平方向制動部。
18. 根據請求項1所述的配備有對準功能的氣體供應裝置，其中在該下部模塊配備有：移送機構，用於相對於該閥部沿前後方向和左右方向一體地移送該蓋分離部和該連接器緊固部；以及旋轉機構，用於使該蓋分離部和該連接器緊固部旋轉，並且配備有：控制部，用於控制該移送機構的移送及該旋轉機構的旋轉。

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