CN113446515A - 配备有对准功能的气体供应装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于提供一种能够沿垂直方向升降的同时当水平方向移送时进行对准，从而能够防止对准部破损的配备有对准功能的气体供应装置。用于实现此目的的本发明的气体供应装置包括：上部模块，包括主板，所述主板固定设置在配备于容器上端的阀部的上侧；下部模块，包括盖分离部、连接器紧固部和第二对准部，并且能够相对于所述上部模块沿垂直方向升降，其中，所述盖分离部将覆盖阀连接器的盖从所述阀连接器分离，所述阀连接器配备于所述阀部，所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器，所述第二对准部当水平方向移送时通过与配备于所述阀部的第一对准部结合而实现所述容器的对准。

Description

配备有对准功能的气体供应装置
技术领域
本发明涉及一种气体供应装置，尤其涉及一种当替换气体储存容器时能够在将气体储存容器的阀连接器与连接于气体需求处的连接配管连接器紧固之前对准气体储存容器的气体供应装置。
背景技术
通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备等执行精密作业的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合于各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。
为了进行有效的提供，许多种类的气体在高压状态下进行保管，尤其，具有可燃性、毒性、腐蚀性等有害特性的气体在与人类隔离的单独的空间进行严格管理。
保管气体的气体储存容器(以下，简称为“容器”)连接于气体需求处，若保管在容器的气体被全部消耗，则将连接于气体需求处的连接配管从气体容器的阀分离而替换容器之后，将连接于气体需求处的连接配管连接器结合到替换后的容器的阀连接器而再次供应气体。
在这样替换容器的情况下，操作者必须将容器放置在容器装载部的原位置，但是若没有配备用于将容器放置到原位置的自动化装置，则具有操作者难以将气体桶准确地放置到原位置的问题。
当然，若配备有自动化装置，则能够将容器放置到原位置，但是具有装置的构成复杂且制造成本高的问题。
作为关于半导体设备的气体供应装置的现有技术，公开有韩国授权专利第10-0242982号。
发明内容
本发明是为了解决上述的各种问题而提出的，其目的在于提供一种能够沿垂直方向升降的同时当水平方向移送时进行对准，从而能够防止对准部破损的气体供应装置。
本发明的另一目的在于提供一种当水平方向移送时使对准部能够进行旋转，从而能够实现更准确的对准的气体供应装置。
用于达成上述目的的本发明的配备有对准功能的气体供应装置包括：上部模块，配备有主板，所述主板固定设置在配备于容器上端的阀部的上侧；下部模块，包括盖分离部、连接器紧固部和第二对准部，并且能够相对于所述上部模块沿垂直方向升降，其中，所述盖分离部将覆盖阀连接器的盖从所述阀连接器分离，所述阀连接器配备于所述阀部所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器，所述第二对准部当水平方向移送时通过与配备于所述阀部的第一对准部结合而实现所述容器的对准。
所述第一对准部和第二对准部中的任意一个可以由具有水平方向的长度的销形状的对准销构成，其余一个由供所述对准销插入的对准销插入槽构成。
所述第二对准部可以与配备于所述下部模块的外侧的侧面壳体结合。
在所述侧面壳体可以结合有对准块，所述第二对准部在所述对准块配备于朝向所述阀部的面。
所述第一对准部可以配备于与所述阀部结合的固定块，所述固定块包括：第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和第二固定块以如下方式包围所述阀部：使得使用于管制气体的供应的阀开闭的手柄向上部暴露，使所述阀连接器向所述连接配管连接器所在的方向暴露，所述第一固定块具有水平方向的长度，并且所述水平方向的一侧部包围所述阀部，在所述水平方向的另一侧部配备有所述第一对准部。
用于结合到在所述固定块邻近于所述第一对准部而配备的第一结合部的第二结合部可以配备于所述下部模块，当所述第一对准部与第二对准部结合时，所述第一结合部与第二结合部结合，从而保持所述固定块与所述下部模块的结合状态。
在所述下部模块可以结合有对准块，所述第二结合部由配备于所述对准块且朝向所述第一结合部凸出的固定块结合部件构成，所述第一结合部由形成于所述固定块而使所述固定块结合部件插入的固定槽构成，若所述固定块结合部件插入到所述固定槽，则所述固定块结合部件被防止从所述固定槽脱离，若供应空气，则所述固定块结合部件能够从所述固定槽脱离。
所述下部模块可以配备为能够相对于所述上部模块沿水平方向旋转。
所述下部模块的上部与所述上部模块的下部可以通过固定销结合，在所述下部模块和上部模块中的任意一个结合有引导销，在其余一个形成有圆弧形状的引导槽，以使所述引导销插入所述引导槽而能够以所述固定销为旋转中心旋转。
在所述上部模块可以配备有：一对移送引导件，用于沿垂直方向移送所述下部模块；一对移送引导件支撑部件，结合于所述一对移送引导件的下部，其中，所述一对移送引导件支撑部件中的一侧的移送引导件支撑部件与所述下部模块通过所述固定销结合，在形成于另一侧的移送引导件支撑部件的所述引导槽插入有结合于所述下部模块的引导销。
所述下部模块可以相对于所述上部模块能够沿水平方向旋转的同时直线移动。
在所述上部模块可以配备有：第一移送引导件，为了引导所述下部模块沿作为水平方向中的任意一个的第一方向移送而配备；第二移送引导件，用于引导所述下部模块沿水平方向中的与第一方向垂直的第二方向移送。
所述主板、中间板、下部板可以配备为从上部向下部彼此隔开，所述第一移送引导件配备于所述主板与中间板之间，所述第二移送引导件配备于所述中间板与下部板之间。
在所述上部模块可以配备有：第三移送引导件，用于引导所述下部模块沿垂直方向移送。
在所述第三移送引导件可以配备有用于对垂直方向移送进行制动的垂直方向制动部。
可以配备有用于对所述水平方向中的至少任意一个直线方向移送进行制动的水平方向制动部。
在所述下部模块可以配备有：移送机构，用于相对于所述阀部沿前后方向和左右方向一体地移送所述盖分离部和连接器紧固部；旋转机构，用于使所述盖分离部和连接器紧固部旋转，并且配备有：控制部，用于控制所述移送机构的移送及所述旋转机构的旋转。
根据本发明，下部模块能够沿垂直方向升降的同时，当水平方向移送时进行对准，从而能够防止对准部破损。
并且，下部模块相对于上部模块可旋转，从而能够实现更准确的对准。
并且，即使操作者未将容器置于容器装载部的准确位置也能够实现容器的准确对准，因此作业便利。
附图说明
图1是示出本发明的气体供应装置的立体图。
图2是示出在本发明的气体供应装置中阀固定模块结合于容器的状态的立体图。
图3是示出本发明的气体供应装置的上部模块的立体图。
图4是示出本发明的气体供应装置的下部模块的立体图。
图5是示出本发明的气体供应装置中的插头模块和垫片供应部的立体图。
图6是示出在本发明的气体供应装置中第一对准部与第二对准部布置为对向的状态的平面图。
图7是示出在图6的状态下使下部模块前进而第一对准部与第二对准部结合的状态的平面图。
图8是示出在图7的状态下使盖分离部前进而结合于盖的状态的平面图。
图9是示出在图8的状态下连接器紧固部布置为与阀连接器对向的状态的平面图。
图10是示出在图9的状态下从垫片供应部向阀连接器供应垫片的状态的平面图。
图11是示出在图10的状态下垫片抓持器移动且连接器紧固部与阀连接器连接状态的平面图。
符号说明
1：气体供应装置 2：上部模块
3：下部模块 10：容器
20：阀 30：阀连接器
31：盖 40：阀闸
50：手柄 211：主板
212：中间板 213：下部板
220：第一移送引导件 230：第二移送引导件
241、242：第三移送引导件 243、244：移送引导件结合板
251、252：移送引导件支撑部件 25a1、252a：主体部
251b、252b：底部 252c：引导槽
253：固定销 254：引导销
311：上部壳体 312：第一侧面壳体
313：第二侧面壳体 314：插头模块支撑台
320：盖分离部 330：连接器紧固部
331：连接配管连接器 340：移送机构
350：对准块 351：第二对准部
352：第二结合部 352a：凸起
360：插头模块 361：插头
370：垫片供应部 371：垫片
372：垫片抓持器 374：垫片移送机构
380：旋转机构 510、520：固定块
511：第一结合部 530：第一对准部
540：结合销
具体实施方式
以下，参照附图对本发明进行详细说明。
在此，对方向进行命名时，将图1所示的X轴称为前后方向，Y轴称为左右方向，Z轴称为垂直方向。并且，水平方向包括由XY平面构成的所述左右方向和前后方向。
参照图1，本发明的配备有对准功能的气体供应装置1构成为包括：上部模块2，配备有主板211，所述主板211固定设置在从配备于容器10上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置；下部模块3，配备于所述上部模块2的下部，能够相对于所述上部模块2沿垂直方向升降，并且包括第二对准部351(图4)，该第二对准部351当水平方向移送时通过与配备于所述容器10侧的第一对准部530(图2)结合而实现所述容器10的对准。
参照图2，所述容器10作为用于储存并供应向半导体装置等气体需求处供应的工艺气体的构成，在容器10的上部配备有所述阀部。
所述阀部构成为包括：阀20，用于管制气体的供应；阀连接器30，配备于所述阀20的一侧而紧固于连接器紧固部330；盖31，覆盖所述阀连接器30；阀闸(Valve Shutter)40，开闭所述阀20；手柄50，连接于所述阀闸40的上部，通过旋转而使阀闸40升降，从而开闭阀20。
在所述阀部结合有固定块510、520。在所述固定块510、520配备有所述第一对准部530。
所述固定块510、520可以包括包围所述阀部的第一固定块510和第二固定块520。
若通过所述第一固定块510与第二固定块520的结合而包围所述阀部，则所述阀部中的所述阀连接器30及盖31相对于所述固定块510、520向侧方向凸出并暴露，所述阀部中的所述手柄50相对于所述固定块510、520向上方凸出并暴露。
所述第一固定块510具有水平方向的长度，并且所述水平方向的一侧部包围所述阀部，在所述水平方向的另一侧部配备有所述第一对准部530。
所述第一固定块510的一侧部形成有槽以收容所述阀部，在所述槽收容所述阀部的状态下，利用所述第二固定块520包围所述阀部，之后利用结合销540使第一固定块510与第二固定块520保持结合的状态。
所述第一对准部530可以由从所述第一固定块510的侧面向作为与所述阀连接器30相同的方向的X轴方向凸出而具有水平方向的长度的对准销530构成。
所述第二对准部351可以由形成于后文所述的下部模块3的对准块350(图4)的对准销插入槽351构成。
通过使所述对准销530插入到所述对准销插入槽351而实现所述容器10的对准。
在本实施例中，以第一对准部530由对准销构成，且第二对准部351由对准销插入槽构成的情形为例进行了说明，然而也可以是第一对准部由对准销插入槽构成，使第二对准部由对准销构成。
并且，在本实施例中，以对准销插入到对准销插入槽的情形为例进行了说明，然而并不局限于此，也可以构成为第一对准部与第二对准部紧固或结合的结构。将所述第一对准部与第二对准部插入、紧固、结合的方式统称定义为“结合”。
所述第一固定块510在与所述第一对准部530邻近的位置配备有第一结合部511。与所述第一结合部511实现结合的第二结合部352配备于所述下部模块3。
所述第一结合部511可以由固定槽511构成，所述固定槽511在所述第一固定块510中的与形成所述第一对准部530的面相同的面沿X轴方向凹陷而形成。
所述第二结合部352可以由固定块结合部件352构成，所述固定块结合部件352在与所述第二对准部351邻近的位置的对准块350朝向所述第一结合部511凸出。
在所述固定块结合部件352的外侧面配备有多个凸起352a，所述多个凸起352a被配备于内部的弹簧(未图示)弹性支撑。在所述固定槽511的内部形成有供所述凸起352a插入的凸起插入槽(未图示)。若所述固定块结合部件352插入到所述固定槽511，则所述凸起352a插入到所述凸起插入槽，从而可以防止所述固定块结合部件352从所述固定槽511脱离，进而保持所述下部模块3结合于所述第一固定块510的状态。
在从固定槽511拔出所述固定块结合部件352的情况下，若供应空气(air)而使所述凸起352a克服所述弹簧的弹力并从固定块结合部件352的表面进入到内侧，则所述凸起352a从所述凸起插入槽脱离。据此，所述固定块结合部件352可以从固定槽511脱离。
参照图3，在所述上部模块2配备有所述主板211、中间板212、下部板213、第一移送引导件220、第二移送引导件230、第三移送引导件241、242。
所述主板211构成为平板形状，结合于诸如未图示的柜体等位置被固定的相对物。
所述中间板212构成为平板形状并配备为与所述主板211的下部隔开。所述下部板213构成为平板形状并配备为与所述中间板212的下部隔开。
所述第一移送引导件220可以配备于所述主板211与中间板212之间，由如下的LM引导件构成：引导包括所述中间板212、第二移送引导件230、下部板213及下部模块3在内的所有连接于所述中间板212的下部的部件使其沿作为水平方向的Y轴方向(第一方向)移送。
所述第二移送引导件230可以配备于所述中间板212与下部板213之间，由如下的LM引导件构成：引导包括所述下部板213及下部模块3在内的所有连接于所述下部板213的下部的部件使其沿作为水平方向的与Y轴垂直的X轴方向(第二方向)移送。
在所述下部板213结合有一对移送引导件结合板243、244，在所述一对移送引导件结合板243、244配备有一对第三移送引导件241、242。
所述一对移送引导件结合板243、244在所述下部板213的一侧和另一侧彼此对向而配备，并且构成为具有上下方向的长度的板形状。
在所述第三移送引导件241、242的下部结合有所述下部模块3，所述第三移送引导件241、242可以由引导所述下部模块3使其沿垂直方向移送的LM引导件构成。
在所述一对第三移送引导件241、242的下端部结合有一对移送引导件支撑部件251、252。
在所述第一移送引导件至第三移送引导件220、230、241、242未连接有驱动结构，而仅起到使操作者能够手动移送的引导功能。即，若操作者用手抓持下部模块3而沿X轴、Y轴、Z轴方向施加力，则下部模块3在施加力的方向上沿各个移送引导件被移送。
另外，在所述第一移送引导件至第三移送引导件220、230、241、242可以配备有起到制动功能的制动部。
可以配备有执行如下制动功能的水平方向制动部(未图示)：在被所述第一移送引导件220引导而沿第一方向移送的情况下，在特定位置保持停止状态。并且，可以配备有执行如下制动功能的水平方向制动部(未图示)：在被所述第二移送引导件230引导而沿第二方向移送的情况下，在特定位置保持停止状态。并且，可以配备有执行如下制动功能的垂直方向制动部260：在借助于所述第三移送引导件241、242沿垂直方向移送的情况下，在特定位置保持停止状态。
在这种情况下，所述水平方向制动部可以分别配备于所述第一移送引导件220和第二移送引导件230，也可以仅配备于所述第一移送引导件220和第二移送引导件230这两个中的任意一个。优选地可以构成为，所述水平方向制动部仅配备于所述第一移送引导件220而不配备于所述第二移送引导件230，对于所述第二方向的制动而言，通过所述第一结合部511与第二结合部352的结合而保持固定状态。
所述水平方向制动部和垂直方向制动部260可以构成为在利用弹簧(未图示)的按压力抓持LM引导件的轨道的状态下保持制动力，若供应空气(air)而从轨道去除所述弹簧的按压力，则解除制动力。
可以配备有用于施加所述水平方向制动部和垂直方向制动部260的操作信号的制动开关(未图示)。若处于操作者按压所述制动开关的状态，则所述水平方向制动部和垂直方向制动部260的制动力被解除，从而下部模块3能够被第一移送引导件220和第三移送引导件241、242引导而沿Y轴及Z轴方向自由移动。在操作者从制动开关拿开手的瞬间，开关借助于弹簧的力自动恢复，从而被施加所述水平方向制动部和垂直方向制动部260的制动力，进而下部模块3可以不发生移动而保持被固定的状态。
所述一对移送引导件支撑部件251、252其截面为“└”字形状，且配备为彼此对向，从而成为对称的形状。所述移送引导件支撑部件251、252的主体部251a、252a的上端部结合于所述第三移送引导件241、242的下端部，下端部结合于下部模块3的上端部。
所述一侧的移送引导件支撑部件251的底部251b与所述下部模块3通过固定销253结合。所述固定销253以相对于所述移送引导件支撑部件251可自转的方式结合于所述移送引导件支撑部件251。
在所述另一侧的移送引导件支撑部件252的底部252b形成有圆弧形状的引导件槽252c，并且结合于所述下部模块3上部的引导销254插入到所述引导件槽252c。所述引导销254设计为在所述引导件槽252c内部可移动。
若如上所述地构成，则当操作者向下部模块3沿旋转的方向施加力时，下部模块3将以所述固定销253为旋转中心旋转。在这种情况下，所述引导销254在引导件槽252c内被引导，进而旋转角度被限制。
参照图4，在所述下部模块3配备有多个壳体311、312、313、盖分离部320、连接器紧固部330、移送机构340、对准块350、插头模块360、垫片供应部370及旋转机构380(图1)。
所述多个壳体311、312、313包括：上部壳体311，以板形状配备于所述下部模块3的上部；第一侧面壳体312和第二侧面壳体313，分别结合于所述上部壳体311的两侧。
在所述上部壳体311结合有上部模块2的固定销253和引导销254。所述上部壳体311、第一侧面壳体312、第二侧面壳体313配备为包围所述下部模块3的上部及外侧周围的一部分。
所述盖分离部320将覆盖阀连接器30的盖31从所述阀连接器30分离，其中，所述阀连接器30配备于所述阀部。
所述盖分离部320形成有槽，使得所述盖31插入到内部，若在所述盖31插入到所述盖分离部320的槽的状态下驱动所述旋转机构380而使所述盖分离部320旋转，则所述盖31从所述阀连接器30分离。与此相反，可以驱动所述旋转机构380而将从所述盖分离部320分离的盖31结合到所述阀连接器30。
所述连接器紧固部330配备为能够将连接于气体需求处的连接配管连接器331结合于所述阀连接器30。若在所述连接器紧固部330与阀连接器30连接的状态下开放阀20，则容器10内部的气体通过阀连接器30和连接配管连接器331向气体需求处供应。
所述移送机构340将所述盖分离部320和连接器紧固部330一体地沿左右方向(Y轴方向)和前后方向(X轴方向)移送。
所述移送机构340可以包括：第一移送机构，用于将所述盖分离部320和连接器紧固部330一体地沿前后方向移送；第二移送机构，用于将所述盖分离部320和连接器紧固部330一体地沿左右方向移送。
所述第一移送机构可以包括用于沿前后方向进行移送的移送引导件和通过供应空气(air)而施加移送力的气缸。并且，所述第二移送机构可以包括用于沿左右方向进行移送的移送引导件和通过供应空气(air)而施加移送力的气缸。
所述旋转机构380使所述盖分离部320和连接器紧固部330旋转。所述旋转机构380包括发生旋转力的马达和减速器，并且包括用于向所述盖分离部320和连接器紧固部330传递所述旋转力的旋转传递部件。
所述旋转传递部件分别向盖分离部320和连接器紧固部330传递所述旋转力，若所述马达驱动，则所述盖分离部320和连接器紧固部330将同时旋转。与此不同，所述旋转机构380也可以构成为配备有两个马达，并且利用所述两个马达使得所述盖分离部320和连接器紧固部330分别旋转。
配备有控制部，所述控制部用于控制包括所述移送机构340和所述旋转机构380在内的本发明的整个气体供应装置。
所述对准块350在所述第二侧面壳体313的前方端部以凸出的方式结合，并且构成为大致四角筒形状。在所述对准块350的前方表面形成有作为第二对准部351的对准销插入槽351，在所述对准销插入槽351的下侧，作为所述第二结合部352的固定块结合部件352形成为朝向所述阀部凸出的形状。
参照图4和图5，对插头模块360和垫片供应部370进行说明。
所述插头模块360构成为包括：插头361，为了在阀连接器30与连接器紧固部330未紧固的状态下防止异物流入到连接器紧固部330内部而结合于连接器紧固部330；插头支撑部件362，用于支撑所述插头361的端部；插头支撑壳体363，结合并支撑所述插头支撑部件362；插头移送引导件364，用于将所述插头361、插头支撑部件362及插头支撑壳体363一体地沿前后方向移送；插头模块支撑台314，结合并支撑所述插头移送引导件364，并且结合于所述上部壳体311。
所述垫片供应部370用于当替换容器10时在所述连接配管连接器331安装新的垫片，构成为包括：垫片抓持器372，抓持垫片371；垫片收容部373，收容多个垫片371；垫片移送机构374，为了将收容于所述垫片收容部373的垫片371安装到所述连接配管连接器331而进行移送。所述垫片移送机构374配备为在所述垫片抓持器372抓持有垫片371的状态下沿Y轴方向往返移动。
参照图6至图11对根据本发明的气体供应装置的操作进行说明。
首先，为了替换容器10，将容器10装载于容器装载部(未图示)上。
接下来，操作者使下部模块3沿前后方向、左右方向、上下方向移动，从而如图6所示，以第二对准部351与第一对准部530相面对的方式进行对准。
如上所述，若操作者为了进行对准而沿前后方向、左右方向、上下方向向下部模块3施加力，则下部模块3向施加力的方向沿各个移送引导件220、230、241、242被移送。
并且，若操作者向下部模块3施加力以使其沿水平方向旋转，则以固定销253为旋转中心旋转而引导销254沿引导槽252c内部旋转，从而下部模块3在XY平面上旋转而实现对准。
因此，操作者可以将力施加为使下部模块3不仅能够沿前后方向、左右方向、上下方向移送，还能够沿水平方向旋转，因此能够易于使第一对准部530与第二对准部351对准。
若在图6的状态下进一步向作为X轴方向的前方推动下部模块3，则如图7所示，作为第一对准部530的对准销530插入到作为第二对准部351的对准销插入槽351。在这种情况下，第一结合部511与第二结合部352结合，从而能够防止下部模块3与固定块510、520分离。并且，盖分离部320布置为与盖31相面对。
若在图7的状态下驱动移送机构340的第一移送机构而使盖分离部320向前方移动，则如图8所示，盖31插入到盖分离部320。在这种情况下，也可以构成为使盖分离部320向X轴方向的前方移动，并且驱动旋转机构380而使盖分离部320旋转，从而盖31插入到盖分离部320。
若盖31插入到所述盖分离部320，则如图8至图11所示的操作受到控制部的控制而自动进行操作。
若通过所述控制部驱动旋转机构380而使盖分离部320旋转，同时驱动所述第一移送机构而使盖分离部320向后方移动，则盖31从阀连接器30分离。
在所述盖31从阀连接器30分离之后，若驱动移送机构340的第二移送机构，则如图9所示，盖分离部320和连接器紧固部330一体地沿Y轴方向移动，从而连接器紧固部330与阀连接器30布置为相面对。
若在图9的状态下驱动垫片移送机构374，则如图10所示，垫片371被垫片抓持器372抓持的状态下沿X轴及Y轴方向移送，从而垫片371将被布置于阀连接器30的端部。
与此不同，可以构成为不将所述垫片371布置于阀连接器30的端部，而是将所述垫片371先结合于连接配管连接器331。即，也可以构成为在垫片抓持器372抓持垫片371的状态下沿X轴及Y轴方向移送，从而将垫片371结合于连接配管连接器331，在该状态下将连接器紧固部330和抓持有垫片371的垫片抓持器372沿X轴方向移送，从而使垫片371布置于阀连接器30的端部。
若在图10的状态下驱动移送机构340的第一移送机构而向前方移送连接器紧固部330的同时，驱动旋转机构380而使连接器紧固部330旋转，则如图11所示，阀连接器30结合于连接器紧固部330的连接配管连接器331，并且通过驱动垫片移送机构374，从而使垫片抓持器372向脱离阀连接器30的位置移动。
通过如上所述的过程，若在阀连接器30结合于连接配管连接器331的状态下旋转手柄50而开放阀20，则收容于容器10的气体将被供应至气体需求处。
在这种情况下，还可以配备有用于使所述手柄50旋转的手柄旋转部(未图示)，所述手柄旋转部可以构成为其位置被控制部控制，从而自动地开放所述手柄50。
根据如上所述的构成，下部模块3能够沿垂直方向升降的同时当水平方向移送时实现对准，从而能够防止第一对准部和第二对准部的破损。并且，下部模块3相对于上部模块2可旋转，从而能够更准确地进行对准。并且，即使操作者未将容器10置于容器装载部的准确位置也能够实现容器的准确对准，因此便于作业。
如上文所述，虽然以优选的实施例为例对本发明进行了详细的说明，但是本发明并不限于上述的实施例，在权利要求范围和本发明的详细说明以及附图的范围内能够进行各种变形而实施，且这些也属于本发明。

Claims (17)

1.一种气体供应装置，包括：
上部模块，配备有主板，所述主板固定设置在配备于容器上端的阀部的上侧；
下部模块，包括盖分离部、连接器紧固部和第二对准部，并且能够相对于所述上部模块沿垂直方向升降，
其中，所述盖分离部将覆盖阀连接器的盖从所述阀连接器分离，所述阀连接器配备于所述阀部，
所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器，
所述第二对准部当水平方向移送时通过与配备于所述阀部的第一对准部结合而实现所述容器的对准。
2.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
所述第一对准部和第二对准部中的任意一个由具有水平方向的长度的销形状的对准销构成，其余一个由供所述对准销插入的对准销插入槽构成。
3.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
所述第二对准部与配备于所述下部模块的外侧的侧面壳体结合。
4.根据权利要求3所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述侧面壳体结合有对准块，所述第二对准部在所述对准块配备于朝向所述阀部的面。
5.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
所述第一对准部配备于与所述阀部结合的固定块，
所述固定块包括：第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和第二固定块以如下方式包围所述阀部：使得使用于管制气体的供应的阀开闭的手柄向上部暴露，并且使所述阀连接器向所述连接配管连接器所在的方向暴露，
所述第一固定块具有水平方向的长度，并且所述水平方向的一侧部包围所述阀部，在所述水平方向的另一侧部配备有所述第一对准部。
6.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
所述第一对准部配备于与所述阀部结合的固定块，
用于结合到在所述固定块邻近于所述第一对准部而配备的第一结合部的第二结合部配备于所述下部模块，
当所述第一对准部与第二对准部结合时，所述第一结合部与第二结合部结合，从而保持所述固定块与所述下部模块的结合状态。
7.根据权利要求6所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述下部模块结合有对准块，
所述第二结合部由配备于所述对准块且朝向所述第一结合部凸出的固定块结合部件构成，
所述第一结合部由形成于所述固定块而使所述固定块结合部件插入的固定槽构成，
若所述固定块结合部件插入到所述固定槽，则所述固定块结合部件被防止从所述固定槽脱离，若供应空气，则所述固定块结合部件能够从所述固定槽脱离。
8.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
所述下部模块能够相对于所述上部模块沿水平方向旋转。
9.根据权利要求8所述的气体供应装置，其特征在于，
所述下部模块的上部与所述上部模块的下部通过固定销结合，
在所述下部模块和上部模块中的任意一个结合有引导销，在其余一个形成有圆弧形状的引导槽，以使所述引导销插入所述引导槽而能够以所述固定销为旋转中心旋转。
10.根据权利要求9所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述上部模块配备有：一对移送引导件，用于沿垂直方向移送所述下部模块；一对移送引导件支撑部件，结合于所述一对移送引导件的下部，
其中，所述一对移送引导件支撑部件中的一侧的移送引导件支撑部件与所述下部模块通过所述固定销结合，在形成于另一侧的移送引导件支撑部件的所述引导槽插入有结合于所述下部模块的引导销。
11.根据权利要求8所述的气体供应装置，其特征在于，
所述下部模块相对于所述上部模块能够沿水平方向旋转的同时直线移动。
12.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述上部模块配备有：
第一移送引导件，为了引导所述下部模块沿作为水平方向中的任意一个的第一方向移送而配备；
第二移送引导件，用于引导所述下部模块沿水平方向中的与所述第一方向垂直的第二方向移送。
13.根据权利要求12所述的气体供应装置，其特征在于，
所述主板、中间板、下部板配备为从上部向下部彼此隔开，
所述第一移送引导件配备于所述主板与中间板之间，
所述第二移送引导件配备于所述中间板与下部板之间。
14.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述上部模块配备有：第三移送引导件，用于引导所述下部模块沿垂直方向移送。
15.根据权利要求14所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述第三移送引导件配备有用于对垂直方向移送进行制动的垂直方向制动部。
16.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
配备有用于对所述水平方向中的至少任意一个直线方向移送进行制动的水平方向制动部。
17.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，
在所述下部模块配备有：移送机构，用于相对于所述阀部沿前后方向和左右方向一体地移送所述盖分离部和连接器紧固部；旋转机构，用于使所述盖分离部和连接器紧固部旋转，
并且配备有：控制部，用于控制所述移送机构的移送及所述旋转机构的旋转。
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