KR102579975B1 - 가스공급장치 및 가스공급장치의 커버결합방법 - Google Patents

가스공급장치 및 가스공급장치의 커버결합방법 Download PDF

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Abstract

실시예의 가스공급장치는, 용기에 구비된 밸브 커넥터에 결합된 커버를 분리한 후 보유하고, 상기 보유하고 있는 커버를 상기 밸브 커넥터에 결합하기 위한 커버 분리부; 상기 커버 분리부를 상기 밸브 커넥터를 향해 이송시키기 위한 이송수단; 상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 커버와 상기 밸브 커넥터 사이의 나사결합이 이루어지도록 하는 회전수단; 상기 커버 분리부를 상기 이송수단에 의해 이송되는 이송경로 상에서 고정되도록 하는 제동수단; 상기 이송수단과 상기 제동수단 및 상기 회전수단의 구동을 제어하기 위한 제어부를 포함한다.

Description

가스공급장치 및 가스공급장치의 커버결합방법{GAS SUPPLY DEVICE AND COVER COMBINING METHOD}
실시예는 가스공급장치 및 가스공급장치의 커버결합방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 커버와 밸브 커넥터의 나사결합이 확실하게 이루어질 수 있는 가스공급장치 및 가스공급장치의 커버결합방법에 관한 것이다.
일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 가스공급장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.
이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.
가스를 보관하는 가스 저장 용기(이하, '용기'라 약칭함)는 가스소요처에 연결되며, 용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 용기의 밸브 커넥터로부터 분리하여 용기를 교체한 후 교체된 용기의 밸브 커넥터에 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.
상기 가스공급장치에는 상기 밸브 커넥터를 덮는 커버와 상기 커버를 상기 밸브 커넥터로부터 분리 및 결합하기 위한 커버 분리부가 구비된다. 상기 커버와 밸브 커넥터는 나사결합되는데, 상기 나사결합이 정확하게 이루어지지 않을 경우 불완전 결합 및 나사산 마모가 발생하는 문제점이 있었다.
가스공급장치에 대한 종래기술로서, 대한민국 등록특허 제10-2292288호가 공개되어 있다.
실시예는 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 커버와 밸브 커넥터의 나사결합이 정확하게 이루어지고, 나사산 마모가 발생하는 것을 방지할 수 있는 가스공급장치 및 가스공급장치의 커버결합방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 실시예의 가스공급장치는, 용기에 구비된 밸브 커넥터에 결합된 커버를 분리한 후 보유하고, 상기 보유하고 있는 커버를 상기 밸브 커넥터에 결합하기 위한 커버 분리부; 상기 커버 분리부를 상기 밸브 커넥터를 향해 이송시키기 위한 이송수단; 상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 커버와 상기 밸브 커넥터 사이의 나사결합이 이루어지도록 하는 회전수단; 상기 커버 분리부를 상기 이송수단에 의해 이송되는 이송경로 상에서 고정되도록 하는 제동수단; 상기 이송수단과 상기 제동수단 및 상기 회전수단의 구동을 제어하기 위한 제어부를 포함한다.
상기 제어부는, 상기 커버 분리부가 상기 이송수단에 의해 상기 밸브 커넥터를 향해 설정위치까지 이송되도록 한 후, 상기 제동수단으로 상기 커버 분리부를 고정시킨 상태에서 상기 회전수단에 의해 상기 커버 분리부를 회전시키도록 제어하는 것으로 이루어질 수 있다.
상기 설정위치는 상기 이송수단에 의해 상기 커버 분리부가 이송되어 상기 커버와 상기 밸브 커넥터의 나사산이 맞물리기 시작하는 위치로 이루어질 수 있다.
상기 제어부는, 상기 커버 분리부가 고정시킨 상태에서 상기 커버 분리부를 설정된 회전수만큼 회전시켜 상기 나사결합이 일부 이루어지도록 하고, 상기 제동수단을 무부하 상태로 변환한 후 상기 나사결합이 완전히 이루어지도록 제어할 수 있다.
상기 제동수단은, 상기 이송수단에 의한 이송방향과 나란한 방향의 길이를 갖는 제동레일, 상기 커버 분리부가 일체로 구비되어 상기 제동레일 상에서 상기 이송방향을 따라 이송되며 상기 제동레일과의 사이에 제동이 이루어지는 제동부재, 상기 제동을 위한 구동력을 발생시키는 제동구동부로 이루어질 수 있다.
상기 커버 분리부는, 상기 커버를 보유하기 위한 커버홀더, 상기 커버와 상기 밸브 커넥터의 나사결합이 이루어지는 경우 상기 밸브 커넥터 방향으로 상기 커버홀더를 가압하도록 탄성력을 인가하는 완충재를 포함할 수 있다.
상기 회전수단은 회전구동부에 의해 회전하는 회전전달부재를 포함하고; 상기 커버홀더는 상기 회전전달부재와 일체로 회전하도록 결합되되 상기 밸브 커넥터가 위치한 방향으로 상기 회전전달부재에 대하여 상대 이동 가능하도록 구비되고; 상기 완충재는 상기 커버홀더와 상기 회전전달부재 사이에 신축가능하도록 구비될 수 있다.
상기 커버홀더의 일측에 상기 커버가 삽입되고, 상기 커버홀더의 타측에 상기 회전전달부재의 홀더 결합부가 삽입되고; 체결부재에 의해 상기 커버홀더와 상기 홀더 결합부가 결합되면, 상기 완충재는 일측면이 상기 커버홀더에 탄성 지지되고, 타측면이 상기 홀더 결합부에 탄성 지지되는 것일 수 있다.
상기 완충재는 링 형상으로 이루어지고, 상기 체결부재가 상기 커버홀더의 내부에 삽입된 상태에서 상기 완충재의 중앙부를 관통하여 상기 홀더 결합부의 단부에 결합될 수 있다.
상기 완충재는 메모리 폼으로 이루어질 수 있다.
상기 완충재는 우레탄, 폴리우레탄, 발포폴리우레탄, 라텍스 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
상기 완충재는, 상기 탄성력을 갖는 완충부와, 상기 완충부의 외측을 덮는 표면부로 이루어지고; 상기 표면부는 폴리에틸렌, 폴리테트라플루오르에틸렌, 폴리에텔에텔 케톤 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
실시예의 가스공급장치의 커버결합방법은, a) 용기에 구비된 밸브 커넥터에 결합되는 커버를 보유한 커버 분리부를 이송수단에 의해 상기 밸브 커넥터를 향해 설정위치까지 이송시키는 단계; b) 상기 설정위치에 정지된 상기 커버 분리부를 제동수단에 의해 고정시키는 단계; c) 회전수단에 의해 상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 커버와 상기 밸브 커넥터의 나사결합이 이루어지는 단계를 포함한다.
상기 c) 단계는, c-1) 상기 커버 분리부가 상기 제동수단에 의해 고정된 상태에서 상기 커버 분리부를 설정된 회전수만큼 회전시켜 상기 나사결합이 일부 이루어지도록 하는 단계; c-2) 상기 제동수단이 무부하 상태로 변환되는 단계; c-3) 상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 나사결합이 완전히 이루어지도록 하는 단계로 이루어질 수 있다.
실시예에 따른 가스공급장치에 의하면, 커버와 밸브 커넥터의 나사결합이 정확하게 이루어져 커버와 밸브 커넥터가 불완전하게 결합되는 것을 방지할 수 있고, 나사산 마모가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 가스공급장치를 보여주는 사시도
도 2는 실시예에 따른 가스공급장치에 결합되는 용기와 밸브 커넥터 및 커버를 보여주는 사시도
도 3은 실시예에 따른 가스공급장치에 구비된 구성요소들을 보여주는 사시도
도 4는 실시예에 따른 가스공급장치를 보여주는 평면도
도 5는 도 4의 A-A 단면도
도 6은 실시예에 따른 가스공급장치를 보여주는 정면도,
도 7은 도 6의 B-B 단면도
도 8(a),(b)는 실시예에 따른 완충재를 보여주는 정면도와 측면도
이하 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
여기서 방향을 지칭함에 있어서, 도 1 내지 도 3에 도시된 X-X'축은 전후 방향, Y-Y'축은 좌우 방향, Z-Z'축은 수직방향이라 한다. 또한, 수평 방향이라 함은 XY평면에 의해 이루어지는 상기 좌우 방향과 전후 방향이 포함된다. 또한, 전후 방향을 구별함에 있어서는 용기(10)가 위치한 X측을 전방, 하부모듈(200)이 위치한 X'측을 후방이라 한다. 또한, 커버 분리부(210)와 커넥터 체결부(220)를 기준으로 좌우 방향을 구별함에 있어서는 커넥터 체결부(220)가 위치하는 Y측을 좌측, 커버 분리부(210)가 위치하는 Y'측을 우측으로 정의한다. 또한, Z측을 상측, Z'측을 하측으로 정의한다.
도 2를 참조하면, 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 가스의 공급을 단속하는 밸브(20)가 구비되고, 상기 밸브(20)의 일측에 구비되어 커넥터 체결부(220)에 체결되는 밸브 커넥터(30)와, 용기(10)의 미사용 시 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(40)와, 상기 밸브(20)의 상부에 연결되어 회전됨에 따라 밸브(20)가 개폐되도록 하는 핸들(50)을 포함하여 구성된다.
도 1, 도 3 내지 도 8을 참조하면, 실시예의 가스공급장치(1)는, 제1 상부이송수단(110)과 제2 상부이송수단(120)을 포함하는 상부모듈(100), 상기 상부모듈(100)의 하부에 구비되어 상기 제1 상부이송수단(110)과 상기 제2 상부이송수단(120)에 의해 수평방향으로 이송되는 하부모듈(200), 상기 가스공급장치(1)를 제어하기 위한 제어부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1 상부이송수단(110)은 상기 하부모듈(200)을 전후 방향으로 이송하고, 상기 제2 상부이송수단(120)은 상기 하부모듈(200)을 좌우 방향으로 이송한다.
상기 하부모듈(200)은, 상기 커버(40)를 분리한 후 보유하기 위한 커버 분리부(210), 가스 소요처에 연결되는 커넥터 체결부(220), 상기 커버 분리부(210)와 상기 커넥터 체결부(220)를 전후 방향으로 이송하기 위한 제1 하부이송수단(230), 상기 커버 분리부(210)와 상기 커넥터 체결부(220)를 좌우 방향으로 이송하기 위한 제2 하부이송수단(240), 상기 커버 분리부(210)와 상기 커넥터 체결부(220)를 회전시키기 위한 회전수단(250), 상기 커버 분리부(210)와 상기 커넥터 체결부(220)를 전후 방향 이송경로 상에서 고정하기 위한 제동수단(260), 상기 하부모듈(200)의 외측을 둘러싸는 하우징(201,202,203)을 포함할 수 있다.
상기 제1 하부이송수단(230)은 상기 커버 분리부(210)와 상기 커넥터 체결부(220)가 전후 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.
상기 제2 하부이송수단(240)은 상기 커버 분리부(210)와 상기 커넥터 체결부(220)가 좌우 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.
상기 회전수단(250)은 상기 커버 분리부(210)와 상기 커넥터 체결부(220)를 함께 회전시킬 수 있다. 상기 커버 분리부(210)의 회전에 의해 상기 밸브 커넥터(30)로부터 상기 커버(40)를 분리하거나 상기 밸브 커넥터(30)에 상기 분리된 커버(40)를 결합할 수 있다. 또한, 상기 커넥터 체결부(220)의 회전에 의해 상기 커넥터 체결부(220)를 상기 밸브 커넥터(30)에 결합하거나 분리할 수 있다. 상기 회전수단(250)은, 회전구동부에 의해 발생된 회전력을 상기 커버 분리부(210)에 전달하기 위한 회전전달부재(251)를 포함할 수 있다.
상기 회전전달부재(251)는 상기 회전구동부의 회전력을 전달받기 위한 기어부(251a), 상기 기어부(251a)의 일측면에서 전방을 향해 돌출된 형상으로 이루어진 홀더 결합부(251b)로 이루어질 수 있다. 상기 홀더 결합부(251b)의 전방 단부에는 전방이 개방되고 전후 방향의 길이로 형성된 삽입홀(251c)이 형성될 수 있다.
상기 홀더 결합부(251b)는 회전부 하우징(252)을 관통하도록 구비되고, 상기 회전부 하우징(252)과 상기 홀더 결합부(251b) 사이에는 상기 홀더 결합부(251b)가 회전가능하도록 베어링(253)이 구비될 수 있다.
상기 커버(40)는 상기 커버 분리부(210)와 함께 상기 회전수단(250)에 의해 회전되어 상기 밸브 커넥터(30)에 나사결합되고, 상기 커넥터 체결부(220)는 상기 회전수단(250)에 의해 회전되어 상기 밸브 커넥터(30)에 나사결합될 수 있다.
상기 제어부는 상기 제1 하부이송수단(230)과 상기 제2 하부이송수단(240)과 상기 회전수단(250) 및 상기 제동수단(260)의 구동을 제어할 수 있다.
상기 커버 분리부(210)는, 상기 커버(40)를 보유하고 상기 회전전달부재(251)와 일체로 회전하는 커버홀더(211), 상기 커버홀더(211)가 상기 회전전달부재(251)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 체결부재(212), 상기 커버홀더(211)를 상기 밸브 커넥터(30)가 위치한 방향으로 가압하도록 탄성력을 인가하는 완충재(213)를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 커버홀더(211)는 내부공간(211a)이 형성된 원통 형상으로 이루어질 수 있다. 상기 커버홀더(211)의 일측인 전방 내부에 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리된 상기 커버(40)가 삽입되어 보유될 수 있도록 커버보유공간(211c)이 형성될 수 있다. 상기 커버보유공간(211c)은 상기 내부공간(211a)보다 직경이 크도록 형성되어 상기 커버보유공간(211c)에 보유된 커버(40)가 후방으로 이동이 제한된다. 상기 커버홀더(211)의 타측인 후방 내부에 상기 회전전달부재(251)의 홀더 결합부(251b)가 삽입될 수 있다. 상기 커버홀더(211)의 내주면에는 내주면 둘레를 따라 내측으로 돌출된 단턱부(211b)가 형성될 수 있다.
상기 커버홀더(211)와 상기 회전전달부재(251)는 상기 회전수단(250)에 의해 일체로 회전함과 동시에 전후 방향을 따라 상대 이동이 가능한 구조로 결합될 수 있다. 일례로, 상기 커버홀더(211)의 내측면과 상기 홀더 결합부(212b)의 외측면에는 돌출된 형상의 키(key)와 상기 키가 삽입되도록 오목하게 형성된 키홈 중 어느 하나가 각각 형성될 수 있고, 상기 키와 키홈은 전후 방향의 길이로 형성될 수 있다. 이와 같은 구조로 인해, 상기 회전전달부재(251)는 고정된 위치에서 회전하고, 상기 커버홀더(211)는 상기 회전전달부재(251)와 함께 회전함과 동시에 상기 키와 키홈의 길이방향을 따라 전방으로 이동할 수 있게 된다.
상기 체결부재(212)는, 전방에 위치하는 머리부(212a), 상기 머리부(212a)의 후방 단부에서 후방을 향해 연장된 몸체부(212b), 상기 몸체부(212b)의 후방 단부에서 후방을 향해 연장된 체결부(212c)로 이루어져, 상기 커버홀더(211)의 내부공간(211a)에 구비될 수 있다.
상기 머리부(212a)의 직경보다 상기 몸체부(212b)의 직경이 작게 형성될 수 있다. 또한, 상기 몸체부(212b)의 직경보다 상기 체결부(212c)의 직경이 작게 형성되어 상기 몸체부(212b)의 후방 단부에 단턱(212d)이 형성될 수 있다. 상기 체결부(212c)의 외주면에는 나사산이 형성되어 있고, 상기 체결부(212c)가 상기 삽입홀(251c)에 삽입되어 나사결합될 수 있다. 상기 체결부재(212)의 체결부(212c)가 상기 삽입홀(251c)에 삽입되는 삽입깊이는 상기 단턱(212d)에 의해 제한된다.
상기 머리부(212a)와 상기 단턱부(211b)의 전방 단부 사이에는 와셔(214)가 구비될 수 있다. 상기 체결부재(212)의 몸체부(212b)가 상기 와셔(214)를 관통하여 체결부(212c)가 삽입홀(251c)에 나사결합되고, 상기 와셔(214)의 내측 단부는 상기 체결부재(212)의 머리부(212a)에 걸림되며, 상기 단턱부(211b)는 상기 와셔(214)의 외측 단부에 걸림되어, 상기 커버홀더(211)가 상기 회전전달부재(251)로부터 전방으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
상기 커버홀더(211)의 후방 단부와 상기 회전부 하우징(252)의 전면 사이는 이격되어 갭(218)이 형성될 수 있다.
도 8(a)에 나타난 바와 같이 상기 완충재(213)는 링 형상으로 이루어질 수 있고, 상기 체결부재(212)의 몸체부(212b)가 상기 완충재(213)의 중앙부를 관통하도록 구비될 수 있다.
상기 완충재(213)의 외경은 상기 단턱부(211b)의 내경보다 크도록 형성되어 전방에 위치한 상기 완충재(213)의 일측면 가장자리가 상기 단턱부(211b)의 후방 단부에 걸림되고, 후방에 위치한 상기 완충재(213)의 타측면은 상기 홀더 결합부(212b)의 전방면에 접촉하도록 구비될 수 있다.
상기 완충재(213)는 압축된 상태에서 원형으로 복원되는 성질을 갖는 메모리 폼(memory foam)으로 이루어질 수 있다. 상기 메모리 폼이 압축된 상태에서 원형으로 복원되는 과정에서 상기 단턱부(211b)의 후방 단부에 탄성력이 작용하게 된다. 또한, 상기 완충재(213)는 우레탄, 폴리우레탄, 발포폴리우레탄, 라텍스 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 완충재(213)의 두께는 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사결합이 이루어지는 나사산의 1 내지 3피치 사이의 두께로 이루어질 수 있다. 상기 완충재(213)의 두께가 상기 나사산의 1 피치 이하로 이루어지면 상기 완충재(213)에 의해 상기 커버홀더(211)에 인가되는 탄성력이 약하므로, 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사결합이 불완전하게 이루어질 수 있다. 상기 완충재(213)의 두께가 나사산의 3 피치 이상이 되면 상기 완충재(213)에 의해 상기 커버홀더(211)에 인가되는 탄성력이 너무 강해지므로 나사산의 마모가 발생할 수 있다. 또한, 상기 완충재(213)는 신축 가능한 구성이면 상기 메모리 폼 이외의 다른 구성으로 대체 가능하며, 일례로 스프링으로 이루어질 수 있다.
도 8(b)에 나타난 바와 같이, 상기 완충재(213)는 탄성력을 갖는 완충부(213a)와, 상기 완충부(213a)의 전방과 후방의 표면을 덮는 표면부(213b)로 이루어질 수 있다.
상기 완충부(213a)는 앞서 설명한 바와 같이 압축된 상태에서 원형으로 복원되는 성질을 갖는 메모리 폼 재질로 이루어지고, 상기 표면부(213b)는 접촉하는 상대물과의 사이에서 접촉 마찰이 최소화되도록 폴리에틸렌, 폴리테트라플루오르에틸렌(테프론), 폴리에텔에텔 케톤(PEEK) 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
상기 제동수단(260)은, 상기 제1 하부이송수단(230)에 의한 이송방향과 나란한 방향의 길이를 갖는 가이드레일(261), 상기 커버 분리부(210)가 일체로 구비되어 상기 가이드레일(261) 상에서 상기 제1 하부이송수단(230)에 의한 이송방향을 따라 이송되며 상기 가이드레일(261)과의 사이에 제동이 이루어지는 제동부재(262), 상기 제동을 위한 구동력을 발생시키는 제동구동부(미도시)로 이루어질 수 있다.
상기 제동구동부의 구동에 의해 에어(air)가 상기 제동부재(262)에 공급되고, 상기 제동부재(262)에는 상기 에어의 공급에 의해 상기 가이드레일(261)의 측면으로 돌출되는 돌출부가 형성되어 있으며, 상기 돌출부와 상기 가이드레일(261)이 접촉되면 마찰에 의해 상기 커버 분리부(210)가 상기 가이드레일(261) 상에서 정지하게 된다.
상기와 같은 구성으로 이루어진 실시예의 가스공급장치(1)의 커버결합방법에 대해 설명한다.
상기 커버 분리부(210)가 상기 커버(40)를 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리하게 되면, 상기 커버(40)는 상기 커버홀더(211)의 커버보유공간(211c)에 보유된 상태에서 상기 커버 분리부(210)는 상기 제1 하부이송수단(230)에 의해 후방으로 이송되어 상기 밸브 커넥터(30)로부터 이격된 상태가 된다.
이 상태에서 상기 커버(40)를 상기 밸브 커넥터(30)에 결합하기 위해 상기 제어부는 상기 제1 하부이송수단(230)을 구동시켜 상기 커버 분리부(210)를 상기 밸브 커넥터(30)를 향해 설정위치까지 전방으로 이송시킨다.
상기 설정위치는 상기 커버(40)의 나사산이 상기 밸브 커넥터(30)의 나사산에 맞물리기 시작하는 위치로 구성될 수 있다.
상기 커버(40)의 나사산과 상기 밸브 커넥터(30)의 나사산이 맞물리기 시작하는 상태가 되면, 상기 커버홀더(211)는 상기 회전전달부재(251)에 대하여 상대 이동되어 후방으로 밀려 이동되고, 상기 단턱부(211b)가 상기 완충재(213)를 가압하여, 상기 완충재(213)는 상기 단턱부(211b)와 상기 홀더결합부(251b)의 전방 단부면 사이에서 압축될 수 있다. 이 경우 상기 커버홀더(211)의 후방에 상기 갭(218)이 형성되어 있으므로, 상기 커버홀더(211)가 후방으로 이동되는 것이 가능해진다.
상기 커버 분리부(210)가 상기 설정위치까지 이송되면, 상기 제어부는 상기 제1 하부이송수단(230)의 구동을 정지시키고, 상기 제동수단(260)을 구동하여 상기 커버 분리부(210)가 상기 가이드레일(261) 상에서 움직이지 않도록 고정시킨다.
상기 커버 분리부(210)가 상기 제동수단(260)에 의해 고정된 상태에서, 상기 제어부는 상기 회전수단(250)을 구동시킨다. 상기 회전전달부재(251)를 설정된 회전수만큼 회전시키면 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사결합이 일부 이루어진다. 이 경우 상기 설정된 회전수는 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사산이 일부 맞물리는 회전수로 설정될 수 있다.
상기 회전수단(250)의 구동에 의해 상기 커버(40)를 보유한 상기 커버홀더(211)와 상기 회전전달부재(251)가 일체로 회전하게 되면, 상기 회전전달부재(251)는 제자리에서 회전하게 되고, 상기 커버홀더(211)는 회전함과 동시에 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사결합이 진행됨에 따라 상기 회전전달부재(251)에 대하여 상대 이동이 이루어질 수 있다.
이와 같이 상기 커버 분리부(210)가 상기 제동수단(260)에 의해 고정된 상태에서 회전되면, 상기 회전전달부재(251)가 회전되기 시작할 때 상기 커버(40)의 나사산에 맞물리는 상기 밸브 커넥터(30)의 반력에 의해 상기 커버 분리부(210)가 후방으로 밀리는 것을 방지하여 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)가 불완전 결합되는 것을 방지하고, 나사산이 마모되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 커버홀더(211)와 상기 회전전달부재(251) 사이에 상기 완충재(213)가 구비됨으로 인해 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사산 맞물림이 더욱 확실하게 이루어질 수 있다. 즉, 상기 완충재(213)가 압축되면 탄성력이 발생하게 되고, 상기 완충재(213)의 탄성력에 의해 상기 커버홀더(211)는 전방으로 가압될 수 있다. 이와 같이 상기 커버홀더(211)가 상기 완충재(213)에 의해 전방으로 가압되면, 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사산의 맞물림이 확실하게 이루어져, 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사산이 불완전하게 결합된 상태에서 회전이 이루어져 나사산이 마모되는 것을 방지할 수 있다.
상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사결합이 일부 이루어진 상태에서, 상기 제어부는 상기 제동수단(260)이 무부하 상태로 변환되도록 제어한다.
그 다음 상기 제어부는 상기 회전수단(250)을 구동하여 상기 회전전달부재(251)를 더 회전시켜 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사결합이 완전히 이루어지도록 한다.
이 경우 상기 커버(40)는 상기 커버홀더(211)의 커버보유공간(211c)에 단순 삽입된 상태이므로 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사결합이 진행됨에 따라 상기 커버홀더(211)에 대하여 상대 이동이 이루어질 수 있다. 또한, 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사결합이 진행됨에 따라 상기 제1 하부이송수단(230)을 구동하여 상기 커버 분리부(210) 전체가 상기 밸브 커넥터(30) 방향으로 이동되도록 구성할 수도 있다.
상기 제어부는 상기 회전수단(250)의 구동에 의해 상기 회전구동부에 설정된 부하가 걸린 것으로 감지되면 상기 커버(40)와 상기 밸브 커넥터(30)의 나사결합이 완전히 이루어진 것으로 판단하여 상기 회전구동부의 구동을 정지시킨다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.
1 : 가스공급장치 10 : 용기
20 : 밸브 30 : 밸브 커넥터
40 : 커버 50 : 핸들
100 : 상부모듈 110 : 제1 상부이송수단
120 : 제2 상부이송수단 200 : 하부모듈
201,202,203 : 하우징 210 : 커버 분리부
211 : 커버홀더 211a : 내부공간
211b : 단턱부 211c : 커버보유공간
212 : 체결부재 212a : 머리부
212b : 몸체부 212c : 체결부
212d : 단턱 213 : 완충재
213a : 완충부 213b : 표면부
214 : 와셔 215 : 갭
220 : 커넥터 체결부 230 : 제1 하부이송수단
240 : 제2 하부이송수단 250 : 회전수단
251 : 회전전달부재 251a : 기어부
251b : 홀더 결합부 251c : 삽입홀
252 : 회전부 하우징 253 : 베어링
260 : 제동수단 261 : 가이드레일
262 : 제동부재

Claims (14)

  1. 용기에 구비된 밸브 커넥터에 결합된 커버를 분리하고, 상기 커버를 상기 밸브 커넥터에 결합하기 위한 커버 분리부;
    상기 커버 분리부를 상기 밸브 커넥터를 향해 이송시키기 위한 이송수단;
    상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 커버와 상기 밸브 커넥터 사이의 나사결합이 이루어지도록 하는 회전수단;
    상기 커버 분리부를 상기 이송수단에 의해 이송되는 이송경로 상에서 고정되도록 하는 제동수단;
    상기 이송수단과 상기 제동수단 및 상기 회전수단의 구동을 제어하기 위한 제어부;
    를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 커버 분리부가 상기 이송수단에 의해 상기 밸브 커넥터를 향해 설정위치까지 이송되도록 한 후, 상기 제동수단으로 상기 커버 분리부를 고정시킨 상태에서 상기 회전수단에 의해 상기 커버 분리부를 회전시키도록 제어하고;
    상기 커버 분리부가 고정된 상태에서 상기 커버 분리부를 설정된 회전수만큼 회전시켜 상기 나사결합이 일부 이루어지도록 하고, 상기 제동수단을 무부하 상태로 변환한 후 상기 나사결합이 완전히 이루어지도록 제어하는 가스공급장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 설정위치는 상기 이송수단에 의해 상기 커버 분리부가 이송되어 상기 커버와 상기 밸브 커넥터의 나사산이 맞물리기 시작하는 위치로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  4. 삭제
  5. 용기에 구비된 밸브 커넥터에 결합된 커버를 분리하고, 상기 커버를 상기 밸브 커넥터에 결합하기 위한 커버 분리부;
    상기 커버 분리부를 상기 밸브 커넥터를 향해 이송시키기 위한 이송수단;
    상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 커버와 상기 밸브 커넥터 사이의 나사결합이 이루어지도록 하는 회전수단;
    상기 커버 분리부를 상기 이송수단에 의해 이송되는 이송경로 상에서 고정되도록 하는 제동수단;
    상기 이송수단과 상기 제동수단 및 상기 회전수단의 구동을 제어하기 위한 제어부;
    를 포함하고,
    상기 제동수단은, 상기 이송수단에 의한 이송방향과 나란한 방향의 길이를 갖는 제동레일, 상기 커버 분리부가 일체로 구비되어 상기 제동레일 상에서 상기 이송방향을 따라 이송되며 상기 제동레일과의 사이에 제동이 이루어지는 제동부재, 상기 제동을 위한 구동력을 발생시키는 제동구동부로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  6. 삭제
  7. 용기에 구비된 밸브 커넥터에 결합된 커버를 분리하고, 상기 커버를 상기 밸브 커넥터에 결합하기 위한 커버 분리부;
    상기 커버 분리부를 상기 밸브 커넥터를 향해 이송시키기 위한 이송수단;
    상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 커버와 상기 밸브 커넥터 사이의 나사결합이 이루어지도록 하는 회전수단;
    상기 커버 분리부를 상기 이송수단에 의해 이송되는 이송경로 상에서 고정되도록 하는 제동수단;
    상기 이송수단 및 상기 회전수단의 구동을 제어하기 위한 제어부;
    를 포함하고,
    상기 커버 분리부는, 상기 커버를 보유하기 위한 커버홀더, 상기 커버와 상기 밸브 커넥터의 나사결합이 이루어지는 경우 상기 밸브 커넥터 방향으로 상기 커버홀더를 가압하도록 탄성력을 인가하는 완충재를 포함하고;
    상기 회전수단은 회전구동부에 의해 회전하는 회전전달부재를 포함하고;
    상기 커버홀더는 상기 회전전달부재와 일체로 회전하도록 결합되되 상기 밸브 커넥터가 위치한 방향으로 상기 회전전달부재에 대하여 상대 이동 가능하도록 구비되고;
    상기 완충재는 상기 커버홀더와 상기 회전전달부재 사이에 신축가능하도록 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  8. 제7항에 있어서,
    상기 커버홀더의 일측에 상기 커버가 삽입되고, 상기 커버홀더의 타측에 상기 회전전달부재의 홀더 결합부가 삽입되고;
    체결부재에 의해 상기 커버홀더와 상기 홀더 결합부가 결합되면, 상기 완충재는 일측면이 상기 커버홀더에 탄성 지지되고, 타측면이 상기 홀더 결합부에 탄성 지지되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  9. 제8항에 있어서,
    상기 완충재는 링 형상으로 이루어지고, 상기 체결부재가 상기 커버홀더의 내부에 삽입된 상태에서 상기 완충재의 중앙부를 관통하여 상기 홀더 결합부의 단부에 결합된 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  10. 제7항에 있어서,
    상기 완충재는 메모리 폼으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  11. 제10항에 있어서,
    상기 완충재는 우레탄, 폴리우레탄, 발포폴리우레탄, 라텍스 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  12. 용기에 구비된 밸브 커넥터에 결합된 커버를 분리하고, 상기 커버를 상기 밸브 커넥터에 결합하기 위한 커버 분리부;
    상기 커버 분리부를 상기 밸브 커넥터를 향해 이송시키기 위한 이송수단;
    상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 커버와 상기 밸브 커넥터 사이의 나사결합이 이루어지도록 하는 회전수단;
    상기 커버 분리부를 상기 이송수단에 의해 이송되는 이송경로 상에서 고정되도록 하는 제동수단;
    상기 이송수단 및 상기 회전수단의 구동을 제어하기 위한 제어부;
    를 포함하고,
    상기 커버 분리부는, 상기 커버를 보유하기 위한 커버홀더, 상기 커버와 상기 밸브 커넥터의 나사결합이 이루어지는 경우 상기 밸브 커넥터 방향으로 상기 커버홀더를 가압하도록 탄성력을 인가하는 완충재를 포함하고;
    상기 완충재는, 상기 탄성력을 갖는 완충부와, 상기 완충부의 외측을 덮는 표면부로 이루어지고;
    상기 표면부는 폴리에틸렌, 폴리테트라플루오르에틸렌, 폴리에텔에텔 케톤 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  13. a) 용기에 구비된 밸브 커넥터에 결합되는 커버를 보유한 커버 분리부를 이송수단에 의해 상기 밸브 커넥터를 향해 설정위치까지 이송시키는 단계;
    b) 상기 설정위치에 정지된 상기 커버 분리부를 제동수단에 의해 고정시키는 단계;
    c) 회전수단에 의해 상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 커버와 상기 밸브 커넥터의 나사결합이 이루어지는 단계;
    를 포함하고,
    상기 c) 단계는,
    c-1) 상기 커버 분리부가 상기 제동수단에 의해 고정된 상태에서 상기 커버 분리부를 설정된 회전수만큼 회전시켜 상기 나사결합이 일부 이루어지도록 하는 단계;
    c-2) 상기 제동수단이 무부하 상태로 변환되는 단계;
    c-3) 상기 커버 분리부를 회전시켜 상기 나사결합이 완전히 이루어지도록 하는 단계;
    로 이루어진 가스공급장치의 커버결합방법
  14. 삭제
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