KR102040716B1 - 가스통 자동 교체방법 - Google Patents

가스통 자동 교체방법 Download PDF

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KR102040716B1
KR102040716B1 KR1020180080154A KR20180080154A KR102040716B1 KR 102040716 B1 KR102040716 B1 KR 102040716B1 KR 1020180080154 A KR1020180080154 A KR 1020180080154A KR 20180080154 A KR20180080154 A KR 20180080154A KR 102040716 B1 KR102040716 B1 KR 102040716B1
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최원호
김찬우
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에이엠티 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체의 FAB 공정(Fabrication Process)설비에서 웨이퍼 생산라인으로 가스를 공급하도록 캐비닛(cabinet)에 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)되는 가스통을 자동으로 교체하는 가스통 자동 교체방법에 관한 것으로, 인라인(in-line)으로 복수 개 설치되는 캐비닛의 전면에 트랙을 설치하고 상기 트랙에는 가스통을 운반하는 트랜스퍼(transfer)(일명 "RGV : Rail Guided Vehicles"라 함)를 이동 가능하게 설치하여 트랜스퍼가 가스통을 캐비닛에 자동으로 로딩 및 언로딩할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 인라인으로 복수 열 설치되는 캐비닛(20) 중 어느 하나의 캐비닛으로부터 가스통의 교체시기가 검출되면, 트랜스퍼(40)가 캐비닛(20)의 전면에 설치된 트랙(50)을 따라 해당 캐비닛으로 이동하여 정지한 상태에서 교체할 가스통(30)이 내장된 캐비닛의 도어(21)를 여는 단계와, 상기 캐비닛(20)에서 교체할 가스통(30)을 그리퍼(42)가 클램핑하여 트랜스퍼(40)에 실은 다음 도어(21)를 닫고 가스통(30)에 안전 캡(31)을 체결하는 단계와, 상기 트랜스퍼(40)에 교체할 가스통을 싣고 나면 트랜스퍼를 트랙(50)을 따라 언로딩포지션(61a)으로 이동시킨 다음 그리퍼(42)가 가스통(30)을 언로딩부(61)에 언로딩하고 가스통(30)으로부터 클램핑을 해제하는 단계와, 상기 트랜스퍼(40)를 트랙(50)을 따라 새로운 가스통이 있는 로딩포지션(60a)으로 이동시키는 단계와, 상기 트랜스퍼(40)가 로딩부(60)에 있던 새로운 가스통(30)을 그리퍼(42)가 클램핑하여 트랜스퍼(40)에 싣는 단계와, 새로운 가스통(30)을 실은 트랜스퍼(40)가 트랙(50)을 따라 이동하여 빈 캐비닛의 전방에 정지하면 가스통(30)으로부터 안전 캡(31)을 분리하고 도어(21)를 열은 다음 그리퍼(42)가 가스통(30)을 캐비닛(20)의 내부에 위치시키고 클램핑을 해제한 후 캐비닛(20)의 도어(21)를 닫는 단계와, 상기 트랜스퍼(40)를 트랙(50)을 따라 이동시켜 로딩포지션(60a) 또는 언로딩포지션(61a)으로 이동시켜 대기하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

가스통 자동 교체방법{METHOD FOR AUTOMATICALLY REPLACING A GAS BARREL}
본 발명은 반도체의 FAB 공정(Fabrication Process)설비에서 웨이퍼 생산라인으로 가스를 공급하도록 캐비닛(cabinet)에 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)되는 가스통을 자동으로 교체하는 가스통 자동 교체방법에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 인라인(in-line)으로 복수 개 설치되는 캐비닛의 전면에 트랙을 설치하고 상기 트랙에는 가스통을 운반하는 트랜스퍼(transfer)(일명 "RGV : Rail Guided Vehicles"라 함)를 이동 가능하게 설치하여 트랜스퍼가 가스통을 캐비닛에 자동으로 로딩 및 언로딩할 수 있도록 하는 가스통 자동 교체방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체를 제조하는 제조공정에는 용도에 따라 다양한 종류의 가스가 공급되어 사용되는데, 이러한 가스들은 대부분 인체에 흡입되거나 대기중에 노출될 경우 안전사고 및 환경오염 등의 큰 피해를 일으키게 되므로 세심한 주의를 요한다.
예를 들면, 이온주입공정에 사용되는 가스의 종류로는, 수소화비소(AsH3 : Arsine), 인화수소(PH 3 : Phosphine) 또는 삼플루오르화붕소(BF3 : Boron Fluoride) 등과 같은 유동성 가스가 있는데, 이들 가스는 독성이 매우 강하여 작업자가 호흡기로 흡입할 경우 치명적인 결과를 초래하므로 생산라인으로 공급하는 과정에서 누출(漏出)되지 않도록 세심하게 관리하여야 된다.
이와 같은 반도체 제조 공정에 사용되는 가스들은 그 관리가 매우 중요한데, 이러한 가스들은 가스통에 고압으로 충전된 상태로 캐비닛에 장착되어 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급되며, 가스가 약 90% 정도 소진되면 가스통의 내부에 잔류하는 이물질이 웨이퍼 가공공정으로 공급되지 않도록 작업자가 새로운 가스통으로 교체함으로써, 계속해서 가스를 공급하게 된다.
도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도로써, FAB(7) 외부의 소정 장소에는 FAB(7) 내의 여러 장비(8)에서 필요로 하는 SiH4, PH3, NF3, CF4 등과 같은 공정 가스가 각각 충전된 복수 개의 가스통(도시는 생략함)을 안착할 수 있도록 캐비닛(1)이 위치하고 있고, 상기 캐비닛(1)의 일 측에는 상기 가스통(2)에 각각 연결된 가스 공급라인(3)을 안내할 수 있도록 덕트(4)가 설치되어 있다.
상기 덕트(4)의 타 측에는 가스 공급라인(3)을 따라 유입된 공정 가스를 공급할 수 있도록 가스통에 대응하는 개수로 레귤레이터 박스(5)가 설치되어 있고 상기 각각의 레귤레이터 박스(5)의 상단부에는 FAB(7) 내의 각 장비(8)에 대응하여 연결될 수 있도록 장비(8)의 개수와 동일한 개수의 공급관(9)이 연결되어 있다.
따라서 캐비닛(1)에 안착되어 있는 각각의 가스통(2)으로부터 공정 가스가 공급되면, 각각의 공정 가스는 덕트(4)의 내부를 통과하는 가스 공급라인(3)을 따라 각각의 레귤레이터 박스(5)로 유입된다.
이후, 각각의 레귤레이터 박스(5) 내부로 유입된 각각의 공정 가스는 필터(미 도시)를 통해 정화된 후 FAB(7) 내의 장비(8)에 대응되는 개수로 분기되어 연결되어 있는 각각의 공급관(9)을 따라 흘러 공급되므로 웨이퍼를 가공할 수 있게 된다.
상기한 바와 같이 가스를 가스 공급라인(3)으로 공급하다가 가스가 소진되어 가스통(2)의 교체시기가 제어부(도시는 생략함)에 의해 검출되면 작업자가 사용하고 난 가스통(2)의 밸브(도시는 생략함)를 잠근 다음 외부의 가스라인으로부터 분리하게 된다.
이후, 작업자가 가스라인으로부터 분리된 가스통(2)을 캐비닛(1)에서 언로딩한 다음 새로운 가스통으로 교체한 후 상기 가스통을 다시 외부의 가스라인에 연결시킨 뒤 가스분사노즐을 닫고 있는 밸브 핸들을 오픈(Open)하면 가스통의 교체가 완료된다.
(선행기술문헌)
(특허문헌 0001) 대한민국 등록특허공보 10-0242982(1998.11.15.등록)
(특허문헌 0002) 대한민국 등록특허공보 10-0649112(2006.11.16.등록)
(특허문헌 0003) 대한민국 등록특허공보 10-0985575(2010.09.29.등록)
그러나 이러한 종래의 가스통 교체방법은 다음과 같은 여러 가지 문제점이 있었다.
첫째, 가스라인으로 공급되는 가스의 공급이 중단되지 않도록 사용하고 난 가스통을 신속하게 교체하여야 되는데, 작업자가 대차를 이용하여 중량체의 가스통을 운반하여 교체함으로써, 가스통의 신속한 교체가 불가능함은 물론이고 작업자의 피로도가 가중되었다.
둘째, 캐비닛 내에 로딩된 가스통에서 가스가 소진될 때마다 작업자가 가스통을 수작업으로 교체하였기 때문에 작업자의 숙련도에 따라 휴먼 에러(human error)가 발생되었다.
셋째, 작업자가 가스통을 운반하거나, 교체하는 작업 중에 부주의로 가스통으로부터 가스가 누출되면 가스가 폭발하거나, 작업자가 누출된 가스에 중독되는 치명적인 결함이 있었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 제어부에 의해 가스통의 교체시기가 검출되면 캐비닛으로부터 사용하고 난 가스통을 트랜스퍼가 꺼내 언로딩부에 언로딩한 다음 로딩부에 있던 새로운 가스통을 캐비닛에 위치시키는 작업을 자동으로 실현할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 가스통의 교체가 자동으로 이루어지도록 함으로써, 가스통의 신속한 교체는 물론이고 작업자의 피로도를 경감시킬 수 있도록 하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 가스통을 교체할 때 부주의로 가스통으로부터 가스 누출에 따른 안전사고의 발생을 미연에 방지할 수 있도록 하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 인라인으로 복수 열 설치되는 캐비닛 중 어느 하나의 캐비닛으로부터 가스통의 교체시기가 검출되면, 트랜스퍼가 캐비닛의 전면에 설치된 트랙을 따라 해당 캐비닛으로 이동하여 정지한 상태에서 교체할 가스통이 내장된 캐비닛의 도어를 여는 단계와, 상기 캐비닛에서 교체할 가스통을 그리퍼가 클램핑하여 트랜스퍼에 실은 다음 도어를 닫고 가스통에 안전 캡을 체결하는 단계와, 상기 트랜스퍼에 교체할 가스통을 싣고 나면 트랜스퍼를 트랙을 따라 언로딩포지션으로 이동시킨 다음 그리퍼가 가스통을 언로딩부에 언로딩하고 가스통으로부터 클램핑을 해제하는 단계와, 상기 트랜스퍼를 트랙을 따라 새로운 가스통이 있는 로딩포지션으로 이동시키는 단계와, 상기 트랜스퍼가 로딩부에 있던 새로운 가스통을 그리퍼가 클램핑하여 트랜스퍼에 싣는 단계와, 새로운 가스통을 실은 트랜스퍼가 트랙을 따라 이동하여 빈 캐비닛의 전방에 정지하면 가스통으로부터 안전 캡을 분리하고 도어를 열은 다음 그리퍼가 가스통을 캐비닛의 내부에 위치시키고 클램핑을 해제한 후 캐비닛의 도어를 닫는 단계와, 상기 트랜스퍼를 트랙을 따라 이동시켜 로딩포지션 또는 언로딩포지션으로 이동시켜 대기하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스통 자동 교체방법이 제공된다.
본 발명은 종래에 비하여 다음과 같은 여러 가지 장점을 갖는다.
첫째, 트랜스퍼에 의해 사용하고 난 빈 가스통을 자동으로 언로딩한 다음 새로운 가스통을 캐비닛에 자동으로 로딩하므로 가스통의 신속한 교체가 가능하고, 이에 따라 중량체의 가스통을 수작업으로 교체하던 방법에 비하여 작업자의 피로도를 줄일 수 있게 된다.
둘째, 가스통의 교체가 자동으로 이루어지게 되므로 작업자에 의한 휴먼 에러(human error)를 예방하게 된다.
셋째, 부주의로 인한 가스 누출을 방지하므로 가스가 폭발하거나, 작업자가 누출된 가스에 중독되는 현상을 미연에 방지하게 된다.
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도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도
도 2는 본 발명을 설명하기 위한 플로우 챠트
도 3은 본 발명에서 캐비닛이 인라인으로 배열된 벙커 룸을 나타낸 평면도
도 4는 도 3의 "A"부 확대도
도 5는 본 발명에 적용되는 트랜스퍼의 일 실시예를 나타낸 구성도
도 6은 본 발명에서 로딩부 및 언로딩부가 캐비닛의 한쪽에 인라인으로 배치된 상태의 평면도
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.
도 2는 본 발명을 설명하기 위한 플로우 챠트이고 도 3은 본 발명에서 캐비닛이 인라인으로 배열된 벙커 룸을 나타낸 평면도이며 도 4는 도 3의 "A"부 확대도로써, 본 발명은 인라인으로 복수 열 설치되는 캐비닛(20)의 전면에 가스통(30)을 운반하는 트랜스퍼(40)가 이동하도록 트랙(50)이 설치되어 있다.
상기 복수 열로 설치되는 캐비닛(20)을 도 3과 같이 벙커 룸(10)에 트랙(50)의 양측으로 대칭되게 배열하여도 되지만, 다른 실시예로 나타낸 도 6과 같이 트랙(50)의 일 측으로만 배열할 수도 있다.
상기 캐비닛(20)이 트랙(50)의 양측으로 대칭되게 배열된 경우에는 사용하고 난 가스통(30)을 언로딩하는 언로딩부(61)와 새로운 가스통(30)이 대기하는 로딩부(60)가 도 3과 같이 서로 마주보게 배열되어 가스통(30)의 교체 시 트랜스퍼(40)의 이동거리를 줄이도록 되어 있으나, 도 6과 같은 경우에는 캐비닛(20)의 일 측에 로딩부(60) 및 언로딩부(61)를 나란히 배열하거나, 캐비닛(20)의 양쪽에 분리하여 배열할 수도 있다.
도 3과 같이 로딩부(60) 및 언로딩부(61)가 서로 마주보도록 배열된 경우에는 트랜스퍼(40)가 180°회전하는 구조로 이루어져야 되고, 도 6과 같이 인라인으로 배열된 경우에는 트랜스퍼(40)가 회전할 필요가 없다.
상기 로딩부(60) 및 언로딩부(61)에는 복수 개의 가스통(30)이 담기는 팔렛트(70)를 지게차(71)에 의해 운반 가능하게 설치하여 한꺼번에 여러 개의 가스통(30)을 교체할 수 있도록 하는 것이 보다 효율적이다.
이러한 상태에서 캐비닛(20)에 위치되어 웨이퍼 가공공정으로 가스를 공급하는 가스통(30)의 가스가 소진되어 제어부(도시는 생략함)에 어느 하나의 캐비닛(20)으로부터 가스통(30)의 교체시기가 검출되면, 트랜스퍼(40)가 캐비닛(20)의 전면에 설치된 트랙(50)을 따라 해당 캐비닛으로 이동하여 정지한 상태에서 교체할 가스통(30)이 내장된 캐비닛의 도어(21)를 열어준다(S100).
이와 같이 가스통(30)을 교체할 캐비닛(20)의 도어(21)가 열리면 트랜스퍼(40)의 그리퍼(42)가 교체할 가스통(30)을 클램핑하여 트랜스퍼(40)에 싣은 후 클램핑상태를 해제하고 캐비닛의 도어(21)를 닫은 다음 트랜스퍼(40)에 실린 가스통(30)에 안전 캡(31)을 체결한다(S200).
상기 트랜스퍼(40)에 교체할 가스통(30)을 싣고 나면 트랜스퍼(40)를 언로딩포지션(61a)으로 이동시킨 다음 그리퍼(42)가 가스통(30)을 언로딩부(61)에 언로딩하고 가스통(30)으로부터 클램핑을 해제한다(S300).
상기한 바와 같은 동작으로 사용하고 난 가스통(30)을 언로딩부(61)에 언로딩하고 나면 트랜스퍼(40)를 새로운 가스통(30)이 있는 로딩포지션(60a)으로 위치시킨다(S400).
즉, 도 6과 같이 로딩부(60) 및 언로딩부(61)가 인라인으로 배열되어 있으면 트랙(50)을 따라 트랜스퍼(40)를 수평 이동시켜 언로딩부(61)에 위치시키면 되지만, 도 3과 같이 로딩부(60) 및 언로딩부(61)가 서로 마주보게 배열되어 있으면 트랜스퍼(40)를 180°회전시켜야 된다.
상기 트랜스퍼(40)의 그리퍼(42)가 로딩부(60)에 있던 새로운 가스통(30)을 클램핑하여 트랜스퍼(40)에 싣는다(S500).
새로운 가스통(30)을 실은 트랜스퍼(40)가 빈 캐비닛(20)의 전방으로 이동하여 정지하면 가스통(30)으로부터 안전 캡(31)을 분리한 다음 도어(21)를 열고 그리퍼(42)가 가스통(30)을 캐비닛(20)의 내부에 위치시킨 후 클램핑을 해제하고 캐비닛(20)의 도어(21)를 닫는다(S600).
상기 가스통(30)으로부터 안전 캡(31)을 체결하거나, 분리하는 작업은 트랜스퍼(40)에 마련된 안전 캡 분리/체결 유니트(41)의 회전에 의해 이루어지는데, 상기 가스통(30)으로부터 분리된 안전 캡(31)은 안전 캡 분리/체결 유니트(41)의 내부에 수용하고 있다가 캐비닛(20)으로부터 가스통(30)을 교체할 때 가스통(30)에 다시 체결한다.
본 발명의 일 실시예에서는 안전을 고려하여 캐비닛(20)으로부터 가스통(30)을 꺼내거나, 집어넣기 직전에 트랜스퍼(40)에 실린 가스통(30)에 안전 캡(31)을 체결하거나, 분리하도록 설명하고 있으나, 가스통(30)의 교체에 따른 싸이클 타임(cycle time)을 줄이기 위해 트랜스퍼(40)의 이송 간에 안전 캡(31)을 체결하거나, 분리하는 작업을 실시할 수도 있음은 이해 가능한 것이다.
상기 캐비닛(20)으로부터 사용하고 난 가스통(30)을 트랜스퍼(40)에 언로딩하거나, 트랜스퍼(40)에 실린 가스통(30)을 캐비닛(20)에 로딩할 때, 또는 이와는 반대로 로딩부(60)에 위치한 가스통(30)을 트랜스퍼(40)에 싣거나, 트랜스퍼(40)에 실린 가스통(30)을 캐비닛(20)에 위치시킬 때, 상기 트랜스퍼(40)에 가스통(30)을 클램핑하는 도 5와 같은 그리퍼(Gripper)(42)를 구비하여 가스통(30)을 클램핑한 그리퍼(42)가 상승 - 후진 - 하강한 다음 클램핑을 해제하여 트랜스퍼(40)에 싣거나, 가스통(30)을 클램핑한 그리퍼(42)가 상승 - 전진 - 하강한 다음 클램핑을 해제하여 트랜스퍼(40)로부터 내리도록 되어 있으나, 이러한 가스통(30)의 운반은 당해 분야의 기술자에 의해 다양한 형태로 적용 가능하므로 반드시 한정할 필요는 없다.
이때, 그리퍼(42)의 클램핑력은 가스가 충전된 가스통(30)의 무게가 약 150Kg 정도이므로 약 200Kg 정도로 설정하는 것이 바람직하다.
상기한 바와 같은 방법으로 캐비닛(20)에 가스통(30)을 교체하고 나면 트랜스퍼(40)는 트랙(50)을 따라 로딩포지션(60a) 또는 언로딩포지션(61a)으로 이동하여 제어부(도시는 생략함)에 의해 가스통의 교체신호가 검출될 때까지 대기하므로 계속해서 캐비닛에 가스통(30)을 자동으로 교체할 수 있게 되는 것이다(S700).
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 벙커 룸 20 : 캐비닛
21 : 도어 30 : 가스통
31 : 안전 캡 40 : 트랜스퍼
42 : 그리퍼 50 : 트랙
60 : 로딩부 60a : 로딩포지션
61 : 언로딩부 61a : 언로딩포지션

Claims (7)

  1. 인라인으로 복수 열 설치되는 캐비닛(20) 중 어느 하나의 캐비닛으로부터 가스통의 교체시기가 검출되면, 트랜스퍼(40)가 캐비닛(20)의 전면에 설치된 트랙(50)을 따라 해당 캐비닛으로 이동하여 정지한 상태에서 교체할 가스통(30)이 내장된 캐비닛의 도어(21)를 여는 단계와, 상기 캐비닛(20)에서 교체할 가스통(30)을 그리퍼(42)가 클램핑하여 트랜스퍼(40)에 실은 다음 도어(21)를 닫고 가스통(30)에 안전 캡(31)을 체결하는 단계와, 상기 트랜스퍼(40)에 교체할 가스통을 싣고 나면 트랜스퍼를 트랙(50)을 따라 언로딩포지션(61a)으로 이동시킨 다음 그리퍼(42)가 가스통(30)을 언로딩부(61)에 언로딩하고 가스통(30)으로부터 클램핑을 해제하는 단계와, 상기 트랜스퍼(40)를 트랙(50)을 따라 새로운 가스통이 있는 로딩포지션(60a)으로 이동시키는 단계와, 상기 트랜스퍼(40)가 로딩부(60)에 있던 새로운 가스통(30)을 그리퍼(42)가 클램핑하여 트랜스퍼(40)에 싣는 단계와, 새로운 가스통(30)을 실은 트랜스퍼(40)가 트랙(50)을 따라 이동하여 빈 캐비닛의 전방에 정지하면 가스통(30)으로부터 안전 캡(31)을 분리하고 도어(21)를 열은 다음 그리퍼(42)가 가스통(30)을 캐비닛(20)의 내부에 위치시키고 클램핑을 해제한 후 캐비닛(20)의 도어(21)를 닫는 단계와, 상기 트랜스퍼(40)를 트랙(50)을 따라 이동시켜 로딩포지션(60a) 또는 언로딩포지션(61a)으로 이동시켜 대기하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스통 자동 교체방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수 열로 설치되는 캐비닛(20)을 트랙(50)의 양측으로 대칭되게 배열하여 트랜스퍼(40)가 트랙(50)을 따라 이동하면서 캐비닛(20)에서 가스통(30)을 교체하는 것을 특징으로 하는 가스통 자동 교체방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 트랜스퍼(40)을 180°회전 가능하게 설치하여 가스통(30)을 로딩 및 언로딩할 때 트랜스퍼(40)가 180°회전하는 것을 특징으로 하는 가스통 자동 교체방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 캐비닛(20)의 양쪽에 로딩부(60) 및 언로딩부(61)를 인라인으로 배치한 것을 특징으로 하는 가스통 자동 교체방법.
  5. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 캐비닛(20)의 일 측에 로딩부(60) 및 언로딩부(61)를 마주보게 배치한 것을 특징으로 하는 가스통 자동 교체방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 트랜스퍼(40)에 가스통(30)을 클램핑하는 그리퍼(42)를 구비하여 가스통(30)을 클램핑한 그리퍼(42)가 상승 - 후진 - 하강한 다음 클램핑을 해제하여 트랜스퍼(40)에 싣거나, 트랜스퍼(40)에 실린 가스통(30)을 클램핑한 그리퍼(42)가 상승 - 전진 - 하강하여 캐비닛(20)에 위치시킨 다음 클램핑을 해제하여 캐비닛(20)에 내장하는 것을 특징으로 하는 가스통 자동 교체방법.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 로딩부(60) 및 언로딩부(61)에 복수 개의 가스통(30)이 담기는 팔렛트(70)를 운반 가능하게 설치하여 한꺼번에 여러 개의 가스통을 교체하도록 하는 것을 특징으로 하는 가스통 자동 교체방법.
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