CN113669622A - 气体供应装置及气体供应装置的密封垫更换方法 - Google Patents

气体供应装置及气体供应装置的密封垫更换方法 Download PDF

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Abstract

本发明的目的在于提供一种能够防止密封垫粘在容器的阀连接器而导致密封垫双重插入的情形的气体供应装置和密封垫更换方法。根据本发明的气体供应装置的密封垫更换方法，包括如下步骤：a)将密封垫置于配备在容器的阀连接器与连接在气体需求处的连接配管连接器之间而结合所述阀连接器和所述连接配管连接器；b)解除所述阀连接器和连接配管连接器的结合；c)从所述阀连接器和连接配管连接器之间分离所述密封垫之后，移送所述密封垫，其中，在执行所述a)步骤至c)步骤的过程中，包括密封垫夹持器夹持所述密封垫，并且同时移送夹持了所述密封垫的密封垫夹持器和所述连接配管连接器的过程。

Description

气体供应装置及气体供应装置的密封垫更换方法
技术领域
本发明涉及气体供应装置和密封垫更换方法，更加详细地，涉及能够防止密封垫的脱离并且防止密封垫粘在容器的阀连接器的情形的气体供应装置和密封垫更换方法。
背景技术
通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备等进行精细操作的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。
为了有效地提供这样的气体，以高压状态保管许多种类的气体，尤其是，具有可燃性、毒性、腐蚀性等有害性质的气体在与人类隔离的独立空间被严格管理。
保管气体的气体储存容器(以下，简称为“容器”)连接在气体需求处，如果容器中保管的气体被全部耗尽，则从气体容器的阀分离连接在气体需求处的连接配管之后更换容器，然后将包括连接在气体需求处的连接配管连接器的连接器紧固部结合到更换后的容器的阀连接器而重新供应气体。
在将所述容器的阀连接器和连接配管连接器结合的情形下，配备有用于维持两者之间的气密性的密封垫(gasket)。这种密封垫是利用树脂材质构成的，因此在阀连接器和连接配管连接器长时间结合的状态下为了更换容器而从阀连接器分离连接配管连接器便会发生密封垫仍然粘在阀连接器的情形。
如上所述，在密封垫粘在阀连接器的情形下，并没有感测此的额外的机构，并且为了利用感测传感器等确认密封垫是否粘结则需要额外的部件，因此具有装置的制造费用增加的问题。
如果在用于阀连接器的密封垫仍然被粘结的状态下，将新的密封垫结合到连接配管连接器之后结合连接配管连接器和阀连接器，则由于连接配管连接器与阀连接器之间以双重插入方式插入有两个密封垫(已有的密封垫和新的密封垫)，因此可能由于无法维持气密性而发生气体泄漏的事故。
并且，在把新的密封垫结合到连接配管连接器的状态下移送连接配管连接器而将连接配管连接器结合到阀连接器，在移送连接配管连接器的期间内可能发生新的密封垫从连接配管连接器脱离的问题。
作为关于半导体设备的气体供应装置的现有技术，公开有韩国授权专利第10-0242982号。
发明内容
本发明是为了解决上述诸般问题而想出的，其目的在于提供一种能够防止发生密封垫粘在容器的阀连接器而导致密封垫双重插入的情形的气体供应装置和密封垫更换方法。
本发明的另一目的在于提供一种在为了更换密封垫而移送连接配管连接器时能够防止发生密封垫从连接配管连接器脱离的情形的气体供应装置和密封垫更换方法。
用于达成所述目的的本发明的气体供应装置的密封垫更换方法，包括如下步骤：a)将密封垫置于配备在容器的阀连接器与连接在气体需求处的连接配管连接器之间而结合所述阀连接器和所述连接配管连接器；b)解除所述阀连接器和连接配管连接器的结合；c)从所述阀连接器和连接配管连接器之间分离所述密封垫之后，移送所述密封垫，其中，在执行所述a)步骤至c)步骤的过程中，包括密封垫夹持器夹持所述密封垫，并且同时移送夹持了所述密封垫的密封垫夹持器和所述连接配管连接器的过程。
在所述b)步骤，所述密封垫夹持器可以在所述阀连接器和连接配管连接器的结合被解除的状态下夹持所述密封垫。
在所述c)步骤之后，可以执行所述密封垫夹持器解除所述密封垫的夹持而将所述密封垫回收到密封垫回收部的步骤。
在所述c)步骤中，可以在将所述连接配管连接器和夹持了所述密封垫的密封垫夹持器一起在与所述阀连接器对向的方向上远离所述阀连接器的方式进行第一次移送之后，沿与所述第一次移送垂直的方向将所述密封垫夹持器进行第二次移送。
所述a)步骤可以包括如下步骤：a-1)所述密封垫夹持器从密封垫供应部夹持新的密封垫，并移送所述密封垫夹持器，从而将夹持的所述密封垫结合到所述连接配管连接器；a-2)在所述密封垫夹持器夹持所述密封垫的状态下，将所述密封垫夹持器与连接配管连接器在相同的方向上同时移送而使所述阀连接器和连接配管连接器将所述密封垫置于其之间而结合。
在所述a-2)步骤中，可以驱动第一移送机构进行第一次移送来将包括所述连接配管连接器的连接器连接部移送到所述阀连接器的位置，驱动连接配管连接器移送机构进行第二次移送来仅移送所述连接配管连接器而结合所述阀连接器和连接配管连接器。
所述密封垫夹持器可以通过一对密封垫夹持部件彼此靠近而夹持所述密封垫或者一对密封垫夹持部件彼此远离而解除对所述密封垫的夹持状态。
移送所述密封垫夹持器的密封垫夹持器移送机构可以在水平方向上移动所述密封垫夹持器，并且在与所述阀连接器相对的方向上移送，或者在垂直于与所述阀连接器相对的方向的方向上移送。
本发明的另一气体供应装置的密封垫更换方法，包括如下步骤：a)将密封垫结置于配备在容器的阀连接器和连接在气体需求处的连接配管连接器之间而结合所述阀连接器和所述连接配管连接器；b)解除所述阀连接器和连接配管连接器的结合，密封垫夹持器夹持所述密封垫；c)同时移送夹持了所述密封垫的密封垫夹持器和所述连接配管连接器来从所述阀连接器分离所述密封垫。
本发明的气体供应装置，包括：连接器紧固部，用于将连接在气体需求处的连接配管连接器连接到配备在容器的阀连接器；第一移送机构和第二移送机构，所述第一移送机构使所述连接器紧固部向所述阀连接器方向前进和后退，所述第二移送机构沿与所述前进和后退的方向垂直的水平方向移送所述连接器紧固部；密封垫移送部，包括密封垫夹持器以在夹持了介于所述阀连接器与连接配管连接器之间的密封垫的状态下进行移送；控制部，进行控制来使得夹持了与所述连接配管连接器结合的密封垫的密封垫夹持器与所述连接配管连接器被同时移送。
所述控制部可以进行控制使得：所述阀连接器和连接配管连接器在其之间置有密封垫而结合的状态下，解除所述阀连接器和连接配管连接器的结合，在密封垫夹持器夹持所述密封垫之后同时移送所述连接配管连接器和密封垫夹持器。
所述控制部可以进行控制使得：在将夹持了所述密封垫的密封垫夹持器移送到密封垫回收部的位置之后，解除所述密封垫的夹持使得所述密封垫被回收到所述密封垫回收部。
所述控制部可以进行控制使得：以使所述连接配管连接器和密封垫夹持器在与所述阀连接器对向的方向上远离的方式进行第一次移送后，将所述密封垫夹持器以与所述第一次移送垂直的方向进行第二次移送。
所述控制部可以控制使得：所述密封垫夹持器从密封垫供应部夹持新的密封垫，移送所述密封垫夹持器将所述夹持的密封垫结合到所述连接配管连接器，在所述密封垫夹持器夹持了所述密封垫的状态下将所述密封垫夹持器与所述连接配管连接器在相同的方向上同时移送而使所述阀连接器和连接配管连接器将所述密封垫置于其之间而得到结合。
所述密封垫夹持器可以利用彼此靠近或者彼此远离的一对密封垫夹持部件构成，还包括：密封垫夹持器操作机构，移送所述一对密封垫夹持部件使其彼此靠近或者远离；密封垫夹持器移送机构，沿水平方向移送所述密封垫夹持器，其中，所述控制部进行控制来驱动所述密封垫夹持器操作机构，使得所述一对密封垫夹持部件彼此靠近而夹持所述密封垫或者彼此远离而解除所述密封垫的夹持状态。
可以配备有：连接配管连接器壳体，围绕所述连接配管连接器的外部；第一移送机构，用于向所述阀连接器方向一体地移送所述连接配管连接器和连接配管连接器壳体；连接配管连接器移送机构，用于向所述阀连接器方向仅移送所述连接配管连接器，而不移送所述连接配管连接器壳体。
根据本发明，可以防止发生密封垫粘在容器的阀连接器而导致密封垫的双重插入的情形。
并且，可以防止在为了更换密封垫而移送连接配管连接器的情形下密封垫从连接配管连接器脱离的情形。
附图说明
图1是示出本发明的气体供应装置的立体图。
图2是示出本发明的气体供应装置中，在容器的阀部结合有固定块的状态的立体图。
图3是示出根据本发明的气体供应装置的下部模块的立体图。
图4是示出根据本发明的气体供应装置中的插塞模块的立体图。
图5是示出本发明的气体供应装置中的密封垫供应部的立体图。
图6是示出本发明的气体供应装置中的密封垫移送部的立体图。
图7是示出本发明的气体供应装置中的连接配管连接器移送机构的立体图。
图8是示出本发明的气体供应装置中用于结合阀连接器和连接配管连接器的初始状态的平面图。
图9是示出在图8的状态下，密封垫供应部被移送而使密封垫夹持器夹持密封垫的状态的平面图。
图10是示出在图9的状态下，密封垫移送部将密封垫结合到连接配管连接器的状态的平面图。
图11是在另一角度观察的图10，示出了将密封垫结合到连接配管连接器的状态的立体图。
图12是示出在图10的状态下密封垫移送部和连接器紧固部同时被移送而使连接配管连接器和阀连接器彼此对向地布置的状态的平面图。
图13是示出在图12的状态下连接配管连接器被旋转并移送，从而连接配管连接器和阀连接器被结合的状态的平面图。
图14是示出在更换容器的状态下，连接器紧固部被旋转并移送，从而连接配管连接器和阀连接器被分离，并且密封垫夹持器被移送而夹持密封垫的状态的平面图。
图15是示出在图14的状态下夹持密封垫的密封垫夹持器与连接器紧固部被一起被移送的状态的平面图。
图16是示出在图15的状态下将密封垫夹持器的密封垫回收到密封垫回收部的状态的平面图。
图17是示出在图16的状态下密封垫夹持器被移送到初始位置的状态的平面图。
符号说明
1：气体供应装置 2：上部模块
3：下部模块 4：阀开闭模块
10：容器 20：阀
30：阀连接器 31：盖体
50：手柄 211：上部板
311：上部壳体 312：第一侧面壳体
313：第二侧面壳体 314：下部壳体
315：内部壳体 320：盖体分离部
330：连接器紧固部 331：连接配管连接器
335：连接配管连接器移送机构 335-1：连接器卡接部件
335-2：卡接轴 335-3：引导轴
340：子模块移送机构 340a：第一移送机构
340b：第二移送机构 350：对准块
351：第二对准部 352：第二结合部
352a：凸起 360：插塞模块
361：插塞 362：插塞支撑部件
363：插塞支撑壳体 364：插塞移送引导件
370：密封垫供应部 371a、371b：密封垫
372：密封垫收纳部 373：密封垫收纳部移送机构
380：密封垫移送部 381：密封垫夹持器
382：密封垫夹持器操作机构 383：第一密封垫夹持器移送机构
384：第二密封垫夹持器移送机构 510、520、530：固定块
511：第一结合部 512：第一对准部
具体实施方式
以下参照附图详细说明本发明。
此处，在指代方向时，将图1所示的X轴称作前后方向、Y轴称作左右方向、Z轴称作垂直方向。并且，水平方向包括由XY平面构成的所述左右方向和前后方向。并且，在区分前后方向时，将布置有容器10的这一侧称作前方，布置有下部模块3的这一侧称作后方。并且，在以盖体分离部320和连接器紧固部330为基准区分左右方向时，将布置有盖体分离部320的这一侧定义为右侧，将布置有连接器紧固部330的这一侧定义为左侧。
参照图1至图3，本发明的气体供应装置1可以包括：上部模块2，包括设置为固定在从配备于容器10的上端的阀部朝上侧相隔的位置的上部板211；下部模块3，配备在所述上部模块2的下部，配备有盖体分离部320和连接器紧固部330，所述盖体分离部320分离覆盖阀连接器30的盖体31，所述阀连接器30配备于所述阀部，所述连接器紧固部330用于将连接到气体需求处的连接配管连接器331连接到所述阀连接器30；阀开闭模块4，用于开闭所述阀部的阀。
所述容器10作为用于储存供应至半导体装置等气体需求处的工艺气体并将其供应的构成，在容器10的上部配备有所述阀部。
所述阀部构成为包括：阀(未示出)，用于控制气体的供应；阀连接器30，配备在所述阀的一侧而紧固到所述下部模块3的连接器紧固部330；盖体31，覆盖所述阀连接器30；阀闸(valve shutter，未示出)开闭所述阀；手柄50，连接于所述阀闸的上部，随着旋转而使阀闸升降，从而对阀进行开闭。
在所述阀部结合有固定块510、520、530。在所述固定块510、520、530配备有第一对准部512。
所述固定块510、520、530可以利用围绕所述阀部的第一固定块510、第二固定块520以及第三固定块530构成。
如果通过所述第二固定块520和第三固定块530的结合围绕所述阀部，则所述阀部中所述阀连接器30和盖体31相对于所述固定块520、530向侧方向突出而暴露，所述阀部中所述手柄50相对于所述固定块520、530向上方向突出而暴露。
所述第一固定块510构成为具有沿Y轴方向的长度的四角桶状，在所述Y轴方向的一侧面结合有所述第二固定块520，在X轴方向的一侧面配备有第一对准部512。
所述第一对准部512可以由在所述X轴方向的一侧面凹陷地形成的对准销插入槽512构成。
所述下部模块3形成为在能够相对于上部模块2进行水平方向移送的同时，还能够进行垂直方向的升降移送。
所述第一对准部512构成为在下部模块3进行水平方向移送时，通过与配备在下部模块3的第二对准部351的结合而实现容器10的对准。
所述第二对准部351可以由从后述的下部模块3的对准块350沿作为与所述对准销插入槽512相对向的方向的X轴方向突出而具有水平方向的长度的对准销351构成。
通过使所述对准销351被插入到所述对准销插入槽512，从而实现所述容器10的对准。
虽然本实施例中示出了第一对准部512构成为对准销插入槽，第二对准部351构成为对准销的情形，但也可以将第一对准部构成为对准销，将第二对准部构成为对准销插入槽。
并且，虽然本实施例中示出了对准销被插入到对准销插入槽的情形，但并不限于此，也可以构成为第一对准部与第二对准部紧固或者结合的情形。将所述第一对准部和第二对准部被插入、紧固、结合的方式统称为“结合”。
在所述第一固定块510，在与所述第一对准部512相邻的位置配备有第一结合部511，并且在所述下部模块3的对准块350配备有与所述第一结合部511实现结合的第二结合部352。
所述第一结合部511可以由所述第一固定块510中的与形成有所述第一对准部512的面相同的面沿X轴方向凹陷地形成的固定槽511构成。
所述第二结合部352可以由在与所述第二对准部351相邻的位置的对准块350向所述第一结合部511突出的固定块结合部件352构成。
在所述固定块结合部件352的外侧面配备有多个凸起352a，所述多个凸起352a通过配备在内部的弹簧(未示出)而被弹性支撑。在所述固定槽511的内部形成有使所述凸起352a插入的凸起插入槽(未示出)。如果所述固定块结合部件352插入到所述固定槽511，则所述凸起352a被插入到所述凸起插入槽，从而可以防止所述固定块结合部件352从所述固定槽511脱离，进而使所述下部模块3维持结合在所述第一固定块510的状态。
在从所述固定槽511拉出所述固定块结合部件352的情形下，如果供应空气(air)而使所述凸起352a克服所述弹簧的弹性力并从固定块结合部件352的表面向内侧移动，则所述凸起352a从所述凸起插入槽脱离。因此，所述固定块结合部件352能够从固定槽511脱离。
在所述上部模块2可以配备有移送引导件(未示出)，以能够分别向X轴、Y轴以及Z轴方向移送所述下部模块3。如果操作人员用手抓住所述下部模块3并对其沿轴方向施加力，则下部模块3可以向X轴、Y轴以及Z轴中的某一个方向被移送。并且，可以通过这种下部模块3的移送而实现第一对准部512和第二对准部351的结合，通过这种结合可以实现容器10的对准。
在所述下部模块3配备有：多个壳体311、312、313、314；盖体分离部320；连接器紧固部330、子模块移送机构340、对准块350、插塞模块360、密封垫供应部370以及密封垫移送部380。
所述多个壳体311、312、313、314构成为包括：上部壳体311，在所述下部模块3的上部配备为板状；第一侧面壳体312、第二侧面壳体313，分别结合在所述上部壳体311的Y轴方向两侧；下部壳体314，从所述上部壳体311向下侧相隔，两侧与所述第一侧面壳体312和第二侧面壳体313结合。
所述上部壳体311和第一侧面壳体312、第二侧面壳体313以及下部壳体314配备为围绕所述下部模块3的前后方以外的上部和下部以及两侧部。
所述盖体分离部320从所述阀连接器30分离覆盖阀连接器30的盖体31，其中所述阀连接器30配备于所述阀部。
所述盖体分离部320形成有槽，以使所述盖体31被插入到内部，如果在所述盖体31被插入到所述盖体分离部320的槽的状态下驱动旋转机构(未示出)而旋转所述盖体分离部320，则所述盖体31从所述阀连接器30分离。与此相反地，可以驱动所述旋转机构将从所述盖体分离部320分离的盖体31结合到所述阀连接器30。
所述连接器紧固部330包括：连接配管连接器331，连接到气体需求处；连接配管连接器壳体332(图7)，围绕所述连接配管连接器331的外侧。所述连接器紧固部330配备为能够将所述连接配管连接器331连接到所述阀连接器30。如果在所述连接器紧固部330和阀连接器30连接的状态下旋转手柄50而开放阀，则容器10内部的气体通过阀连接器30和连接配管连接器331供应至气体需求处。所述连接配管连接器331和连接配管连接器壳体332通过所述旋转机构的驱动而一起旋转。
所述子模块移送机构340将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地沿左右方向(Y轴方向)和前后方向(X轴方向)移送。所述子模块移送机构340可以构成为包括：第一移送机构340a，用于将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地沿前后方向移送；第二移送机构340b，用于将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地沿左右方向移送。
所述第一移送机构340a可以利用用于沿前后方向进行移送的移送引导件和用于通过供应空气(air)而施加移送力的气缸构成。并且，所述第二移送机构340b可以利用用于沿左右方向进行移送的移送引导件和用于通过供应空气(air)而施加移送力的气缸构成。
所述旋转机构旋转所述盖体分离部320和连接器紧固部330。所述旋转机构包括产生旋转力的马达和减速器，并且包括用于将所述旋转力传递至所述盖体分离部320和连接器紧固部330的旋转传递部件。
所述旋转传递部件将所述旋转力分别传递到盖体分离部320和连接器紧固部330，如果驱动所述马达，则所述盖体分离部320和连接器紧固部330将同时旋转。与此不同地，所述旋转机构还可以构成为配备有两个马达，并且利用所述两个马达使所述盖体分离部320和连接器紧固部330分别旋转。
可以配备有前方和后方被开放且围绕左右和上下的内部壳体315，以能够设置所述盖体分离部320和连接器紧固部330。所述内部壳体315能够与下部壳体314的上部结合。
所述对准块350以从所述内部壳体315的前方端部突出的方式结合，并且构成为大致的多面体形状。在所述对准块350的前方表面以向所述阀部突出的形状形成有作为第二对准部351的对准销351，在所述对准销351的侧部以向所述阀部突出的形状形成有作为所述第二结合部352的固定块结合部件352。
参照图3和图4说明插塞模块360。
所述插塞模块360构成为包括：插塞361，为了防止在阀连接器30和连接器紧固部330没有被紧固的状态下异物进入连接器紧固部330内部而结合在连接器紧固部330；插塞支撑部件362，用于支撑所述插塞361的端部；插塞支撑壳体363，所述插塞支撑部件362被结合而支撑；插塞移送引导件364，为了将所述插塞361、插塞支撑部件362以及插塞支撑壳体363一体地沿前后方向移送而起到引导作用；插塞移送驱动部365，提供用于将所述插塞361、插塞支撑部件362以及插塞支撑壳体363一体地沿前后方向移送的驱动力。
参照图3和图5说明密封垫供应部370。
所述密封垫供应部370是为了供应在更换容器10时用于安装到连接配管连接器331与阀连接器30之间的新的密封垫(gasket)的部件，包括：收纳部372，收纳多个密封垫371a；密封垫收纳部移送机构373，用于沿前后方向移送所述密封垫收纳部372。
所述密封垫收纳部移送机构373可以构成为包括：移送引导件，引导沿前后方向的移送；驱动部，提供驱动力以能够随着所述移送引导件而被移送。
在所述密封垫收纳部372以竖立的状态配备有多个密封垫371a，构成为在后述的密封垫夹持器381夹持位于一侧边沿的密封垫后使其能够通过作为形成在密封垫收纳部372的开口部的密封垫排出部372a脱离。
参照图3和图6说明密封垫移送部380。
所述密封垫移送部380构成为包括：密封垫夹持器381，为了夹持密封垫而利用一对密封垫夹持器部件381a、381b构成；密封垫夹持器操作机构382，用于使所述一对密封垫夹持器部件381a、381b以彼此靠近或者彼此远离的方式操作；第一密封垫夹持器移送机构383，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382一体地沿前后方向移送；第二密封垫夹持器移送机构384，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382以及第一密封垫夹持器移送机构383一体地沿左右方向移送。
所述第一密封垫夹持器移送机构383和第二密封垫夹持器移送机构384可以利用用于在前后方向和左右方向上引导移送的移送引导件和提供驱动力以能够随着所述移送引导件被移送的驱动部构成。
参照图7说明连接配管连接器移送机构335。
所述盖体分离部320和连接器紧固部330可以通过第一移送机构340a实现向前方和后方的直线移送。虽然也可以构成为驱动所述第一移送机构340a而将连接配管连接器331结合到所述阀连接器30，但由于通过所述第一移送机构340a的驱动，包括分离部320和连接器紧固部330而用于使盖体分离部320和连接器紧固部330旋转的整个构成部件会一同被移送，因此由于其重量，在将连接配管连接器331结合到阀连接器30时可能产生冲击。
为了防止这种问题，可以构成为与第一移送机构340a独立地配备了连接配管连接器移送机构335，从而在将连接配管连接器331结合到阀连接器30的情形下，不驱动第一移送机构340a，而是驱动连接配管连接器移送机构335，以仅使连接配管连接器331沿前后方向移送。
所述连接配管连接器移送机构335可以包括：连接器卡接部件335-1，下部的一部分被插入到形成在连接配管连接器331的端部的槽(未示出)，从而实现与连接配管连接器331的卡接；卡接轴335-2，卡接到所述连接器卡接部件335-1的上部并配备为能够被沿前后方向直线移送；驱动部(未示出)，提供驱动力以使所述卡接轴335-2能够被沿前后方向直线移送；引导轴335-3，在所述卡接轴335-2被直线移送的情形下起到引导功能。
在所述阀连接器30和连接配管连接器331彼此相邻地布置的状态下，如果驱动所述连接配管连接器移送机构335的驱动部，则所述卡接轴335-2、被卡接在所述卡接轴335-2的连接器卡接部件335-1、卡接在所述连接器卡接部件335-1的连接器331被一体地移送到后方，从而使连接配管连接器331结合到阀连接器30。
在此情形下，连接配管连接器331可以在结合到阀连接器30时通过旋转机构的驱动而同时实现旋转。并且，由于所述盖体分离部320、用于旋转盖体分离部320和连接器紧固部330的构成部件不与所述连接配管连接器331一起被移送，因此在连接配管连接器331与阀连接器30结合时可以最小化冲击。
此外，配备有控制部，控制部控制所述子模块移送机构340、旋转机构、插塞移送驱动部365、密封垫收纳部移送机构373、第一密封垫夹持器移送机构383、第二密封垫夹持器移送机构384，从而用于控制本发明的气体供应装置。并且，配备有用于将安装在所述阀连接器30与连接配管连接器331之间的第二密封垫分离后回收的密封垫回收部390。
参照图8至图17说明更换容器10时进行的密封垫更换方法。
图8至图13示出了在容器10的阀连接器30与连接配管连接器331之间安装新的密封垫(第一密封垫)的过程，图14至图17示出了分离并去除安装在容器10的密封垫(第二密封垫)的过程。
图8示出了用于更换密封垫的初始状态。虽然在图8未示出，但其为第一对准部512和第二对准部351已经结合而实现了容器10的对准的状态。密封垫夹持器381与密封垫供应部370相隔，并且与连接器紧固部330也相隔。将此时的各部件的位置称作“初始位置”。
参照图9，在图8的状态下驱动密封垫收纳部移送机构373而将密封垫收纳部372向后方移送至密封垫夹持器381的位置。在此状态下，驱动密封垫操作机构382以使一对密封垫夹持部件381a、381b彼此靠近，则密封垫收纳部372中位于最后方的一个第一密封垫371a被夹持到一对密封垫夹持部件381a、381b之间。
参照图10，在图9的状态下驱动第二密封垫夹持器移送机构384将夹持了第一密封垫371a的密封垫夹持器381移送到右侧，并再次驱动第一密封垫夹持器移送机构383而将密封垫夹持器381移送到后方，从而将第一密封垫371a结合到连接配管连接器331的前方端部。
在图10的状态下，如图11所示，在所述第一密封垫371a的中央部形成有孔，所述连接配管连接器331的前方端部形成有圆筒形状的突出部331a，以使所述突出部331a被插入到所述第一密封垫371a的孔的方式实现第一密封垫371a与连接配管连接器331的结合。
参照图12，在图10的状态下同时驱动第二移送机构340b和第二密封垫夹持器移送机构384，从而将连接器紧固部330和夹持了第一密封垫371a的密封垫夹持器381向右侧方向进行第一次移送，之后同时驱动第一密封垫移送机构383和第一移送机构340a而使连接器紧固部330和夹持了第一密封垫371a的密封垫夹持器381向前方进行第二次移送，则连接配管连接器331会将第一密封垫371a置于之间而布置在靠近阀连接器30的后方的位置。在此情形下，驱动密封垫收纳部移送机构373而再次向前方移送密封垫收纳部372，使得变回初始位置。
由于以往将密封垫插入到连接配管连接器331的突出部331a，从而在连接配管连接器331结合于密封垫的状态被移送，因此具有密封垫从连接配管连接器331的突出部331a脱离的问题，但在本发明中，若如上所述地移送连接配管连接器331，则密封垫夹持器381以夹持第一密封垫371a的状态与连接配管连接器331一同被移送，因此可以防止第一密封垫371a从连接配管连接器331脱离的情形。
参照图13，在图12的状态下驱动密封垫夹持器操作机构382而使一对密封垫夹持部件381a、381b彼此远离，从而解除第一密封垫371a的夹持状态，并驱动第二密封垫夹持器移送机构384而将其移送至左侧。在此情形下，第一密封垫371a将维持被插入到连接配管连接器331的突出部331a的状态。并且，在驱动旋转机构而使连接器紧固部330旋转的同时驱动连接配管连接器移送机构335而将连接配管连接器331移送至前方，从而将连接配管连接器331和阀连接器30结合。
在通过如上所述的过程而使第一密封垫371a介于连接配管连接器331与阀连接器30之间的状态下，实现连接器紧固部330和阀连接器30的结合。如果实现所述连接器紧固部330和阀连接器30的结合，则阀开闭模块4使手柄50旋转而打开阀，从而使容器10的气体通过连接配管连接器331被供应至气体需求处。
参照图14至图17说明分离和去除被安装在容器10的第二密封垫371b的过程。
参照图14，驱动旋转机构和连接配管连接器移送机构335而解除连接配管连接器331与阀连接器30的结合，并驱动第一密封垫移送机构383和第二密封垫夹持器移送机构384以及密封垫夹持器操作机构382而使密封垫夹持器381从初始位置被移送，密封垫夹持器381夹持位于连接配管连接器331与阀连接器30之间的第二密封垫371b。
参照图15，在图14的状态下，驱动第一移送机构340a、连接配管连接器移送机构335以及第一密封垫夹持器移送机构383而使密封垫夹持器381在夹持第二密封垫371b的状态下向后方进行被第一次移送，并驱动第二移送机构340b和第二密封垫夹持器移送机构384而使密封垫夹持器381在夹持第二密封垫371b的状态下与连接器紧固部330一起向左侧被第二次移送。
在以往的气体供应装置中，在从阀连接器30分离连接配管连接器331时，第二密封垫371b可能不与连接配管连接器331一起被分离而残留在阀连接器30。即，如果在连接配管连接器331和阀连接器30将所述第二密封垫371b置于之间而结合的状态下经过预定时间，则所述第二密封垫371b和阀连接器30接触的面被挤压。在此状态下，如果从阀连接器30分离连接配管连接器331，则第二密封垫371b可能粘在阀连接器30的接触面，从而第二密封垫371b不与连接配管连接器331一起被分离而残留在阀连接器30。如果在这种状态下将新的第一密封垫安装到连接配管连接器331与阀连接器30之间，则未被去除而残留的第二密封垫和新的第一密封垫被双重安装，从而具有气体泄漏的风险。
在本发明中，由于密封垫夹持器381在夹持第二密封垫371b的状态下将第二密封垫371b从阀连接器30分离，因此可以防止第二密封垫371b粘在容器10的阀连接器30而与第一密封垫371a一起在连接配管连接器331与阀连接器30之间被双重安装密封垫的情形。
参照图16，在图15的状态下，驱动第一密封垫夹持器移送机构383而向前方移送夹持了第二密封垫371b的密封垫夹持器381，然后驱动密封垫夹持器操作机构382而解除密封垫夹持器381的夹持状态。通过解除所述密封垫夹持器381的夹持状态，使第二密封垫371b被回收到密封垫回收部390。
参照图17，在图16的状态下，驱动第二密封垫夹持器移送机构384，从而将密封垫夹持器381移送至左侧回归初始位置。
虽然以上以气体供应装置利用上部模块2和下部模块3构成的结构为例进行了说明，但并不限于此，可以应用于多种结构。
并且，虽然以手动地进行容器10的对准的气体供应装置为例进行了说明，但并不限于此，也可以应用于自动地进行容器10的对准的气体供应装置。
如前所述，虽然以优选实施例为例详细说明了本发明，但本发明并不限于前述的实施例，可以在权利要求书和发明的详细说明以及附图的范围内进行多种变形而实施，并且这些也属于本发明。

Claims (16)

1.一种气体供应装置的密封垫更换方法，包括如下步骤：
a)将密封垫置于配备在容器的阀连接器与连接在气体需求处的连接配管连接器之间而结合所述阀连接器和所述连接配管连接器；
b)解除所述阀连接器和连接配管连接器的结合；
c)从所述阀连接器和连接配管连接器之间分离所述密封垫之后，移送所述密封垫，
其中，在执行所述a)步骤至c)步骤的过程中，包括密封垫夹持器夹持所述密封垫，并且同时移送夹持了所述密封垫的密封垫夹持器和所述连接配管连接器的过程。
2.如权利要求1所述的气体供应装置的密封垫更换方法，其特征在于，
在所述b)步骤，所述密封垫夹持器在所述阀连接器和连接配管连接器的结合被解除的状态下夹持所述密封垫。
3.如权利要求1所述的气体供应装置的密封垫更换方法，其特征在于，
在所述c)步骤之后，执行所述密封垫夹持器解除所述密封垫的夹持而将所述密封垫回收到密封垫回收部的步骤。
4.如权利要求1所述的气体供应装置的密封垫更换方法，其特征在于，
在所述c)步骤中，在将所述连接配管连接器和夹持了所述密封垫的密封垫夹持器一起在与所述阀连接器对向的方向上远离所述阀连接器的方式进行第一次移送之后，沿与所述第一次移送垂直的方向将所述密封垫夹持器进行第二次移送。
5.如权利要求1所述的气体供应装置的密封垫更换方法，其特征在于，
所述a)步骤包括如下步骤：
a-1)所述密封垫夹持器从密封垫供应部夹持新的密封垫，并移送所述密封垫夹持器，从而将夹持的所述密封垫结合到所述连接配管连接器；
a-2)在所述密封垫夹持器夹持所述密封垫的状态下，将所述密封垫夹持器与连接配管连接器在相同的方向上同时移送而使所述阀连接器和连接配管连接器将所述密封垫置于其之间而结合。
6.如权利要求5所述的气体供应装置的密封垫更换方法，其特征在于，
在所述a-2)步骤中，驱动第一移送机构进行第一次移送来将包括所述连接配管连接器的连接器连接部移送到所述阀连接器的位置，驱动连接配管连接器移送机构进行第二次移送来仅移送所述连接配管连接器而结合所述阀连接器和连接配管连接器。
7.如权利要求1所述的气体供应装置的密封垫更换方法，其特征在于，
所述密封垫夹持器通过一对密封垫夹持部件彼此靠近而夹持所述密封垫或者一对密封垫夹持部件彼此远离而解除对所述密封垫的夹持状态。
8.如权利要求1所述的气体供应装置的密封垫更换方法，其特征在于，
移送所述密封垫夹持器的密封垫夹持器移送机构在水平方向上移动所述密封垫夹持器，并且在与所述阀连接器相对的方向上移送，或者在垂直于与所述阀连接器相对的方向的方向上移送。
9.一种气体供应装置的密封垫更换方法，包括如下步骤：
a)将密封垫结置于配备在容器的阀连接器和连接在气体需求处的连接配管连接器之间而结合所述阀连接器和所述连接配管连接器；
b)解除所述阀连接器和连接配管连接器的结合，密封垫夹持器夹持所述密封垫；
c)同时移送夹持了所述密封垫的密封垫夹持器和所述连接配管连接器来从所述阀连接器分离所述密封垫。
10.一种气体供应装置，包括：
连接器紧固部，用于将连接在气体需求处的连接配管连接器连接到配备在容器的阀连接器；
第一移送机构和第二移送机构，所述第一移送机构使所述连接器紧固部向所述阀连接器方向前进和后退，所述第二移送机构沿与所述前进和后退的方向垂直的水平方向移送所述连接器紧固部；
密封垫移送部，包括密封垫夹持器以在夹持了介于所述阀连接器与连接配管连接器之间的密封垫的状态下进行移送；
控制部，进行控制来使得夹持了与所述连接配管连接器结合的密封垫的密封垫夹持器与所述连接配管连接器被同时移送。
11.如权利要求10所述的气体供应装置，其特征在于，
所述控制部进行控制使得：所述阀连接器和连接配管连接器在其之间置有密封垫而结合的状态下，解除所述阀连接器和连接配管连接器的结合，在密封垫夹持器夹持所述密封垫之后同时移送所述连接配管连接器和密封垫夹持器。
12.如权利要求10所述的气体供应装置，其特征在于，
所述控制部进行控制使得：在将夹持了所述密封垫的密封垫夹持器移送到密封垫回收部的位置之后，解除所述密封垫的夹持使得所述密封垫被回收到所述密封垫回收部。
13.如权利要求10所述的气体供应装置，其特征在于，
所述控制部进行控制使得：以使所述连接配管连接器和密封垫夹持器在与所述阀连接器对向的方向上远离的方式进行第一次移送后，将所述密封垫夹持器以与所述第一次移送垂直的方向进行第二次移送。
14.如权利要求10所述的气体供应装置，其特征在于，
所述控制部进行控制使得：所述密封垫夹持器从密封垫供应部夹持新的密封垫，移送所述密封垫夹持器将所述夹持的密封垫结合到所述连接配管连接器，在所述密封垫夹持器夹持了所述密封垫的状态下将所述密封垫夹持器与所述连接配管连接器在相同的方向上同时移送而使所述阀连接器和连接配管连接器将所述密封垫置于其之间而得到结合。
15.如权利要求10所述的气体供应装置，其特征在于，
所述密封垫夹持器利用彼此靠近或者彼此远离的一对密封垫夹持部件构成，
其中，所述密封垫夹持器还包括：密封垫夹持器操作机构，移送所述一对密封垫夹持部件使其彼此靠近或者远离；密封垫夹持器移送机构，沿水平方向移送所述密封垫夹持器，
其中，所述控制部进行控制来驱动所述密封垫夹持器操作机构，使得所述一对密封垫夹持部件彼此靠近而夹持所述密封垫或者彼此远离而解除所述密封垫的夹持状态。
16.如权利要求10所述的气体供应装置，其特征在于，配备有：
连接配管连接器壳体，围绕所述连接配管连接器的外部；
第一移送机构，用于向所述阀连接器方向一体地移送所述连接配管连接器和连接配管连接器壳体；
连接配管连接器移送机构，用于向所述阀连接器方向仅移送所述连接配管连接器，而不移送所述连接配管连接器壳体。
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