KR102337062B1 - 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법 - Google Patents

얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102337062B1
KR102337062B1 KR1020200051660A KR20200051660A KR102337062B1 KR 102337062 B1 KR102337062 B1 KR 102337062B1 KR 1020200051660 A KR1020200051660 A KR 1020200051660A KR 20200051660 A KR20200051660 A KR 20200051660A KR 102337062 B1 KR102337062 B1 KR 102337062B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
alignment
valve
cover
lower module
Prior art date
Application number
KR1020200051660A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210133015A (ko
Inventor
박용건
이상욱
김용철
서철교
김상진
Original Assignee
주식회사 케이씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨 filed Critical 주식회사 케이씨
Priority to KR1020200051660A priority Critical patent/KR102337062B1/ko
Priority to CN202010885033.4A priority patent/CN113566114B/zh
Priority to TW109131960A priority patent/TWI772891B/zh
Publication of KR20210133015A publication Critical patent/KR20210133015A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102337062B1 publication Critical patent/KR102337062B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/08—Mounting arrangements for vessels
    • F17C13/084—Mounting arrangements for vessels for small-sized storage vessels, e.g. compressed gas cylinders or bottles, disposable gas vessels, vessels adapted for automotive use
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/002—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels for vessels under pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C7/00—Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
    • F17C7/02—Discharging liquefied gases
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/01—Shape
    • F17C2201/0104—Shape cylindrical
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0388—Arrangement of valves, regulators, filters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
    • F17C2223/01—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the phase
    • F17C2223/0107—Single phase
    • F17C2223/0123—Single phase gaseous, e.g. CNG, GNC
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
    • F17C2250/06—Controlling or regulating of parameters as output values
    • F17C2250/0605—Parameters
    • F17C2250/0678—Position or presence
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2270/00—Applications
    • F17C2270/05—Applications for industrial use
    • F17C2270/0518—Semiconductors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Waveguide Aerials (AREA)
  • Auxiliary Devices For And Details Of Packaging Control (AREA)

Abstract

본 발명은 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 가스공급장치는, 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 고정되도록 설치된 상부플레이트를 구비한 상부모듈; 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부와, 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와의 결합에 의해 상기 용기와의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부를 포함하되, 상기 상부모듈에 대하여 수평방향 및 수직방향으로 이송이 가능한 하부모듈; 을 포함하고, 상기 커버가 상기 커버 분리부에 삽입되지 않은 상태에서 서로 대향하도록 위치한 경우 상기 얼라인시 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 일부가 결합될 수 있도록 구비된다.

Description

얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법{Gas supply apparatus having align function and align method}
본 발명은 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스 저장 용기의 교체시 가스 저장 용기의 밸브 커넥터와 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 체결하기 전에 가스 저장 용기를 얼라인할 수 있는 가스공급장치 및 얼라인 방법에 관한 것이다.
일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.
이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.
가스를 보관하는 가스 저장 용기(이하, '용기'라 약칭함)는 가스소요처에 연결되며, 용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 가스소요처에 연결된 연결배관을 가스용기의 밸브로부터 분리하여 용기를 교체한 후 교체된 용기의 밸브 커넥터에 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.
이와 같이 용기를 교체하는 경우 작업자가 용기를 용기 적재부의 정위치에 올려 놓아야 하지만, 용기를 정위치에 올려놓기 위한 자동화 장치가 구비되지 않으면, 작업자가 가스통을 정확히 정위치에 올려놓기가 어려운 문제점이 있다.
물론, 자동화 장치를 구비하게 되면, 용기를 정위치에 올려 놓는 것이 가능하지만, 장치의 구성이 복잡하고, 제조비용이 높은 문제점이 있다.
반도체 장비의 가스공급장치에 대한 종래기술로서, 대한민국 등록특허 제10-0242982호가 공개되어 있다.
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은, 수평방향 이송시 얼라인부의 회전이 가능하도록 함으로써 보다 정확한 얼라인이 이루어지도록 하는 가스공급장치를 제공하고자 함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 상부모듈과 하부모듈을 용기측에 구비된 고정블럭에 견고하게 결합된 상태를 유지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 커버와 커버분리부의 결합시 파손을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공하고자 함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치는, 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 고정되도록 설치된 상부플레이트를 구비한 상부모듈; 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부와, 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와의 결합에 의해 상기 용기와의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부를 포함하되, 상기 상부모듈에 대하여 수평방향 및 수직방향으로 이송이 가능한 하부모듈;을 포함하고, 상기 커버가 상기 커버 분리부에 삽입되지 않은 상태에서 서로 대향하도록 위치한 경우 상기 얼라인시 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 일부가 결합될 수 있도록 구비된다.
상기 제1얼라인부와 제2얼라인부 중 어느 하나는 수평방향의 길이를 갖는 핀 형상의 얼라인핀으로 이루어지고, 나머지 하나는 상기 얼라인핀이 삽입되는 얼라인핀 삽입홈으로 이루어져 있다.
상기 커버 분리부와 커넥터 체결부를 일체로 상기 밸브부 방향으로 전후진시키는 커넥터 체결부 이송수단이 구비되고; 상기 제2얼라인부의 수평방향 이송과 상기 커넥터 체결부 이송수단에 의한 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부의 이송은 독립적으로 이루어질 수 있다.
상기 제2얼라인부는, 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부의 외측을 적어도 일부 둘러싸고 상기 상부모듈에 구비된 이송가이드를 따라 상기 밸브부 방향으로 전후진하는 하우징에 결합될 수 있다.
상기 하우징에는 얼라인 블럭이 결합되고, 상기 제2얼라인부는 상기 얼라인 블럭에서 상기 밸브부를 향하는 면에 구비될 수 있다.
상기 제1얼라인부는 상기 밸브부에 결합된 고정블럭에 구비되고; 상기 고정블럭에서 상기 제1얼라인부에 인접하게 구비된 제1결합부에 결합되도록 하기 위한 제2결합부가 상기 하부모듈에서 상기 제2얼라인부에 인접하게 구비되고; 상기 제2얼라인부가 상기 제1얼라인부 방향으로 이송되어, 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합 상태에서 완전 결합 상태로 되면, 상기 제1결합부와 제2결합부가 결합되어 상기 고정블럭과 상기 하부모듈의 결합 상태가 유지될 수 있다.
상기 하부모듈에는 얼라인 블럭이 결합되고; 상기 제2결합부는 상기 얼라인블럭에 구비되어 상기 제1결합부를 향해 돌출된 고정블럭 결합부재로 이루어지고; 상기 제1결합부는 상기 고정블럭 결합부재가 삽입되도록 상기 고정블럭에 형성된 고정홈으로 이루어지며; 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈에 삽입되면, 상기 고정홈 내부에서 홈과 돌기의 걸림에 의해 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠짐이 방지되고, 에어를 공급하면 상기 홈과 돌기의 걸림이 해제되어 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠질 수 있다.
상기 커버 분리부를 회전시킨 상태에서, 상기 하부모듈을 상기 밸브부 방향으로 이송시키면, 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합 상태에서 완전 결합 상태로 되고, 상기 커버가 커버 분리부의 홈의 형상에 형합되면서 삽입될 수 있다.
상기 하부모듈은 상기 상부모듈에 대하여 수평방향으로 회전될 수 있다.
상기 하부모듈의 상부와 상기 상부모듈의 하부는 고정핀에 의해 결합되고; 상기 하부모듈과 상부모듈 중 어느 하나에는 적어도 하나의 가이드핀이 결합되고 나머지 하나에는 상기 가이드핀이 삽입되어 상기 고정핀을 회전 중심으로 회전 가능하도록 가이드핀 삽입구멍이 형성될 수 있다.
상기 가이드핀과 가이드핀 삽입구멍은 상기 고정핀의 양측에 한 쌍이 각각 구비될 수 있다.
상기 하부모듈은 상기 상부모듈에 대하여 수평 방향으로 회전과 동시에 직선 이동될 수 있다.
상기 상부모듈에는, 상기 하부모듈이 수평방향 중 어느 하나인 제1방향으로 이송되는 것을 가이드하기 위해 구비된 제1이송가이드; 상기 하부모듈이 수평방향 중 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 이송되는 것을 가이드하기 위한 제2이송가이드가 구비될 수 있다.
상기 상부플레이트와 중간플레이트와 하부플레이트가 상부에서부터 하부로 서로 이격되도록 구비되고; 상기 상부플레이트와 중간플레이트 사이에 상기 제1이송가이드가 구비되고; 상기 중간플레이트와 하부플레이트 사이에 상기 제2이송가이드가 구비될 수 있다.
상기 상부모듈에는 상기 하부모듈의 수직방향 이송을 가이드하기 위한 제3이송가이드가 구비될 수 있다.
상기 하부모듈의 수직방향 이송을 제동하기 위한 수직방향 제동부; 상기 수평방향 중 상기 밸브부를 향하는 방향에 수직인 제1방향으로의 직선이송을 제동하기 위한 수평방향 제동부가 구비될 수 있다.
상기 제1얼라인부는 상기 밸브부에 결합된 고정블럭에 구비되고; 상기 수직방향 제동부에 의해 수직방향 이송이 제동되고, 상기 수평방향 제동부에 의해 제1방향 이송이 제동된 상태에서, 상기 고정블럭에서 상기 제1얼라인부에 인접하게 구비된 제1결합부와 상기 하부모듈에서 상기 제2얼라인부에 인접하게 구비된 제2결합부가 결합됨으로써 상기 수평방향 중 상기 제1방향에 수직인 제2방향 이송이 제동될 수 있다.
상기 수평방향 제동부와 수직방향 제동부의 제동력 인가 및 해제를 위한 스위치가 구비되고, 상기 스위치가 작동된 상태에서는 상기 제동력이 해제되고, 상기 스위치의 작동이 해제된 상태에서는 상기 제동력이 인가될 수 있다.
상기 하부모듈에는, 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부를 일체로 상기 밸브부에 대하여 전후 방향과 좌우 방향으로 이송하기 위한 커넥터 체결부 이송수단, 상기 커버 분리부와 커넥터 체결부를 회전시키기 위한 회전수단이 구비되고; 상기 이송수단의 이송과 상기 회전수단의 회전을 제어하기 위한 제어부가 구비될 수 있다.
상기 상부모듈에는, 상기 하부모듈의 수직방향 이송을 가이드하기 위한 제3이송가이드와, 상기 밸브부의 밸브를 개폐하기 위한 핸들을 회전시키기 위한 밸브개폐부와, 상기 밸브개폐부를 상기 제3이송가이드에 의한 수직방향 이송과 독립적으로 수직방향으로 이송하기 위한 밸브개폐부 이송수단이 구비될 수 있다.
상기 커넥터 체결부와 커버 분리부의 정방향 회전과 역방향 회전 및 정지를 위한 스위치가 구비될 수 있다.
본 발명에 의한 가스공급장치의 얼라인 방법은, 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 고정되도록 설치된 상부플레이트를 구비한 상부모듈; 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부를 포함하는 하부모듈;이 구비된 가스공급장치의 얼라인 방법에 있어서, a) 상기 하부모듈을 상기 상부모듈에 구비된 복수의 이송가이드를 따라 수평방향과 수직방향으로 이송하는 단계; b) 상기 a)단계의 이송에 의해 상기 커버가 상기 커버 분리부에 삽입되지 않은 상태에서 서로 대향하도록 하고, 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와 상기 하부모듈에 구비된 제2얼라인의 일부가 결합되도록 상기 하부모듈을 위치시키는 단계; c) 상기 하부모듈을 수평방향으로 이송하여 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부를 완전 결합하는 단계를 포함한다.
상기 b)단계에서 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 일부가 결합된 상태에서 상기 커버 분리부를 회전시키고, 상기 커버 분리부를 회전시킨 상태에서 상기 c)단계가 이루어질 수 있다.
상기 c)단계 이후 상기 상부모듈에 구비된 밸브개폐부가 상기 하부모듈의 수직방향 이송과 독립적으로 이루어지는 수직방향 이송에 의해 하강하여 상기 밸브부에 구비된 핸들을 회전시켜 상기 밸브부의 밸브를 개방할 수 있다.
본 발명에 의하면, 하부모듈이 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 얼라인부의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 하부모듈이 상부모듈에 대하여 회전 가능하도록 함으로써 얼라인이 보다 정확하게 이루어질 수 있다.
또한, 작업자가 용기를 용기 적재부의 정확한 위치에 올려 놓지 않더라도 용기의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있으므로, 작업이 편리해진다.
또한, 상부모듈과 하부모듈을 용기측에 구비된 고정블럭에 견고하게 결합된 상태를 유지할 수 있다.
또한, 커버와 커버분리부의 결합시 파손을 방지할 수 있다.
도 1(a),(b)는 본 발명의 가스공급장치를 일측과 타측에서 보여주는 사시도
도 2는 본 발명의 가스공급장치에서 용기의 밸브부에 고정블럭이 결합된 상태를 보여주는 사시도
도 3은 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈을 보여주는 사시도
도 4는 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈을 도 3과 다른 방향에서 보여주는 사시도
도 5는 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈에서 상부플레이트를 제거한 상태를 보여주는 사시도
도 6은 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈을 하부에서 바라본 사시도
도 7은 본 발명의 가스공급장치의 하부모듈을 보여주는 사시도
도 8은 본 발명의 가스공급장치의 상부모듈에서 바닥플레이트와 고정핀 및 가이드핀을 보여주는 도면
도 9는 본 발명의 가스공급장치에서 제1얼라인부와 제2얼라인부가 대향하도록 위치된 상태를 보여주는 평면도
도 10은 도 9의 상태에서 하부모듈을 전진시켜 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 11은 도 10의 상태에서 하부모듈을 더 전진시켜 제1얼라인부와 제2얼라인부가 완전 결합된 상태를 보여주는 평면도
도 12는 도 11의 상태에서 커버 분리부가 밸브 커넥터로부터 분리되고, 커버 분리부와 커넥터 체결부가 일체로 Y방향으로 이송되어 커넥터 체결부가 밸브 커넥터에 대향하도록 위치된 상태를 보여주는 평면도
이하 본 발명에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
여기서 방향을 지칭함에 있어서, 도 1에 도시된 X축은 전후 방향, Y축은 좌우 방향, Z축은 수직방향이라 한다. 또한, 수평 방향이라 함은 XY평면에 의해 이루어지는 상기 좌우 방향과 전후 방향이 포함된다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치(1)는, 용기(10)의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 고정되도록 설치된 상부플레이트(211)를 포함하는 상부모듈(2), 상기 상부모듈(2)의 하부에 구비되고 수평방향 이송시 상기 용기(10) 측에 구비된 제1얼라인부(512; 도 2)와의 결합에 의해 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부(351; 도 8)를 포함하되 상기 상부모듈(2)에 대하여 수직방향으로 승하강 이송이 가능한 하부모듈(3)을 포함하여 이루어진다.
상기 상부모듈(2)에는, 상기 하부모듈(3)의 수직방향 이송과 독립적으로 수직방향으로 이송가능하도록 구비되어 상기 밸브부의 상단에 구비된 핸들을 회전시켜 상기 밸브부의 밸브를 개폐하기 위한 밸브개폐부(400)가 구비되어 있다.
도 2를 참조하면, 상기 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 상기 밸브부가 구비된다.
상기 밸브부는, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브(미도시)와, 상기 밸브의 일측에 구비되어 하부모듈(3)의 커넥터 체결부(330; 도7)에 체결되는 밸브 커넥터(30)와, 상기 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)와, 상기 밸브를 개폐하는 밸브 셔터(미도시)와, 상기 밸브 셔터의 상부에 연결되어 회전됨에 따라 밸브 셔터를 승강시켜 밸브가 개폐되도록 하는 핸들(50)을 포함하여 구성된다.
상기 밸브부에는 고정블럭(510,520,530)이 결합되어 있다. 상기 고정블럭(510,520,530)에는 상기 제1얼라인부(512)가 구비되어 있다.
상기 고정블럭(510,520,530)은 상기 밸브부를 감싸는 제1고정블럭(510)과 제2고정블럭(520) 및 제3고정블럭(530)으로 이루어질 수 있다.
상기 제2고정블럭(520) 및 제3고정블럭(530)의 결합에 의해 상기 밸브부를 감싸게 되면, 상기 밸브부 중 상기 밸브 커넥터(30) 및 커버(31)가 상기 고정블럭(520,530)에 대하여 측방향으로 돌출되어 노출되고, 상기 밸브부 중 상기 핸들(50)이 상기 고정블럭(520,530)에 대하여 상방향으로 돌출되어 노출된다.
상기 제1고정블럭(510)은 Y축 방향의 길이를 갖는 사각통 형상으로 이루어지고, 상기 Y축 방향의 일측면에 상기 제2고정블럭(520)가 결합되고, X축 방향의 일측면에 상기 제1얼라인부(512)가 구비되어 있다.
상기 제1얼라인부(512)는 상기 X축 방향의 일측면에 오목하게 형성된 얼라인핀 삽입홈(512)으로 이루어질 수 있다.
도 7을 참조하면, 상기 제2얼라인부(351)는 후술하는 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350)에서 상기 얼라인핀 삽입홈(512)과 마주보는 방향인 X축 방향으로 돌출되어 수평방향의 길이를 갖는 얼라인핀(351)으로 이루어질 수 있다.
상기 얼라인핀(351)이 상기 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되도록 함으로써 상기 용기(10)의 얼라인이 이루어진다.
본 실시예에서는 제1얼라인부(512)가 얼라인핀 삽입홈으로 이루어지고, 제2얼라인부(351)가 얼라인핀으로 이루어진 것으로 예시하였으나, 제1얼라인부를 얼라인핀으로 구성하고, 제2얼라인부를 얼라인핀 삽입홈으로 구성할 수도 있다.
또한, 본 실시예에서는 얼라인핀이 얼라인핀 삽입홈에 삽입되는 것으로 예시하였으나, 이에 한정되지 않고 제1얼라인부와 제2얼라인부가 체결 또는 결합되는 것으로 구성할 수도 있다. 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 삽입, 체결, 결합되는 방식을 통칭하여 '결합'으로 정의한다.
상기 제1고정블럭(510)에는 상기 제1얼라인부(512)에 인접한 위치에 제1결합부(511)가 구비되어 있고, 상기 제1결합부(511)와 결합이 이루어지는 제2결합부(352)가 상기 하부모듈(3)의 얼라인 블럭(350)에 구비되어 있다.
상기 제1결합부(511)는 상기 제1고정블럭(510)에서 상기 제1얼라인부(512)가 형성된 면과 같은 면에 X축 방향으로 오목하게 형성된 고정홈(511)으로 이루어질 수 있다.
상기 제2결합부(352)는 상기 제2얼라인부(351)에 인접한 위치의 얼라인 블럭(350)에서 상기 제1결합부(511)를 향하여 돌출된 고정블럭 결합부재(352)로 이루어질 수 있다.
상기 고정블럭 결합부재(352)의 외측면에는 복수의 돌기(352a)가 구비되고, 상기 복수의 돌기(352a)는 내부에 구비된 스프링(미도시)에 의해 탄성지지되어 있다. 상기 고정홈(511)의 내부에는 상기 돌기(352a)가 삽입되는 돌기삽입홈(미도시)이 형성되어 있다. 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)에 삽입되면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈에 삽입되어, 상기 고정블럭 결합부재(352)가 상기 고정홈(511)으로부터 빠짐이 방지되어, 상기 하부모듈(3)이 상기 제1고정블럭(510)에 결합된 상태를 유지할 수 있다.
상기 고정블럭 결합부재(352)를 고정홈(511)으로부터 빼내는 경우에는 에어(air)를 공급하여 상기 돌기(352a)가 상기 스프링의 탄성력을 극복하고 고정블럭 결합부재(352)의 표면으로부터 내측으로 들어가도록 하면, 상기 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈으로부터 빠져나온다. 따라서 상기 고정블럭 결합부재(352)가 고정홈(511)으로부터 빠질 수 있게 된다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 상기 상부모듈(2)에는, 상부플레이트(211), 중간플레이트(212), 하부플레이트(213), 제1이송가이드(220), 제2이송가이드(230), 제3이송가이드(241,242), 밸브개폐부(400)가 구비되어 있다.
상기 상부플레이트(211)는 평판 형상으로 이루어진 것으로서, 도시되지 않은 캐비넷과 같이 위치가 고정된 상대물에 결합되어 있다.
상기 중간플레이트(212)도 평판 형상으로 이루어지되, 중간부가 높도록 단차진 형상으로 이루어진 것으로서, 상기 상부플레이트(211)의 하부에 이격되도록 구비되어 있다.
상기 하부플레이트(213)도 평판 형상으로 이루어지고, 상기 중간플레이트(212)의 하부에 이격되도록 구비되어 있다.
상기 제1이송가이드(220)는 상기 상부플레이트(211)와 중간플레이트(212) 사이에 구비되어, 상기 중간플레이트(212)와 제2이송가이드(230)와 하부플레이트(213)와 제3이송가이드(241,242)와 하부모듈(3) 및 밸브개폐부(400)를 포함하여 상기 중간플레이트(212)의 하부에 연결된 모든 부품을 수평방향인 Y축 방향(제1방향)으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.
상기 제2이송가이드(230)는 상기 중간플레이트(212)와 하부플레이트(213) 사이에 구비되어, 상기 하부플레이트(231)와 제3이송가이드(241,242)와 하부모듈(3) 및 밸브개폐부(400)를 포함하여 상기 하부플레이트(231)의 하부에 연결된 모든 부품을 수평방향으로서 Y축에 직교하는 X축 방향(제2방향)으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.
상기 하부플레이트(213)에는 Y축 방향의 양측면에 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)가 결합되어 있고, 상기 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)로부터 이격된 위치에 한 쌍의 이송가이드 지지부재(251,252)가 구비되어 있다.
상기 한 쌍의 이송가이드 결합플레이트(243,244)는 상기 하부플레이트(213)의 일측과 타측에 서로 대향하도록 구비되어 있고, 상하 방향의 길이를 갖는 플레이트 형상으로 이루어져 있다.
상기 일측의 이송가이드 지지부재(251)와 타측의 이송가이드 지지부재(252)는 상하 방향의 길이를 갖는 직사각형의 플레이트 형상으로 이루어지고, 상기 일측의 이송가이드 결합플레이트(243)와 타측의 이송가이드 결합플레이트(244)로부터 각각 Y축 방향의 외측으로 이격되어 구비된다.
상기 일측의 이송가이드 결합플레이트(243)와 이송가이드 지지부재(251) 사이, 상기 타측의 이송가이드 결합플레이트(244)와 이송가이드 지지부재(252) 사이에는 제3이송가이드(242)가 각각 구비되어 있다.
상기 일측의 이송가이드 지지부재(251)와 타측의 이송가이드 지지부재(252)의 하단부에는 Y축 방향의 길이를 갖는 직사각형 형상의 바닥플레이트(253)의 일측면과 타측면이 각각 결합되어 있다. 상기 바닥플레이트(253)의 하부에 상기 하부모듈(3)이 결합되어 있다.
상기 제3이송가이드(241,242)는 상기 한 쌍의 이송가이드 지지부재(251,252)와 바닥플레이트(253) 및 상기 바닥플레이트(253)에 결합된 하부모듈(3)을 일체로 수직방향으로 이송되도록 가이드하는 LM가이드로 이루어질 수 있다.
상기 제1 내지 제3이송가이드(220,230,241,242)에는 구동수단이 연결되지 않고, 작업자가 수동으로 이송할 수 있도록 가이드 기능만 한다. 즉, 작업자가 하부모듈(3)을 손으로 잡고 X축, Y축, Z축 방향으로 힘을 가하게 되면 힘이 가해진 방향으로 각각의 이송가이드를 따라 하부모듈(3)이 이송된다.
상기 제1이송가이드(220)와 제3이송가이드(241,242)에는 브레이크 기능을 하는 제동부가 구비될 수 있다.
상기 제1이송가이드(220)에 의해 가이드되어 제1방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수평방향 제동부(225)가 구비될 수 있다.
상기 제3이송가이드(241,242)에 의해 수직방향으로 이송되는 경우 특정 위치에서 정지 상태를 유지하기 위한 브레이크 기능을 수행하는 수직방향 제동부(260)가 구비될 수 있다.
상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)는 스프링(미도시)의 누르는 힘으로 LM가이드의 레일을 잡고 있는 상태에서는 제동력이 유지되고, 에어(air)를 공급하여 상기 스프링의 누르는 힘을 레일로부터 제거하면 제동력이 해제되는 것으로 구성할 수 있다.
상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 동작 신호를 인가하기 위한 스위치박스(270)가 구비될 수 있다.
상기 스위치박스(270)에는 상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 제동력 인가 및 해제를 위한 제1스위치(271), 후술하는 커넥터 체결부(330)와 커버 분리부(320)의 회전 및 정지를 위한 제2스위치(272)가 구비되어 있다. 상기 제1스위치(271)와 제2스위치(272)는 작업자가 손으로 작동시키는 방식으로 구성할 수도 있고, 솔레노이드 밸브와 같이 손으로 작동시키지 않고도 온/오프시키는 방식으로 구성할 수도 있다.
작업자가 상기 스위치박스(270)의 제1스위치(271)를 눌러 작동된 상태에서는 에어(air)의 공급에 의해 상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 제동력이 해제되어 하부모듈(3)이 제1이송가이드(220)와 제3이송가이드(241,242)에 의해 가이드되어 Y축 및 Z축 방향으로 자유롭게 움직일 수 있게 된다. 작업자가 제1스위치(271)에서 손을 떼 스위치의 작동이 해제된 순간 스위치는 스프링의 힘에 의해 자동 복귀되어 상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 제동력이 인가되어 하부모듈(3)이 움직이지 않고 고정된 상태를 유지할 수 있다.
상기 제2스위치(272)는 토글 스위치로 이루어질 수 있다. 상기 제2스위치(272)는 상기 커넥터 체결부(330)와 커버 분리부(320)를 정방향으로 회전시키거나, 역방향으로 회전시킬 수 있도록 구비되어 있다.
상기 하부모듈(3)의 상부와 상기 상부모듈(2)의 하부는 고정핀에 의해 결합되고, 상기 하부모듈(3)과 상부모듈(2) 중 어느 하나에는 적어도 하나의 가이드핀이 결합되고 나머지 하나에는 상기 가이드핀이 삽입되어 하부모듈(3)이 상기 고정핀을 회전 중심으로 회전 가능하도록 가이드핀 삽입구멍이 형성되도록 구성할 수 있다. 이와 같은 구성의 일례를 도 8을 참조하여 설명한다.
도 8을 참조하면, 상기 바닥플레이트(253)의 중앙에는 고정핀(254)이 삽입되는 고정핀 삽입구멍(미도시)이 형성되어 있고, 상기 고정핀 삽입구멍의 양측부에는 한 쌍의 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)이 형성되어 있다.
상기 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)은 X축 방향의 길이를 갖는 장공(長孔)으로 이루어질 수 있다. 상기 한 쌍의 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)에는 한 쌍의 가이드핀(255,256)이 각각 삽입되어 있다.
상기 고정핀(254)과 가이드핀(255,256)의 머리부는 바닥플레이트(253)의 상부로 노출되고, 몸통부는 고정핀 삽입구멍과 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)에 각각 삽입되어 있으며, 하단부는 후술하는 하부모듈(3)의 상부하우징(311)에 나사 결합되어 있다. 상기 고정핀(254)은 상기 고정핀 삽입구멍을 통과하도록 삽입되어 있어 바닥플레이트(253)에 대하여 상대 회전이 가능하다.
상기 가이드핀 삽입구멍(253a,253b) 각각은 장공으로 이루어져 있어, 상기 가이드핀(255,256)은 상기 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)의 길이방향을 따라 이동가능하다. 또한, 상기 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)은 가이드핀(255,256)이 고정핀(254)을 중심으로 회전되도록 하기 위해 원호 형상으로 이루어질 수 있다.
이와 같이 구성하게 되면, 상기 하부모듈(3)은 상기 상부모듈(2)에 대하여 수평방향으로 회전 가능하게 된다. 즉, 작업자가 하부모듈(3)을 회전시키고자 하는 방향으로 힘을 가하게 되면, 하부모듈(3)이 고정핀(254)을 회전 중심으로 하여 회전하게 된다. 이 경우 상기 가이드핀(255,256)이 가이드핀 삽입구멍(253a,253b) 내에서 가이드되고, 가이드핀 삽입구멍(253a,253b)의 길이에 의해 회전각도가 제한된다.
이와 같이 상기 하부모듈(3)은 상기 상부모듈(3)에 대하여 수평 방향으로 회전되고, 이와 동시에 제1 내지 제3이송가이드(220,230,241,242)에 의해 X축, Y축, Z축 방향으로 직선 이동 가능하므로, 작업자가 손쉽게 얼라인을 할 수 있고, 정확한 얼라인이 가능하므로 얼라인시에 제1얼라인부와 제2얼라인부가 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
상기 밸브개폐부(400)는 상기 밸브부의 밸브를 개폐하기 위한 핸들(50)을 회전시킬 수 있도록 구비되어 있다.
상기 밸브개폐부(400)는 상기 핸들(50)이 내부공간(411)에 삽입되는 핸들결합부(410), 상기 핸들결합부(410)를 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 핸들구동부(420)를 포함한다.
상기 핸들결합부(410)의 내부에는 핸들(50)의 형상에 대응하도록 내측으로 돌출되어 핸들과 걸림되어 일체로 회전되도록 하는 복수의 핸들걸림부(412)가 형성되어 있다. 상기 핸들(50)이 내부공간(411)에 삽입된 상태에서 핸들구동부(420)를 구동하면, 핸들(50)이 회전하여 밸브부의 밸브가 개폐된다.
상기 밸브개폐부(400)를 수직방향으로 이송하기 위한 밸브개폐부 이송수단(미도시)이 구비된다. 상기 밸브개폐부 이송수단은 상기 제3이송가이드(241,242)와는 독립적으로 수직방향으로 이송되도록 구비되어 있다. 즉, 하부모듈(3) 전체는 제3이송가이드(241,242)에 의해 가이드되면서 수직방향으로 이동가능하고, 상기 하부모듈(3)에서 밸브개폐부(400)만 별도로 상기 밸브개폐부 이송수단에 의해 수직방향으로 이동가능하도록 되어 있다. 이를 위해 상기 밸브개폐부 이송수단은, 수직방향으로의 이송을 가이드하기 위한 제4이송가이드(430)와, 상기 제4이송가이드(430)를 따라 이송될 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부(미도시)와, 상기 제4이송가이드(430)가 결합되는 밸브개폐부 지지부재(440)로 이루어질 수 있다. 상기 제4이송가이드(430)는 LM가이드로 이루어질 수 있다. 상기 밸브개폐부 지지부재(440)는 수직 방향의 길이를 갖는 플레이트 형상으로서, 바닥플레이트(253)에 결합되어 바닥플레이트(253)와 일체로 승하강되도록 되어 있다.
도 7을 참조하여 하부모듈(3)에 대해 설명한다.
상기 하부모듈(3)에는, 복수의 하우징(311,312,313,314)과 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)와 커넥터 체결부 이송수단(340)과 얼라인블럭(350)과 플러그모듈(360)과 개스킷 공급부(370)가 구비되어 있다.
상기 복수의 하우징(311,312,313,314)은, 상기 하부모듈(3)의 상부에 플레이트 형상으로 구비된 상부하우징(311), 상기 상부하우징(311)의 Y축 방향 양측에 각각 결합된 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313), 상기 상부하우징(311)으로부터 하측으로 이격되고 양측이 상기 제1측면하우징(312)과 제2측면하우징(313)에 결합된 하부하우징(314)으로 이루어진다.
상기 상부하우징(311)에는 상부모듈(2)의 고정핀(254)과 가이드핀(255,256)의 하단부가 결합된다. 상기 상부하우징(311)과 제1,제2측면하우징(312,313) 및 하부하우징(314)은 상기 하부모듈(3)의 전후방을 제외하고 상부와 하부 및 양 측부를 둘러싸도록 구비되어 있다.
상기 커버 분리부(320)는 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(31)를 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리한다.
상기 커버 분리부(320)는 상기 커버(31)가 내부에 삽입되도록 홈이 형성되어 있고, 상기 커버(31)가 상기 커버 분리부(320)의 홈에 삽입된 상태에서 회전수단(미도시)을 구동시켜 상기 커버 분리부(320)를 회전시키면, 상기 밸브 커넥터(30)로부터 상기 커버(31)가 분리된다. 이와 반대로 상기 커버 분리부(320)에 분리되어 있던 커버(31)를 상기 회전수단을 구동시켜 상기 밸브 커넥터(30)에 결합시킬 수 있다.
상기 커넥터 체결부(330)는 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(331)를 상기 밸브 커넥터(30)에 연결할 수 있도록 구비되어 있다. 상기 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 연결된 상태에서 밸브(20)를 개방시키면, 용기(10) 내부의 가스가 밸브 커넥터(30)와 연결배관 커넥터(331)를 통해 가스 소요처에 공급된다.
상기 커넥터 체결부 이송수단(340)은 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향(Y축 방향)과 전후 방향(X축 방향)으로 이송한다. 상기 커넥터 체결부 이송수단(340)은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 전후 방향으로 이송시키기 위한 제1이송수단과, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 일체로 좌우 방향으로 이송시키기 위한 제2이송수단으로 이루어질 수 있다.
상기 제1이송수단은 전후 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 제2이송수단은 좌우 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.
상기 회전수단은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시킨다. 상기 회전수단은, 회전력을 발생시키는 모터와 감속기를 포함하고, 상기 회전력을 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 전달하기 위한 회전전달부재를 포함한다.
상기 회전전달부재는 상기 회전력을 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)에 각각 전달하고, 상기 모터가 구동되면 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 동시에 회전하게 된다. 이와 달리, 상기 회전수단(380)은 2개의 모터를 구비하고, 상기 2개의 모터를 이용하여 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 각각 회전되도록 구성할 수도 있다.
상기 밸브개폐부 이송수단과 커넥터 체결부 이송수단(340)과 상기 회전수단을 포함하여 본 발명의 가스공급장치 전체를 제어하기 위한 제어부가 구비되어 있다.
상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 설치되도록, 전방과 후방이 개방되고 좌우와 상하를 둘러싸는 내부하우징(315)이 구비될 수 있다. 상기 내부하우징(315)은 하부하우징(314)의 상부에 결합될 수 있다.
상기 얼라인블럭(350)은 상기 내부하우징(315)의 전방 단부에서 돌출되도록 결합되어 있고, 대략 다면체 형상으로 이루어져 있다. 상기 얼라인블럭(350)의 전방면에는 제2얼라인부(351)인 얼라인핀(351)이 상기 밸브부를 향해 돌출된 형상으로 형성되어 있고, 상기 얼라인핀(351)의 측부에는 상기 제2결합부(352)인 고정블럭 결합부재(352)가 상기 밸브부를 향하여 돌출된 형상으로 형성되어 있다.
상기 플러그모듈(360)은, 밸브 커넥터(30)와 커넥터 체결부(330)가 체결되지 않은 상태에서 커넥터 체결부(330) 내부에 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 커넥터 체결부(330)에 결합되는 플러그(361), 상기 플러그(361)의 단부를 지지하기 위한 플러그 지지부재(362), 상기 플러그 지지부재(362)가 결합되어 지지되는 플러그 지지 하우징(363), 상기 플러그(361)와 플러그 지지부재(362) 및 플러그 지지 하우징(363)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위한 플러그 이송가이드(364), 상기 플러그 이송가이드(364)가 결합되어 지지되고 상기 제1측면하우징(312)에 결합된 플러그 모듈 지지대(316)를 포함하여 이루어진다.
상기 개스킷 공급부(370)는 용기(10)의 교체시 상기 연결배관 커넥터(331)에 새로운 개스킷을 장착하기 위한 것으로서, 개스킷(미도시)을 파지하는 개스킷 홀더(미도시), 복수의 개스킷을 수용하는 개스킷 수용부(미도시), 상기 개스킷 수용부에 수용된 개스킷을 상기 연결배관 커넥터(331)에 장착하기 위해 이송하는 개스킷 이송수단을 포함하여 이루어진다. 상기 개스킷 이송수단은 상기 개스킷 홀더에 개스킷이 파지된 상태에서 Y축 방향을 따라 왕복 이동하도록 구비되어 있다.
도 9 내지 도 12를 참조하여 본 발명에 의한 가스공급장치의 동작에 대해 설명한다.
먼저, 용기를 교체하기 위해 새로운 용기(10)를 용기 적재부(미도시) 위에 적재한다. 이 경우 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)는 제동이 이루어진 상태이므로, 하부모듈(3)은 Y축 방향 및 Z축 방향으로는 움직이지 않고 고정된 상태를 유지하고 있다.
그 다음 작업자가 제1스위치(271)를 누른다. 상기 제1스위치(271)를 누르고 있으면 상기 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)의 제동력이 해제되어 하부모듈(3)이 제1이송가이드(220)와 제3이송가이드(241,242)에 의해 가이드되어 Y축 및 Z축 방향으로 자유롭게 움직일 수 있는 상태가 된다.
이 상태에서 작업자가 하부모듈(3)에 힘을 가하여 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향으로 움직여 도 9에 나타난 바와 같이, 제2얼라인부(351)가 제1얼라인부(512)와 마주보도록 얼라인이 이루어진다. 이 경우 제2결합부(352)가 제1결합부(511)와 마주보도록 위치하게 된다.
이와 같이 얼라인을 할 때 작업자가 하부모듈(3)에 수평방향으로 회전되도록 힘을 가하게 되면, 고정핀(254)을 회전 중심으로 하여 한 쌍의 가이드핀(255,256)이 가이드핀 삽입구멍(253a,253b) 내부에서 전후 방향으로 움직이게 되어 하부모듈(3)이 XY평면 상에서 회전되므로 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있다.
도 9의 상태에서 계속하여 작업자가 하부모듈(3)의 위치를 조절하여, 도 10에 나타난 바와 같이 얼라인핀(351)의 일부만 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되도록 한다.
도 9의 상태와 도 10의 상태는 작업자의 연속적인 작업으로 인해 한 번의 동작으로 이루어질 수 있다.
이와 같이 작업자가 하부모듈(3)을 전후 방향, 좌우 방향, 상하 방향으로의 이송과 함께 수평방향으로 회전시키면 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)를 손쉽게 얼라인시킬 수 있다.
한편, 얼라인핀(351)이 얼라인블럭(350)으로부터 돌출된 길이가 제2결합부(352)인 고정블럭 결합부재(352)가 얼라인블럭(350)으로부터 돌출된 길이보다 길게 형성되어 있어, 상기 얼라인핀(351)의 일부만 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되면, 제1결합부(511)와 제2결합부(352)는 결합되지 않은 상태이고, 커버 분리부(320)와 커버(31)가 덮인 밸브 커넥터(30)가 대향하도록 위치하게 된다.
이와 같은 상태가 되면 작업자는 제1스위치(271)에서 손을 뗀다. 상기 제1스위치(271)에서 손을 떼면, 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)는 제동력이 인가되어 하부모듈(3)은 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동되지 않고 고정된 상태를 유지하게 된다.
이 상태에서 작업자는 제2스위치(272)를 조작하면 회전수단이 구동되어 상기 커버 분리부(320)가 회전된다. 상기 커버(31)의 형상이 일례로, 육각형으로 이루어져 있는 경우 상기 커버 분리부(320)의 홈도 그에 대응하도록 육각형으로 이루어지게 된다.
상기 커버 분리부(320)의 홈의 육각형과 커버(31)의 육각형의 위상이 일치되지 않은 상태에서, 상기 커버 분리부(320)의 홈 내부에 커버(31)를 삽입하기 위해 하부모듈(3)을 전진시키면, 커버 분리부(320)와 커버(31)의 충돌이 발생하게 된다.
따라서 본 발명에서는 작업자가 제2스위치(272)를 조작하여 커버 분리부(320)를 회전시키면서 하부모듈(3)을 전진시키면, 커버 분리부(320)의 홈과 커버(31)의 위상이 일치되는 순간 커버 분리부(320)와 커버(31)의 형합이 이루어져 충돌없이 결합이 가능해진다.
또한, 센서를 이용하여 커버(31)의 육각형 형상을 감지하여 커버 분리부(320)와의 위상을 일치시키는 방법도 있으나, 본 발명에 의하면 센서를 구비할 필요가 없다.
도 10의 상태에서 하부모듈(3)을 전방으로 더 밀면, 도 11에 나타난 바와 같이, 얼라인핀(351)의 전체가 얼라인핀 삽입홈(512)에 삽입되어 제1얼라인부(512)와 제2얼라인부(351)의 완전 결합 상태가 된다. 이 경우 제1결합부(511)에 제2결합부(352)가 삽입되어 돌기(352a)가 상기 돌기삽입홈에 삽입됨으로써 상기 제1결합부(511)와 제2결합부(352)의 결합이 이루어져 하부모듈(3)이 X축 방향으로 이동되지 않고 고정된 상태를 유지할 수 있다. 또한, 커버 분리부(320)의 홈에 커버(31)가 삽입된다.
이와 같은 상태가 되면, 하부모듈(3)은 Y축과 Z축 방향으로의 이송은 수평방향 제동부(225)와 수직방향 제동부(260)에 의해 제동되고, X축 방향으로의 이송은 제1결합부(511)와 제2결합부(352)의 결합에 의해 제동되므로, X,Y,Z축 모든 방향에 대하여 고정된 상태를 유지할 수 있다.
도 11의 상태가 되면, 그 이후의 동작은 작업자가 동작 신호를 인가하여 제어부에 의해 자동으로 동작이 이루어진다.
상기 제어부에 의해 회전수단이 구동되어 커버 분리부(320)를 회전시킴과 동시에, 상기 제1이송수단을 구동하여 커버 분리부(320)를 후방으로 이동시키면, 커버(31)가 밸브 커넥터(30)로부터 분리된다.
상기 커버(31)가 밸브 커넥터(30)로부터 분리된 후 커넥터 체결부 이송수단(340)의 제2이송수단을 구동하면, 도 12에 나타난 바와 같이 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)가 일체로 Y축 방향을 따라 이동하여 커넥터 체결부(330)와 밸브 커넥터(30)가 마주보도록 위치하게 된다.
그 후 개스킷 이송수단을 구동하여 개스킷 홀더에 개스킷이 파지된 상태에서 Y축 방향을 따라 이송되어 밸브 커넥터(30)의 단부에 개스킷(371)이 위치하게 된다.
그 다음 커넥터 체결부 이송수단(340)의 제1이송수단을 구동하여 커넥터 체결부(330)를 전방으로 이송함과 동시에 회전수단을 구동하여 커넥터 체결부(330)가 회전하게 되면, 커넥터 체결부(330)의 연결배관 커넥터(331)에 밸브 커넥터(30)가 결합되고, 개스킷 이송수단을 구동하여 개스킷 홀더는 밸브 커넥터(30)로부터 벗어난 위치로 이동하게 된다.
상기와 같은 과정을 통해 연결배관 커넥터(331)에 밸브 커넥터(30)가 결합된 상태에서, 밸브개폐부 이송수단의 구동부를 구동하면, 밸브개폐부(400)가 제4이송가이드(430)에 의해 가이드되어 수직방향으로 하향 이동하게 되고, 핸들결합부(410)의 내부공간(411)에 핸들(50)이 삽입된다.
상기 핸들결합부(410)에 핸들(50)이 삽입된 상태에서 핸들구동부(420)를 구동하면, 핸들(50)이 회전되어 밸브부의 밸브가 개방되고, 용기(10)에 수용된 가스가 가스소요처에 공급된다.
상기와 같은 구성에 의하면, 하부모듈(3)이 수직방향으로 승하강 가능함과 동시에 수평방향 이송시 얼라인이 이루어지도록 함으로써 제1얼라인부와 제2얼라인부의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 하부모듈(3)이 상부모듈(2)에 대하여 회전 가능하도록 함으로써 얼라인이 보다 정확하게 이루어질 수 있다. 또한, 작업자가 용기(10)를 용기 적재부의 정확한 위치에 올려놓지 않더라도 용기의 정확한 얼라인이 이루어질 수 있으므로, 작업이 편리해진다.
전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
1 : 가스공급장치 2 : 상부모듈
3 : 하부모듈 10 : 용기
20 : 밸브 30 : 밸브 커넥터
31 : 커버 50 : 핸들
211 : 상부플레이트 212 : 중간플레이트
213 : 하부플레이트 220 : 제1이송가이드
225 : 수평방향 제동부 230 : 제2이송가이드
241,242 : 제3이송가이드 243,244 : 이송가이드 결합플레이트
251,252 : 이송가이드 지지부재 253 : 바닥플레이트
253a,253b : 가이드핀 삽입구멍 254 : 고정핀
255,256 : 가이드핀 260 : 수직방향 제동부
270 : 스위치박스 271 : 제1스위치
272 : 제2스위치 311 : 상부하우징
312 : 제1측면하우징 313 : 제2측면하우징
314 : 하부하우징 315 : 내부하우징
316 : 플러그 모듈 지지대 320 : 커버 분리부
330 : 커넥터 체결부 331 : 연결배관 커넥터
340 : 이송수단 350 : 얼라인블럭
351 : 제2얼라인부 352 : 제2결합부
352a : 돌기 360 : 플러그모듈
361 : 플러그 362 : 플러그 지지부재
363 : 플러그 지지 하우징 364 : 플러그 이송가이드
370 : 개스킷 공급부 371 : 개스킷
372 : 개스킷 홀더 374 : 개스킷 이동수단
380 : 회전수단 400 : 밸브개폐부
410 : 핸들결합부 412 : 핸들걸림부
420 : 핸들구동부 510, 520, 530 : 고정블럭
511 : 제1결합부 512 : 제1얼라인부

Claims (24)

  1. 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 설치된 상부플레이트를 구비한 상부모듈;
    상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부와, 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와의 결합에 의해 상기 용기와의 얼라인이 이루어지는 제2얼라인부를 포함하되, 상기 상부모듈에 대하여 이송이 가능한 하부모듈;
    을 포함하고,
    상기 얼라인시 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 일부가 결합될 수 있도록 구비되고,
    상기 커넥터 체결부와 상기 커버 분리부의 정방향 회전과 역방향 회전 및 정지를 위한 스위치가 구비되고,
    상기 제1얼라인부와 상기 제2얼라인부의 일부가 결합된 상태에서 상기 스위치의 조작에 의해 상기 커버 분리부를 회전시키면서 상기 하부모듈이 이송되어 상기 커버 분리부와 상기 커버의 형합 및 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 결합이 동시에 가능한 가스공급장치
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1얼라인부는 상기 밸브부에 결합된 고정블럭에 구비되고;
    상기 고정블럭에서 상기 제1얼라인부에 인접하게 구비된 제1결합부에 결합되도록 하기 위한 제2결합부가 상기 하부모듈에서 상기 제2얼라인부에 인접하게 구비되고;
    상기 제2얼라인부가 상기 제1얼라인부 방향으로 이송되어, 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합 상태에서 완전 결합 상태로 되면, 상기 제1결합부와 제2결합부가 결합되어 상기 고정블럭과 상기 하부모듈의 결합 상태가 유지되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  7. 제6항에 있어서,
    상기 하부모듈에는 얼라인 블럭이 결합되고;
    상기 제2결합부는 상기 얼라인블럭에 구비되어 상기 제1결합부를 향해 돌출된 고정블럭 결합부재로 이루어지고;
    상기 제1결합부는 상기 고정블럭 결합부재가 삽입되도록 상기 고정블럭에 형성된 고정홈으로 이루어지며;
    상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈에 삽입되면, 상기 고정홈 내부에서 홈과 돌기의 걸림에 의해 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠짐이 방지되고, 에어를 공급하면 상기 홈과 돌기의 걸림이 해제되어 상기 고정블럭 결합부재가 상기 고정홈으로부터 빠질 수 있는 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  8. 제6항에 있어서,
    상기 커버 분리부를 회전시킨 상태에서, 상기 하부모듈을 상기 밸브부 방향으로 이송시키면, 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부가 일부 결합 상태에서 완전 결합 상태로 되고, 상기 커버가 커버 분리부의 홈의 형상에 형합되면서 삽입되는 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 하부모듈의 상부와 상기 상부모듈의 하부는 고정핀에 의해 결합되고;
    상기 하부모듈과 상부모듈 중 어느 하나에는 적어도 하나의 가이드핀이 결합되고 나머지 하나에는 상기 가이드핀이 삽입되어 상기 고정핀을 회전 중심으로 회전 가능하도록 가이드핀 삽입구멍이 형성되어;
    상기 하부모듈은 상기 상부모듈에 대하여 수평방향으로 회전 가능한 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  11. 제10항에 있어서,
    상기 가이드핀과 가이드핀 삽입구멍은 상기 고정핀의 양측에 한 쌍이 각각 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장치
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 삭제
  22. 용기의 상단에 구비된 밸브부로부터 상측으로 이격된 위치에 설치된 상부플레이트를 구비한 상부모듈; 상기 밸브부에 구비된 밸브 커넥터를 덮는 커버를 분리하는 커버 분리부와, 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부를 포함하는 하부모듈; 상기 커넥터 체결부와 상기 커버 분리부의 정방향 회전과 역방향 회전 및 정지를 위한 스위치가 구비된 가스공급장치의 얼라인 방법에 있어서,
    a) 상기 하부모듈을 상기 상부모듈에 구비된 복수의 이송가이드를 따라 이송하는 단계;
    b) 상기 a)단계의 이송에 의해 상기 밸브부에 구비된 제1얼라인부와 상기 하부모듈에 구비된 제2얼라인의 일부가 결합되도록 상기 하부모듈을 위치시키는 단계;
    c) 상기 하부모듈을 수평방향으로 이송하여 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부를 결합하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 b)단계에서 상기 제1얼라인부와 제2얼라인부의 일부가 결합된 상태에서 상기 스위치의 조작에 의해 상기 커버 분리부를 회전시키고, 상기 커버 분리부를 회전시킨 상태에서 상기 c)단계가 이루어짐과 함께 상기 커버와 상기 커버 분리부의 형합이 이루어지는 가스공급장치의 얼라인 방법
  23. 삭제
  24. 삭제
KR1020200051660A 2020-04-28 2020-04-28 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법 KR102337062B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200051660A KR102337062B1 (ko) 2020-04-28 2020-04-28 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법
CN202010885033.4A CN113566114B (zh) 2020-04-28 2020-08-28 配备有对准功能的气体供应装置及对准方法
TW109131960A TWI772891B (zh) 2020-04-28 2020-09-16 配備有對準功能的氣體供應裝置及對準方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200051660A KR102337062B1 (ko) 2020-04-28 2020-04-28 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210133015A KR20210133015A (ko) 2021-11-05
KR102337062B1 true KR102337062B1 (ko) 2021-12-08

Family

ID=78158805

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200051660A KR102337062B1 (ko) 2020-04-28 2020-04-28 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102337062B1 (ko)
CN (1) CN113566114B (ko)
TW (1) TWI772891B (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102321101B1 (ko) * 2021-01-18 2021-11-03 주식회사 케이씨 복수의 모듈을 독립적으로 이송할 수 있는 가스공급장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040194853A1 (en) 2003-04-02 2004-10-07 Frederick Cuffari Two part docking and filling station for pressurized containers
JP6378067B2 (ja) * 2014-11-27 2018-08-22 株式会社大気社 搬送システム
KR102035697B1 (ko) * 2017-08-02 2019-10-23 에이엠티 주식회사 가스통 밸브 자동 개폐장치 및 그 방법
KR102049326B1 (ko) * 2018-07-20 2019-11-27 주식회사 케이씨 커넥터 체결장치
KR102040713B1 (ko) 2017-10-11 2019-11-27 에이엠티 주식회사 고압가스통 자동교체시스템 및 그 방법

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0799238B2 (ja) * 1992-06-29 1995-10-25 明光産業株式会社 Ｌｐガス充填装置
JP2520224B2 (ja) * 1993-12-27 1996-07-31 明光産業株式会社 Ｌｐガス充填装置
CN102177374B (zh) * 2008-08-18 2013-06-19 西格玛-奥吉奇公司 阀组件

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040194853A1 (en) 2003-04-02 2004-10-07 Frederick Cuffari Two part docking and filling station for pressurized containers
JP6378067B2 (ja) * 2014-11-27 2018-08-22 株式会社大気社 搬送システム
KR102035697B1 (ko) * 2017-08-02 2019-10-23 에이엠티 주식회사 가스통 밸브 자동 개폐장치 및 그 방법
KR102040713B1 (ko) 2017-10-11 2019-11-27 에이엠티 주식회사 고압가스통 자동교체시스템 및 그 방법
KR102049326B1 (ko) * 2018-07-20 2019-11-27 주식회사 케이씨 커넥터 체결장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210133015A (ko) 2021-11-05
CN113566114B (zh) 2023-06-23
TWI772891B (zh) 2022-08-01
TW202140950A (zh) 2021-11-01
CN113566114A (zh) 2021-10-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102398266B1 (ko) 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치
KR102241538B1 (ko) 가스공급장치와 개스킷 교체 방법
KR101919087B1 (ko) 반도체소자 테스트용 테스트핸들러
KR102337062B1 (ko) 얼라인 기능이 구비된 가스공급장치 및 얼라인 방법
KR102321101B1 (ko) 복수의 모듈을 독립적으로 이송할 수 있는 가스공급장치
KR20150023636A (ko) 덮개 개폐 장치
KR102292289B1 (ko) 복수의 모듈을 독립적으로 이송할 수 있는 가스공급장치
CN112292921B (zh) 更换装置
KR102341096B1 (ko) 복수의 모듈을 독립적으로 이송할 수 있는 가스공급장치
JP2016119354A (ja) カセット
CN113685728B (zh) 气体供应装置
KR102353914B1 (ko) 개스킷 공급모듈 및 가스공급장치
KR102353833B1 (ko) 캐비넷상에서의 고압가스통 체결 및 제거 방법
CN113685729B (zh) 配备连接器移送部的气体供应装置及其连接器结合方法
JP2010067679A (ja) 電子部品実装装置およびパーツフィーダ交換用台車
CA2683543C (en) Camera module insertion machine with gripper
KR20220140377A (ko) 가스공급장치와 개스킷 교체 방법
KR20220131610A (ko) 퍼지가스 순환장치의 가이드핀 조립용 지그
TWI833994B (zh) 氣體供應裝置
CN219144136U (zh) 晶圆载具以及具有其的物料装置
CN220354844U (zh) 样本处理装置
WO2022071004A1 (ja) パーツフィーダおよび部品装着装置
JP3627971B2 (ja) ハウジング保持治具
JP2001052592A (ja) ヒューズ挿入治具およびヒューズ挿入装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right