KR20220131610A - 퍼지가스 순환장치의 가이드핀 조립용 지그 - Google Patents

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KR20220131610A
KR20220131610A KR1020210036427A KR20210036427A KR20220131610A KR 20220131610 A KR20220131610 A KR 20220131610A KR 1020210036427 A KR1020210036427 A KR 1020210036427A KR 20210036427 A KR20210036427 A KR 20210036427A KR 20220131610 A KR20220131610 A KR 20220131610A
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Abstract

본 발명은 안착 플레이트의 상면에 복수개의 접촉블록들 및 포인트핀들이 설치되어 안착 플레이트의 상면에 퍼지가스 공급장치의 베이스 플레이트가 배치되었을 때, 접촉블록들 및 포인트핀들에 의해 베이스 플레이트의 이동을 제한함으로써 설치 정밀도를 높일 수 있으며, 클램프들에 의해 가이드핀들이 고정되어 퍼지가스 공급장치의 베이스 플레이트가 안착 플레이트에 배치되었을 때, 가이드핀들이 베이스 플레이트에 형성된 가이드핀 설치공들이 형성된 위치에 배치되도록 구성됨으로써 작업자가 별도의 배치작업 없이 베이스 플레이트와 가이드핀들을 조립시킬 수 있도록 구성되어 설치 정확도를 높일 수 있는 퍼지가스 공급장치의 가이드핀 조립용 지그에 관한 것이다.

Description

퍼지가스 순환장치의 가이드핀 조립용 지그{Assembling apparatus for guide pin of purge gas circulation device}
본 발명은 퍼지가스 순환장치의 가이드핀 조립용 지그에 관한 것으로서, 상세하게는 클램프들에 의하여 퍼지가스 순환장치의 가이드핀들을 고정하며, 포인트핀들 및 접촉블록들에 의해 퍼지가스 순환장치의 베이스 플레이트가 지정된 위치에 배치되도록 한 상태에서 베이스 플레이트와 가이드핀들을 결합시킴으로써 가이드핀들이 베이스 플레이트의 기 설정된 위치에 설치되도록 하여 설치 정밀도를 증가시킬 수 있을 뿐만 아니라 작업시간을 감소시킬 수 있는 퍼지가스 순환장치의 가이드핀 조립용 지그에 관한 것이다.
FOUP(Front Opening Unified Pod)은 내부에 웨이퍼들을 적재하기 위한 것으로서, 웨이퍼를 외부 충격 및 오염으로부터 보호하여 웨이퍼를 안전하게 보관하고 운송할 수 있도록 설계된 특수 플라스틱 케이스이다.
이러한 FOUP은 반도체의 가공이 진행되는 과정에서 내부에 흄(Fume : 가스미립자)이 잔존하는 경우가 발생하며, 잔존하는 흄으로 인해 웨이퍼의 표면이 오염 및 손상된다.
따라서 FOUP은 흄에 의한 웨이퍼의 표면 손상 및 오염을 방지하기 위하여 N2 또는 청정 건조공기 등의 퍼지가스를 순환시켜 내부에 형성된 흄을 제거하는 공정이 진행되어야 한다.
이러한 과정은 FOUP의 저장 공간을 제공하는 STB(Side Track Buffer)에 형성된 퍼지가스 순환장치에 의해 진행된다.
도 1은 퍼지가스 순환장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 베이스 플레이트의 사시도이다.
퍼지가스 순환장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 평판 형상으로 형성되어 상면에 FOUP이 안착되는 베이스 플레이트(110)와, FOUP이 베이스 플레이트(110)의 정위치에 안착되도록 가이드해주는 가이드핀(120)들과, 베이스 플레이트(110)에 안착된 FOUP으로 퍼지가스를 분사하는 분사노즐(130)과, FOUP 내의 퍼지가스를 배출하는 배출노즐(140) 및 각종 센서(미도시)들로 이루어진다.
이때 베이스 플레이트(110)는 평판 형상으로 형성되며, 가이드핀(120)들이 설치되는 가이드핀 설치공(111)들과, 노즐(130), (140)들이 설치되는 노즐 설치공(112)들이 형성된다.
가이드핀(120)들은 베이스 플레이트(110)에 복수개 설치되며, FOUP이 베이스 플레이트(110)의 상면에 안착될 때, FOUP이 정확한 위치에 안착되도록 함으로써 분사노즐(130) 및 배출노즐(140)이 FOUP의 노즐들과 정확히 연결되도록 한다.
분사노즐(130) 및 배출노즐(140)은 퍼지가스를 분사 및 배출하여 FOUP 내부의 퍼지가스를 순환시켜줌으로써 FOUP의 내부에 형성되는 공정가스의 미립자인 흄(Fume)을 제거할 수 있다.
이때 퍼지가스 순환장치(100)는 가이드핀(120)들의 설치위치에 오차가 발생하게 될 경우, 베이스 플레이트(110)에 안착되는 FOUP의 노즐들이 분사노즐(130) 및 배출노즐(140)과 어긋나게 되어 퍼지가스의 유출이 발생하게 됨으로써 퍼지가스 순환작업이 원활하게 이루어지지 못하게 되는 문제가 발생하게 된다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 퍼지가스 순환장치(100)는 작업자들에 의해 가이드핀(120)들이 베이스 플레이트(110)와 가조립된 상태에서 핀의 위치가 기 설정된 위치에 정확하게 배치되었는지 반복 확인한 후, 가이드핀(120)들을 베이스 플레이트(110)와 결합시킨다.
그러나 퍼지가스 순환장치(100)는 반복 확인 작업 후 가이드핀(120)들이 베이스 플레이트(110)에 결합되기 때문에 조립시간이 길어질 뿐만 아니라, 작업자의 수작업에 의하여 조립되기 때문에 조립과정에서 가이드핀(120)들의 설치 위치에 오차가 발생하는 문제가 빈번하게 발생하게 된다.
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로 본 발명의 해결과제는 안착플레이트의 상면에 복수개의 접촉블록들 및 포인트핀들이 설치되어 안착 플레이트의 상면에 퍼지가스 공급장치의 베이스 플레이트가 배치되었을 때, 접촉블록들 및 포인트핀들에 의해 베이스 플레이트의 이동을 제한함으로써 설치 정밀도를 높일 수 있는 가이드핀 조립용 지그에 관한 것이다.
또한 본 발명의 다른 해결과제는 클램프들에 의해 가이드핀들이 고정되어 퍼지가스 공급장치의 베이스 플레이트가 안착 플레이트에 배치되었을 때, 가이드핀들이 베이스 플레이트에 형성된 가이드핀 설치공들이 형성된 위치에 배치되도록 구성됨으로써 작업자가 별도의 배치작업 없이 베이스 플레이트와 가이드핀들을 조립시킬 수 있도록 구성되어 설치 정확도를 높일 수 있는 것을 특징으로 하는 가이드핀 조립용 지그에 관한 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 해결수단은 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상면에 설치되는 가이드핀들과, 상기 베이스 플레이트에 설치되는 노즐들을 포함하는 퍼지가스 공급장치의 상기 베이스 플레이트와 상기 가이드핀들의 조립을 보조하는 퍼지가스 공급장치의 가이드핀 조립용 지그에 있어서: 상기 퍼지가스 공급장치의 베이스 플레이트에는 상기 가이드핀들이 설치되는 가이드핀 설치공들과, 상기 노즐들이 설치되는 노즐 설치공들이 형성되고, 상기 가이드핀 조립용 지그는 평판 형상으로 형성되며, 상면에 상기 베이스 플레이트가 안착되는 안착 플레이트; 상기 안착 플레이트에 설치되어 상기 베이스 플레이트에 설치되는 상기 가이드핀을 고정하며, 상기 안착 플레이트에 상기 베이스 플레이트가 안착되었을 때, 고정된 가이드핀이 상기 베이스 플레이트의 가이드핀 설치공 직하부에 배치되도록 설치되는 적어도 하나 이상의 클램프들; 상기 안착플레이트에 상기 베이스 플레이트가 안착되었을 때, 상기 노즐 설치공들에 삽입되어 상기 베이스 플레이트의 이동을 제한하는 적어도 하나 이상의 포인트핀들을 포함하는 것이다.
또한 본 발명에서 상기 안착 플레이트의 상면에는 상기 안착플레이트에 상기 베이스 플레이트가 안착되었을 때, 상기 베이스 플레이트의 외측 테두리와 접촉되어 상기 베이스 플레이트의 이동을 제한하는 복수개의 접촉블록들이 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 클램프는 상기 가이드핀이 삽입되는 핀 이동공이 형성되는 클램프 몸체; 평판 형상으로 형성되며, 상기 클램프 몸체에 삽입된 가이드핀을 가압하여 해당 가이드핀의 이동을 제한하는 핀 가압판; 원기둥 형상으로 형성되며, 상기 클램프 몸체에 삽입된 가이드핀의 높이를 제어하는 핀 가압봉; 상기 핀 가압판 및 상기 핀 가압봉과 연결되는 실린더들을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 클램프 몸체는 판재 형상으로 형성되어 상기 안착 플레이트의 클램프 설치공 내부에 설치되며, 길이방향으로 가이드공이 형성되는 상판; 사각 기둥 형상으로 형성되어 상기 상판의 바닥면에 설치되며, 상면에서부터 하면까지 관통되는 핀 이동공이 형성되는 기둥부를 포함하고, 상기 핀 가압판은 상기 가이드공 내부에 삽입되어 길이방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상기 핀 가압봉은 상기 핀 이동공 내부에 삽입되어 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 상판은 상기 가이드공의 양측벽에 가이드홈이 길이방향으로 각각 형성되고, 상기 핀 가압판의 양측면에는 상기 가이드홈과 대응되는 형상의 가이드 돌부들이 각각 돌출되는 것이 바람직하다.
상기 과제와 해결수단을 갖는 본 발명에 따르면 안착 플레이트의 상면에 복수개의 접촉블록들 및 포인트핀들이 설치되어 안착 플레이트의 상면에 퍼지가스 공급장치의 베이스 플레이트가 배치되었을 때, 접촉블록들 및 포인트핀들에 의해 베이스 플레이트의 이동을 제한함으로써 설치 정밀도를 높일 수 있게 된다.
또한 본 발명에 의하면 클램프들에 의해 가이드핀들이 고정되어 퍼지가스 공급장치의 베이스 플레이트가 안착 플레이트에 배치되었을 때, 가이드핀들이 베이스 플레이트에 형성된 가이드핀 설치공들이 형성된 위치에 배치되도록 구성됨으로써 작업자가 별도의 배치작업 없이 베이스 플레이트와 가이드핀들을 조립시킬 수 있도록 구성되어 설치 정확도를 높일 수 있게 된다.
도 1은 퍼지가스 순환장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 베이스 플레이트의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 가이드핀 조립용 지그의 사시도이다.
도 4는 도 3의 클램프의 사시도이다.
도 5는 도 4의 분해사시도이다.
도 6은 베이스 플레이트에 가이드핀을 설치하는 과정을 설명하기 위한 예시도이다.
도 7은 도 6의 단면예시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 설명한다.
도 3은 본 발명의 가이드핀 조립용 지그의 사시도이다.
가이드핀 조립용 지그(1)는 도 3에 도시된 바와 같이, 안착 플레이트(2)와, 퍼지가스 순환장치(100)에 설치되는 가이드핀(120)들을 고정하는 클램프(3)들과, 안착 플레이트(2)의 상면에 설치되어 퍼지가스 순환장치(100)에 설치되는 노즐(130), (140)들과 접촉되는 포인트핀(4)들로 이루어진다.
안착 플레이트(2)는 사각 평판으로 형성되며, 상면의 가장자리에 복수개의 접촉블록(21)들이 설치된다.
접촉블록(21)들은 안착 플레이트(2)의 상면에 설치되며, 퍼지가스 순환장치(100)의 베이스 플레이트(110)의 외측 테두리와 대응되는 위치에 설치됨으로써 베이스 플레이트(110)가 안착되었을 때, 베이스 플레이트(110)의 외측 테두리와 접촉되어 베이스 플레이트(110)가 이동되는 것을 방지한다.
또한 안착 플레이트(2)에는 복수개의 클램프 설치공(22)들 및 포인트핀 설치공(23)들이 형성된다.
이때 클램프 설치공(22)들은 각각 후술되는 도 4의 클램프 몸체(31)의 상판(311)과 대응되는 사각형으로 형성되고, 포인트핀 설치공(23)들은 베이스 플레이트(110)가 안착 플레이트(2)의 상면에 안착되었을 때, 베이스 플레이트(110)에 형성된 노즐 설치공(112)들과 대응되는 위치에 형성된다.
이러한 안착 플레이트(2)는 상면이 퍼지가스 순환장치(100)의 베이스 플레이트(110) 상면과 접촉되도록 배치되었을 때, 접촉블록(21)들에 의해 베이스 플레이트(110)의 외측 테두리와 접촉되어 베이스 플레이트(110)의 이동방향 및 범위를 제한한다.
도 4는 도 3의 클램프의 사시도이고, 도 5는 도 4의 분해사시도이다.
클램프(3)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 클램프 몸체(31)와, 핀 가압판(32)과, 핀 가압봉(33)과, 제1, 제2 실린더(34), (35)들로 이루어진다.
클램프 몸체(31)는 안착 플레이트(2)에 형성된 클램프 설치공(22)에 삽입 설치되는 상판(311)과, 상판(311)의 바닥면에 설치되는 기둥부(312)로 이루어진다.
상판(311)은 안착 플레이트(2)에 형성된 클램프 설치공(22)과 대응되는 형상인 사각 판재 형상으로 형성되며, 상하면을 관통하는 가이드공(3111)이 길이방향으로 형성된다. 이때 가이드공(3111)은 일측면까지 연장 현성되며, 설명의 편의를 위해 일측면이 전면인 것을 예를 들어 설명하도록 한다.
또한 가이드공(3111)의 양측벽에는 길이방향으로 가이드홈(3112)들이 각각 형성된다.
이러한 가이드공(3111)의 내부에는 핀 가압판(32)이 전후방으로 이동 가능하게 설치되며, 가이드공(3111)의 양측벽에 형성된 가이드홈(3112)들 내부로 핀 가압판(32)의 양측벽에 형성된 가이드 돌부(321)들이 각각 삽입된다.
기둥부(312)는 사각 막대 형상으로 형성되며, 상면이 상판(311)의 바닥면과 결합된다.
또한 기둥부(312)의 상면에는 하면까지 관통되는 핀 이동공(3121)이 형성된다.
이때 기둥부(312)는 평면상에서 바라보았을 때, 핀 이동공(3121)이 가이드공(3111)의 내부에 배치되도록 설치됨으로써 가이드핀(120)이 핀 이동공(3121)의 내부에 삽입 및 배출이 이루어질 수 있도록 한다.
또한 기둥부(312)는 베이스 플레이트(110)가 안착 플레이트(2)의 상면에 안착되었을 때, 핀 이동공(3121)이 베이스 플레이트(110)의 가이드핀 설치공(111)들과 대응되는 위치에 형성됨으로써 핀 이동공(3121) 내부에 가이드핀(120)이 배치된 상태에서 베이스 플레이트(110)와 가이드핀(120)의 결합과정이 진행될 수 있도록 한다.
또한 기둥부(312)의 내부에는 핀 가압봉(33)이 상하방향으로 이동 가능하게 설치되고, 기둥부(312)의 하면에는 제1 실린더(34)가 설치된다.
이때 기둥부(312)의 내부에 설치되는 핀 가압봉(33)은 봉 형상으로 형성되며, 하단부가 제1 실린더(34)의 실린더 로드(341)와 연결됨으로써 제1 실린더(34)에 의해 핀 이동공(3121) 내부에서 상하방향으로 이동된다.
이러한 핀 가압봉(33)은 상단부가 핀 이동공(3121) 내부에 삽입되는 가이드핀(120)의 하단부와 접촉되며, 제1 실린더(34)에 의하여 상하방향으로 이동됨에 따라 접촉된 가이드핀(120)을 상하방향으로 이동시킨다.
핀 가압판(32)은 사각 판재 형상으로 형성되며, 폭 방향 길이가 가이드공(3111)의 폭과 같거나 작게 형성됨으로써 가이드공(3111) 내부에 삽입된다.
또한 핀 가압판(32)의 양측면에는 가이드 돌부(321)들이 각각 돌출 형성되어 조립 시, 가이드 돌부(321)들이 상판(311)에 형성된 가이드홈(3112)들에 각각 삽입된다.
또한 핀 가압판(32)의 후면에는 전방으로 핀 접촉공(322)이 형성된다.
이때 핀 접촉공(322)은 폭의 넓이가 가이드핀(120)의 직경보다 크거나 같게 형성됨으로써 가이드핀(120)이 내부로 삽입될 수 있도록 구성되며, 단부가 가이드핀(120)의 외경의 형상과 대응되는 형상으로 형성된다.
또한 핀 가압판(32)의 하면에는 연결막대(323)가 연결된다.
연결막대(323)는 안착 플레이트(2)의 하면에 설치된 제2 실린더(35)의 실린더 로드(351)와 연결된다.
이러한 연결막대(323)는 제2 실린더(35)의 실린더로드(351)가 전후방으로 이동될 때, 실린더로드(351)와 함께 이동된다.
이와 같이 구성되는 핀 가압판(32)은 평시에는 가이드핀(120)이 핀 접촉공(322)의 단부로부터 이격되게 설치되어 상하방향의 이동이 자유롭게 이루어지되, 제2 실린더(35)에 의해 후방으로 이동되어 핀 접촉공(322)의 단부가 가이드핀(120)과 접촉되었을 때, 가이드핀(120)을 가압하여 가이드핀(120)이 외부 진동 및 충격에 의해 유동되는 것을 방지한다.
포인트핀(4)들은 도 2에 도시된 바와 같이, 안착 플레이트(2)에 형성된 포인트핀 설치공(23)들에 각각 설치되며, 단부가 안착플레이트(2)의 상면으로부터 상부로 돌출되도록 설치된다.
이러한 포인트핀(4)들은 안착 플레이트(2)의 상면에 퍼지가스 순환장치(100)의 베이스 플레이트(110)가 배치되었을 때, 베이스 플레이트(110)에 형성된 노즐 설치공(112)들로 삽입되어 베이스 플레이트(110)가 안착 플레이트(2) 상의 일정한 위치에 배치되도록 한다.
도 6은 베이스 플레이트에 가이드핀을 설치하는 과정을 설명하기 위한 예시도이고, 도 7은 도 6의 단면예시도이다.
가이드핀 조립용 지그(1)는 클램프(3)의 핀 이동공(3111)의 내부에 가이드핀(120)들이 각각 삽입되며, 가이드핀(120)들이 핀 가압판(32)에 의해 가압되어 고정됨으로써 가이드핀(120)들이 유동되는 것이 방지된다.
이러한 상태에서 가이드핀 조립용 지그(1)는 안착 플레이트(2)의 상부에 퍼지가스 공급장치(100)의 베이스 플레이트(110)가 안착되면, 클램프(3)들에 의해 고정된 가이드핀(120)들이 베이스 플레이트(110)에 형성된 가이드핀 설치공(111)들 직하부에 배치된다.
이때 베이스 플레이트(110)는 노즐 설치공(112)들 내부로 포인트핀(4)들이 삽입되며, 외측 테두리가 접촉블록(21)들에 의해 접촉되기 때문에 이동이 제한된다.
즉, 작업자는 안착 플레이트(2)에 베이스 플레이트(110)가 배치되었을 때, 가이드핀(120)들이 클램프(3)들에 의해 고정된 상태로 가이드핀 설치공(111)의 직하부에 배치되기 때문에 가이드핀(120)들을 베이스 플레이트(110)의 기 설정된 위치에 조립시킬 수 있게 된다.
이와 같이 구성되는 가이드핀 조립용 지그(1)는 클램프(3)들에 가이드핀(120)들을 고정시킨 상태에서 안착 플레이트(2)에 베이스 플레이트(110)를 배치시킨 후, 가이드핀(120)들을 베이스 플레이트(110)와 결합시키면 되기 때문에 베이스 플레이트(110)에 가이드핀(120)들을 결합시키는데 소모되는 시간을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 가이드핀(120)들의 설치 정밀도를 증가시킬 수 있다.
1 : 가이드핀 조립용 지그 2 : 안착 플레이트
21 : 접촉블록 22 : 클램프 설치공
23 : 포인트핀 설치공 3 : 클램프
31 : 클램프 몸체 32 : 핀 가압판
33 : 핀 가압봉 34 : 제1 실린더
35 : 제2 실린더 4 : 포인트핀

Claims (5)

  1. 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상면에 설치되는 가이드핀들과, 상기 베이스 플레이트에 설치되는 노즐들을 포함하는 퍼지가스 공급장치의 상기 베이스 플레이트와 상기 가이드핀들의 조립을 보조하는 퍼지가스 공급장치의 가이드핀 조립용 지그에 있어서:
    상기 퍼지가스 공급장치의 상기 베이스 플레이트에는
    상기 가이드핀들이 설치되는 가이드핀 설치공들과, 상기 노즐들이 설치되는 노즐 설치공들이 형성되고,
    상기 가이드핀 조립용 지그는
    평판 형상으로 형성되며, 조립 시, 상면으로 상기 베이스 플레이트가 안착되는 안착 플레이트;
    상기 안착 플레이트에 설치되어 상기 가이드핀을 고정하며, 상기 안착 플레이트로 상기 베이스 플레이트가 안착될 때, 고정된 가이드핀이 상기 베이스 플레이트의 가이드핀 설치공 직하부에 설치되는 적어도 하나 이상의 클램프들;
    상기 안착 플레이트로 상기 베이스 플레이트가 안착될 때, 상기 베이스 플레이트의 노즐 설치공들에 삽입되어 상기 베이스 플레이트의 이동을 제한하는 적어도 하나 이상의 포인트핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드핀 조립용 지그.
  2. 제1항에 있어서, 상기 안착 플레이트의 상면에는
    상기 안착 플레이트로 상기 베이스 플레이트가 안착될 때, 상기 베이스 플레이트의 외측 테두리와 접촉되어 상기 베이스 플레이트의 이동을 제한하는 복수개의 접촉블록들이 설치되는 것을 특징으로 하는 가이드핀 조립용 지그.
  3. 제2항에 있어서, 상기 클램프는
    상기 가이드핀이 삽입되는 핀 이동공이 형성되는 클램프 몸체;
    평판 형상으로 형성되며, 상기 클램프 몸체에 삽입된 가이드핀을 가압하여 해당 가이드핀의 이동을 제한하는 핀 가압판;
    원기둥 형상으로 형성되며, 상기 클램프 몸체에 삽입된 가이드핀의 높이를 제어하는 핀 가압봉;
    상기 핀 가압판 및 상기 핀 가압봉과 연결되는 실린더들을 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드핀 조립용 지그.
  4. 제3항에 있어서, 상기 클램프 몸체는
    판재 형상으로 형성되어 상기 안착 플레이트의 클램프 설치공 내부에 설치되며, 길이방향으로 가이드공이 형성되는 상판;
    사각 기둥 형상으로 형성되어 상기 상판의 바닥면에 설치되며, 상면에서부터 하면까지 관통되는 핀 이동공이 형성되는 기둥부를 포함하고,
    상기 핀 가압판은 상기 가이드공 내부에 삽입되어 길이방향으로 이동 가능하게 설치되고,
    상기 핀 가압봉은 상기 핀 이동공 내부에 삽입되어 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 가이드핀 조립용 지그.
  5. 제4항에 있어서, 상기 상판은 상기 가이드공의 양측벽에 가이드홈이 길이방향으로 각각 형성되고,
    상기 핀 가압판의 양측면에는 상기 가이드홈과 대응되는 형상의 가이드 돌부들이 각각 돌출되는 것을 특징으로 하는 가이드핀 조립용 지그.
KR1020210036427A 2021-03-22 2021-03-22 퍼지가스 순환장치의 가이드핀 조립용 지그 KR20220131610A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102506296B1 (ko) * 2022-10-20 2023-03-03 백찬호 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그

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