TWI832004B - 連接器插塞以及包括連接器插塞的氣體供應裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明涉及連接器插塞以及包括連接器插塞的氣體供應裝置，更加詳細地，涉及能夠簡化容器更換過程而節省容器更換過程所需的時間和費用的連接器插塞以及包括其的氣體供應裝置。根據本發明的連接器插塞的特徵在於，配備有：密封部件，結合在通過連接配管連接於氣體需求處的氣體供應裝置的連接配管連接器而將所述連接配管與外部阻斷，並且用於密封所述連接器插塞與所述連接配管連接器之間，並且根據本發明的氣體供應裝置包括所述插塞。

Description

連接器插塞以及包括連接器插塞的氣體供應裝置
本發明涉及連接器插塞以及包括連接器插塞的氣體供應裝置，更加詳細地，涉及能夠簡化容器更換過程而節省容器更換過程所需的時間和費用的連接器插塞以及包括連接器插塞的氣體供應裝置。
通常，對於向利用氣體的裝置(尤其，向諸如半導體設備等進行精細操作的氣體需求處)供應氣體的裝置而言，要求適合各種目的的種類的氣體滿足預定的濃度和壓力等。
為了有效地提供這樣的氣體，以高壓狀態保管許多種類的氣體，尤其是，具有可燃性、毒性、腐蝕性等有害性質的氣體在與人類隔離的獨立空間被嚴格管理。
氣體供應裝置構成為包括：連接配管連接器，與連接在氣體需求處的連接配管連接而與氣體儲存容器(以下，簡稱為「容器」)的閥連接器結合，所述氣體供應裝置連接容器與氣體需求處而向氣體需求處供應容器內部的氣體。
如果容器中保管的氣體被全部耗盡，則將所述連接配管連接器從連接的容器的閥連接器分離，之後更換容器，然後將所述連接配管連接器結合到更換後的容器的閥連接器而再次供應氣體。
然而，在從與所述連接配管連接器連接的容器的閥連接器分離到更換後的容器的閥連接器結合到所述連接配管連接器的更換容器所需時間期間，所述連接配管暴露在外部，從而可能有氣體從所述連接配管洩漏或者可能有異物進入所述連接配管。
為了防止這種現象，在所述容器更換所需時間期間，在將所述連接配管連接器結合到插塞而阻斷所述連接配管向外部暴露，並且在所述連接配管連接器與所述閥連接器之間以及所述連接配管連接器與所述插塞之間分別安裝了用於維持氣密性的密封墊(gasket)。
據此，如果與所述連接配管連接器連接的容器的閥連接器被分離，則回收安裝在所述連接配管連接器與所述閥連接器之間的密封墊，並安裝用於密封所述連接配管連接器與所述插塞之間的新的密封墊，然後進行所述連接配管連接器與所述插塞的結合。
並且，如果所述插塞和所述連接配管連接器被分離，則回收安裝在所述連接配管連接器與所述插塞之間的密封墊，安裝用於密封所述連接配管連接器與更換後的容器的閥連接器之間的新的密封墊，然後進行所述連接配管連接器與更換後的容器的閥連接器的結合。
然而，由於每次更換容器時需要大量時間進行密封墊的更換，因此開始尋找通過簡化密封墊更換過程而簡化容器更換過程，從而不僅可以節省所需時間，還可以節省容器更換過程中所需的自動化工序的電力的方法。
並且，由於在執行密封墊更換操作時，所述連接配管以暴露在外部的狀態被放置，因此開始尋找能夠縮短密封墊更換過程且縮短更換時間而最小化所述連接配管暴露在外部的時間的方法。
並且，開始尋找可以減少密封墊的消耗量而降低容器更換過程所需的費用並提高經濟性的方法。
作為關於半導體設備的氣體供應裝置的現有技術，公開有韓國授權專利第10-0242982號。
本發明是為瞭解決上述諸般問題而想出的，更加詳細地，其目的在於提供一種能夠簡化容器更換過程而節省容器更換過程所需的時間和費用的連接器插塞以及包括該連接器插塞的氣體供應裝置。
用於達到所述目的的本發明的連接器插塞，構成為配備有：密封部件，結合在通過連接配管連接於氣體需求處的氣體供應裝置的連接配管連接器而將所述連接配管與外部阻斷，並且用於密封所述連接器插塞與所述連接配管連接器之間。
並且，在形成連接器插塞的主體的插塞主體可以形成有密封部件插入槽，所述密封部件可以插入於所述密封部件插入槽。
所述密封部件可以利用樹脂材質構成，在此情形下，所述樹脂材質可以利用聚氯三氟乙烯或者聚四氟乙烯構成。
所述密封部件可以利用金屬材質構成，在此情形下，所述金屬材質可以利用鎳材質構成。
本發明的氣體供應裝置，可以包括：連接配管連接器，用於將連接在氣體需求處的連接配管連接到配備於容器的閥連接器，連接器插塞，配備有密封部件，該密封部件與所述連接配管連接器結合而將所述連接配管與外部阻斷，並且用於密封所述連接器插塞與所述連接配管連接器之間。
並且，可以構成為包括：插塞移送機構，支撐所述連接器插塞的端部並移送；控制部，控制所述插塞移送機構，以在所述連接配管連接器和所述閥連接器未被緊固的狀態下使所述插塞移送機構移送所述連接器插塞而結合到所述連接配管連接器。
並且，可以構成為包括：連接配管連接器移送系統，支撐所述連接配管連接器並移送，其中，所述控制部可以構成為：控制所述連接配管連接器移送系統而將所述連接配管連接器緊固到所述閥連接器或者從所述閥連接器分離，並且有機地控制所述插塞移送機構和所述連接配管連接器移送系統，使得在所述連接配管連接器與所述閥連接器分離時將所述連接器插塞結合到所述連接配管連接器，並且在所述連接器插塞與所述連接配管連接器分離時將所述連接配管連接器結合到所述閥連接器。
並且，可以構成為包括：密封墊移送系統，支撐用於密封所述連接配管連接器與所述閥連接器之間的密封墊並移送，其中，所述控制部可以構成為：控制所述密封墊移送系統而將所述密封墊緊固到所述閥連接器或者從所述閥連接配管連接器分離，並且有機地控制所述連接配管連接器移送系統和所述插塞移送機構以及所述密封墊移送系統，使得在分離所述連接配管連接器與所述閥連接器之後，分離安裝在所述連接配管連接器的所述密封墊，然後將所述連接器插塞結合到所述連接配管連接器，然後分離所述連接器插塞與所述連接 配管連接器，然後將所述密封墊安裝到所述連接配管連接器，然後將所述閥連接器結合到所述連接配管連接器。
通過根據本發明的連接器插塞以及包括該連接器插塞的氣體供應裝置，不僅可以簡化容器更換過程而節省所需時間，還可以節省容器更換過程中所需的自動化工序的電力，並且節省對使用電力徵收的費用。
並且，通過縮短密封墊更換過程並縮短更換時間而最小化所述連接配管暴露到外部的時間，從而可以防止氣體從所述連接配管洩漏或者異物進入所述連接配管。
並且，可以減少密封墊的消耗量而降低容器更換過程中所需的費用，並提高經濟性。
2:上部模塊
3:下部模塊
4:閥開閉模塊
10:容器
30:閥連接器
31:蓋體
50:手柄
211:上部板
311:上部殼體
312:第一側面殼體
313:第二側面殼體
314:下部殼體
315:內部殼體
320:蓋體分離部
330:連接器緊固部
331:連接配管連接器
332:配管連接器殼體
335:連接配管連接器移送機構
335-1:連接器卡接部件
335-2:卡接軸
335-3:引導軸
340:子模塊移送機構
340a:第一移送機構
340b:第二移送機構
350:對準塊
351:第二對準部
352:第二結合部
352a:凸起
360:插塞模塊
361:連接器插塞
362:插塞支撐部件
363:插塞支撐殼體
364:插塞移送引導件
365:插塞移送機構
370:密封墊供應部
371a:密封墊
372:密封墊收納部
372a:密封墊排出部
373:密封墊收納部移送機構
380:密封墊移送部
381:密封墊夾持器
381a:密封墊夾持器部件
381b:密封墊夾持器部件
382:密封墊夾持器操作機構
383:密封墊夾持器移送機構
384:第二密封墊夾持器移送機構
390:密封墊回收部
510、520、530:固定塊
511:第一結合部
512:第一對準部
S:密封部件
G:密封部件插入槽
圖1是示出本發明的氣體供應裝置的立體圖。
圖2是示出本發明的氣體供應裝置中，在容器的閥部結合有固定塊的狀態的立體圖。
圖3是示出根據本發明的氣體供應裝置的下部模塊的立體圖。
圖4是示出根據本發明的氣體供應裝置中的連接配管連接器移送機構的立體圖。
圖5是示出本發明的氣體供應裝置中的密封墊供應部的立體圖。
圖6是示出本發明的氣體供應裝置中的密封墊移送部的立體圖。
圖7是示出本發明的氣體供應裝置中的用於結合閥連接器和連接配管連接器的初始狀態的平面圖。
圖8是示出本發明的氣體供應裝置中的插塞模塊的立體圖。
圖9是示出根據本發明的連接器插塞的立體圖。
圖10是根據本發明的連接器插塞的剖面圖。
以下參照附圖詳細說明本發明。
此處，在指代方向時，將圖1所示的X軸稱作前後方向、Y軸稱作左右方向、Z軸稱作垂直方向。並且，水平方向包括由XY平面構成的所述左右方向和前後方向。並且，在區分前後方向時，將佈置有容器10的一側稱作前方，佈置有下部模塊3的這一側稱作後方。並且，在以蓋體分離部320和連接器緊固部330為基準區分左右方向時，將佈置有蓋體分離部320的這一側定義為右側，將佈置有連接器緊固部330的這一側定義為左側。
參照圖1至圖3，本發明的氣體供應裝置可以包括：上部模塊2，包括設置為固定在從配備於容器10的上端的閥部朝上側相隔的位置的上部板211；下部模塊3，配備在所述上部模塊2的下部，配備有蓋體分離部320和連接器緊固部330，所述蓋體分離部320分離覆蓋閥連接器30(圖2)的蓋體31，所述連接器緊固部330用於將通過連接配管(未示出)連接到氣體需求處的連接配管連接器331連接到所述閥連接器30；閥開閉模塊4，用於開閉所述閥部的閥。
所述容器10作為用於儲存供應至半導體裝置等氣體需求處的工藝氣體並將其供應的構成，在容器10的上部配備有所述閥部。
所述閥部構成為包括：閥(未示出)，用於控制氣體的供應；閥連接器30，配備在所述閥的一側而緊固到所述下部模塊3的連接器緊固部330；蓋體31，覆蓋所述閥連接器30；閥閘(valve shutter，未示出)開閉所述閥；手柄50，連接於所述閥閘的上部，隨著旋轉而使閥閘升降，從而對閥進行開閉。
在所述閥部結合有固定塊510、520、530。在所述固定塊510、520、530配備有第一對準部512。
所述固定塊510、520、530可以利用圍繞所述閥部的第一固定塊510、第二固定塊520以及第三固定塊530構成。
如果通過所述第二固定塊520和第三固定塊530的結合而圍繞所述閥部，則所述閥部中所述閥連接器30和蓋體31相對於所述固定塊520、530向側方向突出而暴露，所述閥部中所述手柄50相對於所述固定塊520、530向上方向突出而暴露。
所述第一固定塊510構成為具有沿Y軸方向的長度的四角桶狀，在所述Y軸方向的一側面結合有所述第二固定塊520，在X軸方向的一側面配備有第一對準部512。
所述第一對準部512可以由在所述X軸方向的一側面凹陷地形成的對準銷插入槽512構成。
所述下部模塊3形成為在能夠相對於上部模塊2進行水平方向移送的同時，還能夠進行垂直方向的升降移送。
所述第一對準部512構成為在下部模塊3進行水平方向移送時，通過與配備在下部模塊3的第二對準部351的結合而實現容器10的對準。
所述第二對準部351可以由從後述的下部模塊3的對準塊350沿作為與所述對準銷插入槽512相對向的方向的X軸方向突出而具有水平方向的長度的對準銷351構成。
通過使所述對準銷351被插入所述對準銷插入槽512，從而實現所述容器10的對準。
雖然本實施例中示出了第一對準部512構成為對準銷插入槽，第二對準部351構成為對準銷的情形，但也可以將第一對準部512構成為對準銷，將第二對準部構成為對準銷插入槽。
並且，雖然本實施例中示出了對準銷被插入到對準銷插入槽的情形，但並不限於此，也可以構成為第一對準部512與第二對準部緊固或者結合的情形。將所述第一對準部512和第二對準部被插入、緊固、結合的方式統稱為「結合」。
在所述第一固定塊510，在與所述第一對準部512相鄰的位置配備有第一結合部511，並且在所述下部模塊3的對準塊350配備有與所述第一結合部511實現結合的第二結合部352。
所述第一結合部511可以由所述第一固定塊510中的與形成有所述第一對準部512的面相同的面沿X軸方向凹陷地形成的固定槽511構成。
所述第二結合部352可以由在與所述第二對準部351相鄰的位置的對準塊350向所述第一結合部511突出的固定塊結合部件352構成。
在所述固定塊結合部件352的外側面配備有多個凸起352a，所述多個凸起352a通過配備在內部的彈簧(未示出)而被彈性支撐。在所述固定槽511的內部形成有使所述凸起352a插入的凸起插入槽(未示出)。如果所述固定塊結 合部件352插入到所述固定槽511，則所述凸起352a被插入到所述凸起插入槽，從而可以防止所述固定塊結合部件352從所述固定槽511脫離，進而使所述下部模塊3維持結合在所述第一固定塊510的狀態。
在從所述固定槽511拉出所述固定塊結合部件352的情形下，如果供應空氣(air)而使所述凸起352a克服所述彈簧的彈性力並從固定塊結合部件352的表面向內側移動，則所述凸起352a脫離所述凸起插入槽。因此，所述固定塊結合部件352能夠脫離固定槽511。
在所述上部模塊2可以配備有移送引導件(未示出)，以能夠分別向X軸、Y軸以及Z軸方向移送所述下部模塊3。如果操作人員用手抓住所述下部模塊3並對其沿軸方向施加力，則下部模塊3可以向X軸、Y軸以及Z軸中的某一個方向被移送。並且，可以通過這種下部模塊3的移送而實現第一對準部512和第二對準部351的結合，通過這種結合可以實現容器10的對準。
在所述下部模塊3配備有多個殼體311、312、313、314、蓋體分離部320；連接器緊固部330、子模塊移送機構340、對準塊350、插塞模塊360、密封墊供應部370以及密封墊移送部380。
所述多個殼體311、312、313、314構成為包括：上部殼體311，在所述下部模塊3的上部配備為板狀；第一側面殼體312、第二側面殼體313，分別結合在所述上部殼體311的Y軸方向兩側；下部殼體314，從所述上部殼體311向下側相隔，兩側與所述第一側面殼體312和第二側面殼體313結合。
所述上部殼體311和第一側面殼體312、第二側面殼體313以及下部殼體314配備為圍繞所述下部模塊3的前後方以外的上部和下部以及兩側部。
所述蓋體分離部320從所述閥連接器30分離覆蓋閥連接器30的蓋體31，其中所述閥連接器30配備於所述閥部。
所述蓋體分離部320形成有槽，以使所述蓋體31被插入到內部，如果在所述蓋體31被插入到所述蓋體分離部320的槽的狀態下驅動旋轉機構(未示出)而旋轉所述蓋體分離部320，則所述蓋體31從所述閥連接器30分離。與此相反地，可以驅動所述旋轉機構將從所述蓋體分離部320分離的蓋體31結合到所述閥連接器30。
所述連接器緊固部330包括：連接配管連接器331，連接到氣體需求處；連接配管連接器殼體332(圖4)，圍繞所述連接配管連接器331的外側。所述連接器緊固部330配備為能夠將所述連接配管連接器331連接到所述閥連接器30。如果在所述連接器緊固部330和閥連接器30連接的狀態下旋轉手柄50而開放閥，則容器10內部的氣體通過閥連接器30和連接配管連接器331供應至氣體需求處。所述連接配管連接器331和連接配管連接器殼體332通過所述旋轉機構的驅動而一起旋轉。
所述子模塊移送機構340將所述蓋體分離部320和連接器緊固部330一體地向左右方向(Y軸方向)和前後方向(X軸方向)移送。所述子模塊移送機構340可以構成為包括：第一移送機構340a，用於將所述蓋體分離部320和連接器緊固部330一體地向前後方向移送；第二移送機構340b，用於將所述蓋體分離部320和連接器緊固部330一體地向左右方向移送。
所述第一移送機構340a可以利用用於沿前後方向進行移送的移送引導件和用於通過供應空氣(air)而施加移送力的氣缸構成。並且，所述第二移 送機構340b可以利用用於沿左右方向進行移送的移送引導件和用於通過供應空氣(air)而施加移送力的氣缸構成。
所述旋轉機構旋轉所述蓋體分離部320和連接器緊固部330。所述旋轉機構包括產生旋轉力的馬達和減速器，並且包括用於將所述旋轉力傳遞至所述蓋體分離部320和連接器緊固部330的旋轉傳遞部件。
所述旋轉傳遞部件將所述旋轉力分別傳遞到蓋體分離部320和連接器緊固部330，如果驅動所述馬達，則所述蓋體分離部320和連接器緊固部330將同時旋轉。與此不同地，所述旋轉機構還可以構成為配備有兩個馬達，並且利用所述兩個馬達使所述蓋體分離部320和連接器緊固部330分別旋轉。
可以配備有前方和後方被開放，並且圍繞左右和上下的內部殼體315，以能夠設置所述蓋體分離部320和連接器緊固部330。所述內部殼體315能夠與下部殼體314的上部結合。
所述對準塊350以從所述內部殼體315的前方端部突出的方式結合，並且構成為大致的多面體形狀。在所述對準塊350的前方表面以向所述閥部突出的形狀形成有作為第二對準部351的對準銷351，在所述對準銷351的側部以向所述閥部突出的形狀形成有作為所述第二結合部352的固定塊結合部件352。
參照圖4說明連接配管連接器移送機構335。
所述蓋體分離部320和連接器緊固部330可以通過第一移送機構340a實現向前方和後方的直線移送。雖然也可以構成為驅動所述第一移送機構340a而將連接配管連接器331結合到所述閥連接器30，但由於通過所述第一移送機構340a的驅動，包括分離部320和連接器緊固部330而用於使蓋體分離部320和連接 器緊固部330旋轉的整個構成部件會一同被移送，因此由於其重量，在將連接配管連接器331結合到閥連接器30時可能產生衝擊。
為了防止這種問題，可以構成為與第一移送機構340a獨立地配備了連接配管連接器移送機構335，從而在將連接配管連接器331結合到閥連接器30的情形下，不驅動第一移送機構340a，而是驅動連接配管連接器移送機構335，以僅使連接配管連接器331沿前後方向移送。
所述連接配管連接器移送機構335可以包括：連接器卡接部件335-1，下部的一部分被插入到形成在連接配管連接器331的端部的槽(未示出)，從而實現與連接配管連接器331的卡接；卡接軸335-2，卡接到所述連接器卡接部件335-1的上部並配備為能夠被沿前後方向直線移送；驅動部(未示出)，提供驅動力以使所述卡接軸335-2能夠被沿前後方向直線移送；引導軸335-3，在所述卡接軸335-2被直線移送的情形下起到引導功能。
在所述閥連接器30和連接配管連接器331彼此相鄰地佈置的狀態下，如果驅動所述連接配管連接器移送機構335的驅動部，則所述卡接軸335-2、被卡接在所述卡接軸335-2的連接器卡接部件335-1、卡接在所述連接器卡接部件335-1的連接器331被一體地移送到後方，從而使連接配管連接器331結合到閥連接器30。
在此情形下，連接配管連接器331可以在結合到閥連接器30時通過旋轉機構的驅動而同時實現旋轉。並且，由於所述蓋體分離部320、用於旋轉蓋體分離部320和連接器緊固部330的構成部件不與所述連接配管連接器331一起被移送，因此在連接配管連接器331與閥連接器30結合時可以最小化衝擊。
此外，將移送所述連接配管連接器331的所述子模塊移送機構340以及所述連接配管連接器移送機構335統稱為連接配管連接器移送系統340、335。
參照圖3和圖5說明密封墊供應部370。
所述密封墊供應部370是為了供應在更換容器10時用於安裝到連接配管連接器331與閥連接器30之間的新的密封墊(gasket)的部件，包括：收納部372，收納多個密封墊371a；密封墊收納部移送機構373，用於沿前後方向移送所述密封墊收納部372。
所述密封墊收納部移送機構373可以構成為包括：移送引導件，引導沿前後方向的移送；驅動部，提供驅動力以能夠隨著所述移送引導件而被移送。
在所述密封墊收納部372以竪立的狀態配備有多個密封墊371a，構成為在後述的密封墊夾持器381夾持位於一側邊沿的密封墊後使其能夠通過作為形成在密封墊收納部372的開口部的密封墊排出部372a脫離。
參照圖6和圖7說明密封墊移送部380。
所述密封墊移送部380構成為包括：密封墊夾持器381，為了夾持密封墊而利用一對密封墊夾持器部件381a、381b構成；密封墊夾持器操作機構382，用於使所述一對密封墊夾持器部件381a、381b以彼此靠近或者彼此遠離的方式操作；密封墊夾持器移送機構383、384，用於將所述密封墊夾持器381和密封墊夾持器操作機構382一體地移送。
所述密封墊夾持器移送機構383、384構成為包括：第一密封墊夾持器移送機構383，用於將所述密封墊夾持器381和密封墊夾持器操作機構382一體地沿前後方向移送；以及第二密封墊夾持器移送機構384，用於將所述密封墊夾 持器381和密封墊夾持器操作機構382以及第一密封墊夾持器移送機構383一體地沿左右方向移送。
所述第一密封墊夾持器移送機構383和第二密封墊夾持器移送機構384可以利用用於在前後方向和左右方向上引導移送的移送引導件和提供驅動力以能夠隨著所述移送引導件被移送的驅動部構成。
並且，配備有用於分離並回收安裝在閥連接器30與連接配管連接器331之間的密封墊的密封墊回收部390。
此外，將移送所述密封墊371a的所述密封墊收納部移送機構373以及所述密封墊夾持器移送機構383、384統稱為密封墊移送系統373、383、384。
參照圖3和圖8說明插塞模塊360。
所述插塞模塊360包括：連接器插塞361，結合在連接器緊固部330，以防止在閥連接器30和連接配管連接器331沒有被緊固的狀態下氣體從連接配管連接器331洩露或者異物進入連接配管連接器331內部；插塞支撐部件362，用於支撐所述插塞361的端部；插塞支撐殼體363，所述插塞支撐部件362被結合而支撐；插塞移送機構364、365，用於將所述連接器插塞361和插塞支撐部件362以及插塞支撐殼體363一體地向前後方向移送。
所述插塞移送機構364、365構成為包括：插塞移送引導件364，起到引導件功能；以及插塞移送驅動部365，提供用於將所述連接器插塞361、插塞支撐部件362以及插塞支撐殼體363一體地沿前後方向移送的驅動力。
此外，在本發明的氣體供應裝置配備有控制部(未示出)，所述控制部構成為有機地控制所述子模塊移送機構340、旋轉機構、連接配管連接器移 送機構335、密封墊收納部移送機構373、密封墊夾持器移送機構383、384以及所述插塞移送機構364、365等用於驅動本發明的氣體供應裝置的模塊。
參照圖3、圖8、圖9、圖10說明連接器插塞361和利用其的容器更換過程。
圖9是示出所述連接器插塞361的立體圖，圖10是將圖9所示的連接器插塞361沿水平方向截取的剖面圖。
根據本發明，所述連接器插塞361為了密封連接器插塞361與所述連接配管連接器331之間的空間而在連接器插塞361與所述連接配管連接器331之間的接觸部配備有密封部件S。
所述密封部件S構成為一側在與所述連接配管連接器331接觸的所述連接器插塞361的接觸面成型，另一側在與所述連接器插塞接觸的所述連接配管連接器331的接觸面成型，從而密封(sealing)與所述連接配管連接器331之間的空間。
所述連接器插塞361包括通過所述插塞支撐部件362支撐的插塞主體，並且形成有從所述插塞主體的後方端部沿連接器插塞361的長度方向凹陷地形成的密封部件插入槽G。
所述密封部件插入槽G可以構成為形成在與所述連接配管連接器331接觸的一側的插塞主體，並且使所述密封部件S被插入所述密封部件插入槽G。如果所述密封部件S被插入所述密封部件插入槽G，則在所述密封部件S中，與所述連接配管連接器331接觸的一側端部配備為從所述密封部件插入槽G的入口朝向所述連接配管連接器331而向外側(後方)突出，並且在所述突出的部分的端部與所述連接配管連接器331接觸而維持氣密性。
所述插塞主體可以利用金屬材質構成。
並且，所述密封部件S通過配備為具有較高的彈性、恢復性、耐熱性、耐化學性、耐腐蝕性等性質的材質，從而替代現有技術中用於密封連接配管連接器311和連接器插塞之間而安裝的密封墊的作用。
例如，所述密封部件S可以利用樹脂材質構成。並且，在所述樹脂材質中，可以實現為聚氯三氟乙烯(PCTFE：Polychlorotrifluoroethylene)。並且，在所述樹脂材質中，可以實現為聚四氟乙烯(PFTE：Poly tetra fluoroethylene)。所述PCTFE和PTFE的耐藥性和機械特性優異。
並且，所述密封部件S可以利用鎳構成或者利用其他金屬材質構成。
所述密封部件S可以是以在現有技術中的連接器插塞成型的方式製造的，本發明的連接器插塞361可以是在現有技術中的連接器插塞貼附所述密封部件S而再加工的。
接下來說明利用所述連接器插塞361的容器更換過程。
在目前連接的容器10中保管的氣體被全部消耗的情形下，所述控制部通過所述連接配管連接器移送系統340、335移送所述連接配管連接器331而將其從目前連接的容器10的閥連接器30分離，然後通過所述密封墊夾持器移送機構383、384移送安裝在所述連接部件連接器331的廢密封墊而回收至所述密封墊回收部390，然後通過所述插塞移送機構364、365移送所述連接器插塞361並結合到所述連接配管連接器331。
此後，如果目前的容器10被更換為新容器，則所述控制部通過所述插塞移送機構364、365移送所述連接器插塞361而從所述連接配管連接器331分離，之後通過所述密封墊收納部移送機構373移送收納在所述密封墊收納部372 的新密封墊而安裝到所述連接配管連接器331，然後通過所述連接配管連接器移送系統340、335移送所述連接配管連接器331並將其結合至更換後的新容器的閥連接器。
即，根據本發明的利用連接器插塞361的容器10更換過程與現有技術相比，通過省略在結合所述連接器插塞361與所述連接配管連接器331之前和之後安裝和分離用於密封連接器插塞和連接配管連接器331之間的密封墊的過程，從而縮短了密封墊更換過程，進而簡化了容器10更換過程。
如上所述，通過根據本發明的連接器插塞361以及包括連接器插塞361的氣體供應裝置，不僅可以簡化容器10更換過程而節省所需時間，還可以節省容器10更換過程所需的自動化工序的電力，並且節省對使用電力徵收的費用。
並且，通過縮短更換密封墊371a的更換過程，縮短更換時間而最小化連接配管暴露到外部的時間，從而可以防止氣體從連接配管洩漏或者異物進入連接配管的情形。
並且，可以降低所述密封墊371a的消耗量，從而降低容器10更換過程所需的費用，並且提高經濟性。
如前所述，雖然以優選實施例為例詳細說明瞭本發明，但本發明並不限於前述的實施例，可以在權利要求書和發明的詳細說明以及附圖的範圍內進行多種變形而實施，並且這些也屬於本發明。
361:連接器插塞
S:密封部件

Claims (1)

  1. 一種氣體供應裝置，包括：連接配管連接器，用於將連接在氣體需求處的連接配管連接到配備於容器的閥連接器，連接器插塞，結合在通過連接配管連接於氣體需求處的氣體供應裝置的連接配管連接器而將所述連接配管與外部阻斷，係包含密封部件，該密封部件具有彈力以密封該連接器插塞與該連接配管連接器之間；插塞支撐部件，支撐該連接器插塞的端部；插塞移送機構，移送該插塞支撐部件；控制部，控制該插塞移送機構，以在該連接配管連接器和該閥連接器未被緊固的狀態下使該插塞移送機構移送該連接器插塞而結合到該連接配管連接器；以及連接配管連接器移送系統，支撐該連接配管連接器並移送；其中，該控制部構成為：控制該連接配管連接器移送系統而將該連接配管連接器緊固到該閥連接器或者從該閥連接器分離，並且以使在該連接配管連接器與該閥連接器分離時將該連接器插塞以該密封部件密封該連接器插塞與該連結配管連接器之間的方式結合到該連接配管連接器，並且在該連接器插塞與該連接配管連接器分離時將該連接配管連接器結合到該閥連接器的方式控制該插塞移送機構和該連接配管連接器，該密封部件與連接於該連接器插塞的該連接配管連接器結合而阻斷該連接配管向外部暴露，在形成該連接器插塞的主體的插塞主體形成有密封部件插入槽，該密封部件插入於該密封部件插入槽，在該密封部件中，與該連接配管連接器接 觸的一側端部配備為從該密封部件插入槽的入口沿該密封部件插入槽的延伸方向朝向該連接配管連接器而向外側突出，通過具備該密封部件，不包括用於密封該連接器插塞與該連結配管之間的額外的密封墊。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2241263Y (zh) * 1995-08-03 1996-11-27 马桂池 一种阀塞
TW452048U (en) * 2000-08-30 2001-08-21 Iron Force Ind Co Ltd Sealing device for pressure gas bottle
JP2010261577A (ja) * 2009-05-08 2010-11-18 Katsura Seiki Seisakusho:Kk 張力作動式ガス放出防止型ニップル継ぎ手
CN207298006U (zh) * 2017-08-21 2018-05-01 江苏民生重工有限公司 一种液化气钢瓶及其智能防泄漏安全阀
CN109027402A (zh) * 2012-07-27 2018-12-18 科慕埃弗西有限公司 罐龙头
WO2019124966A1 (ko) * 2017-12-19 2019-06-27 에이엠티 주식회사 고압가스통의 자동 교체방법
WO2020075904A1 (ko) * 2017-10-11 2020-04-16 에이엠티 주식회사 고압가스통 자동교체시스템 및 그 방법

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU708590B2 (en) * 1994-12-22 1999-08-05 Walker And Gibson Pty. Limited Self-sealing plug
JP3989187B2 (ja) * 2001-04-25 2007-10-10 株式会社水道技術開発機構 既設管穿孔設備の切屑排出構造及び既設管穿孔設備の切屑排出方法
WO2010137424A1 (ja) * 2009-05-29 2010-12-02 Ａｚエレクトロニックマテリアルズ株式会社 薬液供給システムおよびそれに用いる薬液用容器
FR2952618B1 (fr) * 2009-11-17 2011-11-25 Serge Gandy Bouchon doseur pour recipient apte a contenir un fluide sous pression, et recipient muni d'un tel bouchon
JP6546874B2 (ja) * 2016-04-13 2019-07-17 東京エレクトロン株式会社 ガス供給機構及び半導体製造システム
KR102035697B1 (ko) * 2017-08-02 2019-10-23 에이엠티 주식회사 가스통 밸브 자동 개폐장치 및 그 방법
KR102074249B1 (ko) * 2018-04-04 2020-02-06 에이엠티 주식회사 가스통의 엔드 캡 이탈방지기능을 갖는 홀더
KR102073165B1 (ko) * 2018-07-25 2020-02-04 주식회사 케이씨 개스킷 교체장치

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2241263Y (zh) * 1995-08-03 1996-11-27 马桂池 一种阀塞
TW452048U (en) * 2000-08-30 2001-08-21 Iron Force Ind Co Ltd Sealing device for pressure gas bottle
JP2010261577A (ja) * 2009-05-08 2010-11-18 Katsura Seiki Seisakusho:Kk 張力作動式ガス放出防止型ニップル継ぎ手
CN109027402A (zh) * 2012-07-27 2018-12-18 科慕埃弗西有限公司 罐龙头
CN207298006U (zh) * 2017-08-21 2018-05-01 江苏民生重工有限公司 一种液化气钢瓶及其智能防泄漏安全阀
WO2020075904A1 (ko) * 2017-10-11 2020-04-16 에이엠티 주식회사 고압가스통 자동교체시스템 및 그 방법
WO2019124966A1 (ko) * 2017-12-19 2019-06-27 에이엠티 주식회사 고압가스통의 자동 교체방법

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