JP4051403B2 - バルブ開閉装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス容器のバルブを自動的に開閉するためのバルブ開閉装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造等に用いられる特殊材料ガスは、通常、ガスボンベないしはガスシリンダと称される可搬型のガス容器に貯蔵された状態で使用される。かかる半導体製造用の特殊材料ガスには、可燃性(爆発性)、毒性、腐食性、支燃性等の危険性を有するものが多く、その使用に際しては十分な安全上の配慮がなされなければならない。このため、従来、危険性のある特殊材料ガスが封入されたガス容器は、排気ダクトを有するシリンダキャビネットと呼ばれる箱体内に収容することとし、万が一のガス漏れに備えている。
【0003】
このようにガス容器をシリンダキャビネット内に収納した場合、ガス容器のバルブの開閉は、その手間等を考慮すると、遠隔操作により自動的に行われるのが望ましく、従来から種々のバルブ開閉装置が開発されている。従来のバルブ開閉装置としては、例えば実公平4−12315号公報に記載されたものが知られており、これは、ガス容器の上方に配置された空気圧式のベーン形揺動アクチュエータと、一端がアクチュエータの出力軸に接続され、他端にガス容器のバルブの開閉用ハンドルを把持するチャックが設けられた回転シャフトとから構成されている。このバルブ開閉装置では、アクチュエータを空気圧制御することでその出力軸及び回転シャフトを正逆いずれかの方向に回転させることにより、バルブのハンドルを開閉操作することが可能となっている。
【0004】
また、従来一般のシリンダキャビネットにおいては、ガス容器内のガス残量をモニタするために、ガス容器が載置される台座に重量計が組み込まれている。この重量計はロードセルから構成されたものが一般的であり、その出力信号はシリンダキャビネットの制御装置に送られ、ガス管理等に用いられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の構成において、ガス容器のバルブの開閉用ハンドルを把持するチャックは、ハンドルの側面の凹部に嵌合されるフィンガを有している(図1及び図2参照)。これらのフィンガは、チャックをハンドルの上方から降ろすることにより、ハンドルの凹部に単に嵌め込まれるよう構成されている。従って、チャックは本来、ハンドルに対して抜差し自在となっている。
【0006】
しかしながら、アクチュエータを駆動してハンドルを開放位置まで回すと、チャックのフィンガが斜めになり、ハンドルの凹部内でスティッキング(膠着)を起こすことがある。これは、回転シャフトの回転軸線とハンドルの回転軸線とがずれているような場合に特に顕著となる。アクチュエータはシリンダキャビネットの上部で固定されているため、チャックがハンドルに固着していると、ガス容器はバルブ開閉装置からの拘束力を受けることとなる。例えば、温度変化によりシリンダキャビネットが歪みを生ずると、その歪みが回転シャフトを伝わり、ガス容器は圧縮力又は引張り力を受ける。かかる場合、ガス容器が重量計に対して押し付けられ或は引き上げられたこととなるため、重量計から出力される重量信号は温度変化に伴って変化するが、これはガスの管理や制御の観点からは好ましくない。
【0007】
本発明は、上記問題点を解決することのできる手段を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、空気圧により可動子が、バルブを閉じる第1位置とバルブを開ける第2位置との間で往復動される空気圧式のアクチュエータと、このアクチュエータの可動子に伝動機構を介して接続され、バルブのハンドルを開閉操作すべく把持するチャックと、可動子が第2位置に達したことを検知する検知手段と、可動子が第2位置に達したことを検知手段が検知したときに、可動子を第2位置から第1位置の方向に所定距離だけ戻すリターン手段と、を備えるバルブ開閉装置を特徴としている。
【0009】
このような構成においては、ベーン体等の可動子が第2位置に移動した際、チャックがバルブのハンドルに対してスティッキングを起こしても、可動子が僅かな量だけ第1位置に戻されるため、チャックのスティッキングは解除される。
【0010】
リターン手段としては、可動子に一体的に設けられたレバーと、可動子が第2位置に達したときに、レバーにより押圧され付勢されるばね手段と、可動子が第2位置に達したことを検知手段が検知したときに、アクチュエータの内部を大気に対して開放する手段とから構成されるものが考えられる。この構成では、可動子が第2位置に達したときに可動子に対する空気圧による外力が解放されるため、ばね力により可動子が第1位置側に戻される。
【0011】
また、リターン手段は、可動子が第2位置に達したことを検知手段が検知したときに、空気圧により可動子を第2位置から第1位置の方向に所定距離だけ戻す手段としてもよい。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明が適用され得るバルブ開閉装置10を備えたシリンダキャビネット12を示している。シリンダキャビネット12内にはガス容器14が配置されており、ガス容器14はシリンダキャビット12の底板上の重量計付き台座16上に載置されている。
【0013】
シリンダキャビネット12の天板18上にはバルブ開閉装置10のアクチュエータ20が設置されている。アクチュエータ20は空気圧式の揺動タイプであり、円筒形のシリンダ22と、シリンダ22内に揺動可能に配置されたベーン体(可動子)24とから構成されている。
【0014】
ベーン体24の揺動軸26の下端はシリンダ22の下板28及びシリンダキャビネット12の天板18を貫通し下方に延び、回転シャフト30に接続している。回転シャフト30の下端には、ガス容器14のバルブ32のハンドル34を把持するためのチャック36が設けられている。チャック36は、図2にも示すように、回転シャフト30の下端に取り付けられた本体38と、この本体38の周縁に等間隔に配置され下方に延びる複数のフィンガ40とから構成されており、フィンガ40をハンドル34の側面の凹部に嵌合することでハンドル34を把持できるようになっている。従って、フィンガ40によりハンドル34を把持した状態でアクチュエータ20を空気圧制御してベーン体24を揺動させると、回転シャフト30が回転し、ハンドル34を開閉操作することが可能となる。また、ベーン体24の揺動軸26とバルブ32のハンドル34とが多少ずれていても、アクチュエータ20からの回転駆動力がハンドル34に確実に伝わるよう、回転シャフト30の中間部には自在継手機構42が介設されている。
【0015】
アクチュエータ20の構成について、図1のIII−III線断面図である図3に沿って更に詳細に説明すると、シリンダ22には、その内壁面からベーン体24の揺動軸26まで延びる仕切り壁44が設けられており、この仕切り壁44とベーン体24によりシリンダ22の内部が2つの空間に区画されている。また、シリンダ22には各空間に連通するポート46,48が形成されている。各ポート46,48には空気圧制御回路50が接続されており、いずれかのポート46,48に圧縮空気を供給してベーン体24を正逆いずれかの方向に揺動させることができるようになっている。図3における点52,54はベーン体24の揺動ストロークの限界点であるが、一般に、点52は閉端位置(第1位置)、点54は開端位置(第2位置)と呼ばれている。
【0016】
空気圧制御回路50は、圧縮空気供給源56、及び、この圧縮空気供給源56とポート46,48との間に設けられた主制御弁58を備えている。主制御弁58はソレノイド式の2ポジション型であり、ソレノイド60に通電しこれを励磁した場合、圧縮空気はポート46に供給されると共に、ポート48からの管路62を大気に開放する。一方、ソレノイド60への通電を停止すると、圧縮空気供給源56と管路62とが連通され、ポート46は大気に開放される。また、ポート48と方向制御弁58との間の管路62中にもソレノイド式2ポジション型の制御弁64が配置されている。この制御弁64は、そのソレノイド66に対して通電していないときには、ポート48と主制御弁64とを連通し、通電時にはポート48を大気に開放する。
【0017】
図1に示すように、シリンダ22の上板68からは、ベーン体24の揺動軸26の上端部が貫通して上方に延びている。この揺動軸26の上部延長部にはロータリエンコーダ70が接続されており、ベーン体24の位置(揺動角)を検知できるようにしている。ロータリエンコーダ70は、マイクロコンピュータ等からなる制御装置72に接続されている。制御装置72は、ロータリエンコーダ70からの信号に応じて、空気圧制御回路50における各制御弁58,64のソレノイド60,66への通電を制御する。
【0018】
揺動軸26の上部延長部はロータリエンコーダ70を貫通して更に上方に突出しており、この突出部分には水平方向に延びるレバー74が取り付けられている。また、シリンダ22の上板68上には、レバー74の先端部と当接してこれを弾性的に押し戻すためのリターンロッド76が取り付けられている。リターンロッド76は、図4の二点鎖線で示すように、ベーン体24が開端位置54に達したときにレバー74により押し込まれるよう、シリンダ上板68上の1対の支持部材78,80間で摺動可能に支持されている。また、リターンロッド76は、圧縮ばね82により、その一端が常に一方の支持部材78から突出するように支持されている。
【0019】
このような構成において、シリンダキャビネット12内の台座16上に置かれた閉止状態のガス容器14に対してバルブ開閉装置10をセットする場合、まず、アクチュエータ20のベーン体24を閉端位置52に配置しておき、次いで、チャック36をバルブ32の上方から下ろし、ハンドル34の凹部にチャック36のフィンガ40を嵌合させる。
【0020】
この後、バルブ32を閉止状態から開放状態とすべく、その指令をコントロールパネル84から入力すると、制御装置72は主制御弁58のソレノイド60に通電を行う。このとき、制御弁64のソレノイド66は非通電状態で維持される。これにより、圧縮空気供給源56から圧縮空気がアクチュエータ20のポート46に供給され、ベーン体24が閉端位置52から開端位置54に揺動される。
【0021】
ベーン体24が開端位置54に接近すると、ベーン体24と共に揺動するレバー74の先端部がリターンロッド76の先端に当接し、圧縮ばね82のばね力に抗してリターンロッド76を押し込んでいく。そして、ベーン体24が開端位置54に達し、制御装置72がロータリエンコーダ70からの信号によりその状態を認識したならば、主制御弁58のソレノイド60への通電を停止してポジションを切り換えると共に、制御弁64のソレノイド66に通電する。この結果、両ポート46,48は大気に対して開放状態となり、圧縮ばね82のばね力に抗する力が無くなるため、レバー74及びベーン体24はリターンロッド76により閉端位置52側に僅かに押し戻される。
【0022】
ベーン体24が閉端位置52から開端位置54に揺動している間、回転シャフト30には自在継手機構42が介在しているため、チャック36のフィンガ40は斜めとなった状態でバルブ32のハンドル34と係合するため、チャック36がハンドル34に対してスティッキングを起こすことがある。しかしながら、上述したように、ベーン体24が開端位置54から閉端位置52側に僅かに戻されると、チャック36のフィンガ40はほぼ垂直に向きが正されるため、スティッキングが一旦生じたとしても、その状態は直ちに解消することとなる。従って、チャック36とハンドル34とは上下方向において摺動自在となり、たとえシリンダキャビット12が温度変化により歪んでそれが回転シャフト30に伝わっても、或は、温度変化により回転シャフト30自体が伸縮したとしても、引張り力や圧縮力がチャック36を経てハンドル34に伝わることはない。よって、台座16に内蔵された重量計による計測値は、実質的にガス容器14のみの重量を示すものとなる。また、シリンダキャビット12に衝撃や振動が加えられても、そのような衝撃力等がハンドル34に伝えられることはなく、重量計からの計測値は安定したものとなる。
【0023】
次に、バルブ32を開放状態から閉止状態に戻す場合には、制御弁64のソレノイド66への通電を停止すれば、圧縮空気はポート48に供給され、ベーン体24は閉端位置52に揺動してバルブ32は閉止される。
【0024】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に述べたが、本発明は上記実施形態に限定されないことはいうまでもない。
【0025】
例えば、上記実施形態では、ベーン体が開端位置に達したことを検知する手段としてエンコーダを用いているが、リミットスイッチを用いることもできる。その場合、リミットスイッチの可動接触子をベーン体のレバーにより押すようにすれることが考えられるが、リミットスイッチ内のばねを、ベーン体を閉端位置側に押し戻すためのリターン手段として利用することも可能である。
【0026】
また、ばね手段を用いずに、空気圧制御によりベーン体を開端位置から僅かに閉端位置側に戻すこともできる。
【0027】
更に、上記実施形態ではアクチュエータはベーン揺動型のものであるが、直線運動型のアクチュエータにより適当な伝動機構を介してチャックを回転駆動させる構成を採ることもできる。
【0028】
【実施例】
次に、本発明の効果を確認するために行った実験結果について述べる。この実験では、本願出願人であるテイサン株式会社製のシリンダキャビネット・SLシリーズを用い、図1〜図4に示した本発明の構成を適用した場合と、本発明を適用していない従来構成の場合とを比較した。ここで、リターンロッド(76)の押戻し量は3.5mmに設定した。また、ガス容器(14)内には10kgのガスを封入し、バルブ開閉装置(10)のチャック(36)をバルブ(32)に接続していない状態での重量計(16)の計測値が10kgを示すよう初期設定を行った。更に、バルブ開放時にガスが放出されないようバルブ吐出口にはキャップを取り付けた。
【0029】
まず、第1の実験では、バルブ開閉装置の揺動軸(26)とガス容器(14)のバルブのハンドル(34)とを同軸に配置し、バルブの開閉を100回行った。そして、バルブ開放時の重力計からの計測値を開閉毎に記録した。
【0030】
図5はその実験結果のデータを示したグラフである。この図から、従来構成の場合には、計測値が最大1kgの幅で変動しているのに対して、本発明が適用された場合には計測値が10kg一定となっていることが分かる。
【0031】
また、第2の実験では、バルブ開閉装置の揺動軸の軸線とバルブのハンドルの軸線とを水平方向において5cmずらし、バルブの開閉を50回行った。そして、第1の実験と同様に、バルブ開放時の重力計からの計測値を開閉毎に記録した。
【0032】
図6はこの第2の実験結果のデータを示したグラフであるが、この図から、第1の実験と同様の結果が得られていることが分かる。
【0033】
このような実験から本発明の優れた効果が確認された。
【0034】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、バルブ開閉装置のチャックがハンドルに対して抜差し自在の状態で維持されるため、ガス容器はバルブ開閉装置から実質的に独立し、温度変化や衝撃等の影響を受けない。従って、ガス容器、すなわち容器内のガス残量を正確に計測することができ、ガスの制御や管理を高い精度で行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるバルブ開閉装置を示す概略説明図である。
【図2】図1のII−II線に沿っての断面図であり、ハンドルとチャックの係合状態を示す図である。
【図3】図1のIII-III線に沿っての断面図であり、アクチュエータの内部構造を示す図である。
【図4】図1のIV−IV線に沿っての矢視図である。
【図5】第1の実験の結果を示すグラフである。
【図6】第2の実験の結果を示すグラフである。
【符号の説明】
10…バルブ開閉装置、12…シリンダキャビネット、14…ガス容器、16…台座、20…アクチュエータ、22…シリンダ、24…ベーン体(可動子)、30…回転シャフト(伝動機構)、32…バルブ、34…ハンドル、36…チャック、40…フィンガ、50…空気圧制御回路、52…閉端位置(第1位置)、54…開端位置(第2位置)、70…ロータリエンコーダ(検知手段)、72…制御装置、74…レバー、76…リターンロッド、82…圧縮ばね。
Claims (1)
- ガス容器のバルブを開閉するためのバルブ開閉装置であって、
バルブを閉じる第1位置とバルブを開ける第2位置との間で空気圧により可動子が往復動される空気圧式のアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記可動子に伝動機構を介して接続され、前記バルブのハンドルを開閉操作すべく把持するチャックと、
前記可動子が前記第2位置に達したことを検知する検知手段と、
前記可動子が前記第2位置に達したことを前記検知手段が検知したときに、前記可動子を前記第2位置から前記第1位置の方向に所定距離だけ戻すリターン手段と、
を備えるバルブ開閉装置であって、
前記リターン手段が、
前記可動子に一体的に設けられたレバーと、
前記可動子が前記第2位置に達したときに、前記レバーにより押圧され付勢されるばね手段と、
前記可動子が前記第2位置に達したことを前記検知手段が検知したときに、前記アクチュエータの内部を大気に対して開放する手段と、
を備える、バルブ開閉装置。
Priority Applications (1)
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JP30440997A JP4051403B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | バルブ開閉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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1997
- 1997-11-06 JP JP30440997A patent/JP4051403B2/ja not_active Expired - Fee Related
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