KR102374029B1 - 반송 시스템의 제어 방법, 반송 시스템 및 관리장치 - Google Patents

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Abstract

반송(搬送) 시스템(2)의 제어 방법은, 복수의 반송 대차(臺車)(6) 중 특정한 반송 대차(6)가, 특정한 이재(移載) 위치 정보를 관리장치(18)에 송신하는 단계와, 관리장치(18)가, 특정한 반송 대차(6)로부터 수신한 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 대응 정보로부터 추출하고, 추출한 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 특정한 반송 대차(6)에 송신하는 단계와, 특정한 반송 대차(6)가, 관리장치(18)로부터 수신한 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 이용하여, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16) 중 제1 반도체 제조장치(10)에 접속되어 있는 제1 통신 디바이스(14)에 대해, 제1 반도체 제조장치(10)와 특정한 반송 대차(6)와의 사이에서 FOUP(4)를 이재하기 위한 통신을 실행하는 단계를 포함한다.

Description

반송 시스템의 제어 방법, 반송 시스템 및 관리장치
[0001] 본 발명은, 반송(搬送) 시스템의 제어 방법, 반송 시스템 및 관리장치에 관한 것이다.
[0002] 특허문헌 1에는, 반도체 웨이퍼가 격납된 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 반송하기 위한 천장 주행식의 복수의 반송 대차(臺車)와, 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 복수의 반도체 제조장치를 구비하는 반도체 제조 시스템이 개시되어 있다.
[0003] 복수의 반도체 제조장치의 각각에는, 한 세트(組)의 통신 디바이스 및 무선 액세스 포인트가 배치되어 있다. 또한, 복수의 반도체 제조장치의 각각에는, FOUP를 올려 놓기 위한 재치(載置) 포트가 배치되어 있다. 통신 디바이스는, 패럴렐 케이블(parallel cable)을 통해 재치 포트에 접속되어 있는 동시에, LAN(Local Area Network) 케이블을 통해 무선 액세스 포인트에 접속되어 있다.
[0004] 복수의 반송 대차의 각각은, 무선 액세스 포인트를 통해 통신 디바이스와 무선 통신할 수 있다. 반송 대차는, 특정한 반도체 제조장치에 접근했을 때, 해당 특정한 반도체 제조장치의 재치 포트와의 사이에서 FOUP를 이재(移載)하기 위한 처리를 개시하기 위한 메시지 신호를, 해당 재치 포트에 접속된 통신 디바이스에 송신한다.
일본 특허공개 2015-82574호 공보
[0006] 상술한 반도체 제조 시스템에서는, 반송 대차는, 통신 디바이스에 메시지 신호를 송신할 때, 통신 디바이스의 어드레스를 송신할 곳으로서 지정할 필요가 있다. 그러나, 예컨대 반도체 제조장치의 추가, 철거 또는 변경 등이 이루어진 경우에는, 통신 디바이스의 어드레스가 변경되어 버리는 경우가 있어, 복수의 반송 대차의 각각에 있어서의 통신 디바이스의 어드레스의 관리가 번잡해진다는 과제가 생긴다.
[0007] 본 발명은, 이와 같은 과제에 비추어 이루어진 것으로, 그 목적은, 통신 디바이스 수신처 정보를 일원적으로 관리할 수 있는 반송 시스템의 제어 방법, 반송 시스템 및 관리장치를 제공하는 것이다.
[0008] 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 양태에 따른 반송 시스템의 제어 방법은, 피반송물(被搬送物)을 반송하기 위한 복수의 반송 대차와, 상기 복수의 반송 대차의 각각과의 사이에서 상기 피반송물이 이재되는 복수의 이재장치와, 상기 복수의 이재장치에 각각 접속된 복수의 통신 디바이스와, 상기 복수의 통신 디바이스를 관리하는 관리장치를 구비하는 반송 시스템의 제어 방법으로서, 상기 복수의 반송 대차의 각각은, 상기 복수의 이재장치 중 특정한 이재장치에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 특정한 이재 위치 정보를 기억하는 제1 기억부를 가지며, 상기 관리장치는, 상기 복수의 이재장치의 각각에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 이재 위치 정보와, 해당 이재장치에 접속되어 있는 상기 통신 디바이스의 수신처를 나타내는 통신 디바이스 수신처 정보와의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하는 제2 기억부를 가지며, 상기 제어 방법은, (a) 상기 복수의 반송 대차 중 특정한 반송 대차가, 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 관리장치에 송신하는 단계와, (b) 상기 관리장치가, 상기 특정한 반송 대차로부터 수신한 상기 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 대응 정보로부터 추출하고, 추출한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 특정한 반송 대차에 송신하는 단계와, (c) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 관리장치로부터 수신한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 이용하여, 상기 복수의 통신 디바이스 중 상기 특정한 이재장치에 접속되어 있는 특정한 통신 디바이스에 대해, 상기 특정한 이재장치와 상기 특정한 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물을 이재하기 위한 통신을 실행하는 단계를 포함한다.
[0009] 본 양태에 따르면, 관리장치는, 이재 위치 정보와 통신 디바이스 수신처 정보와의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하고 있으므로, 관리장치에 있어서 통신 디바이스 수신처 정보를 일원적으로 관리할 수 있다. 그 결과, 예컨대 이재장치의 추가, 철거 또는 변경 등이 이루어짐으로써, 통신 디바이스의 통신 디바이스 수신처 정보가 변경된 경우라 하더라도, 관리장치에 기억된 대응 정보를 적은 작업량으로 용이하게 갱신할 수 있다.
[0010] 예컨대, 상기 반송 시스템은, 추가로, 상기 복수의 반송 대차의 각각의 주행을 제어하는 제어장치를 구비하고, 상기 제어 방법은, 추가로, (d) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터, 상기 관리장치의 수신처를 나타내는 관리장치 수신처 정보를 수신하는 단계를 포함하고, 상기 (a)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 관리장치 수신처 정보를 이용하여, 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 관리장치에 송신하도록 구성해도 된다.
[0011] 본 양태에 따르면, 특정한 반송 대차에 있어서 관리장치 수신처 정보를 미리 기억해 둘 필요가 없기 때문에, 제1 기억부의 기억 용량을 절약할 수 있다.
[0012] 예컨대, 상기 반송 시스템은, 제1 관리장치 및 제2 관리장치를 포함하는 복수의 상기 관리장치를 구비하고, 상기 (d)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터, 상기 복수의 관리장치의 각각의 수신처를 나타내는 복수의 상기 관리장치 수신처 정보를 수신하고, 상기 (a)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 복수의 관리장치 수신처 정보 중에서 상기 제1 관리장치의 수신처를 나타내는 제1 관리장치 수신처 정보를 선택하고, 상기 제1 관리장치 수신처 정보를 이용하여 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 제1 관리장치에 송신하도록 구성해도 된다.
[0013] 본 양태에 따르면, 반송 시스템은 복수의 관리장치를 구비하고 있으므로, 이중화(redundancy)를 도모할 수 있다.
[0014] 예컨대, 상기 제어 방법은, 추가로, (e) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 (a)에 있어서 상기 제1 관리장치와 통신할 수 없는 경우에, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 복수의 관리장치 수신처 정보 중에서 상기 제2 관리장치의 수신처를 나타내는 제2 관리장치 수신처 정보를 선택하고, 상기 제2 관리장치 수신처 정보를 이용하여 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 제2 관리장치에 송신하도록 구성해도 된다.
[0015] 본 양태에 따르면, 특정한 반송 대차는, 제1 관리장치와의 사이에서 통신할 수 없는 경우라 하더라도, 제2 관리장치 수신처 정보를 이용하여 특정한 이재 위치 정보를 제2 관리장치에 송신할 수 있다.
[0016] 예컨대, 상기 반송 시스템은, 제1 관리장치 및 제2 관리장치를 포함하는 복수의 상기 관리장치를 구비하고, 상기 (d)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터, 상기 제1 관리장치의 수신처를 나타내는 제1 관리장치 수신처 정보를 수신하고, 상기 (a)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 제1 관리장치 수신처 정보를 이용하여 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 제1 관리장치에 송신하고, 상기 제어 방법은, 추가로, (f) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 (a)에 있어서 상기 제1 관리장치와 통신할 수 없는 경우에, 상기 제어장치로부터, 상기 제2 관리장치의 수신처를 나타내는 제2 관리장치 수신처 정보를 수신하는 단계와, (g) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 제2 관리장치 수신처 정보를 이용하여 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 제2 관리장치에 송신하는 단계를 포함하도록 구성해도 된다.
[0017] 본 양태에 따르면, 반송 시스템은 복수의 관리장치를 구비하고 있으므로, 이중화를 도모할 수 있다. 또한, 특정한 반송 대차는, 제1 관리장치와의 사이에서 통신할 수 없는 경우라 하더라도, 제2 관리장치 수신처 정보를 이용하여 특정한 이재 위치 정보를 제2 관리장치에 송신할 수 있다.　　나아가, 특정한 반송 대차가, 상기 (a)에 있어서 제1 관리장치와의 사이에서 통신할 수 있던 경우라 하더라도, 제1 관리장치가 특정한 반송 대차로부터 수신한 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 제1 관리장치가 구비하는 대응 정보로부터 추출할 때, 예컨대 통신 처리의 집중 등에 의해 추출 처리에 비교적 긴 시간을 요하는 경우가 있다. 이와 같은 경우에는, 제1 관리장치는, 그 내용을 나타내는 응답 신호를 특정한 반송 대차에 송신한다. 특정한 반송 대차는, 제1 관리장치로부터 해당 응답 신호를 수신한 경우에, 제어장치로부터 수신한 복수의 관리장치 수신처 정보 중에서 제2 관리장치 수신처 정보를 이용하여, 특정한 이재 위치 정보를 제2 관리장치에 송신해도 된다.
[0018] 예컨대, 상기 제어 방법은, 추가로, (h) 상기 제어장치가, 상기 복수의 반송 대차 중 제1 반송 대차에 대해, 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하고, 또한, 상기 제1 반송 대차로부터 상기 특정한 이재장치로 제1 피반송물을 이재하도록 지시하기 위한 제1 주행 지시 신호를 송신하는 단계와, (i) 상기 관리장치가, 상기 특정한 이재장치의 상방에 제2 피반송물이 존재하는지의 여부를 나타내는 피반송물 정보를 취득하는 단계와, (j) 상기 제1 반송 대차가, 상기 제1 주행 지시 신호를 수신한 후에, 현재 위치에서 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하는 제1 경로를 나타내는 제1 주행 계획을 결정하는 단계와, (k) 상기 제1 반송 대차가, 상기 제1 주행 계획에 근거하여 상기 특정한 이재장치의 위치에 제1 시각에 도착하였다고 가정한 경우에, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제2 피반송물이 상기 제1 시각에 존재하는지의 여부를 상기 관리장치에 문의하는 단계와, (l) 상기 제1 반송 대차가, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제2 피반송물이 존재하지 않는다는 상기 문의의 결과를 상기 관리장치로부터 수신한 경우에는, 상기 제1 주행 계획을 채용하고, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제2 피반송물이 존재한다는 상기 문의의 결과를 상기 관리장치로부터 수신한 경우에는, 상기 제1 주행 계획과는 다른 제2 주행 계획을 결정하고, 또한, 결정한 상기 제2 주행 계획을 채용하는 단계를 포함하고, 상기 제2 주행 계획은, 상기 특정한 이재장치로부터 상기 복수의 반송 대차 중 제2 반송 대차로의 상기 제2 피반송물의 이재가 완료되고, 또한, 상기 제2 피반송물이 상기 특정한 이재장치의 상방으로부터 멀어진 후에, 상기 제1 반송 대차가 상기 특정한 이재장치의 위치에 도착하는, 상기 제1 경로보다 긴 제2 경로를 나타내도록 구성해도 된다.
[0019] 본 양태에 따르면, 제1 반송 대차는, 특정한 이재장치의 상방에 제2 피반송물이 존재하는지의 여부에 따라, 제1 주행 계획 및 제2 주행 계획 중 어느 하나를 채용하므로, 제1 및 제2 피반송물의 반송 효율을 높일 수 있다.
[0020] 예컨대, 상기 제어 방법은, 추가로, (m) 상기 제어장치가, 상기 복수의 반송 대차 중 제3 반송 대차에 대해, 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하고, 또한, 상기 특정한 이재장치로부터 상기 제3 반송 대차로 제3 피반송물을 이재하도록 지시하기 위한 제3 주행 지시 신호를 송신하는 단계와, (n) 상기 관리장치가, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제3 피반송물이 존재하는지의 여부를 나타내는 피반송물 정보를 취득하는 단계와, (o) 상기 제3 반송 대차가, 상기 제3 주행 지시 신호를 수신한 후에, 현재 위치에서 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하는 제3 경로를 나타내는 제3 주행 계획을 결정하는 단계와, (p) 상기 제3 반송 대차가, 상기 제3 주행 계획에 근거하여 상기 특정한 이재장치의 위치에 제2 시각에 도착하였다고 가정한 경우에, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제3 피반송물이 상기 제2 시각에 존재하는지의 여부를 상기 관리장치에 문의하는 단계와, (q) 상기 제3 반송 대차가, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제3 피반송물이 존재한다는 상기 문의의 결과를 상기 관리장치로부터 수신한 경우에는, 상기 제3 주행 계획을 채용하고, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제3 피반송물이 존재하지 않는다는 상기 문의의 결과를 상기 관리장치로부터 수신한 경우에는, 상기 제3 주행 계획과는 다른 제4 주행 계획을 결정하고, 또한, 결정한 상기 제4 주행 계획을 채용하는 단계를 포함하고, 상기 제4 주행 계획은, 상기 특정한 이재장치로의 상기 제3 피반송물의 재치(載置)가 완료된 후에, 상기 제3 반송 대차가 상기 특정한 이재장치의 위치에 도착하는, 상기 제3 경로보다 긴 제4 경로를 나타내도록 구성해도 된다.
[0021] 본 양태에 따르면, 제3 반송 대차는, 특정한 이재장치의 상방에 제3 피반송물이 존재하는지의 여부에 따라, 제3 주행 계획 및 제4 주행 계획 중 어느 하나를 채용하므로, 제3 피반송물의 반송 효율을 높일 수 있다.
[0022] 예컨대, 상기 제어 방법은, 추가로, (r) 상기 제어장치가, 상기 특정한 이재장치에 상기 제2 피반송물이 놓여 있는 상태로, 상기 제2 반송 대차에 대해, 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하고, 또한, 상기 특정한 이재장치로부터 상기 제2 반송 대차로 상기 제2 피반송물을 이재하도록 지시하기 위한 제2 주행 지시 신호를 송신하는 단계를 포함하도록 구성해도 된다.
[0023] 본 양태에 따르면, 제2 반송 대차에 대해, 특정한 이재장치의 위치까지 주행하고, 또한, 특정한 이재장치로부터 제2 반송 대차로 제2 피반송물을 이재하도록 지시할 수 있다.
[0024] 예컨대, 상기 반송 시스템은, 추가로, 무선 액세스 포인트를 구비하고, 상기 (a)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 무선 액세스 포인트를 통해, 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 관리장치에 송신하고, 상기 (b)에서는, 상기 관리장치가, 상기 무선 액세스 포인트를 통해, 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 특정한 반송 대차에 송신하고, 상기 (c)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 무선 액세스 포인트를 통해, 상기 특정한 통신 디바이스에 대해 상기 통신을 실행하도록 구성해도 된다.
[0025] 본 양태에 따르면, 특정한 반송 대차는, 무선 액세스 포인트를 이용한 무선 통신을 행하므로, 예컨대 송신측 디바이스와 수신측 디바이스에서 광축을 일치시켜 통신하는 광 통신을 이용하는 경우와 같이, 광축이 일치할 때까지 통신의 개시를 기다릴 필요가 없고, 주행 중이더라도 관리장치 및 특정한 통신 디바이스의 각각과 통신할 수 있다. 그 결과, 특정한 반송 대차는, 특정한 통신 디바이스와의 사이의 통신을 완료할 때까지의 시간을 단축할 수 있다.
[0026] 예컨대, 상기 제어 방법은, 추가로, (s) 상기 (c)에 있어서, 상기 특정한 반송 대차가 상기 무선 액세스 포인트를 통해 상기 특정한 통신 디바이스에 대해 상기 통신을 실행하려고 했을 때, 상기 특정한 통신 디바이스로부터의 응답이 없는 경우에는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 특정한 통신 디바이스가 통신 불능인 상태라고 판정하고, 해당 판정 결과를 상기 무선 액세스 포인트를 통해 상기 관리장치에 통지하는 단계를 포함하도록 구성해도 된다.
[0027] 본 양태에 따르면, 관리장치는, 복수의 통신 디바이스의 각각이 통신 가능한 상태인지의 여부를 용이하게 파악할 수 있다.
[0028] 예컨대, 상기 제어 방법은, 추가로, (t) 상기 관리장치가, 상기 복수의 통신 디바이스의 각각에 하트 비트(heart beat) 신호를 송신하는 단계와, (u) 상기 관리장치가, 상기 복수의 통신 디바이스 중 어느 한 통신 디바이스로부터 상기 하트 비트 신호에 대한 응답이 있던 경우에는, 해당 통신 디바이스가 통신 가능한 상태라고 판정하고, 상기 복수의 통신 디바이스 중 어느 한 통신 디바이스로부터 상기 하트 비트 신호에 대한 응답이 없는 경우에는, 해당 통신 디바이스가 통신 불능인 상태라고 판정하는 단계를 포함하도록 구성해도 된다.
[0029] 본 양태에 따르면, 관리장치는, 복수의 통신 디바이스의 각각이 통신 가능한 상태인지의 여부를 용이하게 파악할 수 있다.
[0030] 예컨대, 상기 대응 정보는, 추가로, 상기 이재 위치 정보 및 상기 통신 디바이스 수신처 정보에 대응지어진, 상기 통신 디바이스의 통신 속성을 나타내는 통신 속성 정보를 포함하고, 상기 (b)에서는, 상기 관리장치가, 상기 특정한 반송 대차로부터 수신한 상기 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보 및 특정한 통신 속성 정보를 상기 대응 정보로부터 추출하고, 추출한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보 및 상기 특정한 통신 속성 정보를 상기 특정한 반송 대차에 송신하고, 상기 (c)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 관리장치로부터 수신한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보 및 상기 특정한 통신 속성 정보를 이용하여, 상기 특정한 통신 디바이스에 대해 상기 통신을 실행하도록 구성해도 된다.
[0031] 본 양태에 따르면, 특정한 반송 대차는, 특정한 통신 디바이스와의 사이에서, 특정한 통신 디바이스의 통신 속성 정보에 따른 통신을 실행할 수 있다.
[0032] 또한, 본 발명의 일 양태에 따른 반송 시스템은, 피반송물을 반송하기 위한 반송 시스템으로서, 상기 피반송물을 반송하기 위한 복수의 반송 대차와, 상기 복수의 반송 대차의 각각과의 사이에서 상기 피반송물이 이재되는 복수의 이재장치와, 상기 복수의 이재장치에 각각 접속된 복수의 통신 디바이스와, 상기 복수의 통신 디바이스를 관리하는 관리장치를 구비하고, 상기 복수의 반송 대차의 각각은, 상기 복수의 이재장치 중 특정한 이재장치에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 특정한 이재 위치 정보를 기억하는 제1 기억부와, 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 관리장치에 송신하는 제1 통신부를 가지며, 상기 관리장치는, 상기 복수의 이재장치의 각각에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 이재 위치 정보와, 해당 이재장치에 접속되어 있는 상기 통신 디바이스의 수신처를 나타내는 통신 디바이스 수신처 정보와의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하는 제2 기억부와, 상기 복수의 반송 대차 중 특정한 반송 대차로부터 수신한 상기 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 대응 정보로부터 추출하는 제어부와, 추출된 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 특정한 반송 대차에 송신하는 제2 통신부를 가지며, 상기 특정한 반송 대차의 상기 제1 통신부는, 추가로, 상기 관리장치로부터 수신한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 이용하여, 상기 복수의 통신 디바이스 중 상기 특정한 이재장치에 접속되어 있는 특정한 통신 디바이스에 대해, 상기 특정한 이재장치와 상기 특정한 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물을 이재하기 위한 통신을 실행한다.
[0033] 본 양태에 따르면, 관리장치는, 이재 위치 정보와 통신 디바이스 수신처 정보와의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하고 있으므로, 관리장치에 있어서 통신 디바이스 수신처 정보를 일원적으로 관리할 수 있다. 그 결과, 예컨대 이재장치의 추가, 철거 또는 변경 등이 이루어짐으로써, 통신 디바이스의 통신 디바이스 수신처 정보가 변경된 경우라 하더라도, 관리장치에 기억된 대응 정보를 적은 작업량으로 용이하게 갱신할 수 있다.
[0034] 또한, 본 발명의 일 양태에 따른 관리장치는, 반송 대차와의 사이에서 피반송물이 이재되는 복수의 이재장치에 각각 접속된 복수의 통신 디바이스를 관리하는 관리장치로서, 상기 복수의 이재장치의 각각에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 이재 위치 정보와, 해당 이재장치에 접속되어 있는 상기 통신 디바이스의 수신처를 나타내는 통신 디바이스 수신처 정보와의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하는 기억부와, 상기 반송 대차로부터, 상기 복수의 이재장치 중 특정한 이재장치에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 특정한 이재 위치 정보를 수신하는 통신부와, 수신한 상기 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 대응 정보로부터 추출하는 제어부를 구비하고, 상기 통신부는, 추출된 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 반송 대차에 송신한다.
[0035] 본 양태에 따르면, 관리장치는, 이재 위치 정보와 통신 디바이스 수신처 정보와의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하고 있으므로, 관리장치에 있어서 통신 디바이스 수신처 정보를 일원적으로 관리할 수 있다. 그 결과, 예컨대 이재장치의 추가, 철거 또는 변경 등이 이루어짐으로써, 통신 디바이스의 통신 디바이스 수신처 정보가 변경된 경우라 하더라도, 관리장치에 기억된 대응 정보를 적은 작업량으로 용이하게 갱신할 수 있다.
[0036] 본 발명의 일 양태에 따른 반송 시스템의 제어 방법 등에 따르면, 통신 디바이스 수신처 정보를 일원적으로 관리할 수 있다.
도 1은, 실시형태 1에 따른 반송 시스템의 개요를 나타내는 도면이다.
도 2는, 실시형태 1에 따른 반송 시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은, 실시형태 1에 따른 관리 테이블의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4는, 실시형태 1에 따른 반송 시스템의 동작을 나타내는 시퀀스도이다.
도 5는, 실시형태 2에 따른 반송 시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 6은, 실시형태 2에 따른 반송 시스템의 동작을 나타내는 시퀀스도이다.
도 7은, 실시형태 3에 따른 반송 시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 8은, 실시형태 3에 따른 반송 시스템의 동작을 나타내는 시퀀스도이다.
도 9는, 실시형태 3에 따른 반송 시스템의 동작을 나타내는 시퀀스도이다.
도 10은, 실시형태 4에 따른 반송 시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 11은, 실시형태 4에 따른 관리장치의 동작을 나타내는 플로 차트이다.
[0038] 이하, 본 발명의 실시형태에 대해, 도면을 이용하여 상세히 설명한다. 참고로, 이하에서 설명하는 실시형태는, 모두 포괄적 또는 구체적인 예를 나타내는 것이다. 이하의 실시형태에서 나타나는 수치, 형상, 재료, 구성 요소, 구성 요소의 배치 위치 및 접속 형태, 단계, 단계의 순서 등은, 일례이며, 본 발명을 한정하는 주지(主旨)는 아니다. 또한, 이하의 실시형태에 있어서의 구성 요소 중, 독립청구항에 기재되어 있지 않은 구성 요소에 대해서는, 임의의 구성 요소로서 설명된다.
[0039] (실시형태 1)
[1-1. 반송 시스템의 개요]
우선, 도 1을 참조하면서, 실시형태 1에 따른 반송 시스템(2)의 개요에 대해 설명한다. 도 1은, 실시형태 1에 따른 반송 시스템(2)의 개요를 나타내는 도면이다.
[0040] 도 1에 나타내는 바와 같이, 반송 시스템(2)은, 예컨대 반도체 제조 공장에 있어서, 웨이퍼가 격납된 FOUP(4)(피반송물의 일례)를 반송하기 위한 시스템이다. 반송 시스템(2)은, 복수의 반송 대차(6)와, 제어장치(8)와, 제1 반도체 제조장치(10)(이재장치의 일례)와, 제2 반도체 제조장치(12)(이재장치의 일례)와, 제1 통신 디바이스(14)와, 제2 통신 디바이스(16)와, 관리장치(18)와, 무선 액세스 포인트(20)를 구비하고 있다.
[0041] 복수의 반송 대차(6)의 각각은, 예컨대 반도체 제조 공장의 천장에 설치된 레일(22)을 따라 무인 주행함으로써 FOUP(4)를 반송하기 위한 천장 주행식의 반송 대차이며, 이른바 OHT(Overhead Hoist Transfer)이다. 반송 대차(6)는, 전력 공급장치(미도시)로부터 공급되는 전력을, 레일(22)을 따라 부설(敷設)된 급전(給電) 경로(24)를 통해 전자기 유도 현상에 의해 비접촉으로 받을 수 있다. 이에 의해, 반송 대차(6)는, 급전 경로(24)로부터의 전력의 공급을 받으면서, 레일(22)을 따라 주행할 수 있다.
[0042] 반송 대차(6)의 내부에는, FOUP(4)를 파지(把持)하기 위한 파지부(26)가 승강(昇降) 가능하게 탑재되어 있다. 예컨대, 반송 대차(6)와 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)(후술함)와의 사이에서 FOUP(4)를 이재할 때에는, 파지부(26)는, 반송 대차(6)로부터 재치 포트(32a)의 근방까지 강하(降下)한다. 또한, FOUP(4)의 이재가 완료되었을 때에는, 파지부(26)는, 재치 포트(32a)의 근방으로부터 반송 대차(6)까지 상승하여, 반송 대차(6)의 내부에 격납된다. 참고로, 반도체 제조 공장에는 복수(예컨대 3000대)의 반송 대차(6)가 배치되어 있지만, 설명의 편의상, 도 1 등에서는 1개의 반송 대차(6)만을 도시하고 있다.
[0043] 제어장치(8)는, 복수의 반송 대차(6)의 각각의 주행을 제어하기 위한 컴퓨터이며, 이른바 OHVC(Overhead Hoist Vehicle Controller)이다. 제어장치(8)는, 레일(22)을 따라 부설된 피더선(feeder線)(28)을 통해, 복수의 반송 대차(6)의 각각과 통신할 수 있다.
[0044] 제1 반도체 제조장치(10) 및 제2 반도체 제조장치(12)의 각각은, FOUP(4)에 격납된 웨이퍼의 처리 또는 임시 재치 등을 하기 위한 스테이션이며, 레일(22)의 바로 아래에 설치되어 있다.
[0045] 제1 반도체 제조장치(10)는, FOUP(4)를 반입(搬入) 및 반출(搬出)하기 위한 복수(예컨대 3개)의 반입출구(搬入出口)(30a, 30b, 30c)와, FOUP(4)를 올려 놓기 위한 복수(예컨대 3개)의 재치 포트(32a, 32b, 32c)를 가지고 있다. 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)는 각각, 대응하는 복수의 반입출구(30a, 30b, 30c)의 근방에 배치되어 있다. 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)는 각각, 반송 대차(6)의 파지부(26)와의 사이에서 FOUP(4)를 이재하며, 또한, 복수의 반입출구(30a, 30b, 30c)를 통해 제1 반도체 제조장치(10)와의 사이에서 FOUP(4)를 주고 받기 위한 로드 포트(load port)이다. 덧붙여, 본 실시형태에서는, 제1 반도체 제조장치(10)가 3개의 재치 포트(32a, 32b, 32c)를 가지는 경우에 대해 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 1개, 2개 또는 4개 이상의 재치 포트를 가지고 있어도 된다.
[0046] 제2 반도체 제조장치(12)는, FOUP(4)를 반입 및 반출하기 위한 복수(예컨대 3개)의 반입출구(34a, 34b, 34c)와, FOUP(4)를 올려 놓기 위한 복수(예컨대 3개)의 재치 포트(36a, 36b, 36c)를 가지고 있다. 복수의 재치 포트(36a, 36b, 36c)는 각각, 대응하는 복수의 반입출구(34a, 34b, 34c)의 근방에 배치되어 있다. 복수의 재치 포트(36a, 36b, 36c)는 각각, 반송 대차(6)의 파지부(26)와의 사이에서 FOUP(4)를 이재하며, 또한, 복수의 반입출구(34a, 34b, 34c)를 통해 제2 반도체 제조장치(12)와의 사이에서 FOUP(4)를 주고 받기 위한 로드 포트이다. 덧붙여, 본 실시형태에서는, 제2 반도체 제조장치(12)가 3개의 재치 포트(36a, 36b, 36c)를 가지는 경우에 대해 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 1개, 2개 또는 4개 이상의 재치 포트를 가지고 있어도 된다.
[0047] 참고로, 반도체 제조 공장에는 복수(예컨대 10000대)의 반도체 제조장치가 설치되어 있지만, 설명의 편의상, 도 1 등에서는 2개의 반도체 제조장치(제1 반도체 제조장치(10) 및 제2 반도체 제조장치(12))만을 도시하고 있다.
[0048] 제1 통신 디바이스(14)는, 제1 반도체 제조장치(10)의 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)의 각각과 반송 대차(6)와의 사이의 통신을 중개하기 위한 디바이스 서버이다. 제1 통신 디바이스(14)는 복수의 패럴렐 포트(parallel port)를 구비하고, 복수의 패럴렐 포트의 각각이, 패럴렐 케이블(38)을 통해, 제1 반도체 제조장치(10)의 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)의 각각과 접속되어 있다. 이에 의해, 제1 통신 디바이스(14)는, 제1 반도체 제조장치(10)의 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)의 각각과 통신할 수 있다. 또한, 제1 통신 디바이스(14)는, LAN 케이블(40)을 통해, 무선 액세스 포인트(20)와 접속되어 있다. 이에 의해, 제1 통신 디바이스(14)는, 무선 액세스 포인트(20)를 통해, 복수의 반송 대차(6)의 각각과 이더넷(ethernet)(등록상표) 통신할 수 있다. 덧붙여, 제1 통신 디바이스(14)와 복수의 반송 대차(6)의 각각과의 사이의 통신에는, 예컨대 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)의 E84 통신 시퀀스가 적용된다.
[0049] 제2 통신 디바이스(16)는, 제2 반도체 제조장치(12)의 복수의 재치 포트(36a, 36b, 36c)의 각각과 반송 대차(6)와의 사이의 통신을 중개하기 위한 디바이스 서버이다. 제2 통신 디바이스(16)는 복수의 패럴렐 포트를 구비하고, 복수의 패럴렐 포트의 각각이, 패럴렐 케이블(42)을 통해, 제2 반도체 제조장치(12)의 복수의 재치 포트(36a, 36b, 36c)의 각각과 접속되어 있다. 이에 의해, 제2 통신 디바이스(16)는, 제2 반도체 제조장치(12)의 복수의 재치 포트(36a, 36b, 36c)의 각각과 통신할 수 있다. 또한, 제2 통신 디바이스(16)는, LAN 케이블(미도시)을 통해, 무선 액세스 포인트(20)와 접속되어 있다. 이에 의해, 제2 통신 디바이스(16)는, 무선 액세스 포인트(20)를 통해, 복수의 반송 대차(6)의 각각과 이더넷(등록상표) 통신할 수 있다. 덧붙여, 제2 통신 디바이스(16)와 복수의 반송 대차(6)의 각각과의 사이의 통신에는, 예컨대 SEMI의 E84 통신 시퀀스가 적용된다.
[0050] 참고로, 반도체 제조 공장에는, 반도체 제조장치와 동수(同數)(예컨대 10000대)의 통신 디바이스가 설치되어 있지만, 설명의 편의상, 도 1 등에서는 2개의 통신 디바이스(제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16))만을 도시하고 있다.
[0051] 관리장치(18)는, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)를 포함하는 복수의 통신 디바이스를 관리하기 위한 디바이스 서버 매니저이다. 관리장치(18)는, LAN 케이블(46)을 통해 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각과 접속되어 있다. 이에 의해, 관리장치(18)는, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각과 통신할 수 있다.
[0052] 무선 액세스 포인트(20)는, 무선 LAN에 있어서의 액세스 포인트이다. 무선 액세스 포인트(20)는, a) 복수의 반송 대차(6)의 각각과 제1 통신 디바이스(14)와의 사이의 통신, b) 복수의 반송 대차(6)의 각각과 제2 통신 디바이스(16)와의 사이의 통신, 및, c) 복수의 반송 대차(6)의 각각과 관리장치(18)와의 사이의 통신을 각각 중개한다.
[0053] [1-2. 반송 시스템의 기능 구성]
다음으로, 도 2 및 도 3을 참조하면서, 실시형태 1에 따른 반송 시스템(2)의 기능 구성에 대해 설명한다. 도 2는, 실시형태 1에 따른 반송 시스템(2)의 기능 구성을 나타내는 블록도이다. 도 3은, 실시형태 1에 따른 관리 테이블의 일례를 나타내는 도면이다.
[0054] 도 2에 나타내는 바와 같이, 복수의 반송 대차(6) 및 무선 액세스 포인트(20)의 각각은, 예컨대 IEEE 802.11 시리즈에 준거한 무선 네트워크(48)에 접속되어 있다. 무선 네트워크(48)는, 예컨대 2.4GHz대(帶) 또는 5GHz대의 WiFi(등록상표)로 구축되어 있다. 또한, 제1 통신 디바이스(14), 제2 통신 디바이스(16) 및 관리장치(18)의 각각은, 예컨대 케이블을 이용한 유선 LAN으로 구축된 유선 네트워크에 접속되어 있다.
[0055] 복수의 반송 대차(6)의 각각은, 통신부(50)(제1 통신부의 일례)와, 기억부(52)(제1 기억부의 일례)와, 제어부(54)를 가지고 있다.
[0056] 통신부(50)는, 제어장치(8), 제1 통신 디바이스(14), 제2 통신 디바이스(16) 및 관리장치(18)의 각각과의 사이에서 무선 통신한다.
[0057] 기억부(52)는, 각종 데이터를 기억하기 위한 메모리이다. 구체적으로, 기억부(52)는, a) 제어장치(8)로부터 수신한 주행 지시 신호(후술함)에 포함되는 주행 지시 데이터, b) 제어장치(8)로부터 수신한 관리장치(18)의 IP(Internet Protocol) 어드레스(관리장치 수신처 정보의 일례), c) 관리장치(18)로부터 수신한 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스(통신 디바이스 수신처 정보의 일례), 및, d) 관리장치(18)로부터 수신한 제2 통신 디바이스(16)의 IP 어드레스(통신 디바이스 수신처 정보의 일례)를 일시적으로 기억한다. 덧붙여, 기억부(52)는, 상기의 각 데이터를 미리 고정적으로 기억해 두어도 된다. 또한, 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스 및 제2 통신 디바이스(16)의 IP 어드레스를 대신해, MAC(Media Access Control) 어드레스 등이 이용되어도 된다. 통신 디바이스 수신처 정보는, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각을 고유하게 특정 가능한 정보이면 된다.
[0058] 제어부(54)는, 통신부(50) 및 기억부(52)를 제어함으로써, 각종 처리를 실행한다. 덧붙여, 제어부(54)는, 예컨대 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어 내어 실행함으로써 실현된다. 제어부(54)에 의해 실행되는 구체적인 처리에 대해서는, 나중에 상세히 설명한다.
[0059] 제어장치(8)는, 통신부(56)와, 기억부(58)와, 제어부(60)를 가지고 있다.
[0060] 통신부(56)는, 복수의 반송 대차(6)의 각각과의 사이에서 무선 통신한다.
[0061] 기억부(58)는, 각종 데이터를 기억하기 위한 메모리이다. 구체적으로, 기억부(58)는, a) 제1 반도체 제조장치(10)의 스테이션 번호, b) 제1 반도체 제조장치(10)의 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)의 각 로드 포트 번호, c) 제2 반도체 제조장치(12)의 스테이션 번호, d) 제2 반도체 제조장치(12)의 복수의 재치 포트(36a, 36b, 36c)의 각 로드 포트 번호, 및, e) 관리장치(18)의 IP 어드레스를 기억한다.
[0062] 스테이션 번호는, 제1 반도체 제조장치(10) 및 제2 반도체 제조장치(12)를 식별하기 위한 정보이다. 즉, 스테이션 번호는, FOUP(4)의 이재 위치를 나타내는 이재 위치 정보의 일례이다. 예컨대, 제1 반도체 제조장치(10) 및 제2 반도체 제조장치(12)에는 각각, 스테이션 번호로서 「ST1」 및 「ST2」가 할당되어 있다.
[0063] 또한, 로드 포트 번호는, 제1 반도체 제조장치(10)에 있어서 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)를 식별하며, 또한, 제2 반도체 제조장치(12)에 있어서 복수의 재치 포트(36a, 36b, 36c)를 식별하기 위한 정보이다. 즉, 로드 포트 번호는, FOUP(4)의 이재 위치를 나타내는 이재 위치 정보의 일례이다. 예컨대, 제1 반도체 제조장치(10)의 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)에는 각각, 로드 포트 번호로서 「LP1」, 「LP2」 및 「LP3」가 할당되어 있다. 마찬가지로, 제2 반도체 제조장치(12)의 복수의 재치 포트(36a, 36b, 36c)에는 각각, 로드 포트 번호로서 「LP1」, 「LP2」 및 「LP3」가 할당되어 있다. 덧붙여, 제1 반도체 제조장치(10) 및 제2 반도체 제조장치(12)의 각각이 1개의 재치 포트만을 가지는 경우에는, 로드 포트 번호를 생략해도 된다.
[0064] 제어부(60)는, 통신부(56) 및 기억부(58)를 제어함으로써, 각종 처리를 실행한다. 덧붙여, 제어부(60)는, 예컨대 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어 내어 실행함으로써 실현된다. 제어부(60)에 의해 실행되는 구체적인 처리에 대해서는, 나중에 상세히 설명한다.
[0065] 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)는, 통신부(62)와, 제어부(64)를 가지고 있다. 덧붙여, 도시하지 않지만, 제1 반도체 제조장치(10)의 다른 재치 포트(32b, 32c)도 마찬가지로, 통신부와, 제어부를 가지고 있다.
[0066] 통신부(62)는, 제1 통신 디바이스(14)와의 사이에서 유선 통신한다.
[0067] 제어부(64)는, 통신부(62)를 제어함으로써, 각종 처리를 실행한다. 구체적으로, 제어부(64)는, 반송 대차(6)와의 사이에서 FOUP(4)를 이재하기 위한 인터로크(interlock) 처리를 실행한다. 인터로크 처리란, 어떤 공정이 완료되지 않으면 다음 공정으로 이행하지 않는, 복수의 공정으로 이루어진 인터로크 시퀀스이다. 덧붙여, 제어부(64)는, 예컨대 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어 내어 실행함으로써 실현된다.
[0068] 제2 반도체 제조장치(12)의 재치 포트(36a)는, 통신부(66)와, 제어부(68)를 가지고 있다. 덧붙여, 도시하지 않지만, 제2 반도체 제조장치(12)의 다른 재치 포트(36b, 36c)도 마찬가지로, 통신부와, 제어부를 가지고 있다.
[0069] 통신부(66)는, 제2 통신 디바이스(16)와의 사이에서 유선 통신한다.
[0070] 제어부(68)는, 통신부(66)를 제어함으로써, 각종 처리를 실행한다. 구체적으로, 제어부(68)는, 반송 대차(6)와의 사이에서 FOUP(4)를 이재하기 위한 인터로크 처리를 실행한다. 덧붙여, 제어부(68)는, 예컨대 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어 내어 실행함으로써 실현된다.
[0071] 제1 통신 디바이스(14)는, 통신부(70)와, 제어부(72)를 가지고 있다.
[0072] 통신부(70)는, 무선 액세스 포인트(20)를 통해, 복수의 반송 대차(6)의 각각과의 사이에서 무선 통신한다. 또한, 통신부(70)는, 관리장치(18)와의 사이에서 유선 통신하며, 또한, 제1 반도체 제조장치(10)의 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)의 각각과의 사이에서 유선 통신한다.
[0073] 제어부(72)는, 통신부(70)를 제어함으로써, 각종 처리를 실행한다. 덧붙여, 제어부(72)는, 예컨대 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어 내어 실행함으로써 실현된다. 제어부(72)에 의해 실행되는 구체적인 처리에 대해서는, 나중에 상세히 설명한다.
[0074] 제2 통신 디바이스(16)는, 통신부(74)와, 제어부(76)를 가지고 있다.
[0075] 통신부(74)는, 무선 액세스 포인트(20)를 통해, 복수의 반송 대차(6)의 각각과의 사이에서 무선 통신한다. 또한, 통신부(74)는, 관리장치(18)와의 사이에서 유선 통신하며, 또한, 제2 반도체 제조장치(12)의 복수의 재치 포트(36a, 36b, 36c)의 각각과의 사이에서 유선 통신한다.
[0076] 제어부(76)는, 통신부(74)를 제어함으로써, 각종 처리를 실행한다. 덧붙여, 제어부(76)는, 예컨대 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어 내어 실행함으로써 실현된다.
[0077] 관리장치(18)는, 통신부(78)(제2 통신부의 일례)와, 기억부(80)(제2 기억부의 일례)와, 제어부(82)를 가지고 있다.
[0078] 통신부(78)는, 무선 액세스 포인트(20)를 통해, 복수의 반송 대차(6)의 각각과의 사이에서 무선 통신한다. 또한, 통신부(78)는, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각과의 사이에서 유선 통신한다. 덧붙여, 통신부(78)는, 무선 액세스 포인트(20)를 통해, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각과의 사이에서 무선 통신해도 된다.
[0079] 기억부(80)는, 관리 테이블(대응 정보의 일례)을 기억하기 위한 메모리이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 관리 테이블은, 제1 반도체 제조장치(10) 및 제2 반도체 제조장치(12)의 각 스테이션 번호와, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각 IP 어드레스와의 대응 관계를 나타내는 데이터 테이블이다.
[0080] 도 3에 나타내는 예에서는, 관리 테이블의 1번째 행(行)에는, 제1 반도체 제조장치(10)의 스테이션 번호 「ST1」과, 제1 반도체 제조장치(10)에 접속된 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스 「xx.xx.xx.xx」가 대응지어져 저장되어 있다. 또한, 관리 테이블의 2번째 행에는, 제2 반도체 제조장치(12)의 스테이션 번호 「ST2」와, 제2 반도체 제조장치(12)에 접속된 제2 통신 디바이스(16)의 IP 어드레스 「yy.yy.yy.yy」가 대응지어져 저장되어 있다.
[0081] 제어부(82)는, 통신부(78) 및 기억부(80)를 제어함으로써, 각종 처리를 실행한다. 덧붙여, 제어부(82)는, 예컨대 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어 내어 실행함으로써 실현된다. 제어부(82)에 의해 실행되는 구체적인 처리에 대해서는, 나중에 상세히 설명한다.
[0082] [1-3. 반송 시스템의 동작]
다음으로, 도 4를 참조하면서, 실시형태 1에 따른 반송 시스템(2)의 동작에 대해 설명한다. 도 4는, 실시형태 1에 따른 반송 시스템(2)의 동작을 나타내는 시퀀스도이다.
[0083] 이하, 반송 시스템(2)의 동작의 일례로서, 반송 대차(6)가 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)와의 사이에서 FOUP(4)를 이재하는 경우의 동작에 대해 설명한다.
[0084] 도 4에 나타내는 바와 같이, 제어장치(8)의 통신부(56)는, 제어부(60)에 의해 생성된 주행 지시 신호를 반송 대차(6)에 송신한다(S101). 주행 지시 신호는, 복수의 반송 대차(6) 중 특정한 반송 대차(6)에 대해 소정의 목적지까지 주행하도록 지시하기 위한 커맨드이다. 목적지가 예컨대 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)인 경우, 주행 지시 신호는, 반송 대차(6)의 목적지를 나타내는 주행 지시 데이터로서, 제1 반도체 제조장치(10)의 스테이션 번호 「ST1」과, 재치 포트(32a)의 로드 포트 번호 「LP1」을 포함한다. 덧붙여, 제어부(60)는, 기억부(58)로부터 스테이션 번호 「ST1」 및 로드 포트 번호 「LP1」을 읽어 냄으로써, 주행 지시 신호를 생성한다.
[0085] 반송 대차(6)의 통신부(50)는, 제어장치(8)로부터 송신된 주행 지시 신호를 수신한다(S102). 주행 지시 신호에 포함되는 주행 지시 데이터(예컨대, 스테이션 번호 「ST1」 및 로드 포트 번호 「LP1」)는, 기억부(52)에 기억된다. 이에 의해, 제어부(54)는, 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)를 목적지로 하여 반송 대차(6)를 주행시킨다.
[0086] 제어장치(8)의 통신부(56)는, 제어부(60)에 의해 생성된 문의 신호를 반송 대차(6)에 정기적으로 송신한다(S103). 문의 신호는, 반송 대차(6)에 대해 현재의 주행 위치를 문의하기 위한 커맨드이다.
[0087] 반송 대차(6)의 통신부(50)는, 제어장치(8)로부터 송신된 문의 신호를 수신한다(S104). 이에 의해, 반송 대차(6)의 통신부(50)는, 제어부(54)에 의해 생성된 리스폰스(response) 신호를 제어장치(8)에 송신한다(S105). 리스폰스 신호는, 반송 대차(6)의 현재의 주행 위치를 나타내는 신호이다.
[0088] 제어장치(8)의 통신부(56)는, 반송 대차(6)로부터 송신된 리스폰스 신호를 수신한다(S106). 제어장치(8)의 제어부(60)는, 수신한 리스폰스 신호에 근거하여, 반송 대차(6)의 현재의 주행 위치를 판단한다. 반송 대차(6)가 목적지로부터 소정 거리 이내까지 접근해 있는 경우, 제어장치(8)의 제어부(60)는, 기억부(58)로부터 관리장치(18)의 IP 어드레스를 읽어 내고, 통신부(56)는, 읽힌 관리장치(18)의 IP 어드레스를 반송 대차(6)에 송신한다(S107). 한편, 반송 대차(6)가 목적지로부터 소정 거리보다 떨어져 있는 경우, 제어장치(8)의 제어부(60)는, 단계 S103으로 되돌아가, 문의 신호를 반송 대차(6)에 송신한다.
[0089] 반송 대차(6)의 통신부(50)는, 제어장치(8)로부터 송신된 관리장치(18)의 IP 어드레스를 수신한다(S108). 관리장치(18)의 IP 어드레스는, 기억부(52)에 기억된다. 반송 대차(6)의 통신부(50)는, 수신한 관리장치(18)의 IP 어드레스를 송신할 곳(수신처)으로 하여, 제어부(54)에 의해 생성된 리퀘스트(request) 신호를 관리장치(18)에 송신한다(S109). 리퀘스트 신호는, 관리장치(18)에 대해, 반송 대차(6)의 목적지에 대응하는 통신 디바이스의 IP 어드레스를 송신하도록 요구하기 위한 커맨드이다. 리퀘스트 신호는, 예컨대, a) 스테이션 번호 「ST1」, b) 로드 포트 번호 「LP1」, 및, c) E84 통신 시퀀스 번호 등을 포함한다.
[0090] 관리장치(18)의 통신부(78)는, 반송 대차(6)로부터 송신된 리퀘스트 신호를 수신한다(S110). 관리장치(18)의 제어부(82)는, 수신한 리퀘스트 신호에 근거하여, 반송 대차(6)의 목적지를 나타내는 스테이션 번호 「ST1」에 대응하는 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스 「xx.xx.xx.xx」를, 기억부(80)에 기억되어 있는 관리 테이블로부터 추출한다(S111). 통신부(78)는, 추출된 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스를 반송 대차(6)에 송신한다(S112).
[0091] 반송 대차(6)의 통신부(50)는, 관리장치(18)로부터 송신된 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스를 수신한다(S113). 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스는, 기억부(52)에 기억된다. 반송 대차(6)의 통신부(50)는, 수신한 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스를 송신할 곳으로 하여, 제어부(54)에 의해 생성된 메시지 신호를 제1 통신 디바이스(14)에 송신한다(S114). 메시지 신호는, 제1 통신 디바이스(14)에 대해, 예컨대 반송 대차(6)와 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)와의 사이에서 FOUP(4)를 이재하기 위한 인터로크 처리를 개시할 것을 요구하기 위한 커맨드이다. 메시지 신호는, 예컨대, a) 스테이션 번호 「ST1」, b) 로드 포트 번호 「LP1」, c) E84 통신 시퀀스 번호, d) 인터로크 처리를 실행하기 위한 언로딩(unloading)/픽업(pickup) 요구 데이터, 및, e) 반송 대차(6)를 식별하기 위한 반송 대차 ID(Identification) 등을 포함한다.
[0092] 제1 통신 디바이스(14)의 통신부(70)는, 반송 대차(6)로부터 송신된 메시지 신호를 수신한다(S115). 제1 통신 디바이스(14)의 제어부(72)는, 수신한 메시지 신호에 근거하여, 반송 대차(6)와의 사이에서 인터로크 처리를 위한 통신을 실행한다(S116). 이에 의해, 반송 대차(6)와 재치 포트(32a)와의 사이에서, FOUP(4)를 이재하기 위한 인터로크 처리가 실행된다.
[0093] 덧붙여, 제1 통신 디바이스(14)는, 인터로크 처리에 포함되는 모든 공정에 관한 통신을 반송 대차(6)와의 사이에서 실행할 필요는 없고, 인터로크 처리의 일부의 공정에 관한 통신을 반송 대차(6)와의 사이에서 실행하고, 인터로크 처리의 나머지 공정에 관한 통신을 제1 반도체 제조장치(10)와의 사이에서 실행해도 된다.
[0094] [1-4. 효과]
다음으로, 본 실시형태에 따른 반송 시스템(2)에 의해 얻어지는 효과에 대해, 비교예에 따른 반송 시스템과 대비하면서 설명한다.
[0095] 비교예에 따른 반송 시스템에서는, 본 실시형태에서 설명한 관리장치(18)를 구비하고 있지 않다. 복수의 반송 대차의 각각은, 복수의 반도체 제조장치의 각각을 식별하기 위한 식별 정보와, 해당 반도체 제조장치에 접속된 통신 디바이스의 IP 어드레스가 대응지어진 데이터 테이블을 미리 기억하고 있다. 복수의 반송 대차의 각각은, 이 데이터 테이블로부터 읽어 낸 통신 디바이스의 IP 어드레스를 송신할 곳으로 하여, 메시지 신호를 통신 디바이스에 송신한다.
[0096] 예컨대, 반도체 제조장치의 추가, 철거 또는 변경 등이 이루어진 경우에는, 통신 디바이스의 IP 어드레스가 변경되어 버리는 경우가 있다. 1개의 반송 시스템에는, 예컨대 10000대의 반도체 제조장치와 3000대의 반송 대차가 설치되어 있기 때문에, 각 데이터 테이블에는, 10000개의 IP 어드레스가 기억되게 된다. 그 때문에, 3000대의 반송 대차 모두에 대해, 각 데이터 테이블을 갱신하는 작업을 행하는 것은 용이하지 않아, 데이터 테이블의 관리를 용이하게 행할 수 없다. 또한, 각 데이터 테이블을 갱신하는 작업을 행할 때에는, 모든 반송 대차의 주행을 정지시켜야 해서, 반도체 제조 라인에 지장을 초래할 우려가 생긴다.
[0097] 한편, 본 실시형태에 따른 반송 시스템(2)에서는, 관리장치(18)는, 복수의 반도체 제조장치의 각 스테이션 번호와, 복수의 통신 디바이스의 각 IP 어드레스와의 대응 관계를 나타내는 관리 테이블을 기억하고 있다. 이에 의해, 복수의 통신 디바이스의 각 IP 어드레스를, 관리장치(18)에 의해 일원적으로 관리할 수 있다. 그 결과, 예컨대 반도체 제조장치의 추가, 철거 또는 변경 등이 이루어짐으로써, 통신 디바이스의 IP 어드레스가 변경된 경우라 하더라도, 관리장치(18)가 기억하고 있는 관리 테이블을 갱신하는 작업만을 행하면 되어서, 관리 테이블의 관리를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 관리 테이블을 갱신하는 작업을 행할 때, 반송 대차의 주행을 정지시킬 필요가 없기 때문에, 반도체 제조 라인에 지장을 초래하는 일이 없다.
[0098] 또한, 제어장치(8)와 관리장치(18)를 하나의 제어장치로서 구성하는 반송 시스템이 상정(想定)된다. 그러나, 해당 반송 시스템에서는, 제어장치 내의 관리 테이블의 갱신 시에, 제어장치의 동작이 제한됨으로써, 반도체 제조 라인에 지장을 초래할 우려가 생긴다. 한편, 본 실시형태에 따른 반송 시스템(2)에서는, 제어장치(8)와 관리장치(18)가 별개의 개체(別體)이기 때문에, 관리 테이블의 갱신 시에 반도체 제조 라인에 지장을 초래하는 일이 없다.
[0099] [1-5. 변형예]
본 실시형태의 관리 테이블에서는, 제1 반도체 제조장치(10) 및 제2 반도체 제조장치(12)의 각 스테이션 번호와, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각 IP 어드레스가 대응지어져 있었지만, 이에 더해, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각 통신 속성을 나타내는 통신 속성 정보가 대응지어져도 된다. 통신 속성 정보는, 예컨대, a) 통신 방법(무선 통신인지 유선 통신인지의 구별), b) 무선 통신의 채널 정보, 및, c) 무선 통신의 SSID(Service Set Identifier) 등을 포함한다.
[0100] 이 경우, 상술한 단계 S112에 있어서, 관리장치(18)의 통신부(78)는, 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스와, 제1 통신 디바이스(14)의 통신 속성 정보를 반송 대차(6)에 송신한다. 이에 의해, 상술한 단계 S114에 있어서, 반송 대차(6)의 통신부(50)는, 수신한 제1 통신 디바이스(14)의 통신 속성 정보에 근거하여, 메시지 신호를 제1 통신 디바이스(14)에 송신한다.
[0101] (실시형태 2)
[2-1. 반송 시스템의 기능 구성]
다음으로, 도 5를 참조하면서, 실시형태 2에 따른 반송 시스템(2A)의 기능 구성에 대해 설명한다. 도 5는, 실시형태 2에 따른 반송 시스템(2A)의 기능 구성을 나타내는 블록도이다. 덧붙여, 이하의 각 실시형태에 있어서, 상기 실시형태 1과 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 달고, 그 설명을 생략한다.
[0102] 도 5에 나타내는 바와 같이, 실시형태 2에 따른 반송 시스템(2A)은, 동작 중인 액티브 측인 제1 관리장치(18a)와, 대기 중인 스탠바이 측인 제2 관리장치(18b)를 구비함으로써 이중화되어 있는 점에서, 상기 실시형태 1과 다르다. 제1 관리장치(18a)는, 통신부(78a)와, 기억부(80a)와, 제어부(82a)를 가지고 있다. 제2 관리장치(18b)는, 통신부(78b)와, 기억부(80b)와, 제어부(82b)를 가지고 있다. 제1 관리장치(18a) 및 제2 관리장치(18b)의 각 구성은, 상기 실시형태 1의 관리장치(18)의 구성과 동일하다.
[0103] 제어장치(8A)의 기억부(58A)는, 상기 실시형태 1에서 설명한 관리장치(18)의 IP 어드레스를 대신해, 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스(제1 관리장치 수신처 정보의 일례) 및 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스(제2 관리장치 수신처 정보의 일례)를 기억한다.
[0104] 복수의 반송 대차(6A)의 각각의 기억부(52A)는, 상기 실시형태 1에서 설명한 관리장치(18)의 IP 어드레스를 대신해, 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스 및 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 일시적으로 기억한다.
[0105] [2-2. 반송 시스템의 동작]
다음으로, 도 6을 참조하면서, 실시형태 2에 따른 반송 시스템(2A)의 동작에 대해 설명한다. 도 6은, 실시형태 2에 따른 반송 시스템(2A)의 동작을 나타내는 시퀀스도이다. 덧붙여, 도 6에 있어서, 상기 실시형태 1의 도 4와 동일한 처리에는 동일한 단계 번호를 달고, 그 설명을 생략한다.
[0106] 이하, 반송 시스템(2A)의 동작의 일례로서, 반송 대차(6A)가 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)와의 사이에서 FOUP(4)(도 1 참조)를 이재하는 경우의 동작에 대해 설명한다. 또한, 반송 대차(6A)와 제1 관리장치(18a)와의 사이에 통신 장애가 발생하고 있는 것을 전제로 하여 설명한다.
[0107] 도 6에 나타내는 바와 같이, 우선, 상기 실시형태 1과 마찬가지로, 단계 S101∼S106이 실행된다. 그 후, 반송 대차(6A)가 목적지에 접근해 있는 경우, 제어장치(8A)의 제어부(60A)는, 기억부(58A)로부터 액티브 측인 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스를 읽어 낸다. 제어장치(8A)의 통신부(56A)는, 읽힌 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스를 반송 대차(6A)에 송신한다(S201).
[0108] 반송 대차(6A)의 통신부(50A)는, 제어장치(8A)로부터 송신된 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스를 수신한다(S202). 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스는, 기억부(52A)에 기억된다. 반송 대차(6A)의 통신부(50A)는, 수신한 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스를 송신할 곳으로 하여, 제어부(54A)에 의해 생성된 리퀘스트 신호를 제1 관리장치(18a)에 송신한다(S203). 이 리퀘스트 신호는, 제1 관리장치(18a)에 대해, 반송 대차(6A)의 목적지에 대응하는 통신 디바이스의 IP 어드레스를 송신하도록 요구하기 위한 커맨드이다.
[0109] 여기서, 반송 대차(6A)와 제1 관리장치(18a)와의 사이에 통신 장애가 발생하고 있기 때문에, 제1 관리장치(18a)의 통신부(78a)는, 반송 대차(6A)로부터 송신된 리퀘스트 신호를 수신할 수 없어, 리퀘스트 신호에 대해 응답하지 않는다(S204).
[0110] 반송 대차(6A)의 통신부(50A)는, 리퀘스트 신호를 송신하고 나서 소정 시간 경과하여도 제1 관리장치(18a)로부터의 응답을 얻을 수 없는 경우, 제어부(54A)에 의해 생성된 리스폰스 신호를 제어장치(8A)에 송신한다(S205). 리스폰스 신호는, 제1 관리장치(18a)로부터의 응답을 얻을 수 없었음을 나타내는 신호이다.
[0111] 제어장치(8A)의 통신부(56A)는, 반송 대차(6A)로부터 송신된 리스폰스 신호를 수신한다(S206). 여기서, 도 6에는 도시하지 않지만, 제어장치(8A)의 제어부(60A)는, 수신한 리스폰스 신호에 근거하여, 반송 대차(6A)가 제1 관리장치(18a)로부터의 응답을 얻을 수 없었다고 판단한다. 이에 의해, 제어장치(8A)의 제어부(60A)는, 기억부(58A)로부터 스탠바이 측인 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 읽어 내고, 통신부(56A)는, 읽힌 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 반송 대차(6A)에 송신한다(S207).
[0112] 반송 대차(6A)의 통신부(50A)는, 제어장치(8A)로부터 송신된 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 수신한다(S208). 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스는, 기억부(52A)에 기억된다. 반송 대차(6A)의 통신부(50A)는, 수신한 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 송신할 곳으로 하여, 제어부(54A)에 의해 생성된 리퀘스트 신호를 제2 관리장치(18b)에 송신한다(S209). 이 리퀘스트 신호는, 제2 관리장치(18b)에 대해, 반송 대차(6A)의 목적지에 대응하는 통신 디바이스의 IP 어드레스를 송신하도록 요구하기 위한 커맨드이다.
[0113] 제2 관리장치(18b)의 제어부(82b)는, 수신한 리퀘스트 신호에 근거하여, 반송 대차(6A)의 목적지를 나타내는 스테이션 번호 「ST1」에 대응하는 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스 「xx.xx.xx.xx」를, 기억부(80b)에 기억되어 있는 관리 테이블로부터 추출한다(S210). 통신부(78b)는, 추출된 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스를 반송 대차(6A)에 송신한다(S211).
[0114] 반송 대차(6A)의 통신부(50A)는, 제2 관리장치(18b)로부터 송신된 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스를 수신한다(S212). 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스는, 기억부(52A)에 기억된다. 이하, 상기 실시형태 1과 마찬가지로, 단계 S114∼S116이 실행된다.
[0115] 덧붙여, 실시형태 2에서는, 반송 대차(6A)가, 2대의 관리장치(제1 관리장치(18a) 및 제2 관리장치(18b)) 중 어느 한 쪽으로부터, 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스를 수신하는 시퀀스로 설명하고 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 예컨대 반송 대차(6A)는, 제2 관리장치(18b)로부터도 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스를 수신할 수 없는 경우에는, 제3 관리장치 등으로부터 제1 통신 디바이스(14)의 IP 어드레스를 수신해도 된다. 즉, 복수 대의 관리장치로 반송 시스템(2A)의 이중화가 구성되어 있는 경우에도 적용 가능하다.
[0116] [2-3. 효과]
본 실시형태에서는, 액티브 측인 제1 관리장치(18a)와 스탠바이 측인 제2 관리장치(18b)가 설치되어 있으므로, 이중화를 도모할 수 있다. 이와 같은 구성이더라도, 제1 관리장치(18a) 및 제2 관리장치(18b)의 각각이 관리 테이블을 기억함으로써, 복수의 통신 디바이스의 각 IP 어드레스를 일원적으로 관리할 수 있다.
[0117] [2-4. 변형예]
[2-4-1. 변형예 1]
본 실시형태에서는, 상술한 단계 S201에서, 제어장치(8A)의 통신부(56A)는, 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스만을 반송 대차(6A)에 송신하였다. 이와 같은 처리를 대신해, 변형예 1에서는, 통신부(56A)는, 단계 S201에 있어서, 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스 및 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 반송 대차(6A)에 동시에 송신해도 된다. 이 때, 통신부(56A)는, 제1 관리장치(18a)가 액티브 측, 제2 관리장치(18b)가 스탠바이 측임을 나타내는 정보도 반송 대차(6A)에 송신한다.
[0118] 이 경우, 반송 대차(6A)의 제어부(54A)는, 수신한 제1 관리장치(18a) 및 제2 관리장치(18b)의 각 IP 어드레스 중에서, 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스를 선택한다. 반송 대차(6A)의 통신부(50A)는, 선택된 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스를 송신할 곳으로 하여, 리퀘스트 신호를 제1 관리장치(18a)에 송신한다.
[0119] 여기서, 반송 대차(6A)의 제어부(54A)는, 제1 관리장치(18a)로부터의 응답을 얻을 수 없던 경우에는, 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 선택한다. 반송 대차(6A)의 통신부(50A)는, 선택된 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 송신할 곳으로 하여, 리퀘스트 신호를 제2 관리장치(18b)에 송신한다.
[0120] 즉, 반송 대차(6A)의 제어부(54A)는, 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스 및 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스 양쪽 모두를 사전에 제어장치(8A)로부터 수신하고 있으므로, 즉석에서 스탠바이 측인 제2 관리장치(18b)를 경유하여 제1 통신 디바이스(14)와 통신할 수 있다. 이와 같이, 변형예 1에서는, 통신 경로의 전환(이중화)에 요하는 시간을 단축할 수 있다.
[0121] [2-4-2. 변형예 2]
변형예 2에서는, 제어장치(8A)의 통신부(56A)는, 단계 S201보다 전에(예컨대 단계 S101에 있어서), 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스 및 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 반송 대차(6A)에 미리 송신해 두어도 된다. 그 결과, 반송 대차(6A)는, 리퀘스트 신호를 제1 관리장치(18a) 및 제2 관리장치(18b)에 조기에 송신할 수 있어, 인터로크 처리를 위한 통신을 조기에 실행할 수 있다.
[0122] [2-4-3. 변형예 3]
변형예 3에서는, 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스 및 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스는, 반송 대차(6A)의 기억부(52A)에 이력(履歷)으로서 기억되어도 된다. 이 경우, 도 6의 처리가 반복 실행되는 상황에 있어서, 단계 S201, S202, S207 및 S208의 각 처리를 대신해, 반송 대차(6A)가, 제1 관리장치(18a)의 IP 어드레스 및 제2 관리장치(18b)의 IP 어드레스를 기억부(52A)로부터 읽어 내어도 된다.
[0123] (실시형태 3)
[3-1. 반송 시스템의 기능 구성]
도 7을 참조하면서, 실시형태 3에 따른 반송 시스템(2B)의 기능 구성에 대해 설명한다. 도 7은, 실시형태 3에 따른 반송 시스템(2B)의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
[0124] 도 7에 나타내는 바와 같이, 실시형태 3에 따른 반송 시스템(2B)에서는, 복수의 반송 대차로서, 제1 반송 대차(6Ba)와, 제2 반송 대차(6Bb)를 포함하고 있다. 제1 반송 대차(6Ba)는, 상기 실시형태 1에서 설명한 반송 대차(6)(도 2 참조)의 기능에 더해, 다음과 같은 기능을 가지고 있다. 즉, 제1 반송 대차(6Ba)의 제어부(54B)는, 예컨대 제1 반송 대차(6Ba)로부터 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)로 FOUP(4)(제1 피반송물의 일례이며, 이하, 「제1 FOUP(4)」라고 함)(도 1 참조)를 이재(언로딩)할 때 재치 포트(32a)의 상방에 다른 FOUP(4)(제2 피반송물의 일례이며, 이하, 「제2 FOUP(4)」라고 함)가 존재하는지의 여부를 관리장치(18B)에 문의한다. 제1 반송 대차(6Ba)의 제어부(54B)는, 해당 문의의 결과에 따라, 후술하는 제1 주행 계획 및 제2 주행 계획 중 어느 하나를 채용한다. 덧붙여, 제2 반송 대차(6Bb)의 제어부(54B)는, 제1 반송 대차(6Ba)의 제어부(54B)와 동일한 기능을 가지고 있다.
[0125] 여기서, 「재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재한다」란, 제2 FOUP(4)가 재치 포트(32a)에 놓여 있는 상태, 및, 제2 FOUP(4)가 재치 포트(32a)로부터 제2 반송 대차(6Bb)로 이재(픽업)되고 있는 도중의 상태를 의미한다.
[0126] 또한, 제1 통신 디바이스(14B)의 제어부(72B)는, 예컨대 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하는지의 여부를 나타내는 피반송물 정보를 생성한다. 이를 위해, 제1 통신 디바이스(14B)의 제어부(72B)는, 예컨대 제2 반송 대차(6Bb)와의 사이에 있어서의 인터로크 처리를 위한 통신에 근거하여, 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하는지의 여부를 판단한다. 덧붙여, 제2 통신 디바이스(16B)의 제어부(76B)는, 제1 통신 디바이스(14B)의 제어부(72B)와 동일한 기능을 가지고 있다.
[0127] 또한, 관리장치(18B)의 제어부(82B)는, 제1 통신 디바이스(14B)로부터 피반송물 정보를 취득한다. 관리장치(18B)의 통신부(78)는, 제1 반송 대차(6Ba)(또는 제2 반송 대차(6Bb))로부터의 상기한 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하는지의 여부의 문의에 따라, 취득한 피반송물 정보를 나타내는 리스폰스 신호를 제1 반송 대차(6Ba)(또는 제2 반송 대차(6Bb))에 송신한다.
[0128] [3-2. 반송 시스템의 동작]
다음으로, 도 8 및 도 9를 참조하면서, 실시형태 3에 따른 반송 시스템(2B)의 동작에 대해 설명한다. 도 8 및 도 9는, 실시형태 3에 따른 반송 시스템(2B)의 동작을 나타내는 시퀀스도이다.
[0129] 우선, 도 8을 참조하면서, 반송 시스템(2B)의 동작의 일례로서, 제1 반송 대차(6Ba)가 관리장치(18B)에 문의했을 때, 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하지 않는 경우의 동작에 대해 설명한다.
[0130] 도 8에 나타내는 바와 같이, 제어장치(8)의 통신부(56)는, 제어부(60)에 의해 생성된 제1 주행 지시 신호 및 제2 주행 지시 신호를 각각 제1 반송 대차(6Ba) 및 제2 반송 대차(6Bb)에 송신한다(S301).
[0131] 제1 주행 지시 신호는, 제1 반송 대차(6Ba)에 대해, 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)의 위치까지 주행하고, 또한, 제1 반송 대차(6Ba)로부터 재치 포트(32a)로 제1 FOUP(4)를 언로딩하도록 지시하기 위한 커맨드이다. 여기서, 「재치 포트(32a)의 위치」란, 재치 포트(32a)의 바로 위에 있어서의 레일(22)의 위치를 의미한다. 또한, 제2 주행 지시 신호는, 제2 반송 대차(6Bb)에 대해, 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)의 위치까지 주행하고, 또한, 재치 포트(32a)에 놓여 있는 제2 FOUP(4)를 픽업하도록 지시하기 위한 커맨드이다.
[0132] 제1 반송 대차(6Ba)는, 제어장치(8)로부터 송신된 제1 주행 지시 신호를 수신한다(S302). 또한, 제2 반송 대차(6Bb)는, 제어장치(8)로부터 송신된 제2 주행 지시 신호를 수신한다(S303).
[0133] 관리장치(18B)의 통신부(78)는, 제어부(82B)에 의해 생성된 리퀘스트 신호를 제1 통신 디바이스(14B)에 송신한다(S304). 리퀘스트 신호는, 제1 통신 디바이스(14B)에 대해, 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하는지의 여부를 나타내는 피반송물 정보를 송신하도록 요구하기 위한 커맨드이다. 덧붙여, 통신부(78)는, 일정한 주기로(예컨대 2∼3초마다) 리퀘스트 신호를 제1 통신 디바이스(14B)에 반복 송신한다.
[0134] 제1 통신 디바이스(14B)의 통신부(70)는, 관리장치(18B)로부터 송신된 리퀘스트 신호를 수신한다(S305). 제1 통신 디바이스(14B)의 제어부(72B)는, 수신된 리퀘스트 신호에 근거하여, 피반송물 정보를 생성한다.
[0135] 이 때, 제2 반송 대차(6Bb)에 의한 제2 FOUP(4)의 픽업이 이미 실행되었기 때문에, 제1 통신 디바이스(14B)의 제어부(72B)는, 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하지 않음을 나타내는 피반송물 정보를 생성한다. 참고로, 설명의 편의상, 도 8에 있어서, 제2 반송 대차(6Bb)에 의한 제2 주행 지시 신호에 근거한 처리의 도시(圖示)를 생략해 둔다.
[0136] 제1 통신 디바이스(14B)의 통신부(70)는, 피반송물 정보를 관리장치(18B)에 송신한다(S306). 관리장치(18B)의 통신부(78)는, 제1 통신 디바이스(14B)로부터 송신된 피반송물 정보를 수신한다(S307). 덧붙여, 상술한 단계 S304∼S307은, 일정한 주기로 반복 실행된다.
[0137] 제1 반송 대차(6Ba)는, 제1 주행 지시 신호를 수신한 후에, 제1 주행 지시 신호에 근거하여, 제1 주행 계획을 결정한다(S308). 제1 주행 계획은, 현재 위치에서 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)의 위치까지 주행하는 최단 경로인 제1 경로를 나타내는 주행 계획이다.
[0138] 제1 반송 대차(6Ba)의 통신부(50)는, 제1 주행 계획에 근거하여 재치 포트(32a)의 위치에 도착하였다고 가정한 경우에, 제1 반송 대차(6Ba)가 재치 포트(32a)의 위치에 도착한 타이밍(제1 시각에 상당)에 있어서 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하는지의 여부를 문의하기 위한 문의 신호를 관리장치(18B)에 송신한다(S309).
[0139] 관리장치(18B)의 통신부(78)는, 제1 반송 대차(6Ba)로부터 송신된 문의 신호를 수신한다(S310). 이에 의해, 관리장치(18B)의 통신부(78)는, 제어부(82B)에 의해 생성된 리스폰스 신호를 제1 반송 대차(6Ba)에 송신한다(S311). 리스폰스 신호는, 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하지 않음을 나타내는 신호이다.
[0140] 제1 반송 대차(6Ba)의 통신부(50)는, 관리장치(18B)로부터의 리스폰스 신호를 수신한다(S312). 이에 의해, 제1 반송 대차(6Ba)의 제어부(54B)는, 수신된 리스폰스 신호에 근거하여, 재치 포트(32a)로의 제1 FOUP(4)의 언로딩이 가능하다고 판정하고, 제1 주행 계획을 채용한다(S313). 그 결과, 제1 반송 대차(6Ba)는, 제1 주행 계획에 근거하여, 현재 위치에서 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)의 위치까지 제1 경로로 주행한다.
[0141] 그 후, 도 8에는 도시하지 않지만, 상기 실시형태 1과 마찬가지로, 도 4의 단계 S103 이후의 각 단계가 실행된다.
[0142] 다음으로, 도 9를 참조하면서, 반송 시스템(2B)의 동작의 일례로서, 제1 반송 대차(6Ba)가 관리장치(18B)에 문의했을 때, 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하는 경우의 동작에 대해 설명한다.
[0143] 도 9에 나타내는 바와 같이, 도 8에 나타낸 것과 마찬가지로, 단계 S301∼S305가 실행된다. 단계 S305 후에, 제1 통신 디바이스(14B)의 제어부(72B)는, 수신된 리퀘스트 신호에 근거하여, 피반송물 정보를 생성한다. 이 때, 제2 반송 대차(6Bb)에 의한 제2 FOUP(4)의 픽업이 아직 실행되지 않았기 때문에, 제1 통신 디바이스(14B)의 제어부(72B)는, 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재함을 나타내는 피반송물 정보를 생성한다. 참고로, 설명의 편의상, 도 9에 있어서, 제2 반송 대차(6Bb)에 의한 제2 주행 지시 신호에 근거한 처리의 도시를 생략해 둔다.
[0144] 제1 통신 디바이스(14B)의 통신부(70)는, 피반송물 정보를 관리장치(18B)에 송신한다(S306A). 그 후, 도 8의 단계 S307∼S310과 마찬가지로, 단계 S307A∼S310이 실행된다. 단계 S310 후에, 관리장치(18B)의 통신부(78)는, 제어부(82B)에 의해 생성된 리스폰스 신호를 제1 반송 대차(6Ba)에 송신한다(S311A). 리스폰스 신호는, 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재함을 나타내는 신호이다.
[0145] 제1 반송 대차(6Ba)의 통신부(50)는, 관리장치(18B)로부터의 리스폰스 신호를 수신한다(S312A). 이에 의해, 제1 반송 대차(6Ba)의 제어부(54B)는, 수신된 리스폰스 신호에 근거하여, 재치 포트(32a)로의 제1 FOUP(4)의 언로딩이 불가하다고 판정하고, 제2 주행 계획을 결정하고(S314), 결정한 제2 주행 계획을 채용한다(S315). 제2 주행 계획은, 제2 반송 대차(6Bb)에 의한 제2 FOUP(4)의 픽업이 완료되고, 또한, 제2 FOUP(4)가 재치 포트(32a)의 상방으로부터 멀어진 후에, 제1 반송 대차(6Ba)가 재치 포트(32a)의 위치에 도착하는 주회(周回) 경로인, 제1 경로보다 긴 제2 경로를 나타내는 주행 계획이다.
[0146] 이 때, 관리장치(18B)는, 제2 반송 대차(6Bb)에 의한 제2 FOUP(4)의 픽업이 개시되는 픽업 개시 시각 및 픽업에 요하는 과거의 시간 데이터에 근거하여, 픽업이 완료되는 픽업 완료 시각을 산출하고, 산출한 픽업 완료 시각을 제1 반송 대차(6Ba)에 송신해도 된다. 이에 의해, 제1 반송 대차(6Ba)의 제어부(54B)는, 관리장치(18B)로부터 송신된 픽업 완료 시각에 근거하여, 제2 주행 계획을 결정할 수 있다.
[0147] 그 결과, 제1 반송 대차(6Ba)는, 제2 주행 계획에 근거하여, 제2 반송 대차(6Bb)에 의한 제2 FOUP(4)의 픽업이 완료될 때까지 동안은 재치 포트(32a)의 위치를 우회하면서 주행하고, 픽업이 완료된 후에 제1 반송 대차(6Ba)가 재치 포트(32a)의 위치에 도착하도록 제2 경로로 주행한다.
[0148] 그 후, 도 9에는 도시하지 않지만, 상기 실시형태 1과 마찬가지로, 도 4의 단계 S103 이후의 각 단계가 실행된다.
[0149] [3-3. 효과]
본 실시형태에서는, 제1 반송 대차(6Ba)는, 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하지 않는 경우에, 비교적 짧은 제1 경로를 나타내는 제1 주행 계획을 채용한다(도 8 참조). 이에 의해, 제1 반송 대차(6Ba)는, 재치 포트(32a)의 위치까지 조기에 주행하여, 조기에 언로딩을 개시할 수 있다.
[0150] 한편, 제1 반송 대차(6Ba)는, 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하는 경우에, 제1 경로보다 긴 제2 경로를 나타내는 제2 주행 계획을 채용한다(도 9 참조). 이에 의해, 제1 반송 대차(6Ba)가 재치 포트(32a)까지 불필요하게 정지하는 일 없이 주행할 수 있기 때문에, 복수의 반송 대차에 의한 정체의 발생을 경감할 수 있다. 또한, 재치 포트(32a)에 제2 FOUP(4)가 놓여 있음에도 불구하고, 제1 반송 대차(6Ba)가 재치 포트(32a)의 위치까지 주행하여 언로딩을 개시함으로써 에러가 발생하는 등의 문제를 피할 수 있다.
[0151] 이상의 사실로부터, 제1 및 제2 FOUP(4)의 반송 효율을 높일 수 있다.
[0152] [3-4. 변형예 1]
본 실시형태에서는, 관리장치(18B)가 LAN 케이블(46)을 통해 제1 통신 디바이스(14B) 및 제2 통신 디바이스(16B)의 각각과 접속되어 있는 경우에 대해 설명하였지만, 관리장치(18B)가 무선 통신에만 대응하고 있는 경우에는, 예컨대 다음과 같이 구성해도 된다. 즉, 제1 반송 대차(6Ba)는, 인터로크 처리의 통신 상황을, 무선 액세스 포인트(20)를 통해 관리장치(18B)에 송신한다. 이에 의해, 관리장치(18B)는, 예컨대 제1 통신 디바이스(14B)에 문의를 하지 않고, 재치 포트(32a)의 상방에 제2 FOUP(4)가 존재하는지의 여부를 판정할 수 있다.
[0153] [3-5. 변형예 2]
본 실시형태에서는, 제어장치(8)가, 제1 주행 지시 신호 및 제2 주행 지시 신호를 각각 제1 반송 대차(6Ba) 및 제2 반송 대차(6Bb)에 송신하는 경우에 대해 설명하였지만, 예컨대 다음과 같이 구성해도 된다.
[0154] 즉, 제어장치(8)는, 제3 주행 지시 신호를 제3 반송 대차에 송신해도 된다. 제3 주행 지시 신호는, 제3 반송 대차에 대해, 재치 포트(32a)의 위치까지 주행하고, 또한, 재치 포트(32a)로부터 제3 반송 대차로 제3 FOUP를 픽업하도록 지시하기 위한 커맨드이다.
[0155] 이 경우, 관리장치(18)는, 리퀘스트 신호를 제1 통신 디바이스(14B)에 송신한다. 리퀘스트 신호는, 제1 통신 디바이스(14B)에 대해, 재치 포트(32a)의 상방에 제3 FOUP가 존재하는지의 여부를 나타내는 피반송물 정보를 송신하도록 요구하기 위한 커맨드이다.
[0156] 제1 통신 디바이스(14B)는, 관리장치(18B)로부터 송신된 리퀘스트 신호에 근거하여, 재치 포트(32a)의 상방에 제3 FOUP가 존재하는지의 여부를 나타내는 피반송물 정보를 관리장치(18B)에 송신한다. 관리장치(18B)는, 제1 통신 디바이스(14B)로부터 송신된 피반송물 정보를 수신한다.
[0157] 제3 반송 대차는, 제3 주행 지시 신호를 수신한 후에, 제3 주행 지시 신호에 근거하여, 제3 주행 계획을 결정한다. 제3 주행 계획은, 현재 위치에서 재치 포트(32a)의 위치까지 주행하는 최단 경로인 제3 경로를 나타내는 주행 계획이다.
[0158] 제3 반송 대차는, 제3 주행 계획에 근거하여 재치 포트(32a)의 위치에 도착하였다고 가정한 경우에, 제3 반송 대차가 재치 포트(32a)의 위치에 도착한 타이밍(제2 시각에 상당)에 있어서 재치 포트(32a)의 상방에 제3 FOUP가 존재하는지의 여부를 문의하기 위한 문의 신호를 관리장치(18B)에 송신한다.
[0159] 관리장치(18B)는, 제3 반송 대차로부터 송신된 문의 신호에 근거하여, 리스폰스 신호를 제3 반송 대차에 송신한다.
[0160] 여기서, 리스폰스 신호가, 재치 포트(32a)의 상방에 제3 FOUP가 존재함을 나타내는 신호인 경우에는, 제3 반송 대차는, 해당 리스폰스 신호에 근거하여, 재치 포트(32a)로부터 제3 반송 대차로의 제3 FOUP의 픽업이 가능하다고 판정하고, 제3 주행 계획을 채용한다. 그 결과, 제3 반송 대차는, 제3 주행 계획에 근거하여, 현재 위치에서 재치 포트(32a)의 위치까지 제3 경로로 주행한다.
[0161] 한편, 리스폰스 신호가, 재치 포트(32a)의 상방에 제3 FOUP가 존재하지 않음을 나타내는 신호인 경우에는, 제3 반송 대차는, 해당 리스폰스 신호에 근거하여, 재치 포트(32a)로부터 제3 반송 대차로의 제3 FOUP의 픽업이 불가하다고 판정하고, 제4 주행 계획을 결정하고, 결정한 제4 주행 계획을 채용한다. 제4 주행 계획은, 재치 포트(32a)로의 제3 FOUP의 재치가 완료된 후에, 제3 반송 대차가 재치 포트(32a)의 위치에 도착하는 주회 경로인, 제3 경로보다 긴 제4 경로를 나타내는 주행 계획이다. 그 결과, 제3 반송 대차는, 제4 주행 계획에 근거하여, 재치 포트(32a)로의 제3 FOUP의 재치가 완료될 때까지 동안은 재치 포트(32a)의 위치를 우회하면서 주행하고, 픽업이 완료된 후에 제3 반송 대차가 재치 포트(32a)의 위치에 도착하도록 제4 경로로 주행한다.
[0162] (실시형태 4)
[4-1. 반송 시스템의 기능 구성]
도 10을 참조하면서, 실시형태 4에 따른 반송 시스템(2C)의 기능 구성에 대해 설명한다. 도 10은, 실시형태 4에 따른 반송 시스템(2C)의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
[0163] 도 10에 나타내는 바와 같이, 실시형태 4에 따른 반송 시스템(2C)에서는, 관리장치(18C)의 구성이 상기 실시형태 1과 다르다. 구체적으로, 관리장치(18C)의 제어부(82C)는 하트 비트 신호를 생성하고, 통신부(78)는, 생성된 하트 비트 신호를 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각에 송신한다. 제어부(82C)는, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각으로부터의 하트 비트 신호에 대한 응답의 유무에 따라, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각이 통신 가능한 상태인지의 여부를 판정한다.
[0164] [4-2. 관리장치의 동작]
다음으로, 도 11을 참조하면서, 실시형태 4에 따른 관리장치(18C)의 동작에 대해 설명한다. 도 11은, 실시형태 4에 따른 관리장치(18C)의 동작을 나타내는 플로 차트이다.
[0165] 도 11에 나타내는 바와 같이, 우선, 관리장치(18C)의 통신부(78)는, 제어부(82C)에 의해 생성된 하트 비트 신호를, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각에 송신한다(S401).
[0166] 관리장치(18C)의 제어부(82C)는, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각으로부터의 하트 비트 신호에 대한 응답의 유무를 판정한다(S402). 제1 통신 디바이스(14)(또는 제2 통신 디바이스(16))로부터 하트 비트 신호에 대한 응답이 있던 경우에는(S402에서 YES), 관리장치(18C)의 제어부(82C)는, 제1 통신 디바이스(14)(또는 제2 통신 디바이스(16))가 통신 가능한 상태라고 판정한다(S403).
[0167] 한편, 제1 통신 디바이스(14)(또는 제2 통신 디바이스(16))로부터 하트 비트 신호에 대한 응답이 없는 경우에는(S402에서 NO), 관리장치(18C)의 제어부(82C)는, 제1 통신 디바이스(14)(또는 제2 통신 디바이스(16))가 통신 불능인 상태라고 판정한다(S404).
[0168] 단계 S403 또는 S404 후에, 관리장치(18C)의 제어부(82C)는, 상기 판정 결과를 기억부(80)에 기억시킨다(S405). 그 후, 관리장치(18C)의 제어부(82C)는, 반송 대차(6)로부터의 문의 신호의 유무를 판정한다(S406).
[0169] 예컨대, 반송 대차(6)는, 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)와의 사이에서 인터로크 처리를 행하기 전에, 관리장치(18C)에 대해, 제1 통신 디바이스(14)가 통신 가능한 상태인지의 여부를 문의하기 위한 문의 신호를 송신한다. 관리장치(18C)의 제어부(82C)는, 반송 대차(6)로부터 문의 신호가 송신된 경우에는(S406에서 YES), 기억부(80)에 기억된 판정 결과를 나타내는 판정 결과 신호를 반송 대차(6)에 송신한다(S407). 덧붙여, 관리장치(18C)의 제어부(82C)는, 반송 대차(6)로부터 문의 신호가 송신되지 않는 경우에는(S406에서 NO), 상술한 단계 S406으로 되돌아간다.
[0170] 덧붙여, 반송 대차(6)는, 예컨대 제1 통신 디바이스(14)가 통신 가능한 상태라는 판정 결과를 수신한 경우에는, 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)와의 사이에서 인터로크 처리를 개시한다. 한편, 반송 대차(6)는, 예컨대 제1 통신 디바이스(14)가 통신 불능인 상태라는 판정 결과를 수신한 경우에는, 그 내용을 제어장치(8)에 통지한다. 이 경우, 반송 대차(6)는, 제어장치(8)로부터의 지시에 따라, 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)와의 사이에서의 인터로크 처리를 보류하고, 제1 반도체 제조장치(10)를 우회하도록 주행한다.
[0171] 그 후, 관리장치(18C)가 처리를 계속하는 경우에는(S408에서 YES), 상술한 단계 S401로 되돌아간다. 한편, 관리장치(18C)가 처리를 계속하지 않는 경우에는(S408에서 NO), 처리를 종료한다.
[0172] [4-3. 효과]
본 실시형태에서는, 관리장치(18C)는, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각이 통신 가능한 상태인지의 여부를 파악할 수 있다. 반송 대차(6)는, 관리장치(18C)의 판정 결과에 따라, 예컨대 제1 반도체 제조장치(10)의 재치 포트(32a)와의 사이에서 인터로크 처리를 개시하는지의 여부를 정확히 판정할 수 있다.
[0173] 예컨대, 반송 대차(6)는, 제1 통신 디바이스(14)와 일시적으로 통신할 수 없는 경우에, 소정의 경로를 주회하고 나서 재치 포트(32a)에 도착하는 주행 경로를 나타내는 주행 계획을 채용해도 된다. 이에 의해, 반송 대차(6)는, 제1 통신 디바이스(14)와의 사이의 통신이 회복된 후에, 재치 포트(32a)에 도착할 수 있다. 이에 의해, 반송 대차(6)가 재치 포트(32a)에 도착하고 나서 통신의 회복을 기다리지 않아도 되기 때문에, 복수의 반송 대차(6)에 의한 정체의 발생을 경감할 수 있어, 반송 효율을 높일 수 있다.
[0174] 또한, 본 실시형태에서 설명한 관리장치(18C)를 구비하고 있지 않는 비교예에 따른 반송 시스템에서는, 예컨대 총 8000대의 통신 디바이스가 설치되어 있는 경우, 상위 시스템으로부터 8000대의 모든 통신 디바이스에 대해 하트 비트 신호를 송신할 필요가 있다. 그러나, 이와 같은 경우에는, 무선 통신 경로의 상위에서 하위로의 LAN 대역이 압박되기 때문에, 반송 대차(6)의 무선 통신에 지장이 생길 우려가 있다.
[0175] 이에 반해, 본 실시형태에서는, 예컨대, 총 8000대의 통신 디바이스를 80개의 관리장치(18C)로 분담하여 관리할 수 있다. 이 경우, 관리장치(18C)는 1대당, 100대의 통신 디바이스의 각각에 대해 하트 비트 신호를 송신한다. 이에 의해, 무선 통신 경로의 LAN 대역이 압박되는 것을 억제할 수 있다.
[0176] 또한, 상위 시스템은, 8000대의 모든 통신 디바이스의 통신 상태를 확인하는 경우에는, 80대의 관리장치(18C)의 각각으로부터, 대응하는 100대분의 통신 디바이스의 통신 상황을 일괄적으로 효율적으로 취득할 수 있다.
[0177] [4-4. 변형예]
본 실시형태에서는, 관리장치(18C)가 LAN 케이블(46)을 통해 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각과 접속되어 있는 경우에 대해 설명하였지만, 관리장치(18C)가 무선 통신에만 대응하고 있는 경우에는, 예컨대 다음과 같이 구성해도 된다. 즉, 반송 대차(6)는, 예컨대 무선 액세스 포인트(20)를 통해 제1 통신 디바이스(14)(또는 제2 통신 디바이스(16))에 대해 인터로크 처리의 통신을 실행하려고 했을 때, 제1 통신 디바이스(14)(또는 제2 통신 디바이스(16))로부터의 응답이 없는 경우에는, 제1 통신 디바이스(14)(또는 제2 통신 디바이스(16))가 통신 불능인 상태라고 판정해도 된다.
[0178] 이 경우, 반송 대차(6)는, 해당 판정 결과를, 무선 액세스 포인트(20)를 통해 관리장치(18C)에 통지한다. 이에 의해, 관리장치(18C)는, 제1 통신 디바이스(14) 및 제2 통신 디바이스(16)의 각각이 통신 가능한 상태인지의 여부를 파악할 수 있다.
[0179] (다른 변형예 등)
이상, 본 발명의 반송 시스템의 제어 방법, 반송 시스템 및 관리장치에 대해, 실시형태 1∼4에 근거하여 설명하였으나, 본 발명은, 상기 각 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 각 실시형태에 대해 당업자가 생각해 내는 변형을 가하여 얻어지는 형태, 및, 상기 각 실시형태에 있어서의 구성 요소를 임의로 조합하여 실현되는 다른 형태도 본 발명에 포함된다.
[0180] 상기 각 실시형태에서는, 제1 반도체 제조장치(10)에 대해 제1 통신 디바이스(14(14B))를 1대 접속하였지만, 이에 한정되지 않고, 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)마다 제1 통신 디바이스(14(14B))를 1대씩 접속해도 된다. 이 경우에는, 관리장치(18(18a, 18b, 18B, 18C))에 기억된 관리 테이블은, 예컨대, 제1 반도체 제조장치(10)의 스테이션 번호와, 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)의 각 로드 포트 번호와, 복수의 재치 포트(32a, 32b, 32c)에 각각 접속된 복수의 제1 통신 디바이스(14(14B))의 각 IP 어드레스가 대응지어진다. 이 경우에는, 스테이션 번호 및 로드 포트 번호의 조합이, FOUP(4)의 이재 위치를 나타내는 이재 위치 정보의 일례이다.
[0181] 상기 각 실시형태에서는, 반송 대차(6(6A, 6Ba, 6Bb))는, 무선 액세스 포인트(20)를 통해, 제1 통신 디바이스(14(14B)) 및 제2 통신 디바이스(16(16B))의 각각과 무선 통신하도록 하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 반송 대차(6(6A, 6Ba, 6Bb))는, 무선 액세스 포인트(20)를 통하지 않고, 제1 통신 디바이스(14(14B)) 및 제2 통신 디바이스(16(16B))의 각각과 직접적으로 무선 통신해도 된다.
[0182] 본 발명의 반송 시스템은, 예컨대 천장에 설치된 레일을 따라 주행하는 반송 대차에 의해 FOUP를 반송하기 위한 반도체 제조 시스템 등에 적용할 수 있다.
2, 2A, 2B, 2C: 반송 시스템
4: FOUP(제1 FOUP, 제2 FOUP)
6, 6A: 반송 대차
6Ba: 제1 반송 대차
6Bb: 제2 반송 대차
8, 8A: 제어장치
10: 제1 반도체 제조장치
12: 제2 반도체 제조장치
14, 14B: 제1 통신 디바이스
16, 16B: 제2 통신 디바이스
18, 18B, 18C: 관리장치
18a: 제1 관리장치
18b: 제2 관리장치
20: 무선 액세스 포인트
22: 레일
24: 급전 경로
26: 파지부
28: 피더선
30a, 30b, 30c, 34a, 34b, 34c: 반입출구
32a, 32b, 32c, 36a, 36b, 36c: 재치 포트
38, 42: 패럴렐 케이블
40, 46: LAN 케이블
48: 무선 네트워크
50, 50A, 56, 56A, 62, 66, 70, 74, 78, 78a, 78b: 통신부
52, 52A, 58, 58A, 80, 80a, 80b: 기억부
54, 54A, 54B, 60, 60A, 64, 68, 72, 72B, 76, 76B, 82, 82a, 82b, 82B, 82C: 제어부

Claims (14)

  1. 피반송물(被搬送物)을 반송(搬送)하기 위한 복수의 반송 대차(臺車)와, 상기 복수의 반송 대차의 각각과의 사이에서 상기 피반송물이 이재(移載)되는 복수의 이재장치와, 상기 복수의 이재장치에 각각 접속된 복수의 통신 디바이스와, 상기 복수의 통신 디바이스를 관리하는 관리장치를 구비하는 반송 시스템의 제어 방법으로서,
    상기 복수의 반송 대차의 각각은, 상기 복수의 이재장치 중 특정한 이재장치에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 특정한 이재 위치 정보를 기억하는 제1 기억부를 갖고,
    상기 관리장치는, 상기 복수의 이재장치의 각각에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 이재 위치 정보와, 해당 이재장치에 접속되어 있는 상기 통신 디바이스의 수신처를 나타내는 통신 디바이스 수신처 정보와의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하는 제2 기억부를 가지며,
    상기 제어 방법은,
    (a) 상기 복수의 반송 대차 중 특정한 반송 대차가, 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 관리장치에 송신하는 단계와,
    (b) 상기 관리장치가, 상기 특정한 반송 대차로부터 수신한 상기 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 대응 정보로부터 추출하고, 추출한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 특정한 반송 대차에 송신하는 단계와,
    (c) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 관리장치로부터 수신한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 이용하여, 상기 복수의 통신 디바이스 중 상기 특정한 이재장치에 접속되어 있는 특정한 통신 디바이스에 대해, 상기 특정한 이재장치와 상기 특정한 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물을 이재하기 위한 통신을 실행하는 단계를 포함하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송 시스템은, 추가로, 상기 복수의 반송 대차의 각각의 주행을 제어하는 제어장치를 구비하고,
    상기 제어 방법은, 추가로,
    (d) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터, 상기 관리장치의 수신처를 나타내는 관리장치 수신처 정보를 수신하는 단계를 포함하고,
    상기 (a)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 관리장치 수신처 정보를 이용하여, 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 관리장치에 송신하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 반송 시스템은, 제1 관리장치 및 제2 관리장치를 포함하는 복수의 상기 관리장치를 구비하고,
    상기 (d)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터, 상기 복수의 관리장치의 각각의 수신처를 나타내는 복수의 상기 관리장치 수신처 정보를 수신하고,
    상기 (a)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 복수의 관리장치 수신처 정보 중에서 상기 제1 관리장치의 수신처를 나타내는 제1 관리장치 수신처 정보를 선택하고, 상기 제1 관리장치 수신처 정보를 이용하여 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 제1 관리장치에 송신하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제어 방법은, 추가로,
    (e) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 (a)에 있어서 상기 제1 관리장치와 통신할 수 없는 경우에, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 복수의 관리장치 수신처 정보 중에서 상기 제2 관리장치의 수신처를 나타내는 제2 관리장치 수신처 정보를 선택하고, 상기 제2 관리장치 수신처 정보를 이용하여 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 제2 관리장치에 송신하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 반송 시스템은, 제1 관리장치 및 제2 관리장치를 포함하는 복수의 상기 관리장치를 구비하고,
    상기 (d)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터, 상기 제1 관리장치의 수신처를 나타내는 제1 관리장치 수신처 정보를 수신하고,
    상기 (a)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 제1 관리장치 수신처 정보를 이용하여 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 제1 관리장치에 송신하고,
    상기 제어 방법은, 추가로,
    (f) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 (a)에 있어서 상기 제1 관리장치와 통신할 수 없는 경우에, 상기 제어장치로부터, 상기 제2 관리장치의 수신처를 나타내는 제2 관리장치 수신처 정보를 수신하는 단계와,
    (g) 상기 특정한 반송 대차가, 상기 제어장치로부터 수신한 상기 제2 관리장치 수신처 정보를 이용하여 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 제2 관리장치에 송신하는 단계를 포함하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제어 방법은, 추가로,
    (h) 상기 제어장치가, 상기 복수의 반송 대차 중 제1 반송 대차에 대해, 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하고, 또한, 상기 제1 반송 대차로부터 상기 특정한 이재장치로 제1 피반송물을 이재하도록 지시하기 위한 제1 주행 지시 신호를 송신하는 단계와,
    (i) 상기 관리장치가, 상기 특정한 이재장치의 상방에 제2 피반송물이 존재하는지의 여부를 나타내는 피반송물 정보를 취득하는 단계와,
    (j) 상기 제1 반송 대차가, 상기 제1 주행 지시 신호를 수신한 후에, 현재 위치에서 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하는 제1 경로를 나타내는 제1 주행 계획을 결정하는 단계와,
    (k) 상기 제1 반송 대차가, 상기 제1 주행 계획에 근거하여 상기 특정한 이재장치의 위치에 제1 시각에 도착하였다고 가정한 경우에, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제2 피반송물이 상기 제1 시각에 존재하는지의 여부를 상기 관리장치에 문의하는 단계와,
    (l) 상기 제1 반송 대차가, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제2 피반송물이 존재하지 않는다는 상기 문의의 결과를 상기 관리장치로부터 수신한 경우에는, 상기 제1 주행 계획을 채용하고, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제2 피반송물이 존재한다는 상기 문의의 결과를 상기 관리장치로부터 수신한 경우에는, 상기 제1 주행 계획과는 다른 제2 주행 계획을 결정하고, 또한, 결정한 상기 제2 주행 계획을 채용하는 단계를 포함하고,
    상기 제2 주행 계획은, 상기 특정한 이재장치로부터 상기 복수의 반송 대차 중 제2 반송 대차로의 상기 제2 피반송물의 이재가 완료되고, 또한, 상기 제2 피반송물이 상기 특정한 이재장치의 상방으로부터 멀어진 후에, 상기 제1 반송 대차가 상기 특정한 이재장치의 위치에 도착하는, 상기 제1 경로보다 긴 제2 경로를 나타내는
    반송 시스템의 제어 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제어 방법은, 추가로,
    (m) 상기 제어장치가, 상기 복수의 반송 대차 중 제3 반송 대차에 대해, 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하고, 또한, 상기 특정한 이재장치로부터 상기 제3 반송 대차로 제3 피반송물을 이재하도록 지시하기 위한 제3 주행 지시 신호를 송신하는 단계와,
    (n) 상기 관리장치가, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제3 피반송물이 존재하는지의 여부를 나타내는 피반송물 정보를 취득하는 단계와,
    (o) 상기 제3 반송 대차가, 상기 제3 주행 지시 신호를 수신한 후에, 현재 위치에서 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하는 제3 경로를 나타내는 제3 주행 계획을 결정하는 단계와,
    (p) 상기 제3 반송 대차가, 상기 제3 주행 계획에 근거하여 상기 특정한 이재장치의 위치에 제2 시각에 도착하였다고 가정한 경우에, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제3 피반송물이 상기 제2 시각에 존재하는지의 여부를 상기 관리장치에 문의하는 단계와,
    (q) 상기 제3 반송 대차가, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제3 피반송물이 존재한다는 상기 문의의 결과를 상기 관리장치로부터 수신한 경우에는, 상기 제3 주행 계획을 채용하고, 상기 특정한 이재장치의 상방에 상기 제3 피반송물이 존재하지 않는다는 상기 문의의 결과를 상기 관리장치로부터 수신한 경우에는, 상기 제3 주행 계획과는 다른 제4 주행 계획을 결정하고, 또한, 결정한 상기 제4 주행 계획을 채용하는 단계를 포함하고,
    상기 제4 주행 계획은, 상기 특정한 이재장치로의 상기 제3 피반송물의 재치(載置)가 완료된 후에, 상기 제3 반송 대차가 상기 특정한 이재장치의 위치에 도착하는, 상기 제3 경로보다 긴 제4 경로를 나타내는
    반송 시스템의 제어 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제어 방법은, 추가로,
    (r) 상기 제어장치가, 상기 특정한 이재장치에 상기 제2 피반송물이 놓여 있는 상태로, 상기 제2 반송 대차에 대해, 상기 특정한 이재장치의 위치까지 주행하고, 또한, 상기 특정한 이재장치로부터 상기 제2 반송 대차로 상기 제2 피반송물을 이재하도록 지시하기 위한 제2 주행 지시 신호를 송신하는 단계를 포함하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 반송 시스템은, 추가로, 무선 액세스 포인트를 구비하고,
    상기 (a)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 무선 액세스 포인트를 통해, 상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 관리장치에 송신하고,
    상기 (b)에서는, 상기 관리장치가, 상기 무선 액세스 포인트를 통해, 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 특정한 반송 대차에 송신하고,
    상기 (c)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 무선 액세스 포인트를 통해, 상기 특정한 통신 디바이스에 대해 상기 통신을 실행하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제어 방법은, 추가로,
    (s) 상기 (c)에 있어서, 상기 특정한 반송 대차가 상기 무선 액세스 포인트를 통해 상기 특정한 통신 디바이스에 대해 상기 통신을 실행하려고 했을 때, 상기 특정한 통신 디바이스로부터의 응답이 없는 경우에는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 특정한 통신 디바이스가 통신 불능인 상태라고 판정하고, 해당 판정 결과를 상기 무선 액세스 포인트를 통해 상기 관리장치에 통지하는 단계를 포함하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제어 방법은, 추가로,
    (t) 상기 관리장치가, 상기 복수의 통신 디바이스의 각각에 하트 비트 신호를 송신하는 단계와,
    (u) 상기 관리장치가, 상기 복수의 통신 디바이스 중 어느 한 통신 디바이스로부터 상기 하트 비트 신호에 대한 응답이 있던 경우에는, 해당 통신 디바이스가 통신 가능한 상태라고 판정하고, 상기 복수의 통신 디바이스 중 어느 한 통신 디바이스로부터 상기 하트 비트 신호에 대한 응답이 없는 경우에는, 해당 통신 디바이스가 통신 불능인 상태라고 판정하는 단계를 포함하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 대응 정보는, 추가로, 상기 이재 위치 정보 및 상기 통신 디바이스 수신처 정보에 대응지어진, 상기 통신 디바이스의 통신 속성을 나타내는 통신 속성 정보를 포함하고,
    상기 (b)에서는, 상기 관리장치가, 상기 특정한 반송 대차로부터 수신한 상기 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보 및 특정한 통신 속성 정보를 상기 대응 정보로부터 추출하고, 추출한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보 및 상기 특정한 통신 속성 정보를 상기 특정한 반송 대차에 송신하고,
    상기 (c)에서는, 상기 특정한 반송 대차가, 상기 관리장치로부터 수신한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보 및 상기 특정한 통신 속성 정보를 이용하여, 상기 특정한 통신 디바이스에 대해 상기 통신을 실행하는
    반송 시스템의 제어 방법.
  13. 피반송물을 반송하기 위한 반송 시스템으로서,
    상기 피반송물을 반송하기 위한 복수의 반송 대차와,
    상기 복수의 반송 대차의 각각과의 사이에서 상기 피반송물이 이재되는 복수의 이재장치와,
    상기 복수의 이재장치에 각각 접속된 복수의 통신 디바이스와,
    상기 복수의 통신 디바이스를 관리하는 관리장치를 구비하고,
    상기 복수의 반송 대차의 각각은,
    상기 복수의 이재장치 중 특정한 이재장치에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 특정한 이재 위치 정보를 기억하는 제1 기억부와,
    상기 특정한 이재 위치 정보를 상기 관리장치에 송신하는 제1 통신부를 갖고,
    상기 관리장치는,
    상기 복수의 이재장치의 각각에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 이재 위치 정보와, 해당 이재장치에 접속되어 있는 상기 통신 디바이스의 수신처를 나타내는 통신 디바이스 수신처 정보와의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하는 제2 기억부와,
    상기 복수의 반송 대차 중 특정한 반송 대차로부터 수신한 상기 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 대응 정보로부터 추출하는 제어부와,
    추출된 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 특정한 반송 대차에 송신하는 제2 통신부를 가지며,
    상기 특정한 반송 대차의 상기 제1 통신부는, 추가로, 상기 관리장치로부터 수신한 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 이용하여, 상기 복수의 통신 디바이스 중 상기 특정한 이재장치에 접속되어 있는 특정한 통신 디바이스에 대해, 상기 특정한 이재장치와 상기 특정한 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물을 이재하기 위한 통신을 실행하는
    반송 시스템.
  14. 반송 대차와의 사이에서 피반송물이 이재되는 복수의 이재장치에 각각 접속된 복수의 통신 디바이스를 관리하는 관리장치로서,
    상기 복수의 이재장치의 각각에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 이재 위치 정보와, 해당 이재장치에 접속되어 있는 상기 통신 디바이스의 수신처를 나타내는 통신 디바이스 수신처 정보와의 대응 관계를 나타내는 대응 정보를 기억하는 기억부와,
    상기 반송 대차로부터, 상기 복수의 이재장치 중 특정한 이재장치에 있어서의 상기 피반송물의 이재 위치를 나타내는 특정한 이재 위치 정보를 수신하는 통신부와,
    수신한 상기 특정한 이재 위치 정보에 대응하는 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 대응 정보로부터 추출하는 제어부를 구비하고,
    상기 통신부는, 추출된 상기 특정한 통신 디바이스 수신처 정보를 상기 반송 대차에 송신하는
    관리장치.
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