JPWO2019138802A1 - 搬送システムの制御方法、搬送システム及び管理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[1−1.搬送システムの概要]
まず、図1を参照しながら、実施の形態1に係る搬送システム2の概要について説明する。図1は、実施の形態1に係る搬送システム2の概要を示す図である。
次に、図2及び図3を参照しながら、実施の形態1に係る搬送システム2の機能構成について説明する。図2は、実施の形態1に係る搬送システム2の機能構成を示すブロック図である。図3は、実施の形態1に係る管理テーブルの一例を示す図である。
次に、図4を参照しながら、実施の形態1に係る搬送システム2の動作について説明する。図4は、実施の形態1に係る搬送システム2の動作を示すシーケンス図である。
次に、本実施の形態に係る搬送システム2により得られる効果について、比較例に係る搬送システムと対比しながら説明する。
本実施の形態の管理テーブルでは、第1の半導体製造装置10及び第2の半導体製造装置12の各ステーション番号と、第1の通信デバイス14及び第2の通信デバイス16の各IPアドレスとが対応付けられていたが、これに加えて、第1の通信デバイス14及び第2の通信デバイス16の各通信属性を示す通信属性情報が対応付けられてもよい。通信属性情報は、例えば、a)通信方法(無線通信か有線通信かの区別)、b)無線通信のチャンネル情報、及び、c)無線通信のSSID(Service Set Identifier)等を含む。
[2−1.搬送システムの機能構成]
次に、図5を参照しながら、実施の形態2に係る搬送システム2Aの機能構成について説明する。図5は、実施の形態2に係る搬送システム2Aの機能構成を示すブロック図である。なお、以下の各実施の形態において、上記実施の形態1と同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。
次に、図6を参照しながら、実施の形態2に係る搬送システム2Aの動作について説明する。図6は、実施の形態2に係る搬送システム2Aの動作を示すシーケンス図である。なお、図6において、上記実施の形態1の図4と同一の処理には同一のステップ番号を付して、その説明を省略する。
本実施の形態では、アクティブ側の第1の管理装置18aとスタンバイ側の第2の管理装置18bとが設けられているので、冗長化を図ることができる。このような構成であっても、第1の管理装置18a及び第2の管理装置18bの各々が管理テーブルを記憶することにより、複数の通信デバイスの各IPアドレスを一元的に管理することができる。
[2−4−1.変形例1]
本実施の形態では、上述したステップS201で、制御装置8Aの通信部56Aは、第1の管理装置18aのIPアドレスのみを搬送台車6Aに送信した。このような処理に代えて、変形例1では、通信部56Aは、ステップS201において、第1の管理装置18aのIPアドレス及び第2の管理装置18bのIPアドレスを搬送台車6Aに同時に送信してもよい。この時、通信部56Aは、第1の管理装置18aがアクティブ側、第2の管理装置18bがスタンバイ側であることを示す情報も搬送台車6Aに送信する。
変形例2では、制御装置8Aの通信部56Aは、ステップS201よりも前に(例えばステップS101において)、第1の管理装置18aのIPアドレス及び第2の管理装置18bのIPアドレスを搬送台車6Aに予め送信しておいてもよい。その結果、搬送台車6Aは、リクエスト信号を第1の管理装置18a及び第2の管理装置18bに早期に送信することができ、インターロック処理のための通信を早期に実行することができる。
変形例3では、第1の管理装置18aのIPアドレス及び第2の管理装置18bのIPアドレスは、搬送台車6Aの記憶部52Aに履歴として記憶されてもよい。この場合、図6の処理が繰り返し実行される状況において、ステップS201,S202,S207及びS208の各処理に代えて、搬送台車6Aが、第1の管理装置18aのIPアドレス及び第2の管理装置18bのIPアドレスを記憶部52Aから読み出してもよい。
[3−1.搬送システムの機能構成]
図7を参照しながら、実施の形態3に係る搬送システム2Bの機能構成について説明する。図7は、実施の形態3に係る搬送システム2Bの機能構成を示すブロック図である。
次に、図8及び図9を参照しながら、実施の形態3に係る搬送システム2Bの動作について説明する。図8及び図9は、実施の形態3に係る搬送システム2Bの動作を示すシーケンス図である。
本実施の形態では、第1の搬送台車6Baは、載置ポート32aの上方に第2のFOUP4が存在しない場合に、比較的短い第1の経路を示す第1の走行計画を採用する(図8参照)。これにより、第1の搬送台車6Baは、載置ポート32aの位置まで早期に走行して、早期に荷降ろしを開始することができる。
本実施の形態では、管理装置18BがLANケーブル46を介して第1の通信デバイス14B及び第2の通信デバイス16Bの各々と接続されている場合について説明したが、管理装置18Bが無線通信のみに対応している場合には、例えば次のように構成してもよい。すなわち、第1の搬送台車6Baは、インターロック処理の通信状況を、無線アクセスポイント20を介して管理装置18Bに送信する。これにより、管理装置18Bは、例えば第1の通信デバイス14Bに問い合わせを行うことなく、載置ポート32aの上方に第2のFOUP4が存在するか否かを判定することができる。
本実施の形態では、制御装置8が、第1の走行指示信号及び第2の走行指示信号をそれぞれ第1の搬送台車6Ba及び第2の搬送台車6Bbに送信する場合について説明したが、例えば次のように構成してもよい。
[4−1.搬送システムの機能構成]
図10を参照しながら、実施の形態4に係る搬送システム2Cの機能構成について説明する。図10は、実施の形態4に係る搬送システム2Cの機能構成を示すブロック図である。
次に、図11を参照しながら、実施の形態4に係る管理装置18Cの動作について説明する。図11は、実施の形態4に係る管理装置18Cの動作を示すフローチャートである。
本実施の形態では、管理装置18Cは、第1の通信デバイス14及び第2の通信デバイス16の各々が通信可能な状態であるか否かを把握することができる。搬送台車6は、管理装置18Cの判定結果に応じて、例えば第1の半導体製造装置10の載置ポート32aとの間でインターロック処理を開始するか否かを的確に判定することができる。
本実施の形態では、管理装置18CがLANケーブル46を介して第1の通信デバイス14及び第2の通信デバイス16の各々と接続されている場合について説明したが、管理装置18Cが無線通信のみに対応している場合には、例えば次のように構成してもよい。すなわち、搬送台車6は、例えば無線アクセスポイント20を介して第1の通信デバイス14(又は第2の通信デバイス16)に対してインターロック処理の通信を実行しようとした際に、第1の通信デバイス14(又は第2の通信デバイス16)からの応答が無い場合には、第1の通信デバイス14(又は第2の通信デバイス16)が通信不能な状態であると判定してもよい。
以上、本発明の搬送システムの制御方法、搬送システム及び管理装置について、実施の形態1〜4に基づいて説明したが、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものではない。上記各実施の形態に対して当業者が思い付く変形を施して得られる形態、及び、上記各実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて実現される別の形態も本発明に含まれる。
4 FOUP(第1のFOUP、第2のFOUP)
6,6A 搬送台車
6Ba 第1の搬送台車
6Bb 第2の搬送台車
8,8A 制御装置
10 第1の半導体製造装置
12 第2の半導体製造装置
14,14B 第1の通信デバイス
16,16B 第2の通信デバイス
18,18B,18C 管理装置
18a 第1の管理装置
18b 第2の管理装置
20 無線アクセスポイント
22 レール
24 給電経路
26 把持部
28 フィーダー線
30a,30b,30c,34a,34b,34c 搬入出口
32a,32b,32c,36a,36b,36c 載置ポート
38,42 パラレルケーブル
40,46 LANケーブル
48 無線ネットワーク
50,50A,56,56A,62,66,70,74,78,78a,78b 通信部
52,52A,58,58A,80,80a,80b 記憶部
54,54A,54B,60,60A,64,68,72,72B,76,76B,82,82a,82b,82B,82C 制御部
Claims (14)
- 被搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記複数の搬送台車の各々との間で前記被搬送物が移載される複数の移載装置と、前記複数の移載装置にそれぞれ接続された複数の通信デバイスと、前記複数の通信デバイスを管理する管理装置と、を備える搬送システムの制御方法であって、
前記複数の搬送台車の各々は、前記複数の移載装置のうちの特定の移載装置における前記被搬送物の移載位置を示す特定の移載位置情報を記憶する第1の記憶部を有し、
前記管理装置は、前記複数の移載装置の各々における前記被搬送物の移載位置を示す移載位置情報と、当該移載装置に接続されている前記通信デバイスの宛先を示す通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶する第2の記憶部を有し、
前記制御方法は、
(a)前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信するステップと、
(b)前記管理装置が、前記特定の搬送台車から受信した前記特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を前記対応情報から抽出し、抽出した前記特定の通信デバイス宛先情報を前記特定の搬送台車に送信するステップと、
(c)前記特定の搬送台車が、前記管理装置から受信した前記特定の通信デバイス宛先情報を利用して、前記複数の通信デバイスのうちの前記特定の移載装置に接続されている特定の通信デバイスに対して、前記特定の移載装置と前記特定の搬送台車との間で前記被搬送物を移載するための通信を実行するステップと、を含む
搬送システムの制御方法。 - 前記搬送システムは、さらに、前記複数の搬送台車の各々の走行を制御する制御装置を備え、
前記制御方法は、さらに、
(d)前記特定の搬送台車が、前記制御装置から、前記管理装置の宛先を示す管理装置宛先情報を受信するステップを含み、
前記(a)では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記管理装置宛先情報を利用して、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信する
請求項1に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記搬送システムは、第1の管理装置及び第2の管理装置を含む複数の前記管理装置を備え、
前記(d)では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から、前記複数の管理装置のそれぞれの宛先を示す複数の前記管理装置宛先情報を受信し、
前記(a)では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記複数の管理装置宛先情報の中から前記第1の管理装置の宛先を示す第1の管理装置宛先情報を選択し、前記第1の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第1の管理装置に送信する
請求項2に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記制御方法は、さらに、
(e)前記特定の搬送台車が、前記(a)において前記第1の管理装置と通信できない場合に、前記制御装置から受信した前記複数の管理装置宛先情報の中から前記第2の管理装置の宛先を示す第2の管理装置宛先情報を選択し、前記第2の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第2の管理装置に送信する
請求項3に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記搬送システムは、第1の管理装置及び第2の管理装置を含む複数の前記管理装置を備え、
前記(d)では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から、前記第1の管理装置の宛先を示す第1の管理装置宛先情報を受信し、
前記(a)では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記第1の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第1の管理装置に送信し、
前記制御方法は、さらに、
(f)前記特定の搬送台車が、前記(a)において前記第1の管理装置と通信できない場合に、前記制御装置から、前記第2の管理装置の宛先を示す第2の管理装置宛先情報を受信するステップと、
(g)前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記第2の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第2の管理装置に送信するステップと、を含む
請求項2に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記制御方法は、さらに、
(h)前記制御装置が、前記複数の搬送台車のうちの第1の搬送台車に対して、前記特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、前記第1の搬送台車から前記特定の移載装置に第1の被搬送物を移載するように指示するための第1の走行指示信号を送信するステップと、
(i)前記管理装置が、前記特定の移載装置の上方に第2の被搬送物が存在するか否かを示す被搬送物情報を取得するステップと、
(j)前記第1の搬送台車が、前記第1の走行指示信号を受信した後に、現在位置から前記特定の移載装置の位置まで走行する第1の経路を示す第1の走行計画を決定するステップと、
(k)前記第1の搬送台車が、前記第1の走行計画に基づいて前記特定の移載装置の位置に第1の時刻に到着したと仮定した場合に、前記特定の移載装置の上方に前記第2の被搬送物が前記第1の時刻に存在するか否かを前記管理装置に問い合わせるステップと、
(l)前記第1の搬送台車が、前記特定の移載装置の上方に前記第2の被搬送物が存在しないという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第1の走行計画を採用し、前記特定の移載装置の上方に前記第2の被搬送物が存在するという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第1の走行計画とは異なる第2の走行計画を決定し、且つ、決定した前記第2の走行計画を採用するステップと、を含み、
前記第2の走行計画は、前記特定の移載装置から前記複数の搬送台車のうちの第2の搬送台車への前記第2の被搬送物の移載が完了し、且つ、前記第2の被搬送物が前記特定の移載装置の上方から離れた後に、前記第1の搬送台車が前記特定の移載装置の位置に到着する、前記第1の経路よりも長い第2の経路を示す
請求項2〜5のいずれか1項に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記制御方法は、さらに、
(m)前記制御装置が、前記複数の搬送台車のうちの第3の搬送台車に対して、前記特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、前記特定の移載装置から前記第3の搬送台車に第3の被搬送物を移載するように指示するための第3の走行指示信号を送信するステップと、
(n)前記管理装置が、前記特定の移載装置の上方に前記第3の被搬送物が存在するか否かを示す被搬送物情報を取得するステップと、
(o)前記第3の搬送台車が、前記第3の走行指示信号を受信した後に、現在位置から前記特定の移載装置の位置まで走行する第3の経路を示す第3の走行計画を決定するステップと、
(p)前記第3の搬送台車が、前記第3の走行計画に基づいて前記特定の移載装置の位置に第2の時刻に到着したと仮定した場合に、前記特定の移載装置の上方に前記第3の被搬送物が前記第2の時刻に存在するか否かを前記管理装置に問い合わせるステップと、
(q)前記第3の搬送台車が、前記特定の移載装置の上方に前記第3の被搬送物が存在するという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第3の走行計画を採用し、前記特定の移載装置の上方に前記第3の被搬送物が存在しないという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第3の走行計画とは異なる第4の走行計画を決定し、且つ、決定した前記第4の走行計画を採用するステップと、を含み、
前記第4の走行計画は、前記特定の移載装置への前記第3の被搬送物の載置が完了した後に、前記第3の搬送台車が前記特定の移載装置の位置に到着する、前記第3の経路よりも長い第4の経路を示す
請求項2〜6のいずれか1項に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記制御方法は、さらに、
(r)前記制御装置が、前記特定の移載装置に前記第2の被搬送物が載置されている状態で、前記第2の搬送台車に対して、前記特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、前記特定の移載装置から前記第2の搬送台車に前記第2の被搬送物を移載するように指示するための第2の走行指示信号を送信するステップを含む
請求項7に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記搬送システムは、さらに、無線アクセスポイントを備え、
前記(a)では、前記特定の搬送台車が、前記無線アクセスポイントを介して、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信し、
前記(b)では、前記管理装置が、前記無線アクセスポイントを介して、前記特定の通信デバイス宛先情報を前記特定の搬送台車に送信し、
前記(c)では、前記特定の搬送台車が、前記無線アクセスポイントを介して、前記特定の通信デバイスに対して前記通信を実行する
請求項1〜8のいずれか1項に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記制御方法は、さらに、
(s)前記(c)において、前記特定の搬送台車が前記無線アクセスポイントを介して前記特定の通信デバイスに対して前記通信を実行しようとした際に、前記特定の通信デバイスからの応答が無い場合には、前記特定の搬送台車が、前記特定の通信デバイスが通信不能な状態であると判定し、当該判定結果を前記無線アクセスポイントを介して前記管理装置に通知するステップを含む
請求項9に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記制御方法は、さらに、
(t)前記管理装置が、前記複数の通信デバイスの各々にハートビート信号を送信するステップと、
(u)前記管理装置が、前記複数の通信デバイスのうちいずれかの通信デバイスから前記ハートビート信号に対する応答があった場合には、当該通信デバイスが通信可能な状態であると判定し、前記複数の通信デバイスのうちいずれかの通信デバイスから前記ハートビート信号に対する応答が無い場合には、当該通信デバイスが通信不能な状態であると判定するステップと、を含む
請求項1〜8のいずれか1項に記載の搬送システムの制御方法。 - 前記対応情報は、さらに、前記移載位置情報及び前記通信デバイス宛先情報に対応付けられた、前記通信デバイスの通信属性を示す通信属性情報を含み、
前記(b)では、前記管理装置が、前記特定の搬送台車から受信した前記特定の移載位置情報に対応する前記特定の通信デバイス宛先情報及び特定の通信属性情報を前記対応情報から抽出し、抽出した前記特定の通信デバイス宛先情報及び前記特定の通信属性情報を前記特定の搬送台車に送信し、
前記(c)では、前記特定の搬送台車が、前記管理装置から受信した前記特定の通信デバイス宛先情報及び前記特定の通信属性情報を利用して、前記特定の通信デバイスに対して前記通信を実行する
請求項1〜11のいずれか1項に記載の搬送システムの制御方法。 - 被搬送物を搬送するための搬送システムであって、
前記被搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、
前記複数の搬送台車の各々との間で前記被搬送物が移載される複数の移載装置と、
前記複数の移載装置にそれぞれ接続された複数の通信デバイスと、
前記複数の通信デバイスを管理する管理装置と、を備え、
前記複数の搬送台車の各々は、
前記複数の移載装置のうちの特定の移載装置における前記被搬送物の移載位置を示す特定の移載位置情報を記憶する第1の記憶部と、
前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信する第1の通信部と、を有し、
前記管理装置は、
前記複数の移載装置の各々における前記被搬送物の移載位置を示す移載位置情報と、当該移載装置に接続されている前記通信デバイスの宛先を示す通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶する第2の記憶部と、
前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車から受信した前記特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を前記対応情報から抽出する制御部と、
抽出された前記特定の通信デバイス宛先情報を前記特定の搬送台車に送信する第2の通信部と、を有し、
前記特定の搬送台車の前記第1の通信部は、さらに、前記管理装置から受信した前記特定の通信デバイス宛先情報を利用して、前記複数の通信デバイスのうちの前記特定の移載装置に接続されている特定の通信デバイスに対して、前記特定の移載装置と前記特定の搬送台車との間で前記被搬送物を移載するための通信を実行する
搬送システム。 - 搬送台車との間で被搬送物が移載される複数の移載装置にそれぞれ接続された複数の通信デバイスを管理する管理装置であって、
前記複数の移載装置の各々における前記被搬送物の移載位置を示す移載位置情報と、当該移載装置に接続されている前記通信デバイスの宛先を示す通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶する記憶部と、
前記搬送台車から、前記複数の移載装置のうちの特定の移載装置における前記被搬送物の移載位置を示す特定の移載位置情報を受信する通信部と、
受信した前記特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を前記対応情報から抽出する制御部と、を備え、
前記通信部は、抽出された前記特定の通信デバイス宛先情報を前記搬送台車に送信する
管理装置。
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