TWI777017B - 搬送系統之控制方法、搬送系統及管理裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之搬送系統(2)之控制方法包含有：複數個搬送台車(6)中特定之搬送台車(6)將特定之移載位置資訊發送至管理裝置(18)之步驟；管理裝置(18)自對應資訊，提取與自特定之搬送台車(6)所接收之特定之移載位置資訊對應之特定之通信元件發送對象資訊，並將所提取之特定之通信元件發送對象資訊發送至特定之搬送台車(6)之步驟；特定之搬送台車(6)利用自管理裝置(18)所接收之特定之通信元件發送對象資訊，對第1通信元件(14)及第2通信元件(16)中被連接於第1半導體製造裝置(10)之第1通信元件(14)，執行用以於第1半導體製造裝置(10)與特定之搬送台車(6)之間移載FOUP(4)之通信之步驟。

Description

搬送系統之控制方法、搬送系統及管理裝置
本發明係關於搬送系統之控制方法、搬送系統及管理裝置。
於專利文獻1中，揭示有具備用以搬送收容有半導體晶圓之FOUP(前開式晶圓傳送盒；Front Opening Unified Pod)之高架移行式之複數個搬送台車、及用以處理半導體晶圓之複數個半導體製造裝置之半導體製造系統。
於複數個半導體製造裝置之各者，配置有1組通信元件及無線存取點。又，於複數個半導體製造裝置之各者，配置有用以載置FOUP之載置埠。通信元件經由平行電纜被連接於載置埠，並且經由LAN(區域網路；Local Area Network)電纜被連接於無線存取點。
複數個搬送台車之各者可經由無線存取點與通信元件進行無線通信。搬送台車在接近特定之半導體製造裝置時，將為了開始進行用以在與該特定之半導體製造裝置之載置埠之間移載FOUP之處理的訊息信號，發送至被連接於該載置埠之通信元件。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2015-82574號公報
於上述之半導體製造系統中，搬送台車在對通信元件發送訊息信號時，必須將通信元件之位址指定為發送目的地。然而，例如於半導體製造裝置被追加、撤除或變更等之情形時，存在有通信元件之位址會被變更之情形，而產生複數個搬送台車之各者之通信元件之位址之管理會變得繁雜之課題。
本發明係鑒於如此之課題所完成者，其目的在於提供可一元化地管理通信元件發送對象資訊之搬送系統之控制方法、搬送系統及管理裝置。
為了達成上述目的，本發明一態樣之搬送系統之控制方法係具備有用以搬送被搬送物之複數個搬送台車、在與上述複數個搬送台車之各者之間移載上述被搬送物之複數個移載裝置、分別被連接於上述複數個移載裝置之複數個通信元件、及管理上述複數個通信元件之管理裝置者；其中，上述複數個搬送台車之各者具有第1儲存部，該第1儲存部儲存表示上述複數個移載裝置中特定之移載裝置之上述被搬送物之移載位置的特定之移載位置資訊，上述管理裝置具有儲存表示移載位置資訊與通信元件發送對象資訊之對應關係之對應資訊的第2儲存部，該移載位置資訊表示上述複數個移載裝置之各者之上述被搬送物之移載位置，而該通信元件發送對象資訊表示被連接於該移載裝置之上述通信元件之發送對象，且上述控制方法包含有：(a)上述複數個搬送台車中特定之搬送台車將上述特定之移載位置資訊發送至上述管理裝置之步驟；(b)上述管理裝置自上述對應資訊，提取與自上 述特定之搬送台車所接收之上述特定之移載位置資訊對應之特定之通信元件發送對象資訊，並將所提取之上述特定之通信元件發送對象資訊發送至上述特定之搬送台車之步驟；及(c)上述特定之搬送台車利用自上述管理裝置所接收之上述特定之通信元件發送對象資訊，對上述複數個通信元件中被連接於上述特定之移載裝置之特定之通信元件，執行用以於上述特定之移載裝置與上述特定之搬送台車之間移載上述被搬送物之通信之步驟。
根據本態樣，管理裝置由於儲存有表示移載位置資訊與通信元件發送對象資訊之對應關係之對應資訊，因此於管理裝置可一元化地管理通信元件發送對象資訊。其結果，即便在例如因移載裝置被追加、撤除或變更等而使通信元件之通信元件發送對象資訊被變更之情形時，亦可以較少之作業量容易地更新被儲存於管理裝置之對應資訊。
例如亦可構成為，上述搬送系統進一步具備有控制上述複數個搬送台車之各者之移行之控制裝置，上述控制方法進一步包含有：(d)上述特定之搬送台車自上述控制裝置，接收表示上述管理裝置之發送對象之管理裝置發送對象資訊之步驟；且於上述(a)中，上述特定之搬送台車利用自上述控制裝置所接收之上述管理裝置發送對象資訊，將上述特定之移載位置資訊發送至上述管理裝置。
根據本態樣，由於無須於特定之搬送台車中預先儲存管理裝置發送對象資訊，因此可節省第1儲存部之儲存容量。
例如亦可構成為，上述搬送系統具備有包含第1管理裝置及第2管理裝置之複數個上述管理裝置，於上述(d)中，上述特定之搬送台車自上述控制裝置，接收表示上述複數個管理裝置之各者之發 送對象之複數個上述管理裝置發送對象資訊，且於上述(a)中，上述特定之搬送台車從自上述控制裝置所接收之上述複數個管理裝置發送對象資訊中選擇表示上述第1管理裝置之發送對象之第1管理裝置發送對象資訊，並利用上述第1管理裝置發送對象資訊將上述特定之移載位置資訊發送至上述第1管理裝置。
根據本態樣，搬送系統由於具備有複數個管理裝置，因此可謀求冗餘(redundancy)化。
例如亦可構成為，上述控制方法進一步(e)於在上述(a)中無法與上述第1管理裝置進行通信之情形時，上述特定之搬送台車從自上述控制裝置所接收之上述複數個管理裝置發送對象資訊中選擇表示上述第2管理裝置之發送對象之第2管理裝置發送對象資訊，並利用上述第2管理裝置發送對象資訊將上述特定之移載位置資訊發送至上述第2管理裝置。
根據本態樣，特定之搬送台車即便在與第1管理裝置之間無法進行通信之情形時，亦可利用第2管理裝置發送對象資訊將特定之移載位置資訊發送至第2管理裝置。
例如亦可構成為，上述搬送系統具備有包含第1管理裝置及第2管理裝置之複數個上述管理裝置，於上述(d)中，上述特定之搬送台車自上述控制裝置，接收表示上述第1管理裝置之發送對象之第1管理裝置發送對象資訊，於上述(a)中，上述特定之搬送台車利用自上述控制裝置所接收之上述第1管理裝置發送對象資訊，將上述特定之移載位置資訊發送至上述第1管理裝置，且上述控制方法進一步包含有：(f)於在上述(a)中無法與上述第1管理裝置進行通信之情形時，上述特定之搬送台車自上述控制裝置接收表示上述第2管理裝置 之發送對象之第2管理裝置發送對象資訊之步驟；及(g)上述特定之搬送台車利用自上述控制裝置所接收之上述第2管理裝置發送對象資訊，將上述特定之移載位置資訊發送至上述第2管理裝置之步驟。
根據本態樣，由於搬送系統具備有複數個管理裝置，因此可謀求冗餘化。又，特定之搬送台車即便在與第1管理裝置之間無法進行通信之情形時，亦可利用第2管理裝置發送對象資訊，將特定之移載位置資訊發送至第2管理裝置。此外，即便特定之搬送台車於在上述(a)中與第1管理裝置之間可進行通信之情形時，亦存在有於自第1管理裝置所具備之對應資訊，提取與第1管理裝置自特定之搬送台車所接收之特定之移載位置資訊對應之特定之通信元件發送對象資訊時，提取處理因例如通信處理之集中等而需要相對較長之時間之情形。於如此之情形時，第1管理裝置將表示該意旨之回應信號發送至特定之搬送台車。特定之搬送台車於自第1管理裝置接收到該回應信號之情形時，亦可從自控制裝置所接收之複數個管理裝置發送對象資訊中利用第2管理裝置發送對象資訊，將特定之移載位置資訊發送至第2管理裝置。
例如亦可構成為，上述控制方法進一步包含有：(h)上述控制裝置對上述複數個搬送台車中之第1搬送台車發送用以指示其移行至上述特定之移載裝置之位置，且將第1被搬送物自上述第1搬送台車移載至上述特定之移載裝置之第1移行指示信號之步驟；(i)上述管理裝置取得表示在上述特定之移載裝置之上方是否有第2被搬送物存在之被搬送物資訊之步驟；(j)上述第1搬送台車於接收到上述第1移行指示信號之後，決定表示自現在位置移行至上述特定之移載裝置之位置之第1路徑的第1移行計劃之步驟；(k)上述第1搬送台車於假定已根據 上述第1移行計劃而在第1時刻到達上述特定之移載裝置之位置之情形時，向上述管理裝置詢問在上述第1時刻，上述第2被搬送物是否存在於上述特定之移載裝置之上方之步驟；及(l)於上述第1搬送台車自上述管理裝置接收到在上述特定之移載裝置之上方不存在上述第2被搬送物之上述詢問之結果之情形時，採用上述第1移行計劃，而於自上述管理裝置接收到在上述特定之移載裝置之上方有上述第2被搬送物存在之上述詢問之結果之情形時，決定與上述第1移行計劃不同之第2移行計劃，且採用所決定之上述第2移行計劃之步驟；上述第2移行計劃表示較上述第1路徑長之第2路徑，而該第2路徑係於上述第2被搬送物自上述特定之移載裝置朝向上述複數個搬送台車中之第2搬送台車之移載完成且上述第2被搬送物離開上述特定之移載裝置之上方之後，上述第1搬送台車到達上述特定之移載裝置之位置者。
根據本態樣，第1搬送台車由於根據在特定之移載裝置之上方是否有第2被搬送物存在，而採用第1移行計劃及第2移行計劃之一者，因此可提高第1及第2被搬送物之搬送效率。
例如亦可構成為，上述控制方法進一步包含有：(m)上述控制裝置對上述複數個搬送台車中之第3搬送台車發送用以指示移行至上述特定之移載裝置之位置，且將第3被搬送物自上述特定之移載裝置移載至上述第3搬送台車之第3移行指示信號之步驟；(n)上述管理裝置取得表示在上述特定之移載裝置之上方是否有上述第3被搬送物存在之被搬送物資訊之步驟；(o)上述第3搬送台車在接收到上述第3移行指示信號之後，決定表示自現在位置移行至上述特定之移載裝置之位置之第3路徑的第3移行計劃之步驟；(p)上述第3搬送台車在假定已根據上述第3移行計劃而於第2時刻到達上述特定之移載裝置之位置之 情形時，向上述管理裝置詢問在上述第2時刻，於上述特定之移載裝置之上方是否有上述第3被搬送物存在之步驟；及(q)於上述第3搬送台車自上述管理裝置接收到在上述特定之移載裝置之上方有上述第3被搬送物存在之上述詢問之結果之情形時，採用上述第3移行計劃，而於自上述管理裝置接收到在上述特定之移載裝置之上方不存在上述第3被搬送物之上述詢問之結果之情形時，決定與上述第3移行計劃不同之第4移行計劃，且採用所決定之上述第4移行計劃之步驟；上述第4移行計劃表示較上述第3路徑長之第4路徑，而該第4路徑係於上述第3被搬送物朝向上述特定之移載裝置之載置完成之後，上述第3搬送台車到達上述特定之移載裝置之位置者。
根據本態樣，第3搬送台車由於根據在特定之移載裝置之上方是否有第3被搬送物存在，而採用第3移行計劃及第4移行計劃之一者，因此可提高第3被搬送物之搬送效率。
例如亦可構成為，上述控制方法進一步包含有：(r)於在上述特定之移載裝置載置有上述第2被搬送物之狀態下，上述控制裝置對上述第2搬送台車發送用以指示其移行至上述特定之移載裝置之位置，且將上述第2被搬送物自上述特定之移載裝置移載至上述第2搬送台車之第2移行指示信號之步驟。
根據本態樣，可對第2搬送台車指示其移行至特定之移載裝置之位置且將第2被搬送物自特定之移載裝置移載至第2搬送台車。
例如亦可構成為，上述搬送系統進一步具備有無線存取點，於上述(a)中，上述特定之搬送台車經由上述無線存取點，將上述特定之移載位置資訊發送至上述管理裝置，於上述(b)中，上述管理裝置經由上述無線存取點，將上述特定之通信元件發送對象資訊發送至 上述特定之搬送台車，且於上述(c)中，上述特定之搬送台車經由上述無線存取點對上述特定之通信元件執行上述通信。
根據本態樣，特定之搬送台車由於進行利用無線存取點之無線通信，因此例如無須如使用使發送側元件及接收側元件光軸一致而進行通信之光通信的情形般，等待光軸一致後才開始進行通信，即便在移行中亦可與管理裝置及特定之通信元件之各者進行通信。其結果，特定之搬送台車可縮短與特定之通信元件之間之通信完成為止之時間。
例如亦可構成為，上述控制方法進一步包含有：(s)於在上述(c)中，上述特定之搬送台車欲經由上述無線存取點對上述特定之通信元件執行上述通信時，沒有來自上述特定之通信元件之回應之情形時，上述特定之搬送台車判定上述特定之通信元件處於無法通信之狀態，並經由上述無線存取點向上述管理裝置通知該判定結果之步驟。
根據本態樣，管理裝置可容易地掌握複數個通信元件之各者是否處於可通信之狀態。
例如亦可構成為，上述控制方法進一步包含有：(t)上述管理裝置對上述複數個通信元件之各者發送心跳信號之步驟；及(u)於自上述複數個通信元件中之任一個通信元件有對上述心跳信號之回應之情形時，上述管理裝置判定該通信元件處於可通信之狀態，而於自上述複數個通信元件中之任一個通信元件沒有對上述心跳信號之回應之情形時，則判定該通信元件處於無法通信之狀態之步驟。
根據本態樣，管理裝置可容易地掌握複數個通信元件之各者是否處於可通信之狀態。
例如亦可構成為，上述對應資訊進一步包含有與上述移 載位置資訊及上述通信元件發送對象資訊建立對應關係之表示上述通信元件之通信屬性的通信屬性資訊，於上述(b)中，上述管理裝置自上述對應資訊提取與自上述特定之搬送台車所接收之上述特定之移載位置資訊對應之上述特定之通信元件發送對象資訊及特定之通信屬性資訊，並將所提取之上述特定之通信元件發送對象資訊及上述特定之通信屬性資訊發送至上述特定之搬送台車，且於上述(c)中，上述特定之搬送台車利用自上述管理裝置所接收之上述特定之通信元件發送對象資訊及上述特定之通信屬性資訊，對上述特定之通信元件執行上述通信。
根據本態樣，特定之搬送台車可與特定之通信元件之間，執行與特定之通信元件之通信屬性資訊相對應之通信。
又，本發明一態樣之搬送系統係用以搬送被搬送物者；其具備有：複數個搬送台車，其等用以搬送上述被搬送物；複數個移載裝置，其等在上述複數個搬送台車之各者之間移載上述被搬送物；複數個通信元件，其等分別被連接於上述複數個移載裝置；及管理裝置，其管理上述複數個通信元件；上述複數個搬送台車之各者具有：第1儲存部，其儲存表示上述複數個移載裝置中特定之移載裝置之上述被搬送物之移載位置的特定之移載位置資訊；及第1通信部，其將上述特定之移載位置資訊發送至上述管理裝置；上述管理裝置具有：第2儲存部，其儲存表示移載位置資訊與通信元件發送對象資訊之對應關係之對應資訊，該移載位置資訊表示上述複數個移載裝置之各者之上述被搬送物之移載位置，而該通信元件發送對象資訊表示被連接於該移載裝置之上述通信元件之發送對象；控制部，其自上述對應資訊提取與自上述複數個搬送台車中特定之搬送台車所接收之上述特定之移載位置資訊對應之特定之通信元件發送對象資訊；及第2通信部， 其將所提取之上述特定之通信元件發送對象資訊發送至上述特定之搬送台車；且上述特定之搬送台車之上述第1通信部進一步利用自上述管理裝置所接收之上述特定之通信元件發送對象資訊，對上述複數個通信元件中被連接於上述特定之移載裝置之特定之通信元件，執行用以於上述特定之移載裝置與上述特定之搬送台車之間移載上述被搬送物之通信。
根據本態樣，管理裝置由於儲存有表示移載位置資訊與通信元件發送對象資訊之對應關係之對應資訊，因此於管理裝置中可一元化地管理通信元件發送對象資訊。其結果，例如即便在因移載裝置被追加、撤除或變更等而使通信元件之通信元件發送對象資訊被變更之情形時，亦可以較少之作業量容易地更新被儲存於管理裝置之對應資訊。
又，本發明一態樣之管理裝置係管理分別被連接於在與搬送台車之間移載被搬送物之複數個移載裝置之複數個通信元件者；其具備有：儲存部，其儲存表示移載位置資訊與通信元件發送對象資訊之對應關係之對應資訊，該移載位置資訊表示上述複數個移載裝置之各者之上述被搬送物之移載位置，而該通信元件發送對象資訊表示被連接於該移載裝置之上述通信元件之發送對象；通信部，其自上述搬送台車接收表示上述複數個移載裝置中特定之移載裝置之上述被搬送物之移載位置的特定之移載位置資訊；及控制部，其自上述對應資訊提取與所接收之上述特定之移載位置資訊對應之特定之通信元件發送對象資訊；且上述通信部將所提取之上述特定之通信元件發送對象資訊發送至上述搬送台車。
根據本態樣，管理裝置由於儲存有表示移載位置資訊與 通信元件發送對象資訊之對應關係之對應資訊，因此於管理裝置中可一元化地管理通信元件發送對象資訊。其結果，例如即便在因移載裝置被追加、撤除或變更等而使通信元件之通信元件發送對象資訊被變更之情形時，亦可以較少之作業量容易地更新被儲存於管理裝置之對應資訊。
根據本發明一態樣之搬送系統之控制方法等，可一元化地管理通信元件發送對象資訊。
2、2A、2B、2C‧‧‧搬送系統
4‧‧‧FOUP(第1 FOUP、第2 FOUP)
6、6A‧‧‧搬送台車
6Ba‧‧‧第1搬送台車
6Bb‧‧‧第2搬送台車
8、8A‧‧‧控制裝置
10‧‧‧第1半導體製造裝置
12‧‧‧第2半導體製造裝置
14、14B‧‧‧第1通信元件
16、16B‧‧‧第2通信元件
18、18B、18C‧‧‧管理裝置
18a‧‧‧第1管理裝置
18b‧‧‧第2管理裝置
20‧‧‧無線存取點
22‧‧‧軌道
24‧‧‧供電路徑
26‧‧‧把持部
28‧‧‧饋電線
30a、30b、30c、34a、34b、34c‧‧‧搬入搬出口
32a、32b、32c、36a、36b、36c‧‧‧載置埠
38、42‧‧‧平行電纜
40、46‧‧‧LAN電纜
48‧‧‧無線網路
50、50A、56、56A、62、66、70、74、78、78a、78b‧‧‧通信部
52、52A、58、58A、80、80a、80b‧‧‧儲存部
54、54A、54B、60、60A、64、68、72、72B、76、76B、82、82a、82b、82B、82C‧‧‧控制部
圖1係表示實施形態1之搬送系統之概要之圖。
圖2係表示實施形態1之搬送系統之功能構成之方塊圖。
圖3係表示實施形態1之管理表之一例之圖。
圖4係表示實施形態1之搬送系統之動作之時序圖。
圖5係表示實施形態2之搬送系統之功能構成之方塊圖。
圖6係表示實施形態2之搬送系統之動作之時序圖。
圖7係表示實施形態3之搬送系統之功能構成之方塊圖。
圖8係表示實施形態3之搬送系統之動作之時序圖。
圖9係表示實施形態3之搬送系統之動作之時序圖。
圖10係表示實施形態4之搬送系統之功能構成之方塊圖。
圖11係表示實施形態4之管理裝置之動作之流程圖。
以下，使用圖式，對本發明之實施形態詳細地進行說明。再者，以下所說明之實施形態，均為表示包括性或具體性之例子 者。以下之實施形態所示之數值、形狀、材料、構成元件、構成元件之配置位置及連接形態、步驟、步驟之順序等係一例，並非限定本發明之主旨。又，關於以下之實施形態之構成元件中未被記載於獨立項請求項之構成元件，係作為任意之構成元件而加以說明。
(實施形態1) [1-1.搬送系統之概要]
首先，一邊參照圖1，一邊對實施形態1之搬送系統2之概要進行說明。圖1係表示實施形態1之搬送系統2之概要之圖。
如圖1所示，搬送系統2例如為於半導體製造工場中用以搬送收容有晶圓之FOUP 4(被搬送物之一例)之系統。搬送系統2具備有複數個搬送台車6、控制裝置8、第1半導體製造裝置10(移載裝置之一例)、第2半導體製造裝置12(移載裝置之一例)、第1通信元件14、第2通信元件16、管理裝置18、及無線存取點20。
複數個搬送台車6之各者係用以藉由沿著被設置於例如半導體製造工場之天花板之軌道22進行無人移行而搬送FOUP 4的高架移行式之搬送台車，即所謂OHT(懸吊式搬運車；Overhead Hoist Transfer)。搬送台車6可經由沿著軌道22被鋪設之供電路徑24而藉由電磁感應現象非接觸式地接收自電力供給裝置(未圖示)所供給之電力。藉此，搬送台車6可一邊接收來自供電路徑24之電力的供給，一邊沿著軌道22移行。
於搬送台車6之內部，可升降地搭載有用以將FOUP 4加以把持之把持部26。例如於在搬送台車6與第1半導體製造裝置10之載置埠32a(後述)之間移載FOUP 4時，把持部26自搬送台車6下降 至載置埠32a之附近。又，於FOUP 4之移載完成時，把持部26自載置埠32a之附近上升至搬送台車6，並被收容至搬送台車6之內部。再者，於半導體製造工場雖配置有複數個(例如3000台)搬送台車6，但為了說明上的方便，於圖1等僅圖示1個搬送台車6。
控制裝置8係用以控制複數個搬送台車6之各者之移行的電腦，即所謂OHVC(懸吊式運送車輛控制器；Overhead Hoist Vehicle Controller)。控制裝置8可經由沿著軌道22被鋪設之饋電線28而與複數個搬送台車6之各者通信。
第1半導體製造裝置10及第2半導體製造裝置12之各者，係用以對被收容於FOUP 4之晶圓進行處理或暫時配置等之站台，且被設置於軌道22之正下方。
第1半導體製造裝置10具有用以將FOUP 4搬入及搬出之複數個(例如3個)搬入搬出口30a、30b、30c、以及用以載置FOUP 4之複數個(例如3個)載置埠32a、32b、32c。複數個載置埠32a、32b、32c分別被配置於對應之複數個搬入搬出口30a、30b、30c之附近。複數個載置埠32a、32b、32c分別為用以在與搬送台車6之把持部26之間移載FOUP 4且通過複數個搬入搬出口30a、30b、30c而在與第1半導體製造裝置10之間進行FOUP 4之交接的裝載埠。再者，於本實施形態中，雖已對第1半導體製造裝置10具有3個載置埠32a、32b、32c之情形進行說明，但並不限定於此，亦可具有1個、2個或4個以上之載置埠。
第2半導體製造裝置12具有用以將FOUP 4搬入及搬出之複數個(例如3個)搬入搬出口34a、34b、34c、以及用以載置FOUP 4之複數個(例如3個)載置埠36a、36b、36c。複數個載置埠36a、36b、 36c分別被配置於對應之複數個搬入搬出口34a、34b、34c之附近。複數個載置埠36a、36b、36c分別為用以在與搬送台車6之把持部26之間移載FOUP 4且通過複數個搬入搬出口34a、34b、34c而在與第2半導體製造裝置12之間進行FOUP 4之交接的裝載埠。再者，於本實施形態中，雖已對第2半導體製造裝置12具有3個載置埠36a、36b、36c之情形進行說明，但並不限定於此，亦可具有1個、2個或4個以上之載置埠。
再者，於半導體製造工場設置有複數個(例如10000台)半導體製造裝置，但為了說明上的方便，於圖1等僅圖示2個半導體製造裝置(第1半導體製造裝置10及第2半導體製造裝置12)。
第1通信元件14係用以對第1半導體製造裝置10之複數個載置埠32a、32b、32c之各者與搬送台車6之間之通信進行中介之元件伺服器。第1通信元件14具備有複數個平行埠，複數個平行埠之各者經由平行電纜38，與第1半導體製造裝置10之複數個載置埠32a、32b、32c之各者連接。藉此，第1通信元件14可與第1半導體製造裝置10之複數個載置埠32a、32b、32c之各者通信。又，第1通信元件14經由LAN(區域網路)電纜40，與無線存取點20連接。藉此，第1通信元件14可經由無線存取點20，與複數個搬送台車6之各者進行乙太網路(註冊商標)通信。再者，第1通信元件14與複數個搬送台車6之各者之間之通信，可應用例如SEMI(國際半導體設備與材料產業協會；Semiconductor Equipment and Materials International)之E84通信序列。
第2通信元件16係用以對第2半導體製造裝置12之複數個載置埠36a、36b、36c之各者與搬送台車6之間之通信進行中介 之元件伺服器。第2通信元件16具備有複數個平行埠，複數個平行埠之各者經由平行電纜42，與第2半導體製造裝置12之複數個載置埠36a、36b、36c之各者連接。藉此，第2通信元件16可與第2半導體製造裝置12之複數個載置埠36a、36b、36c之各者通信。又，第2通信元件16經由LAN電纜(未圖示)，與無線存取點20連接。藉此，第2通信元件16可經由無線存取點20，與複數個搬送台車6之各者進行乙太網路(註冊商標)通信。再者，第2通信元件16與複數個搬送台車6之各者之間之通信，可應用例如SEMI之E84通信序列。
再者，於半導體製造工場，雖設置有與半導體製造裝置相同數量(例如10000台)之通信元件，但為了說明上的方便，於圖1等僅圖示2個通信元件(第1通信元件14及第2通信元件16)。
管理裝置18係用以管理包含第1通信元件14及第2通信元件16之複數個通信元件之元件伺服器管理器。管理裝置18經由LAN電纜46，與第1通信元件14及第2通信元件16之各者連接。藉此，管理裝置18可與第1通信元件14及第2通信元件16之各者通信。
無線存取點20係無線LAN之存取點。無線存取點20分別對a)複數個搬送台車6之各者與第1通信元件14之間之通信、b)複數個搬送台車6之各者與第2通信元件16之間之通信、及c)複數個搬送台車6之各者與管理裝置18之間之通信進行中介。
[1-2.搬送系統之功能構成]
其次，一邊參照圖2及圖3，一邊對實施形態1之搬送系統2之功能構成進行說明。圖2係表示實施形態1之搬送系統2之功能構成之方塊圖。圖3係表示實施形態1之管理表之一例之圖。
如圖2所示，複數個搬送台車6及無線存取點20之各者，例如被連接於依據IEEE802.11系列之無線網路48。無線網路48例如由2.4GHz頻段或5GHz頻段之WiFi(註冊商標)所構建。又，第1通信元件14、第2通信元件16及管理裝置18之各者例如被連接於由使用電纜之有線LAN所構建之有線網路。
複數個搬送台車6之各者具有通信部50(第1通信部之一例)、儲存部52(第1儲存部之一例)、及控制部54。
通信部50在與控制裝置8、第1通信元件14、第2通信元件16及管理裝置18之各者之間進行無線通信。
儲存部52係用以儲存各種資料之記憶體。具體而言，儲存部52暫時性地儲存a)自控制裝置8接收之移行指示信號(後述)所包含之移行指示資料、b)自控制裝置8接收之管理裝置18之IP(網際網路協定；Internet Protocol)位址(管理裝置發送對象資訊之一例)、c)自管理裝置18接收之第1通信元件14之IP位址(通信元件發送對象資訊之一例)、及d)自管理裝置18接收之第2通信元件16之IP位址(通信元件發送對象資訊之一例)。再者，儲存部52亦可預先固定地儲存上述之各資料。又，亦可取代第1通信元件14之IP位址及第2通信元件16之IP位址，而使用MAC(媒體存取控制；Media Access Control)位址等。通信元件發送對象資訊只要為可唯一地特定出第1通信元件14及第2通信元件16之各者的資訊即可。
控制部54藉由控制通信部50及儲存部52，來執行各種處理。再者，控制部54例如藉由處理器讀出被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體之軟體程式並加以執行所實現。關於由控制部54所執行之具體之處理，將於後詳述。
控制裝置8具有通信部56、儲存部58、及控制部60。
通信部56在與複數個搬送台車6之各者之間進行無線通信。
儲存部58係用以儲存各種資料之記憶體。具體而言，儲存部58儲存a)第1半導體製造裝置10之站台編號、b)第1半導體製造裝置10之複數個載置埠32a、32b、32c之各裝載埠編號、c)第2半導體製造裝置12之站台編號、d)第2半導體製造裝置12之複數個載置埠36a、36b、36c之各裝載埠編號、及e)管理裝置18之IP位址。
站台編號係用以識別第1半導體製造裝置10及第2半導體製造裝置12之資訊。亦即，站台編號係表示FOUP 4之移載位置之移載位置資訊之一例。例如，第1半導體製造裝置10及第2半導體製造裝置12分別被賦予「ST1」及「ST2」，來作為站台編號。
又，裝載埠編號係用以於第1半導體製造裝置10中識別複數個載置埠32a、32b、32c且於第2半導體製造裝置12中識別複數個載置埠36a、36b、36c之資訊。亦即，裝載埠編號係表示FOUP 4之移載位置之移載位置資訊之一例。例如，第1半導體製造裝置10之複數個載置埠32a、32b、32c分別被賦予「LP1」、「LP2」及「LP3」，來作為裝載埠編號。同樣地，第2半導體製造裝置12之複數個載置埠36a、36b、36c分別被賦予「LP1」、「LP2」及「LP3」，來作為裝載埠編號。再者，於第1半導體製造裝置10及第2半導體製造裝置12之各者僅具有1個載置埠之情形時，亦可省略裝載埠編號。
控制部60藉由控制通信部56及儲存部58，來執行各種處理。再者，控制部60例如藉由處理器讀出被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體之軟體程式並加以執行所實現。關於由控制部60所 執行之具體之處理，將於後詳述。
第1半導體製造裝置10之載置埠32a具有通信部62、及控制部64。再者，雖未圖示，但第1半導體製造裝置10之其他載置埠32b、32c亦同樣地具有通信部、及控制部。
通信部62在與第1通信元件14之間進行有線通信。
控制部64藉由控制通信部62，來執行各種處理。具體而言，控制部64執行用以在與搬送台車6之間移載FOUP 4之互鎖處理。所謂互鎖處理係如若某步驟未完成則不移行至下一步驟之由複數個步驟所構成之互鎖序列(interlock sequence)。再者，控制部64例如藉由處理器讀出被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體之軟體程式並加以執行所實現。
第2半導體製造裝置12之載置埠36a具有通信部66、及控制部68。再者，雖未圖示，但第2半導體製造裝置12之其他載置埠36b、36c亦同樣地具有通信部、及控制部。
通信部66在與第2通信元件16之間進行有線通信。
控制部68藉由控制通信部66，來執行各種處理。具體而言，控制部68執行用以在與搬送台車6之間移載FOUP 4之互鎖處理。再者，控制部68例如藉由處理器讀出被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體之軟體程式並加以執行所實現。
第1通信元件14具有通信部70、及控制部72。
通信部70經由無線存取點20，而在與複數個搬送台車6之各者之間進行無線通信。又，通信部70在與管理裝置18之間進行有線通信，且在與第1半導體製造裝置10之複數個載置埠32a、32b、32c之各者之間進行有線通信。
控制部72藉由控制通信部70，來執行各種處理。再者，控制部72例如藉由處理器讀出被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體之軟體程式並加以執行所實現。關於由控制部72所執行之具體之處理，將於後詳述。
第2通信元件16具有通信部74、及控制部76。
通信部74經由無線存取點20而在與複數個搬送台車6之各者之間進行無線通信。又，通信部74在與管理裝置18之間進行有線通信，且在與第2半導體製造裝置12之複數個載置埠36a、36b、36c之各者之間進行有線通信。
控制部76藉由控制通信部74，來執行各種處理。再者，控制部76例如藉由處理器讀出被記錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體之軟體程式並加以執行所實現。
管理裝置18具有通信部78(第2通信部之一例)、儲存部80(第2儲存部之一例)、及控制部82。
通信部78經由無線存取點20，而在與複數個搬送台車6之各者之間進行無線通信。又，通信部78在與第1通信元件14及第2通信元件16之各者之間進行有線通信。再者，通信部78亦可經由無線存取點20，而在與第1通信元件14及第2通信元件16之各者之間進行無線通信。
儲存部80係用以儲存管理表(對應資訊之一例)之記憶體。如圖3所示，管理表係表示第1半導體製造裝置10及第2半導體製造裝置12之各站台編號與第1通信元件14及第2通信元件16之各IP位址之對應關係的資料表。
於圖3所示之例子中，第1半導體製造裝置10之站台 編號「ST1」與被連接於第1半導體製造裝置10之第1通信元件14之IP位址「xx.xx.xx.xx」建立對應關係而被存儲於管理表之第1列。又，第2半導體製造裝置12之站台編號「ST2」與被連接於第2半導體製造裝置12之第2通信元件16之IP位址「yy.yy.yy.yy」建立對應關係而被存儲於管理表之第2列。
控制部82藉由控制通信部78及儲存部80，來執行各種處理。再者，控制部82例如藉由處理器讀出被記錄於硬碟或半導體記憶體等記錄媒體之軟體程式並加以執行所實現。關於由控制部82所執行之具體之處理，將於後詳述。
[1-3.搬送系統之動作]
其次，一邊參照圖4，一邊對實施形態1之搬送系統2之動作進行說明。圖4係表示實施形態1之搬送系統2之動作之時序圖。
以下，作為搬送系統2之動作之一例，對在搬送台車6與第1半導體製造裝置10之載置埠32a之間移載FOUP 4之情形時之動作進行說明。
如圖4所示，控制裝置8之通信部56將由控制部60所生成之移行指示信號，發送至搬送台車6(S101)。移行指示信號係用以對複數個搬送台車6中特定之搬送台車6指示其移行至既定之目的地的指令。於目的地例如為第1半導體製造裝置10之載置埠32a之情形時，移行指示信號作為表示搬送台車6之目的地之移行指示資料而包含有第1半導體製造裝置10之站台編號「ST1」、及載置埠32a之裝載埠編號「LP1」。再者，控制部60藉由自儲存部58讀出站台編號「ST1」及裝載埠編號「LP1」，來生成移行指示信號。
搬送台車6之通信部50接收自控制裝置8所發送之移行指示信號(S102)。移行指示信號所包含之移行指示資料(例如站台編號「ST1」及裝載埠編號「LP1」)係儲存於儲存部52。藉此，控制部54將第1半導體製造裝置10之載置埠32a設為目的地而使搬送台車6移行。
控制裝置8之通信部56將由控制部60所生成之詢問信號，定期地發送至搬送台車6(S103)。詢問信號係用以對搬送台車6詢問現在之移行位置之指令。
搬送台車6之通信部50接收自控制裝置8所發送之詢問信號(S104)。藉此，搬送台車6之通信部50將由控制部54所生成之回應信號，發送至控制裝置8(S105)。回應信號係表示搬送台車6現在之移行位置之信號。
控制裝置8之通信部56接收自搬送台車6所發送之回應信號(S106)。控制裝置8之控制部60根據所接收之回應信號，來判斷搬送台車6現在之移行位置。於搬送台車6與目的地接近至既定距離以內之情形時，控制裝置8之控制部60自儲存部58讀出管理裝置18之IP位址，而通信部56將所讀出之管理裝置18之IP位址發送至搬送台車6(S107)。另一方面，於搬送台車6離目的地較既定距離遠之情形時，控制裝置8之控制部60返回步驟S103，而將詢問信號發送至搬送台車6。
搬送台車6之通信部50接收自控制裝置8所發送之管理裝置18之IP位址(S108)。管理裝置18之IP位址係儲存於儲存部52。搬送台車6之通信部50將所接收之管理裝置18之IP位址作為發送目的地(發送對象)，而將由控制部54所生成之請求信號發送至管理裝置 18(S109)。請求信號係用以對管理裝置18請求將與搬送台車6之目的地對應之通信元件之IP位址加以發送的指令。請求信號例如包含a)站台編號「ST1」、b)裝載埠編號「LP1」、及c)E84通信序列編號等。
管理裝置18之通信部78接收自搬送台車6所發送之請求信號(S110)。管理裝置18之控制部82根據所接收之請求信號，自被儲存於儲存部80之管理表，提取與表示搬送台車6之目的地之站台編號「ST1」對應之第1通信元件14之IP位址「xx.xx.xx.xx」(S111)。通信部78將所提取之第1通信元件14之IP位址，發送至搬送台車6(S112)。
搬送台車6之通信部50接收自管理裝置18所發送之第1通信元件14之IP位址(S113)。第1通信元件14之IP位址係儲存於儲存部52。搬送台車6之通信部50將所接收之第1通信元件14之IP位址作為發送目的地，而將由控制部54所生成之訊息信號，發送至第1通信元件14(S114)。訊息信號係用以對第1通信元件14請求，開始進行例如用以在搬送台車6與第1半導體製造裝置10之載置埠32a之間移載FOUP 4之互鎖處理之指令。訊息信號例如包含有a)站台編號「ST1」、b)裝載埠編號「LP1」、c)E84通信序列編號、d)用以執行互鎖處理之卸載/抓貨請求資料、及e)用以識別搬送台車6之搬送台車ID(識別碼；Identification)等。
第1通信元件14之通信部70接收自搬送台車6所發送之訊息信號(S115)。第1通信元件14之控制部72根據所接收之訊息信號，在與搬送台車6之間執行為了進行互鎖處理之通信(S116)。藉此，於搬送台車6與載置埠32a之間，執行用以移載FOUP 4之互鎖處理。
再者，第1通信元件14無須在與搬送台車6之間，執 行關於互鎖處理所包含之所有步驟之通信，亦可在與搬送台車6之間執行關於互鎖處理之一部分步驟之通信，且在與第1半導體製造裝置10之間執行關於互鎖處理之剩餘步驟之通信。
[1-4.效果]
其次，一邊與比較例之搬送系統進行對比，一邊對可藉由本實施形態之搬送系統2所得到之效果進行說明。
比較例之搬送系統，不具備本實施形態所說明之管理裝置18。複數個搬送台車之各者，預先儲存有將用以識別複數個半導體製造裝置之各者之識別資訊與被連接於該半導體製造裝置之通信元件之IP位址建立對應關係所得之資料表。複數個搬送台車之各者，將自該資料表所讀出之通信元件之IP位址作為發送目的地，而將訊息信號發送至通信元件。
例如於半導體製造裝置被追加、撤除或變更等之情形時，存在有通信元件之IP位址會被變更之情形。於1個搬送系統，由於設置有例如10000台半導體製造裝置及3000台搬送台車，因此於各資料表儲存有10000個IP位址。因此，對所有3000台的搬送台車進行更新各資料表之作業並不容易，而無法容易地進行資料表之管理。又，於進行更新各資料表之作業時，必須使所有搬送台車之移行停止，而會產生對半導體生產線造成妨礙之擔憂。
另一方面，於本實施形態之搬送系統2中，管理裝置18儲存有表示複數個半導體製造裝置之各站台編號與複數個通信元件之各IP位址之對應關係的管理表。藉此，可藉由管理裝置18一元化地管理複數個通信元件之各IP位址。其結果，例如即便在因半導體製造 裝置被追加、撤除或變更等而使通信元件之IP位址被變更之情形時，亦只要僅進行更新管理裝置18所儲存之管理表之作業，即可容易地進行管理表之管理。又，由於在進行更新管理表之作業時，無須使搬送台車之移行停止，因此不會對半導體生產線造成妨礙。
又，假設將控制裝置8與管理裝置18構成為一個控制裝置之搬送系統。然而，於該搬送系統中，於控制裝置內之管理表之更新時，因控制裝置之動作受到限制，而產生對半導體生產線造成妨礙之擔憂。另一方面，於本實施形態之搬送系統2中，由於控制裝置8與管理裝置18為不同的個體，因此不會於管理表之更新時對半導體生產線造成妨礙。
[1-5.變形例]
於本實施形態之管理表中，雖已將第1半導體製造裝置10及第2半導體製造裝置12之各站台編號與第1通信元件14及第2通信元件16之各IP位址建立對應關係，但亦可除此以外再對表示第1通信元件14及第2通信元件16之各通信屬性之通信屬性資訊建立對應關係。通信屬性資訊例如包含有a)通信方法(無線通信或有線通信之區別)、b)無線通信之頻道資訊、及c)無線通信之SSID(服務設定識別符；Service Set Identifier)等。
於該情形時，於上述之步驟S112中，管理裝置18之通信部78將第1通信元件14之IP位址、及第1通信元件14之通信屬性資訊，發送至搬送台車6。藉此，於上述之步驟S114中，搬送台車6之通信部50根據所接收之第1通信元件14之通信屬性資訊，將訊息信號發送至第1通信元件14。
(實施形態2) [2-1.搬送系統之功能構成]
其次，一邊參照圖5，一邊對實施形態2之搬送系統2A之功能構成進行說明。圖5係表示實施形態2之搬送系統2A之功能構成之方塊圖。再者，於以下各實施形態中，對與上述實施形態1相同之構成元件標示相同符號，並省略其說明。
如圖5所示，實施形態2之搬送系統2A藉由具備有動作中之活動側之第1管理裝置18a、及待機中之待機側之第2管理裝置18b而實現冗餘化的部分，與上述實施形態1不同。第1管理裝置18a具有通信部78a、儲存部80a、及控制部82a。第2管理裝置18b具有通信部78b、儲存部80b、及控制部82b。第1管理裝置18a及第2管理裝置18b之各構成，與上述實施形態1之管理裝置18之構成相同。
控制裝置8A之儲存部58A上述實施形態1所說明之管理裝置18之IP位址，而儲存第1管理裝置18a之IP位址(第1管理裝置發送對象資訊之一例)及第2管理裝置18b之IP位址(第2管理裝置發送對象資訊之一例)。
複數個搬送台車6A之各者之儲存部52A取代上述實施形態1所說明之管理裝置18之IP位址，而暫時性地儲存第1管理裝置18a之IP位址及第2管理裝置18b之IP位址。
[2-2.搬送系統之動作]
其次，一邊參照圖6，一邊對實施形態2之搬送系統2A之動作進行說明。圖6係表示實施形態2之搬送系統2A之動作之時序圖。再者， 於圖6中，對與上述實施形態1之圖4相同之處理標示相同的步驟編號，並省略其說明。
以下，作設為搬送系統2A之動作之一例，對搬送台車6A在與第1半導體製造裝置10之載置埠32a之間移載FOUP 4(參照圖1)之情形之動作進行說明。又，以於搬送台車6A與第1管理裝置18a之間發生通信障礙之情形為前提進行說明。
如圖6所示，首先，與上述實施形態1同樣地，執行步驟S101~S106。其後，於搬送台車6A接近於目的地之情形時，控制裝置8A之控制部60A自儲存部58A讀出活動側之第1管理裝置18a之IP位址。控制部8A之通信部56A將所讀出之第1管理裝置18a之IP位址，發送至搬送台車6A(S201)。
搬送台車6A之通信部50A接收自控制裝置8A所發送之第1管理裝置18a之IP位址(S202)。第1管理裝置18a之IP位址係儲存於儲存部52A。搬送台車6A之通信部50A將所接收之第1管理裝置18a之IP位址作為發送目的地，而將由控制部54A所生成之請求信號發送至第1管理裝置18a(S203)。該請求信號係用以對第1管理裝置18a請求，將與搬送台車6A之目的地對應之通信元件之IP位址加以發送的指令。
此處，由於在搬送台車6A與第1管理裝置18a之間發生通信障礙，因此第1管理裝置18a之通信部78a無法接收自搬送台車6A所發送之請求信號，而不對請求信號進行回應(S204)。
搬送台車6A之通信部50A於發送請求信號後即便經過既定時間亦未得到來自第1管理裝置18a之回應之情形時，將由控制部54A所生成之回應信號發送至控制裝置8A(S205)。回應信號係表示 未得到來自第1管理裝置18a之回應的信號。
控制裝置8A之通信部56A接收自搬送台車6A所發送之回應信號(S206)。此處，於圖6雖未圖示，但控制裝置8A之控制部60A根據所接收之回應信號，而判斷搬送台車6A無法得到來自第1管理裝置18a之回應。藉此，控制裝置8A之控制部60A自儲存部58A讀出待機側之第2管理裝置18b之IP位址，而通信部56A將所讀出之第2管理裝置18b之IP位址發送至搬送台車6A(S207)。
搬送台車6A之通信部50A接收自控制裝置8A所發送之第2管理裝置18b之IP位址(S208)。第2管理裝置18b之IP位址係儲存於儲存部52A。搬送台車6A之通信部50A將所接收之第2管理裝置18b之IP位址作為發送目的地，而將由控制部54A所生成之請求信號發送至第2管理裝置18b(S209)。該請求信號係用以對第2管理裝置18b請求將與搬送台車6A之目的地對應之通信元件之IP位址加以發送的指令。
第2管理裝置18b之控制部82b根據所接收之請求信號，而自被儲存於儲存部80b之管理表，提取與表示搬送台車6A之目的地之站台編號「ST1」對應之第1通信元件14之IP位址「xx.xx.xx.xx」(S210)。通信部78b將所提取之第1通信元件14之IP位址，發送至搬送台車6A(S211)。
搬送台車6A之通信部50A接收自第2管理裝置18b所發送之第1通信元件14之IP位址(S212)。第1通信元件14之IP位址係儲存於儲存部52A。以下，與上述實施形態1同樣地，執行步驟S114~S116。
再者，於實施形態2中，以搬送台車6A自2台管理裝 置(第1管理裝置18a及第2管理裝置18b)中之任一者接收第1通信元件14之IP位址之序列進行說明。然而，並不限定於此，例如搬送台車6A於自第2管理裝置18b亦無法接收第1通信元件14之IP位址之情形時，亦可自第3管理裝置等接收第1通信元件14之IP位址。亦即，於搬送系統2A之冗餘化藉由複數台管理裝置所構成之情形時亦可加以應用。
[2-3.效果]
於本實施形態中，由於設置有活動側之第1管理裝置18a及待機側之第2管理裝置18b，因此可謀求冗餘化。即便為如此之構成，亦可藉由第1管理裝置18a及第2管理裝置18b之各者儲存管理表，而一元化地管理複數個通信元件之各個IP位址。
[2-4.變形例] [2-4-1.變形例1]
於本實施形態中，於上述之步驟S201中，控制裝置8A之通信部56A僅將第1管理裝置18a之IP位址發送至搬送台車6A。亦可取代如此之處理，於變形例1中，通信部56A亦可於步驟S201中，將第1管理裝置18a之IP位址及第2管理裝置18b之IP位址同時地發送至搬送台車6A。此時，通信部56A亦將表示第1管理裝置18a為活動側，而第2管理裝置18b為待機側之資訊發送至搬送台車6A。
於該情形時，搬送台車6A之控制部54A自所接收之第1管理裝置18a及第2管理裝置18b之各IP位址中，選擇第1管理裝置18a之IP位址。搬送台車6A之通信部50A將所選擇之第1管理裝 置18a之IP位址作為發送目的地，而將請求信號發送至第1管理裝置18a。
此處，搬送台車6A之控制部54A於無法得到來自第1管理裝置18a之回應之情形時，選擇第2管理裝置18b之IP位址。搬送台車6A之通信部50A將所選擇之第2管理裝置18b之IP位址作為發送目的地，而將請求信號發送至第2管理裝置18b。
亦即，搬送台車6A之控制部54A由於事先自控制裝置8A接收有第1管理裝置18a之IP位址及第2管理裝置18b之IP位址之二者，因此可立即經由待機側之第2管理裝置18b而與第1通信元件14通信。如此一來，於變形例1中，可縮短進行通信路徑之切換(冗餘化)所需要的時間。
[2-4-2.變形例2]
於變形例2中，控制裝置8A之通信部56A亦可較步驟S201之前(例如於步驟S101中)，預先將第1管理裝置18a之IP位址及第2管理裝置18b之IP位址發送至搬送台車6A。其結果，搬送台車6A可較早地將請求信號發送至第1管理裝置18a及第2管理裝置18b，而可較早地執行為了進行互鎖處理之通信。
[2-4-3.變形例3]
於變形例3中，第1管理裝置18a之IP位址及第2管理裝置18b之IP位址亦可作為履歷而被儲存於搬送台車6A之儲存部52A。於該情形時，圖6之處理被反覆執行之狀況下，亦可取代步驟S201、S202、S207及S208之各處理，而由搬送台車6A自儲存部52A讀出第1管理 裝置18a之IP位址及第2管理裝置18b之IP位址。
(實施形態3) [3-1.搬送系統之功能構成]
一邊參照圖7，一邊對實施形態3之搬送系統2B之功能構成進行說明。圖7係表示實施形態3之搬送系統2B之功能構成之方塊圖。
如圖7所示，於實施形態3之搬送系統2B中，作為複數個搬送台車而包含有第1搬送台車6Ba、及第2搬送台車6Bb。第1搬送台車6Ba除了上述實施形態1所說明之搬送台車6(參照圖2)之功能以外，還具有如下之功能。亦即，第1搬送台車6Ba之控制部54B例如於將FOUP 4(第1被搬送物之一例，以下稱為「第1 FOUP 4」)(參照圖1)自第1搬送台車6Ba移載(卸載)至第1半導體製造裝置10之載置埠32a時，向管理裝置18B詢問在載置埠32a之上方是否有其他FOUP 4(第2被搬送物之一例，以下稱為「第2 FOUP 4」)存在。第1搬送台車6Ba之控制部54B根據該詢問之結果，而採用後述之第1移行計劃及第2移行計劃中之一者。再者，第2搬送台車6Bb之控制部54B具有與第1搬送台車6Ba之控制部54B相同之功能。
此處，所謂「於載置埠32a之上方有第2 FOUP 4存在」，係指於載置埠32a載置有第2 FOUP 4之狀態、及第2 FOUP 4自載置埠32a被移載(抓貨)至第2搬送台車6Bb之中途之狀態。
又，第1通信元件14B之控制部72B，例如生成表示在載置埠32a之上方是否有第2 FOUP 4存在之被搬送物資訊。因此，第1通信元件14B之控制部72B根據例如與第2搬送台車6Bb之間之為了進行互鎖處理之通信，來判斷於載置埠32a之上方是否有第2 FOUP 4存在。再者，第2通信元件16B之控制部76B具有與第1通信元件14B之控制 部72B相同之功能。
又，管理裝置18B之控制部82B，自第1通信元件14B取得被搬送物資訊。管理裝置18B之通信部78根據來自第1搬送台車6Ba(或第2搬送台車6Bb)之在上述載置埠32a之上方是否有第2 FOUP 4存在之詢問，將表示所取得之被搬送物資訊之回應信號發送至第1搬送台車6Ba(或第2搬送台車6Bb)。
[3-2.搬送系統之動作]
其次，一邊參照圖8及圖9，一邊對實施形態3之搬送系統2B之動作進行說明。圖8及圖9係表示實施形態3之搬送系統2B之動作之時序圖。
首先，一邊參照圖8，一邊對作為搬送系統2B之動作之一例而將於第1搬送台車6Ba向管理裝置18B詢問時在第1半導體製造裝置10之載置埠32a之上方不存在第2 FOUP 4之情形時的動作進行說明。
如圖8所示，控制裝置8之通信部56將由控制部60所生成之第1移行指示信號及第2移行指示信號，分別發送至第1搬送台車6Ba及第2搬送台車6Bb(S301)。
第1移行指示信號係用以對第1搬送台車6Ba指示其移行至第1半導體製造裝置10之載置埠32a之位置且將第1 FOUP 4自第1搬送台車6Ba卸載至載置埠32a之指令。此處，所謂「載置埠32a之位置」係指載置埠32a正上方之軌道22之位置。又，第2移行指示信號係用以對第2搬送台車6Bb，指示其移行至第1半導體製造裝置10之載置埠32a之位置且將載置於載置埠32a之第2 FOUP 4抓貨之指令。
第1搬送台車6Ba接收自控制裝置8所發送之第1移行指示信號(S302)。又，第2搬送台車6Bb接收自控制裝置8所發送之第2移行 指示信號(S303)。
管理裝置18B之通信部78將由控制部82B所生成之請求信號發送至第1通信元件14B(S304)。請求信號係用以對第1通信元件14B請求將表示在載置埠32a之上方是否有第2 FOUP 4存在之被搬送物資訊加以發送之指令。再者，通信部78以一定之週期(例如每隔2~3秒)將請求信號反覆地發送至第1通信元件14B。
第1通信元件14B之通信部70接收自管理裝置18B所發送之請求信號(S305)。第1通信元件14B之控制部72B根據所接收之請求信號來生成被搬送物資訊。
此時，由於第2搬送台車6Bb所進行之第2 FOUP 4之抓貨已被執行，因此第1通信元件14B之控制部72B生成表示在載置埠32a之上方不存在第2 FOUP 4之被搬送物資訊。再者，為了說明上的方便，於圖8中，省略第2搬送台車6Bb所進行之根據第2移行指示信號之處理之圖示。
第1通信元件14B之通信部70將被搬送物資訊發送至管理裝置18B(S306)。管理裝置18B之通信部70接收自第1通信元件14B所發送之被搬送物資訊(S307)。再者，以一定之週期反覆地執行上述之步驟S304~S307。
第1搬送台車6Ba於接收到第1移行指示信號之後，根據第1移行指示信號，來決定第1移行計劃(S308)。第1移行計劃係表示自現在位置移行至第1半導體製造裝置10之載置埠32a之位置之最短路徑的第1路徑之移行計劃。
第1搬送台車6Ba之通信部50於假定已根據第1移行計劃而到達載置埠32a之位置之情形時，在第1搬送台車6Ba到達載置埠32a之 位置之時間點(相當於第1時刻)，將用以詢問於載置埠32a之上方是否有第2 FOUP 4存在之詢問信號發送至管理裝置18B(S309)。
管理裝置18B之通信部78接收自第1搬送台車6Ba所發送之詢問信號(S310)。藉此，管理裝置18B之通信部78將由控制部82B所生成之回應信號發送至第1搬送台車6Ba(S311)。回應信號係表示在載置埠32a之上方不存在第2 FOUP 4之信號。
第1搬送台車6Ba之通信部50接收來自管理裝置18B之回應信號(S312)。藉此，第1搬送台車6Ba之控制部54B根據所接收之回應信號，來判定第1 FOUP 4朝向載置埠32a之卸載為可能，而採用第1移行計劃(S313)。其結果，第1搬送台車6Ba根據第1移行計劃，而以第1路徑自現在位置移行至第1半導體製造裝置10之載置埠32a之位置。
其後，雖於圖8未圖示，但與上述實施形態1同樣地，執行圖4之步驟S103以後之各個步驟。
其次，一邊參照圖9，一邊對作為搬送系統2B之動作之一例而將於第1搬送台車6Ba向管理裝置18B詢問時在第1半導體製造裝置10之載置埠32a之上方有第2 FOUP 4存在之情形時的動作進行說明。
如圖9所示，與圖8所示者同樣地，執行步驟S301~S305。於步驟S305之後，第1通信元件14B之控制部72B根據所接收之請求信號，生成被搬送物資訊(S306A)。此時，由於第2搬送台車6Bb所進行之第2 FOUP 4之抓貨為未被執行，因此第1通信元件14B之控制部72B生成表示在載置埠32a之上方有第2 FOUP 4存在之被搬送物資訊。再者，為了說明上的方便，於圖9中，省略第2搬送台車6Bb所進行之根據第2移行指示信號之處理之圖示。
其後，與圖8之步驟S307~S310同樣地，執行步驟S307A~S310。於步驟S310之後，管理裝置18B之通信部78將由控制部82B所生成之回應信號發送至第1搬送台車6Ba(S311A)。回應信號係表示在載置埠32a之上方有第2 FOUP 4存在之信號。
第1搬送台車6Ba之通信部50接收來自管理裝置18B之回應信號(S312A)。藉此，第1搬送台車6Ba之控制部54B根據所接收之回應信號，來判定第1 FOUP 4朝向載置埠32a之卸載為不可，而決定第2移行計劃(S314)，並採用所決定之第2移行計劃(S315)。第2移行計劃係表示較第1路徑長之第2路徑之移行計劃，而該第2路徑係於第2搬送台車6Bb所進行之第2 FOUP 4之抓貨完成且第2 FOUP 4自載置埠32a之上方離開後第1搬送台車6Ba到達載置埠32a之位置的環繞路徑。
此時，管理裝置18B亦可根據第2搬送台車6Bb所進行之第2 FOUP 4之抓貨開始之開始抓貨時刻及抓貨所需之過去的時間資料，來算出完成抓貨之抓貨完成時刻，並將所算出之抓貨完成時刻發送至第1搬送台車6Ba。藉此，第1搬送台車6Ba之控制部54B可根據自管理裝置18B所發送之抓貨完成時刻，來決定第2移行計劃。
其結果，第1搬送台車6Ba根據第2移行計劃，以於第2搬送台車6Bb所進行之第2 FOUP 4之抓貨完成以前之期間一邊繞過載置埠32a之位置一邊移行並於完成抓貨之後第1搬送台車6Ba才到達載置埠32a之位置的方式，以第2路徑進行移行。
其後，於圖9雖未圖示，但與上述實施形態1同樣地，執行圖4之步驟S103以後之各個步驟。
[3-3.效果]
於本實施形態中，第1搬送台車6Ba於在載置埠32a之上方不存在第2 FOUP 4之情形時，採用表示相對較短之第1路徑之第1移行計劃(參照圖8)。藉此，第1搬送台車6Ba可較早地移行至載置埠32a之位置，而較早地開始進行卸載。
另一方面，第1搬送台車6Ba於在載置埠32a之上方有第2 FOUP 4存在之情形時，採用表示較第1路徑長之第2路徑之第2移行計劃(參照圖9)。藉此，由於第1搬送台車6Ba至載置埠32a可進行沒有不必要之停止的移行，因此可減輕因複數個搬送台車所導致之塞車的發生。又，可避免因即便在載置埠32a載置有第2 FOUP 4，第1搬送台車6Ba仍移行至載置埠32a之位置並開始卸載而發生錯誤等之不良情況。
藉此，可提高第1及第2 FOUP 4之搬送效率。
[3-4.變形例1]
於本實施形態中，雖已對管理裝置18B經由LAN電纜46而與第1通信元件14B及第2通信元件16B之各者連接之情形進行說明，但於管理裝置18B僅對應於無線通信之情形時，亦可例如以如下之方式構成。亦即，第1搬送台車6Ba將互鎖處理之通信狀況，經由無線存取點20而發送至管理裝置18B。藉此，管理裝置18B例如可不向第1通信元件14B進行詢問便判定於載置埠32a之上方是否有第2 FOUP 4存在。
[3-5.變形例2]
於本實施形態中，雖已對控制裝置8將第1移行指示信號及第2移行指示信號分別發送至第1搬送台車6Ba及第2搬送台車6Bb之情形進行說明，但亦可例如以如下之方式構成。
亦即，控制裝置8亦可將第3移行指示信號發送至第3搬送台車。第3移行指示信號係用以對第3搬送台車指示其移行至載置埠32a之位置且將第3FOUP自載置埠32a抓貨至第3搬送台車之指令。
於該情形時，管理裝置18將請求信號發送至第1通信元件14B。請求信號係用以對第1通信元件14B請求將表示在載置埠32a之上方是否有第3 FOUP存在之被搬送物資訊加以發送之指令。
第1通信元件14B根據自管理裝置18B所發送之請求信號，將表示在載置埠32a之上方是否有第3 FOUP存在之被搬送物資訊發送至管理裝置18B。管理裝置18B接收自第1通信元件14B所發送之被搬送物資訊。
第3搬送台車於接收到第3移行指示信號之後，根據第3移行指示信號，來決定第3移行計劃。第3移行計劃係表示自現在位置移行至載置埠32a之位置之最短路徑的第3路徑之移行計劃。
第3搬送台車於假定已根據第3移行計劃而到達載置埠32a之位置之情形時，於第3搬送台車到達載置埠32a之位置之時間點(相當於第2時刻)，將用以詢問在載置埠32a之上方是否有第3 FOUP存在之詢問信號發送至管理裝置18B。
管理裝置18B根據自第3搬送台車所發送之詢問信號，將回應信號發送至第3搬送台車。
此處，於回應信號為表示在載置埠32a之上方有第3 FOUP存在之信號之情形時，第3搬送台車根據該回應信號，判定第3FOUP自載置埠32a朝向第3搬送台車之抓貨為可能，而採用第3移行計劃。其結果，第3搬送台車根據第3移行計劃，而以第3路徑自現在位置移行至載置埠32a之位置。
另一方面，於回應信號為表示在載置埠32a之上方不存在第3 FOUP之信號之情形時，第3搬送台車根據該回應信號，判定第3 FOUP自載置埠32a朝向第3搬送台車之抓貨為不可，來決定第4移行計劃，並採用所決定之第4移行計劃。第4移行計劃係表示較第3路徑長之第4路徑之移行計劃，該第4路徑係於第3 FOUP朝向載置埠32a之載置完成之後，第3搬送台車到達載置埠32a之位置之環繞路徑。其結果，第3搬送台車根據第4移行計劃，以於第3 FOUP朝向載置埠32a之載置完成以前之期間一邊繞過載置埠32a之位置一邊移行並於完成抓貨之後第3搬送台車才到達載置埠32a之位置之方式，以第4路徑進行移行。
(實施形態4) [4-1.搬送系統之功能構成]
一邊參照圖10，一邊對實施形態4之搬送系統2C之功能構成進行說明。圖10係表示實施形態4之搬送系統2C之功能構成之方塊圖。
如圖10所示，於實施形態4之搬送系統2C中，管理裝置18C之構成與上述實施形態1不同。具體而言，管理裝置18C之控制部82C生成心跳信號，通信部78將所生成之心跳信號發送至第1通信元件14及第2通信元件16之各者。控制部82C根據對來自第1通信元件14及第2通信元件16之各者之心跳信號之回應的有無，來判定第1通信元件14及第2通信元件16之各者是否處於可通信之狀態。
[4-2.管理裝置之動作]
其次，一邊參照圖11，一邊對實施形態4之管理裝置18C之動作進行說明。圖11係表示實施形態4之管理裝置18C之動作之流程圖。
如圖11所示，首先，管理裝置18C之通信部78將由控制部82C 所生成之心跳信號發送至第1通信元件14及第2通信元件16之各者(S401)。
管理裝置18C之控制部82C判定對來自第1通信元件14及第2通信元件16之各者之心跳信號之回應的有無(S402)。於自第1通信元件14(或第2通信元件16)有對心跳信號之回應之情形時(於S402中為YES)，管理裝置18C之控制部82C便判定第1通信元件14(或第2通信元件16)處於可通信之狀態(S403)。
另一方面，於自第1通信元件14(或第2通信元件16)無對心跳信號之回應之情形時(於S402中為NO)時，管理裝置18C之控制部82C便判定第1通信元件14(或第2通信元件16)處於無法通信之狀態(S404)。
於步驟S403或S404之後，管理裝置18C之控制部82C使上述判定結果儲存於儲存部80(S405)。其後，管理裝置18C之控制部82C判定來自搬送台車6之詢問信號的有無(S406)。
例如，搬送台車6在與第1半導體製造裝置10之載置埠32a之間進行互鎖處理之前，對管理裝置18C發送用以詢問第1通信元件14是否處於可通信之狀態之詢問信號。管理裝置18C之控制部82C於詢問信號已自搬送台車6被發送之情形時(於S406中為YES)，將表示被儲存於儲存部80之判定結果之判定結果信號發送至搬送台車6(S407)。再者，管理裝置18C之控制部82C於詢問信號未自搬送台車6被發送之情形時(於S406中為NO)，返回上述之步驟S406。
再者，搬送台車6於例如接收到第1通信元件14處於可通信之狀態之判定結果之情形時，在與第1半導體製造裝置10之載置埠32a之間開始互鎖處理。另一方面，搬送台車6於例如接收到第1通信元件 14處於無法通信之狀態之判定結果之情形時，向控制裝置8通知該意旨。於該情形時，搬送台車6根據來自控制裝置8之指示，保留與第1半導體製造裝置10之載置埠32a之間之互鎖處理，而以繞過第1半導體製造裝置10之方式移行。
其後，於管理裝置18C繼續進行處理之情形時(於S408中為YES)，返回上述之步驟S401。另一方面，於管理裝置18C不繼續進行處理之情形時(於S408中為NO)，結束處理。
[4-3.效果]
於本實施形態中，管理裝置18C可掌握第1通信元件14及第2通信元件16之各者是否處於可通信之狀態。搬送台車6可根據管理裝置18C之判定結果，而正確地判定例如在與第1半導體製造裝置10之載置埠32a之間是否開始互鎖處理。
例如，搬送台車6於暫時性地無法與第1通信元件14通信之情形時，亦可採用表示在環繞既定之路徑之後才到達載置埠32a之移行路徑之移行計劃。藉此，搬送台車6可於與第1通信元件14之間之通信恢復之後，才到達載置埠32a。藉此，由於搬送台車6可於到達載置埠32a之後不等待通信之恢復，因此可減輕因複數個搬送台車6所導致之塞車的發生，而可提高搬送效率。
又，於不具備本實施形態所說明之管理裝置18C之比較例之搬送系統中，例如於設置有合計8000台通信元件之情形時，必須自上位系統對所有8000台之通信元件發送心跳信號。然而，於如此之情形時，由於自無線通信路徑之上位至下位之LAN頻段會受到壓迫，因此存在有搬送台車6之無線通信會產生妨礙之可能性。
相對於此，於本實施形態中，例如可由80個管理裝置18C來分擔 而管理合計8000台之通信元件。於該情形時，每1台管理裝置18C對100台通信元件之各者發送心跳信號。藉此，可抑制無線通信路徑之LAN頻段受到壓迫之情形。
又，上位系統於確認8000台所有之通信元件之通信狀態之情形時，可自80台管理裝置18C之各者一次性高效率地取得對應之100台之通信元件之通信狀況。
[4-4.變形例]
於本實施形態中，雖已對管理裝置18C經由LAN電纜46而與第1通信元件14及第2通信元件16之各者連接之情形進行說明，但於管理裝置18C僅對應於無線通信之情形時，亦可例如以如下之方式構成。亦即，搬送台車6亦可於例如欲經由無線存取點20對第1通信元件14(或第2通信元件16)執行互鎖處理之通信時而自第1通信元件14(或第2通信元件16)無回應之情形時，判定第1通信元件14(或第2通信元件16)處於無法通信之狀態。
於該情形時，搬送台車6經由無線存取點20向管理裝置18C通知該判定結果。藉此，管理裝置18C可掌握第1通信元件14及第2通信元件16之各者是否處於可通信之狀態。
(其他變形例等)
以上，雖已根據實施形態1至4，對本發明之搬送系統之控制方法、搬送系統及管理裝置進行說明，但本發明並非被限定於上述各實施形態者。本發明所為技術領域中具有通常知識者對上述各實施形態實施其想到之變形所得到之形態、及將上述各實施形態之構成元件任意地組合所實現之其他形態，亦包含於本發明中。
於上述各實施形態中，雖已對第1半導體製造裝置10連接1台第1通信元件14(14B)，但並不限定於此，亦可對複數個載置埠32a、32b、32c之每一者分別連接1台第1通信元件14(14B)。於該情形時，被儲存於管理裝置18(18a、18b、18B、18C)之管理表例如將第1半導體製造裝置10之站台編號、複數個載置埠32a、32b、32c之各裝載埠編號、及分別被連接於複數個載置埠32a、32b、32c之複數個第1通信元件14(14B)之各IP位址建立對應關係。於該情形時，站台編號及裝載埠編號之組合，為表示FOUP 4之移載位置之移載位置資訊之一例。
於上述各實施形態中，搬送台車6(6A、6Ba、6Bb)雖經由無線存取點20而與第1通信元件14(14B)及第2通信元件16(16B)之各者進行無線通信，但並不限定於此。例如，搬送台車6(6A、6Ba、6Bb)亦可不經由無線存取點20而與第1通信元件14(14B)及第2通信元件16(16B)之各者直接進行無線通信。
(產業上之可利用性)
本發明之搬送系統可應用於例如用以藉由沿著被設置於天花板之軌道移行之搬送台車來搬送FOUP之半導體製造系統等。
6‧‧‧搬送台車
8‧‧‧控制裝置
14‧‧‧第1通信元件
18‧‧‧管理裝置

Claims (14)

  1. 一種搬送系統之控制方法，係具備有：用以搬送被搬送物之複數個搬送台車、在與上述複數個搬送台車之各者之間移載上述被搬送物之複數個移載裝置、分別被連接於上述複數個移載裝置之複數個通信元件、及管理上述複數個通信元件之管理裝置者；其中，上述複數個搬送台車之各者具有第1儲存部，該第1儲存部儲存表示上述複數個移載裝置中特定之移載裝置之上述被搬送物之移載位置的特定之移載位置資訊，上述管理裝置具有儲存表示移載位置資訊與通信元件發送對象資訊之對應關係之對應資訊的第2儲存部，該移載位置資訊表示上述複數個移載裝置之各者之上述被搬送物之移載位置，而該通信元件發送對象資訊表示被連接於該移載裝置之上述通信元件之發送對象，且上述控制方法包含有：(a)上述複數個搬送台車中特定之搬送台車將上述特定之移載位置資訊發送至上述管理裝置之步驟；(b)上述管理裝置自上述對應資訊，提取與自上述特定之搬送台車所接收之上述特定之移載位置資訊對應之特定之通信元件發送對象資訊，並將所提取之上述特定之通信元件發送對象資訊發送至上述特定之搬送台車之步驟；及(c)上述特定之搬送台車利用自上述管理裝置所接收之上述特定之通信元件發送對象資訊，對上述複數個通信元件中被連接於上述特定之移載裝置之特定之通信元件，執行用以於上述特定之移載裝置與上述特定之搬送台車之間移載上述被搬送物之通信之步驟。
  2. 如請求項1之搬送系統之控制方法，其中，上述搬送系統進一步 具備有控制上述複數個搬送台車之各者之移行之控制裝置，上述控制方法進一步包含有：(d)上述特定之搬送台車自上述控制裝置，接收表示上述管理裝置之發送對象之管理裝置發送對象資訊；且於上述(a)中，上述特定之搬送台車利用自上述控制裝置所接收之上述管理裝置發送對象資訊，將上述特定之移載位置資訊發送至上述管理裝置。
  3. 如請求項2之搬送系統之控制方法，其中，上述搬送系統具備有包含第1管理裝置及第2管理裝置之複數個上述管理裝置，於上述(d)中，上述特定之搬送台車自上述控制裝置，接收表示上述複數個管理裝置之各者之發送對象之複數個上述管理裝置發送對象資訊，且於上述(a)中，上述特定之搬送台車從自上述控制裝置所接收之上述複數個管理裝置發送對象資訊中選擇表示上述第1管理裝置之發送對象之第1管理裝置發送對象資訊，並利用上述第1管理裝置發送對象資訊將上述特定之移載位置資訊發送至上述第1管理裝置。
  4. 如請求項3之搬送系統之控制方法，其中，上述控制方法進一步包含有：(e)於在上述(a)中無法與上述第1管理裝置進行通信之情形時，上述特定之搬送台車從自上述控制裝置所接收之上述複數個管理裝置發送對象資訊中選擇表示上述第2管理裝置之發送對象之第2管理裝置發送對象資訊，並利用上述第2管理裝置發送對象資訊將上述特定之移載位置資訊發送至上述第2管理裝置之步驟。
  5. 如請求項2之搬送系統之控制方法，其中，上述搬送系統具備有 包含第1管理裝置及第2管理裝置之複數個上述管理裝置，於上述(d)中，上述特定之搬送台車自上述控制裝置，接收表示上述第1管理裝置之發送對象之第1管理裝置發送對象資訊，於上述(a)中，上述特定之搬送台車利用自上述控制裝置所接收之上述第1管理裝置發送對象資訊，將上述特定之移載位置資訊發送至上述第1管理裝置，且上述控制方法進一步包含有：(f)於在上述(a)中無法與上述第1管理裝置進行通信之情形時，上述特定之搬送台車自上述控制裝置接收表示上述第2管理裝置之發送對象之第2管理裝置發送對象資訊之步驟；及(g)上述特定之搬送台車利用自上述控制裝置所接收之上述第2管理裝置發送對象資訊，將上述特定之移載位置資訊發送至上述第2管理裝置之步驟。
  6. 如請求項2至5中任一項之搬送系統之控制方法，其中，上述控制方法進一步包含有：(h)上述控制裝置對上述複數個搬送台車中之第1搬送台車發送用以指示其移行至上述特定之移載裝置之位置，且將第1被搬送物自上述第1搬送台車移載至上述特定之移載裝置之第1移行指示信號之步驟；(i)上述管理裝置取得表示在上述特定之移載裝置之上方是否有第2被搬送物存在之被搬送物資訊之步驟；(j)上述第1搬送台車於接收到上述第1移行指示信號之後，決定表示自現在位置移行至上述特定之移載裝置之位置之第1路徑的第1移行計劃之步驟；(k)上述第1搬送台車於假定已根據上述第1移行計劃而在第1時刻 到達上述特定之移載裝置之位置之情形時，向上述管理裝置詢問在上述第1時刻，上述第2被搬送物是否存在於上述特定之移載裝置之上方之步驟；及(l)於上述第1搬送台車自上述管理裝置接收到在上述特定之移載裝置之上方不存在上述第2被搬送物之上述詢問之結果之情形時，採用上述第1移行計劃，而於自上述管理裝置接收到在上述特定之移載裝置之上方有上述第2被搬送物存在之上述詢問之結果之情形時，決定與上述第1移行計劃不同之第2移行計劃，且採用所決定之上述第2移行計劃之步驟；上述第2移行計劃表示較上述第1路徑長之第2路徑，而該第2路徑係於上述第2被搬送物自上述特定之移載裝置朝向上述複數個搬送台車中之第2搬送台車之移載完成且上述第2被搬送物離開上述特定之移載裝置之上方之後，上述第1搬送台車到達上述特定之移載裝置之位置者。
  7. 如請求項2之搬送系統之控制方法，其中，上述控制方法進一步包含有：(m)上述控制裝置對上述複數個搬送台車中之第3搬送台車發送用以指示移行至上述特定之移載裝置之位置，且將第3被搬送物自上述特定之移載裝置移載至上述第3搬送台車之第3移行指示信號之步驟；(n)上述管理裝置取得表示在上述特定之移載裝置之上方是否有上述第3被搬送物存在之被搬送物資訊之步驟；(o)上述第3搬送台車在接收到上述第3移行指示信號之後，決定表示自現在位置移行至上述特定之移載裝置之位置之第3路徑的第3移行計劃之步驟； (p)上述第3搬送台車在假定已根據上述第3移行計劃而於第2時刻到達上述特定之移載裝置之位置之情形時，向上述管理裝置詢問在上述第2時刻，於上述特定之移載裝置之上方是否有上述第3被搬送物存在；及(q)於上述第3搬送台車自上述管理裝置接收到在上述特定之移載裝置之上方有上述第3被搬送物存在之上述詢問之結果之情形時，採用上述第3移行計劃，而於自上述管理裝置接收到在上述特定之移載裝置之上方不存在上述第3被搬送物之上述詢問之結果之情形時，決定與上述第3移行計劃不同之第4移行計劃，且採用所決定之上述第4移行計劃之步驟；上述第4移行計劃表示較上述第3路徑長之第4路徑，而該第4路徑係於上述第3被搬送物朝向上述特定之移載裝置之載置完成之後，上述第3搬送台車到達上述特定之移載裝置之位置者。
  8. 如請求項7之搬送系統之控制方法，其中，上述控制方法進一步包含有：(r)於在上述特定之移載裝置載置有上述第2被搬送物之狀態下，上述控制裝置對上述第2搬送台車發送用以指示其移行至上述特定之移載裝置之位置，且將上述第2被搬送物自上述特定之移載裝置移載至上述第2搬送台車之第2移行指示信號之步驟。
  9. 如請求項1之搬送系統之控制方法，其中，上述搬送系統進一步具備有無線存取點，於上述(a)中，上述特定之搬送台車經由上述無線存取點，將上述特定之移載位置資訊發送至上述管理裝置，於上述(b)中，上述管理裝置經由上述無線存取點，將上述特定之通 信元件發送對象資訊發送至上述特定之搬送台車，且於上述(c)中，上述特定之搬送台車經由上述無線存取點，對上述特定之通信元件執行上述通信。
  10. 如請求項9之搬送系統之控制方法，其中，上述控制方法進一步包含有：(s)於在上述(c)中，上述特定之搬送台車欲經由上述無線存取點對上述特定之通信元件執行上述通信時，沒有來自上述特定之通信元件之回應之情形時，上述特定之搬送台車判定上述特定之通信元件處於無法通信之狀態，並經由上述無線存取點向上述管理裝置通知該判定結果之步驟。
  11. 如請求項1之搬送系統之控制方法，其中，上述控制方法進一步包含有：(t)上述管理裝置對上述複數個通信元件之各者發送心跳信號之步驟；及(u)於自上述複數個通信元件中之任一個通信元件有對上述心跳信號之回應之情形時，上述管理裝置判定該通信元件處於可通信之狀態，而於自上述複數個通信元件中之任一個通信元件沒有對上述心跳信號之回應之情形時，則判定該通信元件處於無法通信之狀態之步驟。
  12. 如請求項1之搬送系統之控制方法，其中，上述對應資訊進一步包含有與上述移載位置資訊及上述通信元件發送對象資訊建立對應關係之表示上述通信元件之通信屬性的通信屬性資訊，於上述(b)中，上述管理裝置自上述對應資訊提取與自上述特定之搬送台車所接收之上述特定之移載位置資訊對應之上述特定之通信元件發送對象資訊及特定之通信屬性資訊，並將所提取之上述特定之通信 元件發送對象資訊及上述特定之通信屬性資訊發送至上述特定之搬送台車，且於上述(c)中，上述特定之搬送台車利用自上述管理裝置所接收之上述特定之通信元件發送對象資訊及上述特定之通信屬性資訊，對上述特定之通信元件執行上述通信。
  13. 一種搬送系統，係用以搬送被搬送物者；其具備有：複數個搬送台車，其等用以搬送上述被搬送物；複數個移載裝置，其等在上述複數個搬送台車之各者之間移載上述被搬送物；複數個通信元件，其等分別被連接於上述複數個移載裝置；及管理裝置，其管理上述複數個通信元件；上述複數個搬送台車之各者具有：第1儲存部，其儲存表示上述複數個移載裝置中特定之移載裝置之上述被搬送物之移載位置的特定之移載位置資訊；及第1通信部，其將上述特定之移載位置資訊發送至上述管理裝置；上述管理裝置具有：第2儲存部，其儲存表示移載位置資訊與通信元件發送對象資訊之對應關係之對應資訊，該移載位置資訊表示上述複數個移載裝置之各者之上述被搬送物之移載位置，而該通信元件發送對象資訊表示被連接於該移載裝置之上述通信元件之發送對象；控制部，其自上述對應資訊提取與自上述複數個搬送台車中特定之搬送台車所接收之上述特定之移載位置資訊對應之特定之通信元件發送對象資訊；及第2通信部，其將所提取之上述特定之通信元件發送對象資訊發送 至上述特定之搬送台車；且上述特定之搬送台車之上述第1通信部進一步利用自上述管理裝置所接收之上述特定之通信元件發送對象資訊，對上述複數個通信元件中被連接於上述特定之移載裝置之特定之通信元件，執行用以於上述特定之移載裝置與上述特定之搬送台車之間移載上述被搬送物之通信。
  14. 一種管理裝置，係管理分別被連接於在與搬送台車之間移載被搬送物之複數個移載裝置之複數個通信元件者；其具備有：儲存部，其儲存表示移載位置資訊與通信元件發送對象資訊之對應關係之對應資訊，該移載位置資訊表示上述複數個移載裝置之各者之上述被搬送物之移載位置，而該通信元件發送對象資訊表示被連接於該移載裝置之上述通信元件之發送對象；通信部，其自上述搬送台車接收表示上述複數個移載裝置中特定之移載裝置之上述被搬送物之移載位置的特定之移載位置資訊；及控制部，其自上述對應資訊提取與所接收之上述特定之移載位置資訊對應之特定之通信元件發送對象資訊；且上述通信部將所提取之上述特定之通信元件發送對象資訊發送至上述搬送台車。
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