KR102335391B1 - 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램 - Google Patents

데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램 Download PDF

Info

Publication number
KR102335391B1
KR102335391B1 KR1020210114569A KR20210114569A KR102335391B1 KR 102335391 B1 KR102335391 B1 KR 102335391B1 KR 1020210114569 A KR1020210114569 A KR 1020210114569A KR 20210114569 A KR20210114569 A KR 20210114569A KR 102335391 B1 KR102335391 B1 KR 102335391B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
reference data
data
processing
recipe
Prior art date
Application number
KR1020210114569A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210110278A (ko
Inventor
히데지 나오하라
다카시 이케우치
Original Assignee
가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 filed Critical 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Publication of KR20210110278A publication Critical patent/KR20210110278A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102335391B1 publication Critical patent/KR102335391B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/188—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by special applications and not provided for in the relevant subclasses, (e.g. making dies, filament winding)
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41875—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B13/00—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
    • G05B13/02—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric
    • G05B13/04—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators
    • G05B13/042—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators in which a parameter or coefficient is automatically adjusted to optimise the performance
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/406—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by monitoring or safety
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F17/00—Digital computing or data processing equipment or methods, specially adapted for specific functions
    • G06F17/10—Complex mathematical operations
    • G06F17/18—Complex mathematical operations for evaluating statistical data, e.g. average values, frequency distributions, probability functions, regression analysis
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Data Mining & Analysis (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Mathematical Analysis (AREA)
  • Mathematical Optimization (AREA)
  • Pure & Applied Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Computational Mathematics (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Algebra (AREA)
  • Probability & Statistics with Applications (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Evolutionary Biology (AREA)
  • Databases & Information Systems (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Bioinformatics & Computational Biology (AREA)
  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)

Abstract

(과제) 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀하게 행하는 것을 가능하게 하는 데이터 처리 방법을 제공한다.
(해결 수단) 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 방법에는, 기준 데이터(단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터)를 변경하는 기준 데이터 변경 단계(S300)와, 기준 데이터 변경 단계(S300)에 의한 변경 후의 기준 데이터인 신기준 데이터를 기준 데이터가 변경된 단위 요소 이외의 단위 요소에 전개하는 기준 데이터 전개 단계(S310~S340)가 포함된다.

Description

데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램{DATA PROCESSING METHOD, DATA PROCESSING APPARATUS, DATA PROCESSING SYSTEM, AND DATA PROCESSING PROGRAM}
본 발명은, 디지털 데이터 처리에 관한 것이며, 특히, 시계열 데이터를 처리하는 방법에 관한 것이다.
기기나 장치의 이상을 검출하는 방법으로서, 기기나 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량(예를 들면, 길이, 각도, 시간, 속도, 힘, 압력, 전압, 전류, 온도, 유량 등)을 센서 등을 이용하여 측정하고, 측정 결과를 발생순으로 나열해 얻어진 시계열 데이터를 분석하는 방법이 알려져 있다. 기기나 장치가 동일한 조건으로 동일한 동작을 행하는 경우, 이상이 없으면, 시계열 데이터는 동일하게 변화한다. 그래서, 동일하게 변화하는 복수의 시계열 데이터를 서로 비교하여 이상(異常)인 시계열 데이터를 검출하고, 그 이상인 시계열 데이터를 분석함으로써, 이상의 발생 개소나 이상의 원인의 특정이 가능해진다. 또, 최근, 컴퓨터의 데이터 처리 능력의 향상이 현저하다. 이로 인해, 설령 데이터량이 방대해도 실용적인 시간에 필요한 결과가 얻어지는 케이스가 많아지고 있다. 이러한 것으로부터도, 시계열 데이터의 분석이 활발해지고 있다.
예를 들면, 반도체 제조 장치에서는, 각종 프로세스에 있어서 시계열 데이터가 얻어진다. 그래서, 반도체 제조 장치의 분야에 있어서도, 시계열 데이터의 분석이나 화면 상으로의 시계열 데이터의 표시 등이 행해지고 있다.
또한, 본건 발명에 관련하여, 일본의 일본국 특허 공개 2017-83985호 공보에는, 이용자가 분석하기 쉬운 양태로 시계열 데이터를 표시하는 시계열 데이터 처리 장치의 발명이 개시되어 있다. 그 시계열 데이터 처리 장치에서는, 복수의 시계열 데이터가 복수의 그룹으로 나뉘어, 그룹마다의 이상도 및 각 그룹 내에 있어서의 시계열 데이터의 이상도가 산출되고 있다. 그리고, 그룹 혹은 시계열 데이터를 이상도에 의거해 랭킹한 결과가 표시부에 표시된다.
반도체 제조 장치의 1종인 세정 장치 등의 기판 처리 장치는, 일반적으로, 복수의 챔버(처리실)를 갖고 있다. 그들 복수의 챔버와 동일한 레시피가 실행된 경우, 당해 복수의 챔버에서 균일한 결과물이 얻어지는 것이 바람직하다. 따라서, 1개의 기판 처리 장치에 포함되는 복수의 챔버는 동일한 처리 성능을 갖는 것이 바람직하다. 그런데, 실제로는 복수의 챔버간에 처리 성능에 차가 발생하고 있다. 이 때문에, 어느 챔버에 있어서 기판에 대한 처리가 정상적으로 행해지고 있을 때 다른 챔버에 있어서 동일한 처리가 정상적으로 행해지고 있지 않는 경우가 있다.
그래서, 기판 처리 장치의 분야에 있어서도, 이상의 조기 발견이나 이상의 미연 방지를 도모하기 위해, 상술한 바와 같이, 각종 프로세스에서 얻어진 시계열 데이터를 분석하는 것이 행해지고 있다. 그런데, 동일하게 변화하는 복수의 시계열 데이터에 포함되는 각 시계열 데이터가 이상인지 아닌가를 판단하기 위해서는, 평가 대상이 되는 각 시계열 데이터를 이상(理想)적인 시계열의 값(데이터값)을 갖는 시계열 데이터와 비교할 필요가 있다. 이상적인 시계열의 값을 갖는 시계열 데이터로서, 예를 들면, 복수의 시계열 데이터의 평균값으로 구성되는 시계열 데이터를 이용하는 것이 생각된다. 그런데, 평균값을 산출하는 기초가 되는 복수의 시계열 데이터 중에 다른 값과는 차이가 많이 나는 값을 갖는 데이터나 이상인 값을 갖는 다수의 데이터가 포함되는 경우, 산출되는 평균값이 반드시 이상적인 값으로는 되지 않기 때문에, 이상이 정밀하게 검출되지 않는다.
그래서, 본 발명은, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀하게 행하는 것을 가능하게 하는 데이터 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
제1의 발명은, 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 방법으로서,
단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경 단계와,
*상기 기준 데이터 변경 단계에 의한 변경 후의 기준 데이터인 신기준 데이터를, 상기 기준 데이터 변경 단계에서 기준 데이터가 변경된 단위 요소 이외의 단위 요소에 전개하는 기준 데이터 전개 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제2의 발명은, 제1의 발명에 있어서,
1개의 단위 요소가 주(主)단위 요소로 정해짐과 더불어 상기 주단위 요소 이외의 단위 요소가 종(從)단위 요소로 정해지고,
상기 기준 데이터 변경 단계에서는, 상기 주단위 요소에 대한 기준 데이터가 변경되고,
상기 기준 데이터 전개 단계에서는, 상기 신기준 데이터가 상기 종단위 요소에 전개되는 것을 특징으로 한다.
제3의 발명은, 제2의 발명에 있어서,
상기 기준 데이터 전개 단계는,
상기 기준 데이터의 전개를 관리하기 위한 전개 관리부에 상기 주단위 요소로부터 상기 신기준 데이터를 송신하는 기준 데이터 업로드 단계와,
상기 기준 데이터 업로드 단계에서 상기 전개 관리부에 송신된 신기준 데이터를 상기 전개 관리부로부터 상기 종단위 요소에 송신하는 기준 데이터 다운로드 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제4의 발명은, 제2의 발명에 있어서,
상기 단위 처리는, 기판 처리 장치에서 1장의 기판에 대해 1개의 레시피로서 실행되는 처리이고,
상기 주단위 요소 및 상기 종단위 요소는 레시피마다 정해지는 것을 특징으로 한다.
제5의 발명은, 제4의 발명에 있어서,
상기 기준 데이터 전개 단계는,
상기 기준 데이터의 전개를 관리하기 위한 전개 관리부에 상기 주단위 요소로부터 상기 신기준 데이터와 기준 데이터가 변경되었다는 취지의 변경 통지를 송신하는 기준 데이터 업로드 단계와,
상기 전개 관리부에 있어서, 상기 신기준 데이터와 상기 변경 통지에 의거해 기준 데이터의 변경이 있었던 레시피를 특정하고, 그 특정한 레시피에 대해서 종단위 요소로 정해져 있는 단위 요소를 상기 신기준 데이터의 전개처로서 특정하는, 전개처 특정 단계와,
상기 전개 관리부로부터 상기 전개처 특정 단계에서 전개처로서 특정된 단위 요소에 상기 기준 데이터 업로드 단계에서 상기 전개 관리부에 송신된 신기준 데이터와 기준 데이터의 갱신을 지시하는 갱신 지시 통지를 송신하는 기준 데이터 다운로드 단계와,
상기 종단위 요소에 있어서, 상기 전개처 특정 단계에서 특정된 레시피에 대한 기준 데이터를 상기 갱신 지시 통지에 의거해 상기 신기준 데이터로 갱신하는 기준 데이터 갱신 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제6의 발명은, 제1 내지 제5 중 어느 한 발명에 있어서,
평가 대상의 단위 처리 데이터와 상기 기준 데이터에 의거해 상기 평가 대상의 단위 처리 데이터에 대한 평가값을 산출하는 단위 처리 데이터 평가 단계를 더 포함하고,
상기 기준 데이터 변경 단계에서는, 상기 단위 처리 데이터 평가 단계에서 산출된 평가값에 의거해 상기 기준 데이터가 변경되는 것을 특징으로 한다.
제7의 발명은, 제1 내지 제6 중 어느 한 발명에 있어서,
상기 단위 요소는, 1개의 기판 처리 장치인 것을 특징으로 한다.
제8의 발명은, 제1 내지 제6 중 어느 한 발명에 있어서,
상기 단위 요소는, 기판 처리 장치에 있어서 기판을 처리하는 1개의 처리 유닛을 포함하는 구성체인 것을 특징으로 한다.
제9의 발명은, 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는, 복수의 단위 요소로 구성되는 데이터 처리 시스템에 있어서의 데이터 처리 방법으로서,
상기 데이터 처리 시스템은,
단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터를 저장하는, 단위 요소마다 설치된 제1의 기준 데이터 저장부와,
상기 기준 데이터를 저장하는, 모든 단위 요소에서 공용되는 제2의 기준 데이터 저장부와,
상기 기준 데이터의 전개를 관리하기 위한 전개 관리부를 갖고,
상기 데이터 처리 방법은,
단위 요소가 추가되었을 때에 당해 추가된 단위 요소인 신규 단위 요소의 구성 정보를 상기 신규 단위 요소로부터 상기 전개 관리부에 송신하는 구성 정보 송신 단계와,
상기 전개 관리부에 있어서, 상기 신규 단위 요소에 전개해야 할 기준 데이터를 상기 구성 정보에 의거해 상기 제2의 기준 데이터 저장부로부터 취득하는 기준 데이터 취득 단계와,
상기 기준 데이터 취득 단계에서 취득된 기준 데이터를 상기 전개 관리부로부터 상기 신규 단위 요소에 송신하는 기준 데이터 송신 단계와,
상기 신규 단위 요소에 있어서, 상기 기준 데이터 송신 단계에서 송신된 기준 데이터를 상기 제1의 기준 데이터 저장부에 저장하는 기준 데이터 저장 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제10의 발명은, 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 장치로서,
단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터를 저장하는, 단위 요소마다 설치된 기준 데이터 저장부와,
1개의 단위 요소에 대한 기준 데이터 저장부에 저장되어 있는 기준 데이터를 다른 단위 요소에 전개하는 기준 데이터 전개부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
제11의 발명은, 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 시스템으로서,
단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터를 저장하는, 단위 요소마다 설치된 기준 데이터 저장부와,
1개의 단위 요소에 대한 기준 데이터 저장부에 저장되어 있는 기준 데이터를 다른 단위 요소에 전개하는 기준 데이터 전개부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
제12의 발명은, 제11의 발명에 있어서,
상기 기준 데이터 저장부에 저장되어 있는 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경부를 더 구비하고,
상기 기준 데이터 전개부는, 상기 기준 데이터 변경부에 의해서 기준 데이터가 변경되었을 때에, 변경 후의 기준 데이터인 신기준 데이터를, 기준 데이터가 변경된 단위 요소 이외의 단위 요소에 자동적으로 전개하는 것을 특징으로 한다.
제13의 발명은, 제11의 발명에 있어서,
전개 대상의 기준 데이터 및 전개처의 단위 요소를 지정하기 위한 전개 지정부를 더 구비하고,
상기 기준 데이터 전개부는, 상기 전개 지정부에 의해서 지정된 기준 데이터를 상기 전개 지정부에 의해서 지정된 단위 요소에 전개하는 것을 특징으로 한다.
제14의 발명은, 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 프로그램으로서,
단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경 단계와,
상기 기준 데이터 변경 단계에 의한 변경 후의 기준 데이터인 신기준 데이터를, 상기 기준 데이터 변경 단계에서 기준 데이터가 변경된 단위 요소 이외의 단위 요소에 전개하는 기준 데이터 전개 단계
를 컴퓨터의 CPU가 메모리를 이용하여 실행하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1의 발명에 의하면, 어느 단위 요소에 대한 기준 데이터(복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터)에 변경이 있었을 때에, 변경 후의 기준 데이터인 신기준 데이터를 다른 단위 요소로 전개할 수 있다. 이로 인해, 양호한 결과의 단위 처리 데이터가 얻어져 있지 않은 단위 요소에 대해서도, 양호한 결과의 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 유지하는 것이 가능해진다. 이와 같이, 각 단위 요소에서의 처리로 얻어진 단위 처리 데이터를 적합한 기준 데이터와 비교하는 것이 가능해지므로, 처리의 이상을 정밀하게 검출하는 것이 가능해진다. 이상과 같이, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀하게 행하는 것이 가능해진다.
상기 제2의 발명에 의하면, 양호한 결과의 단위 처리 데이터가 얻어지는 단위 요소로부터 그 이외의 단위 요소로 기준 데이터를 전개할 수 있다. 이에 의해, 각 단위 요소에서의 처리로 얻어진 단위 처리 데이터를 확실하게 적합한 기준 데이터와 비교하는 것이 가능해진다.
상기 제3의 발명에 의하면, 상기 제2의 발명과 동일한 효과가 얻어진다.
상기 제4의 발명에 의하면, 기판 처리 장치에서 실행된 처리(레시피)로 발생한 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀하게 행하는 것이 가능해진다.
상기 제5의 발명에 의하면, 상기 제4의 발명과 동일한 효과가 얻어진다.
상기 제6의 발명에 의하면, 기준 데이터의 변경은 평가값에 의거해 행해지므로, 각 단위 요소에 대해서, 확실하게, 양호한 결과의 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 유지하는 것이 가능해진다.
상기 제7의 발명에 의하면, 어느 기판 처리 장치에 대한 기준 데이터에 변경이 있었을 때에, 변경 후의 기준 데이터인 신기준 데이터를 다른 기판 처리 장치로 전개할 수 있다. 이로 인해, 복수의 기판 처리 장치를 이용한 시스템에 있어서, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀하게 행하는 것이 가능해진다.
상기 제8의 발명에 의하면, 기판 처리 장치 내의 어느 처리 유닛에 대한 기준 데이터에 변경이 있었을 때에, 변경 후의 기준 데이터인 신기준 데이터를 다른 처리 유닛으로 전개할 수 있다. 이 때문에, 기판 처리 장치에 있어서, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀하게 행하는 것이 가능해진다.
상기 제9의 발명에 의하면, 데이터 처리 시스템에 단위 요소가 추가되면, 신규 단위 요소의 구성 정보가 전개 관리부에 송신되고, 당해 구성 정보에 의거하는 기준 데이터가 신규 단위 요소로 전개된다. 이 때문에, 데이터 처리 시스템에 추가된 신규 단위 요소에 대해서도, 양호한 결과의 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 유지하는 것이 가능해진다. 이와 같이, 신규 단위 요소에서의 처리로 얻어진 단위 처리 데이터를 적합한 기준 데이터와 비교하는 것이 가능해지므로, 신규 단위 요소에서의 처리의 이상을 정밀하게 검출하는 것이 가능해진다. 이상과 같이, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀하게 행하는 것이 가능해진다.
상기 제10의 발명에 의하면, 상기 제1의 발명과 동일한 효과가 얻어진다.
상기 제11의 발명에 의하면, 상기 제1의 발명과 동일한 효과가 얻어진다.
상기 제12의 발명에 의하면, 기준 데이터의 전개가 작업자의 조작을 필요로 하지 않고 행해지므로, 작업자의 조작 부담이 경감된다. 또, 작업자의 조작 미스에 의해서 기준 데이터의 전개가 부적당하게 행해지는 것이 방지된다.
상기 제13의 발명에 의하면, 필요에 따라서 어느 단위 요소로부터 다른 단위 요소로 기준 데이터를 전개하는 것이 가능해진다.
상기 제14의 발명에 의하면, 상기 제1의 발명과 동일한 효과를 얻어진다.
도 1은 본 발명의 제1의 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 어느 1개의 시계열 데이터를 그래프화하여 나타낸 도면이다.
도 3은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 단위 처리 데이터에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 상기 제1의 실시형태에 있어서, 기판 처리 장치의 제어부의 하드웨어 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 5는 상기 제1의 실시형태에 있어서, 시계열 데이터 DB에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 제1의 기준 데이터 DB에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 제2의 기준 데이터 DB에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 기준 데이터 전개 처리에 관련된 기능 구성을 나타내는 기능 블럭도이다.
도 9는 상기 제1의 실시형태에 있어서, 주(主)유닛에 있어서의 기준 데이터를 변경하는 순서를 나타내는 플로차트이다.
도 10은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 스코어링 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 스코어링 결과 일람 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 12는 상기 제1의 실시형태에 있어서, 추천 설정 시의 스코어링 결과 일람 화면의 천이를 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 추천 설정 시의 스코어링 결과 일람 화면의 천이를 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 상기 제1의 실시형태에 있어서, 랭킹 설정 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 15는 상기 제1의 실시형태에 있어서, 랭킹 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 16은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 기준 데이터의 변경을 할 때의 랭킹 화면의 천이를 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 기준 데이터의 변경에 관한 데이터 처리의 수순을 나타내는 플로차트이다.
도 18은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 변경 타이밍 설정 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 19는 상기 제1의 실시형태에 있어서, 변경 지정일에 도달하고 있는지 아닌지의 판정에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 20은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 변경 타이밍의 설정 변경에 수반하는 변경 지정일의 변화에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 21은 상기 제1의 실시형태에 있어서의 기준 데이터 전개 처리의 수순을 나타내는 플로차트이다.
도 22는 상기 제1의 실시형태에 있어서, 변경 통지의 송신에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 23은 상기 제1의 실시형태에 있어서, 갱신 지시 통지의 송신에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 24는 본 발명의 제2의 실시형태에 따른 기판 처리 시스템의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 25은 상기 제2의 실시형태에 있어서, 기판 처리 장치의 제어부의 하드웨어 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 26은 상기 제2의 실시형태에 있어서, 제1의 기준 데이터 DB에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 27은 상기 제2의 실시형태에 있어서, 관리 서버의 하드웨어 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 28은 상기 제2의 실시형태에 있어서, 기준 데이터 전개 처리에 관련된 기능 구성을 나타내는 기능 블럭도이다.
도 29는 상기 제2의 실시형태에 있어서의 기준 데이터 전개 처리의 수순을 나타내는 플로차트이다.
도 30은 상기 제2의 실시형태에 있어서, 변경 통지의 송신에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 31은 상기 제2의 실시형태에 있어서, 갱신 지시 통지의 송신에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 32는 상기 제2의 실시형태에 있어서, 기판 처리 장치가 추가되었을 때의 기준 데이터 전개 처리의 수순을 나타내는 플로차트이다.
도 33은 변형예에 있어서의 기준 데이터 전개 처리의 수순을 나타내는 플로차트이다.
도 34는 상기 변형예에 있어서, 기준 데이터 선택 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 35는 상기 변형예에 있어서, 전개처 선택 화면의 일례를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다.
<1. 제1의 실시형태>
<1.1 기판 처리 장치의 구성>
도 1은, 본 발명의 제1의 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)의 개략 구성을 나타내는 도면이다. 기판 처리 장치(1)는, 인덱서부(10)와 처리부(20)를 구비하고 있다. 인덱서부(10)는, 복수장의 기판을 수용 가능한 기판 수용기(카세트)를 재치(載置)하기 위한 복수개의 기판 수용기 유지부(12)와, 기판 수용기로부터의 기판의 반출 및 기판 수용기로의 기판의 반입을 행하는 인덱서 로봇(14)을 포함하고 있다. 처리부(20)는, 처리액을 이용하여 기판의 세정 등의 처리를 행하는 복수개의 처리 유닛(22)과, 처리 유닛(22)으로의 기판의 반입 및 처리 유닛(22)으로부터의 기판의 반출을 행하는 기판 반송 로봇(24)을 포함하고 있다. 처리 유닛(22)의 수는, 예를 들면 12개이다. 이 경우, 예를 들면, 3개의 처리 유닛(22)을 적층한 타워 구조체가 도 1에 나타낸 바와 같이 기판 반송 로봇(24)의 주위의 4개소에 설치된다. 이하의 설명에 있어서도 처리 유닛(22)은 12개 설치되어 있는 것으로 가정하고, 그들 12개의 처리 유닛(22)은 "Chamber1"~"Chamber12"라는 명칭으로 구별되는 것으로 가정한다. 각 처리 유닛(22)에는 기판에 대한 처리를 행하는 공간인 챔버가 설치되어 있고, 챔버 내에서 기판에 처리액이 공급된다. 또, 기판 처리 장치(1)는, 그 내부에, 마이크로 컴퓨터로 구성되는 제어부(100)를 구비하고 있다.
기판에 대한 처리가 행해질 때, 인덱서 로봇(14)은, 기판 수용기 유지부(12)에 재치되어 있는 기판 수용기로부터 처리 대상의 기판을 취출하여, 당해 기판을 기판 수도(受渡)부(8)를 개재하여 기판 반송 로봇(24)에 건넨다. 기판 반송 로봇(24)은, 인덱서 로봇(14)으로부터 수취한 기판을 대상의 처리 유닛(22)에 반입한다. 기판에 대한 처리가 종료되면, 기판 반송 로봇(24)은, 대상의 처리 유닛(22)으로부터 기판을 취출하여, 당해 기판을 기판 수도부(8)를 개재하여 인덱서 로봇(14)에 건넨다. 인덱서 로봇(14)은, 기판 반송 로봇(24)으로부터 수취한 기판을 대상의 기판 수용기에 반입한다.
제어부(100)는, 인덱서부(10) 및 처리부(20)에 포함되어 있는 제어 대상(인덱서 로봇(14)을 이동시키는 이동 기구 등)의 동작을 제어한다. 또, 제어부(100)는, 이 기판 처리 장치(1)에서 레시피가 실행됨으로써 얻어지는 시계열 데이터를 축적하여 유지하고, 당해 시계열 데이터를 이용한 각종 데이터 처리를 행한다.
<1.2 시계열 데이터 및 기준 데이터>
본 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)에서는, 각 처리 유닛(22)에 있어서의 처리에 관련된 기기의 이상이나 각 처리 유닛(22)에서 행해진 처리의 이상 등을 검출하기 위해서, 레시피가 실행될 때마다, 시계열 데이터가 취득된다. 본 실시형태에서 취득되는 시계열 데이터는, 레시피가 실행되었을 때에 각종의 물리량(예를 들면, 노즐의 유량, 챔버의 내압, 챔버의 배기압 등)을 센서 등을 이용해 측정하여 측정 결과를 시계열로 나열해 얻어진 데이터이다. 후술하는 데이터 처리 프로그램에서는, 각종의 물리량은 각각 대응하는 파라미터의 값으로서 처리된다. 또한, 1개의 파라미터는 1종류의 물리량에 대응한다.
도 2는, 어느 1개의 시계열 데이터를 그래프화하여 나타낸 도면이다. 이 시계열 데이터는, 1개의 레시피가 실행되었을 때에 1개의 처리 유닛(22) 내의 챔버에서 1장의 기판에 대한 처리에 의해서 얻어진 어느 물리량에 대한 데이터이다. 또한, 시계열 데이터는 복수의 이산값으로 구성되는 데이터인데, 도 2에서는 시간적으로 인접하는 2개의 데이터값 사이를 직선으로 연결하고 있다. 그런데, 1개의 레시피가 실행되었을 때에는, 당해 레시피가 실행된 처리 유닛(22)마다, 다양한 물리량에 대한 시계열 데이터가 얻어진다. 그래서, 이하, 1개의 레시피가 실행되었을 때에 1개의 처리 유닛(22) 내의 챔버에서 1장의 기판에 대해 행해지는 처리를 「단위 처리」라 하고, 단위 처리에 의해서 얻어지는 한 군의 시계열 데이터를 「단위 처리 데이터」라고 한다. 1개의 단위 처리 데이터에는, 모식적으로는 도 3에 나타낸 바와 같이, 복수의 파라미터에 대한 시계열 데이터 및 해당 단위 처리 데이터를 특정하기 위한 복수의 항목(예를 들면, 처리의 개시 시각·처리의 종료 시각 등)의 데이터 등으로 이루어지는 속성 데이터가 포함되어 있다. 또한, 도 3에 관해, 「파라미터 A」, 「파라미터 B」, 및 「파라미터 C」는, 서로 상이한 종류의 물리량에 대응하고 있다.
기기나 처리의 이상을 검출하기 위해서는, 레시피의 실행에 의해서 얻어진 단위 처리 데이터를, 처리 결과로서 이상적인 데이터값을 갖는 단위 처리 데이터와 비교해야 한다. 보다 자세하게는, 레시피의 실행에 의해서 얻어진 단위 처리 데이터에 포함되는 복수의 시계열 데이터를, 각각, 처리 결과로서 이상적인 데이터값을 갖는 단위 처리 데이터에 포함되는 복수의 시계열 데이터와 비교해야 한다. 그래서, 본 실시형태에 있어서는, 평가 대상의 단위 처리 데이터와 비교하기 위한 단위 처리 데이터(평가 대상의 단위 처리 데이터에 포함되는 복수의 시계열 데이터와 각각 비교하기 위한 복수의 시계열 데이터로 이루어지는 단위 처리 데이터)가 기준 데이터로서 처리 유닛(22)마다 또한 레시피마다 정해져 있다. 즉, 어느 1개의 레시피에 주목하면, 처리 유닛(22)마다, 당해 레시피에 대응하는 기준 데이터가 정해져 있다.
<1.3 제어부의 구성>
다음에, 기판 처리 장치(1)의 제어부(100)의 구성에 대해서 설명한다. 도 4는, 제어부(100)의 하드웨어 구성을 나타내는 블럭도이다. 제어부(100)는, CPU(110)와 주(主)메모리(120)와 보조 기억 장치(130)와 표시부(140)와 입력부(150)와 통신 제어부(160)를 구비하고 있다. CPU(110)는, 주어진 명령에 따라 각종 연산 처리 등을 행한다. 주메모리(120)는, 실행중인 프로그램이나 데이터 등을 일시적으로 저장한다. 보조 기억 장치(130)는, 전원이 오프되어도 유지되어야 할 각종 프로그램·각종 데이터를 저장한다. 본 실시형태에 있어서는, 구체적으로는, 후술하는 데이터 처리를 실행하기 위한 데이터 처리 프로그램(132)이 보조 기억 장치(130)에 저장되어 있다. 또, 보조 기억 장치(130)에는, 시계열 데이터 DB(134), 제1의 기준 데이터 DB(136a), 및 제2의 기준 데이터 DB(136b)가 설치되어 있다. 또한, 「DB」는 「database」의 약칭이다. 시계열 데이터 DB(134)에는, 모식적으로는 도 5에 나타낸 바와 같이, 소정 기간분의 단위 처리 데이터가 저장되어 있다. 제1의 기준 데이터 DB(136a)에는, 모식적으로는 도 6에 나타낸 바와 같이, 처리 유닛(22)마다 또한 레시피마다, 기준 데이터에 정해진 단위 처리 데이터가 저장되어 있다(「레시피 A」, 「레시피 B」, 및 「레시피 C」는, 서로 상이한 레시피를 나타내고 있다). 제2의 기준 데이터 DB(136b)에는, 모식적으로는 도 7에 나타낸 바와 같이, 레시피마다, 기준 데이터에 정해진 단위 처리 데이터가 저장되어 있다. 또한, 제1의 기준 데이터 DB(136a)는, 각 처리 유닛(22)에서 행해진 처리의 이상 등을 검출할 때에 검사 대상의 단위 처리 데이터와의 비교 대상으로 해야 하는 기준 데이터를 유지하기 위해서 설치되어 있는 반면 제2의 기준 데이터 DB(136b)는, 후술하는 기준 데이터 전개 처리 시에 송수신되는 기준 데이터를 유지하기 위해서 설치되어 있다. 표시부(140)는, 예를 들면, 오퍼레이터가 작업을 행하기 위한 각종 화면을 표시한다. 입력부(150)는, 예를 들면 마우스나 키보드 등이며, 오퍼레이터에 의한 외부로부터의 입력을 접수한다. 통신 제어부(160)는, 데이터 송수신의 제어를 행한다.
또한, DB의 구성에 대해서는, 상술한 구성으로는 한정되지 않는다. 예를 들면, 시계열 데이터 DB(134), 제1의 기준 데이터 DB(136a), 및 제2의 기준 데이터 DB(136b) 대신에 1개의 DB를 설치해 테이블로 구별하도록 해도 된다. 또, 예를 들면, 제1의 기준 데이터 DB(136a)를 처리 유닛(22)마다 설치하도록 해도 된다.
이 기판 처리 장치(1)가 기동하면, 데이터 처리 프로그램(132)이 주메모리(120)에 읽어들여지고, 그 주메모리(120)에 읽어들여진 데이터 처리 프로그램(132)을 CPU(110)가 실행한다. 이에 의해, 기판 처리 장치(1)는, 데이터 처리 장치로서 기능한다. 또한, 데이터 처리 프로그램(132)은, 예를 들면, CD-ROM, DVD-ROM, 플래시 메모리 등의 기록 매체에 기록된 형태나 네트워크를 통한 다운로드의 형태로 제공된다.
<1.4 기준 데이터 전개 처리(기준 데이터의 전개에 관한 데이터 처리)의 개요>
본 실시형태에 있어서는, 어느 처리 유닛(22)에 대한 기준 데이터를 그 이외의 처리 유닛(22)에 전개하는 기준 데이터 전개 처리가 행해진다. 또한, 본 명세서에 있어서의 「기준 데이터의 전개」란, 해당 기준 데이터의 이용 범위(이용 대상)를 확대하는 것을 의미한다. 도 8은, 기준 데이터 전개 처리에 관련된 기능 구성을 나타내는 기능 블럭도이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 기판 처리 장치(1)에는, 기준 데이터 전개 처리에 관련된 기능적인 구성 요소로서, 전체 관리부(170) 및 12개의 처리 유닛 관리부(180(1)~180(12))가 설치되어 있다. 처리 유닛 관리부(180(1)~180(12))는, 각각, 상술한 12개의 처리 유닛(22)인 Chamber1~Chamber12에 대응하고 있다. 전체 관리부(170)에는, 기준 데이터 글로벌 관리부(171) 및 기준 데이터 글로벌 저장부(172)가 포함되어 있다. 각 처리 유닛 관리부(180(1)~180(12))에는, 기준 데이터 로컬 관리부(181) 및 기준 데이터 로컬 저장부(182)가 포함되어 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 전체 관리부(170)에 의해서 전개 관리부가 실현되고, 기준 데이터 로컬 관리부(181)와 기준 데이터 글로벌 관리부(171)에 의해서 기준 데이터 전개부가 실현되고 있다.
기준 데이터 로컬 저장부(182)에는, 대응하는 처리 유닛(22)에 대한 기준 데이터가 저장된다. 기준 데이터 로컬 관리부(181)는, 기준 데이터 로컬 저장부(182)를 이용하여, 대응하는 처리 유닛(22)에 대한 기준 데이터의 관리를 행한다. 또한, 도 8에서는 처리 유닛 관리부(180)마다 기준 데이터 로컬 저장부(182)를 도시하고 있는데, 본 실시형태에 있어서는, 모든 기준 데이터 로컬 저장부(182)는 DB(데이터베이스)로는 상술한 1개의 제1의 기준 데이터 DB(136a)(도 4 참조)에 의해서 실현된다.
기준 데이터 글로벌 저장부(172)에는, 기준 데이터 전개 처리에 이용하는 기준 데이터가 저장된다. 기준 데이터 글로벌 관리부(171)는, 기준 데이터 글로벌 저장부(172)를 이용하여, 기준 데이터 전개 처리에 이용하는 기준 데이터의 관리를 행한다. 또한, 기준 데이터 글로벌 저장부(172)는 상술한 제2의 기준 데이터 DB(136b)(도 4 참조)에 의해서 실현된다.
본 실시형태에 있어서는, 1개의 처리 유닛(22) 및 그것에 대응하는 1개의 처리 유닛 관리부(180)에 의해서, 단위 요소로서의 1개의 구성체가 실현된다. 그리고, 레시피마다, 1개의 구성체가 「주(主)」로 정해지고, 그 이외의 구성체(11개의 구성체)가 「종(從)」으로 정해진다. 또한, 이하, 「주」로 정해진 구성체를 「주유닛」이라고 하고, 「종」으로 정해진 구성체를 「종유닛」이라고 한다. 주유닛이 주단위 요소에 상당하며, 종유닛이 종단위 요소에 상당한다. 또, 편의상, 「주」로 정해진 구성체에 포함되는 처리 유닛(22)이나 처리 유닛 관리부(180)를 「주유닛」이라고 하는 경우도 있으며, 「종」으로 정해진 구성체에 포함되는 처리 유닛(22)이나 처리 유닛 관리부(180)를 「종유닛」이라고 하는 경우도 있다. 기준 데이터 글로벌 저장부(172)에는, 기준 데이터에 추가해, 각 레시피에 대해 주유닛 및 종유닛을 특정하기 위한 정보도 저장되어 있다.
또한, 주유닛의 선택(지정)에 대해서는, 주유닛 선택용 화면을 표시부(140)에 표시하여 작업자가 선택할 수 있도록 해도 되고, 자기 측정 장치를 이용하여 얻어진 결과에 의거해 자동적으로 주유닛이 선택되도록 해도 된다. 자기 측정 장치를 이용하는 예로는, 각 처리 유닛(22)에서 처리된 기판의 에칭량(처리 전의 막두께와 처리 후의 막두께의 차)을 막압계로 측정하여 측정 결과에 의거해 주유닛을 자동적으로 선택한다고 하는 수법을 들 수 있다.
기준 데이터 전개 처리에서는, 주유닛으로부터 종유닛으로의 기준 데이터의 전개는 행해지지만, 종유닛으로부터 주유닛으로의 기준 데이터의 전개는 행해지지 않는다. 예를 들면, 어느 레시피에 대한 주유닛이 처리 유닛 관리부(180(1))인 경우, 당해 레시피에 대한 기준 데이터의 전개는 처리 유닛 관리부(180(1))로부터 처리 유닛 관리부(180(2)~180(12))으로 행해진다.
기준 데이터 전개 처리는, 주유닛에 있어서 기준 데이터의 변경이 있었을 때에 행해진다. 환언하면, 주유닛에 있어서의 기준 데이터의 변경을 트리거로서 기준 데이터 전개 처리가 행해진다. 여기서, 기준 데이터 전개 처리의 상세한 수순을 설명하기 전에 주유닛에 있어서의 기준 데이터의 변경 순서에 대해서 설명한다.
<1.5 주유닛에 있어서의 기준 데이터의 변경 수순>
본 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)에서는, 각 레시피에 대한 기준 데이터를 필요에 따라서 변경하는 것이 가능하게 되어 있다. 그래서, 이하, 1개의 레시피에 주목하여, 당해 레시피에 대한 주유닛에 있어서의 기준 데이터를 변경하는 수순에 대해서 설명한다. 도 9는, 주유닛에 있어서의 기준 데이터를 변경하는 수순을 나타내는 플로차트이다. 또한, 이하에 있어서는, 평가 대상의 단위 처리 데이터를 「평가 대상 데이터」라고 한다.
우선, 기판 처리 장치(1)에서 해당 레시피(이하, 「주목 레시피」라고 한다.)가 실행됨으로써 주유닛으로부터 얻어진 평가 대상 데이터에 의거하는 스코어링이 행해진다(단계 S10). 또한, 스코어링이란, 평가 대상 데이터와 기준 데이터 사이에서 각 파라미터의 시계열 데이터를 비교해 그에 따라 얻어지는 결과를 수치화하는 처리이다. 만일 주목 레시피가 주유닛을 포함하는 8개의 처리 유닛(22)에서 실행된 경우, 당해 8개의 처리 유닛(22)으로부터 얻어지는 8개의 평가 대상 데이터의 각각에 의거해 스코어링이 행해짐(즉, 단위 처리마다 스코어링이 행해짐)으로써, 8개의 스코어링 결과가 얻어진다. 스코어링에서는, 복수의 평가 항목에 대해서 「양호」 또는 「불량」의 판단이 행해진다. 그 판단은, 각 파라미터에 대해서, 평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터와 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터에 의거해 얻어지는 검사값를 당해 검사값에 대응하는 역치와 비교함으로써 행해진다(실질적으로는, 평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터와 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터를 비교함으로써 행해진다). 이에 관해, 검사값이 역치를 넘은 경우에, 해당 평가 항목이 「불량」이라고 판단된다. 또한, 1개의 파라미터에 대해 복수의 평가 항목이 설치되어 있어도 된다. 본 실시형태에 있어서는, 각 평가 대상 데이터의 스코어링 결과는, 평가 항목의 총 수를 분모로 하고 불량이라고 판단된 평가 항목의 수를 분자로 하는 양태로 표시된다.
이하에 평가 항목의 예를 든다.
예 1：어느 파라미터에 관한 안정 기간(도 2 참조)에 있어서의 시계열 데이터의 평균값
예 2：어느 파라미터에 관한 안정 기간(도 2 참조)에 있어서의 시계열 데이터의 최대값
예 3：어느 파라미터에 관한 상승 기간(도 2 참조)의 길이
예 1의 평가 항목에 대해서는, 해당 파라미터에 관한 안정 기간에 있어서의 "평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 평균값과 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 평균값의 차"가 상기 검사값이 된다. 예 2의 평가 항목에 대해서는, 해당 파라미터에 관한 안정 기간에 있어서의 "평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 최대값과 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 최대값의 차"가 상기 검사값이 된다. 예 3의 평가 항목에 대해서는, 해당 파라미터에 관한 "평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터에 대한 상승 기간의 길이와 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터에 대한 상승 기간의 길이라는 차"가 상기 검사값이 된다
그런데, 스코어링 시에, 각 시계열 데이터의 정규화가 행해지도록 해도 된다. 예를 들면, 각 파라미터에 대해서, 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 최대값이 1, 최소값이 0으로 변환되도록, 평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터에 선형 변환이 실시되도록 해도 된다. 또, 평가 대상 데이터에는 일반적으로 복수의 파라미터의 시계열 데이터가 포함되어 있는데, 일부 파라미터의 시계열 데이터에 대해서만 정규화가 행해지도록 해도 된다. 또한, 필요에 따라서 시계열 데이터의 정규화를 행함으로써, 후술하는 평가값을 보다 적합하게 산출하는 것이 가능해진다.
스코어링의 종료 후, 스코어링의 결과의 표시가 행해진다(단계 S20). 이것에 대해서는, 우선, 스코어링의 결과의 개략을 나타낸 예를 들면 도 10에 나타낸 스코어링 화면(30)이 표시부(140)에 표시된다. 스코어링 화면(30)에는, 처리 유닛(22)의 수와 동일한 수의 버튼(32)이 설치되어 있다. 버튼(32) 내에는, 처리 유닛명 표시 영역(321)과 처리 장수 표시 영역(322)과 에러 수(數) 표시 영역(323)이 설치되어 있다. 처리 유닛명 표시 영역(321)에는, 해당 처리 유닛(22)의 명칭이 표시된다. 처리 장수 표시 영역(322)에는, 해당 처리 유닛(22) 내의 챔버에서 소정 기간 내에 처리된 기판의 총 수가 표시된다. 에러 수 표시 영역(323)에는, 발생한 에러 건수가 표시된다. 또한, 에러가 발생하고 있는 처리 유닛(22)에 대해서는, 부호 34로 나타내는 바와 같이, 에러 건수에 따른 크기의 원이 에러 수의 표시영역(323)에 표시된다.
이상과 같은 스코어링 화면(30) 중 어느 하나의 버튼(32)이 눌리면, 해당 처리 유닛(22)에서 실행된 단위 처리의 스코어링 결과를 나타내는 화면이 표시된다. 또한, 주유닛에 있어서의 기준 데이터의 변경이 행해질 때에는, 스코어링 화면(30)에 있어서 주유닛에 대응하는 버튼(32)이 눌린다. 그리고, 버튼(32)의 눌림 후에 표시된 화면 상에서 1개의 단위 처리가 선택되면, 그 선택된 단위 처리에 대응하는 레시피에 대한 스코어링 결과를 일람 표시한 예를 들면 도 11에 나타낸 스코어링 결과 일람 화면(40)이 표시부(140)에 표시된다.
도 11에 나타낸 바와 같이, 스코어링 결과 일람 화면(40)에는, 버튼 표시 영역(41)과 검색 대상 표시 영역(42)과 항목명 표시 영역(43)과 결과 표시 영역(44)과 기간 표시 영역(45)이 포함되어 있다. 버튼 표시 영역(41)에는, Good 버튼(411)과 Bad 버튼(412)관 Ranking 버튼(413)과 Swap 버튼(414)이 설치되어 있다.
검색 대상 표시 영역(42)에는, 검색 대상의 처리 유닛(22)(여기서는, 주유닛)의 명칭 및 검색 대상의 레시피(여기서는, 주목 레시피)의 명칭이 표시된다. 도 11에 나타낸 예에서는, 검색 대상의 처리 유닛(22)의 명칭이 「Chamber3」이며 검색 대상의 레시피의 명칭이 「Flushing test2」인 것이 파악된다.
항목명 표시 영역(43)에는, 결과 표시 영역(44)에 표시하는 내용(속성 데이터)의 항목명이 표시된다. 「Failed/Total」은, 스코어링 결과를 나타내는 항목명이다. 또한, 「Failed」는 불량이라고 판단된 평가 항목의 수에 상당하고, 「Total」은 평가 항목의 총 수에 상당한다. 「Start time」은, 주목 레시피의 개시 시각을 나타내는 항목명이다. 「End time」은, 주목 레시피의 종료 시각을 나타내는 항목명이다. 「Process time」은, 주목 레시피의 처리 시간을 나타내는 항목명이다. 「Alarm」은, 주목 레시피의 실행 시에 발생한 알람 수를 나타내는 항목명이다. 「Substrate ID」는, 주목 레시피에 의한 처리를 행한 기판(웨이퍼)을 일의(一意)로 식별하기 위한 번호를 나타내는 항목명이다. 「Recommend(Good/Bad)」는, 후술하는 추천도를 나타내는 항목명이다. 또한, 「Good」은 고평가의 정도를 나타내는 값(이하, 「Good값」이라고 한다.)에 상당하고, 「Bad」는 저평가의 정도를 나타내는 값(이하, 「Bad값」이라고 한다.)에 상당한다. 추천도는, 이들 Good값과 Bad값으로 이루어진다.
결과 표시 영역(44)에는, 검색 조건에 합치한 단위 처리 데이터의 속성 데이터(각종 정보나 스코어링 결과 등)가 표시된다. 도 11에 나타낸 예에서는, 8개의 단위 처리 데이터의 속성 데이터가 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있다. 작업자는, 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있는 속성 데이터 중에서 1개의 속성 데이터(1개의 행)를 선택할 수 있다.
기간 표시 영역(45)에는, 미리 설정된 검색 대상 기간이 표시된다. 이 검색 대상 기간에 주목 레시피가 실행됨으로써 얻어진 단위 처리 데이터의 속성 데이터가, 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있다. 도 11에 나타낸 예에서는, 검색 대상 기간이 2017년 7월 19일의 오후 7시 39분 34초부터 2017년 8월 19일의 오후 7시 39분 34초까지의 1개월간인 것이 파악된다.
여기서, 버튼 표시 영역(41)에 설치되어 있는 각 버튼의 기능을 설명한다. Good 버튼(411)은, 결과 표시 영역(44) 내에서 선택되고 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터의 평가값을 높게 하는 것이 요망될 때 작업자가 누르기 위한 버튼이다. Bad 버튼(412)은, 결과 표시 영역(44) 내에서 선택되고 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터의 평가값을 낮게 하는 것이 요망될 때 작업자가 누르기 위한 버튼이다. Ranking 버튼(413)은, 랭킹 처리의 실행을 지시하기 위한 버튼이다. Swap 버튼(414)은, 결과 표시 영역(44) 내에서 선택되고 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터를 새로운 기준 데이터로 정하기 위한 버튼이다. 또한, 평가값이나 랭킹 처리에 대한 설명은 후술한다.
스코어링 결과 일람 화면(40)의 표시 후, 필요에 따라서, 각 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 추천하는 정도를 나타내는 추천도의 설정(추천 설정)이 행해진다(단계 S30). 추천 설정은, 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있는 속성 데이터 중 설정 대상의 단위 처리 데이터에 대응하는 속성 데이터가 선택되어 있는 상태에서 Good 버튼(411) 혹은 Bad 버튼(412)을 누름으로써 행해진다. 그 때, 설정 대상의 단위 처리 데이터가 기준 데이터로서 바람직한 경우에는 작업자는 Good 버튼(411)을 누르고, 설정 대상의 단위 처리 데이터가 기준 데이터로서 바람직하지 않은 경우에는 작업자는 Bad 버튼(412)을 누른다. 이것에 관해, 스코어링 결과 일람 화면(40)이 표시된 직후에는, Good 버튼(411) 및 Bad 버튼(412)은 선택 불가능한 상태로 되어 있다. 이 상태에서 작업자가 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있는 어느 한 속성 데이터를 선택하면, 도 12에 나타낸 바와 같이, 해당 속성 데이터가 선택 상태가 됨과 더불어 Good 버튼(411) 및 Bad 버튼(412)이 선택 가능한 상태가 된다. 이 상태에 있어서 작업자가 Good 버튼(411) 혹은 Bad 버튼(412)을 누름으로써, Good값·Bad값의 가산이 행해진다. 예를 들면, 도 12에 나타낸 상태로부터 Bad 버튼(412)이 3회 눌리면, 도 13에 나타낸 바와 같이, 선택되어 있는 속성 데이터 중 Bad값이 「3」이 된다. 이상과 같이, 스코어링 결과 일람 화면(40)은, 추천도를 외부로부터 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, Good값이나 Bad값을 구체적으로 어떤 값으로 할지에 대해서는, 예를 들면, 스코어링 결과, 알람 수, 해당 단위 처리로 얻어진 결과물(기판)의 상태(예를 들면, 파티클 수, 결함 수, 도괴율) 등을 고려하여 결정된다. 또, Good 버튼(411) 및 Bad 버튼(412) 외에, Good값을 작게 하기 위한 버튼 및 Bad값을 작게 하기 위한 버튼을 설치하도록 해도 된다.
그런데, 어느 시점에 기준 데이터의 변경이 행해지고 나서 다음에 기준 데이터의 변경이 행해질 때까지는, 통상, 각 레시피는 복수회 실행된다. 즉, 어느 시점에 기준 데이터의 변경이 행해지고 나서 다음에 기준 데이터의 변경이 행해질 때까지는, 통상, 스코어링은 복수회 실행된다. 따라서, 기준 데이터를 1회 변경하기 위한 일련의 처리(도 9에 나타낸 일련의 처리)에 관한 것이며, 통상, 단계 S10~단계 S30의 처리는 복수회 반복된다. 그리고, 기준 데이터의 변경이 요망될 때에, 작업자에 의해서 스코어링 결과 일람 화면(40) 내의 Ranking 버튼(413)이 눌린다(단계 S40). 이에 의해, 예를 들면 도 14에 나타낸 바와 같은 랭킹 설정 화면(50)이 표시부(140)에 표시된다. 랭킹 설정 화면(50)은, 후술하는 랭킹 처리의 설정을 행하기 위한 화면이다.
여기서, 랭킹 처리에 대해서 설명한다. 본 실시형태에 있어서의 랭킹 처리는, 지정된 레시피의 실행에 의해서 얻어진 복수의 단위 처리 데이터(검색 대상 기간 내의 단위 처리 데이터)에 대해 3개의 지표에 의거해 순위 매김을 행하여 당해 순위 매김의 결과를 랭킹 형식으로 표시하는 일련의 처리이다. 또한, 랭킹 형식이란, 순위가 높은 데이터에서부터 순위가 낮은 데이터로 순서대로 나열한 형식을 말한다. 각 단위 처리 데이터의 순위는, 3개의 지표에 의거해 산출되는 평가값(총 득점)에 의해서 결정지어진다. 본 실시형태에 있어서는, 평가값을 산출하기 위한 3개의 지표값로서, 상술한 추천도에 의거하는 값(이하, 「추천값」이라고 한다.)과, 스코어링 결과에 의거하는 값(이하, 「스코어링 결과값」이라고 한다.)과, 알람의 발생 횟수(혹은, 알람의 유무)에 의거하는 값(이하, 「알람값」이라고 한다.)이 이용된다. 평가값의 구체적인 구하는 방법에 대해서는 후술한다. 랭킹 처리에서는, 평가값에 의거해 검색 대상 기간 내의 복수의 단위 처리 데이터의 순위 매김이 행해져, 랭킹 형식으로 각 단위 처리 데이터에 대응하는 속성 데이터가 표시된다.
단계 S50에서는, 이상과 같은 랭킹 처리의 실행에 필요한 설정이 랭킹 설정 화면(50)을 이용하여 작업자의 조작에 의해서 행해진다. 도 14는, 랭킹 설정 화면(50)의 일례를 나타내는 도면이다. 도 14에 나타낸 바와 같이, 이 랭킹 설정 화면(50)에는, 각 단위 처리 데이터의 순위를 결정짓는 평가값을 산출할 때의 상기 3개의 지표값의 각각의 영향도(기여도)를 설정하기 위한 3개의 드롭 다운 리스트(51~53)와, OK 버튼(58)과, Cancel 버튼(59)이 포함되어 있다. 드롭 다운 리스트 51은, 추천값의 영향도를 설정하기 위한 인터페이스이다. 드롭 다운 리스트 52는, 스코어링 결과값의 영향도를 설정하기 위한 인터페이스이다. 드롭 다운 리스트 53은, 알람값의 영향도를 설정하기 위한 인터페이스이다. OK 버튼(58)은, 설정 내용에 의거해 랭킹 처리(단계 S60~단계 S110의 처리)를 실행하기 위한 버튼이다. Cancel 버튼(59)은, 설정 내용(드롭 다운 리스트(51~53)를 이용하여 설정된 내용)을 취소해 스코어링 결과 일람 화면(40)으로 되돌아오기 위한 버튼이다.
드롭 다운 리스트(51~53)에 대해서는, 예를 들면 1% 단위로 영향도를 설정하는 것이 가능하게 있다. 단, 5% 단위나 10% 단위로 영향도를 설정하는 것이 가능하게 되어 있어도 된다. 또한, 평가값을 산출할 때의 지표값으로서 사용하고자 하지 않는 것에 대해서는 영향도를 0%로 설정하는 것이 가능하게 되어 있다.
그런데, 드롭 다운 리스트 51에서의 설정값을 「제1 설정값」이라고 정의하고, 드롭 다운 리스트 52에서의 설정값을 「제2 설정값」이라고 정의하며, 드롭 다운 리스트 53에서의 설정값을 「제3 설정값」이라고 정의하면, 제1 설정값과 제2 설정값과 제3 설정값의 합이 100%가 되도록 자동적으로 값의 조정이 행해지는 것이 바람직하다. 이것에 관해, 랭킹 설정 화면(50)의 표시 후에 2개의 드롭 다운 리스트에 대해 값의 설정이 행해졌을 때에 나머지 드롭 다운 리스트의 값이 자동적으로 설정되도록 할 수 있다. 이 경우, 예를 들면, 「제1 설정값=50, 제2 설정값=30」이라는 설정이 행해졌을 때에 제3 설정값이 자동적으로 「20」으로 설정된다. 또, 이미 3개의 드롭 다운 리스트에 대해 값의 설정이 행해지고 있는 상태에서 어느 1개의 드롭 다운 리스트의 값이 변경되었을 때에 나머지의 2개의 드롭 다운 리스트의 값이 그 비율을 유지한 채로 자동적으로 변경되도록 해도 된다. 이 경우, 예를 들면, 「제1 설정값=70, 제2 설정값=20, 제3 설정값=10」이라는 설정이 행해지고 있는 상태에서 제1 설정값이 「55」로 변경되면, 자동적으로, 제2 설정값이 「30」으로 변경됨과 더불어 제3 설정값이 「15」로 변경된다.
또한, 제1 설정값과 제2 설정값과 제3 설정값의 합이 100%를 넘는 설정을 접수해, 그들의 비율을 유지하면서 합이 100%가 되도록 내부적으로 처리하도록 해도 된다. 또, 제1 설정값과 제2 설정값과 제3 설정값의 합이 100%를 넘는 설정이 행해졌을 때에 「합이 100%를 넘고 있다」는 취지의 메시지를 표시하여 재설정을 촉구하도록 해도 된다.
3개의 지표값의 영향도의 설정이 행해진 후, 랭킹 설정 화면(50)의 OK 버튼(58)이 눌리면, 랭킹 처리(단계 S60~단계 S110의 처리)가 개시된다. 랭킹 처리에서는, 검색 대상 기간에 주목 레시피가 실행됨으로써 각 처리 유닛(22)으로부터 얻어진 모든 단위 처리 데이터가 평가 대상 데이터가 된다.
우선, 기준 데이터의 후보가 될 수 있는 데이터인 각 평가 대상 데이터에 대해서, 상기 추천값이 구해진다(단계 S60). Good값을 CntG로 나타내고, Bad값을 CntB로 나타내면, 추천값 V(R)은 예를 들면 다음 식 (1)에 의해서 산출된다.
V(R)=(CntG-CntB)×100/(CntG+CntB) …(1)
단, "CntG=0" 또한 "CntB=0" 일 때에는 "V(R)=0"으로 한다.
다음에, 각 평가 대상 데이터에 대해서, 상기 알람값이 구해진다(단계 S70). 알람값 V(A)에 대해서는, 예를 들면, 알람 수가 0(스코어링 결과 일람 화면(40)에서는 "None"이라고 표기)이면 "V(A)=100"이 되고, 알람 수가 1 이상이면 "V(A)=-100"이 된다.
다음에, 각 평가 대상 데이터에 대해서, 상기 스코어링 결과값 V(S)가 구해진다(단계 S80). 평가 항목의 총 수를 Nt로 나타내고, 불량이라고 판단된 평가 항목의 수를 Nf로 나타내면, 스코어링 결과값 V(S)는 예를 들면 다음 식 (2)에 의해서 산출된다.
V(S)=(Nt-2×Nf)×100/Nt …(2)
이상과 같이 하여 추천값 V(R), 알람값 V(A), 및 스코어링 결과값 V(S)가 구해진 후, 각 평가 대상 데이터에 대해서, 상기 평가값(총 득점)의 산출이 행해진다(단계 S90). 단계 S50에서 설정된 드롭 다운 리스트(51~53)의 값(비율)을 각각 P1~P3으로 나타내면, 평가값(총 득점) Vtotal은 다음 식 (3)에 의해서 산출된다.
Vtotal=V(R)×P1+V(S)×P2+V(A)×P3 …(3)
기준 데이터의 후보가 될 수 있는 모든 단위 처리 데이터(평가 대상 데이터)에 대한 평가값이 산출된 후, 그 산출된 평가값에 의거해 단위 처리 데이터가 순위 매김이 행해진다(단계 S100). 그 때, 평가값이 큰 단위 처리 데이터일수록, 순위는 높아진다(순위를 나타내는 수치는 작아진다). 따라서, 순위가 1위가 되는 단위 처리 데이터는, 평가값이 가장 큰 단위 처리 데이터이다.
순위 매김의 종료 후, 당해 순위 매김의 결과를 나타내는 예를 들면 도 15에 나타내는 랭킹 화면(60)이 표시부(140)에 표시된다(단계 S110). 도 15에 나타낸 바와 같이, 복수의 단위 처리 데이터의 각각에 대한 속성 데이터가, 순위 매김의 결과에 따라서, 랭킹 형식으로 랭킹 화면(60)에 표시되어 있다.
랭킹 화면(60)에는, 버튼 표시 영역(61)과 검색 대상 표시 영역(62)과 항목명 표시 영역(63)과 결과 표시 영역(64)과 기간 표시 영역(65)이 포함되어 있다. 버튼 표시 영역(61)에는, 스코어링 결과 일람 화면(40)과 마찬가지로, Good 버튼(411)과 Bad 버튼(412)과 Ranking 버튼(413)과 Swap 버튼(414)이 설치되어 있다.
검색 대상 표시 영역(62)에는, 검색 대상의 처리 유닛(22)의 명칭 및 검색 대상의 레시피(여기에서는, 주목 레시피)의 명칭이 표시된다. 도 15에 나타낸 예에서는, 검색 대상의 처리 유닛(22)의 명칭이 「Chamber3」, 「Chamber4」, 및 「Chamber5」이며 검색 대상의 레시피의 명칭이 「Flushing test2」인 것이 파악된다. 스코어링 결과 일람 화면(40)(도 11 참조)에서는 스코어링 화면(30)(도 10 참조)에서 선택된 처리 유닛(22)만이 검색 대상이 되고 있었는데, 랭킹 화면(60)에서는 검색 대상 기간에 주목 레시피가 실행된 모든 처리 유닛(22)가 검색 대상이 된다. 단, 랭킹 화면(60)에 대해서도 스코어링 화면(30)에서 선택된 처리 유닛(22)(여기에서는, 주유닛)만을 검색 대상으로 하도록 해도 된다.
항목명 표시 영역(63)에는, 결과 표시 영역(64)에 표시하는 내용(속성 데이터)의 항목명이 표시된다. 「Ranking」은, 순위 매김에 의한 순위를 나타내는 항목명이다. 「Total Score」는, 상기 평가값(총 득점)를 나타내는 항목명이다. 「Recommend Score」은, 상기 추천값에 랭킹 설정 화면(50)의 드롭 다운 리스트 51에서 설정된 비율을 곱함으로써 얻어지는 값(V(R)×P1)을 나타내는 항목명이다. 「Scoring Result Score」은, 상기 스코어링 결과값에 랭킹 설정 화면(50)의 드롭 다운 리스트 52에서 설정된 비율을 곱함으로써 얻어지는 값(V(S)×P2)을 나타내는 항목명이다. 「Alarm Number Score」은, 상기 알람값에 랭킹 설정 화면(50)의 드롭 다운 리스트 53에서 설정된 비율을 곱함으로써 얻어지는 값(V(A)×P3)을 나타내는 항목명이다. 「Unit」은, 처리 유닛을 나타내는 항목명이다. 「Start time」은, 주목 레시피의 개시 시각을 나타내는 항목명이다. 「End time」은, 주목 레시피의 종료 시각을 나타내는 항목명이다. 「Process time」은, 주목 레시피의 처리 시간을 나타내는 항목명이다.
결과 표시 영역(64)에는, 검색 조건에 합치한 단위 처리 데이터의 속성 데이터(각종 정보나 순위 매김에 의한 순위 등)가 표시된다. 도 15로부터 파악되는 바와 같이, 결과 표시 영역(64) 내에서는, 단위 처리 데이터의 속성 데이터가, 평가값이 높은 것에서 낮은 것으로 소팅된 상태로 표시되어 있다. 따라서, 결과 표시 영역(64)의 1행째에 표시되어 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터가, 검색 조건에 합치한 단위 처리 데이터 중에서 평가값이 가장 큰 단위 처리 데이터이다. 작업자는, 결과 표시 영역(64)에 표시되어 있는 속성 데이터 중에서 1개의 속성 데이터(1개의 행)를 선택할 수 있다.
기간 표시 영역(65)에는, 스코어링 결과 일람 화면(40)의 기간 표시 영역(45)과 마찬가지로, 검색 대상 기간이 표시된다. 도 15에 나타낸 예에서는, 검색 대상 기간이 2017년 7월 19일의 오후 7시 39분 34초부터 2017년 8월 19일의 오후 7시 39분 34초까지의 1개월간인 것이 파악된다.
랭킹 화면(60)의 표시 후, 변경 후의 기준 데이터의 선택이 작업자에 의해서 행해진다(단계 S120). 구체적으로는, 작업자가, 랭킹 화면(60)의 결과 표시 영역(64)에 표시되어 있는 속성 데이터 중에서 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터에 대응하는 속성 데이터를 선택한다. 이에 의해, 랭킹 화면(60)에서는, 선택된 속성 데이터가 선택 상태가 된다. 이 상태에 있어서, 작업자가, 버튼 표시 영역(61) 내의 Swap 버튼(414)을 누른다. 이에 의해, 주유닛에 관한 주목 레시피에 대한 기준 데이터가 변경된다(단계 S130). 자세하게는, 제1의 기준 데이터 DB(136a)(도 6 참조)에 유지되어 있는 주유닛에 대한 단위 처리 데이터 중 주목 레시피에 대응하는 단위 처리 데이터가, 결과 표시 영역(64) 내에서 선택 상태로 되어 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터로 리라이트된다. 이상과 같이 순위 매김의 결과에 의거해 기준 데이터를 결정할 수 있으므로, 이상적인 시계열의 값을 갖는 단위 처리 데이터를 변경 후의 기준 데이터로 정할 수 있다.
예를 들면 랭킹 화면(60)이 도 15에 나타낸 상태가 되어 있을 때 작업자가 결과 표시 영역(64) 내의 1행째의 속성 데이터를 선택하면, 도 16에 나타낸 바와 같이, 1행째의 속성 데이터가 선택 상태가 됨과 더불어 Swap 버튼(414)이 압하 가능한 상태가 된다. 이 상태에 있어서 작업자가 Swap 버튼(414)을 누르면, 주목 레시피에 대한 기준 데이터가 1행째의 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터로 변경된다.
또한, 본 실시형태에 의하면, 순위 매김에 의한 순위가 1위 이외의 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 선택할 수도 있다. 이와 같이, 사용자의 요구에 합치한 기준 데이터의 선택이 가능하다.
상술한 바와 같이 하여 기준 데이터의 변경이 행해짐으로써, 도 9에 나타낸 일련의 처리가 종료된다. 본 실시형태에 있어서는, 상술한 단계 S10~단계 S90에 의해서 단위 처리 데이터 평가 단계가 실현되고 있다. 또한, 주유닛에 대한 기준 데이터의 변경이 행해질 때에는 랭킹 화면(60)의 결과 표시 영역(64)에 주유닛에 대한 데이터만이 표시되도록 해도 된다.
그런데, 각 레시피에 관해서, 주유닛에 대한 기준 데이터가 미리 지정된 타이밍에 변경되도록 해도 된다. 이 경우의 주유닛에 있어서의 기준 데이터의 변경 수순을 도 17에 나타낸 플로차트를 참조하면서 설명한다. 또한, 도 17에 나타낸 일련의 처리는, 기판 처리 장치(1)의 제어부(100)에서 행해진다.
우선, 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정이 작업자의 조작에 의해서 행해진다(단계 S200). 그 때, 예를 들면 도 18에 나타낸 변경 타이밍 설정 화면(70)이 표시부(140)에 표시된다. 변경 타이밍 설정 화면(70)에는, 설정용 영역(700)과 OK 버튼(78)과 Cancel 버튼(79)이 포함되어 있다. OK 버튼(78)은, 설정 내용을 확정하기 위한 버튼이다. Cancel 버튼(79)은, 설정 내용을 취소하기 위한 버튼이다.
변경 타이밍 설정 화면(70)의 설정용 영역(700)에서는, 레시피마다 주유닛에 대한 기준 데이터의 변경 타이밍을 설정하는 것이 가능하게 되어 있다. 변경 타이밍의 설정은, 어느 시점에 기준 데이터의 변경이 행해지고 나서 다음에 기준 데이터의 변경이 행해질 때까지의 기간의 길이인 경과 시간(즉, 기준 데이터를 변경하는 시간 간격)을 레시피마다 지정함으로써 행해진다.
도 18에 나타낸 바와 같이, 설정용 영역(700)에는, 레시피마다 스핀 컨트롤 박스(71)와 드롭 다운 리스트(72)가 설치되어 있다. 스핀 컨트롤 박스(71)는, 설정하는 기간의 길이를 지정하기 위한 인터페이스이다. 이 스핀 컨트롤 박스(71)은, 기간의 길이를 나타내는 수치를 증감시키는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 드롭 다운 리스트(72)는, 설정하는 기간의 단위를 지정하기 위한 인터페이스이다. 이 드롭 다운 리스트(72)에서 지정할 수 있는 단위는, 「년」, 「월」, 및 「일」중 어느 하나이다. 작업자는, 스핀 컨트롤 박스(71)와 드롭 다운 리스트(72)를 조작하여, 레시피마다 기준 데이터의 변경 타이밍을 설정한다. 도 18에 나타낸 예에서는, 「레시피 A」라고 하는 레시피에 관한 주유닛에 대한 기준 데이터는 1년마다 변경되고, 「레시피 B」라고 하는 레시피에 관한 주유닛에 대한 기준 데이터는 3개월마다 변경된다.
도 17에 나타낸 플로우에 관해, 상술한 바와 같이 변경 타이밍 설정 화면(70)을 이용하여 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정이 행해진 후, 제어부(100)에서는 가동 기간의 카운트업이 행해진다(단계 S210). 구체적으로는, 데이터 처리 프로그램(132)에 가동 기간 카운트용 변수(이하, 「가동 기간 변수」라고 한다.) CntD가 준비되어 있고, 당해 가동 기간 변수 CntD의 값이 1일 경과할 때마다 「1」만큼 가산된다.
가동 기간 변수 CntD의 값에 「1」이 가산되면, 각 레시피에 대해서, 변경 타이밍 설정 화면(70)에서의 설정 내용에 의거해 기준 데이터의 변경이 행해져야 하는 날(이하, 편의상 「변경 지정일」이라 한다.)에 도달하고 있는지 아닌지의 판정이 행해진다(단계 S220). 판정의 결과, 변경 지정일에 도달하고 있는 레시피가 존재하면, 처리는 단계 S230으로 진행한다. 한편, 변경 지정일에 도달하고 있는 레시피가 존재하지 않으면, 처리는 단계 S210으로 되돌아온다.
여기서, 도 19를 참조하면서, 변경 지정일에 도달하고 있는지 아닌지를 판정하는 구체적인 수법의 일례를 설명한다. 단, 본 발명은, 이것으로 한정되지 않는다. 또한, 가동 기간 변수 CntD의 카운트는 변경 타이밍의 설정이 최초에 행해진 날을 기준일로 하여 행해지는 것으로 가정한다. 또, 변경 타이밍 설정 화면(70)에 있어서 어느 레시피에 관한 경과 시간이 「2월」에 설정되어 있다고 가정한다. 이 때, 예를 들면, 기준일이 어느 해의 5월 3일이면, 도 19에 나타낸 바와 같이, 해당 레시피에 대한 변경 지정일은 5월 3일로부터 2개월마다의 날(7월 3일, 9월 3일, 11월 3일, …)이 된다. 이 변경 지정일의 정보와 기준일의 정보로부터, 각 변경 지정일에 대해서, 기준일로부터의 경과일수를 구할 수 있다. 예를 들면, 기준일과 동일한 해의 9월 3일에 대해서는, 기준일로부터의 경과일수는 123일이다. 이와 같이 하여 기준일로부터 각 변경 지정일까지의 경과일수를 구할 수 있으므로, 당해 경과일수와 가동 기간 변수 CntD의 값을 비교함으로써, 변경 지정일에 도달하고 있는지 아닌지를 판정할 수 있다. 예를 들면 7월 3일에는 가동 기간 변수 CntD의 값이 「61」이 되므로, 해당 설정 대상에 대해서 변경 지정일에 도달한 취지의 판정을 행할 수 있다.
그런데, 변경 타이밍이 최초에 설정된 후, 각 레시피에 대해서 변경 타이밍의 설정 변경이 행해지는 일도 있다. 이러한 경우에 변경 타이밍의 설정 변경에 수반해 변경 지정일이 어떻게 변화하는지에 대해서, 도 20을 참조하면서 설명한다. 여기에서는, 어느 레시피에 대해서, 변경 타이밍(경과 시간)이 「8일」에서 「6일」로 변경된 것으로 가정한다. 또, 그 설정 변경은, 기준일로부터 12일 경과 후에 행해진 것으로 가정한다. 이 경우, 변경 타이밍의 설정이 최초에 행해진 시점에는, 해당 레시피에 대한 변경 지정일은 기준일로부터 8일마다의 날(기준일로부터의 경과일수가, 8, 16, 24, …)이 된다. 이 상태에 있어서, 상술한 바와 같이, 기준일로부터 12일 경과 후에 설정 변경이 행해진다. 이 때, 직전에 기준 데이터의 변경이 행해진 것은 기준일로부터 8일 후이므로, 예를 들면, 도 20에서 부호 76으로 나타낸 바와 같이 기준일로부터 8일 후의 날로부터 6일 마다의 날(기준일로부터의 경과일수가, 14, 20, 26, …)을 변경 지정일로 정할 수 있다. 또, 예를 들면, 도 20에서 부호 77로 나타낸 바와 같이, 설정 변경이 행해진 날로부터 6일 마다의 날(기준일로부터의 경과일수가, 18, 24, 30, …)을 변경 지정일로 정할 수도 있다. 이와 같이, 변경 타이밍의 설정 변경이 행해진 경우의 처리에 대해서는, 특별히 한정되지 않고, 적절하게 정한 룰에 따라서 변경 지정일이 변경되면 된다.
도 17에 나타낸 플로우에 관해, 단계 S230에서는, 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터를 결정하기 위해서, 상술한 랭킹 처리가 행해진다(단계 S230). 그 후, 랭킹 처리의 결과에 의거해, 변경 지정일에 도달한 레시피에 관한 주유닛에 대한 기준 데이터가 변경된다(단계 S240). 자세하게는, 제1의 기준 데이터 DB(136a)(도 6 참조)에 유지되어 있는 주유닛에 대한 단위 처리 데이터 중 해당 레시피에 대응하는 단위 처리 데이터가, 단계 S230에서의 랭킹 처리로 순위가 1위가 된 단위 처리 데이터로 리라이트된다.
이상과 같이, 레시피마다 주유닛에 대한 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 가능하게 하여, 변경 타이밍에 도달한 레시피에 관한 주유닛에 대한 기준 데이터를 랭킹 처리로 순위가 1위가 된 단위 처리 데이터로 자동적으로 리라이트하도록 해도 된다.
<1.6 기준 데이터 전개 처리의 순서>
다음에, 상술한 내용을 통해 볼 때, 기준 데이터 전개 처리의 수순에 대해서 설명한다. 도 21은, 본 실시형태에 있어서의 기준 데이터 전개 처리의 수순을 나타내는 플로차트이다. 도 21에 나타낸 일련의 처리는, 기판 처리 장치(1)에 있어서 제어부(100) 내의 CPU(110)가 데이터 처리 프로그램(132)을 실행함으로써 실현된다.
우선, 주유닛에 있어서, 기준 데이터의 변경(기준 데이터 로컬 저장부(182)에 저장되어 있는 기준 데이터의 갱신)이 행해진다(단계 S300). 그 단계 S300에서의 기준 데이터의 변경을 트리거로서, 주유닛의 기준 데이터 로컬 관리부(181)는, 기준 데이터가 변경되었다는 취지의 변경 통지를 변경 후의 기준 데이터(이하, 「신기준 데이터」라고 한다.)와 함께 전체 관리부(170) 내의 기준 데이터 글로벌 관리부(171)에 송신한다(단계 S310). 이와 같이, 단계 S310에서는, 도 22에서 부호 91을 부여한 화살표로 나타낸 바와 같이, 주유닛으로부터 전체 관리부(170)로, 신기준 데이터와 함께 변경 통지가 송신된다.
다음에, 전체 관리부(170) 내의 기준 데이터 글로벌 관리부(171)는, 단계 S310에서 보내져온 변경 통지 및 신기준 데이터에 의거해, 기준 데이터의 변경이 있었던 처리 유닛(즉 주유닛)(22) 및 레시피를 특정한다(단계 S320). 그리고, 기준 데이터 글로벌 관리부(171)는, 기준 데이터 글로벌 저장부(172)를 참조하여, 신기준 데이터의 전개처의 처리 유닛(즉 종유닛)(22)을 특정한다. 또, 기준 데이터 글로벌 관리부(171)는, 기준 데이터 글로벌 저장부(172)에 저장되어 있는 기준 데이터 중 해당 레시피에 대한 기준 데이터를 신기준 데이터로 변경(갱신)한다.
다음에, 전체 관리부(170) 내의 기준 데이터 글로벌 관리부(171)는, 단계 S320에서 특정된 종유닛(즉, 신기준 데이터의 전개처의 처리 유닛(22))에 신기준 데이터와 함께 갱신 지시 통지를 송신한다(단계 S330). 이와 같이, 단계 S330에서는, 도 23에서 부호 92를 부여한 화살표로 나타낸 바와 같이, 전체 관리부(170)로부터 종유닛으로, 신기준 데이터와 함께 갱신 지시 통지가 송신된다.
그 후, 각 종유닛에 있어서, 기준 데이터 로컬 관리부(181)는, 갱신 지시 통지에 의거해, 기준 데이터 로컬 저장부(182)에 저장되어 있는 기준 데이터 중 해당 레시피에 대한 기준 데이터를 신기준 데이터로 변경(갱신)한다(단계 S340). 이에 의해, 기준 데이터 전개 처리는 종료된다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 단계 S300에 의해서 기준 데이터 변경 단계가 실현되고, 단계 S310~S340에 의해서 기준 데이터 전개 단계가 실현되고 있다. 또, 단계 S310에 의해서 기준 데이터 업로드 단계가 실현되고, 단계 S320에 의해서 전개처 특정 단계가 실현되고, 단계 S330에 의해서 기준 데이터 다운로드 단계가 실현되고, 단계 S340에 의해서 기준 데이터 갱신 단계가 실현되고 있다.
<1.7 효과>
본 실시형태에 의하면, 각 레시피에 대해서 처리 유닛(22)마다 기준 데이터(각각이 복수의 시계열 데이터를 포함하는 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터)가 정해져 있는 기판 처리 장치(1)에 있어서, 어느 레시피에 ㄴ관해서 주유닛으로 정해진 처리 유닛(22)에서 당해 레시피에 대한 기준 데이터가 변경되면, 변경 후의 기준 데이터가 당해 레시피에 관해서 종유닛으로 정해진 처리 유닛(22)에 전개된다. 이에 의해, 예를 들면 어느 레시피에 관해서 양호한 결과가 얻어져 있지 않은 처리 유닛(22)에 대해서도, 당해 레시피에 관해서 양호한 결과의 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 유지하는 것이 가능해진다. 이와 같이, 각 처리 유닛(22)에서의 처리로 얻어진 단위 처리 데이터를 적합한 기준 데이터와 비교하는 것이 가능해지므로, 기판 처리 장치(1)에서 실행된 처리의 이상을 정밀하게 검출하는 것이 가능해진다. 이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀하게 행하는 것이 가능해진다.
<2. 제2의 실시형태>
제1의 실시형태에서는, 1개의 기판 처리 장치(1) 내에서 주유닛으로부터 종유닛으로의 기준 데이터의 전개가 행해지고 있었다. 이에 대해, 본 실시형태에서는, 복수의 기판 처리 장치(1) 사이에서 기준 데이터의 전개가 행해진다. 이하, 주로 제1의 실시형태와 상이한 점에 대해서 설명하고, 제1의 실시형태와 동일한 점에 대해서는 적절히 설명을 생략한다.
<2.1 시스템의 개략 구성>
도 24는, 본 발명의 제2의 실시형태에 따른 기판 처리 시스템(데이터 처리 시스템)의 개략 구성을 나타내는 도면이다. 이 기판 처리 시스템은, 복수(n대)의 기판 처리 장치(1(1)~1(n))와, 당해 복수의 기판 처리 장치(1(1)~1(n))를 관리하는 관리 서버(2)에 의해서 구성되어 있다. 복수의 기판 처리 장치(1)와 관리 서버(2)는 LAN 등의 네트워크(통신 회선)(3)를 통해 서로 접속되어 있다. 각 기판 처리 장치(1)의 개략 구성에 대해서는 제1의 실시형태와 동일하다(도 1 참조).
<2.2 기판 처리 장치의 제어부의 구성>
다음에, 기판 처리 장치(1)의 제어부(100)의 구성에 대해서 설명한다. 도 25는, 기판 처리 장치(1)의 제어부(100)의 하드웨어 구성을 나타내는 블럭도이다. 제1의 실시형태에 있어서는 기준 데이터를 저장하기 위한 DB로서 제1의 기준 데이터 DB(136a) 및 제2의 기준 데이터 DB(136b)가 설치되어 있었는데, 본 실시형태에 있어서는 제1의 기준 데이터 DB(136)만이 설치된다. 제1의 기준 데이터 DB(136)에는, 모식적으로는 도 26에 나타낸 바와 같이, 레시피마다, 기준 데이터로 정해진 단위 처리 데이터가 저장되어 있다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 각 기판 처리 장치(1)에 있어서, 처리 유닛(22)의 수(챔버의 수)에 상관없이, 레시피마다 기준 데이터가 정해진다.
이 기판 처리 장치(1)가 기동하면, 데이터 처리 프로그램(132)이 주메모리(120)에 읽어들여지고, 그 주메모리(120)에 읽어들여진 데이터 처리 프로그램(132)을 CPU(110)가 실행한다. 또한, 데이터 처리 프로그램(132)은, 예를 들면, CD-ROM, DVD-ROM, 플래시 메모리 등의 기록 매체에 기록된 형태나 네트워크를 통한 다운로드의 형태로 제공된다.
<2.3 관리 서버의 구성>
다음에, 관리 서버(2)의 구성에 대해서 설명한다. 도 27은, 관리 서버(2)의 하드웨어 구성을 나타내는 블럭도이다. 관리 서버(2)는, CPU(210)와 주메모리(220)와 보조 기억 장치(230)와 표시부(240)와 입력부(250)와 통신 제어부(260)를 구비하고 있다. CPU(210), 주메모리(220), 보조 기억 장치(230), 표시부(240), 입력부(250), 및 통신 제어부(260)는, 각각, 기판 처리 장치(1)의 제어부(100) 내의 CPU(110), 주메모리(120), 보조 기억 장치(130), 표시부(140), 입력부(150), 및 통신 제어부(160)와 동일한 기능을 갖는다. 단, 보조 기억 장치(230)에는, 보조 기억 장치(130) 내에 저장되어 있는 데이터 처리 프로그램(132)과는 상이한 데이터 처리 프로그램(232)이 저장되어 있다. 또, 보조 기억 장치(230)에는, 제2의 기준 데이터 DB(234)가 설치되어 있다. 이와 같이, 관리 서버(2)의 보조 기억 장치(230)에는, 시계열 데이터 DB는 설치되지 않고, 기준 데이터 전개 처리에 필요한 기준 데이터를 유지하기 위한 제2의 기준 데이터 DB(234)만이 설치된다.
이 관리 서버(2)가 기동하면, 데이터 처리 프로그램(232)이 주메모리(220)에 읽어들여지고, 그 주메모리(220)에 읽어들여진 데이터 처리 프로그램(232)을 CPU(210)가 실행한다. 또한, 데이터 처리 프로그램(232)은, 예를 들면, CD-ROM, DVD-ROM, 플래시 메모리 등의 기록 매체에 기록된 형태나 네트워크를 통한 다운로드의 형태로 제공된다. 기판 처리 장치(1)용 데이터 처리 프로그램(132)과 관리 서버(2)용 데이터 처리 프로그램(232)을 1개로 합친 프로그램이 기록 매체에 기록된 형태나 네트워크를 통한 다운로드의 형태로 기판 처리 장치(1) 및 관리 서버(2)에 제공되어도 된다.
<2.4 기준 데이터 전개 처리(기준 데이터의 전개에 관한 데이터 처리)>
본 실시형태에 있어서의 기준 데이터 전개 처리에서는, 어느 기판 처리 장치(1)에 대한 기준 데이터가 그 이외의 기판 처리 장치(1)에 전개된다. 도 28은, 그 기준 데이터 전개 처리에 관련된 기능 구성을 나타내는 기능 블럭도이다. 각 기판 처리 장치(1)에는, 기준 데이터 전개 처리에 관련된 기능적인 구성 요소로서, 기준 데이터 로컬 관리부(191) 및 기준 데이터 로컬 저장부(192)가 설치되어 있다. 또, 관리 서버(2)에는, 기준 데이터 전개 처리에 관련된 기능적인 구성 요소로서, 기준 데이터 글로벌 관리부(271) 및 기준 데이터 글로벌 저장부(272)가 설치되어 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 관리 서버(2)에 의해서 전개 관리부가 실현되고, 기준 데이터 로컬 관리부(191)와 기준 데이터 글로벌 관리부(271)에 의해서 기준 데이터 전개부가 실현되고 있다.
기준 데이터 로컬 저장부(192)에는, 대응하는 기판 처리 장치(1)에 대한 기준 데이터가 저장되어 있다. 기준 데이터 로컬 관리부(191)는, 기준 데이터 로컬 저장부(192)를 이용하여, 대응하는 기판 처리 장치(1)에 대한 기준 데이터의 관리를 행한다. 기준 데이터 글로벌 저장부(272)에는, 기준 데이터 전개 처리에 이용하는 기준 데이터가 저장된다. 기준 데이터 글로벌 관리부(271)는, 기준 데이터 글로벌 저장부(272)를 이용하여, 기준 데이터 전개 처리에 이용하는 기준 데이터의 관리를 행한다. 또한, 기준 데이터 로컬 저장부(192)는 제1의 기준 데이터 DB(136)(도 25 참조)에 의해서 실현되고, 기준 데이터 글로벌 저장부(272)는 제2의 기준 데이터 DB(234)(도 27 참조)에 의해서 실현된다.
본 실시형태에 있어서는, 레시피마다, 1개의 기판 처리 장치(1)가 「주(主)」로 정해지고, 그 이외의 기판 처리 장치(1)가 「종(從)」으로 정해진다. 즉, 본 실시형태에 있어서는, 각 기판 처리 장치(1)가 단위 요소에 상당한다. 또한, 이하, 「주」로 정해진 기판 처리 장치(1)를 「주장치」라고 하고, 「종」으로 정해진 기판 처리 장치(1)를 「종장치」라고 한다. 주장치가 주단위 요소에 상당하고, 종장치가 종단위 요소에 상당한다. 기준 데이터 전개 처리에서는, 주장치로부터 종장치로의 기준 데이터의 전개는 행해지는데, 종장치로부터 주장치로의 기준 데이터의 전개는 행해지지 않는다. 예를 들면, 어느 레시피에 대한 주장치가 기판 처리 장치(1(1))인 경우, 당해 레시피에 대한 기준 데이터의 전개는 기판 처리 장치(1(1))로부터 기판 처리 장치(1(2)~1(n))로 행해진다.
기준 데이터 전개 처리는, 주장치에 있어서 기준 데이터의 변경이 있었을 때에 행해진다. 환언하면, 주장치에 있어서의 기준 데이터의 변경을 트리거로서 기준 데이터 전개 처리가 행해진다. 또한, 기준 데이터가 어떻게 하여 변경되는지에 대해서는, 제1의 실시형태와 동일하므로, 설명을 생략한다.
다음에, 상술한 내용을 통해 볼 때 기준 데이터 전개 처리의 수순에 대해서 설명한다. 도 29는, 본 실시형태에 있어서의 기준 데이터 전개 처리의 수순을 나타내는 플로차트이다. 도 29에 나타낸 일련의 처리는, 기판 처리 장치(1)에 있어서 제어부(100) 내의 CPU(110)가 데이터 처리 프로그램(132)을 실행하고, 또한, 관리 서버(2) 내의 CPU(210)가 데이터 처리 프로그램(232)을 실행함으로써 실현된다.
우선, 주장치에 있어서, 기준 데이터의 변경(기준 데이터 로컬 저장부(192)에 저장되어 있는 기준 데이터의 갱신)이 행해진다(단계 S400). 그 단계 S400에서의 기준 데이터의 변경을 트리거로서, 주장치의 기준 데이터 로컬 관리부(191)는, 기준 데이터가 변경되었다는 취지의 변경 통지를 변경 후의 기준 데이터(신기준 데이터)와 함께 관리 서버(2) 내의 기준 데이터 글로벌 관리부(271)에 송신한다(단계 S410). 이와 같이, 단계 S410에서는, 도 30에서 부호 93을 부여한 화살표로 나타낸 바와 같이, 주장치로부터 관리 서버(2)로, 신기준 데이터와 함께 변경 통지가 송신된다.
다음에, 관리 서버(2) 내의 기준 데이터 글로벌 관리부(271)는, 단계 S410에서 보내져온 변경 통지 및 신기준 데이터에 의거해, 기준 데이터의 변경이 있었던 기판 처리 장치(즉 주장치)(1) 및 레시피를 특정한다(단계 S420). 그리고, 기준 데이터 글로벌 관리부(271)는, 기준 데이터 글로벌 저장부(272)를 참조하여, 신기준 데이터의 전개처의 기판 처리 장치(즉 종장치)(1)를 특정한다. 또, 기준 데이터 글로벌 관리부(271)는, 기준 데이터 글로벌 저장부(272)에 저장되어 있는 기준 데이터 중 해당 레시피에 대한 기준 데이터를 신기준 데이터로 변경(갱신)한다.
다음에, 관리 서버(2) 내의 기준 데이터 글로벌 관리부(271)는, 단계 S420에서 특정된 종장치(즉, 신기준 데이터의 전개처의 기판 처리 장치(1))에 신기준 데이터와 함께 갱신 지시 통지를 송신한다(단계 S430). 이와 같이, 단계 S430에서는, 도 31에서 부호 94를 부여한 화살표로 나타낸 바와 같이, 관리 서버(2)로부터 종장치로, 신기준 데이터와 함께 갱신 지시 통지가 송신된다.
그 후, 각 종장치에 있어서, 기준 데이터 로컬 관리부(191)는, 갱신 지시 통지에 의거해, 기준 데이터 로컬 저장부(192)에 저장되어 있는 기준 데이터 중 해당 레시피에 대한 기준 데이터를 신기준 데이터로 변경(갱신)한다(단계 S440). 이에 의해, 기준 데이터 전개 처리는 종료된다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 단계 S400에 의해서 기준 데이터 변경 단계가 실현되고, 단계 S410~S440에 의해서 기준 데이터 전개 단계가 실현되고 있다. 또, 단계 S410에 의해서 기준 데이터 업로드 단계가 실현되고, 단계 S420에 의해서 전개처 특정 단계가 실현되고, 단계 S430에 의해서 기준 데이터 다운로드 단계가 실현되고, 단계 S440에 의해서 기준 데이터 갱신 단계가 실현되고 있다.
그런데, 본 실시형태에 있어서는, 기판 처리 시스템에 신규에 기판 처리 장치(1)가 추가되었을 때에도 기준 데이터 전개 처리가 행해진다. 그 때, 추가된 기판 처리 장치(1)는 모든 레시피에 관해서 종장치로 정해지고, 레시피마다, 주로 정해져 있는 기판 처리 장치(1)(주장치)로부터 당해 추가된 기판 처리 장치(1)로 기준 데이터가 전개된다. 이하, 도 32에 나타낸 플로차트를 참조하면서, 기판 처리 장치(1)가 추가되었을 때의 기준 데이터 전개 처리의 수순에 대해서 설명한다. 또한, 이 처리에 대해서도, 기판 처리 장치(1)에 있어서 제어부(100) 내의 CPU(110)가 데이터 처리 프로그램(132)을 실행하고, 또한, 관리 서버(2) 내의 CPU(210)가 데이터 처리 프로그램(232)을 실행함으로써 실현된다.
우선, 기판 처리 시스템에 기판 처리 장치(1)가 추가된다(단계 S500). 보다 자세하게는, 기판 처리 시스템을 구성하는 네트워크(3)에 1대의 기판 처리 장치(이하, 「신규 추가 장치」라고 한다.)가 추가로 접속되고, 신규 추가 장치의 전원이 온이 된다. 신규 추가 장치는, 장치의 종류를 특정하기 위한 장치 구성 정보(예를 들면, 챔버의 타입, 사용하는 약액의 타입, 약액을 토출하는 노즐의 타입 등의 정보)를 관리 서버(2) 내의 기준 데이터 글로벌 관리부(271)에 송신한다(단계 S510). 이와 같이 장치 구성 정보를 기준 데이터 글로벌 관리부(271)에 송신함으로써, 기판 처리 시스템 내에 복수 종류의 기판 처리 장치(1)가 혼재되어 있어도, 신규 추가 장치의 종류에 따른 적절한 기준 데이터가 당해 신규 추가 장치에 전개된다.
다음에, 기준 데이터 글로벌 관리부(271)는, 단계 S510에서 송신된 장치 구성 정보에 의거해, 각 레시피에 대한 최신의 기준 데이터를 기준 데이터 글로벌 저장부(272)로부터 취득한다(단계 S520). 그리고, 기준 데이터 글로벌 관리부(271)는, 단계 S520에서 취득한 기준 데이터를 신규 추가 장치의 기준 데이터 로컬 관리부(191)에 송신한다(단계 S530).
그 후, 신규 추가 장치에 있어서, 기준 데이터 로컬 관리부(191)는, 단계 S530에서 송신된 각 레시피에 대한 기준 데이터를 기준 데이터 로컬 저장부(192)에 저장한다(단계 S540). 이에 의해, 기준 데이터 전개 처리는 종료된다.
이상과 같이 하여, 이 기판 처리 시스템에 기판 처리 장치(1)가 추가되면, 신규 추가 장치에서의 향후의 처리로 얻어지는 단위 처리 데이터와(처리의 이상 등을 검출하기 위해서) 비교하기 위한 데이터로서, 이 기판 처리 시스템에 이미 유지되어 있는 기준 데이터가, 당해 신규 추가 장치에 전개된다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 단계 S510에 의해서 구성 정보 송신 단계가 실현되고, 단계 S520에 의해서 기준 데이터 취득 단계가 실현되고, 단계 S530에 의해서 기준 데이터 송신 단계가 실현되고, 단계 S540에 의해서 기준 데이터 저장 단계가 실현되고 있다. 또, 기준 데이터 로컬 저장부(192)에 의해서 제1의 기준 데이터 저장부가 실현되고, 기준 데이터 글로벌 저장부(272)에 의해서 제2의 기준 데이터 저장부가 실현되고 있다.
<2.5 효과>
본 실시형태에 의하면, 각 레시피에 대해서 기판 처리 장치(1)마다 기준 데이터가 정해져 있는 기판 처리 시스템에 있어서, 어느 레시피에 관해서 주장치로 정해진 기판 처리 장치(1)에서 당해 레시피에 대한 기준 데이터가 변경되면, 변경 후의 기준 데이터가 당해 레시피에 관해서 종장치로 정해진 기판 처리 장치(1)에 전개된다. 이에 의해, 예를 들면 어느 레시피에 관해서 양호한 결과가 얻어져 있지 않은 기판 처리 장치(1)에 대해서도, 당해 레시피에 관해서 양호한 결과의 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 유지하는 것이 가능해진다. 이와 같이, 각 기판 처리 장치(1)에서의 처리로 얻어진 단위 처리 데이터를 적합한 기준 데이터와 비교하는 것이 가능해지므로, 각 기판 처리 장치(1)에서 실행된 처리의 이상을 정밀하게 검출하는 것이 가능해진다. 또, 기판 처리 시스템에 기판 처리 장치(1)가 추가되었을 때에는, 장치의 종류를 특정하기 위한 장치 구성 정보가 신규 추가 장치로부터 관리 서버(2)에 송신되고, 당해 장치 구성 정보에 의거하는 최신의 기준 데이터가 관리 서버(2)로부터 신규 추가 장치로 전개된다. 이와 같이, 신규 추가 장치에 대해서도 각 레시피에 관해서 양호한 결과의 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 유지하는 것이 가능해진다. 이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀하게 행하는 것이 가능해진다.
<3. 변형예>
상기 각 실시형태에 있어서는, 주유닛 혹은 주장치에 있어서 기준 데이터가 변경되면, 변경 후의 기준 데이터인 신기준 데이터가 종유닛 혹은 종장치에 자동적으로 전개되고 있었다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 기준 데이터의 전개가 작업자의 조작에 의해서(즉 수동으로) 행해지도록 해도 된다. 또한, 상기 각 실시형태와 같이 자동적으로 기준 데이터의 전개를 하는 장치·시스템에 본변형예와 같은 수동에 의한 기준 데이터의 전개를 행하는 기능을 추가적으로 설치하도록 해도 된다.
이하, 도 33에 나타낸 플로차트를 참조하면서, 본 변형예에 있어서의 기준 데이터 전개 처리의 수순을 설명한다. 또한, 본 변형예에 있어서는, 제2의 실시형태와 같이, 1대의 관리 서버(2)와 복수의 기판 처리 장치(1)에 의해서 1개의 기판 처리 시스템(데이터 처리 시스템)이 구성되어 있는 것으로 가정한다. 단, 제2의 실시형태와는 달리, 각 기판 처리 장치(1)에 있어서 각 레시피에 대한 기준 데이터는 처리 유닛(22)마다 정해져 있는 것으로 가정한다.
본 변형예에 있어서는, 우선, 관리 서버(2)로의 작업자의 소정의 조작에 의거해, 전개 대상의 기준 데이터를 선택하기 위한 예를 들면 도 34에 나타낸 기준 데이터 선택 화면(800)이 관리 서버(2)의 표시부(240)에 표시된다(단계 S600). 도 34에 나타낸 바와 같이, 기준 데이터 선택 화면(800)에는, 항목명 표시 영역(801)과 기준 데이터 일람 영역(802)과 Download 버튼(803)이 포함되어 있다.
항목명 표시 영역(801)에는, 기준 데이터를 특정하는 키가 되는 항목이며 기준 데이터 일람 영역(802)에 표시되는 항목의 명칭이 표시된다. 「Serial Number」는, 기판 처리 장치(1)를 일의로 특정하기 위한 시리얼 번호(제조 번호)를 나타내는 항목명이다. 「Unit」은, 처리 유닛(22)을 나타내는 항목명이다. 「Process Recipe」는, 레시피의 명칭을 나타내는 항목명이다.
기준 데이터 일람 영역(802)에는, 관리 서버(2)의 기준 데이터 글로벌 저장부(272)(도 28 참조)에 저장되어 있는 기준 데이터의 일람(기준 데이터를 특정하는 키가 되는 항목의 일람)이 표시된다. 도 34에 나타낸 예에서는, 기준 데이터 일람 영역(802)의 1행째의 데이터는 「Flushing test1」이라는 명칭의 레시피에 대한 기준 데이터를 나타내고 있으며, 당해 기준 데이터는 시리얼 번호를 「A1230001」로 하는 기판 처리 장치(1)의 「Chamber1」이라는 명칭의 처리 유닛(22)에서의 처리에 의해서 얻어진 단위 처리 데이터인 것이 파악된다. 작업자는, 기준 데이터 일람 영역(802)에 표시되어 있는 기준 데이터 중에서 1개의 기준 데이터(1개의 행)를 선택할 수 있다.
Download 버튼(803)은, 기준 데이터 일람 영역(802)에서 선택되고 있는 기준 데이터의 전개를 지시하기 위한 버튼이다. 단, 이 Download 버튼(803)이 눌리면, 기준 데이터의 전개가 실제로 개시되기 전에 후술하는 전개처 선택 화면(810)(도 35 참조)이 표시된다.
기준 데이터 선택 화면(800)의 표시 후, 작업자는, 기준 데이터 일람 영역(802)에 표시되어 있는 기준 데이터 중에서 전개 대상의 기준 데이터를 선택한다(단계 S610). 그 상태에 있어서, 작업자는, Download 버튼(803)을 누른다. 이에 의해, 전개처를 선택하기 위한 예를 들면 도 35에 나타낸 전개처 선택 화면(810)이 관리 서버(2)의 표시부(240)에 표시된다(단계 S620).
도 35에 나타낸 바와 같이, 전개처 선택 화면(810)에는, 2개의 리스트 박스(811 및 812)와 OK 버튼(818)과 Cancel 버튼(819)이 포함되어 있다. 리스트 박스(811)는, 전개처의 기판 처리 장치(1)를 선택하기 위한 인터페이스이다. 리스트 박스(812)는, 전개처의 처리 유닛(22)을 선택하기 위한 인터페이스이다. 또한, 리스트 박스(812)에는, 리스트 박스(811)에서 선택된 기판 처리 장치(1)에 설치되어 있는 처리 유닛(22)의 일람이 표시된다. OK 버튼(818)은, 선택한 전개처로의 기준 데이터의 전개의 실행을 지시하기 위한 버튼이다. Cancel 버튼(819)은, 기준 데이터의 전개를 중지하기 위한 버튼이다.
전개처 선택 화면(810)의 표시 후, 작업자는, 리스트 박스(811)에 의해서 전개처의 기판 처리 장치(1)를 선택하고, 또한, 리스트 박스(812)에 의해서 전개처의 처리 유닛(22)을 선택한다(단계 S630). 그 상태에 있어서, 작업자는, OK 버튼(818)을 누른다. 이에 의해, 관리 서버(2)의 기준 데이터 글로벌 관리부(271)는, 단계 S610에서 선택된 기준 데이터를 기준 데이터 글로벌 저장부(272)로부터 취득한다(단계 S640). 그리고, 기준 데이터 글로벌 관리부(271)는, 단계 S640에서 취득한 기준 데이터와 함께 갱신 지시 통지를 단계 S630에서 선택된 전개처에 송신한다(단계 S650). 그 후, 전개처에 있어서, 해당 레시피에 대한 기준 데이터의 갱신이 행해진다(단계 S660).
이상과 같이, 기준 데이터의 전개가 작업자의 조작에 의해서(즉 수동으로) 행해지도록 해도 된다. 또한, 본 변형예에 있어서는, 기준 데이터 선택 화면(800)과 전개처 선택 화면(810)에 의해서 전개처 지정부가 실현되고 있다.
1, 1(1)~1(n)：기판 처리 장치
2：관리 서버
22：처리 유닛
40：스코어링 결과 일람 화면
50：랭킹 설정 화면
60：랭킹 화면
100：제어부
132, 232：데이터 처리 프로그램
134：시계열 데이터 DB
136, 136a：제1의 기준 데이터 DB
136b, 234：제2의 기준 데이터 DB
171, 271：기준 데이터 글로벌 관리부
172, 272：기준 데이터 글로벌 저장부
180, 180(1)~180(12)：처리 유닛 관리부
181, 191：기준 데이터 로컬 관리부
182, 192：기준 데이터 로컬 저장부
800：기준 데이터 선택 화면
810：전개처 선택 화면

Claims (4)

  1. 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는, 복수의 단위 요소로 구성되는 데이터 처리 시스템에 있어서의 데이터 처리 방법으로서,
    상기 데이터 처리 시스템은,
    단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터를 저장하는, 단위 요소마다 설치된 제1의 기준 데이터 저장부와,
    상기 기준 데이터를 저장하는, 모든 단위 요소에서 공용되는 제2의 기준 데이터 저장부와,
    상기 기준 데이터의 전개를 관리하기 위한 전개 관리부를 갖고,
    1개의 단위 요소가 주(主)단위 요소로 정해짐과 더불어 상기 주단위 요소 이외의 단위 요소가 종(從)단위 요소로 정해지고,
    상기 데이터 처리 방법은,
    상기 전개 관리부에 있어서, 상기 종단위 요소에 전개되어야 하는 상기 주단위 요소의 기준 데이터를 상기 제2의 기준 데이터 저장부로부터 취득하는 기준 데이터 취득 단계와,
    상기 기준 데이터 취득 단계에서 취득된 기준 데이터를 상기 전개 관리부로부터 상기 종단위 요소에 송신하는 기준 데이터 송신 단계와,
    상기 종단위 요소에 있어서, 상기 기준 데이터 송신 단계에서 송신된 기준 데이터를 상기 제1의 기준 데이터 저장부에 저장하는 기준 데이터 저장 단계를 포함하고,
    상기 복수의 시계열 데이터는, 기판 처리 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량을 측정하는 센서로부터 취득되는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.
  2. 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 복수의 단위 요소로 구성되는 데이터 처리 장치로서,
    단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터를 저장하는, 단위 요소마다 설치된 제1의 기준 데이터 저장부와,
    상기 기준 데이터를 저장하는, 모든 단위 요소에서 공용되는 제2의 기준 데이터 저장부와,
    상기 기준 데이터의 전개를 관리하기 위한 전개 관리부를 갖고,
    1개의 단위 요소가 주(主)단위 요소로 정해짐과 더불어 상기 주단위 요소 이외의 단위 요소가 종(從)단위 요소로 정해지고,
    상기 데이터 처리 장치는,
    상기 전개 관리부에 있어서, 상기 종단위 요소에 전개되어야 하는 상기 주단위 요소의 기준 데이터를 상기 제2의 기준 데이터 저장부로부터 취득하는 기준 데이터 취득부와,
    상기 기준 데이터 취득부에 의해 취득된 기준 데이터를 상기 전개 관리부로부터 상기 종단위 요소에 송신하는 기준 데이터 송신부와,
    상기 종단위 요소에 있어서, 상기 기준 데이터 송신부에 의해 송신된 기준 데이터를 상기 제1의 기준 데이터 저장부에 저장하는 기준 데이터 저장부를 포함하고,
    상기 복수의 시계열 데이터는, 기판 처리 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량을 측정하는 센서로부터 취득되는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 장치.
  3. 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 복수의 단위 요소로 구성되는 데이터 처리 시스템으로서,
    단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터를 저장하는, 단위 요소마다 설치된 제1의 기준 데이터 저장부와,
    상기 기준 데이터를 저장하는, 모든 단위 요소에서 공용되는 제2의 기준 데이터 저장부와,
    상기 기준 데이터의 전개를 관리하기 위한 전개 관리부를 갖고,
    1개의 단위 요소가 주(主)단위 요소로 정해짐과 더불어 상기 주단위 요소 이외의 단위 요소가 종(從)단위 요소로 정해지고,
    상기 데이터 처리 시스템은,
    상기 전개 관리부에 있어서, 상기 종단위 요소에 전개되어야 하는 상기 주단위 요소의 기준 데이터를 상기 제2의 기준 데이터 저장부로부터 취득하는 기준 데이터 취득부와,
    상기 기준 데이터 취득부에 의해 취득된 기준 데이터를 상기 전개 관리부로부터 상기 종단위 요소에 송신하는 기준 데이터 송신부와,
    상기 종단위 요소에 있어서, 상기 기준 데이터 송신부에 의해 송신된 기준 데이터를 상기 제1의 기준 데이터 저장부에 저장하는 기준 데이터 저장부를 포함하고,
    상기 복수의 시계열 데이터는, 기판 처리 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량을 측정하는 센서로부터 취득되는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 시스템.
  4. 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 복수의 단위 요소로 구성되는 데이터 처리 시스템에 있어서의 기록 매체에 기록된 데이터 처리 프로그램으로서,
    상기 데이터 처리 시스템은,
    단위 요소마다 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터를 저장하는, 단위 요소마다 설치된 제1의 기준 데이터 저장부와,
    상기 기준 데이터를 저장하는, 모든 단위 요소에서 공용되는 제2의 기준 데이터 저장부와,
    상기 기준 데이터의 전개를 관리하기 위한 전개 관리부를 갖고,
    1개의 단위 요소가 주(主)단위 요소로 정해짐과 더불어 상기 주단위 요소 이외의 단위 요소가 종(從)단위 요소로 정해지고,
    컴퓨터의 CPU가 메모리를 이용하여,
    상기 전개 관리부에 있어서, 상기 종단위 요소에 전개되어야 하는 상기 주단위 요소의 기준 데이터를 상기 제2의 기준 데이터 저장부로부터 취득하는 기준 데이터 취득 단계와,
    상기 기준 데이터 취득 단계에서 취득된 기준 데이터를 상기 전개 관리부로부터 상기 종단위 요소에 송신하는 기준 데이터 송신 단계와,
    상기 종단위 요소에 있어서, 상기 기준 데이터 송신 단계에서 송신된 기준 데이터를 상기 제1의 기준 데이터 저장부에 저장하는 기준 데이터 저장 단계를 실행하고,
    상기 복수의 시계열 데이터는, 기판 처리 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량을 측정하는 센서로부터 취득되는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 프로그램.
KR1020210114569A 2018-02-08 2021-08-30 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램 KR102335391B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2018-020798 2018-02-08
JP2018020798A JP7080065B2 (ja) 2018-02-08 2018-02-08 データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム
KR1020190006845A KR102298217B1 (ko) 2018-02-08 2019-01-18 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190006845A Division KR102298217B1 (ko) 2018-02-08 2019-01-18 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210110278A KR20210110278A (ko) 2021-09-07
KR102335391B1 true KR102335391B1 (ko) 2021-12-03

Family

ID=67475522

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190006845A KR102298217B1 (ko) 2018-02-08 2019-01-18 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램
KR1020210114569A KR102335391B1 (ko) 2018-02-08 2021-08-30 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190006845A KR102298217B1 (ko) 2018-02-08 2019-01-18 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11054801B2 (ko)
JP (1) JP7080065B2 (ko)
KR (2) KR102298217B1 (ko)
CN (1) CN110137103B (ko)
TW (1) TWI707292B (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102342458B1 (ko) 2020-04-10 2021-12-22 오산대학교 산학협력단 강화학습이 적용된 시스템에서 ａｉ의 행동 의도 구현 시스템 및 그 방법
KR20220170010A (ko) 2021-06-22 2022-12-29 김정환 AI 와 Deepfake 기술로 다시 사람을 만나게 해주는 장치

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09171529A (ja) * 1995-12-20 1997-06-30 Fujitsu Ltd 動的計画管理装置及び動的計画管理方法
US6442445B1 (en) 1999-03-19 2002-08-27 International Business Machines Corporation, User configurable multivariate time series reduction tool control method
US8041541B2 (en) * 2001-05-24 2011-10-18 Test Advantage, Inc. Methods and apparatus for data analysis
TWI286785B (en) 2002-03-29 2007-09-11 Tokyo Electron Ltd Method for interaction with status and control apparatus
US7174281B2 (en) * 2002-05-01 2007-02-06 Lsi Logic Corporation Method for analyzing manufacturing data
JP4643560B2 (ja) * 2003-02-18 2011-03-02 東京エレクトロン株式会社 処理システムの自動構成のための方法
US7292906B2 (en) * 2004-07-14 2007-11-06 Tokyo Electron Limited Formula-based run-to-run control
US20060178835A1 (en) * 2005-02-10 2006-08-10 Applera Corporation Normalization methods for genotyping analysis
JP4912016B2 (ja) 2005-05-23 2012-04-04 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体記憶装置
JP2007081302A (ja) 2005-09-16 2007-03-29 Toshiba Corp 管理システム、管理方法及び電子装置の製造方法
JP5273697B2 (ja) 2006-08-01 2013-08-28 東京エレクトロン株式会社 サーバ装置およびプログラム
JP4942174B2 (ja) * 2006-10-05 2012-05-30 東京エレクトロン株式会社 基板処理システムの処理レシピ最適化方法，基板処理システム，基板処理装置
KR100835276B1 (ko) * 2006-10-23 2008-06-05 삼성전자주식회사 반도체 장비 제어 시스템 및 제어 방법
JP5271525B2 (ja) 2007-10-04 2013-08-21 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置の検査方法及び記憶媒体
JP5133755B2 (ja) 2008-03-28 2013-01-30 株式会社小松製作所 建設機械の運転評価システム及び運転評価方法
EP2284769B1 (en) 2009-07-16 2013-01-02 European Space Agency Method and apparatus for analyzing time series data
US8655472B2 (en) 2010-01-12 2014-02-18 Ebara Corporation Scheduler, substrate processing apparatus, and method of transferring substrates in substrate processing apparatus
JP5214656B2 (ja) * 2010-03-29 2013-06-19 株式会社東芝 評価装置および評価プログラム
US8723869B2 (en) * 2011-03-21 2014-05-13 Tokyo Electron Limited Biologically based chamber matching
JP5855841B2 (ja) 2011-04-01 2016-02-09 株式会社日立国際電気 管理装置
WO2013145133A1 (ja) 2012-03-27 2013-10-03 富士通株式会社 データ処理装置およびデータ処理方法
JP5909405B2 (ja) 2012-04-27 2016-04-26 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
JP6032960B2 (ja) * 2012-06-18 2016-11-30 キヤノン株式会社 画像処理装置、情報処理方法及びプログラム
JP6262137B2 (ja) 2012-09-26 2018-01-17 株式会社日立国際電気 統合管理システム、管理装置、基板処理装置の情報表示方法及びプログラム
US8702908B1 (en) * 2013-01-28 2014-04-22 Abb Technology Ag Reducing product variations via variance partition analysis
AU2014222148A1 (en) * 2013-03-01 2015-09-17 Atonarp Inc. Data processing device and control method therefor
JP2013211555A (ja) * 2013-04-17 2013-10-10 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理システム及びそのデータ転送方法並びに群管理装置
KR101786899B1 (ko) * 2013-05-22 2017-10-18 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 관리 장치, 기판 처리 시스템, 장치 정보 갱신 방법 및 프로그램
US8942300B1 (en) * 2013-07-31 2015-01-27 National Instruments Corporation Integrated digitizer system with streaming interface
JP6250406B2 (ja) 2014-01-15 2017-12-20 株式会社荏原製作所 基板処理装置の異常検出装置、及び基板処理装置
JP2016103496A (ja) * 2014-11-27 2016-06-02 株式会社日立ハイテクノロジーズ プラズマ処理装置
JP6310866B2 (ja) 2015-01-30 2018-04-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法並びに解析方法
JP6571344B2 (ja) * 2015-02-19 2019-09-04 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
JP6599727B2 (ja) 2015-10-26 2019-10-30 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 時系列データ処理方法、時系列データ処理プログラム、および、時系列データ処理装置
CN107315170B (zh) * 2017-06-09 2020-11-06 中国电子科技集团公司第四十一研究所 一种脉冲序列信号关联分析与显示系统及方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW201937438A (zh) 2019-09-16
TWI707292B (zh) 2020-10-11
KR20190096272A (ko) 2019-08-19
US20190243330A1 (en) 2019-08-08
KR20210110278A (ko) 2021-09-07
KR102298217B1 (ko) 2021-09-03
JP7080065B2 (ja) 2022-06-03
CN110137103B (zh) 2023-08-08
CN110137103A (zh) 2019-08-16
JP2019140195A (ja) 2019-08-22
US11054801B2 (en) 2021-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102335391B1 (ko) 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램
JP4504400B2 (ja) 群管理システム、半導体製造装置、情報処理方法、およびプログラム
KR101078664B1 (ko) 서버 장치 및 프로그램
US8055391B2 (en) Server device and program
KR102242640B1 (ko) 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램
US7230417B2 (en) Test system of semiconductor device having a handler remote control and method of operating the same
US8355808B2 (en) Server device of group management system having function of performing fault detection and program
KR102280390B1 (ko) 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램을 저장한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체
JP2017182414A (ja) 故障予測装置、故障予測方法及び故障予測プログラム
JP2020047078A (ja) データ処理方法、データ処理装置、およびデータ処理プログラム
KR102335392B1 (ko) 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램
KR20200033726A (ko) 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 및 데이터 처리 프로그램을 저장한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체
TWI842961B (zh) 資料處理方法、資料處理裝置以及電腦可讀取記錄媒體
JP2004138527A (ja) 半導体集積回路試験装置及び試験方法
JP2004138528A (ja) 半導体集積回路試験装置及び試験方法

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant