TWI707292B - 資料處理方法、資料處理裝置、資料處理系統以及資料處理程式 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種資料處理方法，係可比以往更精度佳地進行使用了時間系列資料的異常檢測。用以處理複數個單位處理資料之資料處理方法係包含有：基準資料變更步驟(S300)，係變更基準資料(為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料)；以及基準資料展開步驟(S310至S340)，係將基準資料變更步驟(S300)所為之屬於變更後的基準資料之新基準資料展開至已變更基準資料的單位要素以外的單位要素。

Description

資料處理方法、資料處理裝置、資料處理系統以及資料處理程式
本發明係有關於一種數位資料處理，尤其有關於一種用以處理時間系列資料之方法。
作為用以檢測機器或者裝置的異常之方法，已知有一種方法，係用以分析時間系列資料，該時間系列資料係使用感測器等測量用以顯示機器或者裝置的動作狀態之物理量(例如長度、角度、時間、速度、力量、壓力、電壓、電流、溫度、流量等)並將測量結果依照產生順序排列而獲得。在機器或者裝置以相同的條件進行相同的動作之情形中，當無異常時，時間系列資料係同樣地進行變化。因此，相互地比較同樣地進行變化之複數個時間系列資料，檢測異常的時間系列資料並分析異常的時間系列資料，藉此可特定異常的產生部位以及異常的原因。此外，近年來電腦的資料處理能力顯著地提升。因此，即使資料量龐大，在實用性的時間內能獲得的必要結果之情形仍變多。因此，時間系列資料的分析逐漸盛行。
例如，在半導體製造裝置中，在各種製程中能獲得時間系列資料。因此，即使在半導體製造裝置的領域中，亦進行時間系列資料的分析以及/或者於畫面上顯示時間系列資料等。
此外，與本發明有關連之日本特開2017-83985號公報揭示有 一種時間系列資料處理裝置的發明，利用者係以容易分析的態樣顯示時間系列資料。在該時間系列資料處理裝置中，複數個時間系列資料係被區分成複數個群組，並算出每個群組的異常度以及各個群組內的時間系列資料的異常度。而且，於顯示部顯示有已將依據異常度將群組或者時間系列資料排序的結果。
一般而言，屬於半導體製造裝置的一種之洗淨裝置等基板處理裝置係具有複數個腔室(chamber)(處理室)。在複數個腔室執行相同的處方(recipe)之情形中，較佳為能在複數個腔室獲得均一的結果物。因此，較佳為在一個基板處理裝置所含有之複數個腔室係具有相同的處理性能。然而，實際上在複數個腔室間會於處理性能產生差異。因此，會有在某個腔室中對基板正常地進行處理時在其他的腔室中未正常地進行同樣的處理之情形。
因此，即使在基板處理裝置的領域中，為了謀求早期發現異常以及異常的防範未然，如上所述般進行用以分析在各種製程中所獲得的時間系列資料之處理。然而，為了判斷同樣地進行變化之複數個時間系列資料所含有之各個時間系列資料是否異常，需要將成為評價對象的各個時間系列資料與具有理想性的時間系列的值(資料值)之時間系列資料進行比較。作為具有理想性的時間系列的值之時間系列資料，考慮使用例如由複數個時間系列資料的平均值所構成的時間系列資料。然而，在成為用以算出平均值之基礎的複數個時間系列資料中包含有與其他的值跳脫的值之資料以及/或者具有異常的值之多數的資料之情形中，由於算出的平均值不一定會成為理想性的值，因此無法精度佳地檢測異常。
因此，本發明的目的為提供一種資料處理方法，係可比以往更精度佳地進行使用了時間系列資料的異常檢測。
第一發明為一種資料處理方法，係用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理方法係包含有：基準資料變更步驟，係變更基準資料，前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；以及基準資料展開步驟，係將前述基準資料變更步驟所為之屬於變更後的基準資料之新基準資料展開至已在前述基準資料變更步驟中變更基準資料的單位要素以外的單位要素。
第二發明的特徵為在第一發明中，一個單位要素係被制定成主單位要素，且前述主單位要素以外的單位要素係被制定成副單位要素；在前述基準資料變更步驟中，變更針對前述主單位要素的基準資料；在前述基準資料展開步驟中，前述新基準資料係被展開至前述副單位要素。
第三發明的特徵為在第二發明中，前述基準資料展開步驟係包含有：基準資料上傳步驟，係從前述主單位要素將前述新基準資料發送至用以管理前述基準資料的展開之展開管理部；以及基準資料下載步驟，係從前述展開管理部將在前述基準資料上傳步驟中發送至前述展開管理部的新基準資料發送至前述副單位要素。
第四發明的特徵為在第二發明中，前述單位處理係在基板處理裝置中作為一個處方對一片基板執行之處理；前述主單位要素以及前述副單位要素係被每個處方制定。
第五發明的特徵為在第四發明中，前述基準資料展開步驟係包含有：基準資料上傳步驟，係從前述主單位要素將前述新基準資料以及 已變更基準資料的意旨之變更通知發送至用以管理前述基準資料的展開之展開管理部；展開目的地特定步驟，係在前述展開管理部中，依據前述新基準資料與前述變更通知特定存在基準資料的變更之處方，並針對已特定的處方將被制定成副單位要素的單位要素作為前述新基準資料的展開目的地予以特定；基準資料下載步驟，係從前述展開管理部將在前述基準資料上傳步驟中發送至前述展開管理部的新基準資料與用以指示基準資料的更新之更新指示通知發送至在前述展開目的地特定步驟中作為展開目的地被特定的單位要素；以及基準資料更新步驟，係在前述副單位要素中，依據前述更新指示通知將針對在前述展開目的地特定步驟中所特定的處方之基準資料更新成前述新基準資料。
第六發明的特徵為在第一發明至第五發明的任一個發明中，進一步包含有：單位處理資料評價步驟，係依據評價對象的單位處理資料與前述基準資料算出針對前述評價對象的單位處理資料之評價值；在前述基準資料變更步驟中，依據在前述單位處理資料評價步驟中所算出的評價值變更前述基準資料。
第七發明的特徵為在第一發明至第六發明的任一發明中，前述單位要素為一個基板處理裝置。
第八發明的特徵為在第一發明至第六發明的任一個發明中，前述單位要素係構成體，前述構成體係包含有：一個處理單元，係在基板處理裝置中處理基板。
第九發明為一種資料處理方法，係在由複數個單位要素所構成的資料處理系統中用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理系統係具備有：第一基準資料儲存部，係設置於每個單位要素，用以儲存基準資料， 前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；第二基準資料儲存部，係在全部的單位要素中被共用，用以儲存前述基準資料；以及展開管理部，係用以管理前述基準資料的展開；前述資料處理方法係包含有：構成資訊發送步驟，係從在已追加單位要素時屬於所追加的單位要素之新增單位要素將前述新增單位要素的構成資訊發送至前述展開管理部；基準資料取得步驟，係在前述展開管理部中，依據前述構成資訊從前述第二基準資料儲存部取得應對前述新增單位要素展開的基準資料；基準資料發送步驟，係從前述展開管理部將在前述基準資料取得步驟中所取得的基準資料發送至前述新增單位要素；以及基準資料儲存步驟，係在前述新增單位要素中，將在前述基準資料發送步驟中所發送的基準資料儲存至前述第一基準資料儲存部。
第十發明為一種資料處理裝置，係用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理裝置係具備有：基準資料儲存部，係設置於每個單位要素，用以儲存基準資料，前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；以及基準資料展開部，係將針對一個單位要素且儲存於基準資料儲存部的基準資料展開至其他的單位要素。
第十一發明為一種資料處理系統，係用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理系統係具備有：基準資料儲存部，係設置於每個單位要素，用以儲存基準資料，前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；以 及基準資料展開部，係將針對一個單位要素且儲存於基準資料儲存部的基準資料展開至其他的單位要素。
第十二發明的特徵為在第十一發明中，進一步具備有：基準資料變更部，係變更儲存於前述基準資料儲存部的基準資料；前述基準資料展開部係在已藉由前述基準資料變更部變更基準資料時，將屬於變更後的基準資料之新基準資料自動地展開至已變更基準資料的單位要素以外的單位要素。
第十三發明的特徵為在第十一發明中，進一步具備有：展開指定部，係用以指定展開對象的基準資料以及展開目的地的單位要素；前述基準資料展開部係將已被前述展開指定部指定的基準資料展開至已被前述展開指定部指定的單位要素。
第十四發明為一種資料處理程式，係用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理程式係電腦的CPU(Central Processing Unit；中央處理器)利用記憶體執行：基準資料變更步驟，係變更基準資料，前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；以及基準資料展開步驟，係將前述基準資料變更步驟所為之屬於變更後的基準資料之新基準資料展開至已在前述基準資料變更步驟中變更基準資料的單位要素以外的單位要素。
依據上述第一發明，在針對某個單位要素的基準資料(為從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料)存在變更時，能將屬於變更後的基準資料之新基準資料朝其他的單位要素展開。因此，即使是無法獲得良好的結果的單位處理資料之單位要素， 亦可將良好的結果的單位處理資料作為基準資料予以保持。如此，由於可將在各個單位要素的處理中所獲得的單位處理資料與較佳的基準資料進行比較，因此能精度佳地檢測處理的異常。如上所述，可比以往更精度佳地進行使用了時間系列資料的異常檢測。
依據上述第二發明，能從能獲得良好的結果的單位處理資料之單位要素朝該單位要素以外的單位要素展開基準資料。藉此，能確實地將在各個單位要素的處理中所獲得的單位處理資料與較佳的基準資料進行比較。
依據上述第三發明，能獲得與上述第二發明同樣的功效。
依據上述第四發明，可比以往更精度佳地進行使用了在基板處理裝置執行的處理(處方)中所產生的時間系列資料的異常檢測。
依據上述第五發明，能獲得與上述第四發明同樣的功效。
依據上述第六發明，由於基準資料的變更係依據評價值來進行，因此能針對各個單位要素確實地將良好的結果的單位處理資料作為基準資料予以保持。
依據上述第七發明，在針對某個基板處理裝置的基準資料存在變更時，能將屬於變更後的基準資料之新基準資料朝其他的基板處理裝置展開。因此，在使用了複數個基板處理裝置的系統中，可比以往更精度佳地進行使用了時間系列資料的異常檢測。
依據上述第八發明，在針對基板處理裝置內的某個處理單元的基準資料存在變更時，能將屬於變更後的基準資料之新基準資料朝其他的處理單元展開。因此，在基板處理裝置中，可比以往更精度佳地進行使用了時間系列資料的異常檢測。
依據上述第九發明，當於資料處理系統追加有單位要素時， 新增單位要素的構成資訊被發送至展開管理部，依據該構成資訊之基準資料係朝新增單位要素展開。因此，即使是已追加至資料處理系統之新增單位要素，亦可將良好的結果的單位處理資料作為基準資料予以保持。如此，由於可將在新增單位要素的處理中所獲得的單位處理資料與較佳的基準資料進行比較，因此能精度佳地檢測新增單位要素中的處理的異常。如上所述，可比以往更精度佳地進行使用了時間系列資料的異常檢測。
依據上述第十發明，能獲得與上述第一發明同樣的功效。
依據上述第十一發明，能獲得與上述第一發明同樣的功效。
依據上述第十二發明，由於無須作業者的操作即能進行基準資料的展開，因此能減輕作業者的操作負擔。此外，能防止因為作業者的操作疏失而不適當地進行基準資料的展開。
依據上述第十三發明，可因應需要從某個單位要素將基準資料朝其他的單位要素展開。
依據上述第十四發明，能獲得與上述第一發明同樣的功效。
1、1(1)至1(n):基板處理裝置
2:管理伺服器
3:網路
8:基板授受部
10:索引部
12:基板收容器保持部
14:索引機器人
20:處理部
22:處理單元
24:基板搬運機器人
30:評等畫面
32:按鍵
34:大圓形
40:評等結果一覽畫面
41:按鍵顯示區域
42:檢索對象顯示區域
43、801:項目名稱顯示區域
44:結果顯示區域
45:期間顯示區域
50:排序設定畫面
51至53、72:下拉式列表
58、78、818:確定按鍵
59、79、819:取消按鍵
60:排序畫面
61:按鍵顯示區域
62:檢索對象顯示區域
63:項目名稱顯示區域
64:結果顯示區域
65:期間顯示區域
70:變更時序設定畫面
71:旋轉控制框
76、77:變更指定日
91、92、93、94:箭頭
100:控制部
110、210:CPU
120、220:主記憶體
130、230:輔助記憶裝置
132、232:資料處理程式
134:時間系列資料DB
136、136a:第一基準資料DB
136b、234:第二基準資料DB
140、240:顯示部
150、250:輸入部
160、260:通訊控制部
170:全體管理部
171、271:基準資料總體管理部
172、272:基準資料總體儲存部
180、180(1)至180(12):處理單元管理部
181、191:基準資料局部管理部
182、192:基準資料局部儲存部
321:處理單元名稱顯示區域
322:處理片數顯示區域
323:錯誤數顯示區域
411:良好按鍵
412:不良按鍵
413:排序按鍵
414:交換按鍵
700:設定用區域
800:基準資料選擇畫面
802:基準資料一覽區域
803:下載按鍵
810:展開目的地選擇畫面
811、812:列表框
圖1係用以顯示本發明第一實施形態的基板處理裝置的概略構成之圖。
圖2係將某一個時間系列資料予以圖表化顯示之圖。
圖3係用以說明上述第一實施形態中之單位處理資料之圖。
圖4係用以顯示上述第一實施形態中之基板處理裝置的控制部的硬體構成之方塊圖。
圖5係用以說明上述第一實施形態中之時間系列資料DB之圖。
圖6係用以說明上述第一實施形態中之第一基準資料DB之圖。
圖7係用以說明上述第一實施形態中之第二基準資料DB之圖。
圖8係用以顯示上述第一實施形態中之基準資料展開處理的功能構成之功能方塊圖。
圖9係用以顯示上述第一實施形態中之用以變更主單元中的基準資料之順序的流程圖。
圖10係用以顯示上述第一實施形態中之評等(scoring)畫面的一例之圖。
圖11係用以顯示上述第一實施形態中之評等結果一覽畫面的一例之圖。
圖12係用以說明上述第一實施形態中之推薦設定時的評等結果一覽畫面的遷移之圖。
圖13係用以說明上述第一實施形態中之推薦設定時的評等結果一覽畫面的遷移之圖。
圖14係用以顯示上述第一實施形態中之排序設定畫面的一例之圖。
圖15係用以顯示上述第一實施形態中之排序畫面的一例之圖。
圖16係用以說明上述第一實施形態中之進行基準資料的變更時的排序畫面的遷移之圖。
圖17係用以顯示上述第一實施形態中之基準資料的變更之資料處理的順序之流程圖。
圖18係用以顯示上述第一實施形態中之變更時序設定畫面的一例之圖。
圖19係用以說明上述第一實施形態中之是否已到達變更指定日的判定之圖。
圖20係用以說明上述第一實施形態中之伴隨著變更時序的設定變更之變更指定日的變化之圖。
圖21係用以顯示上述第一實施形態中之基準資料展開處理的順序之流 程圖。
圖22係用以說明上述第一實施形態中之變更通知的發送之圖。
圖23係用以說明上述第一實施形態中之更新指示通知的發送之圖。
圖24係用以顯示本發明第二實施形態的基板處理系統的概略構成之圖。
圖25係用以顯示上述第二實施形態中之基板處理裝置的控制部的硬體構成之方塊圖。
圖26係用以說明上述第二實施形態中之第一基準資料DB之圖。
圖27係用以顯示上述第二實施形態中之管理伺服器的硬體構成之方塊圖。
圖28係用以顯示上述第二實施形態中之基準資料展開處理的功能構成之功能方塊圖。
圖29係用以顯示上述第二實施形態中之基準資料展開處理的順序之流程圖。
圖30係用以說明上述第二實施形態中之變更通知的發送之圖。
圖31係用以說明上述第二實施形態中之更新指示通知的發送之圖。
圖32係用以顯示上述第二實施形態中之已追加基板處理裝置時的基準資料展開處理的順序之流程圖。
圖33係用以顯示變化例中之基準資料展開處理的順序之流程圖。
圖34係用以顯示上述變化例中之基準資料選擇畫面的一例之圖。
圖35係用以顯示上述變化例中之展開目的地選擇畫面的一例之圖。
以下，參照圖式說明本發明的實施形態。
(1)第一實施形態
(1.1)基板處理裝置的構成
圖1係用以顯示本發明第一實施形態的基板處理裝置1的概略構成之圖。基板處理裝置1係具備有索引(indexer)部10以及處理部20。索引部10係包含有：複數個基板收容器保持部12，係用以載置可收容複數片基板之基板收容器(收容匣(cassette))；以及索引機器人14，係用以進行從基板收容器搬出基板以及將基板搬入至基板收容器。處理部20係包含有：複數個處理單元22，係使用處理液進行基板的洗淨等處理；以及基板搬運機器人24，係進行將基板搬入至處理單元22以及從處理單元22搬出基板。處理單元22的數量係例如為十二個。在此情形中，如圖1所示，例如於基板搬運機器人24的周圍的四個地方設置有已積層了三個處理單元22的塔構造體。在以下的說明中亦例示性地設定成處理單元22設置有十二個，並將這十二個處理單元22例示性地設定成以「腔室(1)」至「腔室(12)」的名稱來區別。於各個處理單元22設置有屬於用以對基板進行處理之空間的腔室，且於腔室內對基板供給處理液。此外，於基板處理裝置1的內部具備有由微電腦所構成的控制部100。
在對基板進行處理時，索引機器人14係從載置於基板收容器保持部12的基板收容器取出處理對象的基板，並經由基板授受部8將該基板傳遞至基板搬運機器人24。基板搬運機器人24係將從索引機器人14接取的基板搬入至對象的處理單元22。當結束對於基板的處理時，基板搬運機器人24係從對象的處理單元22取出基板，並經由基板授受部8將該基板傳遞至索引機器人14。索引機器人14係將從基板搬運機器人24接取的基板搬入至對象的基板收容器。
控制部100係控制索引部10以及處理部20所含有之控制對象(用以使索引機器人14移動之移動機構等)的動作。此外，控制部100係將藉由基 板處理裝置1執行處方而獲得的時間系列資料予以蓄積並保持，並進行使用了該時間系列資料的各種資料處理。
(1.2)時間系列資料以及基準資料
在本實施形態的基板處理裝置1中，為了檢測各個處理單元22中之與處理有關的機器的異常以及/或者在各個處理單元22中所進行的處理的異常等，在每次執行處方時取得時間系列資料。在本實施形態中所取得的時間系列資料係在執行處方時使用感測器等測量各種處理量(例如噴嘴的流量、腔室的內壓、腔室的排氣壓力等)並將測量結果以時間系列排列所獲得的資料。在後述的資料處理程式中，各種物理量係作為分別對應的參數的值進行處理。此外，一個參數係與一種類的物理量對應。
圖2係將某一個時間系列資料予以圖表化顯示之圖。該時間系列資料係在執行一個處方時在一個處理單元22內的腔室中藉由對一片基板進行處理所獲得的某個物理量之資料。此外，時間系列資料雖然為由複數個離散值所構成的資料，但在圖2中以直線連結時間性地鄰接的兩個資料值之間。此外，在執行一個處方時，在每個執行該處方的處理單元22獲得各種物理量的時間系列資料。因此，將在執行一個處方時在一個處理單元22內的腔室中對一片基板所進行之處理稱為「單位處理」，將藉由單位處理所獲得的一群的時間系列資料稱為「單位處理資料」。如圖3示意性地所示，於一個單位處理資料包含有：針對複數個參數的時間系列資料；以及屬性資料，係由用以特定目標對象的單位處理資料之複數個項目(例如處理的開始時刻、處理的結束時刻等)的資料等所構成。此外，圖3中，「參數(A)」、「參數(B)」以及「參數(C)」係與彼此不同種類的物理量對應。
為了檢測機器以及/或者處理的異常，應將藉由執行處方所獲得的單位處理資料作為處理結果與具有理想性的資料值之單位處理資料 進行比較。更詳細而言，應將藉由執行處方所獲得的單位處理資料所含有之複數個時間系列資料分別作為處理結果與具有理想性的資料值之單位處理資料所含有之複數個時間系列資料進行比較。因此，在本實施形態中，將用以與評價對象的單位處理資料進行比較之單位處理資料(由評價對象的單位處理資料所含有之複數個時間系列資料分別進行比較之複數個時間系列資料所構成的單位處理資料)作為基準資料制定於每個處理單元22的每個處方。亦即，當著眼於某一個處方時，於每個處理單元22制定有與該處方對應之基準資料。
(1.3)控制部的構成
接著，說明基板處理裝置1的控制部100的構成。圖4係用以顯示控制部100的硬體構成之方塊圖。控制部100係具備有CPU110、主記憶體120、輔助記憶裝置130、顯示部140、輸入部150以及通訊控制部160。CPU110係遵循被賦予的命令進行各種運算處理等。主記憶體120係暫時性地儲存執行中的程式以及資料等。輔助記憶裝置130係儲存即使電源被切斷(OFF)亦應被保持的各種程式以及各種資料。具體而言，在本實施形態中，於輔助記憶裝置130儲存有用以執行後述的資料處理之資料處理程式132。此外，於輔助記憶裝置130設置有時間系列資料DB134、第一基準資料DB136a以及第二基準資料DB136b。此外，「DB」為「資料庫(data base)」的簡稱。如圖5示意性地所示，於時間系列資料DB134儲存有預定期間分量的單位處理資料。如圖6示意性地所示，於第一基準資料DB136a的每個處理單元22的每個處方儲存有被制定成基準資料的單位處理資料(「處方(A)」、「處方(B)」以及「處方(C)」係表示彼此不同的處方)。如圖7示意性地所示，於第二基準資料DB136b的每個處方儲存有被制定成基準資料的單位處理資料。此外，第一基準資料DB136a係設置成：用以在檢測各個處理單元22所進行的處理的異 常等時，保持應作為與檢查對象的單位處理資料的比較對象之基準資料；另一方面，第二基準資料DB136b係設置成：用以保持在後述的基準資料展開處理時被發送以及接收的基準資料。顯示部140係顯示例如操作員(operator)用以進行作業的各種畫面。輸入部150係例如為滑鼠以及/或者鍵盤等，接收操作員從外部的輸入。通訊控制部160係進行資料的發送以及接收的控制。
此外，資料庫的構成並未限定於上述構成。例如，亦可設置一個資料庫並以表格來區別，以取代時間系列資料DB134、第一基準資料DB136a以及第二基準資料DB136b。此外，例如亦可於每個處理單元22設置第一基準資料DB136a。
當基板處理裝置1啟動時，資料處理程式132被讀入至主記憶體120，且CPU110係執行被讀入至主記憶體120的資料處理程式132。藉此，基板處理裝置1係作為資料處理裝置發揮作用。此外，資料處理程式132係例如以記錄於CD-ROM(compact disc read only memory；唯讀光碟)、DVD-ROM(digital versatile disc read only memory；唯讀式數位多功能影音光碟)、快閃記憶體等記錄媒體之形態或者經由網路下載的形態所提供。
(1.4)基準資料展開處理(與基準資料的展開有關的資料處理)的概要
在本實施形態中，進行用以將針對某個處理單元22的基準資料展開至該某個處理單元22以外的處理單元22之基準資料展開處理。此外，本說明書中所謂的「基準資料的展開」係指將該基準資料的利用範圍(利用對象)擴大。圖8係用以顯示與基準資料展開處理有關的功能構成之功能方塊圖。如圖8所示，於基板處理裝置1設置有全體管理部170以及十二個處理單元管理部180(1)至180(12)作為與基準資料展開處理有關的功能性的構成要素。處理 單元管理部180(1)至180(12)係分別與屬於上述十二個處理單元22之腔室(1)至腔室(12)對應。於全體管理部170包含有基準資料總體管理部171以及基準資料總體儲存部172。於各個處理單元管理部180(1)至180(12)包含有基準資料局部管理部181以及基準資料局部儲存部182。此外，在本實施形態中，藉由全體管部部170實現展開管理部，並藉由基準資料局部管理部181與基準資料總體管理部171實現基準資料展開部。
於基準資料局部儲存部182儲存有針對所對應的處理單元22的基準資料。基準資料局部管理部181係使用基準資料局部儲存部182，進行針對所對應的處理單元22的基準資料的管理。此外，在圖8中，雖然於每個處理單元管理部180圖示基準資料局部儲存部182，但在本實施形態中全部的基準資料局部儲存部182係藉由上述一個第一基準資料DB136a(參照圖4)作為資料庫來實現。
於基準資料總體儲存部172儲存有使用於基準資料展開處理之基準資料。基準資料總體管理部171係使用基準資料總體儲存部172，進行使用於基準資料展開處理之基準資料的管理。此外，基準資料總體儲存部172係藉由上述第二基準資料DB136b(參照圖4)來實現。
在本實施形態中，藉由一個處理單元22以及與該一個處理單元22對應的一個處理單元管理部180來實現作為單位要素的一個構成體。而且，於每個處方中將一個構成體制定成「主」，將其餘的構成體(十一個構成體)制定成「副」。此外，以下將制定成「主」的構成體稱為「主單元」，將制定成「副」的構成體稱為「副單元」。主單元係相當於主單位要素，副單元係相當於副單位要素。此外，為了方便說明，亦有將制定成「主」的構成體所含有之處理單元22以及/或者處理單元管理部180稱為「主單元」之情形，且亦有將制定成「副」的構成體所含有之處理單元22以及/或者處理單元管 理部180稱為「副單元」之情形。於基準資料總體儲存部172除了儲存有基準資料之外，亦儲存有用以針對各個處方特定主單元以及副單元之資訊。
此外，關於主單元的選擇(指定)，係可構成為作業者能選擇主單元選擇用的畫面並顯示於顯示部140，亦可構成為主單元依據使用自身測量裝置所獲得的結果自動地選擇。作為使用自身測量裝置之例子，能例舉下述手法：以膜壓計測量在各個處理單元22進行處理的基板的蝕刻量(處理前的膜厚與處理後的膜厚之間的差異)，並依據測量結果自動地選擇主單元。
在基準資料展開處理中，雖然進行從主單元朝副單元展開基準資料，但不進行從副單元朝主單元展開基準資料。例如，在針對某個處方的主單元為處理單元管理部180(1)之情形中，針對該處方的基準資料的展開係從處理單元管理部180(1)朝處理單元管理部180(2)至180(12)進行。
基準資料展開處理係在主單元中存在基準資料的變更時進行。換言之，將主單元中的基準資料的變更作為觸發進行基準資料展開處理。因此，在說明基準資料展開處理的詳細順序之前，說明主單元中的基準資料的變更順序。
(1.5)主單元中的基準資料的變更順序
在本實施形態的基板處理裝置1中，可因應需要變更針對各個處方的基準資料。因此，以下著眼於一個處方，說明變更針對該處方的主單元中的基準資料的順序。圖9係用以顯示用以變更主單元中的基準資料之順序的流程圖。此外，以下將評價對象的單位處理資料稱為「評價對象資料」。
首先，在基板處理裝置1中執行目標對象的處方(以下稱為「著眼處方」)，藉此進行依據從主單元所獲得的評價對象資料之評等(步驟S10)。此外，所謂評等係下述處理：在評價對象資料與基準資料之間比較各個參數的時間系列資料，將比較所獲得的結果予以數值化。在例示性地設定成著眼 處方被包含有主單元的八個處理單元22執行之情形中，依據從該八個處理單元22所獲得的八個評價對象資料各者進行評等(亦即在每個單位處理進行評等)，藉此能獲得八個評等結果。在評等中，針對複數個評價項目進行「良好」或者「不良」的判斷。該判斷係針對各個參數藉由將依據評價對象資料所含有之時間系列資料與基準資料所含有之時間系列資料所獲得的檢查值與和該檢查值所對應的臨限值進行比較而進行(藉由實質性地將評價對象資料所含有之時間系列資料與基準資料所含有之時間系列資料進行比較而進行)。藉此，在檢查值超過臨限值之情形中，該評價項目被判斷成「不良」。此外，亦可於一個參數設置有複數個評價項目。在本實施形態中，各個評價對象資料的評等結果係表示將評價項目的總數作為分母且將被判斷成不良的評價項目的數量作為分子之態樣。
以下列舉評價項目的例子。
例子1：與某個參數有關的穩定期間(參照圖2)中之時間系列資料的平均值。
例子2：與某個參數有關的穩定期間(參照圖2)中之時間系列資料的最大值。
例子3：與某個參數有關的上升期間(參照圖2)的長度。
針對例子1的評價項目，與目標對象的參數有關的穩定期間中之「評價對象資料所含有之時間系列資料的平均值與基準資料所含有之時間系列資料的平均值之間的差異」係成為上述檢查值。針對例子2的評價項目，與目標對象的參數有關的穩定期間中之「評價對象資料所含有之時間系列資料的最大值與基準資料所含有之時間系列資料的最大值之間的差異」係成為上述檢查值。針對例子3的評價項目，與目標對象的參數有關的「評價對象資料所含有之時間系列資料的上升期間的長度與基準資料所含有之時間系列資 料的上升期間的長度之間的差異」係成為上述檢查值。
此外，亦可在評等時進行各個時間系列資料的正規化。例如，亦可構成為：針對各個參數，以基準資料所含有之時間系列資料的最大值被變換成1且基準資料所含有之時間系列資料的最小值被變換成0之方式對評價對象資料所含有之時間系列資料施予線形變換。此外，一般而言雖然於評價對象資料包含有複數個參數的時間系列資料，然而亦可僅針對一部分的參數的時間系列資料進行正規化。此外，因應需要進行時間系列資料的正規化，藉此能更適當地算出後述的評價值。
評等結束後，進行評等的結果的顯示(步驟S20)。針對此步驟，首先，將例如顯示評等的結果的概略之圖10所示的評等畫面30顯示於顯示部140。於評等畫面30設置有與處理單元22的數量相等數量的按鍵32。於按鍵32內設置有處理單元名稱顯示區域321、處理片數顯示區域322以及錯誤數顯示區域323。於處理單元名稱顯示區域321顯示有目標對象的處理單元22的名稱。於處理片數顯示區域322顯示有在目標對象的處理單元22內的腔室中於預定期間內處理的基板的總數。於錯誤數顯示區域323顯示有發生的錯誤件數。此外，針對正在發生錯誤的處理單元22，於錯誤數顯示區域323顯示有已因應錯誤件數的大圓形34。
當按下上述評等畫面30的任一個按鍵32時，顯示用以表示在目標對象的處理單元22中執行的單位處理的評等結果之畫面。此外，在進行主單元中之基準資料的變更時，在評等畫面30中按下與主單元對應的按鍵32。而且，當在按下按鍵32後所顯示的畫面上選擇一個單位處理時，於顯示部140顯示例如圖11所示的評等結果一覽畫面40，圖11所示的評等結果一覽畫面40係一覽顯示針對與所選擇的單位處理對應的處方的評等結果。
如圖11所示，於評等結果一覽畫面40包含有按鍵顯示區域41、 檢索對象顯示區域42、項目名稱顯示區域43、結果顯示區域44以及期間顯示區域45。於按鍵顯示區域41設置有顯示良好按鍵411、不良按鍵412、排序按鍵413以及交換按鍵414。
於檢索對象顯示區域42顯示有檢索對象的處理單元22(在此為主單元)的名稱以及檢索對象的處方(在此為著眼處方)的名稱。在圖11所示的例子中，掌握到檢索對象的處理單元22的名稱為「腔室(3)」，且掌握到檢索對象的處方的名稱為「沖洗測試(flushing test)(2)」。
於項目名稱顯示區域43顯示有在結果顯示區域44顯示的內容(屬性資料)的項目名稱。「損壞/總數」係用以表示評等結果之項目名稱。此外，「損壞」係相當於被判斷成不良之評價項目的數量，「總數」係相當於評價項目的總數。「開始時間」係用以表示著眼處方的開始時刻之項目名稱。「結束時間」係用以表示著眼處方的結束時刻之項目名稱。「製程時間」係用以表示著眼處方的處理時間之項目名稱。「警報」係用以表示在執行著眼處方時所產生的警報數之項目名稱。「基材ID」係用以專門地識別已進行著眼處方所為的處理的基板(晶圓)之號碼之項目名稱。「建議(良好/不良)」係用以表示後述的推薦度之項目名稱。「良好」係相當於用以表示高評價的程度之值(以下稱為「良好值」)，「不良」係相當於用以表示低評價的程度之值(以下稱為「不良值」)。推薦度係由這些良好值與不良值所構成。
於結果顯示區域44顯示有已符合檢索條件的單位處理資料的屬性資料(各種資訊以及/或者評價結果等)。在圖11所示的例子中，於結果顯示區域44顯示有八個單位處理資料的屬性資料。作業者係能從結果顯示區域44所顯示的屬性資料中選擇一個屬性資料(一列(row))。
於期間顯示區域45顯示有預先設定的檢索對象期間。於結果顯示區域44顯示有藉由在檢索對象期間執行著眼處方所獲得的單位處理資料的 屬性資料。在圖11所示的例子中，掌握到檢索對象期間係從2017年7月19日的下午7點39分34秒至2017年8月19日的下午7點39分34秒為止的一個月。
在此，說明設置於按鍵顯示區域41的各個按鍵的功能。良好按鍵411係用以讓作業者在希望調高與在結果顯示區域44內選擇的屬性資料對應之單位處理資料的評價值時按下之按鍵。不良按鍵412係用以讓作業者在希望調低與在結果顯示區域44內選擇的屬性資料對應之單位處理資料的評價值時按下之按鍵。排序按鍵413係用以指示排序處理的執行之按鍵。交換按鍵414係用以將與在結果顯示區域44內選擇的屬性資料對應之單位處理資料制定成新的基準資料之按鍵。此外，有關評價值以及排序處理的說明係於後述。
在評等結果一覽畫面40的顯示後，因應需要進行推薦度的設定(推薦設定)(步驟S30)，該推薦度係表示將各個單位處理資料作為基準資料推薦之程度。推薦設定係藉由在已選擇結果顯示區域44所顯示的屬性資料中之與設定對象的單位處理資料對應的屬性資料之狀態下按下良好按鍵411或者不良按鍵412而進行。此時，在設定對象的單位處理資料為適合作為基準資料之情形中作業者係按下良好按鍵411，在設定對象的單位處理資料為不適合作為基準資料之情形中作業者係按下不良按鍵412。如此，在已顯示評等結果一覽顯示畫面40當下，良好按鍵411以及不良按鍵412係變成無法選擇的狀態。如圖12所示，當在此狀態下作業者選擇結果顯示區域44所顯示的任一個屬性資料時，目標對象的屬性資料係變成選擇狀態且良好按鍵411以及不良按鍵412係變成能選擇的狀態。在此狀態下作業者係按下良好按鍵411或者不良按鍵412，藉此進行良好值以及不良值的加法運算。例如，當在圖12所示的狀態下三次按下不良按鍵412時，如圖13所示般所選擇的屬性資料中之不良值係變成「3」。如上所述，評等結果一覽畫面40係以能從外部變更推薦度之方式構成。此外，關於將良好值以及不良值具體性地設定成何種值，例如考量評等 結果、警報數、在目標對象的單位處理所獲得的結果物(基板)的狀態(例如粒子數、缺陷數、崩壞率)等來決定。此外，除了良好按鍵411以及不良按鍵412之外，亦可設置用以將良好值調小之按鍵以及用以將不良值調小之按鍵。
然而，從在某個時間點進行基準資料的變更後至下一次進行基準資料的變更為止，通常會複數次地執行各個處方。亦即，從在某個時間點進行基準資料的變更後至下一次進行基準資料的變更為止，通常會複數次地執行評等。因此，針對用以一次變更基準資料之一連串的處理(圖9所示的一連串的處理)，通常會複數次地反復步驟S10至步驟S30的處理。而且，在希望變更基準資料時，藉由作業者按下評等結果一覽畫面40內的排序按鍵413(步驟S40)。藉此，於顯示部140顯示例如圖14所示的排序設定畫面50。排序設定畫面50係用以進行後述的排序處理的設定之畫面。
在此，說明排序處理。本實施形態中的排序處理係下述一連串的處理：依據三個指標對藉由執行指定的處方所獲得的複數個單位處理資料(檢索對象期間內的單位處理資料)進行順位排定，並以排序形示顯示該順位排定的結果。此外，所謂排序形式係指從順位高的資料朝順位低的資料依序排列的形式。各個單位處理資料的順位係藉由依據三個指標所算出的評價值(總得分)來進行決定。在本實施形態中，能使用依據上述推薦度之值(以下稱為「推薦值」)、依據評等結果之值(以下稱為「評等結果值」)以及依據警報的發生次數(或者有無警報)之值(以下稱為「警報值」)作為用以算出評價值之三個指標值。針對評價值的具體性的求出方式係於後述。在排序處理中，依據評價值進行檢索對象期間內的複數個單位處理資料的順位排定，並以排序形式顯示與各個單位處理資料對應的屬性資料。
在步驟S50中，藉由作業者的操作使用排序設定畫面50進行執行上述排序處理所需的設定。圖14係用以顯示排序設定畫面50的一例之圖。 如圖14所示，於排序設定畫面50包含有三個下拉式列表(drop-down list)51至53、確定按鍵58以及取消按鍵59，三個下拉式列表51至53係用以設定在算出用以進行決定各個單位處理資料的順位之評價值時上述三個指標值各者的影響度(參與度)。下拉式列表51係用以設定推薦值的影響度之介面。下拉式列表52係用以設定評等結果值的影響度之介面。下拉式列表53係用以設定警報值的影響度之介面。確定按鍵58係用以依據設定內容執行排序處理(步驟S60至步驟S110的處理)之按鍵。取消按鍵59係用以取消設定內容(使用下拉式列表51至53所設定的內容)並返回至評等結果一覽畫面40之按鍵。
針對下拉式列表51至53，可以例如1%刻度設定影響度。然而，亦可以5%刻度或者10%刻度設定影響度。此外，在不想作為算出評價值時的指標值來使用之情形中，可將影響度設定成0%。
此外，當將下拉式列表51的設定值定義成「第一設定值」、將下拉式列表52的設定值定義成「第二設定值」、將下拉式列表53的設定值定義成「第三設定值」時，較佳為以第一設定值、第二設定值以及第三設定值的和變成100%之方式自動地進行值的調整。如此，在排序設定畫面50的顯示後已對兩個下拉式列表進行了值的設定時，能自動地設定其餘的下拉式列表的值。在此情形中，例如在進行了「第一設定值為50且第二設定值為30」此種設定時，第三設定值係自動地被設定成「20」。此外，亦可在已對三個下拉式列表進行值的設定的狀態下變更任一個下拉式列表的值時，維持或者自動地變更其餘兩個下拉式列表的值的比例。在此情形中，當在「第一設定值為70、第二設定值為20、第三設定值為10」此種設定的狀態下將第一設定值變更成「55」時，自動地將第二設定值變更成「30」且自動地將第三設定值變更成「15」。
此外，亦可構成為接受第一設定值、第二設定值以及第三設定 值的和超過100%之設定，且以維持第一設定值、第二設定值以及第三設定值的比例並使和變成100%之方式進行內部性的處理。此外，亦可在已進行了第一設定值、第二設定值以及第三設定值的和超過100%之設定時，顯示「和超過100%」的意旨的訊息以提醒再次設定。
在進行了三個指標值的影響度的設定後，當按下排序設定畫面50的確定按鍵58時，開始排序處理(步驟60至步驟S110的處理)。在排序處理中，藉由於檢索對象期間執行著眼處方，從各個處理單元22所獲得的全部的單位處理資料係成為評價對象資料。
首先，針對屬於能成為基準資料的候補之資料的各個評價對象資料求出上述推薦值(步驟S60)。當將良好值表示成CntG且將不良值表示成CntB時，推薦值V(R)係例如藉由下述式(1)算出。
[式(1)]V(R)=(CntG-CntB)×100/(CntG+CntB)
其中，在「CntG為0且CntB為0」時，設定成「V(R)為0」。
接著，針對各個評價對象資料求出上述警報值(步驟S70)。針對警報值V(A)，例如當警報數為0(在評等結果一覽畫面40中標示成「無(none)」)時設定成「V(A)為100」，當警報數為1以上時設定成「V(A)為-100」。
接著，針對各個評價對象資料求出上述評等結果值V(S)(步驟S80)。當將評價項目的總數表示成Nt且將被判斷成不良之評價項目的數量表示成Nf時，評等結果值V(S)係例如藉由下述式(2)算出。
[式(2)]V(S)=(Nt-2×Nf)×100/Nt
如上所述，求出推薦值V(R)、警報值V(A)以及評等結果值V(S)後，針對各個評價對象資料進行上述評價值(總得分)的算出(步驟S90)。當將 步驟S50中所設定的下拉式列表51至53的值(比例)分別表示成P1至P3時，評價值(總得分)Vtotal係藉由下述式(3)算出。
[式(3)]Vtotal=V(R)×P1+V(S)×P2+V(A)×P3
算出針對能成為基準資料的候補之全部的單位處理資料(評價對象資料)之評價值後，依據算出的評價值進行單位處理資料的順位排定(步驟S100)。此時，單位處理資料的評價值愈大則順位愈變高(用以表示順位之數值係變小)。因此，順位變成第一位的單位處理資料係評價值最大的單位處理資料。
在結束順位排定後，於顯示部140顯示有例如圖15所示般用以表示該順位排定的結果之排序畫面60(步驟S110)。如圖15所示，依循順位排定的結果，以排序形式於排序畫面60顯示有針對複數個單位處理資料各者的屬性資料。
於排序畫面60包含有按鍵顯示區域61、檢索對象顯示區域62、項目名稱顯示區域63、結果顯示區域64以及期間顯示區域65。與評等結果一覽畫面40同樣地，於按鍵顯示區域61設置有良好按鍵411、不良按鍵412、排序按鍵413以及交換按鍵414。
於檢索對象顯示區域62顯示有檢索對象的處理單元22的名稱以及檢索對象的處方(在此為著眼處方)的名稱。在圖15所示的例子中，掌握到檢索對象的處理單元22的名稱為「腔室(3)」、「腔室(4)」以及「腔室(5)」，檢索對象的處方的名稱為「沖洗測試(2)」。雖然在評等結果一覽畫面40(參照圖11)中僅在評等畫面30(參照圖10)中所選擇的處理單元22成為檢索對象，然而在排序畫面60中於檢索對象期間執行著眼處方的全部的處理單元22皆成為檢索對象。然而，針對排序畫面60，亦可構成為僅將在評等畫面30中所選擇 的處理單元22(在此為主單元)作為檢索對象。
於項目名稱顯示區域63顯示有於結果顯示區域64所顯示的內容(屬性資料)的項目名稱。「排序」係用以表示順位排定的順位之項目名稱。「總評分」係用以表示上述評價值(總得分)之項目名稱。「推薦評分」係用以表示於上述推薦值乘上在排序設定畫面50的下拉式列表51中所設定的比例而獲得的值(V(R)×P1)之項目名稱。「評等結果評分」係用以表示藉由於上述評等結果值乘上在排序設定畫面50的下拉式列表52中所設定的比例而獲得的值(V(S)×P2)之項目名稱。「警報數量評分」係用以表示藉由於上述警報值乘上在排序設定畫面50的下拉式列表53中所設定的比例而獲得的值(V(A)×P3)之項目名稱。「單元」係用以表示處理單元之項目名稱。「開始時間」係用以表示著眼處方的開始時刻之項目名稱。「結束時間」係用以顯示著眼處方的結束時刻之項目名稱。「製程時間」係用以表示著眼處方的處理時間之項目名稱。
於結果顯示區域64顯示有已符合檢索條件的單位處理資料的屬性資料(各種資訊以及/或者順位排定的順位等)。如從圖15所掌握到的，在結果顯示區域64內以評價值高的屬性資料朝評價值低的屬性資料排列的狀態顯示有單位處理資料的屬性資料。因此，與於結果顯示區域64的第一列所顯示的屬性資料對應的單位處理資料係在已符合檢索條件的單位處理資料中評價值最大的單位處理資料。作業者係能從結果顯示區域64所顯示的屬性資料中選擇一個屬性資料(一列)。
與評等結果一覽畫面40的期間顯示區域45同樣地，於期間顯示區域65顯示有檢索對象期間。在圖15所示的例子中，掌握到檢索對象期間係從2017年7月19日的下午7點39分34秒至2017年8月19日的下午7點39分34秒為止的一個月。
在排序畫面60的顯示後，藉由作業者進行變更後的基準資料的選擇(步驟S120)。具體而言，作業者係從於排序畫面60的結果顯示區域64所顯示的屬性資料中，選擇與作為變更後的基準資料之單位處理資料對應的屬性資料。藉此，在排序畫面60中，所選擇的屬性資料係變成選擇狀態。在此狀態中，作業者係按下按鍵顯示區域61內的交換按鍵414。藉此，變更針對與主單元有關的著眼處方之基準資料(步驟S130)。詳細而言，第一基準資料DB136a(參照圖6)所保持之針對主單元的單位處理資料中之與著眼處方對應的單位處理資料係被置換成與在結果顯示區域64內成為選擇狀態的屬性資料對應的單位處理資料。如上所述，由於能依據順位排定的結果來決定基準資料，因此能將具有理想性的時間系列的值之單位處理資料制定成變更後的基準資料。
在排序畫面60變成例如圖15所示的狀態時，當作業者選擇結果顯示區域64內的第一列的屬性資料時，如圖16所示般第一列的屬性資料變成選擇狀態且交換按鍵414變成可按下的狀態。當在此狀態下作業者按下交換按鍵414時，針對著眼處方之基準資料係被變更成與第一列的屬性資料對應的單位處理資料。
此外，依據本實施形態，能選擇順位排定的順位為第一位以外的單位處理資料作為基準資料。如此，可選擇已符合使用者的需求的基準資料。
如上所述，藉由進行基準資料的變更，結束圖9所示的一連串的處理。在本實施形態中，藉由上述步驟S10至步驟S90實現單位處理資料評價步驟。此外，亦可在進行針對主單元之基準資料的變更時，於排序畫面60的結果顯示區域64僅顯示針對主單元之資料。
此外，關於各個處方，亦可在預先指定的時序變更針對主單元 之基準資料。參照圖17所示的流程圖說明此情形的主單元中之基準資料的變更順序。此外，圖17所示的一連串的處理係藉由基板處理裝置1的控制部100進行。
首先，藉由作業者的操作進行基準資料的變更時序的設定(步驟S200)。此時，於顯示部140顯示有例如圖18所示的變更時序設定畫面70。於變更時序設定畫面70包含有設定用區域700、確定按鍵78以及取消按鍵79。確定按鍵78係用以確定設定內容之按鍵。取消按鍵79係用以取消設定內容之按鍵。
在變更時序設定畫面70的設定用區域700中，可於每個處方設定針對主單元之基準資料的變更時序。變更時序的設定係藉由於每個處方指定經過時間(亦即用以變更基準資料之時間間隔)而進行，該經過時間係於某個時間點進行基準資料的變更後直至下一次進行基準料的變更為止之期間的長度。
如圖18所示，於設定用區域700的每個處方設置有旋轉控制框(spin control box)71以及下拉式列表72。旋轉控制框71係用以指定進行設定的期間的長度之介面。旋轉控制框71係構成為可使用以表示期間的長度之數值增減。下拉式列表72係用以指定進行設定的期間的單位之介面。能在下拉式列表72中指定的單位係「年」、「月」、「日」中的任一者。作業者係操作旋轉控制框71以及下拉式列表72，於每個處方設定基準資料的變更時序。在圖18所示的例子中，與「處方(A)」之處方有關的主單元之基準資料係每一年被變更，與「處方(B)」之處方有關的主單元之基準資料係每三個月被變更。
有關圖17所示的流程圖，如上所述使用變更時序設定畫面70進行基準資料的變更時序的設定後，在控制部100中進行稼動期間的遞增計數(count up)(步驟S210)。具體而言，於資料處理程式132準備有稼動期間計數用 的變數(以下稱為「稼動期間變數」)CntD，於每次經過一天將該稼動期間變數CntD的值增加「1」。
當於稼動期間變數CntD的值增加「1」時，針對各個處方，依據在變更時序設定畫面70中的設定內容進行是否已到達應進行基準資料的變更的日期(以下為了方便說明稱為「變更指定日」)之判定(步驟S220)。當判定的結果存在已到達至變更指定日的處方時，處理係前進至步驟S230。另一方面，當未存在已到達至變更指定日的處方時，處理係返回至步驟S210。
在此，參照圖19說明用以判定是否已到達至變更指定日之具體性的手法的一例。然而，本發明並未限定於此。此外，稼動期間變數CntD的計數係例示性地設定成將最初已進行變更時序的設定之日期作為基準日來進行。此外，例示性地設定成在變更時序設定畫面70中與某個處方有關的經過時間被設定成「2月」。此時，例如當基準日為某年的5月3日時，則如圖19所示般針對目標對象的處方之變更指定日係從5月3日變成每兩個月的日期(7月3日、9月3日、11月3日、…)。能針對各個變更指定日從變更指定日的資訊以及基準日的資訊求出從基準日起的經過日數。例如，針對與基準日同年的9月3日，從基準日起的經過日數為123日。如此，由於能求出從基準日起至各個變更指定日為止的經過日數，因此能藉由比較該經過日數與稼動期間變數CntD的值來判定是否已到達至變更指定日。例如由於在7月3日時稼動期間變數CntD的值變成「61」，因此能針對目標對象的設定對象進行已到達至變更指定日之意旨的判定。
此外，亦有在最初設定過變更時序後針對各個處方進行變更時序的設定變更之情形。參照圖20說明變更指定日如何隨著變更時序的設定變更而變化。在此，針對某個處方例示性地設定成變更時序(經過時間)從「8日」被變更成「6日」。此外，設定變更係例示性地設定成從基準日起經過12日後 被進行。在此情形中，於最初進行了變更時序的設定之時間點，針對目標對象的處方之變更指定日係變成從基準日起每隔8日的日期(從基準日起的經過日數為8、16、24、…)。在此狀態下，如上所述在從基準日起經過12日後進行設定變更。此時，由於先前剛進行基準資料的變更為從基準日起的8日後，因此例如圖20中的符號76所示般能將從基準日起8日後的日期起每6日的日期(從基準日起的經過日數為14、20、26、…)制定成變更指定日76。此外，例如圖20中的符號77所示般能將從進行了設定變更的日期起每6日的日期(從基準日起的經過日數為18、24、30、…)制定成變更指定日77。如此，針對已進行了變更時序的設定變更之情形的處理並無特別限定，只要依循適當地制定的規則將變更指定日變更即可。
關於圖17所示的流程圖，在步驟S230中，為了決定作為變更後的基準資料之單位處理資料，進行上述排序處理(步驟S230)。之後，依據排序處理的結果，變更與已到達變更指定日之處方有關的主單元之基準資料(步驟S240)。詳細而言，被第一基準資料DB136a(參照圖6)保持之針對主單元之單位處理資料中之與目標對象的處方對應的單位處理資料係被置換成在步驟S230的排序處理中順位變成第一位的單位處理資料。
如上所述，可於每個處方進行針對主單元之基準資料的變更時序的設定，並可將與已到達至變更時序的處方有關的主單元之基準資料自動地置換成排序處理中順位變成第一位的單位處理資料。
(1.6)基準資料展開處理的順序
接著，在上述內容的基礎上，說明基準資料展開處理的順序。圖21係用以顯示本實施形態中的基準資料展開處理的順序之流程圖。圖21所示之一連串的處理係在基板處理裝置1中藉由控制部100內的CPU110執行資料處理程式132而實現。
首先，在主單元中進行基準資料的變更(儲存於基準資料局部儲存部182之基準資料的更新)(步驟S300)。將步驟S300中的基準資料的變更作為觸發，主單元的基準資料局部管理部181係將基準資料已被變更的意旨的變更通知與變更後的基準資料(以下稱為「新基準資料」)一起發送至全體管理部170內的基準資料總體管理部171(步驟S310)。如此，在步驟S310中，如圖22中的箭頭91所示般，從主單元將新基準資料與變更通知一起發送至全體管理部170。
接著，全體管理部170內的基準資料總體管理部171係依據在步驟S310中所送來的變更通知以及新基準資料來特定存在基準資料的變更的處理單元(亦即主單元)22以及處方(步驟S320)。而且，基準資料總體管理部171係參照基準資料總體儲存部172來特定新基準資料的展開目的地的處理單元(亦即副單元)22。此外，基準資料總體管理部171係將儲存於基準資料總體儲存部172的基準資料中之針對目標對象的處方之基準資料變更(更新)成新基準資料。
接著，全體管理部170內的基準資料總體管理部171係將新基準資料與新更指示通知一起發送至在步驟S320中特定的副單元(亦即新基準資料的展開目的地的處理單元22)(步驟S330)。如此，在步驟S330中，如圖23中的箭頭92所示，從全體管理部170將新基準資料與更新指示通知一起發送至副單元。
之後，在各個副單元中，基準資料局部管理部181係依據更新指示通知將儲存於基準資料局部儲存部182的基準資料中之針對目標對象的處方之基準資料變更(更新)成新基準資料(步驟S340)。藉此，結束基準資料展開處理。
此外，在本實施形態中，藉由步驟S300實現基準資料變更步 驟，並藉由步驟S310至步驟S340實現基準資料展開步驟。此外，藉由步驟S310實現基準資料上傳步驟，藉由步驟S320實現展開目的地特定步驟，藉由步驟S330實現基準資料下載步驟，藉由步驟S340實現基準資料更新步驟。
(1.7)功效
依據本實施形態，在每個處理單元22針對各個處方制定有基準資料(分別為從包含有複數個時間系列資料之複數個單位處理資料選擇的資料且為變成各個單位處理資料的比較對象之資料)之基板處理裝置1中，當依循某個處方以被制定成主單元的處理單元22變更針對該處方之基準資料時，變更後的基準資料係依循該處方展開至被制定成副單元的處理單元22。藉此，例如即使是未依循某個處方獲得良好的結果的處理單元22，亦可依循該處方將良好的結果的單位處理資料作為基準資料予以保持。如此，由於可將在各個處理單元22的處理中所獲得的單位處理資料與較佳的基準資料進行比較，因此可精度佳地檢測在基板處理裝置1中所執行的處理的異常。如上所述，依據本實施形態，可比以往更精度佳地進行使用了時間系列資料的檢測異常。
(2)第二實施形態
在第一實施形態中，在一個基板處理裝置1內進行了基準資料從主單元朝副單元之展開。相對於此，在本實施形態中，在複數個基板處理裝置1之間進行基準資料的展開。以下，主要針對與第一實施形態不同的點進行說明，並適當地省略與第一實施形態同樣的點。
(2.1)系統的概略構成
圖24係用以顯示本發明的第二實施形態的基板處理系統(資料處理系統)的概略構成之圖。基板處理系統係由複數個(n台)基板處理裝置1(1)至1(n)以及用以管理該複數個基板處理裝置1(1)至1(n)之管理伺服器2所構成。複數個基板處理裝置1與管理伺服器2係經由LAN(Local Area Network；區域網路)等網路 (通訊迴路)3彼此連接。各個基板處理裝置1的概略構成係與第一實施形態同樣(參照圖1)。
(2.2)基板處理裝置的控制部的構成
接著，說明基板處理裝置1的控制部100的構成。圖25係用以顯示基板處理裝置1的控制部100的硬體構成之方塊圖。在第一實施形態中，雖然設置有第一基準資料DB136a以及第二基準資料DB136b作為用以儲存基準資料之資料庫，但在本實施形態中僅設置有第一基準資料DB136作為用以儲存基準資料之資料庫。如圖26示意性地所示，於第一基準資料DB136中在每個處方儲存有被制定成基準資料的單位處理資料。如此，在本實施形態中，在各個基板處理裝置1中不論處理單元22的數量(腔室的數量)為何皆於每個處方制定有基準資料。
當基板處理裝置1啟動時，資料處理程式132係被讀入至主記憶體120，CPU110係執行被讀入至主記憶體120的資料處理程式132。此外，資料處理程式132係例如以記錄於CD-ROM、DVD-ROM、快閃記憶體等記錄媒體之形態或者經由網路下載的形態所提供。
(2.3)管理伺服器的構成
接著，說明管理伺服器2的構成。圖27係用以顯示管理伺服器2的硬體構成之方塊圖。管理伺服器2係具備有CPU210、主記憶體220、輔助記憶裝置230、顯示部240、輸入部250以及通訊控制部260。CPU210、主記憶體220、輔助記憶裝置230、顯示部240、輸入部250以及通訊控制部260係分別具有與基板處理裝置1的控制部100內的CPU110、主記憶體120、輔助記憶裝置130、顯示部140、輸入部150以及通訊控制部160相同的功能。其中，於輔助記憶裝置230儲存有與儲存於輔助記憶裝置130內的資料處理程式132不同的資料處理程式232。此外，於輔助記憶裝置230設置有第二基準資料DB234。如此，於 管理伺服器2的輔助記憶裝置230僅設置有用以保持基準資料展開處理所需的基準資料之第二基準資料DB234，但未設置有時間系列資料DB。
當管理伺服器2啟動時，資料處理程式232係被讀入至主記憶體220，CPU210係執行被讀入至主記憶體220的資料處理程式232。此外，資料處理程式232係例如以記錄於CD-ROM、DVD-ROM、快閃記憶體等記錄媒體之形態或者經由網路下載的形態所提供。亦可以已將基板處理裝置1用的資料處理程式132與管理伺服器2用的資料處理程式232彙整成一個程式記錄於記錄媒體的形態或者經由網路下載的形態提供給基板處理裝置1以及管理伺服器2。
(2.4)基準資料展開處理(與基準資料的展開有關的資料處理)
在本實施形態的基準資料展開處理中，針對某個基板處理裝置1之基準資料係展開至該某個基板處理裝置1以外的基板處理裝置1。圖28係用以顯示與基準資料展開處理有關的功能構成之功能方塊圖。於各個基板處理裝置1設置有基準資料局部管理部191以及基準資料局部儲存部192作為與基準資料展開處理有關的功能性的構成要素。此外，於管理伺服器2設置有基準資料總體管理部271以及基準資料總體儲存部272作為與基準資料展開處理有關的功能性的構成要素。此外，在本實施形態中，藉由管理伺服器2實現展開管理部，藉由基準資料局部管理部191與基準資料總體管理部271實現基準資料展開部。
於基準資料局部儲存部192儲存有針對所對應的基板處理裝置1之基準資料。基準資料局部管理部191係使用基準資料局部儲存部192進行針對所對應的基板處理裝置1之基準資料的管理。於基準資料總體儲存部272係儲存有使用於基準資料展開處理之基準資料。基準資料總體管理部271係使用基準資料總體儲存部272進行使用於基準資料展開處理之基準資料的管理。此 外，基準資料局部儲存部192係藉由第一基準資料DB136(參照圖25)而實現，基準資料總體儲存部272係藉由第二基準資料DB234(參照圖27)而實現。
在本實施形態中，於每個處方中，一個基板處理裝置1被制定成「主」，其餘的基板處理裝置1被制定成「副」。亦即，在本實施形態中，各個基板處理裝置1係相當於單位要素。此外，以下將被制定成「主」的基板處理裝置1稱為「主裝置」，將被制定成「副」的基板處理裝置1稱為「副裝置」。主裝置係相當於主單位要素，副裝置係相當於副單位要素。在基準資料展開處理中，雖然進行從主裝置朝副裝置展開基準資料，但不進行從副裝置朝主裝置展開基準資料。例如，在針對某個處方之主裝置為基板處理裝置1(1)之情形中，針對該處方之基準資料的展開係從基板處理裝置1(1)朝基板處理裝置1(2)至1(n)進行。
基準資料展開處理係在主裝置中存在有基準資料的變更時進行。換言之，將主裝置中之基準資料的變更作為觸發來進行基準資料展開處理。此外，針對基準資料以何種方式變更，由於與第一實施形態相同，因此省略說明。
接著，以上述內容為基礎，說明基準資料展開處理的順序。圖29係用以顯示本實施形態中之基準資料展開處理的順序之流程圖。圖29所示之一連串的處理係藉由在基板處理裝置1中控制部100內的CPU110執行資料處理程式132且管理伺服器2內的CPU210執行資料處理程式232而實現。
首先，在主裝置中進行基準資料的變更(儲存於基準資料局部儲存部192之基準資料的更新)(步驟S400)。將步驟S400中之基準資料的變更作為觸發，主裝置的基準資料局部管理部191係將基準資料已被變更的意旨的變更通知與變更後的基準資料(新基準資料)一起發送至管理伺服器2內的基準資料總體管理部271(步驟S410)。如此，在步驟S410中，如圖30中的箭頭93所示 般，從主裝置將新基準資料與變更通知一起發送至管理伺服器2。
接著，管理伺服器2內的基準資料總體管理部271係依據在步驟S410中所送來的變更通知以及新基準資料來特定存在基準資料的變更的基板處理裝置(亦即主裝置)1以及處方(步驟S420)。而且，基準資料總體管理部271係參照基準資料總體儲存部272來特定新基準資料的展開目的地的基板處理裝置(亦即副裝置)1。此外，基準資料總體管理部271係將儲存於基準資料總體儲存部272的基準資料中之針對目標對象的處方之基準資料變更(更新)成新基準資料。
接著，管理伺服器2內的基準資料總體管理部271係將新基準資料與新更指示通知一起發送至在步驟S420中特定的副裝置(亦即新基準資料的展開目的地的基板處理裝置1)(步驟S430)。如此，在步驟S430中，如圖31中的箭頭94所示，從管理伺服器2將新基準資料與更新指示通知一起發送至副裝置。
之後，在各個副裝置中，基準資料局部管理部191係依據更新指示通知將儲存於基準資料局部儲存部192的基準資料中之針對目標對象的處方之基準資料變更(更新)成新基準資料(步驟S440)。藉此，結束基準資料展開處理。
此外，在本實施形態中，藉由步驟S400實現基準資料變更步驟，並藉由步驟S410至步驟S440實現基準資料展開步驟。此外，藉由步驟S410實現基準資料上傳步驟，藉由步驟S420實現展開目的地特定步驟，藉由步驟S430實現基準資料下載步驟，藉由步驟S440實現基準資料更新步驟。
此外，在本實施形態中，於基板處理系統追加有新的基板處理裝置1時亦進行基準資料展開處理。此時，所追加的基板處理裝置1係將全部的處方制定於副裝置，於每個處方將基準資料從被制定成主的基板處理裝置 1(主裝置)朝該追加的基板處理裝置1展開。以下參照圖32所示的流程圖說明追加了基板處理裝置1時的基準資料展開處理的順序。此外，該處理亦藉由在基板處理裝置1中控制部100內的CPU110執行資料處理程式132且管理伺服器2內的CPU210執行資料處理程式232而實現。
首先，於基板處理系統追加基板處理裝置1(步驟S500)。更詳細而言，於用以構成基板處理系統之網路3追加地連接有一台基板處理裝置(以下稱為「新追加裝置」)，並將新追加裝置的電源開啟。新追加裝置係將用以特定裝置的種類之裝置構成資訊(例如腔室的類型、所使用的藥液的類型、用以噴出藥液之噴嘴的類型等資訊)發送至管理伺服器2內的基準資料總體管理部271(步驟S510)。如此，將裝置構成資訊發送至基準資料總體管理部271，藉此即使於基板處理系統內混雜有複數種類的基板處理裝置1，亦可將已因應了新追加裝置的種類的適當的基準資料展開至該新追加裝置。
接著，基準資料總體管理部271係依據步驟S510中發送的裝置構成資訊，從基準資料總體儲存部272取得針對各個處方之最新的基準資料(步驟S520)。接著，基準資料總體管理部271係將在步驟S520中所取得的基準資料發送至新追加裝置的基準資料局部管理部191(步驟S530)。
之後，在新追加裝置中，基準資料局部管理部191係將步驟S530中所發送的針對各個處方之基準資料儲存於基準資料局部儲存部192(步驟S540)。藉此，結束基準資料展開處理。
如此，當於基板處理系統追加基板處理裝置1時，已經被該基板處理系統保持的基準資料係作為用以與能在新追加裝置今後的處理中所能獲得的單位處理資料(用以檢測處理的異常等)進行比較之資料展開至該新追加裝置。
此外，在本實施形態中，藉由步驟S510實現構成資訊發送步 驟，藉由步驟S520實現基準資料取得步驟，藉由步驟S530實現基準資料發送步驟，藉由步驟S540實現基準資料儲存步驟。此外，藉由基準資料局部儲存部192實現第一基準資料儲存部，藉由基準資料總體儲存部272實現第二基準資料儲存部。
(2.5)功效
依據本實施形態，在每個基板處理裝置1針對各個處方制定有基準資料之基板處理系統中，當依循某個處方以被制定成主裝置的基板處理裝置1變更針對該處方之基準資料時，變更後的基準資料係依循該處方展開至被制定成副裝置的基板處理裝置1。藉此，例如即使是未依循某個處方獲得良好的結果的基板處理裝置1，亦可依循該處方將良好的結果的單位處理資料作為基準資料予以保持。如此，由於可將在各個基板處理裝置1的處理中所獲得的單位處理資料與較佳的基準資料進行比較，因此可精度佳地檢測在基板處理裝置1中所執行的處理的異常。此外，在基板處理系統追加了基板處理裝置1時，從新追加裝置將用以特定裝置的種類之裝置構成資訊發送至管理伺服器2，並從管理伺服器2將依據該裝置構成資訊之最新的基準資料展開至新追加裝置。如此，新追加裝置亦可依循各個處方將良好的結果的單位處理資料作為基準資料予以保持。如上所述，依據本實施形態，可比以往更精度佳地進行使用了時間系列資料的檢測異常。
(3)變化例
在上述各個實施形態中，當在主單元或者主裝置中變更基準資料時，屬於變更後的基準資料之新基準資料係自動地展開至副單元或者副裝置。然而，本發明並未限定於此，亦可構成為藉由作業者的操作(亦即手動)進行基準資料的展開。此外，如上述各個實施形態所述，亦可追加地設置下述功能：於自動地進行基準資料的展開之裝置或者系統進行本變化例般的手動所為 之基準資料的展開。
以下，參照圖33所示的流程圖說明本變化例中的基準資料展開處理的順序。此外，在本變化例中，與第二實施形態同樣地，例示性地設定成藉由一台管理伺服器2與複數個基板處理裝置1構成一個基板處理系統(資料處理系統)。然而，與第二實施形態不同，例示性地設定成在各個基板處理裝置1中針對各個處方之基準資料係被制定於每個處理單元22。
在本變化例中，首先，依據管理伺服器2中的作業者的預定的操作，於管理伺服器2的顯示部240顯示有例如圖34所示之用以選擇展開對象的基準資料之基準資料選擇畫面800(步驟S600)。如圖34所示，於基準資料選擇畫面800包含有項目名稱顯示區域801、基準資料一覽區域802以及下載按鍵803。
於項目名稱顯示區域801顯示有成為用以特定基準資料的關鍵之項目且顯示於基準資料一覽區域802之項目的名稱。「序號」係用以表示用以專門地特定基板處理裝置1的序列號碼(製造號碼)之項目名稱。「單元」係用以表示處理單元22之項目名稱。「製程處方」係用以表示處方的名稱之項目名稱。
於基準資料一覽區域802顯示有儲存於管理伺服器2的基準資料總體儲存部272(參照圖28)之基準資料的一覽(成為用以特定基準資料的關鍵之項目的一覽)。在圖34所示的例子中，基準資料一覽區域802的第一列的資料係表示針對「沖洗測試(1)」此種名稱的處方之基準資料，並掌握到該基準資料係藉由序列號碼為「A1230001」的基板處理裝置1中之名稱為「腔室(1)」的處理單元22的處理所獲得的單位處理資料。作業者係能從顯示於基準資料一覽區域802的基準資料中選擇一個基準資料(一列)。
下載按鍵803係用以指示在基準資料一覽區域802所選擇的基 準資料的展開之按鍵。此外，當按下下載按鍵803時，在實際開始基準資料的展開之前會先顯示後述的展開目的地選擇畫面810(參照圖35)。
於基準資料選擇畫面800的顯示後，作業者係從顯示於基準資料一覽區域802的基準資料中選擇展開對象的基準資料(步驟S610)。在此狀態下，作業者係按下下載按鍵803。藉此，於管理伺服器2的顯示部240顯示有例如圖35所示的用以選擇展開目的地之展開目的地選擇畫面810(步驟S620)。
如圖35所示，於展開目的地選擇畫面810包含有兩個列表框811、812、確定按鍵818以及取消按鍵819。列表框811係用以選擇展開目的地的基板處理裝置1之介面。列表框812係用以選擇展開目的地的處理單元22之介面。此外，於列表框812係顯示有設置於在列表框811所選擇的基板處理裝置1之處理單元22的一覽。確定按鍵818係用以指示朝所選擇的展開目的地執行基準資料的展開之按鍵。取消按鍵819係用以中止基準資料的展開之按鍵。
於展開目的地選擇畫面810的顯示後，作業者係藉由列表框811選擇展開目的地的基板處理裝置1，並藉由列表框812選擇展開目的地的處理單元22(步驟S630)。在此狀態下，作業者係按下確定按鍵818。藉此，管理伺服器2的基準資料總體管理部271係從基準資料總體儲存部272取得在步驟S610中所選擇的基準資料(步驟S640)。接著，基準資料總體管理部271係將在步驟S640中所取得的基準資料與更新指示通知一起發送至在步驟S630中所選擇的展開目的地(步驟S650)。之後，在展開目的地中進行針對目標對象的處方之基準資料的更新(步驟S660)。
如上所述，亦可藉由作業者的操作(亦即手動)進行基準資料的展開。此外，在本變化例中，藉由基準資料選擇畫面800與展開目的地選擇畫面810實現展開目的地指定部。

Claims (14)

  1. 一種資料處理方法，係用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理方法係包含有：基準資料變更步驟，係將基準資料變更為屬於新的基準資料的新基準資料，前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；以及基準資料展開步驟，係將前述基準資料變更步驟所為之屬於變更後的基準資料之新基準資料展開至已在前述基準資料變更步驟中變更基準資料的單位要素以外的單位要素。
  2. 如請求項1所記載之資料處理方法，其中一個單位要素係被制定成主單位要素，且前述主單位要素以外的單位要素係被制定成副單位要素；在前述基準資料變更步驟中，變更針對前述主單位要素的基準資料；在前述基準資料展開步驟中，前述新基準資料係被展開至前述副單位要素。
  3. 如請求項2所記載之資料處理方法，其中前述基準資料展開步驟係包含有：基準資料上傳步驟，係從前述主單位要素將前述新基準資料發送至用以管理前述基準資料的展開之展開管理部；以及基準資料下載步驟，係從前述展開管理部將在前述基準資料上傳步驟中發送至前述展開管理部的新基準資料發送至前述副單位要素。
  4. 如請求項2所記載之資料處理方法，其中前述單位處理係在基板處理裝置中作為一個處方對一片基板執行之處理； 前述主單位要素以及前述副單位要素係被每個處方制定。
  5. 如請求項4所記載之資料處理方法，其中前述基準資料展開步驟係包含有：基準資料上傳步驟，係從前述主單位要素將前述新基準資料以及已變更基準資料的意旨之變更通知發送至用以管理前述基準資料的展開之展開管理部；展開目的地特定步驟，係在前述展開管理部中，依據前述新基準資料與前述變更通知特定存在基準資料的變更之處方，並針對已特定的處方將被制定成副單位要素的單位要素作為前述新基準資料的展開目的地予以特定；基準資料下載步驟，係從前述展開管理部將在前述基準資料上傳步驟中發送至前述展開管理部的新基準資料與用以指示基準資料的更新之更新指示通知發送至在前述展開目的地特定步驟中作為展開目的地被特定的單位要素；以及基準資料更新步驟，係在前述副單位要素中，依據前述更新指示通知將針對在前述展開目的地特定步驟中所特定的處方之基準資料更新成前述新基準資料。
  6. 如請求項1至5中任一項所記載之資料處理方法，其中進一步包含有：單位處理資料評價步驟，係依據評價對象的單位處理資料與前述基準資料算出針對前述評價對象的單位處理資料之評價值；在前述基準資料變更步驟中，依據在前述單位處理資料評價步驟中所算出的評價值變更前述基準資料。
  7. 如請求項1至5中任一項所記載之資料處理方法，其中前述單位要素為一個基板處理裝置。
  8. 如請求項1至5中任一項所記載之資料處理方法，其中前述單位要素係構成體，前述構成體係包含有：一個處理單元，係在基板 處理裝置中處理基板。
  9. 一種資料處理方法，係在由複數個單位要素所構成的資料處理系統中用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理系統係具備有：第一基準資料儲存部，係設置於每個單位要素，用以儲存基準資料，前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；第二基準資料儲存部，係在全部的單位要素中被共用，用以儲存前述基準資料；以及展開管理部，係用以管理前述基準資料的展開；前述資料處理方法係包含有：構成資訊發送步驟，係從在已追加單位要素時屬於所追加的單位要素之新增單位要素將前述新增單位要素的構成資訊發送至前述展開管理部；基準資料取得步驟，係在前述展開管理部中，依據前述構成資訊從前述第二基準資料儲存部取得應對前述新增單位要素展開的基準資料；基準資料發送步驟，係從前述展開管理部將在前述基準資料取得步驟中所取得的基準資料發送至前述新增單位要素；以及基準資料儲存步驟，係在前述新增單位要素中，將在前述基準資料發送步驟中所發送的基準資料儲存至前述第一基準資料儲存部。
  10. 一種資料處理裝置，係用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理裝置係具備有：基準資料儲存部，係設置於每個單位要素，用以儲存基準資料， 前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；以及基準資料展開部，係將針對一個單位要素且儲存於基準資料儲存部的基準資料展開至其他的單位要素。
  11. 一種資料處理系統，係用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理系統係具備有：基準資料儲存部，係設置於每個單位要素，用以儲存基準資料，前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；以及基準資料展開部，係將針對一個單位要素且儲存於基準資料儲存部的基準資料展開至其他的單位要素。
  12. 如請求項11所記載之資料處理系統，其中進一步具備有：基準資料變更部，係將儲存於前述基準資料儲存部的基準資料變更為屬於新的基準資料的新基準資料；前述基準資料展開部係在已藉由前述基準資料變更部變更基準資料時，將屬於變更後的基準資料之新基準資料自動地展開至已變更基準資料的單位要素以外的單位要素。
  13. 如請求項11所記載之資料處理系統，其中進一步具備有：展開指定部，係用以指定展開對象的基準資料以及展開目的地的單位要素；前述基準資料展開部係將已被前述展開指定部指定的基準資料展開至已被前述展開指定部指定的單位要素。
  14. 一種資料處理程式，係用以將在單位處理中所獲得的複數個時間系列資料作為單位處理資料並處理複數個單位處理資料；前述資料處理程式係電腦的中央處理器利用記憶體執行：基準資料變更步驟，係將基準資料變更為屬於新的基準資料的 新基準資料，前述基準資料為針對每個單位要素從複數個單位處理資料所選擇的資料且為成為各個單位處理資料的比較對象之資料；以及基準資料展開步驟，係將前述基準資料變更步驟所為之屬於變更後的基準資料之新基準資料展開至已在前述基準資料變更步驟中變更基準資料的單位要素以外的單位要素。
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