JP4643560B2 - 処理システムの自動構成のための方法 - Google Patents
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Description
この国際出願は、2003年2月18日に出願された「処理システムの自動構成のための方法(Method for automatic configration of a processing system)」というタイトルの米国仮特許出願第60/448,319号、および2003年7月31日に出願された「処理システムの自動構成のための方法(Method for automatic configration of a processing system)」というタイトルの米国仮特許出願第60/491,286号の利益を主張し、両方の内容は、これら全体として、参照してここに組み込まれる。
LCLnew=(1−λ)LCLold+λ(LCLcalculated), (1b)
ここでλは、EWMAフィルタ係数(0≦λ≦1)、UCLoldおよびLCLoldは先のランに対する(旧)コントロールリミット値、UCLCalCulatedおよびLCLCalculatedは、現在のランに対する上記の通りの算出されたコントロールリミット値である。λ=0のとき、新しいコントロールリミット値は、旧コントロールリミット値に等しく、そしてλ=1のとき、新しいコントロールリミット値は、算出されたコントロールリミット値に等しいことに注意する。
Claims (37)
- 半導体の製造環境の高度プロセスコントロール(APC)システムを自動的に構成する方法であって、
半導体の製造環境からデータを収集し、半導体の製造環境のプロセスをコントロールするための高度プロセスコントロール(APC)システムを自動的に構成するように、オートコンフィギュレーションプログラムを実行するためのオートコンフィギュレーションスクリプトを生成することを具備し、
前記オートコンフィギュレーションスクリプトは、前記オートコンフィギュレーションプログラムへの入力として前記APCシステムによって使用するためのデフォルトデータ収集プランのツールレベルトレースパラメータのデフォルト選択を起動させるものであり、
前記オートコンフィギュレーションプログラムから出力された使用可能なパラメータファイルを生成するように、前記オートコンフィギュレーションスクリプトを実行することを更に具備し、
前記使用可能なパラメータファイルは、統計的プロセスコントロール(SPC)チャート生成のために使用可能とされる前記デフォルトデータ収集プランの1つ以上のパラメータを識別することである、方法。 - 前記オートコンフィギュレーションプログラムによって読み込まれるように構成された、前記使用可能なパラメータファイルの識別された前記1つ以上のパラメータをオーバーライドするための使用可能なパラメータおよびフラグのリストの少なくとも1つを含むオートコンフィギュレーションデータファイルを生成することを更に具備する請求項1に記載の方法。
- 前記使用可能なパラメータの少なくとも一つのための少なくとも1つのSPCチャートを生成することとをさらに具備し、
この生成することは、前記オートコンフィギュレーションスクリプトの実行につき、前記SPCチャートの自動作成を含んでいる請求項1に記載の方法。 - 前記少なくとも1つのSPCチャートの少なくとも1つのコントロールリミットを生成することを更に具備し、
この生成することは、前記オートコンフィギュレーションスクリプトの実行につき、前記コントロールリミットの自動算出を含んでいる請求項1に記載の方法。 - 前記コントロールリミットは、上方コントロールリミットおよび下方コントロールリミットのうちの少なくとも1つを含んでいる請求項4に記載の方法。
- 一旦必要数のデータポイントが前記SPCチャートにおいて達成されるならば、前記コントロールリミットは自動的に算出される請求項4に記載の方法。
- 前記必要数のデータポイントの外れ値は、取り除かれる請求項6に記載の方法。
- 前記コントロールリミットは、前記SPCチャートにおいて、前記必要数のデータポイントの平均(mean)のパーセンテージに基づいて算出される請求項6に記載の方法。
- 前記コントロールリミットは、ファクタの乗算および前記SPCチャートの前記必要数のデータポイントの標準偏差に基づいて算出される請求項6に記載の方法。
- 前記上方コントロールリミット(UCL)は、
UCL=mean+パーセンテージ*meanによって決定され、
前記下方コントロールリミット(LCL)は、
LCL=mean−パーセンテージ*meanによって決定される請求項8に記載の方法。 - 前記上方コントロールリミット(UCL)は、
UCL=mean+ファクタ*標準偏差によって決定され、
前記下方コントロールリミット(LCL)は、
LCL=mean−ファクタ*標準偏差によって決定され、
前記meanは、前記SPCチャートの前記必要数のデータポイントの平均(mean)の値を示す請求項9に記載の方法。 - 前記パーセンテージは、ユーザによって指定される請求項10に記載の方法。
- 前記パーセンテージは、スプレッドシートを使用して指定される請求項12に記載の方法。
- 前記パーセンテージは、GUIを使用して指定される請求項12に記載の方法。
- 前記ファクタは、ユーザによって指定される請求項11に記載の方法。
- 前記ファクタは、スプレッドシートを使用して指定される請求項15に記載の方法。
- 前記ファクタは、GUIを使用して指定される請求項15に記載の方法。
- 前記必要数のデータポイントは、ユーザによって指定される請求項6に記載の方法。
- 前記必要数のデータポイントは、スプレッドシートを使用して指定される請求項18に記載の方法。
- 前記必要数のデータポイントは、GUIを使用して指定される請求項18に記載の方法。
- 前記必要数のデータポイントは、APCシステムのプリポピュレーションの間、取得されるデータポイント数である請求項6に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのSPCチャートのためのランルールエバリュエーションを構成することと、
前記ランルールエバリュエーションを可能にすることとを更に具備する請求項9に記載の方法。 - 前記ランルールエバリュエーションは、ユーザによって構成される請求項22に記載の方法。
- 前記ランルールエバリュエーションは、スプレッドシートを使用して指定される請求項23に記載の方法。
- 前記ランルールエバリュエーションは、GUIを使用して指定される請求項23に記載の方法。
- 前記自動的に算出されたコントロールリミットは、現在の基板ランのために決定されて、先の基板ランから古いコントロールリミットをアップデートするように利用される請求項6に記載の方法。
- 新しいコントロールリミットは、(1−λ)*前記古い値+λ*(前記算出された値)に等しく、
前記λは、フィルタ定数であり、かつ0乃至1の値の範囲である請求項26に記載の方法。 - 前記決定された上方コントロールリミット(UCL)は、現在の基板ランのために決定されて、かつ、先の基板ランから古い上方コントロールリミットをアップデートするように利用される請求項10に記載の方法。
- 前記決定された上方コントロールリミット(UCL)は、現在の基板ランのために決定されて、かつ、先の基板ランから古い上方コントロールリミットをアップデートするように利用される請求項11に記載の方法。
- 新しい上方コントロールリミットは、(1−λ)*前記古い上方コントロールリミット+λ*(前記決定された上方コントロールリミット)に等しく、
前記λは、フィルタ定数であり、かつ0乃至1の値の範囲である請求項28に記載の方法。 - 新しい上方コントロールリミットは、(1−λ)*前記古い上方コントロールリミット+λ*(前記決定された上方コントロールリミット)に等しく、
前記λは、フィルタ定数であり、かつ0乃至1の値の範囲である請求項29に記載の方法。 - 前記決定された下方コントロールリミット(LCL)は、現在の基板ランのために決定されて、かつ、先の基板ランから古い下方コントロールリミットをアップデートするように利用される請求項10に記載の方法。
- 前記決定された下方コントロールリミット(LCL)は、現在の基板ランのために決定されて、かつ、先の基板ランから古い下方コントロールリミットをアップデートするように利用される請求項11に記載の方法。
- 新しい下方コントロールリミットは、(1−λ)*前記古い下方コントロールリミット+λ*(前記決定された下方コントロールリミット)に等しく、
前記λは、フィルタ定数であり、かつ0乃至1の値の範囲である請求項32に記載の方法。 - 新しい下方コントロールリミットは、(1−λ)*前記古い下方コントロールリミット+λ*(前記決定された下方コントロールリミット)に等しく、
前記λは、フィルタ定数であり、かつ0乃至1の値の範囲である請求項33に記載の方法。 - 前記少なくとも1つのSPCチャートは、インターネットを介して遠隔でアクセス可能である請求項3に記載の方法。
- 前記コントロールリミットは、インターネットを介してアクセス可能である請求項4に記載の方法。
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