KR102276450B1 - 탄화규소 잉곳의 제조방법, 탄화규소 웨이퍼의 제조방법 및 이의 성장 시스템 - Google Patents

탄화규소 잉곳의 제조방법, 탄화규소 웨이퍼의 제조방법 및 이의 성장 시스템 Download PDF

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Abstract

탄화규소 잉곳의 제조방법, 탄화규소 웨이퍼의 제조방법 및 이의 성장 장치 등을 개시한다. 구현예는 1.72 내지 1.92 g/cm3 범위의 밀도를 갖는 등 도가니의 특성을 제어하여 잉곳의 성장 과정에서 증기 이송되는 가스의 과포화도를 제어를 보다 정밀하게 할 수 있다. 상기 구현예는 보다 우수한 특성의 탄화규소 잉곳을 제조할 수 있는, 성장 장치, 탄화규소 잉곳, 이로부터 제조되는 웨이퍼 등을 제공한다.

Description

탄화규소 잉곳의 제조방법, 탄화규소 웨이퍼의 제조방법 및 이의 성장 시스템 {PREPERATION METHOD FOR SiC INGOT, PREPERATION METHOD FOR SiC WAFER AND A SYSTEM THEREOF}
구현예는 탄화규소 잉곳의 제조방법, 탄화규소 웨이퍼의 제조방법, 이의 성장 시스템 등에 관한 것이다.
탄화규소(SiC), 실리콘(Si), 질화갈륨(GaN), 사파이어(Al2O3), 갈륨비소(GaAs), 질화알루미늄(AlN) 등의 단결정(single crystal)은 이의 다결정(polycrystal)으로부터 기대할 수 없는 특성을 가져 산업분야에서의 그 수요가 증가하고 있다.
단결정 탄화규소(single crystal SiC)는, 에너지 밴드갭(energy band gap)이 크고, 최대 절연파괴전계(break field voltage) 및 열전도율(thermal conductivity)이 실리콘(Si)보다 우수하다. 또한, 단결정 탄화규소의 캐리어 이동도는 실리콘에 비견되며, 전자의 포화 드리프트 속도 및 내압도 크다. 이러한 특성으로 인해, 단결정 탄화규소는 고효율화, 고내압화 및 대용량화가 요구되는 반도체 디바이스로의 적용이 기대된다.
탄화규소는 액상 증착법(Liquid Phase Epitaxy; LPE), 화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition; CVD), 물리적 기상 수송법(Physical Vapor Transport, PVT) 등으로 성장된다. 그 중에서 물리적 기상 수송법은 높은 성장률을 가짐으로써 잉곳 형태의 탄화규소를 제작할 수 있어 가장 널리 이용되고 있으며, 시드형 승화법이라고도 불린다.
이러한 탄화규소의 제조 방법으로서, 예컨대 일본 공개특허공보 제2001-114599호에는, 아르곤 가스를 도입할 수 있는 진공용기(가열로) 속에서 히터에 의해 가열하면서 종자정의 온도를 원료 분말의 온도보다도 10 내지 100℃ 낮은 온도로 유지하는 것에 의해, 종자정 상에 단결정 잉곳을 성장시키는 것이 개시되어 있다. 이 외에도 대구경 단결정 잉곳을 실질적으로 결함 없이 제조하고자 하는 시도들이 있다.
국내공개특허 제10-2007-0054719호 국내등록특허 제10-1003075호
구현예의 목적은 우수한 품질의 탄화규소 잉곳, 이의 제조방법, 탄화규소 웨이퍼의제조방법, 탄화규소 잉곳 제조 시스템 등을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 구현예에 따른 탄화규소 잉곳의 제조방법은 내부공간을 갖는 도가니 본체를 포함하는 도가니 조립체를 준비하는 준비단계; 상기 도가니 조립체 내에 원료를 장입하고 탄화규소 시드를 상기 원료와 일정한 간격을 두고 배치되도록 하는 원료장입단계; 그리고 상기 도가니 조립체의 내부공간을 결정성장분위기로 조절하여 상기 원료가 상기 탄화규소 시드에 증기 이송되어 증착되고 상기 탄화규소 시드로부터 성장된 탄화규소 잉곳을 마련하는 성장단계;를 포함하고, 상기 도가니 본체는, 1.70 내지 1.92 g/cm3 범위의 밀도를 갖는다.
상기 도가니 본체의 전기저항은 3.0 내지 3.9 Ω이고, 상기 탄화규소 잉곳으로 얻어지는 (0001)면에 대해 오프 앵글을 0도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준각도 대비 -0.1 내지 +0.1 도일 수 있다.
상기 탄화규소 잉곳은 0 내지 10 mm의 중앙부와 가장자리 사이의 높이 편차를 가질 수 있다.
다른 구현예에 따른 탄화규소 웨이퍼의 제조방법은, 내부공간을 갖는 도가니 본체를 포함하는 도가니 조립체를 준비하는 준비단계; 상기 도가니 조립체 내에 원료를 장입하고 탄화규소 시드를 상기 원료와 일정한 간격을 두고 배치되도록 하는 원료장입단계; 상기 도가니 조립체의 내부공간을 결정성장분위기로 조절하여 상기 원료가 상기 탄화규소 시드에 증기 이송되어 증착되고 상기 탄화규소 시드로부터 성장된 탄화규소 잉곳을 마련하는 성장단계; 그리고 상기 탄화규소 잉곳으로부터 탄화규소 웨이퍼를 형성하는 웨이퍼형성단계를 포함하고, 상기 도가니 본체는, 1.70 내지 1.92 g/cm3 범위의 밀도를 갖는다.
상기 도가니 본체의 전기저항은 3.0 내지 3.9 Ω이고, 상기 탄화규소 잉곳으로 얻어지는 (0001)면에 대해 오프 앵글을 0도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준각도 대비 -0.1 내지 +0.1 도일 수 있다.
상기 웨이퍼형성단계는 상기 탄화규소 잉곳을 슬라이싱하여 오프 앵글이 0 내지 15 도에서 선택된 어느 한 각도가 되도록 슬라이싱된 결정을 마련하는 슬라이싱단계; 그리고 상기 슬라이싱된 결정을 연마하여 탄화규소 웨이퍼를 형성하는 연마단계;를 포함할 수 있다.
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상기 탄화규소 웨이퍼는 4인치 이상일 수 있다.
또 다른 구현예에 따른 탄화규소 잉곳 성장 장치는, 반응용기 및 가열수단을 포함하여 탄화규소 잉곳을 성장시키는 장치로, 상기 반응용기 내에는, 내부공간을 갖는 도가니 본체를 포함하는 도가니 조립체가 배치되되, 상기 도가니 조립체 내에는 원료가 장입되고 탄화규소 시드를 상기 원료와 일정한 간격을 두고 배치되도록 하며, 상기 가열수단은 상기 내부공간을 결정성장분위기가 되도록 유도하여, 상기 원료가 상기 탄화규소 시드에 증기 이송되어 증착되고 상기 탄화규소 시드로부터 성장된 탄화규소 잉곳이 마련되도록 결정성장분위기를 조성하는 것이며, 상기 도가니 본체는, 1.70 내지 1.92 g/cm3 범위의 밀도를 갖는다.
상기 도가니 본체의 전기저항은 3.0 내지 3.9 Ω이고, 상기 탄화규소 잉곳으로 얻어지는 (0001)면에 대해 오프 앵글을 0도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준각도 대비 -0.1 내지 +0.1 도일 수 있다.
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상기 도가니 본체는 직경이 110 mm 이상인 그라파이트 도가니 본체일 수 있다.
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일 구현예의 탄화규소 잉곳의 제조방법, 탄화규소 웨이퍼의 제조방법, 이의 성장 시스템 등은 도가니의 특성을 제어하여 잉곳의 성장 과정에서 증기 이송되는 가스의 과포화도를 제어를 보다 정밀하게 할 수 있다. 상기 구현예는 보다 우수한 특성의 탄화규소 잉곳을 제조할 수 있는, 성장 시스템, 탄화규소 잉곳, 이로부터 제조되는 웨이퍼 등을 제공한다.
도 1은 일 구현예에 따른 반응챔버 등의 모습을 단면으로 설명하는 개념도.
도 2와 도 3은 각각 일 구현예에 따른 도가니 조립체의 모습을 단면으로 설명하는 개념도.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 구현예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명의 구현예는 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
본 명세서에서, 어떤 구성이 다른 구성을 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 그 외 다른 구성을 제외하는 것이 아니라 다른 구성들을 더 포함할 수도 있음을 의미한다.
본 명세서에서, 어떤 구성이 다른 구성과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우만이 아니라, '그 중간에 다른 구성을 사이에 두고 연결'되어 있는 경우도 포함한다.
본 명세서에서, A 상에 B가 위치한다는 의미는 A 상에 직접 맞닿게 B가 위치하거나 그 사이에 다른 층이 위치하면서 A 상에 B가 위치하는 것을 의미하며 A의 표면에 맞닿게 B가 위치하는 것으로 한정되어 해석되지 않는다.
본 명세서에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 "이들의 조합"의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.
본 명세서에서, "A 및/또는 B"의 기재는, "A, B, 또는, A 및 B"를 의미한다.
본 명세서에서, “제1”, “제2” 또는 “A”, “B”와 같은 용어는 특별한 설명이 없는 한 동일한 용어를 서로 구별하기 위하여 사용된다.
본 명세서에서 단수 표현은 특별한 설명이 없으면 문맥상 해석되는 단수 또는 복수를 포함하는 의미로 해석된다.
본 명세서에서, 상기 탄화규소 잉곳의 표면 핏 측정은, 잉곳 표면에서 패싯을 제외한 중앙부분의 한 곳, 그리고 탄화규소 잉곳 엣지에서 중앙부 방향으로 약 10 mm 안쪽에 위치하는 3시, 6시, 9시, 그리고 12시 방향의 네 곳, 총 5곳을 광학현미경으로 관찰하여 각 위치에서 단위면적(1 cm2)당 핏(pit)을 측정한 후 그 평균값으로 평가한다.
본 명세서에서, 오프 앵글이 X 도라 함은 통상 허용하는 오차범위 내에서 기준 면으로부터 X도로 평가되는 오프 앵글을 갖는다는 것을 의미하며, 예시적으로 (X - 0.05 도) 내지 (X + 0.05 도) 범위의 오프 앵글을 포함한다. 4H SiC의 경우 기준 면으로 (0001)면이 적용될 수 있다.
본 명세서에서, 로킹각도가 " -1 내지 +1 도”라 함은, 특별한 언급이 없어도 기준각도 대비 -1 내지 +1 도를 의미한다.
본 명세서에서, 로킹 각도가 “기준각도 대비 -1 내지 +1 도”라 함은 FWHM 값이 기준각도인 (피크각도 - 1 도) 내지 (피크각도 + 1 도)의 범위 내에 있다는 것을 의미한다.
이하, 구현예를 보다 상세하게 설명한다.
발명자들은 보다 대면적이면서 결함이 적은 탄화규소 잉곳을 효율적으로 제조하는 방법을 연구하던 중, 물리적 기상 수송법(PVT)을 적용하여 탄화규소를 성장시킬 때 온도의 제어와 함께 도가니 자체의 특성도 성장된 잉곳의 품질이나 성장 속도에 큰 영향을 미치는 것을 확인하고, 도가니 자체의 특성을 조절하여 보다 대면적이면서도 결함이 적은 탄화수소 잉곳을 제조할 수 있음을 확인하고 구현예를 완성했다. 특히, 도가니의 밀도, 저항 등을 잉곳 성장 분위기에 큰 영향을 미치는 요소 중 하나로 판단했고, 이를 제어하는 것에 따른 잉곳 물성의 변화를 확인했다. 특히, 저항의 경우 동일한 종류의 도가니를 적용하더라도 각 개체 별로 그 측정값이 다르고, 이는 제조되는 탄화규소 잉곳과 웨이퍼의 물성과 수율에 영향을 미친다는 점을 경험적으로 확인하였다. 이에, 도가니의 밀도, 저항 등을 보다 정밀하게 제어하여 보다 우수한 물성의 잉곳을 보다 효율적으로 제조하는 방법을 이하에 구현예로 제시한다.
일 구현예에 따른 탄화규소 잉곳의 제조방법은 탄화규소 잉곳(100)의 제조방법은, 준비단계, 원료장입단계 및 성장단계를 포함한다.
상기 준비단계는 내부공간을 갖는 도가니 본체(210)를 포함하는 도가니 조립체(200)를 준비하는 단계이다. 상기 도가니 조립체(200)는 도가니 본체(210) 및 상기 도가니 본체를 덮는 도가니 덮개(220)를 포함할 수 있다.
상기 원료장입단계는 상기 도가니 조립체(200) 내에 원료(300)를 장입하고 상기 원료 상에는 탄화규소 시드(110)를 상기 원료와 일정한 간격을 두고 배치되도록 하는 단계이다.
상기 도가니 본체(210)는 예를 들어 윗면이 개방된 개구부를 갖는 원통형으로, 그 내부에 탄화규소 원료를 장입할 수 있는 구조를 갖는 것이 적용될 수 있다.
상기 도가니 본체(210)는 그 밀도가 1.70 내지 1.92 g/cm3인 것이 적용될 수 있다. 상기 도가니 본체(210)의 재료에는 그라파이트가 포함될 수 있고, 그라파이트로 이루어질 수 있다.
상기 도가니 본체(210)는 2.9 Ω의 전기저항을 가질 수 있다. 도가니 본체가 이러한 전기저항을 갖는 경우 보다 효율적인 잉곳 성장 공정 운영이 가능하다.
상기 도가니 본체(210)는 2.9 내지 7.0Ω의 전기저항을 가질 수 있고, 2.9 내지 4.1 Ω의 전기저항을 가질 수 있다. 상기 도가니 본체는 3.0 내지 3.9 Ω의 전기저항을 가질 수 있다. 상기 범위의 전기저항 값을 갖는 도가니 본체를 적용하면, 보다 우수한 품질의 잉곳을 제조할 수 있다.
상기 전기저항 특징은 개별 도가니 본체의 전기저항 특성을 별도로 측정하여 얻어진 값이다. 상기 측정은 유도전류를 통한 도가니 본체의 직접 가열 시험을 통해서 확인할 값을 수 있고, 후술하는 별도로 마련된 측정장치를 통해 간접적으로 측정된 값으로부터 예측된 전기저항 값(결정계수 0.99 이상의 상관관계를 가짐)일 수 있다.
상기 도가니 본체의 전기저항은 유도가열 등의 가열 방식에서 승온의 정도와 반응시 반응용기 내의 온도 분포 등에 영향을 미치는 여러 요소들 중 중요한 일 요소이다. 발명자들은 도가니 본체의 개개별로 저항 값에 차이가 있고, 이는 동일한 종류의 도가니에 동일한 무게를 갖는 경우라 하더라도 그 차이가 크며, 그 차이가 제조되는 잉곳의 품질이나 성장 속도에 영향을 미친다는 점을 발명자들은 확인했다.
따라서, 위에서 언급하는 도가니 본체의 전기저항은 개별 도가니 본체의 전기저항을 의미한다.
상기 도가니 본체(210)는 내부에 수용공간을 가지며, 상기 수용공간의 직경은 110 mm 이상일 수 있고, 150 mm 이상일 수 있다. 이러한 수용공간을 가진 도가니 본체는 대면적인 잉곳 제조에 보다 유리하며, 위에서 언급한 밀도, 전기저항 등의 특징을 함께 가져 보다 우수한 품질의 잉곳을 우수한 수율로 제조할 수 있다.
상기 도가니 덮개(220)는 그 밀도가 1.72 내지 1.92 g/cm3인 것이 적용될 수 있다. 상기 도가니 덮개(220)의 재료에는 그라파이트가 포함될 수 있고, 그라파이트로 이루어질 수 있다.
상기 도가니 덮개(220)는 1 내지 5 Ω의 전기저항을 가질 수 있다. 상기 범위의 전기저항 값을 갖는 도가니 덮개를 적용하면, 보다 우수한 품질의 잉곳을 제조할 수 있다. 여기서 언급하는 도가니 덮개의 전기저항은 개별 도가니 덮개의 전기저항을 별도로 측정하여 얻어진 값이다. 상기 측정은 유도전류를 통한 도가니 본체의 직접 가열 시험을 통해서 확인할 값을 수 있고, 후술하는 별도로 마련된 측정장치를 통해 간접적으로 측정된 값으로부터 예측된 전기저항 값(결정계수 0.99 이상의 상관관계를 가짐)일 수 있다.
상기 도가니 덮개(220)는 상기 도가니 본체(210)의 개구부의 전부를 덮는 형태를 갖는 것이 적용될 수 있다. 상기 도가니 덮개(220)는 상기 도가니 본체(210) 개구부의 일부를 덮거나 관통홀(미도시)을 포함하는 상기 도가니 덮개(220)가 적용될 수 있다. 이러한 경우, 이후 설명하는 결정성장분위기에서 증기 이송의 속도를 조절할 수 있다.
상기 탄화규소 시드는, 상기 도가니 덮개에 직접 접착하는 등의 방법으로 상기 원료 상에 배치될 수 있다. 이 경우 별도의 시드홀더(230)가 적용되지 않고, 도가니 덮개(220)가 시드홀더와 일체형으로 적용될 수 있다.
상기 시드홀더(230)는 상기 도가니 덮개와 별도로도 적용될 수 있다. 구체적으로 상기 시드홀더(230)는 상기 도가니 본체와 상기 도가니 덮개 사이에 또는 도가니 본체의 개구부에 가까운 위치에 걸림홈과 같은 구성으로 미리 정해진 위치에 배치되어 탄화규소 시드(110)를 지지할 수 있다.
상기 도가니 조립체(200)는 상기 도가니 본체(210)와 상기 도가니 덮개(220)를 결합하는 방식으로 조립되며, 필요에 따라 시드홀더(230)를 도가니 본체, 도가니 덮개, 또는 그 사이에 위치시킨 후에 조립될 수 있다.
상기 원료(300)는 탄소원과 규소원을 포함한다. 구체적으로 상기 원료(300)는 탄소-규소원을 포함하거나, 여기에 탄소원 및/또는 규소원 더 포함할 수 있다. 상기 탄소원으로는 고탄소 수지(ex: 페놀수지) 등이 적용될 수 있고, 상기 규소원으로는 규소 입자가 적용될 수 있으나 이에 한정되지 않으며, 더 구체적으로, 상기 원료로는 탄화규소 입자가 적용될 수 있다.
상기 원료(300)는 입자의 크기가 75 um이 이하인 것이 전체 원료를 기준으로 15 중량% 이하로 포함될 수 있고, 10 중량% 이하로 포함될 수 있으며, 5 중량% 이하로 포함될 수 있다. 이렇게, 입자 크기가 작은 것의 함량이 비교적 소량인 원료를 적용하는 경우, 잉곳의 결함 발생을 줄이고 과포화도 제어에 보다 유리하며, 보다 결정 특성이 향상된 웨이퍼를 제공할 수 있는 탄화규소 잉곳을 제조할 수 있다.
상기 원료(300)는 입경(D50)이 130 내지 400 um인 입자 형태의 원료가 적용될 수 있고, 상기 입자 형태의 원료는 서로 네킹되거나 네킹되지 않은 것일 수 있다. 이러한 입경을 갖는 원료를 적용하는 경우, 보다 우수한 결정 특성을 갖는 웨이퍼를 제공하는 탄화규소 잉곳을 제조할 수 있다.
상기 성장단계는 상기 도가니 본체(210)의 내부공간을 결정성장분위기로 조절하여 상기 원료가 상기 탄화규소 시드에 증기 이송되어 증착되고 상기 탄화규소 시드로부터 성장된 탄화규소 잉곳을 마련하는 단계이다.
상기 성장단계는 상기 도가니조립체의 내부공간을 결정성장분위기로 조절하는 과정이 포함되며, 구체적으로 단열재(400)로 상기 도가니 조립체(200)를 감싸서 상기 도가니 조립체와 이를 감싸는 상기 단열재를 포함하는 반응용기(미도시)를 마련하고, 이를 석영관 등의 반응챔버에 위치시킨 후 가열수단에 의하여 상기 도가니 등을 가열하는 방식으로 진행될 수 있다.
상기 반응챔버(420) 내에는 상기 반응용기가 위치하여 가열수단(500)에 의해 상기 도가니 본체(210)의 내부공간을 결정성장분위기에 적합한 온도로 유도한다. 이러한 온도는 상기 결정성장분위기에 중요한 요소 중 하나이며, 압력과 가스의 이동 등의 조건을 조절하여 보다 적합한 결정성장분위기를 형성한다. 상기 반응챔버(420)와 상기 반응용기 사이에는 단열재(400)가 위치하여 결정성장분위기의 형성과 제어를 보다 용이하게 도울 수 있다.
상기 단열재(400)는 성장분위기에서 상기 도가니 본체 내부 또는 상기 반응용기 내부의 온도 구배에 영향을 미칠 수 있다. 구체적으로 상기 단열제는 그라파이트 단열재를 포함할 수 있고, 더 구체적으로 상기 단열재는 레이온계 그라파이트 펠트 또는 피치계 그라파이트 펠트를 포함할 수 있다.
상기 단열재(400)는 밀도가 0.14 내지 0.28 g/cc인 것일 수 있다. 상기 단열재(400)는 기공도가 72 내지 90 %인 것일 수 있다. 이러한 단열재를 적용하는 경우 잉곳의 형상이 오목하거나 과도하게 볼록하게 성장하는 것을 억제할 수 있으며, 다형 품질이 떨어지거나 잉곳에 크랙이 발생하는 현상을 감소시킬 수 있다.
상기 결정성장분위기는 상기 반응챔버(420) 외부의 가열수단(500)의 가열을 통해 진행될 수 있으며, 상기 가열과 동시에 또는 별도로 감압하여 공기를 제거하고, 감압분위기 및/또는 불활성 분위기(예시, Ar 분위기, N2 분위기 또는 이의 혼합 분위기)에서 진행될 수 있다.
상기 결정성장분위기는 원료를 탄화규소 시드의 표면에 증기 이송되도록 하여 탄화규소 결정의 성장을 유도하여 잉곳(100)으로 성장시킨다.
상기 결정성장분위기는 2000 내지 2500 ℃의 성장온도와 1 내지 200 torr의 성장압력 조건이 적용될 수 있고, 이러한 온도와 압력을 적용하는 경우 보다 효율적으로 탄화규소 잉곳을 제조할 수 있다.
구체적으로, 상기 결정성장분위기는 도가니 상하부 표면 온도가 2100 내지 2500 ℃의 성장온도와 1 내지 50 torr의 성장압력 조건이 적용될 수 있으며, 더 자세하게는 도가니 상하부 표면 온도가 2150 내지 2450 ℃의 성장온도와 1 내지 40 torr의 성장압력 조건이 적용될 수 있다.
더 구체적으로 도가니 상하부 표면 온도가 2150 내지 2350 ℃의 성장온도와 1 내지 30 torr의 성장압력 조건이 적용될 수 있다.
위에서 설명한 결정성장분위기를 적용하면, 본 발명의 제조방법 등에 보다 고품질의 탄화규소 잉곳을 제조하는데 보다 유리하다.
상기 탄화규소 시드(110)는 성장시키려는 잉곳의 특성에 따라 달리 적용될 수 있는데, 예시적으로 4H-SiC 웨이퍼, 6H-SiC 웨이퍼, 3C-SiC 웨이퍼, 15R-SiC 웨이퍼 등이 적용될 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.
상기 탄화규소 시드(110)는 성장시키려는 잉곳의 크기에 따라 달리 적용될 수 있는데, 상기 잉곳은 4 인치 이상의 직경을 가진 것일 수 있고, 구체적으로, 상기 잉곳은 4인치 이상, 5인치 이상, 나아가 6인치 이상의 구경을 가질 수 있다. 더 구체적으로 상기 잉곳은 4 내지 12 인치, 4 내지 10 인치, 또는 4 내지 8 인치의 직경을 가질 수 있다.
상기 탄화규소 시드(110)는 바람직하게 단결정 4H-SiC를 성장시킬 수 있는 것이라면 적용 가능하고, 예시적으로 탄화규소 잉곳이 성장하는 전면이 C면(0001)인 4H-SiC 시드가 적용될 수 있다.
상기 원료(300)는 결정성장분위기에서 증기 이송되어 탄화규소 시드로 방향으로 이동하며, 상기 탄화규소 시드의 표면에서 탄화규소 잉곳을 성장시킨다.
상기 탄화규소 잉곳(100)은 4H SiC을 함유하는 것으로, 그 표면이 볼록한 형태 또는 평평한 형태의 것일 수 있다.
상기 탄화규소 잉곳(100)의 표면이 오목한 형태로 형성되는 경우 의도하는 4H-SiC 결정 외에 6H-SiC와 같은 다른 다형이 혼입된 것일 수 있고, 이는 탄화규소 잉곳의 품질을 떨어드릴 수 있다. 또한, 상기 탄화규소 잉곳의 표면이 과도하게 볼록한 형태로 형성되는 경우에는 잉곳 자체에 크랙이 발생하거나, 웨이퍼로 가공할 때 결정이 깨질 수 있다.
이때, 상기 탄화규소 잉곳(100)이 과도하게 볼록한 형태의 잉곳인지 여부는 휘어짐 정도를 기준으로 판단하며, 본 명세서에서 제조되는 탄화규소 잉곳은 휘어짐이 10 mm 이하이다.
상기 휘어짐은, 탄화규소 잉곳의 성장이 완료된 샘플을 정반 위에 놓고 잉곳 후면을 기준으로 잉곳의 중심과 가장자리의 높이를 높이 게이지(Height Gauge)로 측정하여 (중심 높이 - 가장자리높이)의 값으로 평가한다. 휘어짐의 수치가 양의 값이면 볼록함을 의미하고 0의 값은 평평함, 그리고 음의 값은 오목함을 의미한다.
구체적으로, 상기 탄화규소 잉곳(100)은 그 표면이 볼록한 형태 또는 평평한 형태의 것으로 휘어짐이 0 내지 10 mm인 것일 수 있다. 이러한 휘어짐 정도를 갖는 탄화규소 잉곳은 웨이퍼 가공이 보다 용이하고 깨짐 발생을 감소시킬 수 있다. 또한, 다형 혼입을 실질적으로 제어할 수 있어서 실질적으로 단결정인 탄화규소 잉곳 제조에 보다 유리하다.
상기 탄화규소 잉곳(100)은 결함이나 다형 혼입이 최소화된 실질적으로 단결정인 4H SiC 잉곳일 수 있다.
상기 탄화규소 잉곳(100)은 실질적으로 4H SiC로 이루어진 것으로, 그 표면이 볼록한 형태 또는 평평한 형태의 것일 수 있다.
상기 탄화규소 잉곳(100)은 탄화규소 잉곳에서 발생할 수 있는 결함을 줄인 것으로 보다 고품질의 탄화규소 웨이퍼를 제공할 수 있다.
본 명세서의 방법으로 제조된 상기 탄화규소 잉곳은 그 표면의 핏(pit)을 감소시키며, 구체적으로 4 인치 이상의 직경을 갖는 잉곳에서 그 표면에 포함되는 핏(pit)이 10k/cm2 이하이다.
본 명세서에서, 상기 탄화규소 잉곳의 표면 핏 측정은, 잉곳 표면에서 패싯을 제외한 중앙부분의 한 곳, 그리고 탄화규소 잉곳 엣지에서 중앙부 방향으로 약 10 mm 안쪽에 위치하는 3시, 6시, 9시, 그리고 12시 방향의 네 곳, 총 5곳을 광학현미경으로 관찰하여 각 위치에서 단위면적(1 cm2)당 핏(pit)을 측정한 후 그 평균값으로 평가한다.
상기 탄화규소 잉곳은 통상의 방법으로 탄화규소 웨이퍼로 가공될 수 있다.
예시적으로, 상기 탄화규소 잉곳을 외경 연삭 장비를 적용하여 잉곳의 외곽 테두리 부분을 다듬고(External Grinding), 일정한 두께로 절삭(Slicing)한 후 가장자리 연삭과 표면 연마, 폴리싱 등의 가공이 진행될 있다.
구체적으로, 상기 탄화규소 잉곳은, 상기 잉곳으로부터 얻어지는 (0001)면에대해 오프 앵글을 0도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준각도 대비 -1.0 내지 + 1.0 도인 것을 포함할 수 있고, 기준각도 대비 -0.5 내지 +0.5 도인 것을 포함할 수 있고, 기준각도 대비 -0.1 내지 +0.1 도인 것을 포함할 수 있으며, 기준각도 대비 -0.05 내지 +0.05 도인 것을 포함할 수 있다. 이러한 특징을 갖는 잉곳은 우수한 결정질 특성을 갖는다.
상기 로킹 각도는 고분해능 엑스선 회절 분석 시스템(HR-XRD system)을 적용하여 상기 웨이퍼 [11-20] 방향을 X-ray 경로에 맞추고, X-ray source optic과 X-ray detector optic 각도를 2θ(35 내지 36도)로 설정한 후 웨이퍼의 오프 각도에 맞추어 오메가(ω, 또는 쎄타 θ, X-ray detector optic) 각도를 조절하여 로킹 커브(Rocking curve)를 측정하고, 기준각도인 피크각도와 두 개의 FWHM(full width at half maximum) 값의 차이 값을 각각 로킹 각도로 설정하여 결정성을 평가한다(이하, 로킹 각도에서 동일함).
본 명세서에서, 오프 앵글이 X 도라 함은 통상 허용하는 오차범위 내에서 X도로 평가되는 오프 앵글을 갖는다는 것을 의미하며, 예시적으로 (X - 0.05 도) 내지 (X + 0.05 도) 범위의 오프 앵글을 포함한다.
본 명세서에서, 로킹 각도가 "기준각도 대비 -1 내지 +1 도"라 함은 FWHM 값이 기준각도인 (피크각도 - 1 도) 내지 (피크각도 + 1 도)의 범위 내에 있다는 것을 의미한다.
또한, 상기 로킹 각도는 웨이퍼의 중앙 부분과 가장자리에서 중앙 방향으로 5mm 이내의 부분을 제외한 표면을 실질적으로 균등하게 3등분하여, 각 부분에서 3번 이상 측정한 결과를 평균하여 위의 로킹 각도로 취급한다.
구체적으로, 0도 오프 기준으로 오메가 각도는 17.8111도이고, 4도 오프 기준으로 오메가 각도는 13.811도, 그리고 8도 오프 기준으로 오메가 각도는 9.8111도로, 상기 오메가 각도는 9.8111 내지 17.8111도 범위이다.
구체적으로, 상기 탄화규소 잉곳은, 상기 잉곳으로부터 얻어지는 오프 앵글을 4 도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준 각도 대비 -1.5 내지 + 1.5 도인 것을 포함할 수 있고, 기준 각도 대비 -1.0 내지 +1.0 도인 것을 포함할 수 있으며, 기준 각도 대비 -0.5 내지 +0.5 도인 것을 포함할 수 있고, 기준 각도 대비 -0.1 내지 +0.1 도인 것을 포함할 수 있으며, 기준 각도 대비 -0.05 내지 +0.05 도인 것을 포함할 수 있다. 이러한 특징을 갖는 잉곳은 우수한 결정질 특성을 갖는다.
구체적으로, 상기 탄화규소 잉곳은, 상기 잉곳으로부터 얻어지는 오프 앵글을 8도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준 각도 대비 -1.0 내지 +1.0 도인 것을 포함할 수 있고, 기준 각도 대비 -0.5 내지 +0.5 도인 것을 포함할 수 있으며, 기준 각도 대비 -0.1 내지 +0.1 도인 것을 포함할 수 있고, 기준 각도 대비 -0.05 내지 +0.05 도인 것을 포함할 수 있다. 이러한 특징을 갖는 잉곳은 우수한 결정질 특성을 갖는다.
상기 탄화규소 잉곳은 4인치 이상의 탄화규소 잉곳일 수 있다. 구체적으로 상기 잉곳은 4인치 이상, 5인치 이상, 나아가 6인치 이상의 구경을 가질 수 있다. 더 구체적으로 상기 잉곳은 4 내지 12 인치, 4 내지 10 인치, 또는 4 내지 8 인치의 직경을 가질 수 있다. 본 명세서에서 개시하는 실시예에 의하면 이렇게 비교적 큰 직경을 가지면서 위에서 설명한 것과 같이 우수한 결정품질과 저결함 특징을 갖는 탄화수소 잉곳을 제조할 수 있다.
다른 구현예에 따른 탄화규소 웨이퍼의 제조방법은 준비단계; 원료장입단계; 성장단계를 포함하여 마련된 탄화규소 잉곳을 슬라이싱단계;와 연마단계;를 거쳐 탄화규소 웨이퍼로 제조한다. 상기 준비단계, 상기 원료장입단계, 상기 성장단계, 원료, 도가니 본체, 도가니 덮개, 도가니 조립체, 탄화규소 시드 등 각각의 구성과 각 단계에 대한 구체적인 설명은 위에서 한 설명과 중복되므로 그 상세한 기재를 생략한다.
상기 슬라이싱단계는 탄화규소 잉곳을 일정한 오프 앵글을 갖도록 슬라이싱하여 슬라이싱된 결정을 마련하는 단계이다. 상기 오프 앵글은 4H SiC에서 (0001)면을 기준으로 한다. 상기 오프 앵글은 구체적으로 0 내지 15 도에서 선택된 각도일 수 있고, 0 내지 12 도에서 선택된 각도일 수 있으며, 0 내지 8도에서 선택된 각도일 수 있다.
상기 슬라이싱은 통상 웨이퍼 제조에 적용되는 슬라이싱 방법이라면 적용할 수 있고, 예시적으로 다이아몬드 와이어나 다이아몬드 슬러리를 적용한 와이어를 이용한 절삭, 다이아몬드가 일부 적용된 블레이드나 휠을 이용하는 절삭 등이 적용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 슬라이싱된 결정의 두께는 제조하고자 하는 웨이퍼의 두께를 고려하여 조절될 수 있고, 이후 설명하는 연마단계에서 연마된 후의 두께를 고려하여 적절한 두께로 슬라이싱될 수 있다.
상기 연마단계는 상기 슬라이싱된 결정을 그 두께가 300 내지 800 um가 되도록 연마하여 탄화규소 웨이퍼를 형성하는 단계이다.
상기 연마단계는 통상 웨이퍼 제조에 적용되는 연마 방법이 적용될 수 있고, 예시적으로 랩핑(Lapping) 및/또는 그라인딩(Grinding) 등의 공정이 진행된 후, 폴리싱(polishing) 등이 진행되는 방식이 적용될 수 있다.
이렇게 제조되는 탄화규소 웨이퍼는 4인치 이상의 대구경을 갖는 것으로, 4H SiC를 함유하고, 4H SiC의 (0001)면을 기준으로 오프 앵글을 0도로 적용한 것으로 그 로킹 각도가 기준각도 대비 -1.0 내지 +1.0 도인 것일 수 있다. 상기 탄화규소 웨이퍼는 대구경이면서 실질적으로 단결정 특성을 갖고 결함이 적으며 우수한 결정 특성을 갖는다는 장점이 있다.
또 다른 구현예에 따른 탄화규소 잉곳은 4인치 이상의 대구경을 갖는 것으로, 4H SiC를 함유하고, 그 표면의 핏(pit)이 10k/cm2 이하인 것이다.
상기 탄화규소 잉곳의 오프 앵글을 0도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준 각도 대비 -1.0 내지 +1.0 도인 것을 포함할 수 있다. 상기 오프 앵글은 4H SiC의 (0001)면을 기준으로 한다. 이러한 특징을 갖는 탄화규소 잉곳은 대면적이면서도 그 결정 품질이 우수하다.
또 다른 구현예에 따른 탄화규소 잉곳 제조 시스템은, 반응용기 및 반응챔버(420)를 포함하여 탄화규소 잉곳을 성장시키는 시스템이다.
상기 반응용기에는, 내부공간을 갖는 도가니 본체(210)를 포함하는 도가니 조립체(200)가 배치되며, 상기 도가니 조립체 내에는 원료가 장입되고 탄화규소 시드를 상기 원료와 일정한 간격을 두고 배치되도록 한다.
상기 도가니 조립체(200)은 도가니 본체(210)과 상기 도가니 본체를 덮는 도가니 덮개(220)를 포함할 수 있다.
상기 반응용기에는, 위에서 설명한 바와 같이. 상기 도가니 조립체를 단열재로 감싸서 위치시킬 수 있다.
상기 반응챔버(420)는 그 내부에 상기 반응용기가 위치하는 것으로, 가열수단에 의하여 상기 도가니 본체 또는 그 내부공간을 결정성장분위기에 적합한 온도로 유도한다. 이러한 온도 조절과 함께 상기 내부공간의 압력, 가스의 이동 등의 조건을 조절하여 보다 적합한 결정성장분위기를 형성한다.
상기 도가니 본체(210)의 내부공간에서 상기 원료(300)가 증기 이송되어 증착되고, 상기 탄화규소 시드(110)의 성장면에서 탄화규소 결정이 성장하도록 결정성장분위기를 조성하는 것이다.
상기 시스템에서, 상기 도가니 본체, 상기 도가니 덮개 등에 대한 특징은 위에서 설명한 것과 중복되므로 그 기재를 생략한다.
또한 상기 시스템에서, 상기 탄화규소 잉곳, 상기 탄화규소 웨이퍼 등에 대한 설명도 위에서 한 설명과 중복되므로 그 기재를 생략한다.
이하, 구체적인 실시예를 통해 구현예를 보다 구체적으로, 설명한다. 하기 실시예는 구현예의 이해를 돕기 위한 예시에 불과하며, 본 명세서가 개시하는 발명의 범위가 아래 실시예에 한정되는 것은 아니다.
탄화규소 잉곳의 성장
도 2에 제시한 구조의 도가니 조립체를 적용하여 탄화규소 잉곳을 제조하였다. 구체적으로, 도가니 본체 내부공간에 원료인 탄화규소 입자를 장입하고, 그 상부에 탄화규소 시드를 배치하였다. 이 때, 탄화규소 시드(4H SiC 단결정, 6인치)의 C면(0001) 면이 도가니 하부를 향하도록 통상의 방법으로 고정하였으며, 아래 실시예 및 비교예에 동일하게 적용하였다.
적용한 도가니의 밀도와 저항을 아래 표 1에 제시된 것으로 각각 적용했다. 상기 밀도와 저항은 각 도가니를 이용한 잉곳 성장 전에 각각 실측해서 제시했고, 저항의 경우 LCR 미터와 코일을 이용해 실측했다.
도가니 본체는, 단면을 기준으로 750가닥의 도선이 배치된 직경이 0.1mm의 리츠 코일을 도가니 본체의 옆면에 27 회(turn) 감아 원통형 도선부를 제조하고, 이를 LCR 미터와 연결했다. 도선부의 외경은 224 mm, 내경은 211 mm, 그리고 높이는 185 mm이었다. LCR 미터에 교류전원을 인가하여 전자기적 특성을 측정했고, Ls는 131uH, Rs는 1.03Ω으로 측정되었다. 각 도가니 본체에서 측정한 전자기적 특성 값은 직류저항으로 변환되어 아래 표 1에 나타냈다.
원료로는 탄화규소 입자(탄화규소 입자 전체를 100%로 함)를 동일하게 적용했다.
상기 도가니 조립체는 동일한 단열재를 장착하고 가열수단인 가열코일이 구비된 반응챔버 내에 위치시켰다.
도가니 조립체 내부공간을 진공 상태로 만든 뒤, 아르곤 가스를 서서히 주입하여 상기 도가니 조립체 내부공간이 대기압에 도달하도록 하고, 다시 상기 도가니 조립체 내부를 서서히 감압시켰다. 이와 함께, 도가니 조립체 내의 온도를 2300℃까지 서서히 승온시켰다. 2300℃의 온도와 20 torr의 압력 조건 하에서 100시간 동안 SiC 잉곳을 성장시켰다.
성장된 각각의 잉곳 자체의 특성과 함께 상기 잉곳에서 통상의 방법으로 웨이퍼를 제조하고, 로킹각도 등을 측정하여 물성을 평가했고, 구체적인 평가 방법은 후술한다.
탄화규소 잉곳 등의 물성 평가
(1) 잉곳의 Center-Edge 편차(휘어짐) 평가:
탄화규소 잉곳의 성장이 완료된 샘플을 정반 위에 놓고 잉곳 후면을 기준으로 잉곳의 중심과 가장자리의 높이를 높이 게이지(Height Gauge)로 측정하여 (중심 높이 - 가장자리높이)의 값(mm)으로 평가한다. 휘어짐의 수치가 양의 값이면 볼록함을 의미하고 0의 값은 평평함, 그리고 음의 값은 오목함을 의미한다.
(2) 로킹 각도 평가:
고분해능 엑스선 회절 분석 시스템(HR-XRD system, Rigaku社 SmartLab High Resolution X-ray Diffraction System)을 적용하여 상기 잉곳으로부터 4H SiC (0001)면을 기준으로 오프 앵글 0도가 적용된 웨이퍼를 준비하고, 웨이퍼의 [11-20] 방향을 X-ray 경로에 맞추고, X-ray source optic과 X-ray detector optic 각도를 2θ(35 내지 36도)로 설정한 후 웨이퍼의 오프 각도에 맞추어 오메가(ω, 또는 쎄타 θ, X-ray detector optic) 각도를 조절하여 측정하였다. 구체적으로, 0도 오프 기준으로 오메가 각도는 17.8111도, 4도 오프 기준으로 오메가 각도는 13.811도, 그리고 8도 오프 기준으로 오메가 각도는 9.8111도로 적용되었다. X-ray power는 9kW로, 그리고 X-ray target은 Cu를 적용했으며, Goniometer resolution는 0.0001 도인 것이 적용되었다. Max Intensity에서의 각도를 기준으로 FWHM을 측정하여 각각 로킹 각도(Rocking angle)로 평가했고, 그 결과를 표 1에 나타냈다.
아래 로킹 각도 결과는 웨이퍼의 중앙부와 가장자리에서 5 mm 이내 부분을 제외한 표면을 3등분하여, 각 부분에서 최소한 3번 이상을 측정한 결과를 평균하여 나타냈다.
도가니 밀도 [g/cm3] 본체
전기저항
[Ω]		 Ingot T[mm] Center-Edge
편차		 로킹 각도: 0도 로킹 각도: 4도 로킹 각도: 8도
실시예 1 1.7 3.45 2.9 17.811° ±0.05° - -
실시예 2 1.72 3.37 4.3 - 13.811° ± 0.12° -
실시예 3 1.84 3.2 3.4 17.811° ±0.08° - -
실시예 4 1.85 3.08 3.9 - 13.811° ± 0.09° -
실시예 5 1.86 3.09 5.3 - - 9.811° ± 0.15°
비교예 1 1.9 4.21 -1.1 17.811° ± 2.5° - -
비교예 2 1.70 2.89 10.5 17.811° ± 2.1° - -
상기 표 1을 참조하면, 상기 도가니 밀도가 1.72 내지 1.92 g/cm3 범위를 갖는 그라파이트 도가니를 적용한 실시예의 경우가 1.72 g/cm3 미만 또는 1.93 g/cm3 초과의 밀도를 갖는 그라파이트 도가니를 적용한 예와 비교해서 Center-Edge 편차의 면과 로킹 각도의 면에서 더 우수한 물성을 보인다는 점을 확인할 수 있었다.
특히 도가니의 밀도가 1.70 g/cm3으로 적용된 비교예 2의 경우 잉곳의 Center-Edge 편차가 10.5 mm로 상당히 크게 나타났고, 1.9 g/cm3으로 적용된 비교예 1의 경우 잉곳의 Center-Edge 편차가 음수인 -1.1 mm로 나타나, 다형 혼입이 발생하거나 응력에 의해 웨이퍼 가공 과정에서 깨짐이 발생할 가능성이 높을 것으로 평가되었다.
도가니 본체의 전기저항은 가열시 발열 정도에 영향을 비칠 수 있는 요소로, 2.9 Ω 이상의 본체 전저항값을 갖는 실시예 1 내지 5가 비교예 2와 비교해 우수한 물성을 나타냈다. 다만 4.21 Ω으로 다소 높은 저항을 갖는 도가니 본체를 적용한 비교예 1의 경우에는 오목한 형태의 잉곳이 제조되는 등 제조된 잉곳과 웨이퍼에 다소 떨어지는 물성을 나타낸다는 점을 확인했다. 다만, 도가니의 밀도와 본체 전기저항이 비례하게 나타나지는 않는 것으로 나타났다.
실시예 1 내지 실시예 4의 경우에는 잉곳의 휘어짐(Center-Edge 편차)도 양호하게 나타났고, 이로부터 제조된 웨이퍼의 로킹 각도 특성도 우수하게 나타나 도가니의 특성을 조절하여 잉곳과 이로부터 제조되는 웨이퍼의 물성을 향상시킬 수 있다는 점을 확인하였다.
이상에서 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 탄화규소 잉곳 110: 탄화규소 시드, 시드
200: 도가니 조립체 210: 도가니 본체
220: 도가니 덮개 230: 시드홀더
300: 원료, 원료물질 400: 단열재
420: 반응챔버, 석영관 500: 가열수단

Claims (9)

  1. 내부공간을 갖는 도가니 본체를 포함하는 도가니 조립체를 준비하는 준비단계;
    상기 도가니 조립체 내에 원료를 장입하고 탄화규소 시드를 상기 원료와 일정한 간격을 두고 배치되도록 하는 원료장입단계; 그리고
    상기 도가니 조립체의 내부공간을 결정성장분위기로 조절하여 상기 원료가 상기 탄화규소 시드에 증기 이송되어 증착되고 상기 탄화규소 시드로부터 성장된 탄화규소 잉곳을 마련하는 성장단계;를 포함하여 탄화규소 잉곳을 제조하고,
    상기 도가니 본체는, 1.70 내지 1.92 g/cm3 범위의 밀도를 갖고,
    상기 도가니 본체의 전기저항은 3.0 내지 3.9 Ω이고,
    상기 탄화규소 잉곳으로 얻어지는 (0001)면에 대해 오프 앵글을 0도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준각도 대비 -0.1 내지 +0.1 도인, 탄화규소 잉곳의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 탄화규소 잉곳은 0 내지 10 mm의 중앙부와 가장자리 사이의 높이 편차를 갖는, 탄화규소 잉곳의 제조방법.
  3. 삭제
  4. 내부공간을 갖는 도가니 본체를 포함하는 도가니 조립체를 준비하는 준비단계;
    상기 도가니 조립체 내에 원료를 장입하고 탄화규소 시드를 상기 원료와 일정한 간격을 두고 배치되도록 하는 원료장입단계;
    상기 도가니 조립체의 내부공간을 결정성장분위기로 조절하여 상기 원료가 상기 탄화규소 시드에 증기 이송되어 증착되고 상기 탄화규소 시드로부터 성장된 탄화규소 잉곳을 마련하는 성장단계; 그리고
    상기 탄화규소 잉곳으로부터 탄화규소 웨이퍼를 형성하는 웨이퍼형성단계;
    를 포함하고,
    상기 도가니 본체는, 1.70 내지 1.92 g/cm3 범위의 밀도를 갖고,
    상기 도가니 본체의 전기저항은 3.0 내지 3.9 Ω이고,
    상기 탄화규소 잉곳으로 얻어지는 (0001)면에 대해 오프 앵글을 0도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준각도 대비 -0.1 내지 +0.1 도인, 탄화규소 웨이퍼의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 웨이퍼형성단계는
    상기 탄화규소 잉곳을 슬라이싱하여 오프 앵글이 0 내지 15 도에서 선택된 어느 한 각도가 되도록 슬라이싱된 결정을 마련하는 슬라이싱단계; 그리고
    상기 슬라이싱된 결정을 연마하여 탄화규소 웨이퍼를 형성하는 연마단계;를 포함하고,
    상기 탄화규소 웨이퍼는 4인치 이상인, 탄화규소 웨이퍼의 제조방법.
  6. 삭제
  7. 반응용기 및 가열수단을 포함하여 탄화규소 잉곳을 성장시키는 장치로,
    상기 반응용기 내에는, 내부공간을 갖는 도가니 본체를 포함하는 도가니 조립체가 배치되되, 상기 도가니 조립체 내에는 원료가 장입되고 탄화규소 시드를 상기 원료와 일정한 간격을 두고 배치되도록 하며,
    상기 가열수단은 상기 내부공간을 결정성장분위기가 되도록 유도하여, 상기 원료가 상기 탄화규소 시드에 증기 이송되어 증착되고 상기 탄화규소 시드로부터 성장된 탄화규소 잉곳이 마련되도록 결정성장분위기를 조성하는 것이며,
    상기 도가니 본체는, 1.70 내지 1.92 g/cm3 범위의 밀도를 갖고,
    상기 도가니 본체의 전기저항은 3.0 내지 3.9 Ω이고,
    상기 탄화규소 잉곳으로 얻어지는 (0001)면에 대해 오프 앵글을 0도로 적용한 웨이퍼는 그 로킹 각도가 기준각도 대비 -0.1 내지 +0.1 도인, 탄화규소 잉곳 성장 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 도가니 본체는 직경이 110 mm 이상인 그라파이트 도가니 본체인, 탄화규소 잉곳 성장 장치.
  9. 삭제
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