KR102151460B1

KR102151460B1 - 반송 장치

Info

Publication number: KR102151460B1
Application number: KR1020130098333A
Authority: KR
Inventors: 미노루 마에다; 요스케 무라구치; 마모루 고사키; 다카시 후지와라
Original assignee: 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
Priority date: 2012-08-21
Filing date: 2013-08-20
Publication date: 2020-09-03
Also published as: TW201410568A; TWI574898B; JP6156716B2; US20140054136A1; KR20140024818A; US9156632B2; JP2014042366A

Abstract

본 발명의 과제는, 각종 장치를 배치하기 위한 스페이스 제한이 적은 반송 장치를 제공하는 것이다.
고정부(1)와, 상기 고정부(1)에 대하여 이동 가능하게 설치된 가동부와, 상기 고정부(1)와 상기 가동부 사이에서 구성되는 한 쌍의 리니어 모터(3, 3)를 구비하고, 상기 리니어 모터(3)는, 1차측 자극부(31)와 2차측 자극부(32)에 의해 1세트를 구성하고, 당해 1차측 자극부(31)와 2차측 자극부(32)는, 상기 가동부를 상기 고정부(1)에 대하여 이동 가능해지도록 대향 배치되고, 상기 가동부는, 피반송물을 반송하는 것이 가능한 이동체(2)와, 당해 이동체(2)에 있어서의 폭 방향의 양단부에 위치하는 상기 1차측 자극부(31) 또는 2차측 자극부(32) 중 한쪽을 구비하고, 상기 고정부(1)는 상기 1차측 자극부(31) 또는 2차측 자극부(32) 중 다른 쪽을 구비한다.

Description

반송 장치{CONVEYING SYSTEM}

본 발명은, 리니어 모터 구동의 반송 장치에 관한 것이다.

리니어 모터 구동의 반송 장치는 널리 알려져 있다. 이 일례로서, 특허문헌 1에 기재된 반송 장치가 있다. 이것은, 피반송물을 적재할 수 있는 가동부를 길이 방향으로 이동(왕복 운동) 가능하게 한 것이다. 하우징의 저면에는, 상방으로 돌출되어 길이 방향으로 연장되는 1차측 자극부를 구비한다. 또한, 가동부에는, 하방으로 돌출되고, 상기 1차측 자극부를 폭 방향 양 외측으로부터 사이에 끼우는 2차측 자극부를 구비한다.

특허문헌 1에 기재된 반송 장치에서는, 1차측 자극부는 하우징의 폭 방향에 있어서의 중앙에 1개가 위치하고, 2차측 자극부는 1차측 자극부를 폭 방향 양 외측으로부터 사이에 끼우므로, 가동부의 이동 가능한 범위에 걸쳐, 1차측 자극부의 폭 방향 양 외측에 2차측 자극부가 통과할 수 있는 스페이스를 확보할 필요가 있었다. 이로 인해, 하우징 내부에 있어서의 중앙 스페이스의 사용이 제한된다.

일본 특허 출원 공개 제2010-41889호 공보

상기한 바와 같이, 하우징 내부에 있어서의 중앙 스페이스의 사용이 제한됨으로써, 센서류나, 피반송물을 테이블 상에서 들어올리기 위한 장치 등, 각종 장치를 배치할 때에, 배치 가능한 스페이스의 제한을 받는 경우가 있었다.

따라서 본 발명은, 각종 장치를 배치하기 위한 스페이스 제한이 적은 반송 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명은, 고정부와, 상기 고정부에 대하여 이동 가능하게 설치된 가동부와, 상기 고정부와 상기 가동부 사이에서 구성되는 한 쌍의 리니어 모터를 구비하고, 상기 리니어 모터는, 1차측 자극부와 2차측 자극부에 의해 1세트를 구성하고, 당해 1차측 자극부와 2차측 자극부는, 상기 가동부를 상기 고정부에 대하여 이동 가능해지도록 대향 배치되고, 상기 가동부는, 피반송물을 반송하는 것이 가능한 이동체와, 당해 이동체에 있어서의 상기 가동부의 이동 방향과 직교하는 폭 방향의 양단부에 위치하는 상기 1차측 자극부 또는 2차측 자극부 중 한쪽을 구비하고, 상기 고정부는 상기 1차측 자극부 또는 2차측 자극부 중 다른 쪽을 구비하는 반송 장치이다. 또한, 상기 「양단부」라 함은, 단부 테두리의 위치에만 한정되지 않고, 단부 테두리 근방의 위치도 포함하는 것을 말한다.

이 구성에 따르면, 가동부는 폭 방향에 있어서의 양단부에 한 쌍의 리니어 모터에 있어서의 1차측 자극부 또는 2차측 자극부 중 한쪽을 구비한다. 이로 인해, 한쪽의 리니어 모터와 다른 쪽의 리니어 모터 사이에 스페이스를 확보할 수 있다.

그리고 상기 2차측 자극부는 상기 1차측 자극부에 대향하는 위치에 영구 자석을 구비하는 것으로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 영구 자석을 길이 방향을 따라 병렬시키는 것만으로 2차측 자극부를 제조할 수 있다. 이로 인해, 2차측 자극부를 제조할 때에, 자기 반발력이 작용하는 중에서 영구 자석의 동일 자극끼리를 접합하는 작업을 행할 필요가 없어, 작업 효율이 좋다.

그리고 상기 고정부는, 상기 가동부를 하방으로부터 지지하는 지지부를 구비하고, 상기 지지부는, 상기 가동부의 이동 방향을 규정하기 위한, 길이 방향으로 연장되는 가이드부를 구비하고, 상기 가동부는, 상기 가이드부에 결합하면서 이동 가능한 피가이드부를 구비하고, 상기 가이드부 및 피가이드부의 바로 위의 위치 또는 바로 아래의 위치에는, 자기 반발력 또는 자기 흡인력에 의해 상기 가동부를 상방으로 압박함으로써, 상기 가이드부 및 피가이드부에 가해지는 중량 부하를 경감하는 부하 경감 기구를 구비하는 것으로 할 수 있다. 또한, 상기 「바로 위」「바로 아래」라 함은, 수직 상·하방에만 한정되지 않고 수직 상·하방의 근방 위치도 포함하는 것을 말한다.

이 구성에 따르면, 가이드부 및 피가이드부의 바로 위의 위치 또는 바로 아래의 위치에, 고정부와 가동부의 상하 방향에 있어서의 거리를 유지함으로써 가이드부 및 피가이드부에 가해지는 중량 부하를 경감하는 부하 경감 기구를 구비한다. 이로 인해, 중량 부하의 경감에 의해 가이드부 및 피가이드부를 장수명화할 수 있다.

그리고 상기 가이드부 및 피가이드부는, 상기 고정부 및 가동부의 폭 방향에 있어서의 양단부에 위치하고, 상기 가동부는, 폭 방향에 있어서의 양단부이며, 상기 가이드부 및 피가이드부보다도 폭 방향에 있어서의 내측에, 상기 1차측 자극부 또는 2차측 자극부 중 어느 하나를 장착하기 위한 장착부를 구비하는 것으로 할 수 있다.

이 구성에 따르면, 가이드부 및 피가이드부와 장착부를 접근할 수 있음으로써, 리니어 모터의 추진력에 의한 가동부의 변위를 작게 할 수 있다. 이로 인해, 부하의 경감에 의해 가이드부 및 피가이드부를 장수명화할 수 있다.

본 발명은, 각 쌍의 리니어 모터간에 스페이스를 확보할 수 있다. 이로 인해, 각종 장치를 배치하기 위한 스페이스 제한이 적은 반송 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 실시 형태의 반송 장치를 도시하는 사시도(투시도).
도 2는 본 실시 형태의 반송 장치를 도시하는 종단면도.
도 3은 다른 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 4는 또 다른 실시 형태를 나타내는 종단면도.

본 발명에 대해, 일 실시 형태를 들어 도면과 함께 이하 설명을 행한다. 이하의 설명에 있어서는, 방향의 표시로서, 하우징(1)의 길이 방향에 일치하는 방향을 길이 방향으로 하고, 이 길이 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여 설명한다. 또한, 상하 좌우의 방향에 관해서는 본 실시 형태의 상태를 기준으로 하고 있지만, 예를 들어 본 실시 형태와 상하 역방향의 형태(피반송물을 현수하여 반송하는 형태)도 실시 가능하며, 본 발명은 본 실시 형태의 방향에 있어서의 형태에 한정되는 것은 아니다. 또한, 내외 방향에 관해서는, 하우징(1)의 폭 방향에 있어서의 중앙을 향하는 방향을 내측 방향, 반대로 하우징(1)의 폭 방향에 있어서의 중앙으로부터 이격되는 방향을 외측 방향으로 하여 설명한다.

도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태의 반송 장치는, 하우징(1), 반송 테이블(2), 리니어 모터(3), 리니어 가이드(4), 부하 경감 기구(5)를 구비한다. 상기 각 구성 요소는, 폭 방향 중앙에 대하여 선 대칭으로 배치된다.

하우징(1)은 고정부로서 기능하고, 외형이 직육면체 상자 형상이다. 또한 상기 고정부는, 하우징(1), 리니어 모터(3)의 일부, 리니어 가이드(4)의 일부, 부하 경감 기구(5)의 일부로 구성된다. 이 하우징(1)은, 하방에 위치하는 저벽부(11), 사방 측방에 위치하는 측벽부(12), 상방에 위치하는 천장벽부를 구비한다(천장벽부는 설명상, 도시를 생략하고 있음). 저벽부(11)의 상면에는, 리니어 모터(3)를 구성하는 1차측 자극부(31)가 배치되어 있다. 또한, 측벽부(12)는, 길이 방향으로 연장되는 상향의 면을 갖는 단차부를 구비하고 있다. 이 단차부는, 하측 단차부(13)와 상측 단차부(14)의 상하 2개의 부분으로 구성되어 있다. 하측 단차부(13)는, 반송 테이블(2)을 하방으로부터 지지하는 지지부로서 기능하고, 이 하측 단차부(13)의 상면에는, 리니어 가이드(4)를 구성하는 가이드 레일(41)이 배치되어 있다. 또한, 상측 단차부(14)의 상면에는, 부하 경감 기구(5)를 구성하는 흡착 플레이트(51)가 배치되어 있다.

상기 각 벽부에 의해, 둘러싸인 공간이며 길이 방향으로 연장되는 처리실이 형성된다. 본 실시 형태에서는, 저벽부(11) 및 측벽부(12)가 알루미늄 합금으로 일체로 형성되고, 각 벽부가 기밀하게 조합되므로, 이 처리실을 진공 상태 또는 감압 상태로 할 수 있다.

반송 테이블(2)은, 고정부에 대하여 이동 가능하게 설치된 가동부에 있어서의 이동체로서 기능하고, 하우징(1)의 상방[상세하게는 저벽부(11)의 상방]에 위치한다. 또한 상기 가동부는, 반송 테이블(2), 리니어 모터(3)의 일부, 리니어 가이드(4)의 일부, 부하 경감 기구(5)의 일부로 구성되고, 길이 방향으로 이동 가능하다. 이 반송 테이블(2)은, 리니어 모터(3)가 구동함으로써 하우징(1) 내를 길이 방향으로 이동(왕복 운동) 가능하다. 이 반송 테이블(2)은, 폭 방향에 있어서의 중앙측에 위치하는 적재부(21)와 양단부측에 위치하는 피지지부(22)를 구비한다. 적재부(21)의 상면에 전자 부품 등의 피반송물(예를 들어 실리콘 웨이퍼)이 적재되어 반송된다. 덧붙여 말하면, 반송 테이블(2)의 길이 방향 치수는, 피반송물의 치수에 따라 설정된다. 이 적재부(21)에는, 예를 들어 로봇 아암 등, 피반송물을 반송 테이블(2) 상에서 이동시키거나, 들어올리거나, 회전시키거나 할 수 있는 장치가 배치되어 있어도 된다. 또한, 피지지부(22)는 적재부(21)보다도 일단 하방에 형성되어 있고, 이 피지지부(22)의 하방에는 리니어 가이드(4)가 위치하고, 상방에는 부하 경감 기구(5)가 위치한다.

반송 테이블(2)은, 폭 방향 양단부에, 리니어 모터(3)를 구성하는 2차측 자극부(32)를 지지하기 위한 2차측 지지 브래킷(23)을 구비하고 있다. 이 2차측 지지 브래킷(23)은 판 형상이며, 적재부(21)의 하면으로부터 하방으로 연장된다. 또한, 반송 테이블(2)은, 상기 2차측 지지 브래킷(23)보다도 더욱 폭 방향 외측의 위치에, 리니어 가이드(4)를 구성하는 가이드 블록(42)을 구비하고 있다. 또한, 반송 테이블(2)의 폭 방향 양단부에 있어서의 상면에는, 부하 경감 기구(5)를 구성하는 영구 자석(52)이 장착되어 있다. 또한, 반송 테이블(2)의 길이 방향 위치를 검지하는 센서 중 일부가 설치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 자왜 센서(61)의 자석부(612)이다. 또한, 이 자왜 센서(61)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 하우징(1)에 설치된 길이 방향으로 연장되는 자왜선부(611)에 대하여 자석부(612)가 부여하는 비틀림 변형을 자왜선부(611)의 일단부에 위치하는 검출부(613)가 검출함으로써, 자석부(612)의[즉, 반송 테이블(2)의] 길이 방향 위치를 검지할 수 있다. 또한, 필요에 의해, 반송 테이블(2) 상은 로봇 아암 등의 장치에 급전을 행하기 위한 급전 기구를 구비한다(도시하지 않음).

다음으로 리니어 모터(3)에 대해 설명한다. 이 리니어 모터(3)는, 고정부와 가동부 사이에서(고정부와 가동부에 걸쳐) 구성된다. 본 실시 형태의 리니어 모터(3)는 동기형 리니어 모터이며, 2차측에 영구 자석을 사용한 것이다. 이 리니어 모터(3)는, 길이 방향으로 직선 형상으로 연장되는 일렬의 1차측 자극부(31)와, 이 1차측 자극부(31)에 대하여 평행하게 위치하고, 길이 방향으로 직선 형상으로 연장되는 일렬의 2차측 자극부(32)로 구성되어 있다. 즉, 이 리니어 모터(3)는, 1차측 자극부(31)와 2차측 자극부(32)에 의해 1세트를 구성하고, 1차측 자극부(31)와 2차측 자극부(32)는, 가동부를 고정부에 대하여 이동 가능해지도록 대향 배치된다. 즉, 발하는 추진력이 반송 테이블(2)을 길이 방향으로 이동시키도록 작용하기 위해 대향 배치된다.

하우징(1)은 1차측 자극부(31)를 구비하고, 반송 테이블(2)은 2차측 자극부(32)를 구비한다. 그리고 반송 테이블(2)의 폭 방향에 있어서의 양단부(도 2에 있어서의 좌우 단부)에 일치하도록 하여 한 쌍의 리니어 모터(3, 3)가 위치한다. 즉, 본 실시 형태의 반송 장치는, 반송 테이블(2)의 1대당 2대의 리니어 모터(3)를, 폭 방향에 있어서의 일단부에 1대, 타단부에 1대 구비하고 있다.

1차측 자극부(31)는, 도시는 하고 있지 않지만, 코어 및 코어에 권취된 코일을 구비한다. 또한, 코어가 없이 코일만을 구비한 구조로 할 수도 있다. 상기 코어 및 코일의 조합은, 3상 교류의 U상, V상, W상에 대응하는 순으로 일렬로 배열되어 있고, 코일에의 통전에 의해, 주로 폭 방향에 있어서의 내측으로 자속을 발한다. 코어 및 코일은, 스테인리스 합금 등의 비자성체로 구성된 커버(311)에 의해 덮어져 있다. 이 커버(311)는, 진공 환경하 또는 감압 환경하에서 반송 장치를 사용하는 경우에는, 진공(감압) 영역과 대기 영역의 격벽으로서 기능한다. 이 1차측 자극부(31)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 길이 방향에 대해서는 간헐 배치되어 있다. 또한, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 폭 방향에 대해서는 대향하여 배치되어 있다.

2차측 자극부(32)는, 2차측 지지 브래킷(23)에 스페이서(23a)를 통해 고정된 복수의 영구 자석(321 내지 321)으로 구성된다. 이 복수의 영구 자석(321 내지 321)은, 내측 방향으로 노출하는 자극에 대해, N극과 S극이 길이 방향으로 인접하도록 배치되어 있다. 이 2차측 자극부(32)는, 상기 1차측 자극부(31)의 내측에서, 1차측 자극부(31)에 대하여 소정의 간격(갭)을 유지하도록 대향하고 있다. 즉, 2차측 자극부(32)는 1차측 자극부(31)에 대향하는 위치에 영구 자석(321 내지 321)을 구비한다.

여기서, 종래의 반송 장치에서는, 1개의 2차측 자극부를 1차측 자극부가 폭 방향 양측으로부터 사이에 끼우도록 구성된 것이 존재하고 있었다. 이 구성에 있어서의 2차측 자극부는, 발하는 자속의 방향을 폭 방향의 한쪽(예를 들어 좌측 방향)과 다른 쪽(예를 들어 우측 방향)의 양쪽으로 할 필요가 있다. 이로 인해, 영구 자석을 사용하여 2차측 자극부를 형성하는 경우에는 동일 자극끼리를 접합할 필요가 있었다. 그러나 이 접합은, 자기 반발력이 작용하는 중에서 행할 필요가 있어 작업 효율이 좋지 않았다.

이에 반해, 본 실시 형태의 2차측 자극부(32)는, 영구 자석(321 내지 321)을 길이 방향을 따라 병렬시키는 것만으로 제조할 수 있다. 이로 인해, 상기한 바와 같이 자기 반발력이 작용하는 중에서 영구 자석의 동일 자극끼리를 접합하는 작업을 행할 필요가 없어, 2차측 자극부(32)를 제조할 때의 작업 효율이 좋다.

상기 1차측 자극부(31)와 2차측 자극부(32)로 단체의 리니어 모터(3)가 구성된다. 그리고 한 쌍의 리니어 모터(3, 3)는 폭 방향으로 나뉘어 위치한다. 이에 의해, 도 2에 도시하는 바와 같이, 하우징(1)의 중앙이며, 반송 테이블(2)의 하방에 스페이스(S)를 확보할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 이와 같이 확보된 스페이스(S)에, 도 1에 도시하는 바와 같이, 반송 테이블(2)의 길이 방향 위치를 검지하기 위한 센서[레이저 센서(62)]가 설치되어 있다. 레이저 센서(62)의 레이저 조사부(621)로부터 조사되는 레이저를 반사하여 레이저 센서(62)에 되돌리기 위해, 도시는 하고 있지 않지만, 반송 테이블(2)에 있어서의 적재부(21)의 하부이며, 반사면이 상기 레이저 조사부(621)에 대향하도록 하여 반사경부가 설치되어 있다. 또한, 이 레이저 센서(62)는 상기 자왜 센서(61)와는 다른 센서이다. 본 실시 형태에서는, 반송 테이블(2)의 길이 방향 위치의 검지는 레이저 센서(62)가 주로 행하는 것으로 되어 있고, 자왜 센서(61)는 백업용이다. 이와 같이 스페이스(S)를 확보할 수 있으므로, 반송 장치의 각종 구성 요소를 배치할 때의 자유도를 높일 수 있다.

또한, 단체의 리니어 모터(3)에 있어서의 1차측 자극부(31)와 2차측 자극부(32)의 대향 개소는 1개소이며, 각 자극부(31, 32)의 면끼리가 대향하므로, 종래 존재한, 1차측 자극부의 폭 방향에 있어서의 양측에 2차측 자극부가 위치하는 구성에 비하면, 1차측 자극부(31)와 2차측 자극부(32)의 간격(갭)을 적정값으로 설정하는 작업이 용이하다.

또한, 반송 테이블(2)을 이동시키기 위한 구동력이, 반송 테이블(2)의 폭 방향에 있어서의 양단부에서 발생하므로, 반송 테이블(2)을 휘게 하는 힘의 발생원이 집중되지 않고 분산된다. 이로 인해, 반송 테이블(2)의 휨을 작게 할 수 있다.

리니어 가이드(4)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 하우징(1)측의 길이 방향으로 연장되는 가이드부로서의 가이드 레일(41)에 대하여, 피가이드부로서 반송 테이블(2)에 고정된 가이드 블록(42)이 걸치도록 구성되어 있다. 이 구성에 의해, 반송 테이블(2)의 이동 방향이 규정된다.

가이드 레일(41)과 가이드 블록(42) 사이에는 볼 베어링(도시하지 않음)이 위치하고 있어, 작은 저항으로 가이드 블록(42)을 가이드 레일(41)을 따라 이동시킬 수 있다. 이 리니어 가이드(4)는, 리니어 모터(3)보다도 폭 방향에 있어서의 더욱 외측에 위치한다.

종래와 같이 하우징(1)의 중앙에 리니어 모터(3)를 구비한 구성에 비하면, 리니어 모터(3)와 리니어 가이드(4)를 접근시킬 수 있다. 이로 인해, 리니어 모터(3)의 추진력에 의해 발생하는 반송 테이블(2)의 변위를 작게 할 수 있다. 따라서, 리니어 가이드(4)(특히 볼 베어링)에 가해지는 부하를 경감할 수 있다. 특히, 진공 환경하 또는 감압 환경하에서 사용되는 반송 장치에서는, 윤활유가 비산하는 것에 의한 오염을 방지하기 위해, 윤활유를 사용한 베어링에 비해 내구성이 낮은 오일리스 베어링이 사용되므로, 이 부하 경감에 의해 리니어 가이드(4)를 장수명화할 수 있다.

부하 경감 기구(5)는, 하우징(1)측에 위치하는 자성체를 갖는 흡착 플레이트(51)와, 반송 테이블(2)측에 위치하는 영구 자석(52)을 갖고 있다. 흡착 플레이트(51)는 영구 자석(52)의 상방에 위치한다. 이 부하 경감 기구(5)는 리니어 가이드(4)의 바로 위에 위치하고 있다(또한, 본 명세서에 있어서의 「바로 위」라 함은, 개념상, 수직 상방에만 한정되지 않고 수직 상방의 근방 위치도 포함함). 이 구성에 의해, 흡착 플레이트(51)에 대한 영구 자석(52)의 자기 흡인력으로 반송 테이블(2)이 상방(바로 위)으로 가압된다. 이 반송 테이블(2)에 작용하는 가압력의 분, 리니어 가이드(4)에 가해지는 중량 부하가 경감된다. 이로 인해, 리니어 가이드(4)의 볼 베어링에 가해지는 부담을 작게 할 수 있어, 리니어 가이드(4)를 장수명화할 수 있다. 또한, 영구 자석을 사용함으로써, 부하 경감 기구(5)의 구성을 간략화할 수 있다.

이상, 본 발명에 대해 일 실시 형태를 들어 설명해 왔지만, 본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.

예를 들어, 본 실시 형태의 반송 장치는 하우징(1) 내의 처리실을 진공 환경 또는 감압 환경으로 하는 것이지만, 이에 한정하지 않고, 대기 환경에서 사용되는 것이어도 된다. 또한, 처리실을 불활성 가스 환경으로 해도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 1차측 자극부(31)가 폭 방향에 있어서 외측에 위치하고, 2차측 자극부(32)가 내측에 위치하고 있지만, 도 3에 도시하는 바와 같이, 1차측 자극부(31)가 내측에 위치하고, 2차측 자극부(32)가 외측에 위치해도 된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 1차측 자극부(31)와 2차측 자극부(32)가 수평 방향(좌우 방향)으로 병렬되어 있지만, 도 4에 도시하는 바와 같이, 상하 방향으로 병렬되어 있어도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 하우징(1)이 1차측 자극부(31)를 구비하고, 반송 테이블(2)이 2차측 자극부(32)를 구비하지만, 반대로, 하우징(1)이 2차측 자극부(32)를 구비하고, 반송 테이블(2)이 1차측 자극부(31)를 구비해도 된다.

또한, 본 실시 형태의 1차측 자극부(31)는 길이 방향으로 간헐 배치되어 있지만, 연속 배치되어 있어도 된다. 또한, 본 실시 형태의 1차측 자극부(31)는 폭 방향에 있어서의 중심선에 대하여 대칭 배치되어 있지만, 치우쳐 배치되어 있어도 된다. 단, 반송 장치를 진공 환경하 또는 감압 환경하에서 사용하는 경우에는, 감압에 수반하는 각 구성 요소의 변형이 불균일해지는 것을 억제하기 위해, 대상 배치로 하는 것이 바람직하다.

또한, 2차측 자극부(32)가 코어 및 코어에 권취되는 코일을 구비해도 된다.

또한, 부하 경감 기구(5)는, 리니어 가이드(4)의 바로 아래(본 명세서에 있어서의 「바로 아래」라 함은, 개념상, 수직 하방에만 한정되지 않고 수직 하방의 근방 위치도 포함함)에 위치해도 된다. 또한, 예를 들어 영구 자석의 동일 자극을 대향시키고, 자기 반발력에 의해 반송 테이블(2)을 상방으로 가압해도 된다. 또한, 영구 자석 대신에 전자석이 사용되어도 된다.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 길이 방향은 직선 방향(직선을 따르는 방향)이었지만, 이것에 한정되지 않고, 하우징(1)이 만곡된 형상이나 환 형상으로 됨으로써, 길이 방향이 곡선을 따르는 방향으로 되어도 된다.

1 : 고정부, 하우징
2 : 이동체, 반송 테이블
23 : 장착부, 2차측 지지 브래킷
3 : 리니어 모터
31 : 1차측 자극부
32 : 2차측 자극부
4 : 리니어 가이드
41 : 가이드부, 가이드 레일
42 : 피가이드부, 가이드 블록
5 : 부하 경감 기구

Claims

고정부와,
상기 고정부에 대하여 이동 가능하게 설치된 가동부와,
상기 고정부와 상기 가동부 사이에서 구성되는 한 쌍의 리니어 모터와,
상기 가동부의 이동 방향을 규정하는 리니어 가이드를 구비하고,
상기 리니어 모터는, 1차측 자극부와 2차측 자극부에 의해 1세트를 구성하고, 당해 1차측 자극부와 2차측 자극부는, 상기 가동부를 상기 고정부에 대하여 이동 가능해지도록 대향 배치되고,
상기 가동부는,
피반송물을 반송하는 것이 가능한 이동체와,
당해 이동체에 있어서의 상기 가동부의 이동 방향과 직교하는 폭 방향의 양단부에 위치하는 상기 1차측 자극부 또는 2차측 자극부 중 한쪽을 구비하고,
상기 고정부는 상기 1차측 자극부 또는 2차측 자극부 중 다른 쪽을 구비하고,
상기 고정부가 상기 폭 방향의 양단부에 나누어져 구비됨으로써, 상기 한 쌍의 리니어 모터에 있어서, 한쪽의 리니어 모터와 다른 쪽의 리니어 모터의 사이에 적재 스페이스를 형성하고,
상기 리니어 가이드는, 상기 폭 방향의 양단부에 나누어져 위치하고,
상기 폭 방향의 양단부에 나누어져 있고, 상기 리니어 가이드의 바로 위 또는 바로 아래에 위치하는 부하 경감 기구를 구비하고,
상기 부하 경감 기구는, 자기 반발력 또는 자기 흡인력에 의해 상기 가동부를 상방으로 가압함으로써, 상기 리니어 가이드에 가해지는 중량 부하를 경감하는, 반송 장치.
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제1항에 있어서, 상기 고정부는, 상기 가동부를 하방으로부터 지지하는 지지부를 구비하고,
상기 지지부는, 상기 가동부의 이동 방향을 규정하기 위한, 길이 방향으로 연장되는 가이드부를 구비하고,
상기 가동부는, 상기 가이드부에 결합하면서 이동 가능한, 피가이드부를 구비하고,
상기 가이드부 및 상기 피가이드부는, 상기 리니어 가이드를 구성하고,
상기 가이드부 및 피가이드부는, 상기 고정부 및 가동부의 상기 폭 방향에 있어서의 양단부에 나누어져 위치하고,
상기 부하 경감 기구는 상기 가이드부 및 피가이드부에 가해지는 중량 부하를 경감하는 것이고,
상기 가동부는, 폭 방향에 있어서의 양단부이며, 상기 가이드부 및 피가이드보다도 폭 방향에 있어서의 내측에, 상기 1차측 자극부 또는 2차측 자극부 중 어느 하나를 장착하기 위한 장착부를 구비하는, 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 2차측 자극부는 상기 1차측 자극부에 대향하는 위치에 영구 자석을 구비하는, 반송 장치.