JP5549062B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1には、隔壁で形成され内部が真空状態に保持された真空トンネルと、真空トンネル内に配置された搬送台と、搬送台を非接触状態にて浮上支持する複数の浮上用電磁石と、搬送台を走行移動させるリニアモータとを備えた磁気浮上真空搬送装置が記載されている。
また、特許文献2には、真空容器外に真空容器内の軌道に沿って移動可能に配置された、コア及びコイルを有する電機子と、真空容器内の搬送台に連結された2次磁極とを備えた真空容器内搬送装置が記載されている。
前記第1のコアは、前記本体に固定される。
前記可動部は、前記本体に対して移動可能に設けられる。
前記第2のコアは、前記可動部に固定され、前記第1のコアとの間での磁気的相互作用により前記可動部を前記本体に対して水平方向に移動させる力と、前記可動部を鉛直方向に押し上げる力を発生させる。
前記ガイド部は、前記可動部の前記本体に対する移動をガイドする。
図2は、本実施形態に係る搬送装置100の断面図である。
図3は、本実施形態に係る搬送装置100の平面図である。
搬送ロボット10は、真空室1内に配置された、半導体ウエハや液晶ディスプレイに用いられるガラス基板等の図示しない搬送対象物を把持等して搬送する
ガイドレール71は、底面116に、Y軸方向に延伸するように設けられる。本実施形態に係るガイドレール71は、凸部116aの両側に2本が配置されている。
被ガイド体72は、支持台4の下段部42の底面116側の面(裏面)側に、ガイドレール71に係合するように設けられる。
リニアガイド7の材質は特に限定されないが、例えば、鉄(表面処理)、ステンレス鋼等を用いることができる。なお、大気搬送の場合には、リニアガイド7の構成材料として、上記以外の材料のほか、例えば樹脂(プラスチック)等を用いることができる。
図5は、リニアモータ5のX−Y平面における断面図である。
リニアモータ5は、固定子51(第1のコア)と可動子52(第2のコア)から構成される。
リニアスケール31から得られたスケール情報は、コントローラボックス9内のリニアモータドライバ95に送信され、リニアモータドライバ95は、この情報に基づきリニアモータ5の駆動を制御する。
電力供給機構2は、1次側電磁石21から電磁誘導により発生する磁場を用いて2次側電磁石22に電力を供給する。例えば1次側電磁石21及び2次側電磁石22は、E型コア211、221、これに巻回されたコイル212、222をそれぞれ備えている。
本実施形態では、1次側電磁石21及び2次側電磁石22の両方が大気圧下に置かれているので、両電磁石21及び22が含むコイル221及び222の絶縁用のワニスや、樹脂モールド等からガスが発生することを防止できる。
本実施形態では、制御器93、リニアモータドライバ95等が、2次側電磁石22と同様にコントローラボックス9に収容されている。したがって、制御器93等に含まれる回路基板、回路素子等が真空下に晒されることがなく、それらに悪影響を与えることを防止できる。また、2次側電磁石22と制御器93等とを接続する電気ケーブル97もコントローラボックス9内に収容することができ、ガスの発生を防止できる。
制御器93により搬送ロボット10に電力が供給され、搬送対象物が搬送ロボット10により把持等され、搬送が開始される。
X軸方向については、2つの可動子52と固定子51との間の引力が相殺される。
すなわち、当該磁気相互作用により、可動子52は、推進力であるY軸方向の成分と浮上力であるZ軸方向の成分を有する引力を受ける。この推進力と浮上力の割合は、可動子52の固定子51に対する位置を調節することにより、適宜調整可能である。
また、X軸方向についても、可動子52と固定子51との距離に応じて可動子52に印加する電流を制御することにより、リニアガイド7に掛かるX軸方向の負荷を軽減することが可能である。
以降の説明では、上述の実施形態に係る搬送装置100の構成あるいは動作と同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。
図6は、本実施形態に係る搬送装置300の断面図である。
図7に示すように、誘導反発機構6は、アルミニウム、銅などの非磁性導電体61と、永久磁石62から構成される。非磁性導電体61は、底面116にY軸方向に沿って延設され、永久磁石62は支持台4の下段部42に設けられる。
7 リニアガイド
11 隔壁
51 固定子
52 可動子
100 搬送装置
300 搬送装置
400 搬送装置
Claims (7)
- 本体と、
前記本体に固定され、水平方向に延伸する第1のコアと、
前記本体に対して移動可能に設けられた可動部と、
前記可動部に固定され、前記第1のコアとの間での磁気的相互作用により前記可動部を前記本体に対して水平方向に移動させる力と、前記可動部を鉛直方向に押し上げる力を発生させる第2のコアと、
前記可動部の前記本体に対する移動をガイドするガイド部であって、前記本体に配設され、前記第1のコアに平行に延伸するガイドレールと、前記可動部に配設され、前記ガイドレールに沿って移動する被ガイド体とを備えるガイド部と
を具備し、
前記第1のコア及び前記第2のコアの磁化方向は水平方向であり、
前記第1のコアの鉛直方向における中心は、前記第2のコアの鉛直方向における中心に対して鉛直上方側にずれている
搬送装置。 - 本体と、
前記本体に固定され、水平方向に延伸する第1のコアと、
前記本体に対して移動可能に設けられた可動部と、
前記可動部に固定され、前記第1のコアとの間での磁気的相互作用により前記可動部を前記本体に対して水平方向に移動させる力と、前記可動部を鉛直方向に押し上げる力を発生させる第2のコアと、
前記可動部の前記本体に対する移動をガイドするガイド部であって、前記本体に配設され、前記第1のコアに平行に延伸するガイドレールと、前記可動部に配設され、前記ガイドレールに沿って移動する被ガイド体とを備えるガイド部と
を具備し、
前記第1のコア及び前記第2のコアは、水平方向に対して斜向する方向に対向し、前記第1のコアは前記第2のコアに対して鉛直上方側に位置する
搬送装置。 - 請求項1又は2に記載の搬送装置であって、
前記第1のコアは、前記可動部が移動する方向に沿って延設され、
前記第2のコアは、前記可動部の移動に伴い、前記第1のコアの、前記第2のコアと対向する部分と磁気的相互作用する
搬送装置。 - 請求項3に記載の搬送装置であって、
前記第1のコアは、磁性体であり、
前記第2のコアは、電磁石である
搬送装置。 - 請求項4に記載の搬送装置であって、
前記第1のコアは、真空環境内に配置される
搬送装置。 - 請求項5に記載の搬送装置であって、
前記第2のコアは、非真空環境内に配置される
搬送装置。 - 磁場を透過する第1磁場透過部材が設けられた真空室と、
前記真空室外に配置され、前記第1磁場透過部材に面する1次側電磁石と、
前記真空室内に配置された磁性材料からなる第1のコアと、
前記真空室に対して可動する可動部と、
前記可動部に固定され、内部を前記真空室の室内環境から隔離する容器であって、前記可動部の可動範囲において前記第1磁場透過部材に対向する第2磁場透過部材が設けられた容器と、
前記容器内に収容され、電力供給を受けて磁力を発生する電磁石であり、前記第1のコアとの間での磁気的相互作用により前記可動部を前記本体に対して水平方向に移動させる力と、前記可動部を鉛直方向に押し上げる力を発生させる第2のコアと、
前記容器内に収容され、前記第2のコアに駆動電力を供給する駆動回路と、
前記容器内に収容され、前記可動部の可動範囲において、前記第2磁場透過部材及び前記第1磁場透過部材を介して前記1次側電磁石から供給された電力を前記駆動回路に供給する2次側電磁石と、
前記可動部の前記真空室に対する移動をガイドするガイド部と
を具備する搬送装置。
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JP2008204863A JP5549062B2 (ja) | 2008-08-07 | 2008-08-07 | 搬送装置 |
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JP5549062B2 true JP5549062B2 (ja) | 2014-07-16 |
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Family Applications (1)
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