JP6165992B2 - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、磁気浮上搬送装置に関するものであり、より詳しくは、重い搬送トレイを搬送距離の制限なしで、真空中で、高精度にサーボ制御が可能な磁気浮上搬送システムに関するものである。

一的に、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）基板、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）基板、ＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅｓ）基板、半導体ウエハー、搬送トレイ、カセット又はキャリアなどのような搬送体を搬送する搬送システムとしては磁気浮上搬送システム（Ｍａｇｎｅｔｉｃａｌｌｙ ｌｅｖｉｔａｔｅｄ ｔｒａｎｓｐｏｒｔａｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ）を主に適用している。

磁気浮上搬送システムは、パーティクル発生問題、摩擦、摩耗に伴う部品の損傷問題、また、騷音誘発問題を解消することができると共に、被搬送物を高速で搬送することができる長所がある。

磁気浮上搬送システムは、被搬送物が積載された搬送体を磁気力で浮上して運行させるシステムであり、搬送体とレールと間の機械的な接触や摩擦がないためエネルギー損失がなく、無騒音、低振動、超清浄搬送システムを具現することができる。また、このような磁気浮上搬送システムは、真空中でも作動が可能であり、人体に危険な気体又は液体中でも作動が可能であり、従って、多方面で活用が可能となる。

磁気浮上搬送システムの場合、磁気浮上力とガイド力、推進力などが求められており、普通、浮上電磁石から磁気浮上力及びガイド力が提供され、リニア誘導モーター又はリニア同期モーターなどから推進力が提供される。

例えば、磁気浮上力は、電磁石の巻線に流れる電流を制御しながら、電磁石と搬送体と間のその垂直方向（浮上力と同じ方向）の吸入力を調節し、電磁石と搬送体が互いに一定の間隔で保持するようにする方式で得られ、ガイド力は、電磁石と搬送体と間の水平方向（浮上力と推進力に垂直の方向）で発生され、搬送体が軌道からの離脱を防止する。

このような磁気浮上搬送システムは、超清浄環境が求められる半導体やディスプレイなどのような部品の製造ラインなど、各種工場の自動化ラインで部品若しくは半製品、製品を搬送するシステムとして広く活用されている。

しかし、従来の磁気浮上搬送システムは、ＬＣＤやＬＥＤなどのようなディスプレイ製品が積載される搬送体側に浮上電磁石（電磁石コア及び駆動巻線を含む）が備わる形態でなっており、搬送体の電磁石コイルから発生した熱がディスプレイ製品側に伝達され、熱に敏感なディスプレイ製品に損傷を与える問題があった。

さらに、ＬＣＤ、ＬＥＤ、ＯＬＥＤなどの表示パネルの大きさが次第に大きくなるにつれて、これを搬送する磁気浮上搬送システムが負うべき重さも大きくなった。例えば、８世代のＯＬＥＤ製造工程ではガラス基板及び搬送トレイの重さが１トン以上になることが予想されており、個別の工程別搬送距離も数十メートルになることが予想されている。

従って、それによる電磁石の大きさもさらに大きくなり、そこから発生される熱もさらに大きくなることが予想される。しかし、従来の磁気浮上搬送システムに適用される電磁石ではこのような目的を達成するには限界があった。

また、大きさがより大きくなり、鮮明度がさらに良くなった表示パネルの作製が求められるようになり、このような表示パネルの搬送過程でより高い精密度が必要とされているが、従来の磁気浮上搬送システムではこのような精密度を高めるには限界があった。

本発明は、浮上用電磁石のコイルを搬送体でない固定レールに設けることによって、コイルから発生された熱が搬送体に影響を与えることを防止することができる磁気浮上搬送装置を提供することを目的とする。

また、浮上用電磁石のコイルをチャンバの外部に配置して、冷却効率をさらに高めることができる磁気浮上搬送装置を提供することを目的とする。

また、さらに速く搬送体を搬送させながらも、より正確な位置に搬送体を位置させることができるように、移動子推進モジュールと移動子ガイドモジュールが搬送トレイ（搬送体）側に設けられた磁気浮上搬送装置を提供することを目的とする。

また、浮上用電磁石より発生された熱をさらに効率的に除去するために浮上用電磁石のコアに隣接して冷却配管が備えられた磁気浮上搬送装置を提供することを目的とする。

本発明は、搬送トレイを浮上させるための磁気力を提供するために、前記搬送トレイの搬送方向に沿ってチャンバの上部に形成され、前記搬送トレイを浮上させるための磁気力を提供する一つ以上の浮上用電磁石と、前記浮上用電磁石と対向するよう前記搬送トレイ側に設けられ、前記浮上用電磁石の磁気力との引力作用によって、前記搬送トレイを浮上させる一つ以上の第１強磁性体コアと、前記搬送トレイを水平方向に搬送させる磁気力を提供するために、前記搬送トレイの搬送方向に沿って前記チャンバの内側の少なくとも１面に形成される一つ以上の固定子コイルと、前記搬送トレイの搬送方向に沿って前記搬送トレイの少なくとも１面に備えられ、前記固定子コイルが提供する磁気力との引力又は斥力作用によって、前記搬送トレイの水平方向推進力を提供する一つ以上の移動子推進モジュールと、前記移動子推進モジュールが設けられる方向に沿って設けられ、前記固定子コイルとの引力又は斥力作用によって、前記搬送トレイと前記チャンバと間の間隔を調整する一つ以上の移動子ガイドモジュールと、を含むことを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記搬送トレイと前記チャンバと間の間隔を調節するための磁気力を提供するために、前記搬送トレイの搬送方向に沿って前記チャンバの内側の少なくとも１面に形成される一つ以上のガイド用電磁石と、前記ガイド用電磁石が提供する磁気力との引力作用によって、前記搬送トレイと前記チャンバと間の間隔を調節するよう前記ガイド用電磁石に対向される前記搬送トレイ上に形成される一つ以上の第２強磁性体コアと、を、更に含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置を提供する。

前記固定子コイルは、中心部が空いた長方形の形状であり、前記固定子コイルの横又は縦のうち、短い側が前記搬送トレイの搬送方向と平行したことを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。また、前記ガイド用電磁石は、前記チャンバの外側から内側を貫通するコアと、前記チャンバの外側のコアに巻き取られるコイルと、を含むことを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記移動子推進モジュールは、前記固定子コイルの各面中で、前記搬送トレイの進行方向に垂直の方向の面から受ける磁気力の強さが、前記搬送トレイの進行方向に平行の方向の面から受ける磁気力の強さより更に大きいことを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記移動子ガイドモジュールは、前記固定子コイルの各面中で、前記搬送トレイの進行方向に平行の方向の面から受ける磁気力の強さが、前記搬送トレイの進行方向に垂直の方向の面から受ける磁気力の強さより更に大きいことを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記移動子推進モジュールは、前記固定子コイルの上面又は下面をそれぞれ囲む一つ以上の永久磁石を含む。前記固定子コイルの上面又は下面に対向される永久磁石の極は、Ｎ極又はＳ極の一つであり、隣接する前記永久磁石間の極性は、互いに交互に配置されることを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記移動子ガイドモジュールは、前記固定子コイルの上面又は下面の一部をそれぞれ囲む一つの永久磁石を含み、前記固定子コイルの上面又は下面に対向される永久磁石の極は、Ｎ極又は一つであることを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記移動子ガイドモジュールは、前記固定子コイルの上面又は下面の一部をそれぞれ囲む２つ以上の永久磁石を含み、前記移動子ガイドモジュールの隣接する永久磁石間の極性は、互いに同じ極性を有することを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

前記移動子推進モジュールの永久磁石の長手方向は、前記搬送トレイの搬送方向に垂直の方向であり、前記移動子ガイドモジュールの永久磁石の長手方向は、前記搬送トレイの搬送方向に平行の方向であることを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記浮上用電磁石は、前記チャンバの外側から内側を貫通されるコアと、前記チャンバの外側のコアに巻き取られるコイルと、を含むことを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記搬送トレイの搬送過程中に駆動される固定子コイルは、前記移動子推進モジュールと対向される固定子コイルであることを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記搬送トレイの搬送過程中に駆動される固定子コイルは、前記移動子ガイドモジュールと対向される固定子コイルであることを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記搬送トレイの搬送過程中に駆動される浮上用電磁石は、前記搬送トレイの第１強磁性体コアと対向される浮上用電磁石であることを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記搬送トレイの搬送過程中に駆動されるガイド用電磁石は、前記搬送トレイの第２強磁性体コアと対向される浮上用電磁石であることを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記コアは、一つ以上のレッグを有し、前記コイルは、前記コアのレッグの一つ以上のレッグに巻き取られることを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

また、前記コアより発生される熱を吸収するために、前記コアの一つ以上のレッグに隣接して形成される冷却配管を、更に含むことを特徴とする磁気浮上搬送装置を提供する。

前述したように、本発明に係る磁気浮上搬送装置では以下通りの効果がある。

第一に、電磁石のコイルを磁気浮上装置のチャンバ外側に搬送させることによって、ＬＣＤ、ＬＥＤ又はＯＬＥＤなどの表示パネルの半製品又は完成品が電磁石コイルなどから発生する熱によって損傷されることを防止することができる。

第二に、電磁石のコイルを磁気浮上チャンバの外側に搬送させることによって、熱発生問題を考慮しなくても済むので、さらに大きな磁気力を発生するために、コイルの巻数が更に大きな電磁石を用いて、より大型の表示パネルを安全に搬送することができる効果を奏する。

第三に、発熱の激しい電磁石のコイルを磁気浮上チャンバの外側に搬送させることによって、熱発生による表示パネル及び搬送トレイ自体の変形を防止することができるので、広い面積を有する搬送体を搬送する過程でもマイクロメーター級以下の精密した位置制御が可能になる効果を奏する。

第四に、電磁石のコイル及びコアに隣接する位置に冷却配管が位置して、電磁石から発生した熱をより速く効率的に除去することができる効果を奏する。

第五に、搬送トレイ側に永久磁石が異なるように配列された移動子推進モジュールと移動子ガイドモジュールとが形成され、別途のコイルなしで搬送コイルだけでも搬送トレイの推進と姿勢を制御することができる効果を奏する。

本発明の実施例は添付図面と共に記述される下記詳細な説明によってさらに詳しく理解される。ここで、
本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上装置を示す概略図である。 図１のＡ部分を詳細に示した図である。 本発明の浮上用電磁石の好ましい実施例を示す正面図である。 本発明の浮上用電磁石の好ましい実施例を示す斜視図である。 本発明の浮上用電磁石の別の実施例を示す正面図である。 本発明の浮上用電磁石の別の実施例を示す斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を簡略に示す図である。 図７のＢ部分を拡大して詳細に示した図である。 図７のＢ部分の示す斜視図である。 図９の斜視図において、搬送トレイ部分のみを示した図である。 移動子推進モジュールと移動子ガイドモジュールが取り付けられた搬送トレイの様子を詳細に示した図である。 本発明の好ましい実施例に係る移動子推進モジュールと固定子コイルと間の作動関係及び相対的位置を概略的に示した図である。 本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の移動子ガイドモジュールを詳細に示した図である。 本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を示す図である。 本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を示す図である。 本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を示す図である。 本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を示す図である。

以下、添付した図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。

本発明は、多様に変更され種々な形態を有することができるところ、特定実施例は図面に例示して、本文に詳細に説明する。しかし、これは、本発明を特定の開示形態について限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変更、均等物〜代替物を含むものとして理解されるべきであろう。

図１は、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上装置を示す概略図である。

本発明の好ましい実施例の磁気浮上装置は、ＬＥＤ、ＬＣＤ又はＯＬＥＤパネルなどが蒸着される過程が遂行される真空若しくは非真空のチャンバ２００、チャンバ２００内部に備えられ、ＬＥＤ、ＬＣＤ又はＯＬＥＤパネルなどの搬送を担当する搬送トレイ１００、このような搬送トレイ１００に上側方向に浮上力を提供する浮上用電磁石（Ｌｅｖｉｔａｔｉｏｎ Ｍａｇｎｅｔ）３００、搬送トレイ１００とチャンバ２００と間の間隔を調節するガイド用電磁石（Ｇｕｉｄａｎｃｅ Ｍａｇｎｅｔ）４００、搬送トレイ１００に水平方向推進力を提供する固定子コイル（Ｓｔａｔｏｒ Ｃｏｉｌ）５１０、固定子コイル５１０から発生する磁気力との引力又は斥力作用によって搬送トレイ１００を水平方向へ搬送させる永久磁石６００を含んで構成される。

チャンバ２００中には、パネルに付着させる物質を蒸発させる蒸発源１０が設けられる。また、チャンバ２００内部は、蒸発源１０が蒸発され、搬送トレイ１００により搬送される搬送体２０に蒸発物質が容易に付着されるように真空状態であってもよい。

搬送体２０は、搬送トレイ１００に静電チャックを用いて付着することができる。しかし、搬送体２０と搬送トレイ１００と間の結合は、必ずしも静電チャックを用いる方式に限定されなく、搬送体２０を搬送トレイ１００に堅く付着できる方式であればいずれの方式であってもよい。搬送トレイ１００の搬送体２０は、表示パネルであってもよいが、これに限定されるものではなく、運送が必要ないかなる物体であっても搬送トレイに積載され、搬送することができる。

搬送トレイ１００は、チャンバ２００上端に付着されている浮上用電磁石３００によって浮上される。そのために、浮上用電磁石３００と対向される位置に、搬送トレイ１００はコアが備えられる。搬送トレイ１００を安定的に浮上させるために、浮上用電磁石３００はチャンバ２００の上端で二つ以上の列をなして形成されてもよい。

搬送トレイ１００がチャンバ２００内で浮上すれば、搬送トレイ１００を所望の位置に搬送させるために、固定子コイル５１０が作動する。そのために、固定子コイル固定用ジグ５００に付着された固定子コイル５１０は、コイルに流れる電流の方向に沿って磁気力を発生させる。また、このような固定子コイル５１０は、それぞれの一つの固定子コイル５１０がモーターの一つの相を担当することができる。

固定子コイル５１０と対向される側には、固定子コイル５１０により発生される磁場との引力と斥力作用により、搬送トレイ１００を水平方向搬送させる永久磁石６００が備えられる。このような永久磁石６００は、後記する移動子推進モジュール（Ｍｏｖｅｒ Ｐｒｏｐｕｌｓｉｏｎ Ｍａｇｎｅｔ）１１０と移動子ガイドモジュール（Ｍｏｖｅｒ Ｇｕｉｄａｎｃｅ Ｍａｇｎｅｔ）１２０に含まれて構成される。

固定子コイル５１０の上端には、搬送トレイ１００とチャンバ２００と間の左右間隔を調節する役割を遂行するガイド用電磁石４００が備えられる。ガイド用電磁石４００は、搬送トレイ１００の位置をさらに細かく調節することができる。

図２は、図１のＡ部分を詳細に示した図である。
搬送トレイ１００のチャンバ２００側に隣接する部分には、移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０が形成される。このような移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０は、搬送トレイ１００の下端に形成される。しかし、必ずしも下端に備えられるものに限定されなく、チャンバ２００の固定子コイル５１０が設けられる位置に応じて対向される位置に修正することができる。従って、このような移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０とは、搬送トレイ１００の側面又は上端など自由な位置に形成される。

移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の内部には、永久磁石６００が設けられる。このような永久磁石は、固定子コイル５１０の上面と下面を囲むように形成される。即ち、永久磁石６００の一つは、固定子コイル５１０の上面を囲むように形成され、他のもう一つの永久磁石６００は、固定子コイル５１０の下面を囲むように形成される。また、このような永久磁石６００は、固定子コイル５１０の大部分を覆っていてもよく、一部分を覆う方式で形成されていてもよい。移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０に備えられる永久磁石６００の形状は、その目的に応じて異なっていてもよい。

固定子コイル５１０は、一側面がチャンバ２００の床や側面若しくは特定定盤上に固定されて支持される。固定子コイル５１０は、搬送トレイ１００の搬送方向に沿ってチャンバ２００の内側に一つ以上が一列に形成される。

チャンバ２００の上部には、浮上用電磁石３００が設けられてもよい。浮上用電磁石３００は、チャンバ２００の上部面と側面とが当接する個所に隣接して設けられるが、これに限定されない。

磁気浮上コイル３００は、鉄心などからなるコア３１０とコア３１０を囲むコイル３２０とを含んで形成される。浮上用電磁石３００のコア３１０は、チャンバ２００の外側から内側を貫通して形成される。このようなコア３１０は、複数の脚、即ち、レッグ（ｌｅｇ）を有するように作製される。このようなレッグは、一つ以上備えられてもよい。このようなコア３１０のチャンバ２００外側に突出された側には、コイル３２０が巻かれてもよい。コイル３２０が真空状態を維持するチャンバ２００の内側ではなく、外部に備えられることによって、コイル３２０から発生される熱が搬送体２０に影響を与えることを最小化することができる。また、熱発生問題により浮上用電磁石３００の大きさが制限されることを克服することができるので、より大きな浮上力を提供する浮上用電磁石３００を使用することができる。

チャンバ２００の側面には、ガイド用電磁石４００が設けられる。ガイド用電磁石４００は、チャンバ２００に付着される浮上用電磁石３００と類似な方式で作製される。ガイド用電磁石４００もチャンバ２００の外側から内側を貫通するコア４１０と、このようなコアに巻き取られるコイル４２０とを含んで作製される。このようなガイド用電磁石４００は、搬送トレイ１００とチャンバ２００と間の間隔を調節するための磁気力を提供することができる。ガイド用電磁石４００は、搬送トレイ１００の搬送方向に沿ってチャンバ２００の壁に一つ以上が形成される。

浮上用電磁石３００とガイド用電磁石４００に対向される位置には、コアが搬送トレイ１００上に位置してもよい。浮上用電磁石３００に対向される位置に設けられた第１強磁性体コア７１０は、浮上用電磁石３００から発生した磁気力との引力作用により、搬送トレイ１００が空中に浮上できる浮上力を提供することができる。また、ガイド用電磁石４００と対向される位置に形成される第２強磁性体コア７２０は、ガイド用電磁石４００から発生する磁気力との引力作用により、チャンバ２００内の搬送トレイの左右間隔を調節することができる。即ち、チャンバ２００左側と右側に一列に配置されるガイド用電磁石４００から発生する磁気力の差に応じて、搬送トレイ１００の左右間隔を調節することができる。

図３は、本発明の浮上用電磁石３００の好ましい実施例を示す正面図である。
浮上用電磁石３００のコア３１０は、三つのレッグを有するように作製される。

この三つのレッグは、チャンバ２００を貫通して、レッグの一部がチャンバ２００内部に突出するように作製されてもよい。また、三つのレッグのうち、真ん中のレッグにはコイル３２０が巻き取られる。コイル３２０に電流が流れれば、磁気力がコア３１０に沿って発生するようになり、コア３１０中の一部がチャンバ２００内側に貫通されているので、搬送トレイ１００上の第１強磁性体コア７１０との引力作用により搬送トレイ１００が空中に浮揚される。また、チャンバ２００は、非磁性体で作製され、浮上電磁石３００から発生する磁気力を妨害しない。

図４は、本発明の浮上用電磁石３００の好ましい実施例を示す斜視図である。
大きな浮上力を提供するためには、コイル３２０の巻き取られる数が多くならなければならない。コア３１０に巻き取られるコイル３２０の数が多くなるほど浮上用電磁石３００の体積は大きくなる共に、このようなコイル３２０から発生する熱も多くなる。これは、コイル３２０が、電流が流れることで抵抗として作用するからである。本発明の好ましい実施例に係る浮上用電磁石３００によれば、コイル３２０がチャンバ２００の外部に備えられているので、コイル３２０から発生される熱が、チャンバ２００内部に伝達されることを防げる同時に、コア３１０の一部はチャンバ２００内部に突出されているので、大きな浮上力はそのまま搬送トレイ１００に伝達することができる効果がある。

図５は、本発明の浮上用電磁石３００の別の実施例を示す正面図である。
図５の浮上用電磁石３００は、二つのレッグを備えるように作製される。このようなコア３１０のレッグもまたチャンバ２００の外側から内側を貫通するよう形成される。また、浮上用電磁石３００の二つのレッグには、それぞれコイル３２０が巻き取られる。

図６は、本発明の浮上用電磁石３００の別の実施例を示す斜視図である。
本発明の浮上用電磁石３００の別の実施例では、コイル３２０から発生される熱を除去するために、冷却配管３３０が更に備えられてもよい。冷却配管３３０は、コア３１０に隣接して、コイル３２０の下端に設けられる。しかし、必ずしもこれに限定されなく、浮上用電磁石３００から発生された熱を效果的に除去するためには、どのような方式であっても浮上用電磁石３００側に備えられる。

図７は、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を簡略示す図である。

本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置のさらに別の実施例は、ＬＥＤ、ＬＣＤ又はＯＬＥＤパネルなどが蒸着される過程が遂行されるチャンバ２００、チャンバ２００内部に備えられ、ＬＥＤ、ＬＣＤ又はＯＬＥＤパネルなどの搬送を担当する搬送トレイ１００、このような搬送トレイ１００に上側方向に浮上力を提供する浮上用電磁石３００、搬送トレイ１００に水平方向推進力を提供する固定子コイル５１０、固定子コイル５１０から発生する磁気力との引力又は斥力作用により、搬送トレイ１００を水平方向に搬送させる永久磁石６００を含んで構成される。また、このようなチャンバ２００内部には、蒸発源１０と蒸発物質が蒸着される搬送体２０が備えられる。

図７で、ガイド用電磁石４００は、図１と違って省略されている。これは、図７の実施例の磁気浮上搬送装置は、搬送トレイ１００上の永久磁石６００が備えられた移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０を介してガイド用電磁石４００がなくても搬送トレイ１００の左右間隔及び姿勢を調節することができるためである。従って、本発明の好ましい実施例に係るガイド用電磁石４００は、搬送トレイ１００搬送過程による精密度に応じて、採択可否を決定することができる仕様である。

チャンバ２００の中には、パネルに付着させる物質を蒸発させる蒸発源１０が設けられる。チャンバ２００内部は蒸発源１０が蒸発され、搬送トレイ１００により搬送される搬送体２０に蒸発物質が容易に付着されるように真空状態であってもよい。

チャンバ２００内部を真空状態にするために、ポンプ（未図示）等がチャンバ２００外部に設けられてもよい。

搬送体２０は、搬送トレイ１００に静電チャックを用いて付着される。しかし、搬送体２０と搬送トレイ１００と間の結合は、必ずしも静電チャックを用いる方式に限定されなく、搬送体２０を搬送トレイ１００に堅く付着できる方式であればいずれの方式であってもよい。搬送トレイ１００の搬送体２０は、表示パネルであってもよいが、これに限定されない。従って、運送が必要などのような物体であっても搬送トレイに積載され、搬送することができる。これにより、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上リニア装置が説明される。

搬送トレイ１００は、チャンバ２００上端に付着されている浮上用電磁石３００によって浮上される。そのために、浮上用電磁石３００と対向される位置に搬送トレイ１００は第１強磁性体コア７１０が備えられる。搬送トレイ１００を安定的に浮上させるために、浮上用電磁石３００は、チャンバ２００の上端で二つ以上の列をなして形成される。

搬送トレイ１００がチャンバ２００内で浮上すれば、搬送トレイ１００を所望の位置に搬送させるため、固定子コイル５１０が作動される。そのために、固定子コイル５１０は、コイルに流れる電流の方向に沿って磁気力を発生させることができる。固定子コイル５１０と対向される側には、固定子コイル５１０の磁場との引力と斥力作用により、搬送トレイ１００を水平方向搬送させる永久磁石６００が備えられる。

図８は、図７のＢ部分を拡大して詳細に図示した図である。
搬送トレイ１００のチャンバ２００側に隣接する部分には、移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０が形成される。このような移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０は、搬送トレイ１００の下端に形成される。しかし、必ずしも下端に備えられるものに限定されるのではなく、チャンバ２００の固定子コイル５１０が設けられる位置に応じて、対向される適切な位置に修正することができる。従って、このような移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０は、搬送トレイ１００の側面又は上端などの自由な位置に形成される。

このような移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０は、Ｕ字状を有するウイング形状で搬送トレイ１００に設けられる。しかし、必ずしもＵ字状を有するウイング形状に限定されるものではなく、固定子コイル５１０と対向される位置で固定子コイル５１０の磁気力との引力、斥力の作用により、適切に搬送トレイ１００を搬送させることができれば、いかなる形状であってもよい。一例として、移動子推進モジュール１００と移動子ガイドモジュール１２０は直線状に作製することができる。

このような移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の終端には、ギャップ（Ｇａｐ）センサ（未図示）が設けられるギャップセンサ取付用ジグ８００が形成される。しかし、これに限定されるものではなく、様々な実施例に従って、ギャップセンサ（未図示）はレール側にも設けられてもよい。

移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の内部には永久磁石６００が設けられる。このような永久磁石は、固定子コイル５１０の上面と下面を囲むように形成されてもよい。即ち、永久磁石６００の一つは、固定子コイル５１０の上面を囲むように形成され、他の一つは、永久磁石６００は固定子コイル５１０の下面を囲むように形成される。また、このような永久磁石６００は、固定子コイル５１０の大部分を覆うこともでき、一部分を覆う方式で形成される。

固定子コイル５１０は、一側面がチャンバ２００に固定され、支持される。固定子コイル５１０は、搬送トレイ１００の搬送方向に沿ってチャンバ２００の内側に一つ以上が一列をなして形成され得る。

チャンバ２００の上部には、浮上用電磁石３００が設けられてもよい。浮上用電磁石３００は、チャンバ２００の上部面と側面とが当接する個所に隣接して設けられてもよいが、これに限定されるものではなく、搬送トレイ１００上の第１強磁性体コア７１０と互いに対向される位置で浮上力を提供するように適切に調節される。搬送トレイ１００上の第２強磁性体コア７２０は、ガイド用電磁石４００が省略される場合、選択的に省略することができる。

磁気浮上コイル３００は、鉄心などからなるコア３１０と、コア３１０を囲むコイル３２０とを含んで形成される。浮上用電磁石３００のコア３１０は、チャンバ２００の外側から内側を貫通して形成される。このようなコア３１０は、複数のレッグ（ｌｅｇ）を有すように作製される。このようなレッグは、一つ以上備えられていてもよい。このようなコア３１０のチャンバ２００外側に突出された側には、コイル３２０が巻かれる。コイル３２０が真空状態を維持するチャンバ２００の内側ではなく外部に備えられることによって、コイル３２０から発生される熱が搬送体２０に影響を与えることを最小化することができる。また、熱発生問題によって浮上用電磁石３００の大きさが制限されることを克服することができるので、より大きな浮上力を提供する浮上用電磁石３００を使用することができる。

図には示されていないが、浮上用電磁石３００の電源が遮断され、浮上力がなくなった場合に備えて、搬送トレイ１００の両端にはベアリングなどが設けられ得る。従って、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上装置の作動が停止し、浮上用電磁石３００の電源が遮断され、搬送トレイ１００が下端に降下されても、固定子コイル５１０が搬送トレイ１００の荷重によって損傷されることを防止することができる。

図９は、図７のＢ部分を示す斜視図である。
図９は、本発明の別の実施例に係る磁気浮上装置の搬送トレイ１００搬送過程を搬送する過程を示す。

図９で、搬送トレイ１００の一方の端のみに移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０とが設けられているものが例示されているが、対称的に他方の端にも同じ方式で移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０とが設けられてもよい。

移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０が設けられる部分の搬送トレイ１００の上面には第１強磁性体コア７１０が形成される。

第１強磁性体コア７１０が対向される側のチャンバ２００の上部面には浮上用電磁石３００が第１強磁性体コア７１０に沿って連続的に一列をなしながら配置される。従って、このように浮上用電磁石３００が第１強磁性体コア７１０に沿って一列をなしているので、搬送トレイ１００が水平方向からどの方向に搬送しても搬送トレイ１００に浮上力を提供することができる。

浮上用電磁石３００のコア３１０は、浮上用電磁石３００が連続的に作製されるにつれて、一つのフレームをなして連続的に作製される。また、このようなコア３１０のレッグには、コイル３２０が巻き取られ、磁気力を提供することができる。第１強磁性コアと対向される浮上用電磁石３００だけが駆動される。

搬送トレイ１００の下端には、移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０とが設けられており、移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の内側には永久磁石６００が備えられている。

移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００が設けられるウイングには、ギャップセンサ取付用ジグ８００が形成される。ギャップセンサ取付用ジグ８００には、ギャップセンサ（未図示）が設けられ、搬送トレイ１００とチャンバ２００と間の間隔を測定し、搬送トレイ１００の搬送を制御する制御器（未図示）などに送信する。

図１０は、図９の斜視図において搬送トレイ１００部分を拡大して示した図である。

第１強磁性体コア７１０は、搬送トレイ１００の上面の一端に沿って形成される。第１強磁性体コア７１０と隣接して第２強磁性体コア７２０が設けられる。図示されていないが、搬送トレイ１００上の対称となる反対側に第１強磁性体コア７１０と第２強磁性体コア７２０とが搬送トレイ１００上に設けられ得る。

第２強磁性コア７２０と対向される面には、ガイド用電磁石４００が設けられ得る。第２強磁性体コア７２０と対向されるガイド用電磁石４００だけが駆動され得る。

搬送トレイ１００の下部には、移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０とが備えられる。

このような移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００の配置は、以降より詳しく説明する。移動子推進モジュール１１０の永久磁石は、搬送トレイ１００からチャンバ２００側に延びる方向に沿って永久磁石の長手方向を向くようにして移動子推進モジュール１１０に設けられる。移動子推進モジュール１１０の永久磁石は、固定子コイル５１０の上面又は下面に対向される面がＮ極又はＳ極のいずれか一つになるように設けられる。また、固定子コイル５１０の上面と下面に設けられる移動子推進モジュール１１０の永久磁石６００は、隣接する永久磁石６００間の極性は互いに交互に配置される。即ち、固定子コイル５１０の上面の移動子推進モジュール１１０の永久磁石６００のいずれか一つが搬送トレイ１００から永久磁石６００側に延びる方向に沿ってＮ極になれば、その次のコイルはＳ極、またその次のコイルはＮ極と交互に配置される。

移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００は、固定子コイル５１０の一部分のみを覆うようにして、移動子ガイドモジュール１２０の内側に付着され得る。移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００の長手方向は、搬送トレイ１００の搬送方向と平行した方向に向くようにして移動子ガイドモジュール１２０に設けられ得る。移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００は、固定子コイル５１０を向く面は、一つの極性を帯びるよう形成され得る。即ち、Ｎ極又はＳ極のいずれか一つの極が固定子コイル５１０に対向され、移動子ガイドモジュール１２０に取り付けられる。

図１１は、移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０が取り付けられた搬送トレイ１００の形状を詳細に示した図である。

図１１の搬送トレイ１００上の移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０は、図２及び図８の移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０とは違って、搬送トレイ１００の側面に付着される。即ち、移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０は、搬送トレイ１００の搬送方向に平行に搬送トレイ１００上に付着される限り、搬送トレイ１００上のどの位置に自由に付着できるものである。

移動子推進モジュール１１０は、固定子コイル５１０の上面又は下面の大部分を覆うように作製されてもよい。より具体的に、移動子推進モジュール１１０の永久磁石６００の長さと固定子コイル５１０の長手方向は、互いに似ているように作製される。また、このような移動子推進モジュール１１０の永久磁石６００の長手方向と固定子コイル５１０の長手方向は互いに同じ方向になるように設けられる。

これに反して、移動子ガイドモジュール１２０は、固定子コイル５１０の一部分のみを覆うように作製されてもよい。具体的に、移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００の長手方向は、固定子コイル５１０の長手方向と垂直になるように設けられる。このような移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００は、一つの磁石で作製されてもよく、複数の磁石が移動子ガイドモジュール１２０に付着されて形成されてもよい。移動子ガイドモジュール１２０は、固定子コイル５１０の面のうち、搬送トレイ１００の進行方向と平行した方向の面を覆うように作製される。特に、移動子ガイドモジュール１２０は、搬送トレイ１００の進行方向と平行した方向の面のうち、搬送トレイ１００側の面を覆うように作製される。

固定子コイル５１０は搬送トレイ１００が搬送する方向に沿って平行に連続的にチャンバ２００上に配置される。固定子コイル５１０の形状は、エッジが丸くなった長方形を有してもよいが、これに限定されるものではない。固定子コイル５１０の各方向の長さのうち、搬送トレイ１００の搬送方向に垂直の方向の長さが搬送トレイ１００の搬送方向に平行した方向の長さより長い。

本発明の好ましい実施例に係る磁気搬送装置の移動子ガイドモジュール１２０は固定子コイル５１０の各面のうち、搬送トレイ１００の搬送方向に平行した面のコイルを使用するので、搬送トレイ１００とチャンバ２００と間の左右間隔及び搬送トレイ１００の姿勢の制御が可能となる。

移動子推進モジュール１１０と対向される固定子コイル５１０だけが駆動される。また、移動子ガイドモジュール１２０と対向される固定子コイル５１０だけが駆動される。

図１２は、本発明の好ましい実施例に係る移動子推進モジュール１１０と固定子コイル５１０と間の作動関係及び相対的位置を概略的に示した図である。

固定子コイル５１０の上面又は下面を対向する移動子推進モジュール１１０のＵ字状のウイングには永久磁石６００が設けられている。それぞれの上面と下面の永久磁石６００は、固定子コイル５１０を向く面が一つの極性を帯び、隣接する永久磁石６００とはその極性が交互に配置されるよう形成される。図１２で、移動子推進モジュール１１０の上面の場合は、Ｎ−Ｓ−Ｎ−Ｓ−Ｎ−Ｓ−Ｎ−Ｓ極を帯びるように永久磁石６００が設けられていることを確認することができ、移動子推進モジュール１１０の下面の場合には、Ｓ−Ｎ−Ｓ−Ｎ−Ｓ−Ｎ−Ｓ−Ｎ極を帯びるように永久磁石６００が設けられていることを確認することができる。

移動子推進モジュール１１０の永久磁石６００は、固定子コイル５１０の広い面を使用することができる。即ち、より多い推進力を得るために固定子コイル５１０の長手方向の面を使用することができる。固定子コイル５１０が長方形に作製された場合、図１２において、'ａ'と表示された個所を確認することができるように、横方向の面で発生する磁気力と移動子推進モジュール１１０と間の永久磁石６００の磁気力の相互作用を利用して搬送トレイ１００にリニア推進力を提供することができる。

移動子推進モジュール１１０の永久磁石６００と固定子コイル５１０と間の間隔（α）は、平均約３ｍｍのギャップを有するように作製されることができる。浮上用電磁石３００に電源が印加されないと、搬送トレイ１００が降下して、永久磁石６００と固定子コイル５１０と間の間隔は減ることがある。但し、機械的ベアリングなど（未図示）が搬送トレイ１００を支持することができるので、搬送トレイ１００が降下する範囲は、約１ｍｍ程度である。これにより、固定子コイル５１０が損傷されない。浮上用電磁石３００が作動すれば、搬送トレイ１００は再び浮上するようになる。この場合、浮上用電磁石３００は、搬送トレイ１００に約１ｍｍ程度上昇しうる浮上力を提供することができる。大面積のディスプレイ製造装置に使用される搬送トレイ１００の重さは、約１トン程度と予想されるので、約１ｍｍ程度を上昇することも、かなりの浮上力が提供された結果であることが分かる。

図１３は、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の移動子ガイドモジュール１２０を詳細に示した図である。

移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００は、固定子コイル５１０の上面又は下面に対向される面に一つの極を帯びるようにしながら設けられる。即ち、固定子コイル５１０の上面又は下面を向く永久磁石６００の極性は、Ｎ極又はＳ極のいずれか一つの極を帯びていてもよい。このような移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００は、一つの永久磁石６００からなっていてもよく、複数個の永久磁石６００が互いに連結されて作製されてもよい。複数個の永久磁石６００が連結される場合、固定子コイル５１０を向く面がいずれも同じ極を帯びるよう連結され、一つの磁石のように見えるように設けられることができる。図１３に示されるように固定子コイル５１０の上面を向く永久磁石６００はいずれもＮ極を帯び、定子コイル５１０の下面を向く永久磁石６００はいずれもＳ極を帯びる用意製されたことを確認することができる。

移動子ガイドモジュール１２０は、上から見たとき、固定子コイル５１０の縦面を使用するように作製され得る。即ち、搬送トレイ１００の搬送方向に平行した面を使用するように作製されることができる（図１３において、'ｂ'）。従来の磁気浮上搬送装置では、この方向の面から発生する磁気力を効率的に使用できなかった。しかし、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置では、固定子コイル５１０の搬送トレイ１００の搬送方向に平行した面と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００の相互作用により、搬送トレイ１００とチャンバ２００と間の間隔を調節することもでき、搬送トレイ１００の姿勢及びヨー（Ｙａｗ）などを制御することができる。

図１４は、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を示す図である。

図１４の磁気浮上搬送装置で、片面式直リニアモーターがチャンバ２００の中央に設けられることができる。即ち、固定子コイル５１０がチャンバ２００の上部の中央に設けられることができる。また、固定子コイル５１０と対向される搬送トレイ１００の上部面には永久磁石６００が設けられる。

図１４の磁気浮上搬送装置は、浮上用電磁石３００を利用して搬送トレイ１００に浮上力を提供し、ガイド用電磁石４００を利用して搬送トレイ１００とチャンバ２００と間の間隔を調節する点で、別の実施例の磁気浮上搬送装置と似ている。

しかし、図１４の実施例の磁気浮上搬送装置は、チャンバ２００の上部側の内面に固定子コイル５１０が設けられ、これと対応される搬送トレイ１００の上部面に永久磁石６００が設けられ、搬送トレイ１００の推進と姿勢を調節することができる。

このために、固定子コイル５１０に対向される永久磁石６００は、一列に配列された移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００を含むことができる。移動子推進モジュール１１０の永久磁石６００は、永久磁石６００の長手方向が搬送トレイ１００の進行方向と垂直であってもよく、移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００は、永久磁石６００の長手方向が搬送トレイ１００の進行方向と平行であってもよい。

図１５は、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を示す図である。

図１５で、チャンバ２００の上部に固定された浮上用電磁石３００は、搬送トレイ１００を上側へ浮揚させることができる。また、チャンバ２００の両側面に設けられたガイド用電磁石４００は、搬送トレイ１００が搬送される間に、搬送トレイ１００とチャンバ２００と間の間隔を調節することができ、また、搬送トレイ１００の姿勢を調節する役割を遂行することができる。

搬送トレイ１００には、推進力の提供を受けるために、永久磁石６００が備えられた移動子推進モジュール１００と移動子ガイドモジュール１２０が搬送トレイ１００の下面の両側に一列で配列されるように設けられる。これと対向するように近接する位置に、固定子コイル５１０がチャンバ２００に付着され、提供される。搬送トレイ１００の移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００は、固定子コイル５１０の上下面を囲むように形成される。固定子コイル５１０は、磁気力をこのような移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００に提供し、搬送トレイ１００の推進力と姿勢を調節することができる。

図１６は、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を示す図である。

図１６で、磁気浮上搬送装置の搬送トレイ１００のある側面のみに移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０が提供される。本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置は、移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００に磁気力を提供し、推進力とガイド力を同時に提供できるので、搬送トレイ１００のある一部分にだけ移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０が一列で配列される。移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００は、チャンバ２００側に固定された固定子コイル５１０で若干離隔されながら、固定子コイル５１０の上下面を囲むように形成され得る。

図１７図は、本発明の好ましい実施例に係る磁気浮上搬送装置の別の実施例を示す図である。

図１７の実施例で、磁気浮上搬送装置の移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０は、搬送トレイ１００の側面にウイングのように備えられてもよい。このような移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００は、固定子コイル５１０の上下面を離隔されながら囲むように配置される。

図１７で、ガイド用電磁石４００は省略することができる。このような場合、チャンバ２００に固定された固定子コイル５１０は、搬送トレイ１００の側面にウイング形状を有し、備えられた移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０に印加される磁気力を調節し、搬送トレイ１００の推進力と姿勢、及びチャンバ２００からの間隔を調節することができる。

また、図１４〜図１７のように、チャンバ２００の固定子コイル５１０と対向される側の永久磁石６００は、すべて移動子推進モジュール１１０と移動子ガイドモジュール１２０の永久磁石６００であり、このような永久磁石の配列は、図９と図１０の形態に配列されていてもよい。

本発明の好ましい実施例を参照して、磁気浮上搬送装置について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。当該技術分野の熟練された当業者であれば、下記の特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で、本発明を多様に修正及び変更することができることを理解することができる。

図面に提示された参照符号は下記要素を意味する。
１０ 蒸発源
２０ 搬送体
１００ 搬送トレイ
１１０ 移動子推進モジュール
１２０ 移動子ガイドモジュール
２００ （真空）チャンバ（外壁）
３００ 浮上用電磁石
３１０ コア
３２０ コイル
３３０ 冷却配管
４００ ガイド用電磁石
４１０ コア
４２０ コイル
５００ 固定子コイル固定用ジグ
５１０ 固定子コイル
６００ 永久磁石
７１０ 第１強磁性体コア
７２０ 第２強磁性体コア
８００ ギャップセンサ取付用ジグ

Claims (17)

1. 搬送トレイを浮上させるための磁気力を提供するために、前記搬送トレイの搬送方向に沿ってチャンバの上部に形成される一つ以上の浮上用電磁石と、
   前記浮上用電磁石と対向するよう前記搬送トレイ側に設けられ、前記浮上用電磁石の磁気力との引力作用によって、前記搬送トレイを浮上させる一つ以上の第１強磁性体コアと、
   前記搬送トレイを水平方向に搬送させる磁気力を提供するために、前記搬送トレイの搬送方向に沿って前記チャンバの内側の少なくとも１面に形成される一つ以上の固定子コイルと、
   前記搬送トレイの搬送方向に沿って前記搬送トレイの少なくとも１面に備えられ、前記固定子コイルが提供する磁気力との引力又は斥力作用によって、前記搬送トレイの水平方向推進力を提供する一つ以上の移動子推進モジュールと、
   前記移動子推進モジュールが設けられる方向に沿って設けられ、前記固定子コイルとの引力又は斥力作用によって、前記搬送トレイと前記チャンバと間の間隔を調整する一つ以上の移動子ガイドモジュールと、
   を含むことを特徴とする磁気浮上搬送装置。
2. 前記搬送トレイと前記チャンバと間の間隔を調節するための磁気力を提供するために、前記搬送トレイの搬送方向に沿って前記チャンバの内側の少なくとも１面に形成される一つ以上のガイド用電磁石と、
   前記ガイド用電磁石が提供する磁気力との引力作用によって、前記搬送トレイと前記チャンバと間の間隔を調節するよう前記ガイド用電磁石に対向される前記搬送トレイ上に形成される一つ以上の第２強磁性体コアと、
   を、更に含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
3. 前記ガイド用電磁石は、
   前記チャンバの外側から内側を貫通するコアと、
   前記チャンバの外側のコアに巻き取られるコイルと、
   を含むことを特徴とする請求項２に記載の磁気浮上搬送装置。
4. 前記移動子推進モジュールは、前記固定子コイルの各面中で、前記搬送トレイの進行方向に垂直の方向の面から受ける磁気力の強さが、前記搬送トレイの進行方向に平行の方向の面から受ける磁気力の強さより更に大きいことを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
5. 前記移動子ガイドモジュールは、前記固定子コイルの各面中で、前記搬送トレイの進行方向に平行の方向の面から受ける磁気力の強さが、前記搬送トレイの進行方向に垂直の方向の面から受ける磁気力の強さより更に大きいことを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
6. 前記固定子コイルは、中心部が空いた長方形の形状であり、
   前記固定子コイルの横又は縦のうち、短い側が前記搬送トレイの搬送方向と平行したことを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
7. 前記移動子推進モジュールは、前記固定子コイルの上面又は下面をそれぞれ囲む一つ以上の永久磁石を含み、
   前記固定子コイルの上面又は下面に対向される永久磁石の極は、Ｎ極又はＳ極の一つであり、
   隣接する前記永久磁石間の極性は、互いに交互に配置されることを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
8. 前記移動子ガイドモジュールは、前記固定子コイルの上面又は下面の一部をそれぞれ囲む一つの永久磁石を含み、
   前記固定子コイルの上面又は下面に対向される永久磁石の極は、Ｎ極又はＳ極の一つであることを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
9. 前記移動子ガイドモジュールは、前記固定子コイルの上面又は下面の一部をそれぞれ囲む２つ以上の永久磁石を含み、
   前記移動子ガイドモジュールの隣接する永久磁石間の極性は、互いに同じ極性を有することを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
10. 前記移動子推進モジュールの永久磁石の長手方向は、前記搬送トレイの搬送方向に垂直の方向であり、
    前記移動子ガイドモジュールの永久磁石の長手方向は、前記搬送トレイの搬送方向に平行の方向であることを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
11. 前記浮上用電磁石は、
    前記チャンバの外側から内側を貫通されるコアと、
    前記チャンバの外側のコアに巻き取られるコイルと、
    を含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
12. 前記搬送トレイの搬送過程中に駆動される固定子コイルは、前記移動子推進モジュールと対向される固定子コイルであることを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
13. 前記搬送トレイの搬送過程中に駆動される固定子コイルは、前記移動子ガイドモジュールと対向される固定子コイルであることを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
14. 前記搬送トレイの搬送過程中に駆動される浮上用電磁石は、前記搬送トレイの第１強磁性体コアと対向される浮上用電磁石であることを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
15. 前記搬送トレイの搬送過程中に駆動されるガイド用電磁石は、前記搬送トレイの第２強磁性体コアと対向されるガイド用電磁石であることを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上搬送装置。
16. 前記コアは、一つ以上のレッグを有し、
    前記コイルは、前記コアのレッグの一つ以上のレッグに巻き取られることを特徴とする請求項３又は１１に記載の磁気浮上搬送装置。
17. 前記コアとコイルより発生される熱を吸収するために、前記コアの一つ以上のレッグに隣接して形成される冷却配管を、更に含むことを特徴とする請求項１６に記載の磁気浮上搬送装置。