TWI552254B - 磁浮運輸裝置 - Google Patents

Description

磁浮運輸裝置

本發明係有關於一種磁浮運輸裝置，且更特別地，有關於一種可以高準確性在一真空中沒有距離限制地在一重轉移托盤上進行伺服控制之磁浮運輸系統。

一般而言，已廣泛地使用磁浮運輸系統作為用以轉移例如液晶顯示器(LCD)基材、電漿顯示面板(PDP)基材、有機發光二極體(OLED)基材、半導體晶圓、轉移托盤、盒匣或載體之一轉移體的轉移系統。

該磁浮運輸系統可克服例如產生粒子、由於摩擦及研磨產生部件破壞、及產生噪音之限制，且同時，可以一高速轉移欲轉移之物體。

該磁浮運輸系統係使用一磁力浮起載有欲轉移之物體之一轉移體的一系統，且可實現一無噪音、低振動及超乾淨轉移系統，因為在該轉移體與該軌道之間沒有接觸及摩擦。又，該磁浮運輸系統可在一真空中致動，且可在對人體有害之氣體或液體中致動。因此，該磁浮運輸系統可應用於各種領域。

該磁浮運輸系統需要一磁浮力、一引導力及一 推力。該磁浮運輸系統由該懸浮電磁鐵接收該磁浮力及該引導力，且由一線性感應馬達或一線性同步馬達接收該推力。

例如，一方法需要該磁力，該方法係藉由控制在該電磁鐵與該轉移體間之一垂直(與浮力相同之方向)吸引力同時控制該電磁鐵之線圈中之一電流維持該電磁鐵及該轉移體在某一間隙，且在一水平方向(垂直於該浮力及該推力)在該電磁鐵與該轉移體之間產生該引導力，防止該轉移體偏離該軌道。

該磁浮運輸系統被廣泛地作為在例如在極乾淨環境中需要之半導體及顯示器之生產線的各種工廠自動化線中轉移部件、半成品及成品之一系統。

但是，由於一典型磁浮運輸系統係組配成在載有例如LCD或LED之一顯示產品之一轉移體側包括一懸浮電磁鐵(包括電磁鐵芯及驅動線圈)，故在該轉移體之一電磁鐵線圈中產生之熱被傳送至該顯示產品，造成對熱敏感之顯示產品之損壞。

此外，隨著例如LCD、LED及OLED之顯示面板之尺寸增加，該磁浮運輸系統必須支持之重量亦增加。例如，在八代OLED製造程序中，預期該玻璃基板及該轉移體之重量會等於或大於1噸，且預期各程序之運輸距離會是數十公尺。

因此，該電磁鐵之尺寸亦增加，且預期由該電磁鐵產生之總熱會進一步增加。但是，只利用應用於一典 型磁浮運輸系統之電磁鐵達成前述目的有一限制。

又，由於需要具有一較大尺寸及一較高解析度之一顯示面板，故該顯示面板之運輸程序中需要更高準確性。但是，在一典型磁浮運輸系統中增加準確性有一限制。

本發明提供一種磁浮運輸裝置，其可藉由將該懸浮電磁鐵之線圈設置在一固定軌道而非該轉移體中，防止一線圈影響一轉移體。

本發明亦提供一種磁浮運輸裝置，其可藉由將一線圈設置在一腔室之內側，進一步增加冷卻效率。

本發明之提供一種磁浮運輸裝置，其包括設置在該轉移托盤(轉移體)之內側之一發動機推進模組及一發動機引導模組以便將該轉移體定位在一更準確位置同時更快速地移動該轉移體。

本發明亦提供一種磁浮運輸裝置，其包括與一懸浮電磁鐵之磁芯相鄰之一冷卻管以更有效率地移除在該懸浮電磁鐵中產生之熱。

依據一示範實施例，一種磁浮運輸裝置包含：一或一以上懸浮電磁鐵，係沿一轉移托盤之移動方向設置在一腔室之一上部以便提供用以浮起該轉移托盤之一磁力；一或一以上第一鐵磁芯，係設置在該轉移托盤上且與該懸浮電磁鐵相對，藉與該懸浮電磁鐵之磁力之一吸引作 用浮起該轉移托盤；一或一以上定子線圈，係沿該轉移托盤之移動方向設置在該腔室之一內側之至少一表面上以提供用以以一水平方向移動該轉移托盤之一磁力；一或一以上發動機推進模組，係沿該轉移托盤之移動方向設置在該轉移托盤之至少一表面上以透過與由該定子線圈所提供之磁力之一吸引或排斥作用提供一水平推進力至該轉移托盤；及一或一以上發動機引導模組，係沿該發動機推進模組之設置方向設置以便藉由與該定子線圈之一吸引或排斥作用控制該轉移托盤與該腔室間之一間隙。

該磁浮運輸裝置可更包括：一或一以上引導電磁鐵，係沿該轉移托盤之移動方向設置在該腔室之內側之至少一部份上以提供用以控制在該轉移托盤與該腔室間之該間隙的一磁力；及一或一以上第二鐵磁芯，係設置在該轉移托盤上且與該引導電磁鐵相對以便藉由與由該引導電磁鐵所提供之一吸引作用控制在該轉移托盤與該腔室間之該間隙。

該定子線圈可具有有一中空中央部份之一矩形，且該定子線圈可具有平行於該轉移托盤之移動方向之長度及寬度中之較短者。該引導電磁鐵可包括：一磁芯，係由該腔室壁之外側至內側貫穿該腔室壁；及一線圈，係在該腔室外側捲繞該磁芯。

在該發動機推進模組中，由該矩形定子線圈之垂直於該轉移托盤之移動方向之多數表面接收之一磁力的合力大小可大於由該矩形定子線圈之平行於該轉移托 盤之移動方向之該等表面接收之一磁力的合力大小。

在該發動機引導模組中，在該矩形定子線圈中，由平行於該轉移托盤之移動方向之一表面接收之一磁力的合力大小可大於由垂直於該轉移托盤之移動方向之一表面接收之一磁力的合力大小。

該發動機推進模組可包括分別地環繞該定子線圈之一頂表面或一底表面之一或一以上永久磁鐵。與該定子線圈之頂表面或底表面相對之一永久磁鐵之一極性可為一南極及一北極中之一極。又，互相相鄰之該等永久磁鐵之極性可交錯地配置。

該發動機引導模組可包括分別地環繞該定子線圈之一頂表面或一底表面之一部份的一永久磁鐵，且與該定子線圈之頂表面或底表面相對之一永久磁鐵之一極性可為一南極及一北極中之一極。

該發動機引導模組可包括分別地環繞該定子線圈之一頂表面或一底表面之一部份的二或二以上永久磁鐵，且互相相鄰之該發動機引導模組之永久磁鐵可具有相同極性。

該發動機推進模組之永久磁鐵之一縱向可垂直於該轉移托盤之移動方向，且該發動機引導模組之一縱向可平行於該轉移托盤之移動方向。

該懸浮電磁鐵可包括：一磁芯，係由該腔室壁之外側至內側貫穿該腔室壁；及一線圈，係在該腔室外側捲繞該磁芯。

在該轉移托盤之一轉移程序時被驅動之一定子線圈可為面向該發動機推進模組之一定子線圈。

在該轉移托盤之一轉移程序時被驅動之一定子線圈可為面向該發動機引導模組之一定子線圈。

在該轉移托盤之一轉移程序時被驅動之一懸浮電磁鐵可為面向該轉移托盤之該第一鐵磁芯之一懸浮電磁鐵。

在該轉移托盤之一轉移程序時被驅動之一引導電磁鐵可為面向該轉移托盤之一第二鐵磁芯之一引導電磁鐵。

該磁芯可包括一或一以上腿部，且該線圈可捲繞該磁芯之腿部中之一或一以上腿部。

該磁浮運輸裝置可更包括一冷卻管，且該冷卻管係設置成與該磁芯之一或一以上腿部相鄰以吸收在該磁芯中產生之熱。

如上所述，依據本發明之一磁浮運輸裝置具有以下效果。

第一，藉由將一電磁鐵之一線圈移出一磁浮裝置之一腔室，可防止例如LCD、LED或OLED之一顯示面板之半成品或成品因在該電磁鐵之該線圈中產生之熱而受損。

第二，由於藉由將該電磁鐵之該線圈移出該磁浮腔室而不必考慮該熱產生，故可藉由使用具有一大數目 線圈圈數之一大電磁鐵以產生一大磁力來安全地轉移一較大顯示面板。

第三，由於藉由將嚴重地產生熱之電磁鐵之線圈移出該磁浮腔室可防止因該熱產生造成該顯示面板與該轉移托盤之變形，故即使在轉移具有一大面積之轉移體之程序中亦可實施微米或更小之精確磁浮間隙。

第四，由於一冷卻管係設置在與該電磁鐵及該磁芯相鄰之一位置，故可更有效地移除由該電磁鐵產生之熱。

第五，由於永久磁鐵互相不同地配置之該發動機推進模組及該發動機引導模組係設置在該轉移托盤側，故該轉移托盤之推力及位置可在不需另一線圈之情形下只藉一轉移線圈控制。

10‧‧‧蒸發源

20‧‧‧轉移體

100‧‧‧轉移托盤

110‧‧‧發動機推進模組(磁鐵)

120‧‧‧發動機引導模組(磁鐵)

200‧‧‧腔室

300‧‧‧懸浮電磁鐵

310‧‧‧磁芯

320‧‧‧線圈

330‧‧‧冷卻管

400‧‧‧引導電磁鐵

410‧‧‧磁芯

420‧‧‧線圈

500‧‧‧固定夾具

510‧‧‧定子線圈

600‧‧‧永久磁鐵

710‧‧‧第一鐵磁芯

720‧‧‧第二鐵磁芯

800‧‧‧間隙感測器附接夾具

a‧‧‧部份

b‧‧‧部份

α‧‧‧間隙

示範實施例可配合附圖由以下說明更詳細地了解，其中：圖1係顯示依據本發明一示範實施例之一磁浮裝置之圖；圖2係圖1之一部份A之圖；圖3係顯示依據本發明之示範實施例之一懸浮電磁鐵之前視圖；圖4係顯示依據本發明之示範實施例之一懸浮電磁鐵之立體圖；圖5係顯示依據本發明之另一示範實施例之懸浮電磁 鐵之前視圖；圖6係顯示依據本發明之另一示範實施例之懸浮電磁鐵之立體圖；圖7係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖；圖8係圖7之一部份B之圖；圖9係圖7之該部份B之立體圖；圖10係顯示圖9之一轉移托盤之放大圖；圖11係顯示具有一發動機推進模組及一發動機引導模組之一轉移托盤之圖；圖12係顯示在依據本發明一示範實施例之一發動機推進模組與一定子線圈間之一操作關係及一相對位置之圖；圖13係顯示依據本發明一示範實施例之一磁浮裝置之一發動機引導模組之圖；圖14係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖；圖15係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖；圖16係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖；及圖17係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖。

以下，將參照附圖詳細說明本發明之示範實施 例。由於本發明可修改成各種類型，故將在圖中顯示且在本揭露內容中詳細地說明示範實施例。但是，本發明不限於一特定揭露類型，且應被視為包括包含在本發明之範疇及技術範圍中之所有修改例、等效物、替代例。

圖1係顯示依據本發明一示範實施例之一磁浮裝置之圖。

依據本發明之一示範實施例之一磁浮裝置可包括：一真空或非真空腔室200，且沈積一LED、LCD或OLED面板之一程序係在該腔室200中實施；一轉移托盤100，係設置在該腔室200中以負責轉移該LED、LCD或OLED面板；一懸浮電磁鐵300，係以一向上方向相對該轉移托盤100提供一浮力；一引導電磁鐵400，用以控制在該轉移托盤100與該腔室200間之一水平間隙；一定子線圈510，係提供一水平推進力至該轉移托盤100；及一永久磁鐵600，係透過與在該定子線圈510中之產生之一磁力的一吸引力或排斥力以一水平方向移動該轉移托盤100。

一蒸發源10可設置在該腔室中以便蒸發一材料附著在一面板上。該腔室200之內側可變成真空使得該蒸發源10蒸發以便讓該蒸發材料可輕易地附著在藉該轉移托盤100轉移之一轉移體20。

該轉移體20可藉由一靜電夾頭附接在該轉移托盤上。但是，在該轉移體20與該轉移托盤100間之一組合不一定限於使用該靜電夾頭之方法，且可以該轉移體20可牢固地附接在該轉移托盤100上之任何其他方法取代。該 轉移托盤100之轉移體20可變成一顯示面板，但是本發明不限於此。因此，需要轉移之任一物體均可藉由該轉移托盤100轉移。

該轉移托盤100可藉由附接在該腔室200之上端之懸浮電磁鐵300浮起。因此，該轉移托盤100可包括設置在與該懸浮電磁鐵300相對之一位置之一磁芯。為了穩定地浮起該轉移托盤100，該懸浮電磁鐵300可在該腔室200之上端設置成二排或二排以上。

當該轉移托盤100在該腔室200中浮起時，該定子線圈510可致動以轉移該轉移托盤100至一所需位置。因此，附接在一固定夾具500上之該定子線圈510可依據在該線圈中流動之一電流方向產生一磁力。又，各定子線圈510可負責一馬達之一相。

該永久磁鐵600可設置在該定子線圈510之相對側以便藉由與由該定子線圈510所產生之一磁場之吸引及排斥作用以一水平方向移動該轉移托盤100。該永久磁鐵600可包括將在以下詳細說明之一發動機推進磁鐵110及一發動機引導磁鐵120。

該引導電磁鐵400可設置在該定子線圈510之一上端以控制在該轉移托盤100與該腔室200間之一水平間隙。該引導電磁鐵400可更準確地控制該轉移托盤100之位置。

圖2係圖1之一部份A之圖。

該發動機推進模組110及該發動機引導模組120 可設置在與該腔室200相鄰之該轉移托盤100之一部份。該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可設置在該轉移托盤100之一下端。但是，該發動機推進模組110及該發動機引導模組120不一定設置在一下端，且可設置在與該定子線圈510之安裝位置相對之一位置。因此，該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可設置在該轉移托盤100之一側表面或上端。

該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可包括設置於其中之永久磁鐵600。該永久磁鐵600可設置成環繞該定子線圈510之頂表面及底表面。即，一永久磁鐵600可設置成環繞該定子線圈510之頂表面，且另一永久磁鐵600可設置成環繞該定子線圈510之底表面。又，該永久磁鐵600可覆蓋定子線圈510之大部份，且可只覆蓋該定子線圈510之一部份。設置在該發動機推進模組110及該發動機引導模組120中之該永久磁鐵600之形狀可依據其使用目的改變。

該定子線圈510可具有一側表面，且該側表面係由該腔室之一底部、一側表面或一特定表面板支持。該定子線圈510可沿該轉移托盤100之移動方向多數地設置在該腔室200內側以形成一線。

該懸浮電磁鐵300可設置在該腔室200上方。該懸浮電磁鐵300可設置成與該腔室200之頂表面接合該腔室200之側表面之一位置相鄰，但是本發明不限於此。

該懸浮電磁鐵300可包括由一鐵棒形成之一磁 芯310及環繞該磁芯310之一線圈320。該懸浮電磁鐵300之磁芯310可設置成由外側至內側貫穿該腔室200。該磁芯310可製造成具有多數腿部。該腿部可多數地設置。該線圈320可捲繞該磁芯310之一部份，且該磁芯310之該部份突出至該腔室200之外側。由於該線圈320係設置在該腔室200外側，而不是維持一真空狀態之該腔室200內側，故可將因在該線圈320中產生之熱對該轉移體20之影響減至最小。又，由於可克服因熱產生造成對該懸浮電磁鐵300之尺寸限制，故可使用提供一較大浮力之懸浮電磁鐵300。

該引導電磁鐵400可設置在該腔室200之側表面上。該引導電磁鐵400可藉由一類似於欲附接在該腔室200上之懸浮電磁鐵300之方法製造。該引導電磁鐵400亦可製造成包括由該腔室200之外側貫穿至內側之一磁芯410及捲繞該磁芯410之一線圈420。該引導電磁鐵400可提供用以控制在該轉移托盤100與該腔室200間之一間隙的一磁力。該引導電磁鐵400可沿該轉移托盤100之移動方向多數地設置在該腔室200之一壁上。

該磁芯可設置在該轉移托盤100上方在與該懸浮電磁鐵300及該引導電磁鐵400相對之一位置。設置在與該懸浮電磁鐵300相對之一位置之一第一鐵磁芯710可藉由與在該懸浮電磁鐵300中產生之一磁力之一吸引作用提供使該轉移托盤100浮在空中之一浮力。設置在與該引導電磁鐵400相對之一位置之一第二鐵磁芯720可藉由與在該引導電磁鐵400中產生之一磁力之一吸引作用控制在該 腔室200內側之轉移托盤100之一水平間隙。換言之，在該腔室200之左與右側成一直線地設置之該引導電磁鐵400中產生的磁力可控制該轉移托盤100之水平間隙。

圖3係顯示依據本發明之示範實施例之一懸浮電磁鐵300之前視圖。

該懸浮電磁鐵300之磁芯310可製造成具有三腿部。該等三腿部可貫穿該腔室200使得該等三腿部之一部份突出至該腔室200之內側。該線圈320可捲繞該等三腿部中之中間腿部。當一電流在該線圈320中流動時，可沿該磁芯310產生一磁力。由於該磁芯之一部份突入該腔室200中，該轉移托盤100可因與在該轉移托盤100上之第一鐵磁芯710之吸引作用而浮在空中。又，該腔室200可由一非磁性物質形成，且因此可不中斷在該懸浮電磁鐵300中產生之磁力。

圖4係顯示依據本發明之示範實施例之一懸浮電磁鐵300之立體圖。

捲繞之圈數必須大到可提供一較大浮力。由於捲繞該磁芯310之該等線圈320之圈數增加，故該懸浮電磁鐵300之體會增加且同時地，由該線圈320產生之熱會增加。這是因為線圈320相對於一電流之流動作為一電阻。由於該懸浮電磁鐵300之線圈320係設置在該腔室200外側，故可防止由該線圈320產生之熱傳送至該腔室200之內側。同時，由於該磁芯310之一部份突出至該腔室200之內側，一大浮力可直接傳送至該轉移托盤100。

圖5係顯示依據本發明之另一示範實施例之懸浮電磁鐵300之前視圖。

該懸浮電磁鐵300可製造成具有兩腿部，該磁芯310之腿部亦可形成為由外側至內側貫穿該腔室200。該線圈320可捲繞該懸浮電磁鐵300之兩腿部。

圖6係顯示依據本發明之另一示範實施例之懸浮電磁鐵300之立體圖。

可於該懸浮電磁鐵300進一步設置一冷卻管330以便移除由該線圈320產生之熱。該冷卻管330可設置在該線圈320下方，同時與該磁芯310相鄰。但是，本發明不限於此，且該冷卻管330可藉由任何方法設置於該懸浮電磁鐵300以便有效地移除由該懸浮電磁鐵300產生之熱。

圖7係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖。

依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置可包括：一真空或非真空腔室200，且沈積一LED、LCD或OLED面板之一程序係在該腔室200中實施；一轉移托盤100，係設置在該腔室200中以負責轉移該LED、LCD或OLED面板；一懸浮電磁鐵300，係以一向上方向相對該轉移托盤100提供一浮力；一定子線圈510，係提供一水平推進力至該轉移托盤100；及一永久磁鐵600，係透過與在該定子線圈510中之產生之一磁力的一吸引力或排斥力以一水平方向移動該轉移托盤100。又，在該腔室200中可設置一蒸發源10及一轉移體20，且一蒸發材料沈積在該轉移體20上。

在圖7中，將與圖1不同地省略該引導電磁鐵400。這是因為該磁浮運輸裝置可在沒有該引導電磁鐵400之情形下透過在該轉移托盤100上具有該永久磁鐵600之該發動機推進模組110及該發動機引導模組120，控制該轉移托盤100之水平間隙及位置。因此，依據該轉移托盤100之轉移程序之準確性，該引導電磁鐵400可為一任選組件。

一蒸發源10可設置在該腔室中以便蒸發一材料附著在一面板上。該腔室200之內側可變成真空使得該蒸發源10蒸發以便讓該蒸發材料可輕易地附著在藉該轉移托盤100轉移之一轉移體20。一泵(未圖示)可設置在該腔室200外側以便讓該腔室200成為真空。

該轉移體20可藉由一靜電夾頭附接在該轉移托盤上。但是，在該轉移體20與該轉移托盤100間之一組合不一定限於使用該靜電夾頭之方法，且可以該轉移體20可牢固地附接在該轉移托盤100上之任何其他方法取代。該轉移托盤100之轉移體20可變成一顯示面板，但是本發明不限於此。因此，需要轉移之任一物體均可藉由該轉移托盤100轉移。因此，顯示依據本發明之一示範實施例之一磁浮線性裝置。

該轉移托盤100可藉由附接在該腔室200之上端之懸浮電磥鐵300浮起。因此，該轉移托盤100可包括設置在與該懸浮電磁鐵300相對之一位置之一第一鐵磁芯710。為了穩定地浮起該轉移托盤100，該懸浮電磁鐵300可在該腔室200之上端設置成二排或二排以上。

當該轉移托盤100在該腔室200中浮起時，該定子線圈510可致動以轉移該轉移托盤100至一所需位置。因此，該定子線圈510可依據在該線圈中流動之一電流方向產生一磁力。該永久磁鐵600可設置在該定子線圈510之相對側以便藉由與由該定子線圈510所產生之一磁場之吸引及排斥作用以一水平方向移動該轉移托盤100。

圖8係圖7之一部份B之圖。

該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可設置在與該腔室200相鄰之該轉移托盤100之一部份。該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可設置在該轉移托盤100之一下端。但是，該發動機推進模組110及該發動機引導模組120不一定設置在一下端，且可設置在與該定子線圈510之安裝位置相對之一適當位置。因此，該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可設置在該轉移托盤100之一側表面或上端。

該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可設置在該轉移托盤100以形成一U形翼部。但是，該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之形狀不限於該U形翼部，且可製造成可在與該定子線圈510相對之位置藉由與該定子線圈510之磁力之吸引及排斥作用適當地移動該轉移托盤100的任何形狀。例如，該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可製造成具有一直線形狀。

在該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之端部可設置一間隙感測器附接夾具800以收納一間 隙感測器(未圖示)。但是，本發明不限於此，且該間隙感測器(未圖示)可依據各種實施例設置在該軌道之側邊。

該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可包括設置於其中之永久磁鐵600。該永久磁鐵600可設置成環繞該定子線圈510之頂表面及底表面。即，一永久磁鐵600可設置成環繞該定子線圈510之頂表面，且另一永久磁鐵600可設置成環繞該定子線圈510之底表面。又，該永久磁鐵600可覆蓋定子線圈510之大部份，且可只覆蓋該定子線圈510之一部份。

該定子線圈510可具有一側表面，且該側表面係由該腔室200固定地支持。該定子線圈510可沿該轉移托盤100之移動方向多數地設置在該腔室200內側以形成一線。

該懸浮電磁鐵300可設置在該腔室200上方。該懸浮電磁鐵300可設置成與該腔室200之頂表面接合該腔室200之側表面之一位置相鄰，但是本發明不限於此。例如，可適當地控制該懸浮電磁鐵300之位置以便在與該轉移托盤100上之該第一鐵磁芯710相對之一位置提供一浮力。當省略該引導電磁鐵400時，可選擇地省略在該轉移托盤100上之該第二鐵磁芯720。

該懸浮電磁鐵300可包括由一鐵棒形成之一磁芯310及環繞該磁芯310之一線圈320。該懸浮電磁鐵300之磁芯310可設置成由外側至內側貫穿該腔室200。該磁芯310可製造成具有多數腿部。該腿部可多數地設置。該線圈320可捲繞該磁芯310之一部份，且該磁芯310之該部份 突出至該腔室200之外側。由於該線圈320係設置在該腔室200外側，而不是維持一真空狀態之該腔室200內側，故可將因在該線圈320中產生之熱對該轉移體20之影響減至最小。又，由於可克服因熱產生造成對該懸浮電磁鐵300之尺寸限制，故可使用提供一較大浮力之懸浮電磁鐵300。

雖然未顯示，但是在該浮力由於供應至該懸浮電磁鐵300之電力中斷而消失之情形下，可在該轉移托盤100之兩端設置一軸承。因此，雖然由於依據本發明之一示範實施例之磁浮裝置之停止，供應至該懸浮電磁鐵300之電力中斷且該轉移托盤100下降至底部，但是可防止該定子線圈510因該轉移托盤100之重量而受損。

圖9係圖7之該部份B之立體圖。

圖9顯示轉移依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之一轉移托盤100的一程序。

在圖9中，雖然該發動機推進模組110及該發動機引導模組120係顯示為只設置在該轉移托盤100之一側，但是該發動機推進模組110及該發動機引導模組120亦可藉由一類似方法對稱地設置在該轉移托盤100之另一側。

該第一鐵磁芯710可設置在該轉移托盤100之頂表面上且在設置該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之一部份。

該懸浮電磁鐵300可在該腔室200之上表面沿該第一鐵磁芯710成一直線地連續設置成與該第一鐵磁芯 710相對。因此，由於該懸浮電磁鐵300沿該第一鐵磁芯710形成一線，故即使該轉移托盤100以任一水平方向移動，亦可提供一浮力至該轉移托盤100。

當連續地製造該懸浮電磁鐵300時，亦可連續地製造該懸浮電磁鐵300之磁芯310以形成一框架。又，該線圈320可捲繞該磁芯310之腿部以提供一磁力。只有面向該第一鐵磁芯之該懸浮電磁鐵300可被驅動。

該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可設置在該轉移托盤100之下端，且該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可包括設置於其中之該永久磁鐵600。

一間隙感測器附接夾具800可設置在設置該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之永久磁鐵600的一翼部。該間隙感測器附接夾具800可具有一間隙感測器(未圖示)，以便測量在該轉移托盤100與該腔室200間之一間隙且將該間隙發送至用以控制該轉移托盤100之轉移之一控制器(未圖示)。

圖10係顯示圖9之一轉移托盤100之放大圖。

該第一鐵磁芯710可沿該轉移托盤100之頂表面之一邊緣設置。該第二鐵磁芯720可設置成與該第一鐵磁芯710相鄰。雖然未顯示，但是該第一鐵磁芯710及該第二鐵磁芯720可對稱地設置在該轉移托盤100上且在該轉移托盤100之相對側。

該引導電磁鐵400可設置在與該第二鐵磁芯720 相對之一表面上。只有面向該第二鐵磁芯720之該引導電磁鐵400可被驅動。

該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可設置在該轉移托盤100之一下部份。

該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之永久磁鐵600之配置將在稍後詳細說明。該發動機推進模組110之永久磁鐵600可設置在該發動機推進模組110中使得該永久磁鐵600之縱向係指向由該轉移托盤100至該腔室200之一延伸方向。該發動機推進模組110之永久磁鐵可設置成使得面向該定子線圈510之頂表面或底表面的該永久磁鐵之表面變成一N極或S極。設置在該定子線圈510之頂表面或底表面上之該發動機推進模組110之永久磁鐵600可設置成使得互相相鄰之該等永久磁鐵600係交錯地配置。換言之，當在該定子線圈510之頂表面上之該發動機推進模組110之永久磁鐵600中之一永久磁鐵的極性以由該轉移托盤100至該永久磁鐵600之一延伸方向變成N極時，在下一線圈中，該極性變成S極，且接著，變成N極。

該發動機引導模組120之永久磁鐵600可附接在該發動機引導模組120之內側以便只覆蓋該定子線圈510之一部份。該發動機引導模組120之永久磁鐵600之縱向可組配成平行於該轉移托盤100之移動方向。該發動機引導模組120之永久磁鐵600可設置成使得面向該定子線圈510的該永久磁鐵600之表面具有一單一極性。換言之，該永久磁鐵600可安裝在該發動機引導模組120中使得只有該 等永久磁鐵600之N極及S極中之一極與該定子線圈510相對。

圖11係顯示具有一發動機推進模組110及一發動機引導模組120之一轉移托盤100之放大圖。

與圖12與8中之該發動機推進模組110及該發動機引導模組120不同，在圖11中之該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可附接在該轉移托盤100之一側表面上。換言之，該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可附接在該轉移托盤100之任一位置，只要該發動機推進模組110及該發動機引導模組120平行於該轉移托盤100之移動方向即可。

該發動機推進模組110可製造成覆蓋該定子線圈510之頂表面或底表面之大部份。更詳而言之，該發動機推進模組110之永久磁鐵600之長度可類似於該定子線圈510之長度。又，該發動機推進模組110之永久磁鐵600之縱向及該定子線圈510之縱向可互相平行。

相反地，該發動機引導模組120可製造成只覆蓋該定子線圈510之一部份。更詳而言之，該發動機引導模組120之永久磁鐵600之縱向可組配成垂直於該定子線圈510之縱向。該發動機引導模組120之永久磁鐵600可製造成一磁鐵，或可多數地附接在該發動機引導模組120上。該發動機引導模組120可製造成覆蓋平行於該轉移托盤100之移動方向的該定子線圈510之一表面。特別地，該發動機引導模組120可製造成覆蓋平行於該轉移托盤100之 移動方向的該轉移托盤100之側邊的一表面。

該定子線圈510可平行地沿該轉移托盤100之移動方向連續地設置在該腔室200中。該定子線圈510可具有具圓緣之一矩形，但是本發明不限於此。垂直於該轉移托盤100之移動方向的該定子線圈510之側邊可比平行於該轉移托盤100之移動方向的該定子線圈510之側邊長。

由於依據本發明之一示範實施例之發動機引導模組120使用具有平行於該轉移托盤100之移動方向之一表面的一線圈，故可控制在該轉移托盤100與該腔室200間之水平間隙及該轉移托盤100之位置。

只有面向該發動機推進模組110之該定子線圈510可被驅動。又，只有面向該發動機引導模組120之該定子線圈510可被驅動。

圖12係顯示在依據本發明一示範實施例之一發動機推進模組與一定子線圈間之一操作關係及一相對位置之圖。

該永久磁鐵600可設置在面向該定子線圈510之頂表面或底表面之該發動機推進模組110之一U形翼部中。面向該定子線圈之頂表面及底表面之永久磁鐵600可讓面向該定子線圈510之一表面具有一單一極性，且互相相鄰之該等永久磁鐵600可設置成使得其極性交錯地配置。在圖12中，在該發動機推進模組110之上表面之情形中，該永久磁鐵600之極性可配置成為N-S-N-S-N-S-N-S極，且該永久磁鐵600之極性可配置成為S-N-S-N-S-N-S-N極。

該發動機推進模組110之永久磁鐵600會使用該定子線圈510之一寬闊表面。即，為獲得一較大推進力，可使用該定子線圈510之縱向之表面。當該定子線圈510製造成具有一矩形時，如圖12之部份“a”中所示，可使用在一橫交表面中產生之一磁力與該發動機推進模組110中之永久磁鐵600之一磁力間的一交互作用，提供一直線推進力至該轉移托盤100。

在該發動機推進模組110之永久磁鐵600與定子線圈510間之一間隙α可為平均大約3mm。當未施加電力至該懸浮電磁鐵300時，該轉移托盤100會下降，讓在該永久磁鐵600與該定子線圈510間之間隙減少。但是，由於一機械軸承(未圖示)可支持該轉移托盤100，該轉移托盤100之下降範圍可為大約1mm。因此，該定子線圈510不會損壞。當該懸浮電磁鐵300致動時，該轉移托盤100會再次浮起。在這情形下，該懸浮電磁鐵300可提供一浮力至該轉移托盤100，讓該轉移托盤100可上升大約1mm。由於在一大面積顯示器製造裝置中使用之該轉移托盤100之重量預期為大約1噸，故可了解讓該轉移托盤100可上升大約1mm之浮力相當大。

圖13係顯示依據本發明一示範實施例之一磁浮裝置之一發動機引導模組120之圖。

該發動機引導模組120之永久磁鐵600可設置成使得其與該定子線圈510之頂表面或底表面相對之表面具有一單一極性。面向該定子線圈510之頂表面或底表面之該 永久磁鐵600之極性可為N極及S極中之一極。該發動機引導模組120之永久磁鐵600可包括一永久磁鐵，或可包括互相連接之多數永久磁鐵。當該等多數永久磁鐵600互相連接時，該等多數永久磁鐵600可互相連接使得其面向該定子線圈510之所有表面具有相同極性，讓該等多數永久磁鐵600似乎成為一磁鐵。如圖13所示，面向該定子線圈510之頂表面之該等永久磁鐵600可全部具有N極，且面向該定子線圈510之底表面之該等永久磁鐵600可全部具有S極。

當由上方觀看該發動機引導模組120時，可使用該定子線圈510之垂直表面。即，可使用平行於該轉移托盤100之移動方向之表面(請參見圖13之部份“b”)。在一典型磁浮裝置中，未有效地使用由前述表面產生之一磁力。但是，在依據本發明一示範實施例之磁浮裝置中，可藉由平行於該定子線圈510之轉移托盤100之移動方向之表面與該發動機引導模組120之永久磁鐵600的交互作用控制在該轉移托盤100與該腔室200間之間隙，且亦可控制該轉移托盤100之位置及偏向。

圖14係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖。

在圖14之磁浮運輸裝置中，一單側線性馬達可安裝在該腔室200之中央。即，該定子線圈510可設置在該腔室200之上部之中央。與該定子線圈510相對之該永久磁鐵600可設置在該轉移托盤100之頂表面上。

圖14之磁浮運輸裝置可類似於使用該懸浮電磁 鐵300提供一浮力至該轉移托盤100且使用該引導電磁鐵400控制該200的依據其他實施例之磁浮運輸裝置。

但是，在圖14之磁浮運輸裝置中，該定子線圈510係設置在該腔室200之上部之內表面上，且該永久磁鐵600可設置在該轉移托盤100之頂表面上以便面向該轉移托盤100，讓該轉移托盤100之推力及位置可被控制。

因此，與該定子線圈510相對之該永久磁鐵600可包括該發動機推進模組110及發動機引導模組120之多數永久磁鐵，且該等永久磁鐵係配置成一直線。該發動機推進模組110之永久磁鐵600之縱向可正交於該轉移托盤100之移動方向，且該發動機引導模組120之永久磁鐵600之縱向可平行於該轉移托盤100之移動方向。

圖15係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖。

在圖15中，固定在該腔室200之上部之該懸浮電磁鐵300可向上浮起該轉移托盤100。設置在該腔室200之兩側表面之該引導電磁鐵400可在該轉移托盤100移動時控制在該轉移托盤100與該腔室200間之一間隙，且亦可用以控制該轉移托盤100之位置。

包括該永久磁鐵600之該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可成一直線地設置在該轉移托盤100之底表面之兩側以便讓該轉移托盤110獲得一推進力。在與其相鄰地相對之一位置，該定子線圈510可附接在該腔室200上。該轉移托盤100之發動機推進模組110及發動機引導 模組120之永久磁鐵600可設置成環繞該定子線圈510之頂表面及底表面。該定子線圈510可提供一磁力至該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之永久磁鐵600以便控制該轉移托盤100之推進力及位置。

圖16係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖。

在圖16中，該發動機推進模組110及該發動機引導模組120只設置在該磁浮運輸裝置之該轉移托盤100之一側。由於依據本發明一示範實施例之磁浮運輸裝置可藉由提供一磁力至該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之永久磁鐵600來提供一推進力及一引導力，該發動機推進模組110及該發動機引導模組120可只在該轉移托盤100之任一部份配置成一直線。該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之永久磁鐵600可組配成環繞該定子線圈510之頂表面及底表面，同時與固定在該腔室200之側邊之該定子線圈510稍微分開。

圖17係顯示依據本發明另一示範實施例之一磁浮裝置之圖。

在圖17中，該磁浮運輸裝置之發動機推進模組110及發動機引導模組120可設置在如同一翼部之該轉移托盤100之一側表面。該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之永久磁鐵600可設置成環繞該定子線圈510之頂表面及底表面，同時與該定子線圈510之頂表面及底表面分開。

在圖17中，可省略該引導電磁鐵400。在這情形下，固定在該腔室200上之定子線圈510可控制施加至提供成在該轉移托盤100之側表面具有一翼形狀之該發動機推進模組110及該發動機引導模組120的一磁力，且因此可控制該轉移托盤100之推進力與位置及與該腔室200之間隙。

又，如圖14至17，在與該腔室200之定子線圈510相對之側的所有永久磁鐵600可為該發動機推進模組110及該發動機引導模組120之永久磁鐵600，且該等永久磁鐵之配置可類似於圖9與10者。

雖然已參照特定實施例說明一磁浮運輸裝置，但是該磁浮運輸裝置不限於此。因此，所屬技術領域中具有通常知識者可輕易了解在不偏離由附加申請專利範圍所界定之本發明之精神與範疇的情形下，可對該磁浮運輸裝置進行各種修改及變化。

10‧‧‧蒸發源

20‧‧‧轉移體

100‧‧‧轉移托盤

200‧‧‧腔室

300‧‧‧懸浮電磁鐵

400‧‧‧引導電磁鐵

500‧‧‧固定夾具

600‧‧‧永久磁鐵

Claims (17)

1. 一種磁浮運輸裝置，包含：一或一以上懸浮電磁鐵，係沿一轉移托盤之移動方向設置在一腔室之一上部，以提供用以浮起該轉移托盤之一磁力；一或一以上第一鐵磁芯，係設置在該轉移托盤上以便與該懸浮電磁鐵相對，藉與該懸浮電磁鐵之磁力之一吸引作用浮起該轉移托盤；一或一以上定子線圈，係沿該轉移托盤之移動方向設置在該腔室之一內側之至少一表面上，以提供用以在一水平方向上移動該轉移托盤之一磁力；一或一以上發動機推進模組，係沿該轉移托盤之移動方向設置在該轉移托盤之至少一表面上，以透過由該定子線圈所提供之磁力之一吸引或排斥作用提供一縱向推進力至該轉移托盤；及一或一以上發動機引導模組，係沿該發動機推進模組之一設置方向設置，以藉由該定子線圈之一吸引或排斥作用控制該轉移托盤與該腔室間之一間隙，其中該一或一以上定子線圈根據電流流動產生磁場來驅動該轉移托盤。
2. 如請求項1之磁浮運輸裝置，更包含：一或一以上引導電磁鐵，係沿該轉移托盤之移動方向設置在該腔室之內側之至少一表面上，以提供用 以控制在該轉移托盤與該腔室間之該間隙的一磁力；及一或一以上第二鐵磁芯，係設置在該轉移托盤上且與該引導電磁鐵相對，以便藉由該引導電磁鐵所提供之磁力的一吸引作用控制在該轉移托盤與該腔室間之該間隙。
3. 如請求項2之磁浮運輸裝置，其中該引導電磁鐵包含：一磁芯，係由該腔室之外側至內側貫穿該腔室；及一線圈，係在該腔室外側捲繞該磁芯。
4. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中在該發動機推進模組中，由該定子線圈之一表面接收、且垂直於該轉移托盤之移動方向的一磁力之合力大小，係大於由該定子線圈之一表面接收、且平行於該轉移托盤之移動方向的一磁力之合力大小。
5. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中在該發動機引導模組中，由該定子線圈之一表面接收、且平行於該轉移托盤之移動方向的一磁力之合力大小，係大於由該定子線圈之一表面接收、且垂直於該轉移托盤之移動方向的一磁力之合力大小。
6. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中該定子線圈具有一帶有一中空中央部份的矩形，且該定子線圈具有平行於該轉移托盤之移動方向之長度及寬度中之較短者。
7. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中： 該發動機推進模組包含一或一以上永久磁鐵而其分別地環繞該定子線圈之一頂表面或一底表面；與該定子線圈之頂表面或底表面相對之一永久磁鐵的一極性係一南極及一北極中之一極；且互相相鄰之該等永久磁鐵之極性係交錯地配置。
8. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中該發動機引導模組包括一永久磁鐵而其分別地環繞該定子線圈之一頂表面或一底表面之一部份，且與該定子線圈之頂表面或底表面相對之一永久磁鐵的一極性係一南極及一北極中之一極。
9. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中該發動機引導模組包括二或二以上永久磁鐵而其分別地環繞該定子線圈之一頂表面或一底表面之一部份，且互相相鄰之該發動機引導模組之永久磁鐵具有相同極性。
10. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中該發動機推進模組之永久磁鐵之一縱向係垂直於該轉移托盤之移動方向，且該發動機引導模組之一縱向係平行於該轉移托盤之移動方向。
11. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中該懸浮電磁鐵包含：一磁芯，係由該腔室之外側至內側貫穿該腔室；及一線圈，係在該腔室外側捲繞該磁芯。
12. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中在該轉移托盤之一轉移程序時被驅動之一定子線圈係面向該發動機推進模 組之一定子線圈。
13. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中在該轉移托盤之一轉移程序時被驅動之一定子線圈係面向該發動機引導模組之一定子線圈。
14. 如請求項1之磁浮運輸裝置，其中在該轉移托盤之一轉移程序時被驅動之一懸浮電磁鐵係面向該轉移托盤之該第一鐵磁芯之一懸浮電磁鐵。
15. 如請求項2之磁浮運輸裝置，其中在該轉移托盤之一轉移程序時被驅動之一引導電磁鐵係面向該轉移托盤之一第二鐵磁芯之一引導電磁鐵。
16. 如請求項3或11之磁浮運輸裝置，其中該磁芯包含一或一以上腿部，且該線圈捲繞該磁芯之該等腿部中之一或一以上腿部。
17. 如請求項16之磁浮運輸裝置，更包含一冷卻管，且該冷卻管係設置成與該磁芯之一或一以上腿部相鄰以吸收在該磁芯及線圈中產生之熱。