KR101992300B1 - 피처리물의 온도 측정 장치와 온도 측정 방법 및 교반·탈포 방법 - Google Patents

Abstract

용기에 수용된 피처리물을, 용기를 공전 및 자전 운동시킴으로써 피처리물을 교반·탈포 등 회전 처리하는 공정에 있어서, 피처리물의 온도를 리얼타임으로 정확하게 측정할 수 있는 온도 측정 장치를 제공한다. 용기의 상부에 송신 유닛을 구비하고, 송신 유닛은 회전 처리시에 방사 온도계에 의해 비접촉으로 피처리물의 온도를 리얼타임으로 측정한다. 온도 측정치는 송신 유닛으로부터 송신되며, 송신된 측정치는 용기 외부에 설치된 수신 유닛으로 수신해 기록된다. 또한, 기록된 측정치는 미리 기록되어 있는 참조 데이터와 비교해, 교반·탈포처리의 이상의 유무를 판정하는데 이용할 수도 있다. 게다가 측정된 데이터에 의해 교반·탈포처리의 최적화도 가능하다.

Description

피처리물의 온도 측정 장치와 온도 측정 방법 및 교반·탈포 방법

본 발명은, 용기에 수용된 피교반·탈포 등 피처리물의 온도 측정 장치와 온도 측정 방법 및 교반·탈포 방법에 관한 것이다.

피교반·탈포 처리물(이하, 피처리물이라고 약칭한다.)을 수용한 용기를 공전 및 자전시킴으로써, 피처리물을 교반·탈포하는 교반·탈포 장치가 알려져 있다.

이런 교반·탈포 장치는, 예를 들면 서로 다른 액체 재료가 혼합된 액체 재료 혹은 분말 재료와 액체 재료의 혼합 재료 등 피처리물을 공전시켜 원심력을 더하면서, 자전시킴으로써 교반 및 탈포한다.

피처리물은, 일반적으로 회전 운동이 더해져, 용기와의 마찰 등에 의해 온도가 상승하는 경향이 있다. 이러한 온도 변화는 피처리물의 점도, 비열, 열용량 등에 의존한다.

그러나, 피처리물에 따라서는, 온도의 상승과 더불어 화학 변화하거나 특성이 변질하는 경우가 있기 때문에, 온도가 관리된 조건하에서 교반·탈포 처리를 실시할 필요가 있다.

특허문헌 1에는 피처리물을 수용하는 용기의 밑부분에 설정된 온도센서에 의해서 피처리물의 온도를 측정하는 장치가 개시되어 있다.

특허문헌 2에는 비접촉으로 용기의 위쪽으로부터 피처리물의 온도를 측정하는 방법이 개시되어 있다.

특허문헌 3에는 용기(시료 홀더)의 윗부분으로부터 감온 저항 소자를 뻗쳐서 피처리물의 온도를 측정하는 방법이 개시되어 있다.

일본 특개 2016-159186호 공보 일본 특허 3627220호 공보 일본 특개 2006-305512호 공보

그렇지만, 특허문헌 1과 같이 간접적으로 피처리물의 온도를 측정하는 방법에서는 열 전도율이 낮은 용기를 사용했을 경우, 온도 변화에 대해서 민감하게 온도를 측정할 수 없다는 문제점이 있다.

특허문헌 2와 같이 비접촉으로 용기의 위쪽으로부터 용기 본체에 고정된 방사 온도계에 의해 온도를 측정하는 장치에서는, 용기의 자전축의 연장선에 정확하게 온도 센서를 설치해, 공전주기에 동기 해 용기 중의 피처리물의 온도를 측정해야 하는 고도의 기술이 필요하다.

특허문헌 3과 같이 용기 안에 감온 저항 소자를 삽입하는 방법에서는, 감온 저항 소자에 의해서 교반·탈포 처리의 흐름이 방해되거나, 감온 저항 소자의 자기 발열에 의해 피처리물의 온도가 상승한다는 문제점이 있다. 게다가, 이 방법에서는 회전 운동의 원심력에 의해 피처리물의 중심축 부분이 움푹 패여 들어가기 때문에 검지 부품을 용기 밑부분 근처에 배치해야 하며, 따라서 용기 밑부분 근처의 국소적인 온도 밖에 측정할 수 없다. 또한, 피처리물은 교반·탈포 처리 시에 감온 저항 소자의 주위에 기포가 존재하면, 피처리물로부터 감온 저항 소자까지의 열류가 저해되어 측정된 온도가 실제 온도보다 낮게 표시되기도 한다. 그리고, 피처리물의 국소적인 온도를 측정하는 감온 저항 소자에서는 교반에 의한 피처리물의 흐름의 영향을 크게 받기 때문에, 피처리물의 전체적인 온도 변화를 정확하게 측정할 수가 없다.

또한, 특허문헌 3에는 용기의 온도를 적외선 온도 센서로 검출하는 방법도 개시되여 있지만, 이런 경우, 특허문헌1과 같은 문제점이 있다.

상기 과제에 비추어, 본 발명은 교반·탈포 처리의 실행중에 교반·탈포 피처리물의 온도를 고 정확도로, 용이하게, 그리고 실시간으로 모니터링 할 수 있는 온도 측정 장치 및 온도 측정 방법을 제공함과 동시에, 본 온도 측정 장치를 이용해 온도를 제어하는 교반·탈포 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명에 따른 온도 측정 장치는,

공전 및/또는 자전 운동하는 용기에 수용된 피처리물의 온도를 측정하는 온도 측정 장치이며,

송신 유닛과 수신 유닛을 구비하고，

상기 송신 유닛은 비접촉으로 상기 피처리물의 온도를 측정하며, 상기 피처리물의 온도의 측정치를 포함한 데이터를 송신하고,

상기 수신 유닛은 상기 데이터를 수신하고,

상기 송신 유닛은 상기 용기에 착탈 가능하게 고정되는 위 덮개에, 상기 피처리물로부터 방사된 빛의 입사광을 검지 가능하게 설치되어 상기 용기와 함께 공전 가능하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 있어서,

전기 송신 유닛은,

상기 피처리물의 온도를 비접촉으로 측정하는 센서부와,

상기 센서부에 전력을 공급하는 전원부와,

상기 측정치를 포함한 상기 데이터를 상기 수신 유닛에 송신하는 연산 처리부를 갖추고,

상기 수신 유닛은,

상기 측정치를 포함한 상기 데이터를 수신하는 수신부와,

상기 측정치를 기록하는 기록부를 갖추어도 된다.

이렇게 구성함으로써 공자전 운동(공전 및 자전 운동) 처리중의 피처리물의 온도를 리얼타임으로 정확하게 측정할 수 있다.

덧붙여, 처리중이란, 피처리물을 수용하는 용기를 교반·탈포 장치의 용기 홀더에 장치한 시점으로부터 용기를 용기 홀더로부터 떼어낸 시점까지를 말한다.

또한, 후술하듯이 가속도 센서를 이용해 송신 유닛의 전원의 온(ON), 오프(OFF)를 진행하는 경우, 처리중이란, 용기 홀더에 회전 운동이 더해진 시점(가속도 센서가 역치 이상의 가속도를 검지한 시점)으로부터, 용기 홀더의 회전 운동이 정지한 시점(가속도 센서가 역치 이하의 가속도를 검지한 시점)까지를 말한다.

상기 구성에 있어서,

상기 센서부의 시야각이 20°~90°이어도 된다.

이렇게 구성함으로써, 교반·탈포 처리에 상반해, 원심력에 의해 피처리물이 용기 벽면을 따라서 밀려오르는 경우에도 피처리물의 온도를 정확하게 측정할 수 있다.

상기 구성에 있어서,

상기 센서부의 광입사구부에 상기 센서부의 광축 방향으로 이동 가능한 광학 소자가 설치되어 있어도 된다.

상기 구성에 있어서,

상기 센서부의 광축의 연장선에 있어서의, 상기 센서부의 광입사구부로부터 떨어져 있는 위치에 광학 소자가 설치되는 구성을 갖추어도 된다.

이렇게 구성함으로써 용기 및 피처리물에 따라 센서부의 측정 시야를 변경해, 최적의 측정 시야를 실현할 수 있다.

상기 구성에 있어서,

상기 송신 유닛은 상기 용기의 위 덮개에 설치되는 구성을 갖추어도 된다.

이렇게 구성함으로써, 기존의 교반·탈포 장치 등 회전 처리를 진행하는 장치에 대해서도 본 발명의 온도 측정 장치를 용이하게 적용할 수 있어, 확장성이 높은 온도 측정 장치를 얻을 수 있다.

상기 구성에 있어서,

상기 송신 유닛은 상기 용기와 동기해 공전하는 공전체에 설치되며，, 상기 용기의 윗쪽에 설치되는 구성을 갖추어도 된다.

이렇게 구성함으로써, 용기의 교환이 용이해져 제품을 양산할 때의 생산성이 높아진다.

상기 구성에 있어서,

상기 송신 유닛이 구면 베어링에 의해 요동 가능하게 지지되는 구성을 갖추어도 된다.

이렇게 구성함으로써， 항상 피처리물의 용기 벽면에 따르는 밀려오름에 대응한 측정이 가능해진다.

상기 구성에 있어서,

상기 송신 유닛은 가속도 센서를 더 구비하고, 상기 가속도 센서가 역치 이상의 가속도를 검지하면 상기 송신 유닛이 상기 피처리물의 온도의 측정을 개시하는 구성을 갖추어도 된다.

이렇게 구성함으로써 필요할 때에 피처리물의 온도 측정을 자동으로 진행할 수 있어 송신 유닛의 전력 절약이 가능해진다.

본 발명에 따른 온도 측정방법은,

공전 및/또는 자전 운동중의 피처리물의 온도를 측정하는 방법이며, 상기 용기의 윗쪽에 설치된 송신 유닛은

상기 피처리물의 온도를 비접촉으로 측정하는 측정 공정과,

상기 피처리물의 온도의 측정치를 포함하는 데이터를 송신하는 송신 공정과,

정해진 시간 대기하는 대기 공정

으로 이루어지는 송신 사이클을 반복하고,

상기 용기의 외부에 설치된 수신 유닛은,

상기 송신 공정의 후에 상기 송신 유닛으로부터 송신된 상기 측정치를 포함하는 상기 데이터를 수신하는 수신 공정과,

상기 측정치를 기록하는 기록 공정

으로 이루어지는 수신 사이클을 반복하는

것을 특징으로 한다.

이러한 온도 측정방법으로 하는 것으로써, 피처리물의 온도를 리얼타임으로 측정함과 동시에, 교반·탈포 처리 등의 회전 처리를 진행하면서 피처리물의 측정 데이터를 장치 이력으로서 기록하기 때문에, 회전 처리를 가하여 얻어진 제품의 품질 관리를 진행할 수 있다.

상기 방법에 있어서,

상기 수신 유닛은,

상기 기록 프로세스의 후에, 기록된 상기 측정치와 미리 상기 수신 유닛의 기록부에 기록되어 있는 참조 데이터를 비교하는 비교 공정과,

상기 측정치와 상기 참조 데이터와의 괴리의 유무를 판정하는 판정 공정을 반복하도록 해도 된다.

이러한 온도 측정 방법으로 하는 것으로써, 교반·탈포 처리 등의 회전 처리가 예정대로의 처리인지 아닌지의 확인이나, 처리 이상의 발생 여부를 즉석으로 판정할 수 있다.

본 발명에 따른 교반·탈포방법은,

공전 및/또는 자전 운동하는 용기에 수용된 피처리물을 교반·탈포하는 방법이며,

상기 용기의 위쪽에 설치된 송신 유닛은

상기 피처리물의 온도를 비접촉으로 측정하는 측정 공정과,

상기 피처리물의 온도의 측정치를 송신하는 송신 공정과,

정해진 시간 대기하는 대기 공정

으로 이루어지는 송신 사이클을 반복하고,

상기 용기의 외부에 설치된 수신 유닛은,

상기 송신 공정의 후에 상기 송신 유닛으로부터 송신된 상기 측정치를 수신하는 수신 공정과,

상기 측정치를 기록하는 기록 공정과,

상기 기록 공정의 후에, 기록된 상기 측정치와 미리 상기 수신 유닛의 기록부에 기록되어 있는 참조 데이터를 비교하는 비교 공정과,

상기 측정치와 상기 참조 데이터와의 괴리치를 산출하는 공정

으로 이루어지는 수신 사이클을 반복하며,

상기 괴리치에 따라, 공전 또는 자전중 적어도 한편의 회전수를 변경하는 것을 특징으로 한다.

이러한 교반·탈포 방법으로 함으로써, 교반·탈포 처리 조건을 자동적으로 수정해, 최적의 조건에서의 피처리물의 처리를 진행할 수 있다.

본 발명에 의하면, 공전 운동이나 자전 운동이라는 회전 처리중에 용기의 위쪽으로부터 리얼타임으로 고 정확도로 온도 측정을 진행할 수 있다. 본 발명은 여러 가지 교반·탈포 장치 등의 회전 처리 장치에 대한 적용성이 높고 이용가치가 높다.

또한, 본 발명에 의하면, 교반·탈포 처리의 이상의 유무를 판정하고, 더 나아가 최적의 처리 조건을 유지할 수 있다.

덧붙여, 본 발명에 따른 온도 측정 장치 및 온도 측정 방법은 교반·탈포 처리 뿐만 아니라, 피처리물을 수용한 용기에 회전 처리를 가하는 모든 회전 처리 장치, 예를 들면 볼밀 등 연마 처리 장치, 분쇄 처리 장치, 원심 분리 처리 장치 등에 대해서도 적용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 있어서의 온도 측정 장치를 구비한 용기의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태 1에 있어서의 온도 측정 시스템의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태 1에 있어서의 온도 측정 장치를 구비한 교반·탈포 장치의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태 1에 있어서의 온도 측정 장치의 측정 시야를 모식적으로 나타내는 용기의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태 2에 있어서의 온도 측정 장치를 구비한 용기의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태 3에 있어서의 온도 측정 장치를 구비한 용기의 부분 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태 4에 있어서의 온도 측정 장치를 구비한 용기의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태 5에 있어서의 온도 측정 장치를 구비한 용기의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시형태 6에 있어서의 온도 측정 장치를 구비한 교반·탈포 장치의 단면도이다.

이하, 도면을 참조해 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 하지만, 이하의 실시형태는, 그 어느 것이나 본 발명의 요지의 인정에 있어서 한정적인 해석을 주는 것은 아니다. 또한, 동일 또는 동종류의 부재에 대해서는 같은 참조 부호를 붙여, 설명을 생략 하는 경우가 있다.

(실시형태 1)

이하, 본 발명에 따른 온도 측정 방법 및 측정 장치의 구성에 대해서, 교반·탈포 장치에 응용한 경우를 예로 들어 상세하게 설명하지만, 본 온도 측정 장치는, 볼 밀 등의 연마 장치, 분쇄 장치, 원심 분리 장치 등에도 적용이 가능하다.

<장치 구성>

도 1은, 본 실시형태에 따른 교반·탈포 장치의 피처리물(1)을 수용하는 용기(2)의 구성을 나타낸다.

용기(2)는, 후술하는 교반·탈포 장치에 의해 공전하면서 자전함으로써, 피처리물(1)을 교반 및 탈포 한다. 용기(2)에 자전 운동이 더해지도록, 일반적으로 용기(2)의 형태는 회전 대칭성을 갖추는 즉 예를 들면 바닥을 갖춘 원통 형태가 아주 적합하게 이용된다.

용기(2)의 상부에는 위 덮개(3)가 나사 등으로 탈착 가능하게 고정되며, 위 덮개(3)와 용기(2)에 끼워지도록 중간 뚜껑(4)이 고정된다.

위 덮개(3)에는 비접촉 온도 측정기인 방사 온도계(6), 예를 들면 적외선 센서가, 광입사구부가 피처리물(1) 측을 향하도록 설치되어 있어, 중간 뚜껑(4)에 설치된 개구부(5)를 거쳐 피처리물(1)로부터 방사되어 방사 온도계(6)에 입사되는 빛을 검출해, 피처리물(1)의 온도를 측정한다.

방사 온도계(6)를 가리도록, 위 덮개(3)에 커버(7)가 볼트 등으로 고정되어 있어 불필요한 외부 빛에 의한 요란을 막을 수 있다. 용기(2), 위 덮개(3) 및 커버(7)에는 측정하는 파장 영역의 빛을 차단하는 재료를 사용하는 것이 좋다.

또한, 위 덮개(3) 및 커버(7)가 일체로 형성되고 있어도 좋다.

덧붙여 개구부(5)에, 방사 온도계(6)가 측정하는 빛을 투과하는 투과판, 예를 들면 석영 유리 등을 설치하여 피처리물(1)의 증기 등에 의해 방사 온도계(6)의 표면이 흐리는 것을 방지해도 좋다.

중간 뚜껑(4)만을 떼어내어 정기적으로 세척함으로써, 항상 양호한 상태로 온도 측정이 가능해진다. 복수의 중간 뚜껑(4)을 마련해 둠으로써, 세척으로 인해 장치 가동률이 저하 되는 일도 없다.

또한, 중간 뚜껑(4)의 개구부(5)에 설치하는 상기 투과판으로서 특정의 파장의 빛(예를 들면 적외광)만을 투과시키는 필터를 이용하고, 특정의 파장 영역의 빛을 검출하는데 적합한 방사 온도계(6)를 사용해, 온도 측정의 정확도를 높여도 좋다. 예를 들면, 피처리물(1)의 방사율이 높은 파장의 빛을 선택적으로 투과시키는 필터를 선택함으로써, 피처리물(1)의 온도 측정 정확도가 높아지는 효과를 얻을 수 있다.

일반적으로 사용되는 방사 온도계(6)은, 측정 피처리물로부터의 열 복사를 광입사구부(39)로부터 도입해, 렌즈에 의해 집광해, 검지부에 인도(집광)해서 온도 측정을 실시하는 구성이다. 그 때문에 방사 온도계(6)는 광축과 측정 가능한 측정 시야를 결정하는 빛의 입사각의 범위(시야각)θ를 갖추며, 방사 온도계(6)의 여러 가지 사양으로부터 원하는 θ치를 선택할 수 있다.

피처리물(1)의 표면에 있어서의 측정 시야의 크기는, 피처리물(1)과 방사 온도계(6)부터의 거리 및 시야각θ로 의해 결정된다. 후술하듯이, θ의 수치는 용기(2)의 형태, 피처리물(1)의 양 등으로부터 최적의 측정 시야를 얻을 수 있는 수치를 선택한다.

도 1에 표시한바 와 같이, 중간 뚜껑(4)의 개구부(5)의 지름은 입사각의 범위 θ의 빛이 방사 온도계(6)에 침입하도록 설정되어 있다. 그 결과, 측정 시야 이외로부터의 방사광이, 불필요하게 방사 온도계(6)에 침입하는 것을 차단해, 방사 온도계(6)의 면적 효과에 의한 측정 오차를 저감한다.

더 좋기는, 개구부(5)의 단면에 경사를 만들어 테이퍼 모양으로 해도 된다.

방사 온도계(6)의 수광면과 개구부(5)의 면적과 양자 간격의 거리에 따라서 개구부(5)의 단면의 경사각을 설정함으로써, 개구부(5)의 엣지부가 회절 현상에 의해 입사광의 집광 특성에 영향을 주는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 개구부(5)의 엣지부 근처에서의 회절 현상에 의한 수광 강도의 저하를 억제할 수 있다.

또한, 중간 뚜껑(4)의 개구부(5)에, θ를 변경하기 위해서 추가적인 광학 소자, 예를 들면 프레넬 렌즈 등을 설치해도 된다.

용기(2) 측에 있어서의 방사 온도계(6)의 광축의 연장선에서, 방사 온도계(6)의 광입사구부로부터 떨어져 있는 개구부(5)에 광학 소자를 설치함으로써, 개구부(5)를 경유해 방사 온도계(6)에 입사하는 빛을 광학 소자에 의해 굴절시켜 θ를 변경할 수 있다. 그 결과, 방사 온도계(6)를 변경하지 않고, 용기나 피처리물의 양에 맞추어 측정 시야를 변경해, 측정 시야를 최적화함으로써 온도 측정의 정확도를 높일 수 있다.

이와 같이 개구부(5)를 갖춘 중간 뚜껑(4)을 구비함으로써 온도 측정 장치의 가동률 저하를 방지하고, 또한 온도 측정 정확도를 높이는 등 여러 가지 대응이 가능해진다.

방사 온도계(6) 상부에는 전원(8), 예를 들면 버튼 전지가 설치된다. 일반적으로 방사 온도계(6)의 검지부가 축 대칭(원주형)이기 때문에, 좋기는 예를 들면, 용기(2)가 자전하는 자전축 선과 방사 온도계(6)의 중심축(광축) 및 전원(전지)(8)의 중심축(또는 중심)이 일치하도록 배치해도 된다. 그 결과, 용기(2)가 자전하면 방사 온도계(6) 및 전원(8)은 각각의 중심축의 주위를 회전하며, 용기(2)의 자전 운동에 대해서 위 덮개(3)의 중심의 변동에 의한 흔들림을 경감하는 효과를 쉽게 얻을 수 있다.

덧붙여, 전원(8)의 배치는 상기로 한정되는 것은 아니다.

방사 온도계(6) 및 전원(8)은 각각 기판(9a, 9b)을 거쳐 위 덮개(3)에 볼트 등으로 고정된다. 볼트는 용기(2)의 자전축에 대해 대칭되는 위치에 설치되며, 기판(9a, 9b)의 모양은 좋기는 용기(2)의 자전축에 대해 대칭되는 형태로 설계된다.

기판(9a, 9b)은, 도전성 배선 등에 의해 서로 전기적으로 접속되어, 기판(9b)에는 전원 스위치(10)가 설치된다. 용기(2)에 의해 피처리물(1)을 처리할 때, 전원 스위치(10)를 켜서(ON) 방사 온도계(6)에 전력을 공급하며, 사용하지 않을 때에는 전원 스위치(10)를 꺼서(OFF) 방사 온도계(6)에 대한 전력 공급을 정지시킬 수 있다.

덧붙여, 가속도 센서(30)를 기판(9a) 또는 기판(9b)에 추가적으로 탑재해도 된다. 전원(8)에 의해 가속도 센서(30)를 구동해 정해진 가속도(역치)를 넘는 가속도가 검지되었을 경우, 자동적으로 방사 온도계(6)에 전력을 공급하도록 해도 된다. 전원 스위치(10)를 수동으로 조작하는 번거로움을 줄이고, 전원 스위치(10)를 키는 것을 잊는 것을 방지할 수 있다.

나아가 회전 처리를 정지시킴으로써 가속도 센서(30)가 정해진 가속도(역치)보다 느린 가속도를 검지했을 경우, 전원을 자동적으로 끔으로써(OFF) 전력을 절약할 수도 있다.

이런 경우, 가속도 센서(30)로부터의 출력으로 릴레이 회로를 동작시키면 된다.

가속도 센서(30)는, 전기적으로 구동하는 외에, 기계적으로 구동해도 된다. 예를 들면, 추(錘)와 탄성체에 의해 기계적으로 스위치의 온(ON), 오프(OFF)가 가능한 가속도 센서를 채용함으로써 더욱 전력을 절약할 수가 있다.

또한, 가속도 센서(30) 대신에 경사계를 이용해, 용기(2)를 교반·탈포장치의 경사된 용기 홀더에 장치한 것을 검지해, 스위치의 온, 오프를 가능하게 하는 구성이여도 된다.

상기와 같이, 소비 전력이 작은 또는 전력을 필요로 하지 않는 가속도 센서나 경사계에 의해 회전 처치중인지 아닌지를 자동으로 검지해 방사 온도계(6)의 전원의 온, 오프를 실행함으로써 불필요한 전지 소모를 방지하고, 전지의 교환 빈도를 저감 할 수 있다.

방사 온도계(6)의 출력 즉 온도 측정치는, 무선 통신 수단에 의해 용기(2) 외부에 송신할 수 있다. 덧붙여, 본 명세서에 있어서의 방사 온도계(6)에 의한 온도 측정치란 온도로 변환된 수치에 한정되지 않고, 온도에 따른 전압이나 전류 등의 수치(전자 회로에서 사용되는 수치)이어도 된다.

도 2는, 온도의 측정치를 포함한 데이터를 송신하는 송신 유닛(11) 및 수신하는 수신 유닛(12)의 구성예를 나타낸다.

도 1에 표시한 바와 같이 송신 유닛(11)은 커버(7)의 내부에 수용되며 방사 온도계(6) 등으로부터 구성되어 있고, 각 구성요소는 기판(9a, 9b)에 고정되어 있다.

위 덮개(3) 및 커버(7)는, 송신 유닛(11)을 수용하는 케이스를 구성하게 된다.

용기(2)가 교반·탈포장치에 의해 공전, 자전 운동하면, 송신 유닛(11)도 용기(2)와 함께 공전, 자전 운동한다.

송신 유닛(11)은 용기(2)의 외부 위쪽의 위 덮개(3)에 고정되기 때문에, 용기(2)는 기존의 것을 사용할 수 있다. 피처리물(1)을 수용하는 용기(2)를 교환해서 같은 위 덮개(3)를 이용해 다른 피처리물(1)을 측정할 수 있기 때문에, 제품을 양산하는 제조 공정에서의 사용에도 적합하다.

수신 유닛(12)은 용기(2)와 떨어져 설치되어 공전, 자전 운동하지 않고, 교반·탈포장치의 제어 부분에 내장되든지 또는 교반·탈포장치로부터 따로 설치된 장치로서， 예를 들면 PC(개인용 컴퓨터)를 이용해 구성된다. 특히, 수신 유닛(12)을 교반·탈포장치로부터 따로 설치된 장치로 구성함으로써, 기존의 교반·탈포장치를 개조하지 않고 온도 측정 기능을 추가할 수 있다.

덧붙여, 수신 유닛(12)과 교반·탈포장치의 사이에서 전기적으로 정보를 전달해도 된다.

또한, 기존의 통신기술로 전달해도 된다.

덧붙여, 송신 유닛(11), 수신 유닛(12)에 빌드업(적층) 기판을 적용해서, 각 유닛의 소형화를 달성해도 된다.

이하, 송신 유닛(11) 및 수신 유닛(12)의 구성 및 기능에 대해 한층 더 상세히 설명한다.

송신 유닛(11)은 센서부(13), 전원부(14), CPU(연산 처리부)(15)를 구비한다. 전원부(14)는 전지(16) 및 전지 잔량 검출부(17)를 구비하고 CPU(15)는 기록부(18), 시계부(19), 송신부(20)를 구비한다. 센서부(13)는 상기 방사 온도계(6)에 상당하고, 전지(16)는 상기 전원(8)에 상당한다.

전원부(14)는 센서부(13) 및 CPU(15)에 전력을 공급함과 동시에 전지(16)의 잔량을 전지 잔량 검출부(17)에 의해 검지해 CPU(15)로 출력한다. CPU(15)는 전지(16)의 교환의 요구를 수신 유닛(12)에 보낼 수 있다.

또한, CPU(15)가 전지(16)의 잔량을 수신 유닛(12)으로 송신하고, 수신 유닛(12)이 수신한 전지 잔량에 의해 전지(16)의 교환 필요와 불필요를 판단해도 된다.

센서부(13)는, 피처리물(1)의 온도를 측정해 온도 측정치에 대응한 전기신호를 CPU(15)에 출력한다. (이하, 온도 측정치에 대응한 전기신호를 단지 온도 측정치라고 간략할 경우도 있다.)

CPU(15)는 시계부(19)에 의해 측정된 정해진 시간간격(주기)으로, 센서부(13)에게 온도 측정치의 출력을 요구한다.

CPU(15)는 센서부(13)로부터 출력된 온도 측정치를 데이터로서 기록부(18)에 기록해, 기록된 데이터를 측정 시각과 함께 연산 처리에 의해 디지털화해, 출력 신호로서 송신부(20)로부터 송신 유닛(11)의 외부에 송신한다. 데이터는, 예를 들면 근거리 무선 통신 규격, 적외선 통신 규격 등에 따라서 송신할 수 있다.

덧붙여 송신 유닛(11)으로부터 수신 유닛(12)으로는 출력 신호로서 온도 측정치뿐만이 아니라, 상기의 전지 잔량이나 측정 시각 등을 포함한 데이터를 송신해도 된다.

방사 온도계(6)에 전력이 공급되어 온도 측정이 개시되면, 송신 유닛(11)은 정해진 주기에 따라 교반·탈포처리 등의 회전 처리를 진행하면서 피처리물(1)의 온도를 측정한다. 즉, 교반·탈포처리중에 있어서는, 센서부(13)에 의해 비접촉으로 피처리물(1)의 온도 측정하는 측정 공정, 측정된 온도 측정치를 수신 유닛(12)에 송신하는 송신 공정, 정해진 시간 동안 대기하는(온도 측정을 진행하지 않는) 대기 공정의 이 3개의 공정을 한 개의 송신 사이클로 하여 이 송신 사이클이 반복해진다.

상기 대기 공정에 있어서 대기하는 시간을 변경함으로써 온도 측정의 주기를 변경할 수 있다. 대기 시간, 즉 측정의 주기는, 예를 들면 송신 유닛(11)의 기록부(18)에 미리 기록된 정해진 수치여도 좋되, 후술하듯이, 수신 유닛(12)에 의한 지정에 따라 변경할 수도 있다.

수신 유닛(12)에 의해 지정된 대기 시간은, 수신 유닛(12)으로부터 송신되어 송신 유닛(11)의 송신부(20)에서 수신되어 송신 유닛(11)의 방사 온도계(6)를 동작시키는 타이밍 정보로서 기록부(18)에 기록된다.

덧붙여, 송신부(20)는 수신 유닛(12)과의 사이에서 송수신 가능하고, 상기와 같이 수신 유닛(12)으로부터 송신된 신호를 수신할수도 있다.

따라서, 송신 유닛(11)이라는 명칭으로부터, 송신 유닛(11)은 송신만을 진행한다고 여겨서는 안된다.

대기 시간이 짧으면 온도 측정의 시간 변화를 상세하게 모니터할 수 있지만 전지의 소모가 커진다. 예를 들면 피처리물(1)의 화학적, 물리적 특성이나 교반·탈포처리 조건에 따라, 필요로 하는 시간 분해능과 에너지 절약 효과의 양쪽을 고려해서 대기 시간을 적당히 설정할 수 있다. 또한, 공전의 회전수와 동기 해서 온도 측정을 진행할 수도 있다.

수신 유닛(12)은 수신부（21）, 제어부（22）, 표시부(23), 조작부(24) 및 기록부(25)를 구비한다. 그리고, 수신 유닛(12)은, 송신 유닛(11)으로부터 송신된 신호를 수신부(21)로 수신해, 제어부(22)로 수신한 신호를, 온도 측정치를 포함한 데이터(예를 들면, 온도 측정치만의 데이터나 온도 측정치와 측정 시각 등을 조합한 데이터)로 변환해서, 기록부(25)에 기록한다.

덧붙여 수신부(21)는 송신 유닛(11)과의 사이에서 송수신이 가능하고, 후술하듯이 수신 유닛(12)으로부터 송신 유닛(11)으로 신호를 송신하는 것도 가능하다. 예를 들면, 수신 유닛(12)이 송신 유닛(11)으로부터의 신호를 수신했음을 알리는 신호를, 수신 유닛(12)으로부터 송신 유닛(11)으로 송신함으로써, 송신 유닛(11)이 수신 유닛(12)의 수신 에러의 유무를 검지하고 수신 에러를 검지했을 경우, 송신 유닛(11)이 수신 유닛(12)으로 신호를 재발송해서 측정치의 결락을 방지할 수도 있다.

따라서, 수신 유닛(12)이라는 명칭으로부터, 수신 유닛(12)은 수신만을 진행한다고 여겨서는 안된다.

피처리물(1)의 온도 측정이 개시되면 수신 유닛(12)은 송신 유닛(11)으로부터 송신된 측정치를 수신하는 수신 공정, 기록부에 기록하는 기록 공정인 2개의 공정을 한개의 수신 사이클로서 반복한다.

덧붙여, 송신 유닛(11)으로부터 송신된 출력 신호를 수신하기 위해, 교반·탈포처리의 실행중에 수신 유닛(12)은 상시 가동 상태에 있다.

상시 가동 상태인 경우 외에 측정, 송신 및 대기의 송신 사이클과 정합시켜 수신 사이클을 가동해도 된다.

또한, 복수의 용기를 한 번에 처리할 수 있는 교반·탈포장치(예를 들면 도3 참조)에 있어서는 복수의 송신 유닛(11)을 동시에 사용하게 되며 그 결과, 한대의 수신 유닛과 복수의 송신 유닛 사이에서 통신을 진행할 필요가 있다. 이런 경우, 1:n의 통신을 가능하게 하는 기존의 무선 통신 규격을 사용하면 된다.

수신 유닛(12)은 교반·탈포장치에 내장하는 것도 가능하지만, 교반·탈포장치와는 별도로 구성하면 기존의 여러 가지의 교반·탈포장치를 유효하게 활용할 수 있어 확장성도 높아진다. 송신 유닛(11)과 수신 유닛(12) 사이의 데이터의 송수신에 대해서 무선 통신을 이용하면 회전운동하는 송신 유닛(11)과의 통신이 가능하게 되고, 또한, 예를 들면, 진공하에서의 교반·탈포처리를 진행하는 교반·탈포장치에도 적용 가능해진다.

기록부(25)는 온도 측정치를 피처리물(1) 및 각 측정 시각에 대응한 데이터 베이스(온도 데이터)로서 기록해, 송신 유닛(11)이 복수인 경우에는 각 송신 유닛(11)마다 데이터 베이스로서 기록한다.

표시부(23)는 측정된 온도를 출력할 수 있으며, 예를 들면 온도의 시간 변화를 그래프로서 표시할 수도 있다. 또한, 후술하듯이 교반·탈포처리에 이상을 검지했을 경우에는 경고를 표시할 수 있다.

조작부(24)는 오퍼레이터에 의한 입력을 가능하게 한다. 예를 들면 표시부(23)에 표시되는 그래프의 사양을 변경하거나 피처리물(1)의 종류를 입력해 기록부(25)에 피처리물(1)의 물성치 등을 미리 격납해 두어, 측정된 데이터와 관련지어 데이터 베이스에 기록할 수도 있다.

또한, 오퍼레이터에 의해 기록부(25)에 기록된 데이터를 출력하고, 데이터의 해석 등을 진행하는 것도 가능하다.

게다가 오퍼레이터는 강제적으로 교반·탈포처리를 종료시키는 지령을 조작부(24)로부터 입력할 수도 있다. 조작부(24)로부터의 지령 입력의 우선 순위(프라이오리티)를 최고로 설정함으로써 오퍼레이터에 의한 강제 종료가 가능하다.

피처리물(1)의 물성치로서 방사율을 기록부(25)에 미리 데이터 베이스로서 기록해 두고, 제어부(22)는 피처리물(1)의 방사율을 데이터 베이스로부터 읽어내, 방사 온도계(6)로부터 출력된 측정치를 자동으로 보정하는 것도 가능하다.

방사율은 피처리물(1)에 의해 다르고 방사 온도계(6)의 온도 측정치는 방사율에 의존하기 때문에, 제어부(22)에 의한 온도 보정을 통해 더욱 정확한 온도를 용이하게 얻을 수 있다.

또한, 상기와 같이, 수신 유닛(12)은 송신 유닛(11)에 온도 측정을 실행하는 지령을 송신하는 것도 가능하다.

피처리물(1)에 예상되는 온도 변화에 맞추어 온도 측정의 빈도를 변경함으로써 송신 유닛(11)의 에너지를 절약할 수 있다. 예를 들면, 피처리물(1)의 온도 변화가 급속히 생길 것이라고 예상되는 경우, 온도 측정의 빈도를 높이도록(측정 주기를 짧게 하도록) 송신 유닛(11)에 지령을 보내고, 피처리물(1)의 온도 변화의 속도가 완만할 것이라고 예상되는 경우, 온도 측정의 빈도를 낮추도록(측정 주기를 길게 하도록) 송신 유닛(11)에 지령을 보낸다.

수신 유닛(12)으로부터 송신 유닛(11)으로의 측정 지령은 온도를 측정하는 각 시각에 송신해, 온도 측정 지령을 받은 송신 유닛(11)이 그때마다 온도 측정을 실행해도 되지만, 수신 유닛(12)이 온도 측정의 타이밍(측정 시각이나 측정 주기 등)을 송신 유닛(11)에 송신해 두어, 그 온도 측정의 타이밍에 따라서 송신 유닛(11)이 온도 측정을 실행해도 된다. 이런 경우, 송신 유닛(11)의 CPU(15)는, 수신 유닛(12)으로부터 송신된 측정 타이밍의 정보를 기록부(18)에 기록해 두어, 기록한 타이밍 정보에 따라서 센서부(13)가 온도 측정을 진행하도록 제어한다.

송신 유닛(11)을 전지에 의해 구동하는 경우, 온도 측정의 헛됨을 생략해 전지 수명을 늘일 수 있다.

덧붙여, 수신 유닛(12)의 기록부(25)에 피처리물(1) 및 그 처리 조건에 대응한 온도 측정의 타이밍을 미리 기록해 두어, 제어부(22)가 기록된 온도 측정의 타이밍을 읽어 내어, 수신부(21)로부터 송신 유닛(11)에 온도 측정의 타이밍을 송신해도 된다.

도 3은, 도 1에 표시된 용기(2)를 탑재하는 교반·탈포장치(100)의 일례를 나타낸다.

공전 톱니바퀴(101)를 갖춘 회전 드럼(102)은 베어링을 거쳐 공전축 (고정축) (103)에 대해서 회전 자유롭게 지지되고 있다. 모터(104)에 의한 회전운동이 공전 톱니바퀴(101)를 거쳐 회전 드럼(102)에 전달되고, 회전 드럼(102)은 공전축(103)을 축으로 회전한다.

공전 테이블(105)은 회전 드럼(102)에 연결(고정)되어 있어 회전 드럼(102)과 함께 회전한다.

용기 홀더(106)는 회전축(자전축)(107)을 갖추고, 회전축(107)은 베어링을 통해 공전 테이블(105)에 회전 자유롭게 지지되여 있다.

그 때문에, 용기 홀더(106)는 공전 테이블(105)의 회전에 의해 공전축(103)을 중심으로 회전(공전)한다.

용기 홀더(106)는 자전 톱니바퀴(108)를 갖추고 있다. 자전 톱니바퀴(108)는, 베어링을 거쳐 공전 테이블(105)에 회전 자유롭게 지지 되어 있는 중간 톱니바퀴(109)와 서로 맞물린다. 게다가 중간 톱니바퀴(109)는 태양 톱니바퀴(110)와 서로 맞물린다.

태양 톱니바퀴(110)는 회전 드럼(102)의 외측에 배치되어 있어, 회전 드럼(102)에 대해서 베어링을 거쳐 회전 자유롭게 지지되여 있다.

덧붙여, 태양 톱니바퀴(110)는 톱니바퀴(111)와 서로 맞물린다. 톱니바퀴(111)에는, 서로 맞물리는 톱니바퀴(112) 및 톱니바퀴(113)를 거쳐 파우더 브레이크 등 제동 장치(114)의 제동력이 전달된다.

태양 톱니바퀴(110)는 제동 장치(114)에 의해 더해지는 제동력이 없을(제동력이 제로인) 경우, 회전 드럼(102)에 피동해서 회전한다.

제동 장치(114)의 제동력이 톱니바퀴(111)를 거쳐 태양 톱니바퀴(110)에 전달되었을 경우, 태양 톱니바퀴(110)의 회전 속도가 회전 드럼(102)의 회전 속도에 비해 감소되고, 태양 톱니바퀴(110)의 회전 속도와 회전 드럼(102)에 연결되어 있는 공전 테이블(105)의 회전 속도 사이에 차이가 생긴다. 그 결과, 태양 톱니바퀴(110)에 대해서 중간 톱니바퀴(109)가 상대적으로 회전한다. 중간 톱니바퀴(109)는 자전 톱니바퀴(108)와 서로 맞물리기 때문에, 자전 톱니바퀴(108)가 회전하고, 용기 홀더(106)는 회전축(107)을 축으로 회전(자전)한다.

덧붙여, 상기 교반·탈포장치(100)는 한 개의 구동 모터(104)에 의해 용기 홀더(106)를 공전 및 자전시키는 구성을 예를 나타냈지만 교반·탈포장치의 구성은 이 도3의 예로 한정하는 것은 아니다.

예를 들면, 공전용 구동 모터와 자전용 구동 모터를 별도로 구비해 용기 홀더(106)를 공전 및 자전시켜도 되고 또 혹은 다른 구성이어도 된다. 이미 말한 바와 같이 송신 유닛(12)은 용기(2)에 설치할 수 있으며, 따라서 기존의 여러 가지 교반·탈포장치에 적용 가능하기 때문이다.

도 3에 있어서는 2개의 용기(2)를 탑재하고 있다. 이와 같이 2개 이상의 복수의 용기(2)로 동시에 교반·탈포처리를 진행하고, 동시에 복수의 용기(2)에 수용되어 있는 피처리물(1)의 온도 측정을 진행하는 것이 가능하다.

복수의 용기(2), 즉 복수의 송신 유닛(11)과 단일의 수신 유닛（12）을, 전파나 적외선을 이용한 무선 통신으로 접속 가능하다는 것은 상술대로이다.

일회의 통신으로 송신하는 데이터량이 적기 때문에, 여러 가지 통신규격을 이용할 수 있다.

용기(2)는 교반·탈포장치(100)의 용기 홀더(106) 내에 고정되기 때문에, 용기(2)는 공전하면서 자전한다.

용기(2)의 공전 운동에 기인하는 원심력에 의해, 피처리물(1)이 용기(2)의 측벽을 따라서 밀려오른다. 도 3에 표시한 바와 같이, 방사 온도계(6)의 θ가, 용기(2)의 밑의 정해진 범위 내에 측정 시야가 설정되어 있어, 피처리물(1)이 밀려오른 상태에서도 피처리물(1)의 온도를 측정할 수가 있다.

방사 온도계(6)의 θ은 피처리물(1)의 양이나 용기(2)에 맞추어 설정할 필요가 있다.

예를 들면, 도4(a)에 표시한 바와 같이 20°로 설정할 수도 있고 도4(b)와 같이 90°로 설정할 수도 있다.

도4(a)표시한 예의 경우, 피처리물(1)의 표면의 중앙 부분만을 측정할 수 있다.

피처리물(1)의 표면에 한정된 영역만을 측정하기 때문에 표면 전체의 평균적 온도를 측정할 수 없다.

도 4(b)에 표시된 예의 경우, 피처리물(1)의 표면을 광범위하게 온도 측정할 수 있다. 하지만, 피처리물(1)의 양이 적고 피처리물(1) 뿐만 아니라 용기(2)의 측벽으로부터의 복사도 증대하여, 피처리물(1)의 정확한 온도 측정을 할 수 없을 경우가 있다.

적합한 θ의 예로서 도 4(c)에 표시한 바와 같이 용기(2)를 정지시키고 피처리물(1)을 수평 상태로 해, 그 표면 전체를 방사 온도계(6)의 측정 시야가 커버하여 피처리물(1)의 표면과 측정 시야가 실질적으로 일치하도록 설정할 수 있다.

또한, 도 3에 표시된 바와 같이 회전시의 피처리물(1)의 상태에 맞추어, 도 4(c)의 예에 표시되는 θ을 진일보 조정해(예를 들면 θ의 수치를 작게 해) 최적화하는 것도 가능하다.

따라서, θ의 수치로서는 용기(2)의 모양(지름이나 높이), 피처리물(1)의 양에 맞추어 20°~90°의 범위에서 적당히 선택함으로써 폭넓은 조건에서 온도 측정이 가능해진다.

덧붙여, θ의 수치는 방사 온도계(6)의 사양에 의해 확정되며, 시판되고 있는 여러 가지 방사 온도계 중에서 정해진 θ를 지닌 방사 온도계를 선택할 수 있다. 또한, 상기와 같이, 중간 뚜껑(4)의 개구부(5)에 추가적으로 광학 소자를 마련해 θ를 조정함으로써, 용기(2)나 피처리물(1)에 대해서 한층 더 최적인 θ를 얻을 수 있다.

이와 같이 송신 유닛(11) 및 수신 유닛(12)에 의해, 교반·탈포처리시의 피처리물(1)의 근방으로부터 측정 시야 전체의 온도를 측정해, 교반·탈포처리시의 피처리물(1)의 흐름에 의한 일시적 그리고 국소적인 온도 불균일의 영향이 없고, 피처리물(1)의 온도 변화를 정확하게, 재현성이 좋게, 리얼타임으로 측정하는 것이 가능해진다.

또한, 피처리물(1)에 대해서 비접촉이기 때문에, 피처리물(1)의 교반·탈포처리에 영향을 주지 않는다.

<교반·탈포처리에의 응용>

수신 유닛(12)은 기록부(25)를 구비하고 있으므로 측정 데이터를 데이터 베이스로서 기록할 수 있다.

데이터 베이스로서, 피처리물(1)에 대응한 온도의 시간 변화를 표시하는 참조 데이터(또는 기준이 되는 표준 데이터)를 미리 기록해 두어, 실제로 측정된 온도 측정치의 시간 변화를 수시로 참조 데이터와 비교해 참조 데이터와의 괴리를 산출함으로써, 정상적으로 교반·탈포처리가 실행되었는지 판정할 수 있다.

덧붙여, 수신 유닛(12)은 미리 기록하는 참조 데이터의 기록부(기록부)를, 측정된 온도 측정치를 기록하는 기록부(25)(기록 영역)와는 따로 구비해도 된다는 것은 말할 필요도 없다.

예를 들면, 양산 공장 등에 있어서 동일 제품을 제조하는 경우, 품질관리의 목적으로부터 측정 온도 데이터를 기록하고, 관리하고, 활용할 수 있다.

구체적으로는, 동일한 제품을 제조하기 때문에 동일한 재료의 피처리물(1)을 처리하는 경우, 미리 측정된 전형적인(혹은 최적화된 교반·탈포처리 조건하에서의) 온도 변화의 참조 데이터를 기록부(25)에 데이터 베이스로서 기록해 둔다.

교반·탈포처리의 과정에 있어서, 정해진 시간 간격으로 참조 데이터의 온도와 측정된 온도와의 괴리를 온도차(차분)에 의해 계산하고 온도차의 평균치(또는 합계치)를 산출해서, 이러한 수치의 절대치가 역치를 넘었을 경우, 예를 들면 평균치(또는 합계치)가 관리 기준의 범위를 벗어났을 경우에 이상 있음(괴리 있음)이라고 판정하고, 경고를 화면 표시나 램프 등에 의해 발송하거나 또는 데이터 베이스에 경고가 생겼음을 기록하도록 설정한다. 덧붙여 온도의 괴리가 관리 기준의 범위 내라면 이상 없음(괴리 없음)이라고 판정한다.

또한, 상기 온도차(차분) 대신에 차분의 2승이나 차분의 절대치의 평균치(또는 합계치)를 사용해서 미리 설정된 역치를 넘었을 경우, 이상 있음이라고 판정하고 경고를 발송해도 된다. 또한, 이러한 수치의 복수를 조합해, 예를 들면 차분과 차분의 2승의 양쪽 모두를 이용해서 경고를 발송해도 된다.

이와 같이 차분, 차분의 2승 또는 차분의 절대치의 평균치(또는 합계치)를 이용해 괴리치로서 정의함으로써, 참조 데이터로부터의 괴리를 정량적으로 평가할 수 있다.

덧붙여, 역치는 피처리물(1)(또는 제품 사양)에 대응해 설정되며, 예를 들면 오퍼레이터에 의해 조작부(24)를 통해 입력하고 기록부(25)에 기록해둘 수 있다.

상기 괴리치는, 측정 시간과 함께 수시로 산출함으로써, 참조 데이터로부터의 괴리의 유무 및 괴리의 정도를 동적으로 모니터할 수 있다. 즉 온도 측정 개시시점으로부터 현시점까지의 측정 데이터로부터 괴리치를 산출하고, 측정 시간이 경과함과 동시에 수시로 괴리치를 갱신함으로써 동적인 해석을 할 수 있다.

그 결과, 교반·탈포처리가 예정 대로인지 아닌지, 이상 발생의 유무를 즉석으로 판정해 경고 발송을 자동적으로 진행할 수 있다.

예를 들면 차분의 2승의 평균치가 역치를 넘고 있지만 차분의 평균치의 절대치가 역치를 넘지 않는 경우는 경고 레벨 1, 양쪽 모두가 역치를 넘는 경우는 경고 레벨 2로 하고, 진일보로 차분의 평균치가 마이너스인 경우와 플러스인 경우를 구별해서 경고 레벨을 구별하는 등 적당한 경고 레벨을 피처리물(1)의 물성치에 대응해 설정할 수 있다.

이러한 차분의 산출 등은 제어부(22)에서 진행하고, 경고 레벨은 표시부(23)에서 발송할 수 있으며, 또한 데이터 베이스로서 기록부(25)에 기록할 수 있다.

진일보로, 상기 괴리치의 데이터를 이용해서 교반·탈포처리를 제어할 수 있다.

예를 들면, 피처리물(1)에 따라서는, 교반·탈포처리시의 피처리물(1)의 화학변화를 방지하기 위해 상한 온도가 정해져 있는 경우가 있다. 반대로, 교반·탈포효과를 높이기 위해 하한 온도가 정해져 있는 경우가 있다.

이러한 경우에 있어서도, 괴리치의 데이터를 이용해서 수신 유닛(12)의 제어부(22)를 통해, 교반·탈포장치(100)의 회전운동을 제어하는 제어부에 지령 신호를 송신함으로써, 교반·탈포장치(100)의 처리 조건을 제어하고 최적의 교반·탈포처리 조건을 유지할 수 있다.

예를 들면, 참조 데이터와 측정 데이터의 괴리치가 역치의 하한을 밑돌았을 경우에는 공전 또는 자전의 적어도 한편의 회전수를 증대시키고, 참조 데이터와 측정 데이터의 괴리치가 역치의 상한을 웃돌았을 경우에는 공전 또는 자전의 적어도 한편의 회전수를 감소시키는 제어가 가능하다.

방사 온도계(6)의 응답 속도가 빠르기 때문에, 이러한 회전수의 피드백 제어가 가능하다.

또, 피처리물(1)의 기포의 양에 의한 복사 에너지의 차이 등을 방사 온도계(6)에 의해 재빠르게 검지하는 것도 가능하다.

참조 데이터로서 표준 데이터(최적화된 교반·탈포조건에서 측정된 온도의 시간 변화에 관한 데이터) 외에, 기포의 양이 다른 피처리물(1)에 관해 측정된 여러 가지의 온도 변화 데이터를 미리 데이터 베이스로서 기록해, 이러한 온도 변화 데이터의 시간 의존성을 조사한 패턴(온도 변화 패턴)과 대조함으로써, 가장 가까운 온도 변화 패턴으로부터 피처리물(1)의 상태를 추정할 수 있다.

대조는 제어부(22)에 의해 진행하는 것이 가능하고, 구체적으로는 측정 데이터와 여러 가지의 온도 변화 패턴과의 괴리치를 상기와 같이 산출해서, 괴리치가 가장 작은 온도 변화 패턴을 추출한다. 혹은 표준 데이터의 온도 변화 패턴과 특정 상태, 예를 들면 기포를 다량으로 함유하는 상태의 피처리물(1)의 온도 변화 패턴을 각각 선형으로 편성해서 측정 데이터를 재현하여, 각각의 편성 비율로부터 피처리물(1)의 상태가 어느 쪽 상태에 가까운가 등을 추정해도 된다. 편성 비율을 괴리치로서 이용함으로써 정량적인 해석이 가능하다. 덧붙여, 편성 비율은 최소 제곱법에 의해 간단하게(대수적으로) 산출할 수 있다.

온도 변화의 패턴을 인식함으로써 온도 측정뿐만이 아니라 피처리물(1)의 상태를 추정할 수도 있다. 따라서, 교반·탈포처리의 종료시점의 검지에도 이용할 수 있다.

이와 같이 측정 데이터가 온도라는 하나의 변수이기 때문에 온도 변화 패턴을 인식해 해석하는 것이 용이하고 고도의 계산 기술을 필요로 하지 않으며, 일반적인 개인용 컴퓨터로도 충분히 빠른 해석이 가능하고 리얼타임으로 동적인 해석이 가능하다.

온도 변화 패턴의 가장 단순한 모델에 있어서는 (1)교반·탈포처리 조건이 일정하고, 피처리물(1)과 용기(2)와의 마찰에 의한 열의 발생이 일정하며, (2)피처리물(1)의 시각(t)에서의 온도(T(t))와 주위 온도(Ta)의 온도차에 비례한 열이 주위에 방출된다고 가정할 수 있다. 이러한 가정으로부터 이끌어내는 간단한 미분 방정식에 의해 피처리물(1)의 온도(T(t))는

T(t)=Ta+A(1-exp(-αt)) (식 1)

로 나타낼 수 잇다. 여기서 A, α는 정수이다.

단순한 모델이지만, 식(1)은 최적화된 교반·탈포조건에서 실측된 온도 변화 패턴과 정합한다는 것을 확인할 수 있었다. 이것은 온도 측정치의 타당성을 증명한다.

한편, 용기(2)의 밑부분의 온도 측정 방법에 의한 온도 변화 패턴에 있어서는 식(1)으로부터 예상할 수 없는 변곡점이 나타나 온도 측정이 불안정하다는 것이 확인되고, 본 발명에 따른 온도 측정 장치에 의한 온도 측정의 우위성이 확인되었다.

또한, 상기 식(1)을 이용하여 제어부(22)에 있어서 실측치와의 비교에 의해 A, α를 최소 제곱법 등에 의해 구해서 온도 변화를 예측하며, 피처리물(1)의 온도가 허용되는 상한치를 넘는다고 예측되는 경우, 그 예측 결과를 교반·탈포장치(100)에 송신하고, 교반·탈포장치(100)의 제어부에 의해 공전 또는 자전의 적어도 한편의 회전수를 변경, 예를 들면 저감하거나 또는 교반·탈포처리를 정지시키는 대처를 실시하는 것도 가능하다. 반대로, 예측치가 하한치를 밑도는 경우, 제어부에 의해 공전 또는 자전의 적어도 한편의 회전수를 변경, 예를 들면 증대하는 대처를 실시해도 된다.

이러한 대처는 피처리물(1)에 관해 예측되는 온도 변화의 상한치 및 하한치를 미리 기록부(25)에 등록해 두고, 제어부(22)를 통해 교반·탈포장치(100)에 대해서 자동적으로 실행할 수도 있다.

덧붙여, 온도 변화의 예측은 최신의 복수(예를 들면 3개 점)의 온도 측정치로부터 직선 근사를 통해 진행하며, 피처리물(1)의 온도가 상한(하한)을 넘는(밑도는)지 아닌지를 판정 또는 예측하여 상기 대처를 실시해도 된다.

또한, 처리시의 공전 회전 속도, 자전 회전 속도, 각 구동계의 부하(토르크)의 시간 변화를 장치 데이터로서 기록부(25)에 기록하고, 이러한 장치 데이터와 측정 온도의 데이터와의 상관을 분석하는 것도 가능하다. 그것에 의해 교반·탈포조건의 최적화 작업도 용이해진다.

예를 들면 구동계의 부하가 큰 경우, 피처리물(1) 내부에서의 마찰이나 피처리물(1)과 용기(2)와의 마찰이 크다고 추정되기 때문에 부하와 온도와의 상관을 리얼타임으로 모니터 할 수 있다.

또한, 용기(2)의 밑부분에 있어서 용기(2)의 온도 측정을 열전대 등으로 모니터하고, 열전대 등으로 측정된 용기(2)의 온도 변화와 방사 온도계(6)가 표시하는 온도 변화의 패턴의 차이를 미리 기록해, 실측 데이터와의 비교를 리얼타임으로 실행해도 된다. 피처리물(1)의 재료의 특성 등에 의해 열의 발생 상황이 다르기 때문에, 이와 같이 하면 양자의 온도 변화의 시간 의존성에 명확한 특징이 나타나는 경우가 있어 피처리물(1)의 상태를 간접적으로 모니터할 수 있다.

(실시 형태 2)

일반적으로 방사 온도계(6)는 피처리물에서 방사되는 빛을 집광해 검지부에 인도해서 온도 측정을 진행한다. 따라서 방사 온도계(6)는 빛을 렌즈로 집광하는 광축을 지닌다. 실시 형태 1에서는 방사 온도계(6)의 광축(31)과 용기(2)의 자전축(32)이 일치하도록 설치했다.

본 실시 형태에 있어서는, 도 5에 표시한 바와 같이 방사 온도계(6)의 광축(31)을 용기(2)의 자전축(32)과 평행을 유지하면서 자전축(32)으로부터 정해진 양δ, 예를 들면 용기(2)의 반경의 10분의 1 정도 물려서 배치하고 있다.

용기(2)는 공전 운동과 함께 자전 운동하고 있다. 교반 효과를 높이기 위해 높은 회전수로 자전하는 경우, 자전축(32) 근방에서는 교반 효과가 낮고 또한 자전의 원심력에 의해 용기(2)의 자전축(32)상에 위치하는 중앙 부분에서는 피처리물(1)에 구덩이가 생긴다.

그 때문에, 방사 온도계(6)의 광축(31)을 용기(2)의 자전축(32)으로부터 거리δ만큼 물려서 배치해, 피처리물(1)의 구덩이의 영향을 경감하고 온도 측정의 정확도를 더욱 높일수 있다.

(실시 형태 3)

방사 온도계(6)는 상기와 같이 광학계를 구비하고 있으며, 방사 온도계(6)에 의해 측정 시야가 확정된다. 측정 시야는 용기(2) 및 용기(2)에 수용되어 있는 피처리물(1)의 양에 따라 최적화하는 것이 바람직하다. 이 목적을 위해서, 여러 가지의 측정 시야를 갖추는 방사 온도계(6)를 센서부(13)로서 이용한 송신 유닛(11)을 여러 개 준비해 두어, 최적인 측정 시야에 가까운 송신 유닛(11)을 선택한다는 것은 코스트가 증대한다는 문제점이 있다.

본 실시 형태에 의하면, 한대의 방사 온도계(6)에 의해 측정 시야의 최적화를 가능하게 할 수 있다.

도 6에 표시한 바와 같이, 방사 온도계(6)(센서부(13))의 광입사구부(39)에는 입사광을 굴절시키는 광학 소자(40), 예를 들면 볼록 렌즈가 고정된 가동 지지대(41)가 설치되어 있다.

가동 지지대(41)는 방사 온도계(6)의 광축에 따라서 평행으로 이동 가능하고, 또한 방사 온도계(6)에 대해서 나사등으로 고정할 수 있다.

가동 지지대(41)를 이동시킴으로써, 광학 소자(40)는 방사 온도계(6)의 광축에 있어서 초점거리를 변경하여 방사 온도계(6)에 입사하는 빛의 시야각을 변경할 수 있다.

방사 온도계(6)의 원통형의 외면과 원통형의 가동 지지대(41)의 내면에 같은 피치의 나사산을 형성해 두어, 가동 지지대(41)를 회전시킴으로써 가동 지지대(41)를 광축 방향으로 이동 가능하게 할 수 있다.

가동 지지대(41)는, 최적인 위치에 있어서 고정할 수 있도록 가동 지지대(41)의 측벽을 관통하는 나사구멍을 별도로 마련해 볼트로 방사 온도계(6)와 고정시킬 수 있다.

또한, 시야각은, 가동 지지대(41)의 위치를 변화시킴으로써 연속적으로 변경할 수 있다. 따라서, 중간 뚜껑(4)의 개구부(5)에 렌즈를 사용한 경우와 달리 시야각을 미조정할 수 있으며, 나아가 측정 시야의 최적화가 가능하고 온도 측정의 정확도를 높일 수 있다.

덧붙여, 중간 뚜껑(4)의 개구부(5)에 설치하는 광학 소자(예를 들면 프레넬 렌즈)와의 조합에 의해 넓은 범위에서의 시야각의 변경도 가능하다.

(실시 형태 4)

실시 형태 1에 있어서는, 위 덮개(3)의 상부(용기(2)의 외부 측)에 튀어나오게 커버(7)가 장치되여 그 내부에 송신 유닛(11)을 수용하고 있었다.

도 7에 표시한 바와 같이, 위 덮개(3)의 하부 즉 용기(2) 측에 튀어나오게 커버(7)를 장치해 커버(7)의 내부에 송신 유닛(11)을 설치해도 된다.

도 7에 표시한 바와 같이, 기판(9a, 9b)은 커버(7)에 볼트 등으로 고정되며, 커버(7)는 위 덮개(3)에 볼트 등으로 위 덮개(3)의 상부로부터 고정된다.

이렇게 구성함으로써, 송신 유닛(11)을 위 덮개(3)의 안쪽에 수용할 수 있기 때문에 본 장치의 소형화가 가능하게 된다. 그러므로 소형의 교반·탈포장치에도 대응이 용이하다.

방사 온도계(6)에 의해 용기(2)의 위쪽으로부터 피처리물(1)의 온도를 직접, 리얼타임으로 측정할 수 있음은 실시 형태 1과 같기 때문에 온도 측정에 대한 설명은 생략한다.

덧붙여, 용기(2)의 위쪽이란 용기(2)의 자전축에 따라서 용기(2)의 밑부분과 마주 향한 쪽을 의미한다.

(실시 형태 5)

본 실시 형태에서는 피처리물(1)을 교반·탈포처리할 때에 원심력에 의해 피처리물(1)이 밀려오르는 현상에 대응해서, 방사 온도계(6)의 광축을 용기(2)의 자전축에 대해 정해진 각도로 교차(경사)시켜 피처리물(1)이 밀려오르는 방향을 향하게끔 하여, 회전 처리중의 피처리물(1)을 그 형태에 맞춘 최적한 조건으로 온도 측정을 진행할수 있게 된다.

도 8에 표시한 바와 같이 방사 온도계(6) 등을 포함한 송신 유닛(11)은 기판(9a, 9b)을 거쳐 케이스(33)에 고정된다. 케이스(33)는 도 1의 커버(7)에 상당하며 그 내부에 송신 유닛(11)을 수용하고 있다.

케이스(33)는 구면 베어링(34)의 구체(35)에 연결된 샤프트(36)에 고정되고, 그리고 송신 유닛(11)의 방사 온도계(6)(센서부(13))의 광축과 샤프트(36)의 중심축이 일치하도록 위치가 정해진다.

구면 베어링(34)은 지지체(37)에 고정되고, 지지체(37)는 위 덮개(3)에 고정된다.

지지체(37)는, 위 덮개(3)를 용기(2)에 장치했을 때, 정지 상태에서 샤프트(36)의 중심축과 용기(2)의 자전축(회전 대칭축)이 일치하도록 위치를 정한다.

따라서 케이스(33)는 구면 베어링(34)에 의해서 요동 가능하게 지지 되어 용기(2)의 자전 축에 대해 모든 방향으로 자유로이 경사할 수 있다.

게다가 샤프트(36)에는 스토퍼(38)가 고정되어 있어 샤프트(36)의 최대 경사 각도를 규정한다. 즉, 샤프트(36)가 경사하면 스토퍼(38)는 구면 베어링(34)의 표면과 간섭하며 경사각을 제한해, 샤프트(36)가 최대 경사각(경사각의 상한)보다 경사하는 것을 방지한다.

최대 경사각은 피처리물(1)의 밀려오르는 양에 따라서 결정한다.

또한, 스토퍼(38)의 형태 및 설치 위치에 따라 최대 경사각을 변경할 수 있다.

이와 같이 구면 베어링(34)에 의해 최대 경사각 내에서 케이스(33)가 자유로이 경사(회전)할 수 있다.

구면 베어링(34)에 의해 자유로이 경사 가능한 방사 온도계(6)를 구비한 위 덮개(3)를 용기(2)에 장치하고, 교반·탈포장치(100)의 용기 홀더(106)에 용기(2)를 장치해 교반·탈포처리를 실행하면 원심력에 의해 공전축으로부터 멀어지는 방향으로 방사 온도계6의 광축이 경사한다.

동시에 피처리물(1)은 공전축으로부터 멀어지는 방향으로 밀려오른다.

케이스(33)에 고정된 송신 유닛(11)의 방사 온도계(6)는 용기(2)의 위쪽으로부터, 피처리물(1)의 밀려오름에 대응한 부분의 온도 측정을 진행할 수 있다.

따라서, 방사 온도계(6)는 용기(2)의 자전 운동에 관계없이 항상 피처리물(1)의 밀려오른 부분의 온도 측정을 진행할 수 있다.

덧붙여, 용기(2)의 위쪽이란 용기(2)의 자전축에 따라 용기(2)의 밑부분과 마주하는 쪽을 의미한다.

(실시 형태 6)

상기 실시 형태에 있어서는, 위 덮개(3)를 거쳐 용기(2)에 방사 온도계(6)를 고정하는 구성이였다.

본 실시 형태 6의 교반·탈포장치(200)에 있어서는 방사 온도계(6)를 용기(202)에 고정하지 않고 용기(202)와 함께 공전하는 공전체에 고정하여, 용기(202)에 수용된 피처리물(1)의 온도 측정을 진행하는 구성이다.

도 9는, 본 실시 형태 6의 교반·탈포장치(200)의 구성의 일례를 나타낸다. 도 3에 나타내는 교반·탈포장치(100)와 같이 회전 드럼(102)은 구동 모터(104)에 의해 공전축(103)을 축으로 회전한다.

회전 드럼(102)에는 공전 암(Arm)(201)이 연결(고정)되어 있다. 그러므로 공전 암(201)은 회전 드럼(102) 및 회전축(107)을 거쳐 용기 홀더(106)를 지지하는 공전 테이블(105)과 함께 회전한다.

공전 암(201)은 용기 홀더(106)에 장치된 용기(202)의 위쪽까지 뻗는다.

덧붙여, 용기(202)의 위쪽이란 용기(202)의 자전축에 따라 용기(202)의 밑부분과 마주 향한 쪽을 의미한다.

용기(202)의 위쪽에 있어서 케이스(33)가 공전 암(201)에 고정된다. 방사 온도계(6) 등을 포함한 송신 유닛(11)이 케이스(33)에 고정된다.

용기(202)의 상부는 개방되어 있고 방사 온도계(6)의 광축은 용기(202)에 수용되어 있는 피처리물(1)의 방향으로 향해져 피처리물(1)의 온도를 측정할 수 있다.

덧붙여, 도 6에 표시한 바와 같이 방사 온도계(6)의 광입사구부에 추가적인 광학 소자를 설치해도 된다.

본 실시 형태에 있어서는, 용기(202)만을 교환함으로써 용이하게 피처리물(1)의 온도 측정이 가능하다. 그러므로 예를 들면 동일 제품을 양산하는 경우, 용기(202)의 교환이 용이해져 생산성이 높아진다.

또한, 송신 유닛(11)이 자전 운동을 받지 않기 때문에, 자전 운동하는 경우와 비교해 송신 유닛(11)의 내구성을 높일 수 있다.

또한, 실시 형태 5와 달리 송신 유닛(11)이 자전 운동을 받지 않기 때문에, 구면 베어링을 사용하지 않고 방사 온도계(6)의 광축을 경사시켜 항상 밀려오름에 대응한 각도로 설치하는 것도 가능하다.

또한, 전원(8)을 사용하는 대신에 공전 암(201)을 거쳐 유선으로 외부로부터 송신 유닛(11)에 전력을 공급하는 것도 가능하다.

전원(8)으로서 버튼 전지를 사용했을 경우, 정기적인 전지 교환이 필요하지만, 본 실시 형태에 있어서는 전지 교환에 의한 전력 공급의 중단이 없이 안정된 전력 공급이 가능하다.

덧붙여, 상기의 각 실시 형태에 있어서는 전력을 전원(8), 예를 들면 전지에 의해 공급했지만, 무선급전(전파나 빛 등에 의해)이나 공전, 자전 운동에 의해 발전해도 되고, 태양전지를 이용해 외부빛을 수광해서 발전해도 된다.

공전, 자전 운동에 의해 발전하는 경우, 송신 유닛(11)의 전원부(14)에 레귤레이터를 탑재해 안정된 전력을 방사 온도계(6)에 공급하도록 구성해도 된다.

본 발명에 의하면 공전이나 자전 운동이라는 회전 처리를 진행하면서 피처리물의 온도를 리얼타임으로 측정할 수 있어 피처리물의 온도 변화의 이상을 검출하거나, 그 온도 변화에 대응해 교반·탈포처리등의 동작 내용을 자동적으로 변경하는 것도 가능해진다. 더 나아가, 회전 처리시의 피처리물의 온도 이력을 데이터 베이스로서 남길 수 있어 제품의 품질관리를 진행하는 것도 가능해진다. 그러므로 본 발명은 산업상의 이용 가능성이 크다.

1 피처리물
2 용기
3 위 덮개
4 중간 뚜껑
5 개구부
6 방사 온도계
7 커버
8 전원
9a, 9b 기판
10 전원 스위치
11 송신 유닛
12 수신 유닛
13 센서부
14 전원부
15 CPU(연산 처리부)
16 전지
17 전지 잔량 검출부
18 기록부
19 시계부
20 송신부
21 수신부
22 제어부
23 표시부
24 조작부
25 기록부
30 가속도 센서
31 광축
32 자전축
33 케이스
34 구면 베어링
35 구체
36 샤프트
37 지지체
38 스토퍼
39 광입사구부
40 광학 소자
41 가동 지지대
100 교반·탈포장치
101 공전 톱니바퀴
102 회전 드럼
103 공전축
104 모터
105 공전 테이블
106 용기 홀더
107 회전축
108 자전 톱니바퀴
109 중간 톱니바퀴
110 태양 톱니바퀴
111 톱니바퀴
112 톱니바퀴
113 톱니바퀴
114 제동 장치
200 교반·탈포장치
201 공전 암
202 용기

Claims (11)

1. 공전 및/또는 자전 운동하는 용기에 수용된 피처리물의 온도를 측정하는 온도 측정 장치이며,
   송신 유닛과 수신 유닛을 구비하고，
   상기 송신 유닛은 비접촉으로 상기 피처리물의 온도를 측정하며, 상기 피처리물의 온도의 측정치를 포함한 데이터를 송신하고,
   상기 수신 유닛은 상기 데이터를 수신하고,
   상기 송신 유닛은 상기 용기에 착탈 가능하게 고정되는 위 덮개에, 상기 피처리물로부터 방사된 빛의 입사광을 검지 가능하게 설치되며, 상기 용기와 함께 공전 가능한 것
   을 특징으로 하는 온도 측정 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 송신 유닛은 상기 피처리물을 향해서 설치되어 있는 것
   을 특징으로 하는 온도 측정 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 송신 유닛은,
   상기 피처리물의 온도를 비접촉으로 측정하는 센서부와,
   상기 센서부에 전력을 공급하는 전원부와,
   상기 측정치를 포함한 상기 데이터를 상기 수신 유닛에 송신하는 연산 처리부를 갖추고,
   상기 수신 유닛은,
   상기 측정치를 포함한 상기 데이터를 수신하는 수신부와,
   상기 측정치를 기록하는 기록부를 갖추는 것
   을 특징으로 하는 온도 측정 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 센서부의 시야각이 20°~90°인 것
   을 특징으로 하는 온도 측정 장치.
5. 제3항에 있어서,
   상기 센서부의 광입사구부에, 상기 센서부의 광축 방향으로 이동 가능한 광학 소자가 설치되어 있는 것
   을 특징으로 하는 온도 측정 장치.
6. 제3항에 있어서,
   상기 센서부의 광축의 연장선에 있어서의, 상기 센서부의 광입사구부로부터 떨어져 있는 위치에 광학 소자가 설치되어 있는 것
   을 특징으로 하는 온도 측정 장치.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 송신 유닛이 구면 베어링에 의해 상기 용기의 상기 위 덮개에 대해서 요동 가능하게 지지되여 있는 것
   을 특징으로 하는 온도 측정 장치.
8. 제3항에 있어서,
   상기 송신 유닛은 가속도 센서를 더 구비하고， 상기 가속도 센서가 역치 이상의 가속도를 검지하면 상기 센서부에 전력이 공급되는 것
   을 특징으로 하는 온도 측정 장치.
9. 공전 및/또는 자전 운동하는 용기에 수용된 피처리물의 온도를 측정하는 방법이며,
   상기 용기에 착탈 가능하게 고정되는 위 덮개에, 상기 피처리물로부터 방사된 빛의 입사광을 검지 가능하게 설치된 송신 유닛은
   상기 피처리물의 온도를 비접촉으로 측정하는 측정 공정과,
   상기 피처리물의 온도의 측정치를 포함한 데이터를 송신하는 송신 공정과,
   정해진 시간 대기하는 대기 공정
   으로 이루어지는 송신 사이클을 반복하고,
   상기 용기의 외부에 설치된 수신 유닛은,
   상기 송신 공정의 후에 상기 송신 유닛으로부터 송신된 상기 측정치를 포함한 상기 데이터를 수신하는 수신 공정과,
   상기 측정치를 기록하는 기록 공정
   으로 이루어지는 수신 사이클을 반복하는 것
   을 특징으로 하는 온도 측정 방법.
10. 제9항에 있어서,
    상기 수신 유닛은,
    상기 기록 공정의 후에, 기록된 상기 측정치와 미리 상기 수신 유닛의 기록부에 기록되어 있는 참조 데이터를 비교하는 비교 공정과,
    상기 측정치와 상기 참조 데이터와의 괴리의 유무를 판정하는 판정 공정을 반복하는 것
    을 특징으로 하는 온도 측정 방법.
11. 공전 및/또는 자전 운동하는 용기에 수용된 피처리물을 교반·탈포 하는 방법이며,
    상기 용기에 착탈 가능하게 고정되는 위 덮개에, 상기 피처리물로부터 방사된 빛의 입사광을 검지 가능하게 설치된 송신 유닛은
    상기 피처리물의 온도를 비접촉으로 측정하는 측정 공정과,
    상기 피처리물의 온도의 측정치를 포함한 데이터를 송신하는 송신 공정과,
    정해진 시간 대기하는 대기 공정
    으로 이루어지는 송신 사이클을 반복하고,
    상기 용기의 외부에 설치된 수신 유닛은,
    상기 송신 공정의 후에 상기 송신 유닛으로부터 송신된 상기 측정치를 포함한 상기 데이터를 수신하는 수신 공정과,
    상기 측정치를 기록하는 기록 공정과,
    상기 기록 공정의 후에, 기록된 상기 측정치와 미리 상기 수신 유닛의 기록부에 기록되어 있는 참조 데이터를 비교하는 비교 공정과,
    상기 측정치와 상기 참조 데이터와의 괴리치를 산출하는 공정
    으로 이루어지는 수신 사이클을 반복하고,
    상기 괴리치에 따라 공전 또는 자전의 적어도 한편의 회전수를 변경하는 것
    을 특징으로 하는 교반·탈포방법.

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