KR101927221B1 - 근방계용 노이즈 억제 시트 - Google Patents
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Abstract
[과제] GHz 대역에서부터 허수부 투자율 μ”의 분포가 나타나기 시작하고, 또한, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 GHz 대역에 있어서의 노이즈를 억제하는데 충분한 크기의 허수부 투자율 μ”값을 갖는 근방계용 노이즈 억제 시트를 제공한다.
[해결 수단] 본 발명의 근방계용 노이즈 억제 시트는, 유기물로 이루어지는 기재와 상기 기재 중에 담지된 편평상의 FeMn 합금 분말을 포함하고, 상기 FeMn 합금 분말에 있어서의 Mn의 농도가 2 질량% 이상 20 질량% 이하인 것을 특징으로 한다.
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Description
본 발명은, 전자기기나 통신기기에 있어서의 여분의 방사 전파(노이즈)를 억제하기 위해서 사용되는 근방계용 노이즈 억제 시트에 관한 것이다.
근년, 전자기기나 통신기기의 소형화·경량화에 수반하여, 전자 회로에 장착되는 부품의 실장 밀도도 높아지고 있다. 그 때문에, 전자 부품으로부터 방사되는 전파 노이즈에 기인하여, 전자부품들 사이 혹은 전자회로들 사이에 있어서 전파 간섭이 생기는 것에 의한 전자기기나 통신기기의 오동작이 문제가 된다.
이 문제를 방지하기 위해, 여분의 방사 전파(노이즈)를 열로 변환하는 근방계용 노이즈 억제 시트가 기기 등에 실장되어 있다. 이 노이즈 억제 시트는, 두께가 0.1mm~2mm인 점에서, 전자부품이나 전자회로 근방에 삽입하는 것이 가능하고, 가공이 용이하여 형상 자유도도 높다. 그 때문에, 노이즈 억제 시트는 전자기기나 통신기기의 소형화·경량화에 적응할 수 있고, 전자기기나 통신기기의 노이즈 대책 부품으로서 널리 사용되고 있다.
전형적인 노이즈 억제 시트는, 편평상으로 가공된 연자성 합금 분말과, 유기 결합제로 이루어지고, 연자성 합금 분말의 자기 공명에 따른 자기 손실에 의해 노이즈를 열로 변환한다. 따라서, 노이즈 억제 시트의 노이즈 억제 성능은, 노이즈 억제 시트에 포함되는 연자성 합금 분말의 투자율에 의존한다. 일반적으로 투자율은, 실부 투자율 μ’와 허수부 투자율 μ”를 사용하여 복소투자율 μ =μ’－j·μ”로 나타내어지지만, 노이즈 억제 시트와 같이 자기 손실을 이용하는 경우에는 허수부 투자율 μ”가 중요하게 된다. 즉, 흡수하고 싶은 전파 노이즈의 주파수 대역에 걸쳐서, 허수부 투자율 μ”가 분포되는 것이 중요하다. 이하, 본 명세서에서는, 주파수에 대한 허수부 투자율 μ”의 분포를 「μ”분산」이라고 칭한다.
특허문헌 1에는, 편평상의 연자성 금속 분말과, 수지를 포함하는 근방계용 전파 흡수 시트에 있어서, 연자성 금속 분말로서 FeCo 합금 분말, FeNi 합금 분말, 또는 FeCoNi 합금 분말을 사용하는 것이 기재되어 있다. 또, 연자성 금속 분말로서 이들 3개의 합금 분말과, Fe단체 분말의 합계 4종류의 분말 중 적어도 2종류 이상을 혼합한 혼합 분말을 사용해도 되는 것이 기재되어 있다.
근년, 전자기기나 통신기기의 고성능화는 급속히 진행되고 있어 사용하는 주파수는 더욱 더 높아지는 경향이 있다. 예를 들어, PC에서는 한층 더 고속화가 요구되고, CPU의 구동 주파수는 GHz대에 이르려 하고 있다. 또, 무선 LAN 등의 통신기기에서는 처리하는 디지털 컨텐츠의 용량은 증대하고 있고, 통신 주파수도 GHz대가 중심이 되어가고 있다. 더욱이, 디지털 TV 방송이나 도로 교통 정보 시스템 등의 위성통신도 급속히 확대되어, 유비쿼터스 네트워크 시대가 실현되고 있다. 이와 같은 정보통신기기의 다기능화나 융합이 진행되는 한편으로, 전자기기나 통신기기로부터 방사되는 여분의 전파 노이즈의 주파수도 높아져, 그 전파 노이즈에 의한 기능 간섭이나 오동작도 종래보다 증가하여 염려된다. 그 때문에, GHz 대역의 전파 노이즈를 유효하게 흡수할 수 있도록, 노이즈 억제 시트의 μ”분산은 GHz 대역에서부터 나타나기 시작할 필요가 있다.
또, 노이즈 억제 효과는 노이즈 억제 시트의 두께에 의존하고, 노이즈 억제 시트의 두께가 두꺼울수록 노이즈 억제 효과는 높아진다. 한편으로, 근년에 있어서의 전자기기나 통신기기의 경박단소화(輕薄短小化)는 가속되고 있고, 휴대전화나 타블렛 단말 등의 노이즈 대책에 사용되는 노이즈 억제 시트에 대해서도 박육화(薄肉化)가 요구되고 있다. 그 때문에, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 GHz 대역에 있어서 우수한 노이즈 억제 효과를 발휘할 수 있도록, 노이즈 억제 시트의 GHz 대역에 있어서의 투자율, 특히 GHz 대역에 있어서의 허수부 투자율 μ”의 값(이하, 「μ”값」이라고 칭한다.)을 가능한 한 크게 할 필요가 있다.
여기서, 노이즈 억제 시트의 μ”분산을 GHz 대역에서부터 나타나기 시작하게 하려면, 편평상의 연자성 합금 분말을 사용하는 것에 의해 노이즈 억제 시트의 자기 이방성을 높일 필요가 있다. 그러나, 일반적으로, 자기 이방성이 높아질수록 μ”값은 작아지는 경향이 있기 때문에, 현 상황에서는 GHz 대역에서부터 허수부 투자율 μ”의 분포가 나타나기 시작하고, 또한, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 GHz 대역에 있어서의 노이즈를 억제하는데 충분한 크기의 허수부 투자율 μ”값을 갖는 노이즈 억제 시트를 얻을 수 없었다. 특허문헌 1에 기재된 기술에 있어서도, μ”분산은 GHz 대역에서부터 나타나기 시작하고 있으나, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 우수한 노이즈 억제 효과를 발휘하기 위해서는, GHz 대역에 있어서의 μ”값의 가일층의 향상이 요구된다.
그래서 본 발명은, 상기 과제를 감안하여, GHz 대역에서부터 허수부 투자율 μ”의 분포가 나타나기 시작하고, 또한, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 GHz 대역에 있어서의 노이즈를 억제하는데 충분한 크기의 허수부 투자율 μ”값을 갖는 근방계용 노이즈 억제 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자는, 상기 과제를 해결하기 위하여 예의 검토했더니, 근방계용 노이즈 억제 시트에 사용하는 연자성 합금 분말로서, Mn의 농도가 2 질량% 이상 20 질량% 이하인 FeMn 합금 분말을 사용하면, GHz 대역에서부터 μ” 분산이 나타나기 시작하고, 또한, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 GHz 대역에 있어서의 노이즈를 억제하는데 충분한 크기의 허수부 투자율 μ”값을 얻을 수 있다는 인식에 이르러, 본 발명을 완성하였다.
본 발명은, 상기 지견에 기초하여 완성된 것으로, 그 요지 구성은 이하와 같다.
(1) 유기물로 이루어지는 기재와 상기 기재 중에 담지된 편평상의 FeMn 합금 분말을 포함하고,
상기 FeMn 합금 분말에 있어서의 Mn의 농도가 2 질량% 이상 20 질량% 이하인 것을 특징으로 하는 근방계용 노이즈 억제 시트.
(2) 상기 FeMn 합금 분말에 있어서, 20 질량% 이하의 Co 및 Ni 중에서 선택되는 1종 이상의 원소로 상기 Fe가 치환된, 상기 (1)에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.
(3) 상기 FeMn 합금 분말에 있어서, 10 질량% 이하의 Si 및 Al 중에서 선택되는 1종 이상의 원소로 상기 Fe가 치환된, 상기 (1) 또는 (2)에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.
(4) 상기 합금 분말의 두께의 평균치가 0.1μm 이상 1.5μm 이하인, 상기 (1)~(3) 중 어느 하나에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.
(5) 상기 합금 분말의 애스펙트비의 평균치가 10 이상 100 이하인, 상기 (1)~(4) 중 어느 하나에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.
본 발명에 의하면, GHz 대역에서부터 허수부 투자율 μ”의 분포가 나타나기 시작하고, 또한, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 GHz 대역에 있어서의 노이즈를 억제하는데 충분한 크기의 허수부 투자율 μ”값을 갖는 근방계용 노이즈 억제 시트를 제공할 수 있다.
이하, 본 발명의 근방계용 노이즈 억제 시트의 실시형태에 대해 설명한다.
본 발명의 일 실시형태에 따르는 근방계용 노이즈 억제 시트(이하, 단순히 「노이즈 억제 시트」라고 한다.)는, 유기물로 이루어지는 기재와 상기 기재 중에 담지된 편평상의 FeMn 합금 분말을 포함하고, 상기 FeMn 합금 분말에 있어서의 Mn의 농도 (x)가 2 질량% 이상 20 질량% 이하이며, Fe의 농도가 (100－x) 질량%인 것을 특징으로 한다. 이와 같이 Fe의 일부를 Mn으로 치환하고, 나아가 Mn의 질량%를 2 질량% 이상 20 질량% 이하로 함으로써, GHz 대역에서부터 허수부 투자율 μ”의 분포가 나타나기 시작하고, 또한, 노이즈 억제 시트의 두께가, 예를 들어 0.1 mm 이하와 같이 종래의 노이즈 억제 시트에 비해 얇은 경우에도, GHz 대역에 있어서의 노이즈를 억제하는데 충분한 크기의 허수부 투자율 μ”값을 얻을 수 있다. 또, Mn은 Co나 Ni보다도 저가이므로, 노이즈 억제 시트의 제조 비용을 억제할 수 있다. 또한, 고주파에 있어서의 노이즈 억제 효과를 더 높이는 관점에서는, Mn의 질량%를 5 질량% 이상 15 질량% 이하로 하는 것이 바람직하다.
또, 상기 FeMn 합금 분말에 있어서, 합계로 20 질량% 이하의 Co 및 Ni 중에서 선택되는 1종 이상의 원소로 상기 Fe를 치환해도 된다. 이하에서는, 이와 같은 합금 분말을, Fe(Co, Ni)Mn 합금 분말이라고 칭한다. 여기서, Co 및 Ni 중에서 선택되는 1종 이상의 원소의 첨가량이 합계로 20 질량%를 초과하면, Fe(Co, Ni)Mn 합금 분말의 포화 자화(磁化)가 저하됨으로써 노이즈 억제 시트의 투자율이 저하되므로, 상한치를 합계로 20 질량%로 한다.
또, 상기 FeMn 합금 분말 또는 Fe(Co, Ni)Mn 합금 분말에 있어서, 합계로 10 질량% 이하의 Si 및 Al 중에서 선택되는 1종 이상의 원소로 상기 Fe를 치환해도 된다. 이하에서는, 이와 같은 합금 분말을, 각각 Fe(Si, Al)Mn 합금 분말, Fe(Co, Ni, Si, Al)Mn 합금 분말이라고 칭한다. 여기서, Si 및 Al 중에서 선택되는 1종 이상의 원소의 첨가량이 합계로 10 질량%를 초과하면, Fe(Si, Al)Mn 합금 분말 또는 Fe(Co, Ni, Si, Al)Mn 합금 분말의 포화 자화가 저하됨으로써 노이즈 억제 시트의 투자율이 저하되므로, 상한치를 합계로 10 질량%로 한다. 또한, Si나 Al을 첨가함으로써, 예를 들어 후술하는 절연 처리에 있어서의 산화 절연막의 형성을 촉진시킬 수 있다. 이로써 합금 분말의 전기 저항이 증대하므로, 전자기기 등을 구성하는 회로와 노이즈 억제 시트 사이에서 쇼트가 일어나기 어려워진다.
게다가, 편평상의 합금 분말로서 상기 FeMn 합금 분말, Fe(Co, Ni)Mn 합금 분말, Fe(Si, Al)Mn 합금 분말, Fe(Co, Ni, Si, Al)Mn 합금 분말, 및 편평상의 Fe 분말 중 적어도 2종 이상을 혼합하여 이루어지는 혼합 분말을 사용할 수도 있다. 혼합 분말로 하는 경우의 5종류의 분말의 비율은 특별히 한정되지 않지만, GHz 대역에서부터 허수부 투자율 μ”의 분포가 나타나기 시작하고, 또한, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 GHz 대역에 있어서의 노이즈를 억제하는데 충분한 크기의 허수부 투자율 μ”값을 얻기 위해서는, 4종류의 합금 분말의 합계를 50 질량% 이상으로 하는 것이 바람직하다.
이하, 본 실시 형태의 노이즈 억제 시트의 제조 방법의 일례를 나타낸다.
본 실시 형태의 노이즈 억제 시트의 제조 방법에서는, 먼저, 편평상의 합금 분말과, 유기물과, 유기 용매를 혼합해서 슬러리를 제작한다.
원료 분말은, 구형인 것이 바람직하고, 일반적인 분말 합성 방법인 가스 아토마이즈 또는 물 아토마이즈에 의해 얻을 수 있다. 원료 분말의 평균 입경은 10~70μm로 하는 것이 바람직하다. 원료 분말의 평균 입경이 10μm 미만인 경우, 후술하는 애스펙트비(= 직경/두께)가 큰 편평상의 합금 분말이 얻어지기 어렵고, 또, 원료 분말의 평균 입경이 70μm를 초과하는 경우, 후술하는 편평 가공에 장시간이 소요되어서 비효율적으로 되기 때문이다.
편평상의 합금 분말은, 상기 구형에 가까운 원료 분말을 기계적으로 가공함으로써 제작할 수 있다. 여기서, GHz 대역에서의 자기 공명을 발현시키기 위해 필요한 표피 깊이를 얻는 관점에서, 편평상의 합금 분말의 두께의 평균치가 0.1μm 이상 1.5μm 이하가 되도록 편평 가공하는 것이 바람직하다. 또, 편평상의 합금 분말의 애스펙트비의 평균치가 10 이상 100 이하가 되도록 편평 가공하는 것이 바람직하다. 애스펙트비의 평균치를 10 이상으로 함으로써, 편평상의 합금 분말 면내의 반자계의 영향을 무시할 수 있게 된다. 또, 애스펙트비의 평균치를 100 이하로 함으로써, 성막시에 편평상의 합금 분말의 수평 배향성이 좋게 되어, 평탄한 표면을 갖는 노이즈 억제 시트를 얻을 수 있다. 편평 가공에 대해서는, 볼밀(ball mill), 어트라이터(attritor), 스탬프 밀(stamp mill) 등의 공지 또는 임의의 기계 가공으로 실시할 수 있다. 또한, 편평 가공에 의해 합금 분말에는 잔류 응력이 생긴다. 이 잔류 응력에서 기인하는 투자율의 저하를 방지하기 위해서, 편평 가공 후에, 합금 분말에 대해 질소나 아르곤 등의 불활성 분위기 중에서 어닐링 처리를 가하는 것이 바람직하다. 어닐링 조건은, 예를 들어 200~500℃의 온도에서, 0.5~5시간으로 할 수 있다.
본 명세서에 있어서 「평균 입경」은, 레이저 회절·산란법에 의해 구한 입도 분포에 있어서의 적산치 50%에서의 입경(50%누적 입경： D50)을 의미한다. 또, 「두께의 평균치」는, 주사형 전자현미경(SEM)으로 관찰했을 때의, 편평상의 합금 분말의 두께의 값을, 시야 중의 10개의 분말에 대해 평균한 값을 의미하는 것으로 하며, 「애스펙트비의 평균치」는, SEM으로 관찰했을 때의, 편평상의 합금 분말의 길이/두께의 값을, 시야 중의 10개의 분말에 대해 평균한 값을 의미하는 것으로 한다.
또, 절연 처리를 가하는 것을 목적으로 하여, 편평 가공한 합금 분말의 표면에 자기 산화 피막 또는 외부 처리 피막을 형성하는 것이 바람직하다. 절연성을 유지할 수 있다면, 피막 형성의 수단이나 재질에 제한은 없다. 또한, 산화 피막은 20~100nm의 두께가 적당하고, 자기 산화에 의해 필요 이상으로 산화 피막을 형성시킨 경우에는 기재가 되는 자성상(磁性相)의 체적이 감소하기 때문에, 충분한 크기의 μ”값을 얻을 수 없다. 자기 산화에 의한 피막 형성 방법으로서는, 대기 중에서의 가열 처리 또는 탄화수소계 유기 용매 중에서의 가열 처리가 대표적인 방법이다. 또, 외부 처리에 의한 피막 형성 방법으로서는, 딥코트나 CVD 등의 기상법을 들 수 있다. 또한, 상기 절연 처리와 상기 어닐링 처리의 순서는 특별히 제한되지 않는다.
기재를 구성하는 유기물로서는, 에폭시 수지, 페놀 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리염화비닐 수지, 폴리부티랄 수지 등의 임의의 수지계 재료나, 실리콘 고무, 아크릴 고무, 니트릴 고무, 부틸 고무, 폴리비닐알코올 수지, 염소화폴리에틸렌 수지 등의 임의의 고무계 재료나, 부직포, 폴리에스테르 섬유, 아크릴 섬유 등의 임의의 섬유계 재료를 들 수 있으며, 유기물의 선정에 대해서는 목적에 따라 임의 선정하면 된다. 이들 유기물은, 결합성·가역성의 부여 및 합금 분말끼리의 절연 격리와 같은 기능을 갖는다. 또, 노이즈 억제 시트의 유연성을 높이기 위해서, 필요에 따라 프탈산디옥틸 등의 가소제를 첨가할 수도 있다. 또, 연자성 합금 분말과 유기물의 친화력을 향상시키기 위해서, 실란커플링제 등의 표면 개질제를 첨가할 수 있다. 나아가, 난연성을 얻기 위해서, 필요에 따라 수산화 알루미늄, 수산화 마그네슘, 적린 등의 난연제를 첨가할 수도 있다.
편평상의 합금 분말과 유기물의 배합비는, 편평상의 합금 분말을 100 질량부로 한 경우에 유기물을 8~30 질량부로 하는 것이 바람직하다. 유기물이 8 질량부 이상이면, 노이즈 억제 시트의 가역성이 없어지지 않는다. 또, 유기물이 30 질량부 이하이면, 시트 성형시에 편평상의 합금 분말이 수평으로 배향하기 쉽기 때문에, 충분한 크기의 μ”값을 얻을 수 있다.
유기 용매는 특별히 한정되지 않고, 톨루엔, 아세트산부틸, 아세트산에틸 등을 사용할 수 있다. 유기 용매는, 후속 공정에서 증발되므로, 노이즈 억제 시트에는 포함되지 않는다.
다음으로, 편평상의 합금 분말과 유기물과 유기 용매로 이루어지는 슬러리를 닥터 블레이드법으로 시트상으로 성형·건조하여, 성형체를 제작한다. 이 성형체는, 편평상의 합금 분말이 유기물로 이루어지는 기재 중에 담지된 구조를 가지고 있고, 나아가 상기 성형시의 전단응력에 의해 편평상의 합금 분말은 서로 수평 방향으로 배향하고 있다. 여기서, 노이즈 억제 시트의 성형 방법으로서는 닥터 블레이드법 이외에도 캘린더 롤법 등의 공지 또는 임의의 방법을 사용할 수도 있지만, 두께 0.1mm 이하의 노이즈 억제 시트를 제작하려면 닥터 블레이드법 등의 도공법식을 사용하는 것이 바람직하다.
시트상의 성형체는, 편평상의 합금 분말의 배향성을 높이기 위해서, 유기물의 연화점 이상(예를 들어 60~150℃ 정도)으로 가열한 상태에서 프레스를 가하는 것이 바람직하다. 얻어지는 노이즈 억제 시트의 두께는, 0.05mm~0.1mm 정도로 할 수 있다.
실시예
(실험예 1)
가스 아토마이즈에 의해, 표 1에 나타내는 조성의 FeMn 합금 분말을 얻었다. 평균 입경은 40~50μm로 했다. 다음으로, 각각의 합금 분말을 어트라이터로 편평 가공하여, 편평상의 합금 분말을 얻었다. 편평상의 합금 분말의 두께 및 애스펙트비의 평균치를 표 1에 나타낸다. 또한, 합금 분말의 두께 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 후술하는 방법에 의해 제작한 각 노이즈 억제 시트의 두께 방향 단면의 이온 밀링 연마면을 SEM으로 관찰하고, 그 촬영 이미지로부터 기술한 방법으로 계측했다. 이어서, 상기 합금 분말의 표면에 자기 산화 피막을 형성하기 위해서, 대기 중에서 80℃, 1시간의 산화 처리를 실시한 후에, 300℃, 1시간의 어닐링 처리를 실시했다.
다음으로, 편평상으로 가공된 각 합금 분말 100 질량부, 폴리부티랄 수지(연화점： 약 70℃) 20 질량부, 및 아세트산부틸 50 질량부를 혼합하여 슬러리를 제작했다. 이어서, 닥터 블레이드법으로, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 상에서, 이 슬러리를 시트상의 성형체로 가공했다. 그 후, 10MPa의 압력 하에서 100℃, 1분간의 가열 프레스를 가함으로써, 두께 0.05mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다.
각 실시예·비교예에서 제작한 노이즈 억제 시트에 대해, 네트워크 애널라이저를 사용한 S파라미터법에 의해 투자율 특성을 측정했다. 허수부 투자율 μ”이 처음 나타나기 시작한 주파수 및 5GHz에 있어서의 허수부 투자율 μ”값의 크기를 표 1에 나타낸다.
표 1로부터 분명한 바와 같이, 비교예 1, 2에서는, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0 미만인 것에 비하여, 실시예 1~4에서는, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0을 초과하고 있었다. 이들 실시예에서 나타내는 바와 같이, 5GHz에 있어서의 μ”값이 5.0 이상이면, 경박단소화·고주파화되는 근년의 전자기기 등에서 발생하는 노이즈를 효과적으로 억제할 수 있다.
(실험예 2)
가스 아토마이즈에 의해, 표 2에 나타내는 조성의 Fe(Co, Ni)Mn 합금 분말을 얻었다. 평균 입경은 40~50μm로 했다. 다음으로, 각각의 합금 분말을 어트라이터로 편평 가공하여, 편평상의 합금 분말을 얻었다. 편평상의 합금 분말의 두께 및 애스펙트비의 평균치를 표 2에 나타낸다. 또한, 합금 분말의 두께 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 실험예 1과 동일한 방법으로 계측 했다. 다음으로, 상기 합금 분말의 표면에 자기 산화 피막을 형성하기 위해서, 대기 중에서 80℃, 1시간의 산화 처리를 실시한 후에, 300℃, 1시간의 어닐링 처리를 실시했다.
이어서, 편평상으로 가공된 각 합금 분말 100 질량부, 아크릴 고무(연화점： 약 70℃) 20 질량부, 및 메틸에틸케톤 50 질량부를 혼합하여 슬러리를 제작했다. 다음으로, 닥터 블레이드법으로, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 상에서, 이 슬러리를 시트상의 성형체로 가공했다. 그 후, 10MPa의 압력 하에서 100℃, 1분간의 가열 프레스를 가함으로써 두께 0.1mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다. 실험예 1과 동일한 방법으로 측정한 때의 허수부 투자율 μ”이 처음 나타나기 시작한 주파수 및 5GHz에 있어서의 허수부 투자율 μ”값의 크기를 표 2에 나타낸다.
표 2로부터 분명한 바와 같이, 비교예 3~8에서는, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0 미만인 것에 비하여, 실시예 5~16에서는, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0을 초과하고 있었다. 게다가, 실시예 8, 12, 16에 나타내는 바와 같이, 15 질량% 이상의 Co, Ni로 Fe를 치환한 경우에도, Mn가 2 질량% 이상 20 질량% 이내인 한, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0을 상회하고 있었다. 이들 실시예에서 나타내는 바와 같이, 5GHz에 있어서의 μ”값이 5.0 이상이면, 경박단소화·고주파화되는 근년의 전자기기 등에서 발생하는 노이즈를 효과적으로 억제할 수 있다.
(실험예 3)
가스 아토마이즈에 의해, 표 3에 나타내는 조성의 Fe(Si, Al)Mn 합금 분말을 얻었다. 평균 입경은 40~50μm로 했다. 다음으로, 각각의 합금 분말을 어트라이터로 편평 가공하여, 편평상의 합금 분말을 얻었다. 편평상의 합금 분말의 두께 및 애스펙트비의 평균치를 표 3에 나타낸다. 또한, 합금 분말의 두께 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 실험예 1과 동일한 방법으로 계측 했다. 다음으로, 상기 합금 분말의 표면에 자기 산화 피막을 형성하기 위해서, 대기 중에서 80℃, 1시간의 산화 처리를 실시한 후에, 300℃, 1시간의 어닐링 처리를 실시했다.
이어서, 편평상으로 가공된 각 합금 분말 100 질량부, 폴리부티랄 수지(연화점： 약 70℃) 20 질량부, 및 아세트산부틸 50 질량부를 혼합하여 슬러리를 제작했다. 다음으로, 닥터 블레이드법으로, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 상에서, 이 슬러리를 시트상의 성형체로 가공했다. 그 후, 10MPa의 압력 하에서 100℃, 1분간의 가열 프레스를 가함으로써 두께 0.1mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다. 실험예 1과 동일한 방법으로 측정한 때의 허수부 투자율 μ”이 처음 나타나기 시작한 주파수 및 5GHz에 있어서의 허수부 투자율 μ”값의 크기를 표 3에 나타낸다.
표 3으로부터 분명한 바와 같이, 비교예 9~12에서는, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0 미만인 것에 비하여, 실시예 17~27에서는, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0을 초과하고 있었다. 게다가, 실시예 20, 24에 나타내는 바와 같이, 5 질량% 이상의 Si, Al로 Fe를 치환한 경우에도, Mn가 2 질량% 이상 20 질량% 이내인 한, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0을 상회하고 있었다. 이들 실시예에서 나타내는 바와 같이, 5GHz에 있어서의 μ”값이 5.0 이상이면, 경박단소화·고주파화되는 근년의 전자기기 등에서 발생하는 노이즈를 효과적으로 억제할 수 있다.
(실험예 4)
가스 아토마이즈에 의해, 표 4에 나타내는 조성의 Fe(Co, Ni, Si, Al)Mn 합금 분말을 얻었다. 평균 입경은 40~50μm로 했다. 다음으로, 각각의 합금 분말을 어트라이터로 편평 가공하여, 편평상의 합금 분말을 얻었다. 편평상의 합금 분말의 두께 및 애스펙트비의 평균치를 표 4에 나타낸다. 또한, 합금 분말의 두께 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 실험예 1과 동일한 방법으로 계측했다. 다음으로, 상기 합금 분말의 표면에 자기 산화 피막을 형성하기 위해서, 대기 중에서 80℃, 1시간의 산화 처리를 실시한 후에, 300℃, 1시간의 어닐링 처리를 실시했다.
이어서, 편평상으로 가공된 각 합금 분말 100 질량부, 아크릴 고무(연화점： 약 70℃) 20 질량부, 및 메틸에틸케톤 50 질량부를 혼합하여 슬러리를 제작했다. 다음으로, 닥터 블레이드법으로, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 상에서, 이 슬러리를 시트상의 성형체로 가공했다. 그 후, 10MPa의 압력 하에서 100℃, 1분간의 가열 프레스를 가함으로써 두께 0.05mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다. 실험예 1과 동일한 방법으로 측정한 때의 허수부 투자율 μ”이 처음 나타나기 시작한 주파수 및 5GHz에 있어서의 허수부 투자율 μ”값의 크기를 표 4에 나타낸다.
표 4로부터 분명한 바와 같이, 비교예 13~17에서는, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0 미만인 것에 비하여, 실시예 28~39에서는, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0을 초과하고 있었다. 게다가, 실시예 31, 35, 39에 나타내는 바와 같이, 15 질량% 이상의 Co, Ni 또는 5 질량% 이상의 Si, Al로 Fe를 치환한 경우에도, Mn가 2 질량% 이상 20 질량% 이내인 한, 5GHz에 있어서의 μ”값은 5.0을 상회하고 있었다. 이들 실시예에서 나타내는 바와 같이, 5GHz에 있어서의 μ”값이 5.0 이상이면, 경박단소화·고주파화되는 근년의 전자기기 등에서 발생하는 노이즈를 효과적으로 억제할 수 있다.
본 발명에 의하면, GHz 대역에서부터 허수부 투자율 μ”의 분포가 나타나기 시작하고, 또한, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 GHz 대역에 있어서의 노이즈를 억제하는데 충분한 크기의 허수부 투자율 μ”값을 갖는 근방계용 노이즈 억제 시트를 제공할 수 있다.
Claims (7)
- 유기물로 이루어지는 기재와 상기 기재 중에 담지된 편평상의 FeMn 합금 분말을 포함하고,
상기 FeMn 합금 분말에 있어서의 Mn의 농도가 2 질량% 이상 20 질량% 이하이며,
두께가 0.1mm 이하이고,
5GHz에 있어서의 허수부 투자율 μ”값이 5.0 이상인 것을 특징으로 하는 근방계용 노이즈 억제 시트. - 제 1 항에 있어서,
상기 FeMn 합금 분말에 있어서, 20 질량% 이하의 Co 및 Ni 중에서 선택되는 1종 이상의 원소로 상기 Fe가 치환된, 근방계용 노이즈 억제 시트. - 제 1 항에 있어서,
상기 FeMn 합금 분말에 있어서, 10 질량% 이하의 Si 및 Al 중에서 선택되는 1종 이상의 원소로 상기 Fe가 치환된, 근방계용 노이즈 억제 시트. - 제 2 항에 있어서,
상기 FeMn 합금 분말에 있어서, 10 질량% 이하의 Si 및 Al 중에서 선택되는 1종 이상의 원소로 상기 Fe가 치환된, 근방계용 노이즈 억제 시트. - 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 합금 분말의 두께의 평균치가 0.1μm 이상 1.5μm 이하인, 근방계용 노이즈 억제 시트. - 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 합금 분말의 애스펙트비의 평균치가 10 이상 100 이하인, 근방계용 노이즈 억제 시트. - 제 5 항에 있어서,
상기 합금 분말의 애스펙트비의 평균치가 10 이상 100 이하인, 근방계용 노이즈 억제 시트.
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