KR101948025B1

KR101948025B1 - 근방계용 노이즈 억제 시트

Info

Publication number: KR101948025B1
Application number: KR1020170059007A
Authority: KR
Inventors: 마사키 쿠라마에
Original assignee: 가부시끼가이샤 리켄
Priority date: 2016-05-17
Filing date: 2017-05-12
Publication date: 2019-02-14
Also published as: KR20170129615A; JP2017208415A; CN107481829A; JP6612676B2; CN107481829B

Abstract

[과제] 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 상호 감결합성의 고주파화에 대응할 수 있는 근방계용 노이즈 억제 시트를 제공한다.
[해결 수단] 본 발명의 근방계용 노이즈 억제 시트는, 유기물로 이루어지는 기재와 상기 기재 중에 담지된 연자성 합금 분말을 포함하고, 상기 연자성 합금 분말은, 그 평균 입경이 12μm 이하이며, 또한, 애스펙트비의 평균치가 1.00 이상 1.30 이하인 것을 특징으로 한다.

Description

근방계용 노이즈 억제 시트{Noise suppression sheet for near-field}

본 발명은, 전자기기나 통신기기에 있어서의 여분의 방사 전파(노이즈) 또는 선로 혹은 전자부품들 사이의 자기적인 결합을 억제하기 위해서 사용되는 근방계용 노이즈 억제 시트에 관한 것이다.

근년, 전자기기나 통신기기의 소형화·경량화에 수반하여, 전자 회로에 장착되는 부품의 실장 밀도도 높아지고 있다. 그 때문에, 전자 부품으로부터 방사되는 전파 노이즈 또는 선로 혹은 전자부품들 사이의 자기적인 결합에 기인하여, 전자부품들 사이 혹은 전자회로들 사이에 있어서 전파 간섭이 생기는 것에 의한 전자기기나 통신기기의 오동작이 문제가 된다.

이 문제를 방지하기 위해, 여분의 방사 전파(노이즈)를 열로 변환하는 근방계용 노이즈 억제 시트가 기기 등에 실장되어 있다. 이 노이즈 억제 시트는, 두께가 0.1mm~2mm인 점에서, 노이즈 발생원인 전자부품이나 전자회로에 직접 첩부하거나, 전자부품이나 전자회로의 근방에 첩부하거나 함으로써 사용하는 것이 가능하고, 가공이 용이해서 형상 자유도도 높다. 그 때문에, 노이즈 억제 시트는 전자기기나 통신기기의 소형화·경량화에 적응할 수 있고, 전자기기나 통신기기의 노이즈 대책 부품으로서 널리 사용되고 있다.

노이즈 억제 시트의 구체적인 사용 방법으로서는, 이하의 3방법을 들 수 있다. 즉, 평행으로 줄지어 있는 선로나 전자부품의 공간적인 결합에 대해, (i) 노이즈 억제 시트를 선로나 전자부품에 대해 평행으로 장착하는 경우, (ii) 노이즈 억제 시트를 선로나 전자부품의 간극에 장착하는 경우, (iii) 선로를 덮도록 노이즈 억제 시트를 장착하는 경우의 3방법을 들 수 있다. 상기 (i)의 경우에는, 노이즈 억제 시트의 내부 감결합성이 중요하게 되고, 상기 (ii)의 경우에는, 노이즈 억제 시트의 상호 감결합성이 중요하게 되며, 상기 (iii)의 경우에는, 노이즈 억제 시트의 전송 감결합성이 중요하게 된다. 즉, 노이즈 억제 시트의 내부 감결합성, 상호 감결합성, 또는 전송 감결합성의 지표인 내부 감결합율, 상호 감결합율, 또는 전송 감결합율이 0dB이 되는 주파수가, 상기 (i)~(iii)의 사용 방법에 따라 흡수하고 싶은 전파 노이즈의 주파수 대역보다 고주파인 것이 중요하다.

여기서, 전형적인 노이즈 억제 시트는, 편평상으로 가공된 연자성 합금 분말과, 유기 결합제로 이루어지고, 연자성 합금 분말의 자기 공명에 따른 자기 손실에 의해 노이즈를 열로 변환한다. 따라서, 노이즈 억제 시트의 노이즈 억제 성능은, 노이즈 억제 시트에 포함되는 연자성 합금 분말의 투자율에 의존한다. 일반적으로 투자율은, 실부 투자율 μ’와 허수부 투자율 μ”를 사용하여 복소투자율 μ = μ’－j·μ”로 나타내어지지만, 노이즈 억제 시트와 같이 자기 손실을 이용하는 경우에는 허수부 투자율 μ”가 중요하게 된다. 또, 편평상으로 가공된 연자성 합금 분말을 사용하는 이유는, 편평 가공함으로써 노이즈 억제 시트의 면내방향에 대한 연자성 합금 분말의 자기 이방성을 높일 수 있기 때문에, 이 자기 이방성을 이용함으로써, 흡수하고 싶은 전파 노이즈의 주파수에 따라, 허수부 투자율 μ”의 분포를 제어할 수 있기 때문이다.

특허문헌 1에는, 편평상의 자성 분말과 유기 결합제를 구비한 것을 특징으로 하는 노이즈 억제 시트가 기재되어 있다. 또, 특허문헌 2에는, 철계 비정질 합금으로 이루어지는 편평상의 연자성 입자와 유기 결합제를 주로 함유하는 전파 간섭 억제체가 기재되어 있다.

일본 공개특허공보 2013-172010호 일본 공개특허공보 2015-46538호

근년, 전자기기나 통신기기의 고성능화는 급속히 진행되고 있어 사용하는 주파수는 더욱 더 높아지는 경향이 있다. 예를 들어, PC에서는 한층 더 고속화가 요구되고, CPU의 구동 주파수는 GHz대에 이르려 하고 있다. 또, 무선 LAN 등의 통신기기에서는 처리하는 디지털 컨텐츠의 용량은 증대하고 있고, 통신 주파수도 GHz대가 중심이 되어가고 있다. 더욱이, 디지털 TV 방송이나 도로 교통 정보 시스템 등의 위성통신도 급속히 확대되어, 유비쿼터스 네트워크 시대가 실현되고 있다. 이와 같은 정보통신기기의 다기능화나 융합이 진행되는 한편으로, 전자기기나 통신기기로부터 방사되는 여분의 전파 노이즈의 주파수도 높아져, 그 전파 노이즈에 의한 기능 간섭이나 오동작도 종래보다 증가하여 염려된다. 그 때문에, GHz 대역의 전파 노이즈를 유효하게 흡수하는 것이 요망되고 있다.

또, 전형적인 노이즈 억제 시트는, 편평상의 연자성 합금 분말이 노이즈 억제 시트의 면내방향에 수평으로 배열된 구조를 가지고 있기 때문에, 노이즈 억제 시트의 면내방향의 허수부 투자율 μ”은 크지만, 노이즈 억제 시트의 두께 방향의 허수부 투자율 μ”은 작다. 그 때문에, 이와 같은 노이즈 억제 시트를 상기 (i) 또는 (iii)과 같이 노이즈원과 동일한 면내방향으로 사용하는 경우에는, 면내방향의 허수부 투자율 μ”이 큰 것에 기인해서, 우수한 내부 감결합성과 전송 감쇠성을 얻을 수 있다. 그러나, 노이즈 억제 시트를 상기 (ii)와 같이 노이즈원에 마주보는 방향으로 사용하는 경우에는, 노이즈 억제 시트의 두께 방향의 허수부 투자율 μ”이 작은 것에 기인해서, 노이즈 억제 시트는 상호 감결합성이 열등하다. 특허문헌 1 및 특허문헌 2에서는, 모두 편평 가공이 가해진 편평상의 합금 분말이 사용되고 있다. 따라서, 특허문헌 1 및 특허문헌 2에 기재된 기술은, 노이즈 억제 시트나 전파 간섭 억제체의 면내방향의 허수부 투자율 μ”에 관한 것으로, 노이즈 억제 시트나 전파 간섭 억제체의 두께 방향의 허수부 투자율 μ”에 관해서는 고려되어 있지 않기 때문에, 내부 감결합성 및 전송 감쇠성의 고주파화에 대응할 수 있지만, 상호 감결합성의 고주파화에는 대응할 수 없다.

또, 편평상으로 가공된 연자성 합금 분말로 이루어지는 노이즈 억제 시트라도, 노이즈 억제 시트에 금속박 등의 도체 시트를 삽입함으로써, 도체 시트의 와전류 손실을 이용하여 우수한 상호 감결합성을 얻을 수도 있다. 그러나, 전자기기 등의 소형화·경량화에 수반하여, 선로나 전자부품이 밀집되어 있는 전자회로에 도체 시트를 삽입한 경우에는, 삽입된 도체 시트가 오히려 노이즈원이 되는 경우가 있다. 그 때문에, 편평상의 연자성 합금 분말이 시트의 면내방향으로 정렬한 구조를 갖는 2개의 층의 사이에, 도체층을 삽입한 다층 노이즈 억제 시트가 개발되고 있다. 그러나, 다층 노이즈 억제 시트에서는, 구조상 시트의 두께가 두꺼워지므로, 근년의 전자기기 등의 박육화(薄肉化)에 대응할 수 없다. 나아가, 다층 노이즈 억제 시트의 구조는, 도체층을 가지지 않는 노이즈 억제 시트에 비해 복잡하고, 제조 비용도 높아진다.

그래서 본 발명은, 상기 과제를 감안하여, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 상호 감결합성의 고주파화에 대응할 수 있는 근방계용 노이즈 억제 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성할 수 있도록, 본 발명자는 예의 검토하여 이하의 지견을 얻었다. 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 상호 감결합성의 고주파화에 대응할 수 있는 노이즈 억제 시트를 얻기 위해서는, 편평상의 연자성 합금 분말의 장경 방향이 노이즈 억제 시트의 두께 방향에 평행이 되도록, 편평상의 연자성 합금 분말을 정렬시키는 것이 요망된다. 그러나, 편평상의 연자성 합금 분말을 이와 같이 정렬시키는 것은 현실적으로 곤란하다. 그래서, 본 발명자들이 예의 검토했더니, 연자성 합금 분말의 형상을 구형에 가까운 형상으로 하고, 또한, 연자성 합금 분말의 평균 입경을 작게 함으로써, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 상호 감결합성의 고주파화에 대응할 수 있는 노이즈 억제 시트를 얻을 수 있는 것을 알아냈다.

본 발명은, 상기 지견에 기초하여 완성된 것으로, 그 요지 구성은 이하대로이다.

(1) 유기물로 이루어지는 기재와 상기 기재 중에 담지된 연자성 합금 분말을 포함하고,

상기 연자성 합금 분말은, 그 평균 입경이 12μm 이하이며, 또한, 애스펙트비의 평균치가 1.00 이상 1.30 이하인 것을 특징으로 하는 근방계용 노이즈 억제 시트.

(2) 상기 연자성 합금 분말의 평균 입경이 5μm 이하인, 상기 (1)에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.

(3) 상기 연자성 합금 분말은, 비정질상만으로 이루어지는 합금 분말 및 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말로 이루어지는, 상기 (1) 또는 (2)에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.

(4) 상기 연자성 합금 분말은, Fe기 합금 분말 및 Co기 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말을 포함하는, 상기 (3)에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.

(5) 상기 Fe기 합금 분말 및 상기 Co기 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말에 있어서의 Fe 및 Co의 합계 농도가 83 질량% 이상인, 상기 (4)에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.

(6) 상기 연자성 합금 분말은, 결정상만으로 이루어지는 합금 분말로 이루어지는, 상기 (1) 또는 (2)에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.

(7) 표면 저항이 10⁸Ω／□ 이상인, 상기 (1)~(6) 중 어느 하나에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.

(8) 두께가 0.5mm 이하인, 상기 (1)~(7) 중 어느 하나에 기재된 근방계용 노이즈 억제 시트.

본 발명에 의하면, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 상호 감결합성의 고주파화에 대응할 수 있는 근방계용 노이즈 억제 시트를 제공할 수 있다.

[도 1] 실시예 1, 2 및 비교예 1, 2에 의한 상호 감결합율의 주파수 의존성을 나타내는 그래프이다.
[도 2] 실시예 3, 4 및 비교예 3, 4에 의한 상호 감결합율의 주파수 의존성을 나타내는 그래프이다.
[도 3] 실시예 5, 6 및 비교예 5, 6에 의한 상호 감결합율의 주파수 의존성을 나타내는 그래프이다.
[도 4] 실시예 7, 8 및 비교예 7, 8에 의한 상호 감결합율의 주파수 의존성을 나타내는 그래프이다.
[도 5] 실시예 9, 10 및 비교예 9, 10에 의한 상호 감결합율의 주파수 의존성을 나타내는 그래프이다.
[도 6] 실시예 11, 12 및 비교예 11, 12에 의한 상호 감결합율의 주파수 의존성을 나타내는 그래프이다.

이하, 본 발명의 근방계용 노이즈 억제 시트의 실시형태에 대해 설명한다.

본 발명의 일 실시형태에 의한 근방계용 노이즈 억제 시트(이하, 단순히 「노이즈 억제 시트」라고 한다.)는, 유기물로 이루어지는 기재와 상기 기재 중에 담지된 연자성 합금 분말을 포함하고, 연자성 합금 분말은, 그 평균 입경이 12μm 이하이며, 또한, 애스펙트비의 평균치가 1.00 이상 1.30 이하인 것을 특징으로 한다. 이와 같이, 연자성 합금 분말의 평균 입경을 12μm 이하로 하고, 또한, 애스펙트비의 평균치를 1.00 이상 1.30 이하로 함으로써, 노이즈 억제 시트의 두께가 얇아도 상호 감결합성의 고주파화에 대응할 수 있는 노이즈 억제 시트를 얻을 수 있다. 또, 도체층을 갖는 다층 노이즈 억제 시트에 비해, 본 발명에 의한 노이즈 억제 시트의 구조는 단순하므로, 제조 비용을 억제할 수 있다. 또한, 자성체에 대한 전파의 침입 깊이는, 주파수가 높아질수록 얕아진다는 성질이 있으므로, 상호 감결합성을 더욱 고주파화시키는 관점에서 연자성 합금 분말의 평균 입경을 더 작게 해서, 연자성 합금 분말의 평균 입경을 5μm 이하로 하고, 또한, 애스펙트비의 평균치를 1.00 이상 1.30 이하로 하는 것이 바람직하다.

본 발명에 사용하는 연자성 합금 분말로서는, 어느 연자성 합금 분말도 사용할 수 있지만, 자성체에 대한 전파의 침입 깊이는, 자성체의 전기 저항이 높을수록 깊어진다는 성질이 있다. 그래서, 비정질상에 있어서의 전기 저항이 결정상에 있어서의 전기 저항보다 높다는 점을 고려하여, 연자성 합금 분말 중에서부터 비정질상을 갖도록 특정 조성을 갖는 연자성 합금 분말을 선택할 수도 있다. 따라서, 자성체의 전기 저항을 높임으로써 상호 감결합성을 보다 고주파화시키는 관점에서, 결정상만으로 이루어지는 합금 분말보다 높은 전기 저항을 갖는, 비정질상만으로 이루어지는 합금 분말 및 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말을 포함하는 연자성 합금 분말을 사용하는 것이 바람직하다. 또, 더 높은 전기 저항을 얻는 것으로, 상호 감결합성을 더욱 고주파화시키는 관점에서는, 비정질상만으로 이루어지는 합금 분말 및 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말로 이루어지는 연자성 합금 분말을 사용하는 것이 보다 바람직하다.

비정질상만으로 이루어지는 합금 분말 및 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말을 포함하는 연자성 합금 분말을 사용하는 경우, 실용적인 관점에서는, Fe기 합금 분말 및 Co기 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말을 포함하는 연자성 합금 분말을 사용하는 것이 바람직하다. 또, Fe기 합금 분말 및 Co기 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말로 이루어지는 연자성 합금 분말을 사용하는 것이 보다 바람직하다. 나아가 실용적인 관점에서는, Fe기 합금 분말 및 Co기 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말에 있어서의 Fe 및 Co의 합계 농도를 83 질량% 이상으로 하는 것이 보다 바람직하다. 여기서, 비정질만으로 이루어지는 합금 분말로서는, FeCo계, FeSiB계, FePC계, FeCoSiB계 등의 Fe기 합금 분말이나, CoFe계, CoSiB계, CoFeSiB계 등의 Co기 합금 분말을 들 수 있다. 또한, 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말에 대해서는, 상기 비정질상만으로 이루어지는 합금 분말에 대해 후술하는 처리를 가함으로써, α－Fe 미결정을 석출시킨 것을 들 수 있다.

또, 본 발명에 사용하는 연자성 합금 분말로서 결정상만으로 이루어지는 합금 분말을 포함하는 연자성 합금 분말을 사용할 수도 있다. 이 경우, 실용적인 관점에서는, Fe기 합금 분말 및 Co기 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말을 포함하는 연자성 합금 분말을 사용하는 것이 바람직하다. 나아가 실용적인 관점에서는, Fe기 합금 분말 및 Co기 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말로 이루어지는 연자성 합금 분말을 사용하는 것이 보다 바람직하다. 여기서, 결정상만으로 이루어지는 합금 분말로서는, FeSi계, FeMn계, FeNi계, FeSiAl계, FeSiCr계 등의 Fe기 합금 분말이나, CoNi, CoMn계 등의 Co기 합금 분말을 들 수 있다.

또, 본 발명에 사용하는 연자성 합금 분말은, 결정상만으로 이루어지는 합금 분말, 비정질상만으로 이루어지는 합금 분말, 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말 중에서 선택되는 2종 이상의 합금 분말을 혼합한 혼합 분말로 해도 된다. 이 경우의 분말의 비율은 특별히 한정되지 않지만, 비정질상만으로 이루어지는 합금 분말 및 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말의 합계를 50 질량% 이상으로 하는 것이 바람직하다. 게다가 본 발명에 사용하는 연자성 합금 분말에 대해, Fe분말을 첨가하여 혼합 분말로 할 수도 있다. 이 경우의 분말의 비율은 특별히 한정되지 않지만, 혼합 분말에 있어서의 연자성 합금 분말의 합계를 50 질량% 이상으로 하는 것이 바람직하다.

노이즈 억제 시트의 표면 저항은 10⁸Ω／□ 이상인 것이 바람직하다. 노이즈 억제 시트의 표면 저항이 10⁸Ω／□ 이상이면, 전자 회로에 노이즈 억제 시트를 직접 첩부하여 사용하는 경우에도, 전자회로의 임피던스를 혼란시키지 않기 때문이다.

노이즈 억제 시트의 두께는 0.5mm 이하인 것이 바람직하다. 노이즈 억제 시트의 두께가 0.5mm 이하이면, 경박단소화(輕薄短小化)·고주파화되는 근년의 전자기기나 통신기기에 적용할 수 있기 때문이다. 또한, 노이즈 억제 시트의 두께를 0.2mm 이하로 하는 것이 보다 바람직하다.

이하, 본 실시 형태의 노이즈 억제 시트의 제조 방법의 일례를 나타낸다.

본 실시 형태의 노이즈 억제 시트의 제조 방법에서는, 먼저, 연자성 합금 분말과, 유기물과, 유기 용매를 혼합하여 슬러리를 제작한다.

본 발명에서는, 연자성 합금 분말의 형상적인 이방성을 작게 해서, 구형에 가까운 형상으로 하는 것이 특징이다. 따라서, 본 발명에 있어서의 연자성 합금 분말의 애스펙트비(= 장경/두께)의 평균치는 1.00 이상 1.30 이하인 것이 중요하다. 이와 같은 관점에서, 본 발명에 있어서의 연자성 합금 분말은, 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 분말로 하는 것이 바람직하다. 여기서, 아토마이즈 분말로 하는 것은, 아토마이즈법에 의하면 구형에 가까운 형상을 만들기 쉽기 때문이다. 또한, 아토마이즈 분말은, 일반적인 분말 합성 방법인 가스 아토마이즈법 또는 물 아토마이즈법에 의해 얻을 수 있지만, 특히, 본 발명과 같이 평균 입경이 작은 분말을 얻는 관점에서는, 물 아토마이즈법을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 있어서의 연자성 합금 분말은, 아토마이즈법에 의해 얻어지는 것에 한정되는 것은 아니고, 연자성 합금의 벌크체나 대재(帶材)로부터 분쇄 가공해서 얻어지는 분말을 사용해도 된다. 이들 방법에 의해, 연자성 합금 분말의 평균 입경이 12μm 이하, 보다 바람직하게는 5μm 이하가 되도록 조정한다.

또한, 본 명세서에 있어서 「평균 입경」은, 노이즈 억제 시트의 두께 방향 단면의 연마면을 주사형 전자현미경(SEM)으로 배율 5000배로 관찰했을 때의, 연자성 합금 분말의 장경의 값을, 시야 중의 모든 분말에 대해 평균한 값을 의미하는 것으로 한다. 또, 「애스펙트비의 평균치」는, 동일하게, 노이즈 억제 시트의 두께 방향 단면의 연마면을 SEM으로 배율 5000배로 관찰했을 때의, 연자성 합금 분말의 장경/두께의 값을, 시야 중의 모든 분말에 대해 평균한 값을 의미하는 것으로 한다.

또, 상술한 바와 같이, 본 발명에 있어서의 연자성 합금 분말로서 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말을 사용할 수 있다. 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말을 사용하는 경우, 비정질상만으로 이루어지는 합금 분말을 제작한 후에, 질소나 아르곤 등의 불활성 분위기 중에서 열처리를 실시해서, 예를 들어 α－Fe로 이루어지는 미결정을 석출시킨다. 강자성의 α－Fe 미결정을 석출시킴으로써, 연자기 특성이 향상된다. 즉, 자속밀도가 증가해서, 유지력 및 자왜(磁歪)가 감소한다. 이와 같이 하여, 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말을 얻을 수 있다. 열처리 조건은, 예를 들어 300~600℃의 온도에서, 0.1~2시간으로 할 수 있다.

기재를 구성하는 유기물로서는, 에폭시 수지, 페놀 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리염화비닐 수지, 폴리부티랄 수지, 폴리비닐알코올 수지, 염소화 폴리에틸렌 수지 등의 임의의 수지계 재료나, 실리콘 고무, 아크릴 고무, 니트릴 고무, 부틸 고무 등의 임의의 고무계 재료나, 부직포, 폴리에스테르 섬유, 아크릴 섬유 등의 임의의 섬유계 재료를 들 수 있으며, 유기물의 선정에 대해서는 목적에 따라 임의 선정하면 된다. 이들 유기물은, 결합성·가역성의 부여 및 합금 분말끼리의 절연 격리와 같은 기능을 갖는다. 또, 노이즈 억제 시트의 유연성을 높이기 위해서, 필요에 따라 프탈산디옥틸 등의 가소제를 첨가할 수도 있다. 또, 연자성 합금 분말과 유기물의 친화력을 향상시키기 위해서, 실란커플링제 등의 표면 개질제를 첨가할 수 있다. 나아가, 난연성을 얻기 위해서, 필요에 따라 수산화 알루미늄, 수산화 마그네슘, 적린 등의 난연제를 첨가하는 것도 가능하다.

연자성 합금 분말과 유기물의 배합비는, 최종적으로 얻어지는 노이즈 억제 시트에서의 연자성 합금 분말이 차지하는 비율이, 체적 비율로 70% 이상 90% 이하가 되도록 조정하는 것이 바람직하다. 연자성 합금 분말의 비율을 70% 이상으로 함으로써, 노이즈 억제 시트로서 기능하기 위해서 필요한 투자율을 얻을 수 있다. 또, 연자성 합금 분말의 비율을 90% 이하로 함으로써, 유연성이 있는 노이즈 억제 시트를 얻을 수 있다. 또한, 종래와 같이, 노이즈 억제 시트에 편평상의 연자성 합금 분말을 사용하는 경우, 10⁸Ω／□ 이상의 표면 저항과 노이즈 억제 시트의 유연성을 확보하기 위해서는, 편평상의 연자성 합금 분말이 차지하는 체적 비율을 60% 미만으로 하지 않으면 안 되는데 비하여, 본 발명에서는, 연자성 합금 분말의 체적 비율을 70% 이상 90% 이하로까지 높일 수 있다. 이와 같이, 10⁸Ω／□ 이상의 표면 저항과 노이즈 억제 시트의 유연성을 확보하면서, 또한, 연자성 합금 분말의 체적 비율을 높이는 것에 의해 높은 노이즈 억제 효과도 얻을 수 있다.

유기 용매로서는 특별히 한정되지 않고, 톨루엔, 아세트산부틸, 아세트산에틸 등을 사용할 수 있다. 유기 용매는, 후속 공정에서 증발되므로, 노이즈 억제 시트에는 포함되지 않는다.

노이즈 억제 시트의 성형 방법으로서는, 캘린더 롤법이나 닥터 블레이드법 등의 공지 또는 임의의 방법을 들 수 있다. 예를 들어, 닥터 블레이드법을 사용하는 경우, 연자성 합금 분말과 유기물과 유기 용매로 이루어지는 슬러리를 시트상으로 성형·건조해서, 성형체를 작성한다. 이 성형체는, 구상에 가까운 형상을 갖는 연자성 합금 분말이 유기물로 이루어지는 기재에 담지된 구조를 가지고 있다. 단, 본 발명에서는 특히 상기 성형 방법으로 한정되는 것은 아니고, 두께 0.5mm 이하의 노이즈 억제 시트를 제작할 수 있는 것이면, 임의 또는 공지된 성형 방법을 사용할 수 있다.

실시예

(실시예 1, 2 및 비교예 1, 2)

실시예 1, 2 및 비교예 1에서는, 물 아토마이즈법에 의해, 질량% 표기로 Fe₈₅Si_9.5Al_5.5인 결정상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또, 비교예 2에서는, 물 아토마이즈법에 의해 제작한 질량% 표기로 Fe₈₅Si_9.5Al_5.5인 결정상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말에 대해, 어트라이터로 편평 가공을 가하고, 나아가 편평 가공에 수반되는 가공 응력을 없애기 위해서, 아르곤 분위기하에서, 650℃, 5시간의 어닐링 처리를 가하는 것에 의해 결정상만으로 이루어지는 편평상의 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또한, 비교예 2에 사용한 편평 가공을 가하기 전의 아토마이즈 합금 분말은, 실시예 2에 사용한 아토마이즈 합금 분말과 동일한 것이다.

다음으로, 실시예 1, 2 및 비교예 1의 각 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말, 비교예 2의 편평상의 아토마이즈 합금 분말의 각각에 대해, 각 합금 분말의 체적 비율이 각 슬러리 전체의 70% 이상 80% 이하가 되도록, 각 합금 분말과 아크릴 고무와 톨루엔을 혼합하여 슬러리를 제작했다. 다음으로, 닥터 블레이드법에 의해, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 상에서, 각 슬러리를 시트상의 성형체로 가공했다. 그 후, 각 시트상의 성형체에 대해, 10MPa의 압력 하에서 100℃, 1분간의 가열 프레스를 가하는 것으로, 두께 0.15mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다. 또한, 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 각 노이즈 억제 시트의 두께 방향 단면의 이온밀링 연마면을 SEM으로 관찰하고, 그 촬영 이미지로부터 기술한 방법으로 계측했다. 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치를 표 1에 나타낸다.

(실시예 3, 4 및 비교예 3, 4)

실시예 3, 4 및 비교예 3에서는, 물 아토마이즈법에 의해, 질량% 표기로 Fe₉₄Si₆인 결정상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또, 비교예 4에서는, 물 아토마이즈법에 의해 제작한 질량% 표기로 Fe₉₄Si₆인 결정상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말에 대해, 비교예 2와 동일한 처리를 가하는 것에 의해 결정상만으로 이루어지는 편평상의 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또한, 비교예 4에 사용한 편평 가공을 가하기 전의 아토마이즈 합금 분말은, 실시예 4에 사용한 아토마이즈 합금 분말과 동일한 것이다.

다음으로, 실시예 3, 4 및 비교예 3의 각 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말, 비교예 4의 편평상의 아토마이즈 합금 분말의 각각에 대해, 각 합금 분말의 체적 비율이 각 슬러리 전체의 70% 이상 80% 이하가 되도록, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 두께 0.15mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다. 또한, 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 실시예 1과 동일한 방법으로 계측했다. 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치를 표 1에 나타낸다.

(실시예 5, 6 및 비교예 5, 6)

실시예 5, 6 및 비교예 5에서는, 물 아토마이즈법에 의해, 질량% 표기로 Fe₅₀Ni₅₀인 결정상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또, 비교예 6에서는, 물 아토마이즈법에 의해 제작한 질량% 표기로 Fe₅₀Ni₅₀인 결정상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말에 대해, 비교예 2와 동일한 처리를 실시하는 것에 의해 결정상만으로 이루어지는 편평상의 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또한, 비교예 6에 사용한 편평 가공을 가하기 전의 아토마이즈 합금 분말은, 실시예 6에 사용한 아토마이즈 합금 분말과 동일한 것이다.

다음으로, 실시예 5, 6 및 비교예 5의 각 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말, 비교예 6의 편평상의 아토마이즈 합금 분말의 각각에 대해, 각 합금 분말의 체적 비율이 각 슬러리 전체의 70% 이상 80% 이하가 되도록, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 두께 0.15mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다. 또한, 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 실시예 1과 동일한 방법으로 계측했다. 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치를 표 1에 나타낸다.

(실시예 7, 8 및 비교예 7, 8)

실시예 7, 8 및 비교예 7에서는, 물 아토마이즈법에 의해, 질량% 표기로 Fe_90.1Si_6.1B_3.8인 비정질상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또, 비교예 8에서는, 물 아토마이즈법에 의해 제작한 질량% 표기로 Fe_90.1Si_6.1B_3.8인 비정질상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말에 대해, 애트라이터로 편평 가공을 가하고, 나아가 편평 가공에 수반되는 가공 응력을 없애기 위해서, 아르곤 분위기하에서, 430, 1시간의 어닐링 처리를 가하는 것에 의해 비정질상만으로 이루어지는 편평상의 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또한, 비교예 8에 사용한 편평 가공을 가하기 전의 아토마이즈 합금 분말은, 실시예 8에 사용한 아토마이즈 합금 분말과 동일한 것이다.

다음으로, 실시예 7, 8 및 비교예 7의 각 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말, 비교예 8의 편평상의 아토마이즈 합금 분말의 각각에 대해, 각 합금 분말의 체적 비율이 각 슬러리 전체의 70% 이상 80% 이하가 되도록, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 두께 0.15mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다. 또한, 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 실시예 1과 동일한 방법으로 계측했다. 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치를 표 1에 나타낸다.

(실시예 9, 10 및 비교예 9, 10)

실시예 9, 10 및 비교예 9에서는, 물 아토마이즈법에 의해, 질량% 표기로 Co_81.8Fe_5.1Si_10.1B_3.0인 비정질상만으로 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또, 비교예 10에서는, 물 아토마이즈법에 의해 제작한 질량% 표기로 Co_81.8Fe_5.1Si_10.1B_3.0인 비정질상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말에 대해, 어트라이터로 편평 가공을 가하고, 나아가 편평 가공에 수반되는 가공 응력을 없애기 위해서, 아르곤 분위기하에서, 500℃, 1시간의 어닐링 처리를 가하는 것에 의해 비정질상만으로 이루어지는 편평상의 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또한, 비교예 10에 사용한 편평 가공을 가하기 전의 아토마이즈 합금 분말은, 실시예 10에 사용한 아토마이즈 합금 분말과 동일한 것이다.

다음으로, 실시예 9, 10 및 비교예 9의 각 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말, 비교예 10의 편평상의 아토마이즈 합금 분말의 각각에 대해, 각 합금 분말의 체적 비율이 각 슬러리 전체의 70% 이상 80% 이하가 되도록, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 두께 0.15mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다. 또한, 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 실시예 1과 동일한 방법으로 계측했다. 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치를 표 1에 나타낸다.

(실시예 11, 12 및 비교예 11, 12)

실시예 11, 12 및 비교예 11에서는, 물 아토마이즈법에 의해, 질량% 표기로 Fe_83.3Si_7.7B_2.0Nb_5.7Cu_1.3인 비정질상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말을 제작한 후에, 아르곤 분위기하에서, 540℃, 1시간의 열처리를 실시하는 것으로, 비정질상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말 중에 α－Fe로 이루어지는 미결정을 석출시켜, 비정질상과 결정상을 갖는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또, 비교예 12에서는, 물 아토마이즈법에 의해 제작한 질량% 표기로 Fe_83.3Si_7.7B_2.0Nb_5.7Cu_1.3인 비정질상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말에 대해, 애트라이터로 편평 가공을 가하여 비정질상만으로 이루어지는 편평상의 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 그 후, 아르곤 분위기하에서, 540℃, 1시간의 열처리를 실시하는 것으로, 비정질상만으로 이루어지는 편평상의 아토마이즈 합금 분말 중에 α－Fe로 이루어지는 미결정을 석출시켜, 비정질상과 결정상을 갖는 편평상의 아토마이즈 합금 분말을 제작했다. 또한, 비교예 12에 사용한 편평 가공을 가하기 전의 아토마이즈 합금 분말은, 실시예 12에 사용한 아토마이즈 합금 분말과 동일한 것이다.

다음으로, 실시예 11, 12 및 비교예 11의 각 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말, 비교예 12의 편평상의 아토마이즈 합금 분말의 각각에 대해, 각 합금 분말의 체적 비율이 각 슬러리 전체의 70% 이상 80% 이하가 되도록, 실시예 1과 동일한 방법에 의해 두께 0.15mm의 노이즈 억제 시트를 제작했다. 또한, 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치에 대해서는, 실시예 1과 동일한 방법으로 계측했다. 각 합금 분말의 평균 입경 및 애스펙트비의 평균치를 표 1에 나타낸다.

(평가방법)

각 실시예·비교예에서 제작한 각 노이즈 억제 시트에 대해, 미츠비시화학제 하이레스타-UP를 사용하여 표면 저항을 측정했다. 측정 결과를 표 1에 나타낸다. 또, IEC 규격(IEC62333－2)에 따라, 각 노이즈 억제 시트의 상호 감결합율을 측정했다. 측정 결과를 도 1~도 6에 나타낸다.

(평가 결과의 설명)

편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말을 사용한 경우의 애스펙트비의 평균치는, 모두 1.00 이상 1.30 이하의 범위 내였다. 즉, 편평 가공이 가해지지 않은 아토마이즈 합금 분말의 형상은, 편평상의 아토마이즈 합금 분말의 형상에 비해, 구형에 가까운 것을 알 수 있다. 또, 어느 노이즈 억제 시트도 10⁸Ω／□ 보다 높은 표면 저항값을 나타내어, 노이즈 억제 시트로서의 표면 저항 특성을 만족하고 있었다.

다음으로, 연자성 합금 분말의 조성에 상관없이, 편평상의 아토마이즈 합금 분말을 사용한 비교예 2, 4, 6, 8, 10, 12에서는, 상호 감결합율이 0dB이 되는 주파수는 모두 1.0~1.5GHz의 범위였다. 이에 대하여, 평균 입경이 12μm 이하이며, 또한, 애스펙트비의 평균치가 1.00 이상 1.30 이하인 편평 가공이 가해지지 않은 합금 분말을 사용한 실시예 1~12에서는, 연자성 합금 분말의 조성에 상관없이, 상호 감결합율이 0dB이 되는 주파수는 모두 1.5GHz보다 높고, 상호 감결합성을 고주파화시킬 수 있었다.

이어서, 평균 입경이 12μm보다 큰 편평 가공이 가해지지 않은 합금 분말을 사용한 비교예 1, 3, 5, 7, 9, 11에서는, 연자성 합금 분말의 애스펙트비의 평균치가 1.00 이상 1.30 이하의 범위 내임에도 불구하고, 상호 감결합율이 0dB이 되는 주파수는 연자성 합금 분말의 조성에 상관없이, 실시예 1~12에 비해 저주파측에 위치하고 있었다. 또한, 평균 입경이 5μm 이하이며, 또한, 애스펙트비의 평균치가 1.00 이상 1.30 이하인 편평 가공이 가해지지 않은 합금 분말을 사용한 실시예 1, 3, 5, 7, 9, 11에서는, 연자성 합금 분말의 조성에 상관없이, 상호 감결합율이 0dB이 되는 주파수가, 실시예 2, 4, 6, 8, 10, 12에 비해 더 고주파화되었다.

다음으로, 비정질상만으로 이루어지는 편평 가공이 가해지지 않은 합금 분말을 사용한 실시예 7~10, 및 비정질상과 결정상을 갖는 편평 가공이 가해지지 않은 합금 분말을 사용한 실시예 11, 12에서는, 연자성 합금 분말의 조성에 상관없이, 상호 감결합율이 0dB이 되는 주파수가 2GHz를 상회하고 있어 결정상만으로 이루어지는 합금 분말을 사용한 실시예 1~6에 비해 더 고주파화되었다.

Claims

유기물로 이루어지는 기재와 상기 기재 중에 담지된 연자성 합금 분말을 포함하고,
상기 연자성 합금 분말은, 그 평균 입경이 12μm 이하이며, 또한, 애스펙트비의 평균치가 1.00 이상 1.30 이하이고,
IEC 규격(IEC62333－2)에 따라 측정되는 상호 감결합율이 0dB이 되는 주파수가 1.5GHz보다 높은 것을 특징으로 하는 근방계용 노이즈 억제 시트.
제 1 항에 있어서,
상기 연자성 합금 분말은, 비정질상만으로 이루어지는 합금 분말 및 비정질상과 결정상을 갖는 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말로 이루어지는, 근방계용 노이즈 억제 시트.
제 2 항에 있어서,
상기 연자성 합금 분말은, Fe기 합금 분말 및 Co기 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말을 포함하는, 근방계용 노이즈 억제 시트.
제 3 항에 있어서,
상기 Fe기 합금 분말 및 상기 Co기 합금 분말 중에서 선택되는 1종 이상의 합금 분말에 있어서의 Fe 및 Co의 합계 농도가 83 질량% 이상인, 근방계용 노이즈 억제 시트.
제 1 항에 있어서,
상기 연자성 합금 분말은, 결정상만으로 이루어지는 합금 분말로 이루어지는, 근방계용 노이즈 억제 시트.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 연자성 합금 분말의 평균 입경이 5μm 이하인, 근방계용 노이즈 억제 시트.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
표면 저항이 10⁸Ω／□ 이상인, 근방계용 노이즈 억제 시트.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
두께가 0.5mm 이하인, 근방계용 노이즈 억제 시트.