KR101758374B1 - 진공밸브 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진공밸브에 관한 것으로, 상기 진공밸브는 밸브 개구부를 가진 밸브 하우징 (1), 상기 밸브 개구부를 둘러싸는 밸브시트, 폐쇄 부재 (9), 및 상기 폐쇄 부재 (9) 에 배치된, 둘레가 닫힌 적어도 하나의 실링 (10, 11) 을 포함하며, 상기 실링은 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 의 방향으로 서로 엇갈려 배치된 제 1 시트-메인 섹션 및 제 2 시트-메인 섹션과 제 1 시트-연결 섹션 및 제 2 시트-연결 섹션에 할당된 제 1 실링-메인 섹션 (14) 및 제 2 실링-메인 섹션 (15) 과 제 1 실링-연결 섹션 (16) 및 제 2 실링-연결 섹션 (17) 을 구비하고, 상기 실링은 그루브 안에서 뻗어 있으며, 상기 그루브는 횡단면에서 볼 때 2 개의 측벽 및 바닥벽에 의해 한정되어 있고, 제 1 실링-메인 섹션 (14) 은 상기 폐쇄 부재의 폐쇄 방향 (8) 과 관련된 폐쇄 부재 (9) 의 전방 전면 (18) 에 배치되어 있으며, 중앙부 (19) 를 구비하고, 상기 중앙부 안에는 실링 (10, 11) 이 직선으로 뻗어 있다. 실링 (10, 11) 은 상기 제 1 실링-메인 섹션의 중앙부 (19) 안에 놓여 있는 그의 세로 방향 연장부의 적어도 제 1 부분영역 (22) 에 걸쳐 클램핑 스트립 (23) 에 의해 클램핑되어 있으며, 상기 클램핑 스트립은 폐쇄 부재 (9) 에 고정되어 있고, 그루브의 두 측벽 중 하나를 형성한다. 실링 (10, 11) 의 세로 방향 연장부의 적어도 제 2 부분영역에 걸쳐, 상기 그루브를 한정하는 두 측벽과 바닥벽은 폐쇄 부재 (9) 에 의해 형성된다.
Description
본 발명은 진공밸브에 관한 것으로, 상기 진공밸브는 축을 구비한 밸브 개구부 (valve opening) 를 가진 밸브 하우징 (valve housing), 상기 밸브 개구부를 둘러싸는 밸브시트 (valve seat), 폐쇄 부재 (closure member), 및 상기 폐쇄 부재에 배치된, 둘레가 닫힌 적어도 하나의 실링 (sealing) 을 포함하며, 상기 밸브시트는 제 1 시트-메인 섹션 (seat-main section) 과 제 2 시트-메인 섹션을 구비하고, 상기 시트-메인 섹션들은 밸브 개구부의 축의 방향으로 서로 엇갈려 배치되어 있고, 그리고 상기 시트-메인 섹션들은 제 1 시트-연결 섹션 (seat-connection section) 및 제 2 시트-연결 섹션을 통해 서로 연결되어 있으며, 상기 폐쇄 부재는 밸브 개구부의 축에 대해 비스듬히 있는 폐쇄 방향으로, 밸브 개구부가 개방되어 있는 개방 위치로부터 밸브 개구부가 밀봉되어 있는 폐쇄 위치로 이동될 수 있고, 그리고 폐쇄 방향과 반대 방향으로 상기 폐쇄 위치로부터 상기 개방 위치로 이동될 수 있으며, 상기 실링은 제 1 시트-메인 섹션 및 제 2 시트-메인 섹션과 제 1 시트-연결 섹션 및 제 2 시트-연결 섹션에 할당된 제 1 실링-메인 섹션 (sealing-main section) 및 제 2 실링-메인 섹션과 제 1 실링-연결 섹션 (sealing-connection section) 및 제 2 실링-연결 섹션을 구비하고, 상기 실링은 그루브 (groove) 안에서 뻗어 있으며, 상기 그루브는 횡단면에서 볼 때 2 개의 측벽 및 바닥벽에 의해 한정되어 있고, 이때 상기 제 1 실링-메인 섹션은 폐쇄 방향과 관련된 폐쇄 부재의 전방 전면에 배치되어 있으며, 중앙부를 구비하고, 상기 중앙부 안에는 상기 실링이 직선으로 뻗어 있다.
특히 필름 재료로 만들어진 스트립 (strip) 들이 그 안에서 가공되고, 상기 스트립들은 롤에 의해 굴러가며, 가공 후 롤 상으로 굴러가는 진공시설에서는, 롤들이 그들의 완전한 풀기 또는 감아 올리기 후 교체되어야만 하는 문제가 존재한다. 이를 위해 상기 롤들은 자신의 진공챔버들 안에 배치되며, 상기 진공챔버들은 가공이 실행되는 진공챔버들로부터 밸브들에 의해 분리될 수 있다. 이 경우, 통과하여 지나간 스트립의 재료에 대한 밸브의 폐쇄가 실행될 수 있다. 이를 통해, 각각의 롤의 교체시 전체 진공시설이 플러딩 (flooding) 되어야만 하는 것이 저지될 수 있다. 진공밸브로서는 일반적으로 경사진 시트 밸브 (inclined-seat valve) 가 이용되며, 상기 경사진 시트 밸브에 있어서 진공밸브를 닫기 위해 폐쇄 부재는 밸브 개구부의 축에 대해 비스듬히 있는 시트 (seat) 에 대해 직선으로 안내된다. 이때의 단점은 무엇보다도 밸브의 폐쇄시 스트립의 재료가 구부러진다는 것이다.
도입부에 언급된 유형의 진공밸브는 예컨대 US 4,809,950, US 4,881,717, US 5,909,867 및 US 6,685,163 으로부터 공지되어 있다. 이 밸브는 간단한 구성을 구비하며, 폐쇄 부재의 직선 운동만을 통해 (예컨대 다른 밸브 유형에서의 폐쇄 부재의 예컨대 L 모양 운동과는 달리) 빨리 폐쇄 및 개방될 수 있으며, 그럼에도 불구하고 이때 실링 (sealing) 상으로의 횡방향력은 폐쇄 부재의 폐쇄시 저지되고, 그리고 폐쇄 및 개방 과정시 비교적 적은 입자들을 배출한다.
이 진공밸브에 있어서, 실링은 일반적으로 폐쇄 부재에 배치되어 있으며, 진공밸브의 닫힌 상태에서 진공밸브의 시트에서의 실링면 (sealing surface) 에 대해 내리눌려진다. 대부분의 경우, 실링은 폐쇄 부재에 가황 처리되어 있으며, 이로 인해 실링의 마모 후 정비 비용이 높아진다. 폐쇄 부재의 그루브 (groove) 안에 배치된 O 링의 형태로 형성된 실링은 밸브의 이 유형을 위해 마찬가지로 이미 공지되어 있다.
사전 공지되어 있는, 스트립 코팅 시설 안에 삽입된 경사진 시트 밸브에 있어서, 통과하여 지나간 스트립에 대해 밸브가 닫히면, 밀봉을 개선하기 위해 폐쇄 부재에서 뿐만 아니라 밸브시트에서의 전면쪽에는 각각 둘레가 닫힌 실링이 배치되어 있다. 통과하여 지나간 스트립 없이 밸브가 닫히면, 폐쇄 부재에서의 및 밸브시트에서의 실링들은 서로에 대해 눌려진다. 밸브 개구부를 통해 안내된 스트립을 가진 밸브가 닫히면, 실링들의 섹션들은 양쪽에서 스트립에 내리눌려져 있다. 이때, 스트립의 폭은 둘레가 닫힌 실링들의 연장부보다 작으며, 따라서 양쪽에서 스트립의 옆에 놓여 있는 실링들의 섹션들은 서로에 대해 내리눌려져 있다.
정적 (static) 실링에 있어서 (상기 실링을 통해 진공밸브의 밸브 하우징의 2 개의 부품이 밀봉되어 서로 연결된다), 실링을 그루브 안에 배치하는 것이 이미 공지되어 있으며, 상기 실링에 있어서 그루브의 두 측벽 중 하나는 클램핑 스트립에 의해 형성되고, 상기 클램핑 스트립은 실링을 구비하는 밸브 하우징의 부품에 나사결합되어 있다. 이러한 구조를 통해, 예전에는 O 링을 수용하기 위한 언더컷된 그루브의 형성이 간단해질 수 있었다. 오늘날의 CNC 밀링기계를 이용해 매시브한 (massive) 부품 안에서의 언더컷된 그루브의 형성이 실행될 수 있으며, 따라서 클램핑 스트립을 갖는 구현형태는 노력 및 비용이 더 많이 든다
이 이외에, 폐쇄 부재의 2 개의 밸브 플레이트가 진공밸브의 닫힌 상태에서 서로 떨어져 벌어져 있는 슬라이드 밸브에 있어서, 플레이트들에 고정된 실링들을 마주하고 있는, 밸브 개구부들을 둘러싸는 실링면들에 내리누리기 위해, 구부러진 박판 부품들로 만들어진 밸브 플레이트의 형성이 공지되어 있다. 각각의 밸브 플레이트에는, O 링이 밸브 플레이트의 구부러진 가장자리와 횡단면이 구부러지게 설계된 링형 홀딩 요소 (holding element) 사이에 클램핑되어 있으며, 상기 홀딩 요소는 점용접 (spot weld) 을 통해 밸브 플레이트와 연결되어 있다. 이러한 방식으로, 구부러진 박판으로 구성된 밸브 플레이트에 있어서 O 링을 수용하는 그루브가 형성되어 있다.
US 6,899,316 에 진공밸브가 공개되어 있으며, 상기 진공밸브에 있어서 밸브 플레이트는, 그가 밸브 개구부를 개방시키는 개방 위치로부터 출발하여 그가 밸브 개구부를 덮고는 있으나 밸브시트로부터 들어내져 있는 중간 위치를 거쳐 밸브시트에 내리눌려져 있는 폐쇄 위치로 이동된다. 상기 개방 위치와 상기 중간 위치 사이에서 이동시키기 위해 제 1 드라이브가 이용되며, 상기 제 1 드라이브는 밸브 플레이트를 지지하는 지지체 유닛을 직선으로 이동시킨다. 상기 중간 위치와 상기 폐쇄 위치 사이에서 이동시키기 위해서는, 지지체 유닛에 의해 형성된 적어도 하나의 피스톤-실린더-유닛이 사용되며, 상기 피스톤은 지지체 유닛의 실린더 리세스 안에서 이동될 수 있다. 실린더 공간 안으로 밸브 로드 (valve rod) 를 이동시키기 위해 도입된, 대기압에 대해 높아진 과압을 신뢰성 있게 진공밸브의 진공 영역에 대해 밀봉시키기 위해, 밸브 플레이트를 지니고 있는 피스톤 로드는 제 1 실링 및 제 2 실링을 통해 지지체 유닛에 대해 밀봉되어 있다. 두 실링에 의해 에워싸인 공간 안으로 채널이 통하며, 상기 채널은 대기와 연결되어 있고 또는 진공화될 수 있으며, 이로 인해 실린더 공간 안에 존재하는 과압에 대한 밀봉의 안전이 더욱 개선된다.
본 발명의 목적은, 밸브 개구부를 통해 스트립이 안내되어 있으면 진공밸브는 닫힐 수도 있고 밸브 개구부는 밀봉될 수 있는, 스트립을 가공하기 위한 진공 시설에서 이용하기 위한 개선된 진공밸브를 제공하는 것이다.
이는 본 발명에 따르면 청구항 제 1 항의 특징들을 가진 진공밸브를 통해 달성된다.
본 발명에 따른 진공밸브에 있어서, 폐쇄 부재에 배치된, 둘레가 닫힌 적어도 하나의 실링이 제공되어 있으며, 상기 실링은 제 1 실링-메인 섹션의 중앙부 안에 놓여 있는 그의 세로 방향 연장부 (longitudinal extension) 의 제 1 부분영역 (partial area) 에 걸쳐 클램핑 스트립 (clamping strip) 에 의해 클램핑되어 있다 (clamped). 이 클램핑 스트립은 폐쇄 부재에 고정되어 있으며, 바람직하게는 폐쇄 부재와 함께 나사결합되어 있고, 그루브 (groove) 의 두 측벽 중 하나를 형성하며, 상기 그루브 안에는 실링이 뻗어 있다. 그의 세로 방향 연장부의 제 2 부분영역에 걸쳐, 실링은 그루브를 통해 뻗어 있으며, 상기 그루브의 두 측벽과 바닥벽은 함께 폐쇄 부재에 의해 형성되고, 즉 별도의 클램핑 스트립이 제공되지 않고 형성된다.
진공밸브가 닫히면, 이때 스트립이 밸브 개구부를 통해 뻗어 있으면, 실링은 제 1 실링-메인 섹션의 중앙부에 걸쳐 뻗어 있는 세로 방향 연장부의 적어도 일부에 걸쳐 스트립에 내리눌려져 있다. 스트립의 특히 상승된 온도들에서, 스트립에서 실링의 일종의 접착이 생길 수 있다. 이 경우, 그의 세로 방향 연장부의 제 1 부분영역에서 실링을 클램핑 스트립을 이용해 클램핑함으로써, 진공밸브가 다시 열리면 그루브 밖으로의 실링의 이탈이 저지된다. 이러한 이탈로 인해, 특히 진공밸브의 다음번 폐쇄시 실링의 손상 및 필요한 정비작업이 초래될 것이다.
실링의 세로 방향 연장부의 제 2 부분영역에서의 통틀어 폐쇄 부재 안에 형성된 그루브의 구현형태를 통해, 전체 제조 및 조립 비용이 감소된다.
바람직하게는, 실링의 클램핑이 클램핑 스트립을 이용해 수행되는 실링의 세로 방향 연장부의 제 1 부분영역은 제 1 실링-메인 섹션의 중앙부의 세로 방향 연장부의 3분의 2 이상에 걸쳐, 특히 바람직하게는 이 세로 방향 연장부의 90% 이상에 걸쳐 연장된다. 이를 통해, 제 1 실링-메인 섹션의 중앙부 안의 그루브 안에서의 실링의 효과적인 안전이 달성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시형태에 따르면, 실링은, 제 1 실링-메인 섹션의 중앙부 안에 놓여 있는 그의 세로 방향 연장부의 제 1 부분영역에서만 클램핑 스트립에 의해 클램핑되어 있으며, 그 외에는 실링은 통틀어 폐쇄 부재 안에 형성된 그루브를 통해 (즉, 별도의 클램핑 스트립 없이) 연장되고, 즉 실링의 세로 방향 연장부의 제 2 부분영역은 실링의 전체 나머지 세로 방향 연장부에 걸쳐 (제 1 부분영역을 제외하고) 연장된다.
본 발명의 바람직한 실시형태에서, 폐쇄 부재에는, 바람직하게는 서로 변함없는 간격을 두고, 둘레가 닫힌 제 1 실링과 둘레가 닫힌 제 2 실링이 배치되어 있다. 상기 실링들은 각각 제 1 시트-메인 섹션 및 제 2 시트-메인 섹션과 제 1 시트-연결 섹션 및 제 2 시트-연결 섹션에 소속된 제 1 실링-메인 섹션 및 제 2 실링-메인 섹션과 제 1 실링-연결 섹션 및 제 2 실링-연결 섹션을 구비하며, 각각의 그루브 안에서 뻗어 있다. 두 실링은, 각각 제 1 실링-메인 섹션의 중앙부 안에 놓여 있는 그의 세로 방향 연장부의 제 1 부분영역에 걸쳐 클램핑 스트립에 의해 클램핑되어 있으며, 상기 클램핑 스트립은 폐쇄 부재에 고정되어 있고, 바람직하게는 이것에 나사결합되어 있다. 상기 클램핑 스트립은 각각 그루브의 두 측벽 중 하나를 형성한다. 바람직하게는, 두 실링을 위해 하나의 공통의 클램핑 스트립이 제공되어 있으며, 상기 클램핑 스트립은 두 실링 사이에 놓여 있고, 그루브들의 이웃한 측벽들을 형성한다. 각각의 실링의 세로 방향 연장부의 제 2 부분영역에 걸쳐, 그 안에 실링이 뻗어 있는 그루브는 통틀어 폐쇄 부재에 의해 형성되며, 즉 그곳에는 클램핑 스트립이 제공되어 있지 않다.
폐쇄 부재에 배치된, 둘레가 닫힌 각각의 실링을 위해 밸브시트에는 둘레가 닫힌 시트-실링이 배치되어 있는 것이 바람직하며, 상기 시트-실링은, 밸브 개구부를 통해 안내된 스트립 없이 진공밸브가 닫히면, 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서는 그의 전체 세로 방향 연장부에 걸쳐 폐쇄 부재에서의 관련 실링에 내리눌려져 있다. 밸브 개구부를 통해 안내된 스트립에 대해 폐쇄 부재가 닫히면, 폐쇄 부재에 및 시트에 배치된 실링들은 그들의 세로 방향 연장부의 일부에 걸쳐 (상기 부분에 걸쳐 스트립은 그들 사이에 뻗어 있다) 마주하고 있는 쪽들로부터 스트립의 표면에 내리눌려져 있으며, 그들의 세로 방향 연장부의 나머지 영역에서는 서로에 대해 내리눌려져 있다. 이를 통해, 스트립이 손상되는 위험이 감소되며, 이를 통해 밸브 개구부의 밀봉은 밸브 개구부를 통해 안내된 스트립에 대한 밸브의 폐쇄시 개선된다.
바람직하게는, 밸브시트에 배치된 적어도 하나의 시트-실링은, 상기 시트-실링이 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서 밸브 개구부를 통해 안내된 스트립 없이 폐쇄 부재에서의 관련 실링의 제 1 부분영역에 내리눌려져 있는 영역의 적어도 일부에 걸쳐 내리눌려져 있으며, 클램핑 스트립에 의해 클램핑되어 있고, 상기 클램핑 스트립은 시트-실링-그루브의 두 측벽 중 하나를 형성하며, 상기 시트-실링-그루브 안에는 시트-실링이 뻗어 있다.
폐쇄 부재에, 그리고 경우에 따라서는 밸브시트에도 제 1 실링 및 제 2 실링이 배치되어 있는 구현형태에 있어서, 바람직하게는 적어도 하나의 석션 채널 (suction channel) 이 제공되어 있으며, 상기 석션 채널을 통해, 제 1 실링과 제 2 실링 사이에서 폐쇄 부재에 및/또는 밸브시트에 놓여 있는 중간 공간은 진공화될 수 있다. 이러한 중간 석션을 통해 진공밸브의 누출율은, 특히 밸브 개구부를 통해 안내된 스트립에 대해 폐쇄 부재가 닫히면 감소될 수 있다.
이하, 본 발명의 그 밖의 장점 및 상세 내용을 첨부된 도면들을 참조로 설명한다.
도 1 은 닫힌 상태에서, 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브를 기울인 도면;
도 2 는 도 1 의 진공밸브를 나타낸 도면;
도 3 은 진공밸브의 열린 상태에서 도 2 에 상응하는 도면;
도 4 는 진공밸브의 부품들 (밸브 하우징의 부품들과 밸브시트) 이 생략되어 있는, 기울인 도면;
도 5 는 진공밸브의 부품들 (밸브 하우징의 부품들과 패쇄 부재) 이 생략되어 있는, 다른 시각에서 바라본 기울인 도면;
도 6 은 도 2 의 선 (AA) 을 따른 도면;
도 7 은 도 3 의 선 (BB) 을 따른 단면;
도 8a 내지 8d 는 클램핑 스트립의 여러 가지 실시 변형예를 위한 도 2 의 선 (CC) 을 따른 단면들;
도 9 는 도 2 의 선 (DD) 을 따른 단면;
도 10 은 도 2 의 선 (EE) 을 따른 단면;
도 11 은 도 6 과 유사하나, 밸브 개구부를 통해 안내된 스트립을 가진 (상기 스트립에 대해 폐쇄 부재가 폐쇄되어 있다) 도면;
도 12 는 그 안에 삽입된 본 발명에 따른 밸브들을 가진 스트립을 가공하기 위한 진공 시설의 개략적인 도면이다.
도 2 는 도 1 의 진공밸브를 나타낸 도면;
도 3 은 진공밸브의 열린 상태에서 도 2 에 상응하는 도면;
도 4 는 진공밸브의 부품들 (밸브 하우징의 부품들과 밸브시트) 이 생략되어 있는, 기울인 도면;
도 5 는 진공밸브의 부품들 (밸브 하우징의 부품들과 패쇄 부재) 이 생략되어 있는, 다른 시각에서 바라본 기울인 도면;
도 6 은 도 2 의 선 (AA) 을 따른 도면;
도 7 은 도 3 의 선 (BB) 을 따른 단면;
도 8a 내지 8d 는 클램핑 스트립의 여러 가지 실시 변형예를 위한 도 2 의 선 (CC) 을 따른 단면들;
도 9 는 도 2 의 선 (DD) 을 따른 단면;
도 10 은 도 2 의 선 (EE) 을 따른 단면;
도 11 은 도 6 과 유사하나, 밸브 개구부를 통해 안내된 스트립을 가진 (상기 스트립에 대해 폐쇄 부재가 폐쇄되어 있다) 도면;
도 12 는 그 안에 삽입된 본 발명에 따른 밸브들을 가진 스트립을 가공하기 위한 진공 시설의 개략적인 도면이다.
스트립들을 가공하기 위한 진공 시설에서 이용하기 위한 본 발명에 따른 진공밸브의 실시예가 도 1 내지 도 11 에 도시되어 있다. 상기 진공밸브는 밸브 하우징 (1) 을 가지며, 상기 밸브 하우징은 축 (3) 을 가진 관통부 또는 개구부 (2) 를 구비한다. 밸브 개구부 (2) 는 밸브시트 (valve seat) 에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 밸브시트는 제 1 시트-메인 섹션 (seat-main section, 4) 및 제 2 밸브-메인 섹션 (5) 을 구비한다. 제 1 시트-메인 섹션 (4) 과 제 2 시트-메인 섹션 (5) 은 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 의 방향으로 서로 엇갈려 있다. 시트-메인 섹션 (4, 5) 들은 서로 간격을 둔 평면들에 놓여 있으며, 상기 평면들은 폐쇄 방향 (8) 에 대해 평행으로 또는 바람직하게는 축 (3) 에 대해 직각으로 정렬되어 있다. 그들의 세로 방향 연장부의 한쪽에 놓여 있는 단부들에서 제 1 시트-메인 섹션 (4) 과 제 2 시트-메인 섹션 (5) 은 제 1 시트-연결 섹션 (seat-connection section, 6) 에 의해 서로 연결되어 있으며, 그들의 세로 방향 연장부의 단부들의 다른 쪽에서 제 1 시트-메인 섹션 (4) 과 제 2 시트-메인 섹션 (5) 은 제 2 시트-연결 섹션 (7) 에 의해 서로 연결되어 있다. 제 1 시트-연결 섹션 (7) 과 제 2 시트-연결 섹션 (8) 은 각각 U 모양 연장부를 구비한다.
밸브 하우징 (1) 은 제 1 벽부 (wall part, 52) 및 제 2 벽부 (53) 를 포함하며, 상기 벽부들은 각각 밸브 하우징 (1) 를 통한 관통부를 형성하기 위한 개구부를 구비한다. 벽부 (52, 53) 들 사이의 중간 공간에는, 하기에서 설명되는 폐쇄 부재 (9) 가 위치한다. 밸브시트는 시트부 (seat part, 54) 에 배치되어 있다. 이것은 예컨대 로드 (rod, 55) 들 및 연결볼트 (56) 들을 통해 밸브 하우징 (1) 의 다른 부품들과 단단히 연결되어 있다. 그러므로, 시트부 (54) 는 밸브 하우징 (1) 의 부품으로 간주될 수도 있다. 시트부 (54) 는 밸브 하우징의 벽부와 일체로 형성될 수도 있다.
진공밸브의 폐쇄 부재 (9) 는, 밸브 개구부 (2) 가 적어도 부분적으로, 바람직하게는 축 (3) 의 방향으로 볼 때 완전히 개방되어 있는 (도 3 및 도 6) 개방 위치로부터 출발하여 폐쇄 방향 (8) 으로 폐쇄 위치로 직선으로 이동될 수 있으며, 상기 폐쇄 위치에서 상기 밸브 개구부는 밀봉되어 있다 (도 1, 도 2 및 도 7). 진공밸브를 개방하기 위해서는, 폐쇄 부재 (9) 는 폐쇄 방향 (8) 의 반대 방향으로 그의 폐쇄 위치로부터 그의 개방 위치로 이동된다. 상기 이동을 위해서는 통상적인 방식으로 예컨대 피스톤-실린더-유닛 형태의 적어도 하나의 구동부품 (57) 이 사용되며, 그의 피스톤 로드 (piston rod) 는 폐쇄 부재 (9) 와 연결되어 있다.
폐쇄 방향 (8) 은 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 에 대해 비스듬히 있으며, 바람직하게는 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 에 대해 본질적으로 직각으로 있고, 이 경우 '본질적으로' 이란 개념에는 직각 배열로부터 25°까지의 편차가 포함되어야 한다. 도시되어 있는 실시예에 나타나 있는 바와 같이 직각 배열이 특히 선호된다.
폐쇄 부재 (9) 에는 탄성 재료로 만들어진, 둘레가 닫힌 제 1 실링 (10) 및 둘레가 닫힌 제 2 실링 (11) 이 배치되어 있으며, 상기 실링들은 제 1 그루브 (groove, 12) 및 제 2 그루브 (13) 안에서 뻗어 있다.
제 1 실링 (10) 과 제 2 실링 (11) 은 각각 제 1 실링-메인 섹션 (sealing-main section, 14) 과 제 2 실링-메인 섹션 (15) 을 구비하며, 상기 실링-메인 섹션들은 제 1 시트-메인 섹션 (4) 및 제 2 시트-메인 섹션 (5) 에 할당되어 있고, 즉 그들은 폐쇄 부재 (9) 의 개방 위치에서는, 폐쇄 방향 (8) 과 관련하여 제 1 시트-메인 섹션 (4) 또는 제 2 시트-메인 섹션 (5) 의 맞은편에 놓여 있으며, 폐쇄 부재 (9) 의 폐쇄 위치에서는, 밸브 개구부 (2) 를 통해 스트립 (38) 이 안내되어 있지 않으면, 제 1 시트-메인 섹션 (4) 또는 제 2 시트-메인 섹션 (5) 의 실링면 (sealing surface) 들에 밀착하고 또는 도시되어 있는 실시예에 상응하여 하기에서 설명되는 바와 같이 시트-실링 (seat-sealing, 28, 29) 들의 섹션들에 밀착하며, 상기 시트-실링들은 제 1 시트-메인 섹션 (4) 또는 제 2 시트-메인 섹션 (5) 에 걸쳐 뻗어 있다.
각각의 실링 (10, 11) 의 제 1 실링-메인 섹션 (14) 과 제 2 실링-메인 섹션 (15) 은 제 1 실링-연결 섹션 (16) 과 제 2 실링-연결 섹션 (17) 을 통해 서로 연결되어 있다. 제 1 실링-연결 섹션 (16) 및 제 2 실링-연결 섹션 (17) 은 제 1 시트-연결 섹션 (6) 및 제 2 시트-연결 섹션 (7) 에 할당되어 있으며, 즉 그들은 폐쇄 부재 (9) 의 개방 위치에서는 폐쇄 방향 (8) 과 관련하여 시트-연결 섹션 (6, 7) 들의 맞은편에 놓여 있고, 폐쇄 부재 (9) 의 폐쇄 위치에서는, 밸브 개구부 (2) 를 통해 스트립 (38) 이 안내되어 있지 않으면, 제 1 시트-연결 섹션 (6) 또는 제 2 시트-연결 섹션 (7) 의 실링면들에 밀착하며 또는 시트-실링들의 각각의 섹션들에 밀착하고, 상기 시트-실링들은 상기 시트-연결 섹션들에 걸쳐 뻗어 있다.
제 1 실링 (10) 과 제 2 실링 (11) 의 제 1 실링-메인 섹션 (14) 들은 서로 간격을 둔 평행 평면들에 놓여 있다. 제 1 실링 (10) 과 제 2 실링 (11) 의 제 2 실링-메인 섹션 (15) 들은 서로 간격을 둔 평행 평면들에 놓여 있다. 제 1 실링-메인 섹션 (14) 들의 평면들과 제 2 실링-메인 섹션 (15) 들의 평면들은 서로 평행으로 놓여 있다. 이 평면들은 폐쇄 방향 (8) 에 대해 평행으로 놓여 있으며, 바람직하게는 축 (3) 에 대해 직각으로 놓여 있다. 제 1 실링-연결 섹션 (16) 과 제 2 실링-연결 섹션 (17) 은 각각 U 모양의 또는 반원 모양의 또는 180°만큼 구부러진 연장부를 구비한다.
제 2 실링 (11) 은 그의 전체 둘레에 걸쳐 제 1 실링 (10) 에 의해 둘러싸인다.
제 1 실링-메인 섹션 (14) 은 폐쇄 방향 (8) 과 관련하여 제 2 실링-메인 섹션 (15) 보다 훨신 앞에 놓여 있다. 제 1 실링-메인 섹션 (14) 은 폐쇄 방향과 관련된 폐쇄 부재 (9) 의 전방 전면 (18) 에 걸쳐 뻗어 있다. 제 1 실링-메인 섹션 (14) 은 중앙부 (19) 를 구비하며, 상기 중앙부 안에서 실링 (10) 은 직선으로, 그리고 폐쇄 방향에 대해 직각으로 뻗어 있다. 중앙부 (19) 의 연장부에 걸쳐 전방 전면 (18) 은 폐쇄 방향 (8) 을 가리킨다.
제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 에는 양쪽에 측면부 (20, 21) 들이 이어지며, 상기 측면부들을 통해 제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 는 각각의 실링-연결 섹션 (16, 17) 과 연결되어 있다. 측면부 (20, 21) 들 안에서 각각의 실링 (10, 11) 은 폐쇄 방향 (8) 에 대해 비스듬히 뻗어 있으며 (즉 평행 정렬과 직각 정렬 사이의 각도하에), 바람직하게는 폐쇄 방향 (8) 에 대한 30°내지 60°의 각도 범위에서 뻗어 있다.
제 1 그루브 (12) 와 제 2 그루브 (13) 는 횡단면에서 볼 때 (도 8a-d, 도 9 및 도 10 참조) 2 개의 측벽 (24, 24';25) 과 바닥벽 (26) 에 의해 한정되어 있다. 실링 (10, 11) 들은 그루브 (12, 13) 들 안에서 각각 형상 끼워맞춤에 의해 수용되어 있다. 이를 위해 제 1 그루브 (12) 와 제 2 그루브 (13) 는 언더컷된 형태를 구비한다.
실링 (10, 11) 들은 도시되어 있는 실시예에서 O 링의 형태로 형성되어 있으며, 즉 원형 횡단면을 가진다. 그루브 (12, 13) 들은 그들의 둘레의 절반 이상에 걸쳐, 그루브 (12, 13) 안에 형상 끼워맞춤으로 수용하기 위해 실링 (10, 11) 들을 둘러싼다.
제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부의 내부에 놓여 있는 그의 세로 방향 연장부의 제 1 부분영역 (22) 에 걸쳐, 각각의 실링 (10, 11) 은 클램핑 스트립 (23) 에 의해 클램핑되어 있다. 클램핑 스트립 (23) 은 나사 (27) 들을 통해 폐쇄 부재 (9) 에 고정되어 있다. 클램핑 스트립 (23) 은 각각의 그루브 (12, 13) 의 측벽 (24') 을 형성한다. 다른 측벽 (25) 과 바닥벽 (26) 은 폐쇄 부재 (9) 의 재료에 의해 형성된다.
실시예에서, 두 실링 (10, 11) 을 위해 하나의 공통의 클램핑 스트립 (23) 이 제공되어 있는 것이 바람직하다. 클램핑 스트립 (23) 은 두 실링 (10, 11) 사이에 놓여 있으며, 두 그루브 (12, 13) 의 이웃한 측벽 (24') 들을 형성한다. 각각의 실링 (10, 11) 을 위한 별도의 클램핑 스트립 (23) 을 가진 구현형태도 가능하다.
제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 는 밸브 개구부 (2) 의 폭 연장부의 방향으로 뻗어 있으며, 상기 폭 연장부는 이에 대해 직각으로 있는 높이 연장부보다 3 배 이상 크다. 상기 폭 연장부와 상기 높이 연장부는 각각 축 (3) 에 대해 직각으로 있다. 바람직하게는, 제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 는 밸브 개구부 (2) 의 폭 연장부의 적어도 90 % 에 걸쳐 연장된다. 중앙부 (19) 의 영역에서의 각각의 그루브 (12, 13) 안의 각각의 실링 (10, 11) 의 안전한 수용을 위해, 제 1 부분영역 (partial area, 22) 은 바람직하게는 중앙부 (19) 의 세로 방향 연장부의 3분의 2 이상에 걸쳐 연장되고, 바람직하게는 중앙부 (19) 의 세로 방향 연장부의 4분의 3 이상에 걸쳐 연장된다.
각각의 실링 (10, 11) 의 세로 방향 연장부의 제 2 부분영역에 걸쳐, 그루브 (12, 13) 들은 통틀어 폐쇄 부재 (9) 안에 형성되어 있으며, 즉 각각의 그루브 (12, 13) 를 한정하는 측벽 (24, 25) 들과 바닥벽 (26) 은 함께 또는 재료 일체형으로 폐쇄 부재 (9) 에 의해 형성된다 (도 9 및 도 10 참조). 측벽 (24, 25) 들과 바닥벽 (26) 은 제 2 부분영역에서 횡단면에서 볼 때 연속적으로 형성되어 있으며, 즉 예컨대 서로 접하는 부품들 또는 재료들에 의한 중단 없이 형성되어 있다. 이 경우, 측벽 (24, 25) 들과 바닥벽 (26) 은 도시되어 있는 바와 같이 연속적으로 서로 이어질 수 있다. 예컨대, 각각의 그루브 (12, 13) 는 횡단면에서 볼 때 통틀어 원호 모양으로 형성되어 있을 수 있다.
제 2 부분영역은 도시되어 있는 실시예에서 각각의 실링 (10, 11) 의 세로 방향 연장부의 전체 영역 - 제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 안에 놓여 있는 제 1 부분영역 (22) 을 제외하고 - 에 의해 형성된다.
제 1 부분영역 (22) 에 대해 추가적으로 클램핑 스트립에 의한 각각의 실링 (10, 11) 의 클램핑이 그 밖의 부분영역에서도 가능하기는 하나, 이러한 클램핑이 제 1 부분영역 (22) 에서만 제공되어 있는 것이 바람직하다.
밸브시트에는 둘레가 닫힌 제 1 시트-실링 (28) 과 둘레가 닫힌 제 2 시트-실링 (29) 이 배치되어 있으며, 상기 시트-실링들은 폐쇄 부재 (9) 에 배치된 각각의 실링 (10, 11) 에 할당되어 있다. 폐쇄 부재 (9) 의 폐쇄 위치에서, 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립에 대해 폐쇄가 수행되지 않으면 (하기의 설명 참조), 폐쇄 부재 (9) 에 배치된 제 1 실링 (10) 은 그의 전체 세로 방향 연장부에 걸쳐 제 1 시트-실링 (28) 에 내리눌려져 있으며, 폐쇄 부재 (9) 에 배치된 제 2 실링 (11) 은 그의 전체 세로 방향 연장부에 걸쳐 제 2 시트-실링 (29) 에 내리눌려져 있다. 그러므로, 시트-실링 (28, 29) 들은 폐쇄 부재 (9) 에 배치된 제 1 실링 (10) 과 제 2 실링 (11) 에 부합하여 형성되어 있다. 그러므로, 폐쇄 부재 (9) 에 배치된 각각의 실링 (10, 11) 의 세로 방향 연장부의 영역들에서 (상기 세로 방향 연장부에서 이것들은 그들의 실링-메인 섹션 (14, 15) 들과 그들의 실링-연결 섹션 (16, 17) 들을 구비한다), 시트-실링 (28, 29) 들은 마찬가지로 제 1 실링-메인 섹션 및 제 2 실링-메인 섹션과 제 1 실링-연결 섹션 및 제 2 실링-연결 섹션을 구비한다. 폐쇄 부재 (9) 에 배치된 각각의 실링 (10, 11) 의 제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 의 영역에서, 할당된 시트-실링 (28, 29) 은 각각의 실링 (10, 11) 의 중앙부 (19) 에 대해 평행으로 뻗어 있는 중앙부를 구비한다.
제 1 시트-실링 (28) 과 제 2 시트-실링 (29) 은 제 1 시트-실링-그루브 (30) 와 제 2 시트-실링-그루브 (31) 안에서 뻗어 있다. 각각의 시트-실링-그루브 (30, 31) 는 횡단면에서 볼 때 2 개의 측벽 (32, 32';33) 과 바닥벽 (34) 에 의해 한정되어 있다. 시트-실링 (28, 29) 들은 시트-실링-그루브 (30, 13) 안에서 각각 형상 끼워맞춤에 의해 수용되어 있다. 이를 위해 제 1 시트-실링-그루브 (30) 와 제 2 시트-실링-그루브 (31) 는 언더컷된 형태를 가진다.
시트-실링 (28, 29) 들은 도시되어 있는 실시예에서 O 링의 형태로 형성되어 있으며, 즉 원형 횡단면을 가진다. 시트-실링-그루브 (30, 31) 들은 그들의 둘레의 절반 이상에 걸쳐, 시트-실링 (28, 29) 들을 시트-실링-그루브 (30, 31) 안에 형상 끼워맞춤으로 수용하기 위해 상기 시트-실링들을 둘러싼다.
각각의 시트-실링 (28, 29) 은 그의 세로 방향 연장부 (도 5 참조) 의 제 1 부분영역 (35) 에서 (상기 부분영역에 걸쳐 그는 폐쇄 부재 (9) 의 폐쇄 위치에서 연속적으로 제 1 실링 (10) 또는 제 2 실링 (11) 의 제 1 부분영역 (22) 에 내리눌려져 있다), 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립 (38) 없이 폐쇄 부재 (9) 의 폐쇄가 수행되면, 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 에 의해 클램핑되어 있다. 이 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 은 각각의 시트-실링-그루브 (30, 31) 의 측벽 (32') 을 형성하며, 그의 시트-실링-그루브 (30, 31) 밖으로 이탈되지 않도록 형상 끼워맞춤으로 각각의 시트-실링 (28, 29) 을 안전하게 한다.
시트-실링-클램핑 스트립 (36) 은 나사 (51) 들을 통해 밸브시트에 고정되어 있다.
바람직하게는, 두 시트-실링 (28, 29) 을 클램핑하기 위한 하나의 공통의 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 이 제공되어 있으며, 상기 시트-실링-클램핑 스트립은 제 1 시트-실링 (28) 과 제 2 시트-실링 (29) 사이에 배치되어 있고, 시트-실링-그루브 (30, 31) 들의 이웃한 측벽 (32') 들을 형성한다.
각각의 시트-실링 (28, 29) 의 바람직하게는 전체 나머지 세로 방향 연장부를 - 제 1 부분영역 (35) 을 제외하고 - 차지하는 각각의 시트-실링 (28, 29) 의 세로 방향 연장부의 제 2 부분영역에서, 각각의 시트-실링 (28, 29) 은 클램핑 스트립에 의해 클램핑되어 있는 것이 아니라 통틀어 시트부 (seat part, 54) 안에 형성되어 있으며, 즉 각각의 시트-실링-그루브 (30, 31) 를 한정하는 측벽 (32, 33) 들과 바닥벽 (34) 은 함께 또는 재료 일체형으로 시트부 (54) 에 의해 형성되어 있다. 제 1 시트-실링-그루브 (30) 와 제 2 시트-실링-그루브 (31) 의 측벽 (32, 33) 들과 바닥벽 (34) 들은 제 2 부분영역에서 횡단면에서 볼 때 연속적으로 형성되어 있으며, 즉 예컨대 서로 접해 있는 여러 가지 부품 또는 재료들에 의한 중단 없이 형성되어 있다. 이 경우, 도시되어 있는 바와 같이 측벽 (32, 33) 들과 바닥벽 (34) 은 연속적으로 서로 이어질 수 있다. 예컨대, 각각의 시트-실링-그루브 (30, 31) 는 횡단면에서 볼 때 통틀어 원호 모양으로 형성되어 있을 수 있다.
도 8a 내지 도 8d 는 클램핑 스트립 (23) 과 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 의 형성 가능성을 위한 예들을 나타낸다. 그루브 (12, 13) 또는 시트-실링-그루브 (30, 31) 로부터의 이탈에 맞서 형상 끼워맞춤으로 실링 (10, 11) 또는 시트-실링 (28, 29) 을 안전하게 하기 위해, 클램핑 스트립 (23) 또는 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 에 의해 형성된 측벽 (24' 또는 32') 은 서로 다른 언더컷된 형태들을 구비할 수 있다. 각각의 바닥벽 (26, 34) 의 일부도 클램핑 스트립 (23) 또는 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 에 의해 형성될 수 있다. 각각의 실링 (10, 11) 또는 시트-실링 (28, 29) 은 각각의 실링 (10, 11) 또는 시트-실링 (28, 29) 의 그루브 (12, 13) 또는 시트-실링-그루브 (30, 31) 의 가로 방향으로 측정된 가장 큰 확장부의 위쪽에서 (각각의 그루브의 바닥으로부터 각각의 그루브의 외면쪽으로의 방향과 관련하여) 클램핑되어 있다. 도 8a 내지 8d 에는 편의상 실링 (10, 11) 들 또는 시트-실링 (28, 29) 들의 눌려지지 않은 형태들이 도시되어 있으며 (따라서 클램핑 스트립 (23) 또는 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 과의 겹침이 발생한다), 하지만 실제로는 이 실링들은 그들의 눌려지지 않은 상태에 비해 상응하여 변형되어 있다.
각각의 클램핑 스트립 (23) 또는 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 에 의해 형성된 측벽 (24', 32') 의 형태들에 의해, 측벽 (24' 또는 32') 과 각각의 실링 (10, 11) 또는 시트-실링 (28, 29) 사이의 자유 공간 (37) 이 형성되며, 즉 그루브 (12, 13) 또는 시트-실링-그루브 (30, 31) 의 횡단면 표면은 눌려지지 않은 실링 (10, 11) 또는 시트-실링 (28, 29) 의, 그루브 (12, 13) 또는 시트-실링-그루브 (30, 31) 의 내부에 놓여 있는 부분보다 크다. 이 자유 공간 안으로, 각각의 실링 (10, 11) 또는 시트-실링 (28, 29) 은, 이것들이 폐쇄 부재 (9) 의 폐쇄시 눌려지고 또는 이것들이 상승된 온도로 인해 팽창되면 팽창될 수 있다.
통상적인 방식으로, 폐쇄 부재 (9) 가 폐쇄되면 각각의 실링 (10, 11) 또는 시트-실링 (28, 29) 의 팽창을 가능하게 하기 위해, 각각의 그루브 (12, 13) 또는 시트-실링-그루브 (30, 31) 의 횡단면 표면은 클램핑 스트립 (23) 또는 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 에 의한 클램핑이 수행되지 않는 제 2 부분영역에서도, 눌려지지 않은 실링 (10, 11) 또는 시트-실링 (28, 29) 의 횡단면 표면의 그루브 (12, 13) 또는 시트-실링-그루브 (30, 31) 의 내부에 놓여 있는 부분보다 크다. 하지만 각각의 제 1 부분영역 (22 또는 35) 에서의 각각의 그루브 (12, 13) 또는 시트-실링-그루브 (30, 31) 의 횡단면 표면은 각각의 제 2 부분영역에서보다 크다. 이로 인해, 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된, 비교적 높은 온도를 가진 스트립에 대해 진공밸브가 폐쇄되면, 제 1 부분영역 (22 또는 35) 에서의 각각의 실링 (10, 11) 또는 시트-실링 (28, 29) 의 충분히 큰 온도팽창이 흡수될 수 있다.
도 1, 도 2, 도 6, 도 8a 내지 8d, 도 9 및 도 10 은 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립이 없는 진공밸브의 폐쇄된 상태가 도시되어 있다. 이 경우, 제 1 실링 (10) 은 그의 전체 세로 방향 연장부에 걸쳐 제 1 시트-실링 (28) 에 눌려져 있으며, 제 2 실링 (11) 은 그의 전체 세로 방향 연장부에 걸쳐 제 2 시트-실링 (29) 에 내리눌려져 있다.
도 11 에는 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립 (38) 을 가진 진공밸브의 폐쇄된 상태가 도 6 과 유사한 도면으로 도시되어 있다. 스트립 (38) 은 폐쇄 방향 (8) 에 대해 직각으로 있는 평면에 놓여 있다. 제 1 실링 (10) 및 제 2 실링 (11) 과 제 1 시트-실링 (28) 및 제 2 시트-실링 (29) 은 스트립 (38) 의 두 측면 (39, 40) 에 마주하고 눌려져 있으며, 즉 밸브 개구부 (2) 의 폭 연장부의 영역에 걸쳐 눌려져 있고, 상기 영역에 걸쳐 스트립 (38) 이 연장된다. 스트립 (38) 옆의 영역들에서, 제 1 실링 (10) 과 제 1 시트-실링 (28) 및 제 2 실링 (11) 과 제 2 시트-실링 (29) 은 또다시 서로에 대해 내리눌려져 있다.
스트립 (38) 의 두께는 바람직하게는 1 mm 보다 작다. 스트립 (38) 은 스트립 형태의 필름 (film) 이라고 불리울 수도 있다.
도 10 의 단면에서는 밸브 하우징을 통해 뻗어 있는 석션 채널 (suction channel, 41) 을 알아볼 수 있으며, 상기 석션 채널을 통해, - 진공밸브가 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립 (38) 없이 폐쇄되면 - 제 1 실링 (10) 과 제 1 시트-실링 (28) 사이의 상호간의 밀착 영역과 제 2 실링 (11) 과 제 2 시트-실링 (29) 사이의 상호간의 밀착 영역 사이에 놓여 있는 중간 공간은 진공화될 수 있다. 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립 (38) 에 대한 진공밸브의 폐쇄가 수행되면, 석션 채널 (41) 을 통해, 각각 스트립 (38) 의 측면 (40) 에 밀착한 제 1 시트-실링 (28) 과 제 2 시트-실링 (29) 사이에 놓여 있는 중간 공간은 석션된다. 각각 스트립 (38) 의 다른 측면 (39) 에 밀착하는 제 1 실링 (10) 과 제 2 실링 (11) 사이에 놓여 있는 중간 공간을 석션하기 위해, 폐쇄 부재 (9) 를 통해 이 중간 공간 안으로 통하는 적어도 하나의 석션 채널이 제공되어 있을 수 있다. 제 1 시트-실링 (28) 과 제 2 시트-실링 (29) 사이의 또는 제 1 실링 (10) 과 제 2 실링 (11) 사이의 중간 석션을 통해, 진공밸브의 폐쇄된 상태에서의 밸브 개구부 (2) 를 통한 잔여 흐름이 감소될 수 있다.
도 12 에는, 진공 조건하에서 스트립 (38) 을 가공하기 위해 사용되는, 예컨대 코팅을 실행하기 위한 진공 시설이 개략적으로 도시되어 있다. 이러한 진공 시설은 예컨대 코팅을 통해 형성된 태양전지, LED 또는 OLED 의 제조시 이용된다. 스트립 (18) 은 제 1 롤 (39) 에 의해 굴러가며, 가공 후 제 2 롤 (40) 상으로 굴러간다. 상기 스트립은 특히 스트립 형태의 필름이다. 스트립 (38) 은 제 1 롤 (39) 과 제 2 롤 (43) 사이에서 적어도 하나의 진공챔버 (44, 45, 46) 를 통해 안내되며, 상기 진공챔버 안에서 가공 단계가 실행된다. 롤 (39, 43) 들은 별도의 진공챔버 (44, 45, 46, 45) 들 안에 배치되어 있으며, 상기 진공챔버들은 각각 본 발명에 따른 진공밸브 (46) 를 통해 다른 진공챔버 (41-43) 들과 연결되어 있다.
롤 (39) 안의 스트립 (38) 의 저장품을 다 써 버리면, 진공밸브 (46) 는 관통되어 안내된 스트립 (38) 에 대해 닫히고, 새로운 롤 (42) 이 삽입되며, 이때 이 롤의 스트립의 시작부는 이전 롤의 스트립의 마지막부와 연결된다. 진공챔버 (44, 45, 46) 는 펌프로 퍼내지고, 진공밸브 (49) 는 열린다. 유사한 방식으로, 굴러가진 가공된 스트립을 가진 롤 (43) 이 비어 있는 롤로 교체되어야 하면 수행된다. 그러므로, 롤 (42, 43) 들의 교체시 진공챔버 (44-46) 들의 플러딩 (flooding) 이 저지될 수 있다.
그 안에서 가공 단계들이 실시되는 진공챔버 (43-46) 들 사이에, 연결피스 (connecting piece, 50) 들만 배치되어 있을 수 있으며, 또는 마찬가지로 적어도 부분적으로, 본 발명에 따른 진공밸브 (49) 들이 배치되어 있을 수 있고, 따라서 전체 시스템을 플러딩 (flooding) 하지 않고 이 챔버 (44-46) 들 중 하나에서의 정비가 가능해진다.
실링 (10, 11) 들과 시트-실링 (28, 29) 들은 예컨대 바이톤 (viton) (FKM) 또는 다른 적합한 탄성 재료, 예컨대 FFKM 으로 구성될 수 있다.
본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서, 도시되어 있는 실시예의 여러 가지 수정 (modifications) 도 가능하다. 즉, 예컨대 폐쇄 부재 (9) 에 배치된 실링과 밸브시트에 배치된 시트-실링만 제공될 수 있고, 상기 실링들은 진공밸브의 폐쇄된 상태에서 서로 또는 부분적으로 서로, 그리고 마주하고 있는 쪽들로부터, 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립 (38) 에 내리눌려져 있다.
적어도 하나의 시트-실링 (28, 29) 이 생략될 수도 있으며, 이때 밸브시트에는 실링면 (sealing surface) 이 배치되어 있을 수 있고, 상기 실링면에는, 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립 (38) 없이 진공밸브가 닫히면, 폐쇄 부재에 배치된 적어도 하나의 실링 (10, 11) 이 진공밸브의 폐쇄된 상태에서 그의 전체 세로 방향 연장부에 걸쳐 내리눌려져 있다. 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립 (38) 을 갖고 진공밸브가 닫히면, 스트립 (38) 은 이 경우 한 측면 (39) 과 함께 적어도 하나의 실링 (10, 11) 의 중앙부 (19) 에 밀착하며, 다른 측면 (40) 과 함께 제 1 시트-메인 섹션 (4) 의 중앙부에 밀착한다.
실링 (10, 11) 들 또는 시트-실링 (28, 29) 들은 O 링과는 다른 횡단면 형태를 가질 수도 있다. 그루브 (12, 13) 들 또는 시트-실링-그루브 (30, 31) 들의 형태는 상응하여 맞춰질 수 있으며, 실링 (10, 11) 들과 시트-실링 (28, 29) 들은 그루브 (12, 13) 들 또는 시트-실링-그루브 (30, 31) 들 안에 형상 끼워맞춤으로 수용되어 있고, 그리고 이 경우 적어도 제 1 부분영역에서 클램핑 스트립 (23) 또는 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 에 의해 클램핑되어 있다.
1 : 밸브 하우징 2 : 밸브 개구부
3 : 축 4 : 제 1 시트-메인 섹션
5 : 제 2 시트-메인 섹션 6 : 제 1 시트-연결 섹션
7 : 제 2 시트-연결 섹션 8 : 폐쇄 방향
9 : 폐쇄 부재 10 : 제 1 실링
11 : 제 2 실링 12 : 제 1 그루브
13 : 제 2 그루브 14 : 제 1 실링-메인 섹션
15 : 제 2 실링-메인 섹션 16 : 제 1 실링-연결 섹션
17 : 제 2 실링-연결 섹션 18 : 전방 전면
19 : 중앙부 20 : 측면부
21 : 측면부 22 : 제 1 부분영역
23 : 클램핑 스트립 24, 24' : 측벽
25 : 측벽 26 : 바닥벽
27 : 나사 28 : 제 1 시트-실링
29 : 제 2 시트-실링 30 : 제 1 시트-실링-그루브
31 : 제 2 시트-실링-그루브 32, 32' : 측벽
33 : 측벽 34 : 바닥벽
35 : 제 1 부분영역 36 : 시트-실링-클램핑 스트립
37 : 자유 공간 38 : 스트립
39 : 측면 40 : 측면
41 : 석션 채널 42 : 롤
43 : 롤 44 : 진공챔버
45 : 진공챔버 46 : 진공챔버
47 : 진공챔버 48 : 진공챔버
49 : 진공밸브 50 : 연결피스
51 : 나사 52 : 벽부
53 : 벽부 54 : 시트부
55 : 로드 56 : 연결 볼트
57 : 드라이브
3 : 축 4 : 제 1 시트-메인 섹션
5 : 제 2 시트-메인 섹션 6 : 제 1 시트-연결 섹션
7 : 제 2 시트-연결 섹션 8 : 폐쇄 방향
9 : 폐쇄 부재 10 : 제 1 실링
11 : 제 2 실링 12 : 제 1 그루브
13 : 제 2 그루브 14 : 제 1 실링-메인 섹션
15 : 제 2 실링-메인 섹션 16 : 제 1 실링-연결 섹션
17 : 제 2 실링-연결 섹션 18 : 전방 전면
19 : 중앙부 20 : 측면부
21 : 측면부 22 : 제 1 부분영역
23 : 클램핑 스트립 24, 24' : 측벽
25 : 측벽 26 : 바닥벽
27 : 나사 28 : 제 1 시트-실링
29 : 제 2 시트-실링 30 : 제 1 시트-실링-그루브
31 : 제 2 시트-실링-그루브 32, 32' : 측벽
33 : 측벽 34 : 바닥벽
35 : 제 1 부분영역 36 : 시트-실링-클램핑 스트립
37 : 자유 공간 38 : 스트립
39 : 측면 40 : 측면
41 : 석션 채널 42 : 롤
43 : 롤 44 : 진공챔버
45 : 진공챔버 46 : 진공챔버
47 : 진공챔버 48 : 진공챔버
49 : 진공밸브 50 : 연결피스
51 : 나사 52 : 벽부
53 : 벽부 54 : 시트부
55 : 로드 56 : 연결 볼트
57 : 드라이브
Claims (12)
- 진공밸브로서, 상기 진공밸브는
축 (3) 을 구비한 밸브 개구부 (2) 를 가진 밸브 하우징 (1), 상기 밸브 개구부 (2) 를 둘러싸는 밸브시트, 폐쇄 부재 (9), 및 상기 폐쇄 부재 (9) 에 배치된, 둘레가 폐쇄된 적어도 하나의 실링 (10, 11) 을 포함하며,
상기 밸브시트는 제 1 시트-메인 섹션 (4) 및 제 2 시트-메인 섹션 (5) 을 구비하고, 상기 시트-메인 섹션들은 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 의 방향으로 서로 엇갈려 배치되어 있으며, 그리고 상기 시트-메인 섹션들은 제 1 시트-연결 섹션 (6) 및 제 2 시트-연결 섹션 (7) 을 통해 서로 연결되어 있고,
상기 폐쇄 부재는 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 에 대해 비스듬히 있는 폐쇄 방향 (8) 으로, 밸브 개구부 (2) 가 개방되어 있는 개방 위치로부터 밸브 개구부가 밀봉되어 있는 폐쇄 위치로 이동될 수 있으며, 그리고 폐쇄 방향 (8) 의 반대 방향으로 상기 폐쇄 위치로부터 상기 개방 위치로 직선으로 이동될 수 있고,
상기 실링은 제 1 시트-메인 섹션 (4) 및 제 2 시트-메인 섹션 (5) 과 제 1 시트-연결 섹션 (6) 및 제 2 시트-연결 섹션 (7) 에 할당된 제 1 실링-메인 섹션 (14) 및 제 2 실링-메인 섹션 (15) 과 제 1 실링-연결 섹션 (16) 및 제 2 실링-연결 섹션 (17) 을 구비하며, 상기 실링은 그루브 (12, 13) 안에서 뻗어 있고, 상기 그루브는 횡단면에서 볼 때 2 개의 측벽 (24, 24'; 25) 및 바닥벽 (26) 에 의해 한정되어 있으며, 이때 제 1 실링-메인 섹션 (14) 은 폐쇄 방향 (8) 과 관련된 폐쇄 부재 (9) 의 전방 전면 (18) 에 배치되어 있고, 중앙부 (19) 를 구비하며, 상기 중앙부 안에서 실링 (10, 11) 이 직선으로 뻗어 있는 진공밸브에 있어서, 실링 (10, 11) 은 상기 제 1 실링-메인 섹션의 중앙부 (19) 안에 놓여 있는 그의 세로 방향 연장부 (longitudinal extension) 의 적어도 제 1 부분영역 (22) 에 걸쳐 클램핑 스트립 (23) 에 의해 클램핑되어 있고, 상기 클램핑 스트립은 폐쇄 부재 (9) 에 고정되어 있으며, 그루브 (12, 13) 의 두 측벽 (24') 중 하나를 형성하고, 그리고 실링 (10, 11) 의 세로 방향 연장부의 적어도 제 2 부분영역에 걸쳐, 그루브 (12, 13) 를 한정하는 두 측벽 (24, 25) 과 바닥벽 (26) 은 폐쇄 부재 (9) 에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브. - 제 1 항에 있어서, 제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 는 밸브 개구부 (2) 의 폭 연장부의 방향으로 뻗어 있으며, 상기 폭 연장부는 이에 대해 직각으로 있는 밸브 개구부 (2) 의 높이 연장부보다 3 배 이상 큰 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 1 항에 있어서, 그 안에 실링 (10, 11) 이 클램핑 스트립 (23) 에 의해 클램핑되어 있는, 실링 (10, 11) 의 세로 방향 연장부의 제 1 부분영역 (22) 은 제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 의 세로 방향 연장부의 3분의 2 이상에 걸쳐 연장되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 1 항에 있어서, 실링 (10, 11) 은 제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 안에 놓여 있는 그의 세로 방향 연장부의 제 1 부분영역 (22) 에서만 클램핑 스트립 (23) 에 의해 클램핑되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 1 항에 있어서, 제 1 부분영역 (22) 에서의 그루브 (12, 13) 의 횡단면 표면은 상기 제 2 부분영역에서보다 큰 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 1 항에 있어서, 둘레가 폐쇄된 제 1 실링 (10) 과 둘레가 폐쇄된 제 2 실링 (11) 은 폐쇄 부재 (9) 에 배치되어 있으며, 상기 실링들은 각각 제 1 시트-메인 섹션 (4) 및 제 2 시트-메인 섹션 (5) 과 시트-연결 섹션 (6, 7) 들에 할당된 제 1 실링-메인 섹션 (14) 및 제 2 실링-메인 섹션 (15) 과 제 1 실링-연결 섹션 (16) 및 제 2 실링-연결 섹션 (17) 을 구비하고, 그리고 상기 실링들은 각각 그루브 (12, 13) 안에서 뻗어 있으며, 상기 그루브는 횡단면에서 볼 때 2 개의 측벽 (24, 24'; 25) 및 바닥벽 (26) 에 의해 한정되어 있고, 이때 제 1 실링-메인 섹션 (14) 들은 폐쇄 방향 (8) 과 관련된 폐쇄 부재 (9) 의 전방 전면에 배치되어 있으며, 각각 중앙부 (19) 를 구비하고, 상기 중앙부 안에는 각각의 실링 (10, 11) 이 직선으로 뻗어 있으며, 그리고 제 1 실링 (10) 과 제 2 실링 (11) 은 각각, 제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 중앙부 (19) 안에 놓여 있는 그의 세로 방향 연장부의 적어도 제 1 부분영역 (22) 에 걸쳐 클램핑 스트립 (23) 에 의해 클램핑되어 있고, 상기 클램핑 스트립은 폐쇄 부재 (9) 에 고정되어 있으며, 각각의 그루브 (12, 13) 의 두 측벽 (24') 중 하나를 형성하고, 그리고 각각의 실링 (10, 11) 의 세로 방향 연장부의 제 2 영역에 걸쳐, 각각의 그루브 (12, 13) 를 한정하는 두 측벽 (24, 25) 과 바닥벽 (26) 은 폐쇄 부재 (9) 에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 6 항에 있어서, 제 1 실링 (10) 과 제 2 실링 (11) 은 각각, 제 1 실링-메인 섹션 (14) 의 각각의 중앙부 (19) 안에 놓여 있는 그의 세로 방향 연장부 (22) 의 제 1 부분영역 (22) 에서, 두 실링 (10, 11) 사이에 배치된 하나의 공통의 클램핑 스트립 (23) 에 의해 클램핑되어 있으며, 상기 클램핑 스트립은 제 1 실링 (10) 과 제 2 실링 (11) 의 세로 방향 연장부들의 제 1 부분영역 (22) 들 안의 두 그루브 (12, 13) 의 이웃한 측벽 (24') 들을 형성하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 실링 (10, 11) 을 클램핑하는 클램핑 스트립 (23) 은 폐쇄 부재 (9) 와 함께 나사결합되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 폐쇄 부재 (9) 에 배치된, 둘레가 폐쇄된 각각의 실링 (10, 11) 을 위해 밸브시트에는 둘레가 폐쇄된 시트-실링 (28, 29) 이 배치되어 있으며, 상기 시트-실링은 폐쇄 부재 (9) 의 폐쇄 위치에서 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립 (38) 없이, 그의 전체 세로 방향 연장부에 걸쳐 폐쇄 부재 (9) 에서의 관련 실링 (10, 11) 에 눌려져 있고, 그리고 상기 시트-실링은 시트-실링-그루브 (30, 31) 안에서 뻗어 있으며, 상기 시트-실링-그루브는 2 개의 측벽 (32, 32'; 33) 및 바닥벽 (34) 을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 9 항에 있어서, 각각의 시트-실링 (28, 29) 은 그의 세로 방향 연장부의 제 1 부분영역 (35) 의 적어도 일부에 걸쳐 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 에 의해 클램핑되어 있으며, 상기 제 1 부분영역에서 상기 시트-실링은 폐쇄 부재 (9) 의 폐쇄 위치에서 밸브 개구부 (2) 를 통해 안내된 스트립 (38) 없이 폐쇄 부재 (9) 에서의 관련 실링 (10, 11) 의 제 1 부분영역 (22) 에 내리눌려져 있고, 상기 시트-실링-클램핑 스트립은 밸브 하우징 (1) 에 고정되어 있으며, 시트-실링-그루브 (30, 31) 의 두 측벽 (32') 중 하나를 형성하고, 그리고 각각의 시트-실링 (28, 29) 의 세로 방향 연장부의 제 2 부분영역에 걸쳐, 시트-실링-그루브 (30, 31) 를 한정하는 두 측벽 (32, 33) 과 바닥벽 (34) 은 밸브 하우징 (1) 에 의해 형성되고, 또는 이것과 단단히 연결된 시트부 (54) 에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 10 항에 있어서, 제 1 시트-실링 (28) 과 제 2 시트-실링 (29) 이 존재하며, 상기 시트-실링들은 각각 그들의 세로 방향 연장부의 제 1 부분영역 (35) 에서, 두 시트-실링 (28, 29) 사이에 배치된 하나의 공통의 시트-실링-클램핑 스트립 (36) 에 의해 클램핑되어 있고, 상기 시트-실링-클램핑 스트립은 제 1 시트-실링 (28) 과 제 2 시트-실링 (29) 의 세로 방향 연장부들의 제 1 부분영역 (35) 들 안의 두 시트-실링-그루브 (30, 31) 의 이웃한 측벽 (32') 들을 형성하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 제 6 항에 있어서, 적어도 하나의 석션 채널 (41) 이 제공되어 있으며, 상기 석션 채널을 통해, 두 실링 (10, 11) 사이에 놓여 있는 중간 공간은 진공화될 수 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
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