KR101695423B1 - 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 목적은 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하는 장치 및 방법을 제공하는 데 있다. 적어도 하나의 슬라이드가 슬라이드 액튜에이터에 연결된다. 캡은 지지체, 적어도 하나의 슬라이드를 위한 슬라이드 채널, 제1 캐리어를 위한 파지 장치를 구비한다. 제1 수용부는 지지체 상의 제1 캐리어에 위치시키도록 구성되고, 전자 부품은 제1 캐리어의 측면에 구비되고, 지지체로부터 멀리 대향된다. 제2 수용부는 제2 캐리어에 위치되도록 구성된다. 제1 수용부와 제2 수용부는 서로에 대하여 제1 캐리어로부터 제2 캐리어가 분리되도록 배열된다. 더욱이, 캡 및/또는 제2 수용부는 제1 위치로부터 제2 위치로 이동가능하도록 구성되고, 이 때문에 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 캡이 좁아진다. 적어도 하나의 슬라이드는 지지체로부터 멀리 지지체에 대하여 적용되는 제1 캐리어를 들어올리고 제2 캐리어 방향으로 제1 캐리어 상에 구비된 전자 부품을 이동시키도록 지지체에 대하여 적어도 하나의 슬라이드 액튜에이터에 의해 이동될 수 있도록 구성된다. 더욱이, 파지 장치는 전자 부품을 제1 캐리어로부터 분리하기 위하여 제1 캐리어를 지지체로 이송하도록 구성된다.

Description

전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR TRANSFERRING ELECTRONIC COMPONENTS FROM A FIRST CARRIER TO A SECOND CARRIER}
본 발명은 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 제1 캐리어로부터 전자 부품을 배출 유닛에 의해 분리하여 제2 캐리어로 직접 이송하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
전자 부품을 이송할 때, 특히 다이를 이송할 때와, 격리된 전자 부품을 이송하는 경우에, 이들이 쉽게 손상될 수 있어서 매우 주위를 기울이지 않으면 안되는 문제점이 있다. 더욱이, 전자 부품은 계속하여 소형화되고 있기 때문에 전자 부품의 이송이 증가하게 되면 더욱 정밀하게 만들어야할 필요가 있다.
DE 103 49 847 B3는 전자 부품을 이송하기 위한 위치 결정 장치 및 방법을 개시하고 있다. 캐리어막 상에 배열된 반도체 웨이퍼는 스트립형 기판 위 및 평행하게 배열되어 있다. 웨이퍼는 웨이퍼 홀더에 의해 웨이퍼 평면 내로 변위될 수 있고 웨이퍼 평면에 수직으로 축에 대하여 회전될 수 있다. 배출 장치는 배출 니들을 구비하고 있고 그의 하방 이동에 의해 다이의 후방측에 작용하여 분리되게 하여 캐리어막으로부터 분리된다. 캐리어막으로부터 분리된 다이는 스트립형 기판 상의 본딩 위치에 도포된다.
다이가 배출된 후, 배출 니들에 의해서만 안내되기 때문에, 다이가 캐리어막으로부터 분리되어 회전될 위험성이 있다. 이러한 경우에, 다이는 본딩 위치에 부정확하게 위치될수 밖에 없다. 특히, 다이의 회전은 배출 니들이 다이의 중심에 다이가 접촉하지 않을 때 또는 다이와 캐리어막 사이에 불균일한 접착이 일어나지 않을 때, 발생할 수 있다.
부정확한 전자 부품의 재치는 일반적으로 불량으로 간주되어 그 부품을 버려야 하며 가능한 한 정밀하게 전자 부품을 재치하는 것이 요구된다.
DE 198 40 226 A1은 보조 기판을 스트립형 캐리어 장치로 전자 부품을 이송하는 방법을 개시한다. 더욱이, 본원에 개시된 장치의 배경 기술을 형성하는 전자 부품 이송 장치 및 방법이 JP 5267451 A, EP 0 565 781 B1, DE 198 22 512 A1에 개시되어 있다.
[문제점]
따라서, 문제점은 제2 스트립형 캐리어 상에 전자 부품을 고정밀도로 위치 및 반복 가능하게 위치시는 것이다. 또한, 높은 처리율이 달성되고 전자 부품의 처리가 부드럽게 처리되는 것이다.
본 발명의 목적은 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하는 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.
[해결 제안책]
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하는 장치가 제안되어 있다. 적어도 하나의 슬라이드가 적어도 하나의 슬라이드 액튜에이터에 연결되어 있다. 캡(cap)은 지지체, 적어도 하나의 슬라이드를 수용하기 위한 슬라이드 채널과, 제1 캐리어용 파지 장치를 포함한다. 제1 수용기는 지지체 상의 제1 캐리어를 위치시키도록 구성되고, 전자 부품은 지지체로부터 원격에 있는 제1 캐리어의 측면 상에 구비된다. 제2 수용기는 제2 캐리어를 위치시키도록 구성되어 있다. 제1 수용기 및 제2 수용기는 서로에 대하여 배열되어 있어 있어 갭(gap)이 제2 캐리어로부터 제1 캐리어를 분리하도록 배열되어 있다.
또한, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 갭이 작아지도록 갭 및/또는 제2 수용기는 제1 위치로부터 제2 위치로 이동하도록 구성되어 있다. 적어도 하나의 슬라이드는, 적어도 하나의 슬라이드 액튜에이터에 의해, 지지체로부터 떨어져 있고 지지체에 대하여 놓여 있는 제1 캐리어를 들어올리고 제2 캐리어를 향하는 방향으로 제1 캐리어 상에 놓여 있는 전자 부품을 이동시키기 위하여 지지체에 대하여 연장되도록 구성되어 있다.
더욱이, 파지 장치는 전자 부품을 제2 캐리어로부터 분리하기 위하여 지지체에 대하여 제1 캐리어를 이송하도록 구성되어 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위하여, 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법은 스트립형 캐리어가 더 제안되어 있다. 이러한 방법은 : 적어도 하나의 슬라이드가 캡의 슬라이드 채널 내에 구비되고, 제1 캐리어 상에 구비된 전자 부품과 제2 캐리어 상에 구비된 접촉면이 공통축을 따라 배열되도록 서로에 대하여 캡, 제1 캐리어와 제2 캐리어를 위치시키는 단계와; 제1 캐리어와 제1 캐리어 사이의 갭을 작게 하기 위하여 제1 위치로부터 제2 위치로 캡 및/또는 제2 캐리어를 이동시키는 단계와; 제1 캐리어가 캡의 지지체에 대하여 놓여 있고 지지체를 들어 올리도록 제2 캐리어 방향으로 지지체에 대하여 적어도 하나의 슬라이드를 연장시키는 단계와; 지지체에 제1 캐리어를 이송할 수 있도록 구비된 파지 장치에 의해 제1 캐리어로부터 전자 부품을 분리하는 단계를 구비한다.
캡, 슬라이드 및 제1 캐리어가 결합된 결과로서, 전자 부품은 긴 거리에 걸쳐 견고하게 안내될 수 있다. 제1 캐리어의 지지력에 의해 전자 부품이 회전되는 것이 방지된다. 파지 장치와 슬라이드가 결합되는 결과로서, 이송될 전자 부품은 제1 캐리어로부터 신뢰가능하게 분리될 수 있다. 따라서, 전자 부품은 매우 큰 정밀도로 제2 캐리어에 위치될 수 있다.
전자 부품이 제1 캐리어로부터 슬라이드의 이동에 의한 것뿐만 아니라 파지 장치의 이송 운동에 의해 분리되기 때문에 전자 부품에 작용하는 기계적인 응력이 또한 감소된다.
본 장치에 있어서, 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 갭은 전자 부품이 이송되기 전에 작게 될 수 있다. 그 결로서, 적어도 하나의 슬라이드의 이동과 제1 캐리어의 스트레칭이 최소로 감소된다. 이에 따라, 제1 캐리어가 지지체를 들어올릴 때 손상되는 위험성도 감소될 수 있다.
[장치 및 방법의 형태 및 특성]
적어도 하나의 슬라이드와 캡은 캡의 위치 결정을 위해 제공된 위치 결정 장치에 차례로 독립적으로 연결될 수 있다. 따라서, 적어도 하나의 슬라이드는 적어도 제2 캐리어를 향한 방향으로 캡과 독립적으로 이동될 수 있다. 다른 방법으로는, 적어도 하나의 슬라이드와 적어도 하나의 슬라이드 액튜에이터는 캡에 직접적으로 고정할 수 있다.
제어 유닛은 장치를 제어하기 위하여 제공될 수 있다. 제어 유닛은 제2 캐리어에 적용된 접착제 또는 제2 캐리어와 제어 유닛이 전자 부품과 접촉됨을 검출하자마자 슬라이드의 연장 운동을 종료할 수 있다. 제어 유닛은 또한 제2 캐리어와 접촉하고 있는지 또는 전자 부품이 접착제를 부분적으로 또는 완전히 변위시키는 지를 검출할 수 있다. 제2 캐리어는 직접적으로 접촉될 수 있는 접촉면을 가질 수 있다. 파지 장치가 제1 캐리어를 지지체에 이송하기 전에 전자 부품이 제2 캐리어 상에 놓일 때, 전자 부품은 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 전체가 이동하는 동안에 제1 캐리어를 지지하는 힘에 의해 안내된다. 전자 부품의 회전(비틈림)은 이러한 방법으로 효과적으로 방지할 수 있다.
적어도 하나의 센서 요소는 제어 유닛에 연결될 수 있다. 적어도 하나의 센서 요소는 제어 유닛이 적용된 접착제 또는 제2 캐리어와 전자 부품이 접촉되는 것을 검출한 것에 기초하여 센서 데이터를 제어 장치에 전송할 수 있다. 적어도 하나의 센서 요소는 적어도 하나의 슬라이드-액튜에이터에 의해 소비되는 전력을 검출하는 측정 요소의 형태일 수 있다. 적어도 하나의 슬라이드에 의해 커버되는 거리를 검출하는 측정 요소를 더 구비할 수 있다. 소비된 전력과 커버되는 거리의 종합 평가에 의해, 제어 시스템은 하나의 변수에 격리된 평가가 있는 경우에 가능한 것보다 큰 신뢰도를 가지는 제2 캐리어 상에 위치하는 전자 부품을 검출할 수 있다.
제1 캐리어는 제1 위치로부터 제2 위치로 캡의 운동에 의해 펼쳐질 수 있다. 마찬가지로, 적어도 하나의 슬라이드의 연장은 제1 캐리어로 펼쳐질 수 있다.
적어도 하나의 슬라이드는 수축된 상태에 있을 때, 캡에 의해 둘러싸일 수 있다. 적어도 하나의 슬라이드의 팁은 실질적으로 지지체의 중심에 배열될 수 있다. 지지체의 중심에 적어도 하나의 슬라이드의 팁을 배열함으로써, 제1 캐리어의 균일한 펼쳐짐이 캡이 제1 위치로부터 제2 위치로 올 때 및/또는 적어도 하나의 슬라이드가 연장될 때, 달성될 수 있다.
파지 장치는 진공 그리퍼일 수 있고 파지 장치는 진공원에 연결되어 있다. 지지체는 부가적으로 오목부들을 가질수 있다. 오목부는, 예를 들면 채널 형상, 요홈 형상, 원추 형상 및/또는 반구형일 수 있다. 오목부는 제1 캐리어와 지지체 사이에 진공이 형성될 수 있도록 제공될 수 있다. 진공은 주변 압력을 지지체에 대하여 제1 캐리어를 가압하도록 할 수 있다. 오목부는 진공 챔버에 연결될 수 있다.
파지 장치는 지지체의 중앙 영역에서의 진공 형성의 발생이 지연되어 형성될 수 있다. 예를 들면, 진공은 지지체의 에지에 배열된 오목부들에서 우선 형성될 수 있다. 이는 이송될 전자 부품이 부품의 에지에서 제1 캐리어로부터 분리되게 할 수 있다.
예를 들면, 진공 챔버는 지지체의 중앙 영역 내에서 진공이 형성되는 것을 지연하게 할 수 있는 형상을 가질 수 있다. 다른 방법으로는, 지지체의 중앙 영역에서 진공의 형성을 지연시키는 슬라이드 채널을 통하여 배출되는 누설 공기를 제공할 수 있다.
조명 장치와 카메라 장치가 더 구비될 수 있다. 이들은 캡의 하우징에 고정될 수 있거나 제1 및 제2 수용기에 대하여 캡의 위치를 결정하기 위해 제공된 위치 결정 장치에 고정될 수 있다. 카메라 장치는 이미지 데이터를 획득하고 이는 제어 유닛에 의해 보정값으로 변환될 수 있다. 보정값은 캡 및/또는 제1 수용기를 위치 결정하는데 사용될 수 있다.
가열 요소가 지지체의 중앙 영역에 구비될 수 있다. 가열 요소는 광전도관일수 있고 이를 통하여 레이저 방사 또는 하나 이상의 적외선 발광 다이오드가 제1 캐리어로 안내된다. 레이저 방사 또는 적외선 방사는 제1 캐리어를 가열할 수 있고 이에 의해 제1 캐리어와 전자 부품 사이의 지지력을 감소시키게 된다. 마찬가지로, 가열 요소는 캡으로부터 이격된 거리에 구비되어 있고 열 에너지를 비접촉 방식, 예를 들면 적외선 방사에 의해 제1 캐리어에 전송할 수 있다. 다른 방법으로는, 전기 가열 요소는 캡이나 지지체 근처에 제공될 수 있다. 예를 들면, 가열 요소는 위치 결정 장치에 부착될 수 있다.
슬라이드 액튜에이터는, 예를 들면 피에조 액튜에이터일 수 있다.
캡은 캡 액튜에이터에 의해 제1 위치로부터 제2 위치로 이동하게 할 수 있다. 캡 액튜에이터는, 예를 들면 피에조 액튜에이터일 수 있다.
캡 위치 결정 액튜에이터는 제1 지지체와 제2 지지체에 대하여 캡을 위치 결정하도록 구비될 수 있다. 캡 위치 결정 액튜에이터는 캡의 수직 및/또는 수평 위치 결정을 위하여 제공될 수 있다. 캡 위치 결정 액튜에이터는 캡을 위한 위치 결정 장치에 구비될 수 있다. 캡 위치 결정 액튜에이터는, 예를 들면 피에조 액튜에이터일 수 있다. 캡 변위 액튜에이터는 부가적으로 구비될 수도 있다. 캡 변위 액튜에이터는 캡의 위치 결정을 하는 위치 결정 장치상에 구비될 수 있다.
제1 수용기 및/또는 제2 수용기는 위치 결정 액튜에이터를 가질 수 있다. 수용기 위치 결정 액튜에이터에 의해, 제1 수용기 및 제2 수용기는 캡 및/또는 다른 수용기에 대하여 위치될 수 있다. 수용기 위치 결정 액튜에이터는 제1 및/또는 제2 수용기의 수직 및 수평 위치 결정을 위하여 제공될 수 있다. 수용기 위치 결정 액튜에이터는 수직축에 대하여 제1 수용기를 회전하기 위하여 구비될 수 있다. 수용기 위치 결정 액튜에이터는 피에조 액튜에이터일 수 있다. 제1 및/또는 제2 수용기는 변위 액튜에이터를 더 구비할 수 있다.
두 개 이상의 슬라이드가 구비되는 경우, 캡은 모든 슬라이드의 가상의 중심 종축에 대하여 이송될 전자 부품에 대하여 위치될 수 있고, 이송될 전자 부품과 접촉면은 공통축을 따라 배열된다.
제1 캐리어는 제1 캐리어에 대하여 캡의 위치 결정을 하는 동안 또는 캡에 대하여 제1 캐리어의 위치 결정을 하는 동안에 지지체에 대하여 이미 놓여진다. 제1 캐리어는 적어도 제1 캐리어에 대하여 캡의 위치 결정을 한 후 또는 캡에 대하여 제1 캐리어의 위치 결정을 한 후에 지지체에 대하여 놓여진다.
제1 캐리어와 제2 캐리어의 캡의 위치 결정을 하는 동안에 카메라 장치는 이미지 데이터를 획득하고 이들을 제어 유닛에 전송한다. 제어 유닛은 이미지 데이터를 보정값으로 변환한다. 제1 캐리어 또는 제2 캐리어의 캡의 수평 및/또는 수직 위치는 보정값에 기초하여 보정될 수 있다. 보정은 캡이 제1 위치 및/또는 제1 캐리어가 지지체에 대하여 놓여있을 때 일어난다.
더욱이, 거리 측정 요소는 캡의 수직 위치 결정을 위하여 구비되고 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어의 위치 결정을 위하여 구비될 수 있다. 거리 측정 요소는 캡, 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어의 위치 데이터를 제어 유닛에 송신할 수 있고 데이터는 보정값으로 변환할 수 있다.
적어도 하나의 슬라이드는 지지체에 대하여 제2 캐리어를 향한 방향으로 연장될 수 있다. 연장 운동은 이송될 전자 부품이 제2 캐리어와 접촉됨을 제어 유닛이 검출하자마자 제어 유닛에 의해 종료된다. 접착제가 제2 캐리어 상에 구비된다면, 제어 시스템은 전자 부품이 접착제와 접촉 및/또는 접착제가 변위되는 것을 부가적으로 검출한다. 따라서, 이송될 전자 부품은 제1 캐리어로부터 제2 캐리어까지 전체 이동을 통하여 이송될 전자 부품과 제1 캐리어 사이에서의 지지력에 의해 안내될 수 있다. 더욱이, 전자 부품은 제2 캐리어 또는 거기에 구비된 접착제에 규정된 방법으로 가압될 수 있다. 접착제의 일부는 전자 부품에 의해 변위될 수 있다. 이에 의해 이송될 전자 부품과 제2 캐리어 사이에서의 신뢰할만한 접속이 얻어진다. 제2 캐리어 상에 구비된 접착제는 제2 캐리어의 접착면에 접착제의 방울 형태로 제공될 수 있다.
전자 부품이 제1 캐리어로부터 분리된 후, 캡은 제2 위치로부터 제1 위치로 이동될 수 있다. 캡이 제2 위치로부터 제1 위치로 이동하는 동안에 적어도 하나의 슬라이드는 제2 캐리어 상에 놓여 있는 부품과 계속 접촉할 수 있다. 예를 들면, 적어도 하나의 슬라이드가 연장된 채로 남아 있는다. 전자 부품이 제1 캐리어와 제2 캐리어 사이의 갭이 넓게 유지되어 있는 동안에 제2 캐리어를 계속하여 가압할 수 있고, 이는 제1 캐리어가 이송된 전자 부품으로부터 완전히 분리된다.
제1 위치로 되돌아 가는 캡의 이동이 제2 캐리어로 이송될 전자 부품과 제1 캐리어 상의 전자 부품의 충돌을 방지되게 할 수 있다. 특히, 전자 부품 서로 간의 충돌은 다른 전자 부품이 이송되기 전에 제공되는 연속적인 위치 결정이 배제된다.제2 캐리어 상에 구비된 접착제와 제1 캐리어 상에 구비된 전자 부품의 접촉이 마찬가지로 배제된다.
캡이 제1 위치로부터 제2 위치로 이동하는 동안에, 파지 장치는 지지체에 대한 지지에 대하여 이미 놓여있는 제1 캐리어를 계속하여 이송할 수 있다. 예를 들면, 제1 캐리어와 지지체 사이에 생성된 진공은 캡이 제1 위치에 도달할 때까지 유지된다.
적어도 하나의 슬라이드는 캡이 일단 제 1위치에 도달하면 수축될 수 있다. 시차는 캡이 이동하기 시작하는 때와 적어도 하나의 슬라이드가 수축 운동을 개시할 때 사이에 제공될 수 있다.
적어도 하나의 슬라이드의 변위 거리는 +/-8mm이하이다. 예를 들면, 적어도 하나의 슬라이드의 변위거리는 +/-4mm이하이다. 캡의 제1 위치와 제2 위치 사이의 거리는 적어도 하나의 슬라이드의 변위 거리의 대략 절반이다. 적어도 하나의 슬라이드는 연속적으로 연장되거나 두 단계로 연장될 수 있다.
파지 장치는 진공에 의해 제1 캐리어를 지지체로 운송할 수 있다. 파지 장치는 지지체의 외측 에지에서 퇴각할 수 있다. 제1 캐리어는 이송될 전자 부품의 에지에서 우선 분리될 수 있다.
적어도 하나의 슬라이드의 이동을 제어하기 위하여, 슬라이드 액튜에이터에 의해 소비되는 전력을 검출할 수 있다. 적어도 하나의 슬라이드의 이동은 제어 유닛이 소모되는 전력 및/또는 임계치를 초과하여 커버되는 거리를 검출하자마자 종료할 수 있다. 제어 유닛은 적어도 하나의 슬라이드의 소모되는 전력 및/또는 임계치를 초과하여 커버되는 거리 사이의 비를 또한 사용할 수 있다.
본원에 기술된 장치와 방법의 다른 목적, 특징, 잇점 및 가능한 용도를 첨부된 도면을 참조하여 예증적인 실시예로부터 명백해 질 것이며, 이는 한정으로서 해석되어서는 안 될 것이다.
도 1은 캡의 예증적인 실시예와 캡의 슬라이드 채널 내에 구비되어 있는 슬라이드를 도시한 도면이다.
도 2는 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 장치의 예증적인 실시예를 도시한 도면이다.
도 3은 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 방법을 도시한 도면이다.
도 4a 내지 도 4f는 예증적인 실시예에 따른 이송 작업을 도시한 도면이다.
도 1은 캡(10)의 예증적인 실시예를 도시한다. 두 개의 슬라이드(12a, 12b)는 캡(10)의 슬라이드 채널(14) 내에 구비된다. 그러나, 더 많거나 더 적은 슬라이드가 또한 구비될 수 있다. 슬라이드(12a, 12b)는 팁을 가지며 대략적으로 바늘 형상을 가진다. 캡(10)은 하우징(16)을 구비하고, 슬라이드 채널(14)은 하우징(16)의 대략 중심에 구비된다. 도 1에 도시된 하우징(16)은 실제적으로 원통 형상이다. 예증적인 실시예에서, 예를 들면 하우징(16)은 원형의 실린더 또는 직육면체 형상을 가질 수 있다. 마찬가지로, 하우징(16)은 테이퍼 형상 또는 불규칙한 형상을 가질 수 있다.
슬라이드(12a, 12b)는 각각 자신의 슬라이드 액튜에이터(18)에 연결되어 있다. 그러나, 두 개의 슬라이드가 공통의 슬라이드 액튜에이터(18)에 연결도 또한 가능하다. 슬라이드 액튜에이터(18)는 특별한 형식의 액튜에이터로 한정되지 않는다. 예를 들면, 피에조 액튜에이터가 사용될 수 있다. 마찬가지로, 예를 들면 전자석, 공압 또는 유압 액튜에이터가 사용될 수 있다.
파지 장치(20)는 캡(10)에 부가적으로 구비된다. 파지 장치(20)는 도 1에 도시된 바와 같이 하우징(16)에 열결 또는 하우징(16)의 통합 부품의 형태일 수 있다. 파지 장치(20)는, 예를 들면 진공 파지 장치, 자석 파지 장치 또는 전자기 파지 장치 형태일 수 있다.
도 1은 진공에 의해 작동되는 파지 장치(20)를 도시한다. 파지 장치(20)는, 예를 들면 진공 펌프인 진공원(도시 안함)에 진공 라인(28)에 의해 연결되어 있다.
도 1에 도시된 예증적인 실시예에 있어서, 지지체(22)가 파지 장치(20)의 하부 단부에 구비되어 있다. 개구가 지지체(22)와 파지 장치(20)의 대략 중앙에서 슬라이드 채널(14)의 연장부로서 구비되고, 개구는 슬라이드(12a, 12b)가 슬라이드 채널(14)을 통하여 연장되어 있다.
파지 장치(20)는 단면이 대략 반원형이며 지지체 내에 배열된 복수의 오목부(24)를 가진다. 오목부(24)는, 예를 들면 채널 형상, 요홈 형상 또는 반구 형상일 수 있다. 또한, 몇몇 오목부는 제1 형상을 가지고 다른 오목부는 다른 제2 형상을 가지는 것이 가능하다. 오목부(24)는 또한 서로 연결되거나 서로 분리될 수 있다. 파지 장치(20)는, 예를 들면 공기 침투성 폼(foam)인 공기 침투성 재료로 형성될 수 있다.
파지 장치(20)의 오목부(24)는 도 1에 점선으로 도시된 분배 라인(30)에 의해 진공 챔버(26)에 연결된다. 진공 챔버(26)는 하우징(16) 내에서 파지 장치(20) 내의 공동의 형태 또는 도 1에 도시된 바와 같이, 파지 장치(20)와 하우징(16)에 의해 형성된 공동의 형태일 수 있다.
본원에 도시된 장치의 실시예에 있어서, 진공 챔버(26)는 원형이며 슬라이드 채널(14)을 부분적으로 또는 완전히 감싸고 있다. 복수의 분리 진공 챔버는 구비된다.
도 1에 도시된 예증적인 실시예에 있어서, 진공 챔버(26)는 지지체(22)의 중심 영역에서 진공이 지연되어 형성되는 형태이다.
도 1에 도시된 진공 챔버(26)는 실제적으로 단면이 삼각형을 가진다. 양으로보아 삼각형의 가장 긴 변은 지지체(22)와 대면하고, 삼각형의 가장 작은 변은 슬라이드 채널(14)과 대면한다. 진공 라인(28)의 연결은 지지체(22)로부터 떨어진 진공 챔버(26)의 에지에 구비된다.
누설 공기가 슬라이드 채널(14)을 거쳐 배출되기 때문에 지지체(22)의 중심 영역 내에서의 압력의 지연 형성이 된다. 따라서, 실제적으로 더 많은 공기가 지지체(22)의 에지보다 지지체(22)의 중심 영역에서 배출되게 된다. 그러므로, 진공은 우선 지지체(22)의 에지에서 형성되고 그런 다음에 지지체(22)의 중심 영역에서 형성된다.
도 1에 도시된 예증적인 실시예에 있어서, 가열 요소가 구비된다. 가열 요소는 광 전도관(32)을 구비한다. 광전도관(32)은 광전도관(32) 밖으로의 결합된 방사가 슬라이드 채널(68) 및/또는 파지 장치(20) 내의 개구를 통하여 지지체(22)의 영역 내에 배열된 제1 캐리어(68)를 타격한다. 이는 제1 캐리어(68)가 목적에 맞게 가열되게 한다. 레이저 광원과 하나 이상의 적외선광 발광 다이오드가 광전도관(32) 내로 방사 에너지를 결합하도록 구비되어 있다.
도시하지 않은 예증적인 실시예에 있어서, 가열 요소는, 예를 들면 위치 결정 장치(11)에 캡(10)의 옆에 구비될 수 있고, 이 때문에 가열 요소와 캡(10) 사이에서 직접 연결되지 않는다. 이에 의해 가열 에너지는, 예를 들면 적외선 방사에 의해 무접촉 방식으로 전달될 수 있다.
다른 방법으로는, 파지 장치(20) 및/또는 하우징(16)의 지지체(22)의 중심 영역 내에 배열된 전기 히터 저항을 구비하는 것이 가능하다. 가열 저항은 슬라이드(12a, 12b)에 구비될 수 있다.
도 2는 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하는 장치가 도시되어 있다. 도 2에 도시된 캡(10)은 도 1과 관련하여 기술된 캡(10)에 대응한다. 그러나, 명료성을 위하여, 캡(10)의 모든 상세는 도 2에 도시하지 않는다.
캡(10)은 위치 결정 장치(11)에 부착되어 있고, 위치 결정 장치(11)는 제1 수용기(60)와 제2 수용기(72)에 대하여 캡(10)의 위치 결정을 위하여 구비되어 있다. 유닛은 캡(10)과 적어도 하나의 슬라이드(12)와 배출 유닛이라 불리울 수 있는 위치 결정 장치(11)를 구비한다. 캡 액튜에이터(43)는 캡(10)을 제1 위치로부터 제2 위치로 이동시킬 수 있다. 따라서, 캡(10)은 위치 결정 장치(11)에 대하여 이동할 수 있다.
도 2에 도시된 실시예에 있어서, 적어도 하나의 슬라이드(12)는 위치 결정 장치(11)에 직접 연결되어 있다. 슬라이드 액튜에이터(18)는 슬라이드(12)가 위치 결정 장치(11)에 대하여 이동하게 한다. 캡 액튜이이터(43) 및 슬라이드 액튜에이터(18)는 슬라이드(12)와 캡(10)을 공통축을 따라 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 공통축은 슬라이드(12)의 종축에 대응 또는 평행할 수 있다.
조명 장치(40)와 카메라 장치(42)는 위치 결정 장치(11) 상에 구비된다. 개구 또는 채널은 조명 장치(40)가 제1 캐리어(68)를 조명할 수 있고 카메라 장치(42)는 이미지 데이터를 획득할 수 있도록 캡(10)의 하우징(16) 내에 구비될 수 있다. 도 2에서, 개구 또는 채널은 점선(45)으로 도시되어 있다. 개구 또는 채널은 캡(10)이 제1 위치에 있을 때에만 카메라 장치(42)가 이송될 전자 부품의 이미지 데이터를 획득할 수 있도록 배열될 수 있다. 위치 결정 장치(11)에 조명 장치(40)와 카메라 장치(42)의 고정은 제1 위치로부터 제2 위치로 캡(10)이 작게 이동되도록 유지될 때, 대량으로 이동될 수 있는 잇점을 가진다.
위치 결정 장치(11)에 조명 장치(40)와 카메라 장치(42)를 고정하는 대신에 조명 장치(40)와 카메라 장치(42)를 캡(10)에 직접 고정할 수 있다.
제1 수용기와 제2 수용기에 대하여 캡(10)과 적어도 하나의 슬라이드(12)를 위치시키기 위하여, 상기한 위치 결정 장치(11)가 구비된다. 위치 결정 장치(11)는 제1 캡 위치 결정 액튜에이터(44), 제2 캡 위치 결정 액튜에이터(46), 제3 캡 위치 결정 액튜에이터(도시 안함)를 구비한다. 위치 결정 장치에 연결된 캡(10)과 함께 위치 결정 장치(11)의 적어도 일부분은 제1 캡 위치 결정 액튜에이터(44)에 의해 수직방향으로 변위되고 제2 및 제3 캡 위치 결정 액튜에이터(46)에 의해 수평으로 변위 될 수 있다. 수직 방향 변위에 의해 캡(10)과 제1 캐리어(68) 사이의 거리가 변경될 수 있다. 그러나, 캡 위치 결정 액튜에이터(44. 46)는, 예를 들면 전자기, 공압, 유압 및/또는 피에조 액튜에이터일 수 있다.
도 2에 도시된 예증적인 실시예에 있어서, 캡 변위 액튜에이터(48, 50)가 부가적으로 제공된다. 캡(10)의 슬라이드 채널 내에 수용되어 있는 적어도 하나의 슬라이드(12)와 위치 결정 장치에 연결된 캡(10)과 함께 위치 결정 장치의 적어도 일부분은 제1 캡 변위 액튜에이터(48)에 의해 수직 방향으로 이동시킬 수 있고 제2 및 제3 (도시안함) 캡 변위 액튜에이터(50)에 의해 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 의해 하나의 방향에 대하여 원 스텝 위치 결정 및 다른 방향에 대하여 두 스텝 위치 결정을 제공하는 것이 가능하다.
센서 요소가 위치 결정 장치(11)에 더 구비된다. 도 2에 도시된 예증적인 실시예에 있어서, 센서 요소는 거리 측정 요소(52)와 전력 측정 요소(54)이다. 거리 측정 요소(52)는 슬라이드(12)에 의해 커버되는 거리를 검출한다. 전력 측정 요소(54)는 슬라이드 액튜에이터(18)에 의해 소비되는 전력을 검출한다. 다르게는, 전력 측정 요소(54)에는 또한 힘측정 요소가 슬라이드(12)와 슬라이드 액튜에이터(18) 사이에 구비될 수 있다.
지지체(22) 영역에 있어서, 위치 결정 장치(11)와 캡(10)으로부터 분리되어 이동할 수 있는 제1 수용기(60)가 제공된다. 도 2에 도시된 예증적인 실시예에 있어서, 제1 수용기(60)는 캡(10)의 아래에 배열된다.
위치 결정 장치(11)의 경우에서와 같이, 원 스텝 또는 두 스텝 위치 결정 장치가 제1 수용기(60)에 대하여 또한 제공될 수 있다. 이에 따라 변위 액튜에이터 및/또는 위치 결정 액튜에이터가 제공될 수 있다. 도 2에 도시된 예증적인 실시예에 있어서, 제1 수용기 위치 결정 액튜에이터(62), 제2 수용기 위치 결정 액튜에이터(64), 제1 수용기 변위 액튜에이터(66), 제2 수용기 변위 액튜에이터(68)이 제공된다. 제1 및 제2 수용기 위치 결정 액튜에이터(62, 64), 제1 및 제2 수용기 변위 액튜에이터(66, 68)는 제1 수용기(60)의 수평 운동을 하게 한다. 제1 수용기(60)의 운동은 캡(10)에 대하여 일어난다. 제1 캐리어(68)를 회전 운동하게 하는 액튜에이터(도시 안함)를 더 구비할 수 있다. 그러므로, 예를 들면, 제1 캐리어(68)는 수직축에 대하여 회전될 수 있고, 이 때문에 전자 부품은 제2 캐리어(74)로 이송되기 전에 정확하게 배향될 수 있다. 특별한 경우에 있어서, 제1 수용기(60)의 수직 위치 결정은 부가적으로 제공된다. 더욱이, 이에 따라 액튜에이터가 제공될 수 있다.
제1 수용기(60)는 제1 캐리어(68)를 수용한다. 전자 부품(70)은 지지체(22)로부터 원격인 제1 캐리어(68)의 측면에 제공된다. 예증적인 실시예에 있어서, 제1 캐리어(68)는 웨이퍼막일 수 있다. 웨이퍼막은 클램핑 링에 장착될 수 있다. 전자 부품은 격리된 다이일 수 있으며 이는 격리되기 전에 웨이퍼막에 적용된다.
제2 수용기(72)는 제2 캐리어(74)를 수용할 수 있다. 제2 수용기(72)는 제1, 제2 및 제3 지지 로울러(76, 78, 80)와 구동 로울러(82)를 구비한다. 지지 로울러(76, 78, 80)는 로울러 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 유리제 반원형 실린더가 또한 제공될 수 있다.
위치 결정 장치(11)와 제1 수용기(60)의 경우에서와 같이, 원 스텝 또는 투 스텝 위치 결정 장치는 제2 수용기(72)에 대하여 제공될 수 있다. 변위 액튜에이터와 위치 결정 액튜에이터가 제공될 수 있다. 그러나, 도 2에 도시된 예증적인 실시예에 있어서, 제2 캐리어의 오직 원 스텝 수평 위치 결정이 가능하다. 그러나, 수직 및/또는 수평 방향으로의 원 스텝 또는 투 스텝 위치 결정을 위하여 다른 액튜에이터가 제공될 수 있다.
예증적인 실시예에 있어서, 제2 캐리어(74)는 기판 스트립이다. 예를 들면, 기판 스트립이 칩 카드나 스마트 카드를 제조하는 캐리어 재료로서 사용될 수 있다. 제2 캐리어(74)는 이송될 전자 부품(70a)이 위치되는 접촉면을 가진다. 접촉면은 전기적 접촉면을 가질 수 있다. 그러나, 접촉면은 전기적으로 비전도성 구조일 수 있고 이는 이송될 전자 부품의 배향 또는 제2 캐리어의 위치 결정을 용이하게 해준다. 접착제가 접착제 층의 형태 또는 접촉면 상의 접착제(84)의 방울 형태로 제2 캐리어(74) 상에 부가적으로 제공된다. 제어 유닛은 도 1 및 2에 되시된 액튜에이터(18, 43, 44, 46, 48, 50, 62, 64, 66, 67, 82)와, 센서 요소(52, 54)와, 조명 장치(40)와, 카메라 장치(42)에 접속되어 있다. 카메라 장치(42)에 의해 획득된 이미지 데이터에 기초하여 제어 유닛(56)은 보정값을 계산할 수 있고, 이는 캡(10) 및/또는 제1 수용기(60)의 위치 결정을 하기 위하여 사용될 수 있다. 또한, 제어 유닛은 액튜에이터(18, 43, 44, 46, 48, 50, 62, 64, 66, 67, 82)를 직접 또는 간접적으로 활성화할 수 있고, 따라서 장치의 각각의 요소는 필요한 시계열적 순서대로 원하는 위치에 있게 된다. 더욱이, 제어 유닛은 측정 요소(52, 54)에 의해 획득된 데이터를 평가할 수 있고, 데이터에 기초하여 이송될 전자 부품이 제2 캐리어에 놓여 있는지 또는 슬라이드(12)의 연장부가 더 필요한지를 결정한다.
도 3은 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하는 방법을 도시한다.
단계(S110)에 있어서, 제2 캐리어(74)가 위치된다. 도 2에 도시된 실시예에 있어서, 제어 유닛(56)에 의해 구동 로울러(82)가 활성화되는 것이 실행되고 이 때문에 접촉면, 선택적으로는 접촉면에 적용된 접착제 방울이 제1 및 제2 지지 로울러(76, 78) 사이에 배열된다.
단계(S120)에 있어서, 캡(10)과 제1 캐리어(68)는 제2 캐리어에 대하여 위치한다. 결국, 제어 유닛(56)은 카메라 장치(42)로부터 수신된 데이터를 평가할 수 있고 위치 결정 장치(11)와 제1 수용기(60)의 위치 결정 액튜에이터와 변위 액튜에이터를 활성화하고, 이에 의해 적어도 하나의 슬라이드(12)와, 이송될 전자 부품(70a)과 접촉면이 축을 따라 배열된다. 더욱이, 캡(10)과 제1 수용기는 서로에 대하여 위치될 수 있고 이에 의해 제1 캐리어(68)는 지지체(22) 아래에 배열된다. 제1 캐리어(68)의 한측면 상에서 지지체(22)에 대하여 놓여질 수 있다.
단계(S110, S120)는 연속적으로 실행되지 않는다. 그러므로, 예를 들면, 제1 및 제2 캐리어와 캡(10)은 동시에 위치될 수 있다. 마찬가지로, 캡(10)과 제1 수용기(60)는 단계(S110)이전에 미리 위치될 수 있고 캡(10)과 제1 캐리어(68)는 제2 캐리어(74)가 위치된 후에 정확하게 위치될 수 있다.
단계(S130)에서, 캡(10) 및/또는 제2 캐리어(74)는 제1 위치로부터 제2 위치로 이동된다. 제2 캐리어(74)가 도 2에 도시된 예증적인 실시예에서 수평 방향으로만 이동할 수 있기 때문에, 본 단계는 제2 캐리어(74)를 향한 방향으로 캡(10)의 이동에 의해 도시된 예증적인 실시예를 실시할 수 있다. 이전의 위치 또는 캡(10)에 유사한 위치에 남아 있을 수 있는 제1 수용기(60)는 캐리어(74)를 향한 방향으로 이동될 수 있다. 제1 수용기(60)가 이전의 위치에 남아있다면, 제1 캐리어(68)는 캡(10)의 이동에 의해 펼쳐질 수 있다. 이에 의해 제1 캐리어(68)와 제2 캐리어(74) 사이의 갭은 작게 된다.
그런 다음에, 단계(S140)에서, 적어도 하나의 슬라이드(12)가 제2 캐리어(74)를 향한 방향으로 연장되고 이 때문에 적어도 하나의 슬라이드(12)의 적어도 팁은 슬라이드 채널(14)로부터 돌출된다. 이에 의해 적어도 하나의 슬라이드(12)는 제1 캐리어(68)와 접촉하고 지지체(22)로부터 분리되고, 이 때문에 지지체(22)와 제1 캐리어(68) 사이에 자유 공간이 형성된다. 그 결과, 제1 캐리어(68)는 지지체(22) 둘레의 영역 내에서 펼쳐진다. 적어도 하나의 슬라이드(12)는 제1 캐리어(68)를 부분적으로 또는 완전히 관통할 수 있다. 연장 운동의 결과로서, 지지체(22)로부터 원격에 있는 제1 캐리어(68)의 측면에 구비된 전자 부품(70a)은 제2 캐리어(74) 방향으로 이동된다.
이송될 전자 부품(70a)은 전자 부품(70a)의 한 측면이 제2 캐리어(74)와 접촉 및/또는 제2 캐리어에 적용될 수도 있는 접착제(84)의 방울과 접촉할 때까지 이동될 수 있다. 제2 캐리어(74)와 접착제(84) 방울과 이송되는 전자 부품 사이에서의 신뢰할만한 연결을 보장하기 위하여, 전자 부품은 접착제가 변위될 때까지 접착제(84)의 방울 내로 가압될 수 있다. 거리 측정 요소(52)와 전력 측정 요소(54)에 의해 얻어진 데이터에 기초하여 접촉 또는 변위가 검출될 수 있고, 제2 캐리어(74)의 기계적인 저항 때문에 슬라이드 액튜에이터(18)의 전력 소비는 슬라이드(12)가 더이상 이동하지 않거나 무의미하게 움직일 때에만 증가한다. 따라서, 제어 유닛(56)은 거리 측정치와 전력 측정치 또는 그 변동 상황을 모니터할 수 있다.
다음 단계(S150)에 있어서, 제1 캐리어(68)는 파지 장치(20)에 의해 지지체(22)로 이송된다. 예를 들면, 진공이 이 목적을 위하여 사용될 수 있다. 진공은 지지체(22)와 제1 캐리어(68) 사이의 자유 공간 내에 존재하는 공기를 배출하는 효과를 가지며, 이 때문에 지지체(22)와 제1 캐리어(68) 사이의 자유 공간 내의 압력이 제1 캐리어(68) 아래의 압력보다 낮다. 따라서, 제1 캐리어(68)는 대기압에 의해 지지체(22) 쪽을 향하여 가압된다.
적어도 하나의 슬라이드(12)가 제2 캐리어(74) 상에서 전자 부품(70a)을 계속하여 가압 또는 지지체(22)로부터 이격된 위치에 전자 부품을 적어도 지지하기 때문에, 전자 부품(70a)과 제1 캐리어(68) 사이의 접착제 본드가 해제된다.
그런 다음에, 캡(10)은 제1 위치 내로 이동되고 슬라이드(12)가 완전히 수축되고, 다른 전자 부품이 상기한 단계에 의해 이송될 수 있다.
도 4a 내지 도 4f는 예증적인 실시예에 따른 이송 작업을 도시한 도면이다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 캡(10)과 제1 캐리어(68)는 제2 캐리어(74) 위에 위치하고, 지지체(22)는 제1 캐리어(68)와 접촉 또는 제1 캐리어(68)는 지지체(220 아래에 작은 거리를 두고 배열되어 있다. 캡(10)은 제1 위치 내에 있다. 이송된 전자 부품(70a)의 후방 측면의 이미지는 하우징(16) 내의 개구를 통하여 카메라 장치(42)에 의해 획득된다. 이에 의해 조명 장치(40)는 제1 캐리어(68)를 통하여 이송될 전자 부품(70a)의 후방 측면을 조명하게 된다. 카메라 장치(42)에 의해 취해진 이미지 또는 이미지 데이터는 제어 유닛(56)에 의해 캡(10)의 수평 위치 결정을 위하여 보정값으로 변환된다. 이들 보정값은 캡(10)의 위치와 제1 수용기(60)의 위치를 교정하기 위해 선택적으로 사용된다. 위치 결정 후 또는 교정 후, 슬라이드(12)와 이송될 전자 부품(70a)은 접촉면 위에 위치된다.
도 4b에서, 캡(10)은 제2 위치 내에 도시되어 있다. 이에 의해 제1 캐리어(68)는 제2 캐리어(74)를 향한 방향으로 캡(10)의 이동에 의해 편위된다. 캡(10)과 제2 캐리어(74) 사이의 거리는 최소화된다. 슬라이드(12)는 이송될 전자 부품(70a)과 아직은 접촉되지 않는다. 그러나, 적어도 하나의 슬라이드(12)는 이미 제1 캐리어(68)에 대하여 놓여지는 것이 가능하다.
도 4c에서, 슬라이드(12)는 연장된 상태로 도시되어 있다. 연장 이동의 결과로, 슬라이드(12)는 제1 캐리어(68)와 접촉하며, 부분적으로 또는 완전히 관통되고, 슬라이드(12)가 제1 캐리어를 완전히 관통하면, 이송될 전자 부품(70a)과 접촉하게 된다. 제1 캐리어(68)는 지지체(22)에 의해 들어 올려져 편위된다. 슬라이드(12)는 이송될 전자 부품(70a)이 접착제(84)와 접촉할 때까지 연장된다. 접착제(84) 방울과 제2 캐리어의 기계적인 저항 때문에 슬라이드 액튜에이터(18)의 전력 소비량이 증가한다. 이는 전력 측정 요소(54)에 의해 검출된다. 제어 유닛(56)은 슬라이드 액튜에이터(18)의 전력 소모가 임계치에 도달할 때, 슬라이드의 연장 운동이 종료된다. 슬라이드 액튜에이터(18)에 의해 소비되는 전력의 검출은 이송될 전자 부품(70a)의 파괴 또는 손상을 방지한다.
도 4d에서, 이송될 전자 부품(70a)과 캡(10)은 이송될 전자 부품(70a)이 제1 캐리어(68)로부터 분리된 후를 도시한다. 이송될 전자 부품(70a)은 슬라이드(12)에 의해 제 위치에 지지되어 있다. 개시된 예증적인 실시예에 있어서, 진공은 제1 캐리어(68)와 지지체(22) 사이의 단부에서 발생된다. 그 결과, 제1 캐리어(68)는 지지체(22)로 이송된다. 흡인 작동의 결과로서, 이송될 전자 부품(70a)은 제1 캐리어(68)로부터 분리된다. 진공은 지지체(22)의 외측 에지로부터 지지체(22)의 중심으로 형성된다. 이송될 전자 부품(70a)과 제1 캐리어(68) 사이에서의 지지력을 감소시키기 위하여, 제1 캐리어(68)는 파지 장치(20)가 활성화되기 전에 가열 요소에 의해 가열될 수 있다. 예를 들면, 이것은 광전도관(32)을 통하여 인도되는 레이저 방사 또는 방사 히터에 의해 영구 가열에 의해 일어난다.
캡(10)은 제1 위치로 이동된다. 도 4e에서, 캡(10)은 제1 위치에 도달한 후를 도시한다. 캡(10)이 제1 위치로 이동되는 동안에, 슬라이드(12)의 팁은 이송될 전자 부품(70a)의 표면과 접촉한 채로 있는다. 일단 캡(10)이 제1 위치에 도달하면, 파지 장치(20)는 비활성화된다. 슬라이드(12)는 슬라이드(12)가 이송될 전자 부품(70a)을 제2 캐리어(74)에 계속적으로 가압하도록 연장된 채로 남아 있는다.
끝으로, 슬라이드(12)는 이송될 전자 부품(70a)을 들어올리고 수축된다. 슬라이드(12)는 제1 캐리어(60)에 의해 배출된다. 이것은 도 4f에 도시되어 있다.
일단 슬라이드(12)가 슬라이드 채널(14) 내에 완전히 수용되면, 다른 전자 부품은 장치에 의해 이송된다. 즉, 도 4a 내지 도 4f에 관련된 방법이 다시 실행된다.
비록 상기한 장치 및 방법을 결합하여 기술하였을지라도 이는 서로 자유롭게 결합되거나 독립적으로 실시될 수 있다는 것을 알아야 한다. 도면에 도시된 비율과 치수는 중요한 특성을 명료하게 나타내기 위한 것이고 장치 및 방법의 특징이 실시에에 다라 다르게 선택될 수 있다.
10 : 캡 12, 12a, 12b : 슬라이드
14 : 슬라이드 채널 16 : 하우징
18 : 슬라이드 액튜에이터 20 : 파지 장치
22 : 지지체 24 : 오목부
26 : 진공 챔버 30 : 분배 라인
43 : 캡 액튜에이터 46 : 제2 캡 위치 결정 액튜에이터
50 : 제3 캡 변위 액튜에이터 60 : 제1 수용기
68 : 제1 캐리어 74 : 제2 캐리어
82 : 구동 로을러

Claims (15)

  1. 제1 캐리어(68)로부터 스트립 형상의 제2 캐리어(74)로 전자 부품을 이송하기 위한 장치에 있어서,
    - 적어도 하나의 슬라이드 액튜에이터(18)에 연결되어 있는 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)와,
    - 지지체(22)와 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)를 수용하기 위한 슬라이드 채널(14)과 제1 캐리어(68)를 위한 파지 장치(20)를 구비한 캡(10)과,
    - 지지체(22) 상에 제1 캐리어(68)를 위치시키도록 구성되고 지지체(22)로부터 이격된 제1 캐리어(68)의 측면 상에 구비된 전자 부품을 위치시키도록 구성된 제1 수용기(60)와,
    - 제2 캐리어(74)를 위치시키도록 구성되고, 제1 수용기(60)와 제2 수용기(72)는 제2 캐리어(74)로부터 제1 캐리어(68)를 갭으로 분리하도록 서로에 대하여 배열되도록 구성된 제2 수용기(72)와,
    - 제1 캐리어(68)와 제2 캐리어(74) 사이의 갭이 작아지도록 제1 위치로부터 제2 위치로 이동하도록 구성된 캡(10) 또는 제2 수용기(72)와,
    - 제1 수용기(60) 및 제2 수용기(72)에 대하여 캡(10)과 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)의 위치를 결정하는 위치 결정 장치(11)로, 상기 위치 결정 장치(11)는 수직 방향으로 상기 위치 결정 장치(11) 및 캡(10)을 변위시킬 수 있는 캡 위치 결정 액튜에이터(44)를 포함하며, 수직 변위에 의해 캡(10)과 제1 캐리어(68)의 거리가 변경되는, 위치 결정 장치(11)와,
    - 지지체(22)로부터 떨어져 있으며 지지체(22)에 놓여 있는 제1 캐리어를 들어 올리고 제2 캐리어(74)를 향하는 방향으로 제1 캐리어(68) 상에 구비되어 있는 전자 부품(70a)을 이동시키기 위하여 지지체(22)에 대하여 적어도 하나의 슬라이드 액튜에이터(18)에 의해 연장되도록 구성되어 있는 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)와,
    - 제1 캐리어(68)로부터 전자 부품(70a)을 분리하기 위하여 제1 캐리어(68)를 지지체(22)로 이송하도록 구성된 파지 장치(20)를 구비하는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 장치에 있어서,
    상기 파지 장치(20)는, 상기 파지 장치(20)의 단부에 지지체(22)가 구비된 진공 파지 장치이고, 상기 파지 장치(20) 및 지지체(22)에서 슬라이드 채널(14)의 연장부로서 개구가 구비되되, 상기 개구는 슬라이드 채널(14)을 통해 슬라이드(12a, 12b)가 연장되도록 하며,
    상기 파지 장치(20)는 지지체(22)에 배치되며 진공 챔버(26)에 연결되는 복수의 오목부(24)를 구비하고, 상기 진공 챔버(26)는 환형이며 슬라이드 채널(14)을 부분적으로 또는 완전히 둘러싸며, 상기 오목부들은 제1 캐리어(68)와 지지체(22) 사이에 진공이 형성되도록 구성되어 주변 압력이 제1 캐리어(68)를 지지체(22)에 대하여 가압시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    전자 부품(70a)이 제2 캐리어(74)와 접촉 또는 제2 캐리어에 적용된 접착제와 접촉하는 것을 제어 유닛(56)이 검출하자마자 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)의 연장 운동이 종료되도록 구성된 제어 유닛(56)을 구비한, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    제어 유닛(56)에 접속된 적어도 하나의 센서 요소를 구비하고, 상기 센서 요소는 적어도 하나의 슬라이드 액튜에이터(18)에 의해 소비되는 전력을 검출 또는 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)에 의해 커버되는 거리를 검출하도록 구성된, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    파지 장치(20)는 진공원에 연결되어 있는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    조명 장치(40)와 카메라 장치(42)는 위치 결정 장치(11)에 고정되어 있는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 장치.
  6. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    가열 요소는 지지체(22)의 중심 영역에 구비 또는 위치 결정 장치(11)상에 구비된, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 장치.
  7. 제1 캐리어로(68)부터 스트립 형상의 제2 캐리어(74)로 전자 부품(70a)을 이송하기 위한 방법에 있어서,
    - 캡(10)의 슬라이드 채널(14) 내에 구비된 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)와, 제1 캐리어(68) 상에 구비된 전자 부품(70a)과, 제2 캐리어(74) 상에 구비된 접촉면이 공통의 축을 따라 배향되도록 서로에 대하여 캡(10), 제1 캐리어(68), 제2 캐리어(74)를 위치 결정하는 단계와,
    - 제1 캐리어(68)와 제2 캐리어(74) 사이의 갭이 작아지도록 제1 위치로부터 제2 위치로 캡(10) 또는 제2 캐리어(74)를 이동시키는 단계와,
    - 지지체(22)에 대하여 놓여지는 제1 캐리어(68)가 지지체(22)에 대하여 들어 올려지고, 전자 부품(70a)의 일 측이 제2 캐리어(74)와 접촉할 때까지 전자 부품(70a)이 이동되도록 제2 캐리어(74)를 향하는 방향으로 캡의 지지체(22)에 대하여 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)를 연장시키는 단계와,
    - 제1 캐리어(68)를 지지체(22)로 이송되는 캡(10) 내에 구비된 파지 장치(20)에 의해 실행되는, 제1 캐리어(68)로부터 전자 부품(70a)을 분리하는 단계를 구비하는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법에 있어서,
    상기 파지 장치(20)는, 상기 파지 장치(20)의 단부에 지지체(22)가 구비된 진공 파지 장치이고, 상기 파지 장치(20) 및 지지체(22)에서 슬라이드 채널(14)의 연장부로서 개구가 구비되되, 상기 개구는 슬라이드 채널(14)을 통해 슬라이드(12a, 12b)가 연장되도록 하며,
    상기 파지 장치(20)는 지지체(22)에 배치되며 진공 챔버(26)에 연결되는 복수의 오목부(24)를 구비하고, 상기 진공 챔버(26)는 환형이며 슬라이드 채널(14)을 부분적으로 또는 완전히 둘러싸며, 상기 오목부들은 제1 캐리어(68)와 지지체(22) 사이에 진공이 형성되도록 구성되어 주변 압력이 제1 캐리어(68)를 지지체(22)에 대하여 가압시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    제1 캐리어(68) 상에 구비된 전자 부품(70a)이 제2 캐리어(74)와 접촉 또는 제2 캐리어(74)에 적용된 접착제와 접촉할 때까지 제2 캐리어(74)를 향하는 방향으로 지지체(22)에 대하여 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)가 연장되는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법.
  9. 청구항 7에 있어서,
    전자 부품(70a)이 제1 캐리어(68)로부터 분리된 후, 캡(10)은 제2 위치로부터 제1 위치로 이동되는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    캡(10)이 제1 위치로 이동하는 동안에 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)가 제2 캐리어(74)로 이송되는 전자 부품과 접촉하여 있는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법.
  11. 청구항 9에 있어서,
    적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)는 일단 캡(10)이 제1 위치에 도달하면 수축하는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법.
  12. 청구항 7 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    파지 장치(20)는 제1 캐리어(68)를 진공에 의해 지지체(22)로 이송하는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    제1 캐리어(68)는 지지체(22)의 외측 에지로부터 우선 퇴각하는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법.
  14. 청구항 7 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)의 이동을 제어하기 위하여, 슬라이드 액튜에이터(18)에 의해 소비되는 전력을 검출 또는 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)에 의해 커버되는 거리를 검출하는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)의 연장은 슬라이드 액튜에이터(18)에 의해 소비되는 전력 또는 적어도 하나의 슬라이드(12, 12a, 12b)에 의해 커버되는 거리가 임계치를 초과할 때 종료되는, 제1 캐리어로부터 스트립 형상의 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 방법.
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