KR101675926B1 - 진동 계측 장치 및 진동 계측 방법 - Google Patents

진동 계측 장치 및 진동 계측 방법 Download PDF

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메이덴샤 코포레이션
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    • G01H1/00—Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector

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Abstract

진동 센서를 압축 스프링 등으로 피측정물의 측정면상에 가압하여 진동을 계측하는 진동 계측 장치는 압축 스프링 등의 압축력 때문에 진동을 정확히 계측할 수 없다는 문제를 해결하기 위한 본 발명의 진동 계측 장치는 진동 센서(2), 진동 센서(2)가 상하방으로 움직일 수 있도록 선단부에 부착된 센서 홀더(3) 및 진동 센서(2)가 센서 홀더(3)를 통해 피측정물의 측정면에 접촉 및 분리하도록 하는 센서 접촉/분리 기구(4)를 포함한다. 진동 센서(2)는 플랜지형 돌기(5)를 포함하고 상측면에 진동 계측 소자(7)를 갖고 하측면에 자석(10)을 갖는 프로브 플레이트(9)를 포함한다. 센서 홀더(3)는 진동 센서(2)의 하단부에 배치된 자석(10)이 통과하여 돌출하는 개구(17) 및 진동 센서(2)의 플랜지형 돌기(5)의 하측면과 결합하여 진동 센서(2)가 개구(17)로부터 떨어지는 것을 방지할 수 있는 돌기결합부(16)를 포함하는데, 개구부(17)와 돌기결합부(16)는 센서 홀더(3)의 하단부측에 배치된다.

Description

진동 계측 장치 및 진동 계측 방법{VIBRATION MEASURING DEVICE AND VIBRATION MEASURING METHOD}
본 발명은 모터, 엔진, 자동변속기 등의 진동을 발생시키는 제품의 진동을 계측하는 진동 계측 장치 및 진동 계측 방법에 관한 것이다.
모터, 엔진, 자동변속기 등의 진동을 발생시키는 제품은 제조 후 출하 전에 제품에 의해 발생된 진동을 진동 측정 장치를 사용하여 계측하며, 제품에 이상이 없음을 확인한 후에 출하된다.
도 4에 도시된 진동 계측 장치는 종래에 알려져 있다. 진동 계측 장치(101)는 진동 센서(102)와, 진동 센서(102)가 선단에 부착된 센서 홀더(103)와, 센서 홀더(103)를 통하여 진동 센서(102)를 피측정물(104)의 측정면(이하 측정면이라고 한다)에 대하여 접촉 또는 분리시키도록 동작하는 에어 실린더(105)를 포함한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 진동 센서(102)는 센서 홀더(103)의 하측의 센서 홀딩부(106)에 수납되어 있다. 센서 홀딩부(106)의 하측면에는 개구부(107)가 형성되어 있다. 개구부(107)의 주위에는 록킹 돌기(108)가 제공되어 있다.
진동 센서(102)는 센서 본체(102a)의 하측면상의 개구부(107)보다 약간 작은 직경을 갖는 접촉부(102b)를 포함한다. 센서 본체(102a)의 상측면에는 우레탄 등의 재료로 만들어진 탄성 부재(109)가 접착되어 있다. 접촉부(102b)는 센서 홀딩부(106)의 개구부(107)로부터 약간 돌출한다. 센서 본체(102a)와 접촉부(102b) 사이의 단차부(110)는 록킹 돌기(108)에 의해 부유 방식으로 유지되어 있다. 센서 본체(103) 내에는 압축 스프링(111)에 의해 가압된 상태로 로드(112)가 수납되어 있다. 로드(112)의 하단에 위치하는 헤드부(113)는 진동 센서(102)의 상측면과 탄성적으로 접촉되어 있다.
일본 특허공개 제 평8-201159호
전술한 종래의 진동 계측 장치(101)에 있어서, 진동 센서(102)는 센서 본체(102a)와 접촉부(102b) 사이의 단차부(110)에서 록킹 돌기(108)에 의해 부유 상태로 유지된다. 따라서 진동 센서(102)의 접촉부(102b)의 하측면상에 위치하는 센싱면이 피측정물(104)의 측정면(104a)과 평행하지 않은 경우라도 진동 센서(102)는 측정면(104a)에 가압될 때 기울어지므로, 진동 센서(102)의 센싱면과 피측정물(104)의 측정면(104a)이 서로 밀착할 수 있다. 그러나 전술한 바와 같은 이러한 효과는 반대로 다음과 같은 문제점들이 있다.
(1) 압축 스프링(111)에 의한 구속력이 진동 센서(102)에 작용하여 진동 계측에 악영향을 미친다.
(2) 단일 에어 실린더(105)로 진동 센서(102)를 상하로 이동시킴에 의해 진동 센서(102)가 피측정물(104)의 측정면(104a)에 접촉 및 분리된다. 따라서, 측정면(104a)의 높이가 변화되는 경우, 예를 들어 서로 높이가 다른 위치에 위치하는 측정면(104a)을 갖는 피측정물(104)로서 자동 변속기의 진동이 자동 변속기 시험 장치에서 계측되는 경우에는 진동 센서(102)를 측정면(104a)에 대하여 접촉 및 분리시키기 어렵다.
본 발명은 전술한 종래의 문제점들을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 압축 스프링 등의 구속력을 제거하여 보다 정확히 진동을 계측할 수 있고 측정면의 높이에 변이가 있더라도 쉽게 계측할 수 있는 진동 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제 1 태양에 따르면, 진동 센서, 상기 진동 센서가 선단부에 결합되어 진동 센서가 상하방으로 움직일 수 있도록 진동 센서를 고정하는 센서 홀더, 및 상기 센서 홀더를 통하여 진동 센서를 피측정물의 측정면에 접촉/분리시키도록 동작하는 센서 접촉/분리 기구를 포함하며,
상기 진동 센서는 그 상측면에 플랜지형 돌기 및 프로브 플레이트를 포함하고 그 하측면에 자석을 포함하며, 상기 프로브 플레이트는 진동 계측 소자를 포함하며,
상기 센서 홀더는 진동 센서의 하단부에 배치된 자석이 통과하여 돌출하는 개구부와, 상기 진동 센서의 플랜지형 돌기의 하측면과 결합 가능한 돌기결합부를 포함하며, 상기 개구부 및 돌기결합부는 센서 홀더의 하단부측에 배치되는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치가 제공된다.
본 발명의 제 2 태양에 따르면, 본 발명의 제 1 태양에 있어서, 상기 센서 홀더는 복수의 부분으로 분할되며, 상기 복수의 부분의 상단부는 연결부에 의해 서로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치가 제공된다.
본 발명의 제 3 태양에 따르면, 본 발명의 제 1 태양 또는 제 2 태양에 있어서, 상기 진동 센서의 플랜지형 돌기와 상기 센서 홀더의 돌기결합부 가운데 하나는 위치결정핀을 가지고, 상기 진동 센서의 플랜지형 돌기와 상기 센서 홀더의 돌기결합부 가운데 다른 하나는 상기 위치결정핀에 결합되는 핀결합공을 가지며,
상기 위치결정핀은 그 하단부에 경사면을 갖고, 경사면은 진동을 계측할 때 위치결정핀이 핀결합공의 하단부와 분리되게 하고 진동 계측의 완료 후에 센서 홀더가 상방으로 움직일 때 핀결합공의 하단부와 접촉하여 진동 센서가 센서 홀더의 중앙부에 위치하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치가 제공된다.
본 발명의 제 4 태양에 따르면, 본 발명의 제 1 태양 및 제 2 태양 중의 한 태양에 있어서, 상기 센서 접촉/분리 기구는 진동 센서가 제 1 측정 위치보다 낮은 제 2 측정 위치로 이동하게 동작하는 제 1 승강조작 에어 실린더, 및 진동 센서가 대기 위치로부터 제 1 측정 위치로 이동하게 동작하는 제 2 승강조작 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치가 제공된다.
본 발명의 제 5 태양에 따르면, 본 발명의 제 3 태양에 있어서, 상기 센서 접촉/분리 기구는 진동 센서가 제 1 측정 위치보다 낮은 제 2 측정 위치로 이동하게 동작하는 제 1 승강조작 에어 실린더, 및 진동 센서가 대기 위치로부터 제 1 측정 위치로 이동하게 동작하는 제 2 승강조작 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치가 제공된다.
본 발명의 제 6 태양에 따르면, 본 발명의 제 4 태양에 있어서, 진동 센서가 제 2 승강조작 에어 실린더에 의해 제 1 측정 위치로 이동한 후, 진동 센서는 제 1 승강조작 에어 실린더에 의해 제 2 승강조작 에어 실린더와 함께 이동하여 제 2 측정 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치가 제공된다.
본 발명의 제 7 태양에 따르면, 본 발명의 제 5 태양에 있어서, 진동 센서가 제 2 승강조작 에어 실린더에 의해 제 1 측정 위치로 이동한 후, 진동 센서는 제 1 승강조작 에어 실린더에 의해 제 2 승강조작 에어 실린더와 함께 이동하여 제 2 측정 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치가 제공된다.
본 발명의 제 8 태양에 따르면, 진동 계측 장치를 이용하여 피측정물의 측정면의 진동을 측정하기 위한 방법이 제공되며,
상기 진동 계측 장치는 진동 센서, 상기 진동 센서가 선단부에 결합되어 진동 센서가 상하방으로 움직일 수 있도록 진동 센서를 고정하는 센서 홀더 및 진동 센서가 센서 홀더를 통해 피측정물의 측정면에 접촉 및 분리되게 동작하는 센서 접촉/분리 기구를 포함하며, 상기 진동 센서는 그 상측면에 플랜지형 돌기 및 프로브 플레이트를 포함하고 그 하측면에 자석을 포함하며, 프로브 플레이트는 진동 계측 소자를 포함하며, 센서 홀더는 진동 센서의 하단부에 배치된 자석이 통과하여 돌출하는 개구부, 및 진동 센서의 플랜지형 돌기의 하측면과 결합 가능한 돌기결합부를 포함하며, 상기 개구부와 돌기결합부는 상기 센서 홀더의 하단부측에 배치되고,
상기 진동 계측 방법은,
상기 진동 센서의 플랜지형 돌기와 센서 홀더의 돌기결합부를 결합시켜서 진동 센서가 센서 홀더로부터 떨어지는 것을 방지하는 단계;
센서 접촉/분리 기구에 의해 센서 홀더를 피측정물의 측정면 쪽으로 이동시켜서 먼저 자석을 측정면에 부착시키고 진동 센서를 측정면과 접촉시키는 단계;
센서 홀더를 측정면측으로 이동시켜서 센서 홀더만을 하강시키고 진동 센서의 플랜지형 돌기와 센서 홀더의 돌기결합부를 서로 분리시키는 단계;
측정면의 진동을 계측하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 제 1 태양에 따르면, 진동 센서는 진동 센서가 센서 홀더의 축방향으로 움직일 수 있도록 센서 홀더 내에 수납되며, 진동 센서의 플랜지형 돌기는 센서 홀더의 돌기결합부와 결합하여 진동 센서가 센서 홀더로부터 떨어지는 것을 방지한다. 또한, 센서 홀더가 센서 접촉/분리 기구에 의해 피측정물의 측정면쪽으로 이동할 때, 먼저 자석이 측정면에 부착되고 진동 센서가 측정면과 접촉하고 있는 상태가 된다. 또한 센서 홀더가 센서 접촉/분리 기구에 의해 측정면측으로 이동할 때는 센서 홀더만이 하강하여 진동 센서의 플랜지형 돌기와 센서 홀더의 돌기결합부가 분리(비접촉)되게 한다. 그 결과, 진동 센서가 센서 홀더에 의한 구속으로부터 자유로운 상태에서 진동 센서가 진동을 계측할 수 있다.
본 발명의 제 2 태양에 따르면, 센서 홀더는 다수의 부분으로 분할된다. 진동 센서는 중심에 위치하게 되고 센서 홀더의 다수의 부분들은 진동 센서의 외주에 배치된다. 분할된 다수의 부분들의 상단부는 연결부를 통해 서로 연결된다. 이런 구조에 의해 진동 센서는 센서 홀더 내에 쉽게 조립될 수 있다.
본 발명의 제 3 태양에 따르면, 진동이 계측될 때, 위치결정핀의 경사면은 핀결합공의 하단부와 분리된다. 따라서 진동 센서가 센서 홀더에 의한 구속으로부터 자유로운 상태에서 진동을 측정할 수 있다. 또한 진동 계측 완료 후에 센서 홀더가 상방으로 이동할 때, 위치결정핀의 하단부에 형성된 경사면은 핀결합공의 하단부와 접촉되어 진동 센서를 센서 홀더의 중앙부에 복귀시킨다. 따라서 진동 계측 중에 발생하는 진동 센서의 변위를 보정할 수 있으며 진동 센서가 다음의 진동 계측을 대기할 수 있게 한다.
본 발명의 제 4 태양 및 제 5 태양에 따르면, 피측정물의 종류 등에 따라서 측정면의 높이에 변화가 있더라도 진동 계측을 실시할 수 있다.
본 발명의 제 6 태양 및 제 7 태양에 따르면, 진동 센서가 제 1 승강조작 에어 실린더에 의해 제 1 측정 위치로 이동한 후, 진동 센서는 제 2 승강조작 에어 실린더에 의해 제 1 승강조작 에어 실린더와 함께 이동하여 제 2 측정 위치에 배치된다. 따라서, 각각 단독으로 사용되는 승강조작 에어 실린더의 스트로크량보다 작은 실린더 로드의 스트로크량을 갖는 에어 실린더를 사용하여 진동 센서가 제 2 측정 위치로 이동할 수 있다.
본 발명의 제 8 태양에 따르면, 진동 센서가 센서 홀더에 의한 구속으로부터 자유로운 상태에서 진동 계측이 실시된다. 따라서 진동을 보다 정확하게 계측할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 진동 계측 장치의 정면도,
도 2는 본 발명의 상기 실시형태에 따른 진동 계측 장치의 측면도,
도 3에서 A는 진동 센서 및 센서 홀더를 보여주는 진동 계측 장치의 단면도, B는 진동 센서 및 센서 홀더를 보여주는 측면도이며, C는 A에 도시한 선 C-C를 따라서 취한 단면도,
도 4는 종래 기술의 진동 계측 장치의 설명도,
도 5는 진동 센서 및 센서 홀더를 보여주는 종래 기술의 진동 계측 장치의 단면도이다.
이하 본 발명의 일 실시형태에 따른 진동 계측 장치를 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 진동 계측 장치(1)는 진동 센서(2), 진동 센서(2)가 선단에 부착된 센서 홀더(3), 및 진동 센서(2)를 센서 홀더(3)를 통하여 피측정물의 측정면(104a)에 대하여 접촉 및 분리시키도록 동작하는 센서 접촉/분리 기구(4)를 포함한다.
도 3A에 도시한 바와 같이, 진동 센서(2)는 상측부에 플랜지형 돌기(5)를 갖는 센서 본체(6)와, 다수의 진동 계측 소자(7) 및 커넥터(8)를 갖는 프로브 플레이트(9)와, 센서 본체(6)의 하측면측에 부착된 자석(10)을 포함한다. 도면 부호 8a는 커넥터(8)에 접속된 하네스를 지시한다.
자석(10)은 자석(10)이 센서 본체(6)의 하측면상에 형성된 오목부와 결합된 상태에서 센서 본체(6)의 하측면측에 부착되어 있다. 자석(10)의 하단부는 센서 본체(6)의 하측면으로부터 약간 돌출한다.
플랜지형 돌기(5)는 중첩 상태(결합 상태)에서 후술하는 바와 같이 센서 홀더(3)의 각 돌기결합부(16)상에 배치되어 진동 센서(2)가 센서 홀더(3)에서 떨어지는 것을 방지한다. 플랜지형 돌기(5)에는 각각 위치결정핀(18)이 삽입되는 핀결합공(11)이 각각 형성되어 있다. 위치결정핀(18)은 각각 돌기결합부(16)상에 배치된다.
센서 홀더(3)는 전술한 바와 같이 진동 센서(2)의 플랜지형 돌기(5)와의 결합에 의해 진동 센서(2)가 센서 홀더(3)로부터 떨어지는 것이 방지되는 상태에서 상하로 움직일 수 있도록 진동 센서(2)를 지지한다. 센서 홀더(3)는 한 쌍의 좌우측 홀더 본체부(12, 13)와 상기 한 쌍의 좌우측 홀더 본체부(12, 13)의 상단부를 나사에 의해 서로 연결하는 접속부(14)로 구성된다.
한 쌍의 좌우측 홀더 본체부(12, 13)는 각각 그 내주면에 오목홈부(15)를 가진다. 오목홈부(15)의 하측부에는 진동 센서(2)의 플랜지형 돌기(5)와 중첩되는 돌기결합부(16)가 형성된다. 돌기결합부(16) 사이에는 개구부(17)가 형성되는데, 이 개구부를 통하여 진동 센서(2)의 센서 본체(6)의 하단부가 돌출한다.
돌기결합부(16)에는 위치결정핀(18)이 제공된다. 진동 센서(2)의 플랜지형 돌기(5)가 돌기결합부(16)와 중첩될 때, 위치결정핀(18)은 각각 플랜지형 돌기(5)에 형성된 핀결합공(11) 속에 끼워진다. 위치결정핀(18)은 위치결정핀(18)이 핀결합공(11) 속에 용이하게 삽입되기 위하여 그 선단쪽으로 테이퍼가 형성되어 있다. 위치결정핀(18)은 일반적으로 각각 그 하단부상에 원추형 경사면(18a)을 갖는다.
진동 계측시에는 도 3A에 도시한 바와 같이 경사면(18a)이 핀결합공(11)의 하단부로부터 분리된다. 따라서 진동 센서(2)가 센서 홀더(3)에 의한 구속으로부터 자유로운 상태에서 진동 계측이 실시될 수 있다. 또한, 진동 계측 완료 후에 센서 홀더(3)가 상방으로 이동될 때, 경사면(18a)이 핀결합공(11)의 하단부와 접촉하여 진동 센서(2)가 센서 홀더(3)의 중앙부로 복귀된다. 그 결과, 진동 계측중에 발생하는 진동 센서의 변위를 보정할 수 있으며, 진동 센서(2)가 다음 진동 계측에 대비할 수 있게 한다.
진동 센서(2)를 센서 홀더(3)에 조립하는 작업은 예를 들어 다음의 방식으로 실시된다. 먼저 프로브 플레이트(9) 및 자석(10)이 센서 본체(6)에 부착되어 진동 센서(2)를 제공한다. 다음으로 위치결정핀(18)이 핀결합공(11)의 하측으로부터 진동 센서(2)의 플랜지형 돌기(5)상에 형성된 핀결합공(11) 속에 삽입되어 서로 반대측의 위치에서 한 쌍의 좌우측 홀더 본체부(12, 13)를 진동 센서(2)에 조립하게 된다. 그 후, 한 쌍의 좌우측 홀더 본체부(12, 13)의 상단부가 연결부(14)에 의해 서로 연결된다. 따라서 진동 센서(2)가 센서 홀더(3)에 조립된다.
다음으로, 센서 접촉/분리 기구(4)를 설명한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 센서 접촉/분리 기구(4)는 진동 센서(2)를 피측정물의 측정면(104a) 바로 위로 이동시키는 수평이동조작 에어 실린더(21)와, 측정면(104a) 바로 위의 대기 위치(이하 대기 높이라고 한다)에 위치하는 진동 센서(2)를 대기 높이로부터 제 1 측정 위치(이하 제 1 측정(검출) 높이(A)라고 한다) 또는 제 1 측정 높이보다 낮은 제 2 측정 위치(이하 제 2 측정(검출) 높이(B)라고 한다)로 이동시키도록 동작하는 제 1 및 제 2 승강조작 에어 실린더(22, 23)(이하, 제 1 승강조작 에어 실린더(22)를 X스트로크 실린더라고 하고 제 2 승강조작 에어 실린더(23)를 Y스트로크 실린더라고 한다)를 포함한다. 수평이동조작 에어 실린더(21), X스트로크 실린더(22), 및 Y스트로크 실린더(23)는 스피드 컨트롤러를 각각 포함한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 수평이동조작 에어 실린더(21)는 제 1 브라켓(24)을 통하여 고정면(25)에 부착된다.
도 2에 도시한 바와 같이, X스트로크 실린더(22)는 제 2 브라켓(26)에 부착된다. 제 2 브라켓(26)은 수평이동조작 에어 실린더(21)측에 레일부(27)를 통하여 부착된다. 제 2 브라켓(26)은 수평이동조작 에어 실린더(21)에 의해 레일부(27)를 따라서 수평방향으로 움직이며 Y스트로크 실린더(23)를 상하로 움직이는 역할을 한다.
Y스트로크 실린더(23)는 제 3 브라켓(28)에 부착된다. 제 3 브라켓(28)은 X스트로크 실린더(22)의 로드(22a)의 하단부에 부착되어 로드(22a)의 움직임을 따른다.
Y스트로크 실린더(23)의 로드(23a)의 하측부에는 상하이동 플레이트(29)가 부착된다. 센서 홀더(3) 및 진동 센서(2)는 로드(23a)의 하측부보다 낮게 위치하는 로드(23a)의 선단에 부착된다. 제 3 브라켓(28)에는 하이드로 스피드 컨트롤러(이하 하이드로 스피콘이라고 한다)가 부착된다. 또한 상하이동 플레이트(29)에는 하이드로 스피콘(30)을 조작하는 스피콘 도그(31)가 마련되어 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, Y스트로크 실린더(23)의 스트로크량(Y)은 대기 위치로부터 제 1 측정(검출) 높이까지의 거리에 해당하는 거리로서 결정되고, X스트로크 실린더(22)의 스트로크량(X)은 제 1 측정(검출) 높이(A)로부터 제 2 측정(검출) 높이(B)까지의 거리에 해당하는 길이로서 결정된다.
다음으로, 진동 측정 장치(1)의 동작을 설명한다. 진동 계측이 실시되기 전, 진동 센서(2)는 대기 위치에 셋트되어 있다. 진동 계측을 실시할 때, 먼저 진동 센서(2)는 수평이동조작 에어 실린더(21)에 의해 측정면(104a) 바로 위로 움직인다.
다음으로, 측정면(104a)이 제 1 측정(검출) 높이(A)에 위치하는 경우, 진동 센서(2)는 Y스트로크 실린더(23)에 의해 제 1 측정(검출) 높이로 움직인다.
진동 센서(2)를 대기 위치로부터 제 1 측정(검출) 높이(A)로 이동시키는 과정에서는, 먼저 자석(10)이 피측정물의 측정면(104a)에 부착 고정된다. 그리고 Y스트로크 실린더(23)의 로드(23a)가 하방으로 움직일 때는 센서 홀더(3)만이 자석(10)에 의해 피측정물의 측정면(104a)에 부착 고정된 진동 센서(2)에 대하여 하방으로 움직인다. 진동 센서(2)의 플랜지형 돌기(5)와 센서 홀더(3)의 돌기결합부(16)는 비접촉 상태가 되며, 위치결정핀(18)의 원추형 경사면(18a) 및 핀결합공(11)은 비접촉 상태가 된다. 그 결과, 진동 센서(2)가 센서 홀더(3)에 의한 구속에서 자유로운 상태에서 진동 계측이 실시될 수 있다.
또한, 측정면(104a)이 제 2 측정(검출) 높이(B)에 위치하는 경우, 진동 센서(2)는 X스트로크 실린더(22)를 이용하여 제 2 측정(검출) 높이(B)로 움직인다.
이 경우에는 진동 센서(2)가 대기 높이로부터 제 1 측정(검출) 높이(A)로 이동하는 것과 마찬가지로, 진동 센서(2)를 제 1 측정(검출) 높이(A)로부터 제 2 측정(검출) 높이(B)로 이동시키는 과정에서 먼저 자석(10)이 피측정물의 측정면(104a)에 부착 고정된다. 그리고 X스트로크 실린더(22)의 로드(22a)가 하방으로 움직일 때는 센서 홀더(3)만이 자석(10)에 의해 피측정물의 측정면(104a)에 부착 고정된 진동 센서(2)에 대하여 하방으로 움직인다. 진동 센서(2)의 플랜지형 돌기(5)와 센서 홀더(3)의 돌기결합부(16)는 비접촉 상태가 된다. 그 결과, 진동 센서(2)가 센서 홀더(3)에 의한 구속에서 자유롭게 된 상태에서 진동 계측이 실시될 수 있다. 그리고 진동 계측 완료 후에 센서 홀더(3)가 대기 위치로 상방으로 움직일 때, 경사면(18a)이 핀결합공(11)의 하단부와 접촉하므로 진동 센서(2)가 센서 홀더(3)의 중앙부로 복귀한다. 따라서 진동 계측중에 발생하는 진동 센서(2)의 변위가 보정되며, 진동 센서(2)가 다음의 진동 계측을 대기하게 된다. 추가로 본 실시형태에서는 경사면(18a)이 위치결정핀(18)의 하단부상에 마련되어 있다. 그러나 본 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있도록 경사면은 핀결합공(11)의 하단부에 마련될 수 있다.
1: 진동 계측 장치
2: 진동 센서
3: 센서 홀더
4: 센서 접촉/분리 기구
5: 플랜지형 돌기
6: 센서 본체
7: 진동 계측 소자
8: 커넥터
8a: 커넥터에 연결된 하네스
9: 프로브 플레이트
10: 자석
11: 핀결합공
12, 13: 한 쌍의 홀더 본체부
14: 연결부
15: 오목홈부
16: 돌기결합부
17: 개구부
18: 위치결정핀
21: 수평이동조작 에어 실린더
22: 제 1 승강조작 에어 실린더(X스트로크 에어 실린더)
23: 제 2 승강조작 에어 실린더(Y스트로크 에어 실린더)

Claims (8)

  1. 진동 센서, 상기 진동 센서가 선단부에 결합되어 진동 센서가 상하방으로 움직일 수 있도록 진동 센서를 고정하는 센서 홀더, 및 상기 센서 홀더를 통하여 진동 센서를 피측정물의 측정면에 접촉/분리시키도록 동작하는 센서 접촉/분리 기구를 포함하며,
    상기 진동 센서는 그 상측면에 플랜지형 돌기 및 프로브 플레이트를 포함하고 그 하측면에 자석을 포함하며, 상기 프로브 플레이트는 진동 계측 소자를 포함하며,
    상기 센서 홀더는 진동 센서의 하단부에 배치된 자석이 통과하여 돌출하는 개구부와, 상기 진동 센서의 플랜지형 돌기의 하측면과 결합 가능한 돌기결합부를 포함하며, 상기 개구부 및 돌기결합부는 센서 홀더의 하단부측에 배치되며,
    상기 센서 접촉/분리 기구는 진동 센서가 제 1 측정 위치보다 낮은 제 2 측정 위치로 이동하게 동작하는 제 1 승강조작 실린더, 및 진동 센서가 대기 위치로부터 제 1 측정 위치로 이동하게 동작하는 제 2 승강조작 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 센서 홀더는 복수의 부분으로 분할되며, 상기 복수의 부분의 상단부는 연결부에 의해 서로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 진동 센서의 플랜지형 돌기와 상기 센서 홀더의 돌기결합부 가운데 하나는 위치결정핀을 가지고, 상기 진동 센서의 플랜지형 돌기와 상기 센서 홀더의 돌기결합부 가운데 다른 하나는 상기 위치결정핀에 결합되는 핀결합공을 가지며,
    상기 위치결정핀은 그 하단부에 경사면을 갖고, 경사면은 진동을 계측할 때 위치결정핀이 핀결합공의 하단부와 분리되게 하고 진동 계측의 완료 후에 센서 홀더가 상방으로 움직일 때 핀결합공의 하단부와 접촉하여 진동 센서가 센서 홀더의 중앙부에 위치하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서, 진동 센서가 제 2 승강조작 실린더에 의해 제 1 측정 위치로 이동한 후, 진동 센서는 제 1 승강조작 실린더에 의해 제 2 승강조작 실린더와 함께 이동하여 제 2 측정 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 진동 계측 장치.
  7. 삭제
  8. 진동 센서, 상기 진동 센서가 선단부에 결합되어 상하방으로 움직일 수 있도록 상기 진동 센서를 고정하는 센서 홀더, 및 상기 진동 센서가 상기 센서 홀더를 통해 피측정물의 측정면에 접촉 및 분리되게 동작하는 센서 접촉/분리 기구를 포함하며,
    상기 진동 센서는 그 상측면에 플랜지형 돌기 및 프로브 플레이트를 포함하고 그 하측면에 자석을 포함하며, 상기 프로브 플레이트는 진동 계측 소자를 포함하며,
    상기 센서 홀더는 상기 진동 센서의 하단부에 배치된 자석이 통과하여 돌출하는 개구부, 및 상기 진동 센서의 플랜지형 돌기의 하측면과 결합 가능한 돌기결합부를 포함하며, 상기 개구부와 상기 돌기결합부는 상기 센서 홀더의 하단부측에 배치되며,
    상기 센서 접촉/분리 기구는 진동 센서가 제 1 측정 위치보다 낮은 제 2 측정 위치로 이동하게 동작하는 제 1 승강조작 실린더, 및 진동 센서가 대기 위치로부터 제 1 측정 위치로 이동하게 동작하는 제 2 승강조작 실린더를 포함하는 진동 계측 장치를 이용하여 피측정물의 측정면의 진동을 계측하는 진동 계측 방법으로서,
    상기 진동 센서의 플랜지형 돌기와 센서 홀더의 돌기결합부를 결합시켜서 진동 센서가 센서 홀더로부터 떨어지는 것을 방지하는 단계;
    센서 접촉/분리 기구에 의해 센서 홀더를 피측정물의 측정면 쪽으로 이동시켜서 먼저 자석을 측정면에 부착시키고 진동 센서를 측정면과 접촉시키는 단계;
    센서 홀더를 측정면측으로 이동시켜서 센서 홀더만을 하강시키고 진동 센서의 플랜지형 돌기와 센서 홀더의 돌기결합부를 서로 분리시키는 단계;
    측정면의 진동을 계측하는 단계를 포함하며,
    상기 센서 접촉/분리 기구가 상기 진동 센서를 이동시킬 때 상기 제 2 승강조작 실린더의 동작으로 상기 제 1 측정 위치로 이동시키고, 상기 제 1 승강조작 실린더의 동작으로 상기 제 1 측정 위치보다 낮은 상기 제 2 측정 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 진동 계측 방법.
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