JP3202344U - プローブ - Google Patents
プローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3202344U JP3202344U JP2015005868U JP2015005868U JP3202344U JP 3202344 U JP3202344 U JP 3202344U JP 2015005868 U JP2015005868 U JP 2015005868U JP 2015005868 U JP2015005868 U JP 2015005868U JP 3202344 U JP3202344 U JP 3202344U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diameter
- coil spring
- compression coil
- conductive
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
【課題】本考案は、簡単に製造且つ組み付けられるプローブを提供する。【解決手段】測定装置に取付けられて被測定物に接触して前記被測定物と前記測定装置とを電気的に接続させることにより、前記測定装置に前記被測定物の電気特性を測定させるためのプローブであって、前記測定装置と電気的に接続するように前記測定装置に取付けられることができ、且つ所定の方向Aに沿って略柱状に延伸するように構成されている導電部3と、導電部3と電気的に接続し、且つ所定の方向Aに沿って略円管状に延伸するように導電部3に取付けられていると共に、前記被測定物に接触することができる圧縮コイルばね2と、を具え、導電部3と圧縮コイルばね2との少なくともいずれか一つに、他の一つに取付けられるための変形加工部が形成されていることを特徴とするプローブ。【選択図】図2
Description
本考案はプローブに関し、特にLSIチップなどの電子部品の電気特性を測定する測定装置に用いられるプローブに関する。
製造上の不良を含む可能性を持つLSIチップを、最終製品であるLSIのパッケージに組み立ててからテストを行い不良品を排除したのでは、捨てるパッケージのコスト分が全て無駄となるので、LSIチップ製造業界では不良LSIチップを早期に排除することを目的として、パッケージ組み立て前にあらかじめウェーハ検査が実施される。
ウェーハ検査は、LSIチップをテストするための電気的信号をLSIチップに印加し、LSIチップからの出力応答を受けて良品の場合の期待値と比較判断し、良否判定やクラス分けを行う測定装置が使用されているが、ウェーハのサイズや半導体集積回路の回路規模により、ウェーハ上に形成された数百から数千個にも登るLSIチップを全て検査しなければならないので、測定装置には、例えば図1に示されるプローブが数百本〜1万本以上取付けられている。
図1に示されるプローブは、被測定物としてのLSIチップに接触することにより、該測定装置と電気的に接続して該被測定物の電気特性を測定するものであり、図示のように、第1の接触部11と、第2の接触部12と、両端それぞれが第1の接触部11と第2の接触部12とに電気的に接続されているバネ13と、を備える。そしてこのようなプローブは、第1の接触部11を測定装置に取り付け、第2の接触部12及びバネ13を被測定物の隙間や穴に通すことにより、第2の接触部12を該被測定物に接触させて該被測定物の電気特性を測定することができる。この際に、バネ13は圧縮されるので、被測定物に接触することにより生じる衝撃力を緩衝して被測定物が破壊される可能性を減らすことができる。
しかし、上記のように、このような従来のプローブは、LSIチップの電気特性を測定するためのものであるので、測定装置に多数取付けられるだけでなく、プローブ自体が微細化されている上、プローブとプローブとの間の間隔も15〜25μm程度しかない。
従って、このように第1の接触部11と、第2の接触部12と、バネ13との3つの部品により構成されるプローブの微細化に際し、部品の製造が困難になるだけでなく、3つの部品を組み付けする工程も難しくなる上、1つの測定装置に使用される数百本〜1万本のプローブを製造する場合、コストは更に跳ね上がる。
上記問題点に鑑みて、本考案は、従来のプローブより製造及び組み立て工程が簡単化されるプローブの提供を目的とする。
上記目的を達成すべく、本考案は、測定装置に取付けられて被測定物に接触して前記被測定物と前記測定装置とを電気的に接続させることにより、前記測定装置に前記被測定物の電気特性を測定させるためのプローブであって、前記測定装置と電気的に接続するように前記測定装置に取付けられることができ、且つ所定の方向に沿って略柱状に延伸するように構成されている導電部と、前記導電部と電気的に接続し、且つ前記所定の方向に沿って前記導電部から更に延伸するように前記導電部に取付けられていると共に、前記被測定物に接触することができるように略円管状に構成された圧縮コイルばねと、を具え、前記導電部と前記圧縮コイルばねとにおける一つに、他の一つに取付けられるための変形加工部が形成されていることを特徴とするプローブを提供する。
上記構成により、本考案は、導電部と圧縮コイルばねとの2つの部品のみで構成されるので、微細化されたプローブを多数生産する場合では、生産に必要な部品の数を著しく減らすことができる上、組み立てに必要な工程数及び時間を節約することができる。従って、本考案のプローブは従来のプローブより製造及び組み立て工程が簡単化されるので、特にウェーハ上に形成された多数のLSIチップに対して行われるウェーハ検査において使用されるLSIテスタのプローブカードに取付けられるプローブに適用することにより、その製造コストを著しく節約することができる。
以下では各図面を参照しながら、本考案の各実施形態について詳しく説明する。
図2は本考案のプローブの第1の実施形態の断面図であり、図3は上記第1の実施形態を使用する状態を示す断面図である。
本考案のプローブの第1の実施形態は、図3に示されるように、測定装置(図示せず)に取付けられて被測定物9に接触して被測定物9と前記測定装置とを電気的に接続させることにより、前記測定装置に被測定物9の電気特性を測定させるためのものである。
該プローブは、図2及び図3に示されるように、前記測定装置と電気的に接続するように前記測定装置に取付けられることができ、且つ所定の方向Aに沿って略柱状に延伸するように構成されている導電部3と、導電部3と電気的に接続し、且つ所定の方向Aに沿って導電部3から更に延伸するように導電部3に取付けられていると共に、被測定物9に接触することができるように略円管状に構成された圧縮コイルばね2と、を具え、導電部3と圧縮コイルばね2との少なくともいずれか一つに、他の一つに取付けられるための変形加工部が形成されている。
この実施形態においては、導電部3と圧縮コイルばね2との両方に前記変形加工部が形成されている。
圧縮コイルばね2は、前記変形加工部が形成されることによって、取付け空間200を画成すると共に、第1の直径を有する第1の径部21と、前記第1の直径より長い第2の直径を有する第2の径部22と、第1の径部21と第2の径部22との間に介在し、所定の方向Aに沿って、直径が前記第1の直径から前記第2の直径になるまで段々長くなるように形成された直径増大部23と、が構成されて略円管状に延伸している。
導電部3は、中空の柱状に形成されていると共に、前記変形加工部が形成されることによって、圧縮コイルばね2の第1の径部21により囲まれるように取付け空間200内に挿し込まれている直柱部31と、圧縮コイルばね2の直径増大部23に対応して、直柱部31から直径が段々長くなるように形成されて直径増大部23に当接することにより導電部3の圧縮コイルばね2に対する第1の径部21側への更なる移動を制限する第1の制限部32と、直柱部31における第1の制限部32の反対側にあって直柱部31から直径が段々長くなるように形成され、第1の径部21の直径増大部23から離れた端部に当接することにより、導電部3の圧縮コイルばね2に対する第2の径部22側への更なる移動を制限するように構成されている第2の制限部33と、が構成されている。
また、導電部3の第1の制限部32の所定の方向Aにおける長さは、圧縮コイルばね2の直径増大部23及び第2の径部22が限界まで圧縮される際の所定の方向Aにおける長さより短くなっている。
上記の構成によれば、本考案のプローブは、図3に示されるように、第2の制限部33が第1の径部21の直径増大部23から離れた端部に当接し、且つ第1の制限部32が直径増大部23に当接することにより、導電部3の圧縮コイルばね2に対する移動が制限されて、導電部3と圧縮コイルばね2とが互いに取り付けられている。従って、本考案のプローブは2つの部品により構成されるので、微細化されたプローブを多数生産する場合では、本考案のプローブは生産に必要な部品の数を著しく減らすことができる上、組み立てに必要な工程数及び時間を節約することができる。従って、本考案のプローブは従来のプローブより製造及び組み立て工程が簡単化されるので、特にウェーハ上に形成された多数のLSIチップに対して行われるウェーハ検査において使用されるLSIテスタのプローブカードに取付けられるプローブに適用することにより、その製造コストを著しく節約することができる。
なお、従来のプローブで電子部品の電気特性を測定する際に、電気信号はバネ13(図1)の螺旋を経由した後、測定装置に伝達するので、電気信号の経路がプローブの長さより遥かに長く、電気信号が経路で減衰して、測定結果の精確性が下がるという欠点がある。本考案のプローブで電子部品の電気特性を測定する場合には、図3に示されるように、圧縮コイルばね2の第2の径部22の先端が被測定物9に接触した際、被測定物9により生じた電気信号が第2の径部22に進入し、該電気信号は第2の径部22を経由して直径増大部23に到達すると、直径増大部23に当接する導電部3の第1の制限部32に進入して柱状の導電部3に沿って、測定装置に伝達される。電気信号は長さがプローブとほぼ同じである導電部3に沿って測定装置に伝達されることにより、従来の電気信号の経路が長すぎることにより電気信号が経路で減衰して、測定結果の精確性が下がるという欠点を解消できる。
また、先端が被測定物9に接触しながら第2の径部22が限界まで圧縮されると、被測定物9により生じた電気信号が第2の径部22のコイルに沿わずに、直線距離に沿って直径増大部23まで移動できるので、電気信号の経路が更に短縮できて、測定結果の精確性を更に向上できる。
図4は本考案のプローブの第2の実施形態の断面図である。
本考案のプローブの第2の実施形態については、上記第1の実施形態と類似する構成を有するので、ここでは詳しい説明を省略し、その相違点のみを説明する。
この第2の実施形態は、前記変形加工部が形成されることによって、導電部3には、直柱部31の周面から、圧縮コイルばね2の第1の径部21のコイルの隙間に嵌め込むことにより、導電部3の圧縮コイルばね2に対する第1の径部21側への移動及び第2の径部22側への移動を阻止することができる固定突起部311が更に形成されている。
固定突起部311により、圧縮コイルばね2が更に安定に導電部3に取り付けられる。
図5は本考案のプローブの第3の実施形態の断面図である。
本考案のプローブの第3の実施形態は、図5に示されるように、導電部3と圧縮コイルばね2とにより構成されている。
導電部3は、中空の柱状に形成されていると共に、前記変形加工部が形成されることによって、圧縮コイルばね2を囲むように収容することができる設置空間300を画成すると共に、その内周面に設置空間300に向かって環状に突起する内突起部34が形成されている。
圧縮コイルばね2には、前記変形加工部が形成されることによって、導電部3と電気的に接続し、且つ第1の直径で導電部3に対する第1の径部21側への移動及び第2の径部22側への移動が制限されるように、環状に形成された内突起部34に挟まれて導電部3の設置空間300に収容されている第1の径部21と、前記第1の直径より長い第2の直径を有すると共に、設置空間300外に露出している第2の径部22と、第1の径部21と第2の径部22との間に介在し、所定の方向Aに沿って、直径が前記第1の直径から前記第2の直径になるまで段々長くなるように形成されていると共に、導電部3の第2の径部22に面する端部と当接している直径増大部23と、第1の径部21における第2の径部22の反対側にあって第1の径部21から直径が段々長くなるように形成されていると共に、内突起部34に当接して導電部3に対する第2の径部22側への移動を制限することができるように構成されている大径部24と、が構成されて略円管状に延伸している。
この実施形態の構成によれば、圧縮コイルばね2の第1の径部21が環状に形成された内突起部34に挟まれることにより、導電部3と圧縮コイルばね2とが互いに取り付けられている。圧縮コイルばね2は導電部3に対して大径部24側へ移動すると、導電部3の内突起部34が圧縮コイルばね2の直径増大部23に当接して、該移動を阻止することができる。また、圧縮コイルばね2は導電部3に対して第2の径部22側へ移動すると、導電部3の内突起部34が圧縮コイルばね2の大径部24に当接して、該移動を阻止することができる。
図6は本考案のプローブの第4の実施形態の断面図である。
本考案のプローブの第4の実施形態は、図6に示されるように、導電部3と圧縮コイルばね2とにより構成されている。
圧縮コイルばね2は、前記変形加工部が形成されることによって、取付け空間200を画成すると共に、第1の直径を有する第1の径部21と、前記第1の直径より長い前記第2の直径を有する第2の径部22と、第1の径部21と第2の径部22との間に介在し、所定の方向Aに沿って、直径が前記第1の直径から前記第2の直径になるまで段々長くなるように形成された直径増大部23と、が構成されて略円管状に延伸している。
導電部3は、中実の柱状に形成されていると共に、前記変形加工部が形成されることによって、第1の径部21により囲まれるように取付け空間200内に挿し込まれていると共に、第1の径部21の内周面に臨む表面に外突起部35が第1の径部21を変形させるように突出して導電部3の圧縮コイルばね2に対する第1の径部21側への移動及び第2の径部22側への移動を制限している。
本考案は上記各実施形態に限定されず、本考案の主旨に反しない範囲内において様々な変更を加えることが可能である。例えば導電部3の構成は上記各実施形態に開示されたものだけでなく、例えば表面に圧縮コイルばね2を受入れて収容することができる収容溝や、圧縮コイルばね2を引き止めることができるフック部などを変形加工部として形成することもできる。即ち、本考案の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
本考案のプローブは、測定装置に取付けられて被測定物に接触して被測定物の電気特性を測定することに好適であり、特にウェーハ上に形成された多数のLSIチップに対して行われるウェーハ検査において使用されるLSIテスタのプローブカードに取付けられるプローブに適用することに好適である。
2 圧縮コイルばね
200 取付け空間
21 第1の径部
22 第2の径部
23 直径増大部
24 大径部
3 導電部
300 設置空間
31 直柱部
311 固定突起部
32 第1の制限部
33 第2の制限部
34 内突起部
35 外突起部
9 被測定物
A 所定の方向
200 取付け空間
21 第1の径部
22 第2の径部
23 直径増大部
24 大径部
3 導電部
300 設置空間
31 直柱部
311 固定突起部
32 第1の制限部
33 第2の制限部
34 内突起部
35 外突起部
9 被測定物
A 所定の方向
Claims (10)
- 測定装置に取付けられて被測定物に接触して前記被測定物と前記測定装置とを電気的に接続させることにより、前記測定装置に前記被測定物の電気特性を測定させるためのプローブであって、
前記測定装置と電気的に接続するように前記測定装置に取付けられることができ、且つ所定の方向に沿って略柱状に延伸するように構成されている導電部と、
前記導電部と電気的に接続し、且つ前記所定の方向に沿って前記導電部から更に延伸するように前記導電部に取付けられていると共に、前記被測定物に接触することができるように略円管状に構成された圧縮コイルばねと、
を具え、
前記導電部と前記圧縮コイルばねとの少なくともいずれか一つに、他の一つに取付けられるための変形加工部が形成されていることを特徴とする、
プローブ。 - 前記変形加工部が前記圧縮コイルばねに形成されることによって、前記圧縮コイルばねは前記所定の方向に沿って、第1の直径を有する第1の径部と、前記第1の直径と異なる第2の直径を有する第2の径部とを有するよう構成されていることを特徴とする、請求項1に記載プローブ。
- 前記導電部は、中空の柱状に形成されていることを特徴とする、請求項2に記載のプローブ。
- 前記圧縮コイルばねは、取付け空間を画成すると共に、前記第1の径部と、前記第1の直径より長い前記第2の直径を有する前記第2の径部と、前記第1の径部と前記第2の径部との間に介在し、前記所定の方向に沿って、直径が前記第1の直径から前記第2の直径になるまで段々長くなるように形成された直径増大部とが形成されて略円管状に延伸しており、
前記導電部には、前記第1の径部により囲まれるように前記取付け空間内に挿し込まれている、直柱部と、前記圧縮コイルばねの前記直径増大部に対応して、前記直柱部から直径が段々長くなるように形成されて前記直径増大部に当接することにより前記導電部の前記圧縮コイルばねに対する前記第1の径部側への更なる移動を制限する第1の制限部とが形成されていることを特徴とする、請求項2または3に記載のプローブ。 - 前記導電部には、前記直柱部における前記第1の制限部の反対側にあって前記直柱部から直径が段々長くなるように形成されている第2の制限部が更に形成されており、
前記第2の制限部は、前記第1の径部の前記直径増大部から離れた端部に当接し、前記導電部の前記圧縮コイルばねに対する前記第2の径部側への更なる移動を制限するように構成されていることを特徴とする、請求項4に記載のプローブ。 - 前記導電部の前記第1の制限部の前記所定の方向における長さは、前記圧縮コイルばねの前記直径増大部及び前記第2の径部が限界まで圧縮された際の前記所定の方向における長さより短くなっていることを特徴とする、請求項4または5に記載のプローブ。
- 中空の柱状に形成されている前記導電部は、前記圧縮コイルばねを囲むように収容することができる設置空間を画成すると共に、その内周面に前記設置空間に向かって環状に突起する内突起部が形成されており、
前記圧縮コイルばねは、前記導電部と電気的に接続し、且つ前記導電部に対する前記第1の径部側への移動及び前記第2の径部側への移動が制限されるように、環状に形成された前記内突起部に挟まれて前記導電部の前記設置空間に収容されている前記第1の径部と、前記第1の直径より長い前記第2の直径を有すると共に、前記設置空間外に露出している前記第2の径部と、前記第1の径部と前記第2の径部との間に介在し、前記所定の方向に沿って、直径が前記第1の直径から前記第2の直径になるまで段々長くなるように形成されていると共に、前記導電部の前記第2の径部に面する端部と当接している直径増大部とが形成されて略円管状に延伸していることを特徴とする、請求項3に記載のプローブ。 - 前記圧縮コイルばねには、前記第1の径部における前記第2の径部の反対側にあって前記第1の径部から直径が段々長くなるように形成されていると共に、前記内突起部に当接して前記導電部に対する前記第2の径部側への移動を制限する大径部が更に構成されていることを特徴とする、請求項7に記載のプローブ。
- 前記圧縮コイルばねは、取付け空間を画成すると共に、前記第1の径部と、前記第1の直径より長い前記第2の直径を有する前記第2の径部と、前記第1の径部と前記第2の径部との間に介在し、前記所定の方向に沿って、直径が前記第1の直径から前記第2の直径になるまで段々長くなるように形成された直径増大部と、が構成されて略円管状に延伸しており、
前記導電部は、前記第1の径部により囲まれるように前記取付け空間内に挿し込まれていると共に、前記第1の径部の内周面に臨む表面に外突起部が前記第1の径部を変形させるように突出して前記導電部の前記圧縮コイルばねに対する前記第1の径部側への移動及び前記第2の径部側への移動を制限していることを特徴とする、請求項2に記載のプローブ。 - 前記導電部の周面には、前記圧縮コイルばねの前記第1の径部のコイルの隙間に嵌め込むことにより、前記導電部の前記圧縮コイルばねに対する前記第1の径部側への移動及び前記第2の径部側への移動を阻止することができる固定突起部が更に形成されていることを特徴とする、請求項4〜9のいずれか一項に記載のプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015005868U JP3202344U (ja) | 2015-11-18 | 2015-11-18 | プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015005868U JP3202344U (ja) | 2015-11-18 | 2015-11-18 | プローブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3202344U true JP3202344U (ja) | 2016-01-28 |
Family
ID=55176310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015005868U Expired - Fee Related JP3202344U (ja) | 2015-11-18 | 2015-11-18 | プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3202344U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020091115A (ja) * | 2018-12-03 | 2020-06-11 | 株式会社エンプラス | コンタクトピンおよびソケット |
-
2015
- 2015-11-18 JP JP2015005868U patent/JP3202344U/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020091115A (ja) * | 2018-12-03 | 2020-06-11 | 株式会社エンプラス | コンタクトピンおよびソケット |
JP7274853B2 (ja) | 2018-12-03 | 2023-05-17 | 株式会社エンプラス | コンタクトピンおよびソケット |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101985253B1 (ko) | 전기적 접촉자 및 전기적 접속장치 | |
KR101415722B1 (ko) | 콘택트 프로브 및 프로브 유닛 | |
JP6711469B2 (ja) | プローブ | |
JP6317270B2 (ja) | 電気的接続装置およびポゴピン | |
US10948519B2 (en) | Probe | |
US10418292B2 (en) | Manufacturing method of semiconductor device, inspection device of semiconductor device, and semiconductor device | |
JP6625869B2 (ja) | 検査プローブおよびプローブカード | |
JP6553472B2 (ja) | コンタクタ | |
TW201827836A (zh) | 用於測試安裝部件的晶片的混合探針卡 | |
JP2007198835A (ja) | 高周波特性測定治具 | |
US20140266278A1 (en) | Probe needle | |
KR20150041591A (ko) | 검사용 지그, 전극부, 프로브, 및 검사용 지그의 제조 방법 | |
KR101552553B1 (ko) | 검사장치용 컨택트 프로브 | |
JP3202344U (ja) | プローブ | |
KR101577396B1 (ko) | 전기 단자 테스트용 컨택 핀 | |
KR20180060565A (ko) | 계측용 프로브핀 | |
TWI686611B (zh) | 接觸具組 | |
KR102393628B1 (ko) | 테스트 핀 | |
KR101500609B1 (ko) | 검사장치 | |
WO2018181273A1 (ja) | プローブ、プローブユニット、およびプローブユニットを備える半導体検査装置 | |
KR101544499B1 (ko) | 검사장치 | |
KR100679663B1 (ko) | 반도체 디바이스 테스트 소켓 | |
KR101399542B1 (ko) | 프로브 카드 | |
KR101646628B1 (ko) | 반도체 패키지 검사용 소켓 및 그 제조방법 | |
KR101907270B1 (ko) | 프로브 회전 방지 기능을 구비한 수직형 프로브 모듈 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3202344 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |