KR101622509B1

KR101622509B1 - 필름 시트 오려냄 장치 및 오려냄 방법

Info

Publication number: KR101622509B1
Application number: KR1020150009825A
Authority: KR
Inventors: 히로키 오와리; 준코 다카다
Original assignee: 토와 가부시기가이샤
Priority date: 2014-01-21
Filing date: 2015-01-21
Publication date: 2016-05-18
Also published as: JP6212399B2; TW201532769A; CN104795309A; CN104795309B; KR20150087137A; JP2015137157A; TWI551415B

Abstract

[과제] 장척 필름으로부터 필름 시트를 오려낸 후의 잔부 필름을 적절히 처리하는 것에 의해, 정확한 형상의 필름 시트를 얻는 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
[해결 수단] 그립(42)에 의해 롤 모양으로 감겨진 장척 필름(F)의 선단을 잡고, 그립 이동 기구(43)에 의해 해당 선단의 소정 길이의 부분을 오려냄용 기대(51) 상에 재치하며, 오려냄 기구(55)에 의해 필름 시트를 오려낸다. 필름 시트가 오려내어진 후의 장척 필름을, 재단 칼날(62)에 의해 상기 부분의 경계에서 재단하고, 재단된 장척 필름인 잔부 필름(Fr)을, 반송 롤러쌍(61)에 의해 반대 방향으로 반송하여 오려냄용 기대(51)로부터 취출하여, 잔부 필름의 폭에 대응하는 가로폭과 좁은 세로폭을 가지는 수납구(75)로부터 흡인 장치(73)를 구비한 흡인 수용부(70)로 받아 들인다.

Description

필름 시트 오려냄 장치 및 오려냄 방법{APPARATUS AND METHOD FOR CLIPPING FILM SHEET}

본 발명은, 반도체 칩 등의 전자 부품을 수지(樹脂) 씰링할 때, 특히 압축 성형을 위해서 과립상(狀), 분말상, 페이스트상, 액상 등의 수지 재료(이하, 이들을 총칭하여 간단히 「수지 재료」라고 함)를 성형형(型)의 캐비티에 공급할 때에 이용하는 이형(離型) 필름 시트를 장척(長尺) 필름으로부터 오려내기 위한 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

전자 부품의 박형화에 따라, 압축 성형이 이용되도록 되어 오고 있다. 압축 성형에서는, 이형 필름 시트에 의해 피복한 하형(下型)의 캐비티에 수지 재료를 공급하고, 해당 수지 재료를 가열 용융하여, 상형(上型)에 장착한, 전자 부품을 장착한 기판을 해당 용융 수지에 침지시킨 후, 하형과 상형을 체결함으로써 해당 수지를 압축하여 성형이 행해진다. 이러한 압축 성형에서는, 대형의 기판의 전체에 걸쳐서 결함이 없는 성형을 행하기 위해서는, 캐비티에 소정량의 수지 재료를 균일하게 과부족 없이 공급하는 것이 중요하게 된다.

특허 문헌 1에는, 캐비티에 과립상 수지(R)를 균일한 두께로 과부족 없이 공급하는 방법이 다음과 같이 기재되어 있다(도 1 참조). 먼저, 하형(18)의 캐비티(18a)의 개구에 대응한 형상의 개구를 상하에 가지는 프레임틀(11)의 하부의 개구를 이형 필름 시트(12)에 의해 피복하고, 프레임틀(11)의 하면에서 흡착하여 오목 모양 수용부(13)를 제작한다(a). 이 오목 모양 수용부(13)를 재치대(14)에 얹고, 피더(feeder, 15)로부터 과립상 수지(R)를 이형 필름 시트(12) 상에서 균일한 두께가 되도록 공급한다(b). 그 후, 과립상 수지(R)를 수용한 오목 모양 수용부(13)를, 프레임틀(11)에 의해 둘러싸인 이형 필름 시트(12)의 부분이 캐비티(18a)의 바로 위에 오도록 하여 하형(18)의 형면(型面)에 재치하고(c), 프레임틀(11)의 하면에서의 이형 필름 시트(12)의 흡착을 해제한 후, 이형 필름 시트(12)를, 그 위에 있는 과립상 수지(R)와 함께 캐비티(18a) 내로 흡인하여 끌어 들인다(d). 이것에 의해서, 균일한 두께의 과립상 수지(R)가 캐비티(18a) 내에 공급된다. 그 후, 과립상 수지(R)를 가열 용융하고(e), 이 용융 수지(Rm)를 캐비티(18a) 내에 포함하는 하형(18)과, 전자 부품(20)을 장착한 기판(21)을, 그 장착면을 하부를 향한 상태로 장착한 상형(19)을 체결하는 것에 의해, 전자 부품(20)을 용융 수지(Rm)에 침지함과 아울러, 용융 수지(Rm)를, 수지 가압용 캐비티 저면 부재(18b)에 의해 가압한다(f). 용융 수지(Rm)가 고체화한 후에 상형(19)과 하형(18)을 개방하는 것에 의해, 전자 부품(20)의 수지 씰링 성형품이 얻어진다(g).

수지 성형하려고 하는 기판이 웨이퍼 등 원반(圓盤) 모양인 경우, 상기 방법으로 이용하기 위한 원형의 이형 필름 시트는, 공급롤로부터 인출된 장척(長尺)의 이형 필름으로부터 차례로 원형으로 오려내어져, 제작된다. 구체적으로는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 공급롤(27)로부터 권출된 이형 필름(F)은 반송 기구(22)에 의해 오려냄용 기대(基台, 23)까지 반송되고, 오려냄용 기대(23) 상에 온 시점에서 반송 기구(22)가 정지하며, 회전 절단 칼날(25)에 의해 이형 필름이 원형으로 오려내어진다. 오려내어진 이형 필름 시트는, 오려냄용 기대(23)에 마련된 시트 강하대(降下台, 24)에 의해 그대로 하부로 내려지고, 오려냄용 기대(23)으로부터 제거된다. 그리고, 반송 기구(22)가 작동하고, 오려내어진 잔부의 이형 필름(F)이 오려냄용 기대(23)로부터 권취롤(26)쪽으로 반송되며, 다음의 절단 부위가 오려냄용 기대(23) 상에 배치된다. 권취롤(26)에는 이렇게 하여, 원형으로 오려내어진 후의 이형 필름(F)(잔부 필름)이 롤 모양으로 권취된다.

[특허 문헌 1] 일본특허공개 제2010-036542호 공보

상기 종래 기술과 같이, 이형 필름 시트가 오려내어진 후의 장척의 잔부 필름을 롤 모양으로 권취한 경우, 권취된 롤의 양측단의 부분은 이형 필름이 확실히 권취되지만, 오려내어진 부분이 제각각 서로 겹치는 중앙의 부분에서는 이형 필름이 서서히 커지게 되어, 정상적으로 권취하는 것이 불가능하게 된다. 그리고, 그 영향이, 인출되어 오려냄용 기대 상에 재치되는 이형 필름에도 미쳐, 해당 이형 필름에 변형이 생기거나 주름이 잡히게 된다. 그 결과, 오려내어지는 이형 필름 시트에 변형이 생기거나, 정확한 형상으로 오려낼 수 없게 된다고 하는 문제가 생긴다. 이러한 문제는 수지 씰링 압축 성형 장치용의 이형 필름에 한정된 것이 아니라, 장척 필름으로부터 필름 시트를 오려내는 경우에 공통된 것이다.

그래서 본 발명이 해결하려고 하는 과제는, 장척 필름으로부터 필름 시트를 오려낸 후의 잔부 필름을 적절히 처리하는 것에 의해, 필름을 항상 적절한 상태로 오려내어, 변형이 없는, 정확한 형상의 필름 시트를 얻을 수 있는 필름 시트 오려냄 장치 및 오려냄 방법을 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 관한 필름 시트 오려냄 장치는, 장척(長尺) 필름으로부터 필름 시트를 오려내는 장치로서,

a) 오려냄용 기대(基台)와,

b) 장척 필름을 반송하여 그 일단의 소정 길이의 부분을 상기 오려냄용 기대 상에 재치(載置)하는 제1 반송 수단과,

c) 장척 필름의 상기 부분으로부터 필름 시트를 오려내는 오려냄 수단과,

d) 상기 필름 시트가 오려내어진 후의 장척 필름을, 상기 부분의 경계에서 절단하는 절단 수단과,

e) 오려내어지고 절단된 장척 필름인 잔부(殘部) 필름을, 제1 반송 수단과는 반대의 방향으로 반송하여 상기 오려냄용 기대로부터 취출하는 제2 반송 수단과,

f) 상기 오려냄용 기대로부터 취출된 잔부 필름을 받아 들이는, 해당 잔부 필름의 폭에 대응하는 가로폭과 좁은 세로폭을 가지는 수납구와, 흡인 장치를 구비한 흡인 수용부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 필름 시트 오려냄 장치는, 다음과 같이 동작한다. 먼저, 제1 반송 수단에 의해, 장척 필름의 일단의 소정 길이의 부분(물론, 이 부분은, 오려내려고 하는 필름 시트 보다도 큼)이 오려냄용 기대 상에 재치된다. 그리고, 이 오려냄용 기대 상에서, 오려냄 수단에 의해 필름 시트가 오려내어진다. 여기에서의 오려냄은 그 수단·방법을 불문하고, 커터에 의한 오려냄이라도 좋고, 타발(打拔)에 의한 오려냄이라도 괜찮다. 오려내어진 필름 시트는, 별도로 마련된 수단에 의해 오려냄용 기대로부터 취출된다.

다음으로 절단 수단은, 목적의 필름 시트가 오려내어진 장척 필름을, 상기 부분과 다음의 부분의 경계에서 절단한다. 상기 부분은 오려냄용 기대 상에 재치되어 있는 부분이므로, 이 경계는, 오려냄용 기대의 단부 또는 약간 외측이 된다. 제2 반송 수단은, 이렇게 하여 오려내어지며, 절단되어 짧게 된 장척 필름(잔부 필름)을, 상기 제1 반송 수단의 반송 방향과는 반대 방향(즉, 되돌아오는 방향)으로 반송하여 오려냄용 기대로부터 취출한다. 취출된 잔부 필름은, 선두(先頭)가, 절단 수단에 의해 절단된 단부로 되어 있다. 잔부 필름은, 이 절단 단부로부터 흡인 수용부의 수납구로 들어가지만, 여기서 이 흡인 수용부는 흡인 장치를 구비하고 있기 때문에, 잔부 필름은 세로폭이 좁은 수납구에서 흡인에 의해 형성되는 공기의 층류에 의해 그 수납구의 벽면 등에 접촉하지 않고, 스무스(smooth)하게 흡인 수용부 내로 들어간다. 얇은 필름은, 재질에 따라서는 반송시의 마찰에 의해 정전기를 일으켜, 좁은 입구로부터 들어갈려고 하면 입구의 주위의 벽면에 부착하여 재밍(jamming)을 일으키는 경우가 많지만, 본 발명에 관한 필름 시트 오려냄 장치에서는, 흡인 수용부가 수납구로부터 공기를 흡인하면서 잔부 필름을 받아 들이기 때문에, 상기와 같이 공기의 층류에 의해 그러한 벽면으로의 부착이 방지되어, 스무스한 수납이 가능하게 되어 있다.

본 발명에 관한 필름 시트 오려냄 장치에 있어서, 제1 반송 수단은, 장척 필름의 선단을 파지하여 오려냄용 기대 상으로 끌어 들이는 그립으로 할 수 있고, 제2 반송 수단은, 잔부 필름을 2개의 롤러 사이에 끼워 상기 그립과는 반대 방향으로 반송하는 반송 롤러쌍으로 할 수 있다. 여기서, 제2 반송 수단의 반송 롤러쌍 중, 상부의 롤러는, 제1 반송 수단의 그립이 장척 필름을 반송할 때에 방해가 되지 않도록, 상부로 이동 가능하게 해 둔다.

그리고, 제2 반송 수단의 반송 롤러쌍 중 상부의 롤러에는, 잔부 필름을 반송하기 위해서 하부로 내려 왔을 때에 잔부 필름의 선단(즉, 상기의 절단 단부)이 상기 수납구에 잘 들어가도록, 필름 가이드(상부 필름 가이드)가 마련되어 있는 것이 바람직하다.

마찬가지로, 제2 반송 수단의 반송 롤러쌍 중 하부의 롤러에도, 잔부 필름의 선단(상기 절단 단부)이 상기 수납구에 들어갈 때에 하부의 롤러에 감겨 너무 돌지 않도록 하기 위한 필름 가이드(하부 필름 가이드)가 마련되어 있는 것이 바람직하다.

상기 흡인 수용부의 내부에 있어서는, 수납구의 하부에 잔부 필름을 다수 수용하기 위한 수용부를 마련하고, 상기 흡인 장치는 그 수용부 보다도 상부의, 해당 수납구로부터 낙하하여 오는 잔부 필름의 낙하 통로에 간섭하지 않는 위치에 마련해 두는 것이 바람직하다.

상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 관한 필름 시트 오려냄 방법은, 장척 필름으로부터 필름 시트를 오려내는 방법으로서,

a) 장척 필름을 반송하여 그 일단의 소정 길이의 부분을 오려냄용 기대 상에 재치하는 제1 반송 스텝과,

b) 장척 필름의 상기 부분으로부터 필름 시트를 오려내는 오려냄 스텝과,

c) 상기 필름 시트가 오려내어진 후의 장척 필름을, 상기 부분의 경계에서 절단하는 절단 스텝과,

d) 오려내어지고 절단된 장척 필름인 잔부 필름을, 제1 반송 스텝과는 반대의 방향으로 반송하여 상기 오려냄용 기대로부터 취출하는 제2 반송 스텝과,

e) 상기 오려냄용 기대로부터 취출된 잔부 필름을, 해당 잔부 필름의 폭에 대응하는 가로폭과 좁은 세로폭을 가지는 수납구와, 흡인 장치를 구비한 흡인 수용부에서 받아 들이는 폐재(廢材) 수용 스텝을 가지는 것을 특징으로 한다.

이 본 발명에 관한 필름 시트 오려냄 방법에서는, 오려냄 스텝 후에 절단 스텝을 행하는 편이, 필름 시트를 오려낼 때에 장척 필름에 텐션이 걸리기 때문에 정확한 오려냄을 행할 수 있지만, 오려냄 스텝에서 별도의 조치 등을 강구(예를 들면, 오려낼 때에는 장척 필름을 오려냄용 기대에 흡착함)하면, 이들의 공정은 반대라도 상관없다.

본 발명에 관한 필름 시트 오려냄 장치 및 필름 시트 오려냄 방법에서는, 잔부 필름을 그대로 권취하고 있던 종래의 방법에서 생기던 오려낼 때의 필름의 변형 등의 문제가 발생하지 않고, 정확한 형상의 필름 시트의 오려냄이 가능하게 된다.

또, 잔부 필름을 장척 필름으로부터 절단해 버리고, 짧은 상태로 처리하려고 한 경우, 필름에 발생하는 정전기에 의해 잔부 필름이 거기에 접촉하는 부분에 부착하여 취급이 어렵다고 하는 문제가 생기지만, 본 발명에 관한 장치 및 방법에서는, 신규한 구조를 가지는 흡인 수용부를 이용하는 것에 의해 그러한 문제도 해결하고, 잔부 필름을 적절히 처리하여, 필름 시트 오려냄 장치 전체의 가동에 영향을 주지 않도록 하고 있다.

도 1은 종래의 압축 성형의 순서를 설명하는 개략도.
도 2의 (a)는 종래의 필름 시트 오려냄 장치의 개략 구성도, 및 (b)는 개략 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 관한 필름 시트 오려냄 장치의 개략 구성도.
도 4는 일 실시예의 흡수 수용부로 잔부 필름이 취출되는 상태를 설명하는 개략도.
도 5는 일 실시예의 필름 시트 오려냄 장치에서의 필름의 오려냄 방법을 설명하는 플로우 차트.

원형의 캐비티를 가지는 하형을 구비하는 수지 씰링 압축 성형 장치에서 사용되는 원형의 이형 필름 시트를 제작하기 위한, 본 발명에 관한 필름 시트 오려냄 장치(이하, 간단하게 「오려냄 장치」라고도 함)(30)의 일 실시예를, 도 3 및 도 4를 참조하면서 설명한다.

본 실시예의 오려냄 장치(30)는, 롤 모양으로 감겨진 이형 필름(F)을 유지하고, 그 선단을 전방으로(즉, 필름 오려냄부(50)의 쪽으로) 공급하는 필름 공급부(40)와, 이형 필름(F)으로부터 원형의 이형 필름 시트를 오려내는 필름 오려냄부(50)와, 이형 필름 시트가 오려내어진 후의 이형 필름(F)을 그 전체 폭으로 절단하여, 잔부 필름(Fr)으로서 후방으로 반송하는 잔부 반송부(60)와, 후방으로 반송된 잔부 필름(Fr)을 흡인하여 수용하는 흡인 수용부(70)와, 그들 각 부를 제어하는 제어부(80)를 구비한다.

필름 공급부(40)는, 롤 모양으로 감겨진 장척의 이형 필름(F)을 유지하는 롤 유지부(41)와, 해당 롤로부터 인출된 이형 필름(F)의 선단(전방단)을 파지하는 그립(42)과, 해당 그립(42)을, 필름 오려냄부(50)의 오려냄용 기대(51)의 표면으로부터 약간 들어 올린 위치에서 전후로 이동시키는 그립 이동 기구(43)를 구비한다.

필름 오려냄부(50)는, 오려냄용 기대(基台, 51)와, 해당 오려냄용 기대(51)의 상부에 마련된 오려냄 기구(55)와, 해당 오려냄용 기대(51)의 표면과 그 상부와의 사이에서 상하 이동 가능하게 되어 있는 오려냄 가이드(54)를 구비한다. 오려냄 기구(55)는, 상부로부터 오려냄용 기대(51)에 수직으로 수하(垂下)하는, 승강 가능하게 되어 있는 회전축(56)과, 해당 회전축(56)으로부터 수직으로(즉, 오려냄용 기대(51)에 평행하게) 연장하는 암(57)과, 해당 암(57)에 수직으로, 하부를 향해서 장착된 회전 커터(58)를 구비한다. 오려냄용 기대(51)의 상면에는, 제작하는 이형 필름(F)과 동일 직경을 가지는, 양측에 약간의 폭을 가지는 원형의 홈(52)이 마련되어 있고, 상기 회전축(56)은 이 원형의 홈(52)의 중심의 수선(垂線) 상에 마련되어 있다. 또, 상기 암(57)의 길이는, 이 원의 반경과 동일하게 되어 있다. 오려냄용 기대(51)의 상기 홈(52)의 중심선 보다도 내측의 부분은, 오려내어진 이형 필름 시트를 취출하기 위한 시트 강하대(降下台, 53)로 되어 있다. 오려냄 가이드(54)는, 오려냄용 기대(51)의 원형의 홈(52)을 사이에 두고, 그 내측과 외측의 이중 동심원의 누름구(具)로 이루어진다.

잔부 반송부(60)는, 잔부 필름(Fr)을 후방으로 반송하는 상하 2개의 반송 롤러쌍(61) 외에, 그 반송 롤러쌍(61)의 바로 후방(즉, 롤 유지부(41)측)에 마련된 재단 칼날(62)과, 해당 재단 칼날(62)을 구동하는 재단 구동 기구(63)를 포함한다. 반송 롤러쌍(61) 중 하부 롤러(61b)는, 그 상부가 상기 오려냄용 기대(51)의 상면과 거의 동일한 높이가 되도록 마련되고, 모터(64)에 의해 구동되도록 되어 있다. 상부 롤러(61a)는 롤러 승강 기구(65)에 의해 승강 가능하게 되어 있고, 하강하여 하부 롤러(61b) 상의 잔부 필름(Fr)과 접촉했을 때에 종동(從動) 회전하도록 되어 있다. 상부 롤러(61a)에는, 잔부 필름(Fr)의 단부를 아래로 누르고, 수용부의 수납구(75)로 가이드하기 위한, 하부로 굴곡하는 L자형 상부 필름 가이드(66)가 마련되어 있다. 또, 하부 롤러(61b)에는, 그 잔부 필름(Fr)의 단부가 하부 롤러(61b)의 회전에 따라서 하부 롤러(61b)에 감겨서 가지 않고, 올바르게 상기 수납구(75)에 들어가도록 가이드하기 위한 하부 필름 가이드(67)가 마련되어 있다.

흡인 수용부(70)는, 하부 롤러(61b) 보다도 후방으로서, 오려냄용 기대(51)의 상면 보다도 하부에 마련되어 있고, 절단된 잔부 필름(Fr)을 수용하는 수용 상자(71)와, 해당 수용 상자(71) 내의 공기를 흡인하는 진공 펌프(73)와, 해당 수용 상자(71)의 상부로부터 상부를 향해 연장하는 도입로(74)를 구비한다. 도입로(74)는, 하부 롤러(61b)의 후방 직하(直下)에 개구하는, 잔부 필름(Fr)의 폭(즉, 이형 필름(F)의 폭) 보다도 약간 큰 가로폭과 좁은 세로폭을 가지는 수납구(75)를 가진다. 수용 상자(71)의 하부는, 모아진 잔부 필름(Fr)을 취출할 수 있도록, 떼어낼 수 있게 되어 있다. 수용 상자(71)의 측면 상부에는 흡인구(72)가 마련되어 있고, 상기 진공 펌프(73)는 이 흡인구(72)에 접속되어 있다. 흡인구(72)는 수용 상자(71) 내에서, 다수의 관통공(77)을 가지는 격리판(76)에 의해 둘러싸이고, 잔부 필름(Fr)이 수용되는 부분인 수용부(78)(도 4, 점선 부분)로부터 격리되어 있다. 또 상기 떼어낼 수 있는 부분, 또는 그 상부에, 잔부 필름(Fr)의 수용 상황을 확인하기 위한 확인창을 마련해 두어도 좋다.

제어부(80)는, 장척 이형 필름(F)로부터 원형의 이형 필름 시트를 오려내고, 잔부 필름(Fr)을 적절히 회수 처리하는 것에 의해 그러한 오려냄을 연속하여 안정적으로 행하기 위해서, 상기 각 부를 도 5의 플로우 차트에 나타내는 바와 같은 순서로 제어한다. 또, 도 5의 플로우 차트의 처리는, 연속한 장척 이형 필름(F)에 대해서 반복하여 행하여진다.

먼저, 그립 이동 기구(43)가 그립(42)을 롤 유지부(41) 쪽으로 이동시켜, 그립(42)이 장척 이형 필름(F)의 단부(전방단)를 파지한다. 그리고, 그립 이동 기구(43)가 그립(42)을 오려냄용 기대(51)측으로 이동시키는 것에 의해, 이형 필름(F)을 롤로부터 인출한다. 이형 필름(F)의 전방단이 오려냄용 기대(51)의 후단(롤 유지부(41)와는 반대측의 단부)에 이른 시점에서, 그립(42)을 정지하고, 오려냄용 기대(51) 상에 이형 필름(F)을 배치한다(스텝 S11).

다음으로 제어부(80)는, 오려냄용 기대(51) 상에 오려냄 가이드(54)를 내려, 이형 필름(F)을 누른다. 그리고, 회전 커터(58)의 선단이 이형 필름(F)을 찌를 때까지 회전축(56)을 강하시키고, 회전축(56)을 일회전시킨다. 그것에 의해 오려냄용 기대(51) 상의 이형 필름(F)은 원형으로 오려내어져, 원형의 이형 필름 시트가 제작된다(스텝 S12).

그 후, 오려냄용 기대(51) 중앙의 시트 강하대(53)를 하부로 내린다. 이형 필름 시트는, 도시하지 않은 장치에 의해, 또는 작업자에 의해, 오려냄용 기대(51)로부터 취출된다(스텝 S13).

제어부(80)는 다음으로, 재단 구동 기구(63)에 의해 장척 이형 필름(F)을 재단한다(스텝 S14). 이 때, 이형 필름(F)은 오려냄 가이드(54)에 의해 오려냄 기대 상에 고정되어 있기 때문에, 재단 칼날(62)에 의해서 확실히 재단된다. 그 후, 제어부(80)는 오려냄 가이드(54)를 상측으로 올린다. 이것에 의해, 이형 필름 시트가 오려내어지고, 짧은 길이로 재단된 폐재인 이형 필름(F)(잔부 필름(Fr))은, 오려냄기대 상에서 고정이 해제되어, 프리(free)한 상태가 된다(스텝 S15).

그 후, 제어부(80)는, 먼저 흡인 수용부(70)의 진공 펌프(73)를 기동(起動)한다(스텝 S16). 또 진공 펌프(73)의 기동은 이하의 모터(64)의 구동과 동시라도 좋다. 혹은, 진공 펌프(73)는 기동·정지를 반복하는 것이 아니라, 쭉 가동한 채로로 해두어도 괜찮다.

다음으로 제어부(80)는, 롤러 승강 기구(65)에 의해, 상부 롤러(61a)를 하부 롤러(61b)에 접할 때까지 하강시킨다. 이것에 의해 잔부 필름(Fr)은, 그 재단단(裁斷端)측이 반송 롤러쌍(61)의 사이에 끼워진다. 그것으로부터, 하부 롤러(61b)가 모터(64)에 의해 회전 구동되고, 상부 롤러(61a)도 하부 롤러(61b)에 종동하여 회전한다. 이것에 의해, 잔부 필름(Fr)은 오려냄용 기대(51)로부터 인출되어, 후방으로 반송된다(스텝 S17, 도 4). 이 때, 그립 이동 기구(43)는, 그립(42)에 의해 잔부 필름(Fr)의 전방단을 파지한 채로 약간 들어 올리면서, 반송 롤러쌍(61)의 회전과 동기하여 후방으로 이동한다. 이것에 의해, 잔부 필름(Fr)의 후방으로의 반송이 스무스하게 행해진다. 이러한 그립(42)에 의한 반송 보조를 행하지 않는 경우, 반송시에 잔부 필름(Fr)이 오려냄용 기대(51) 상을 미끄러지는 것에 의해 정전기를 일으켜, 오려냄용 기대(51)나 그 외의 부분에 부착하여 스무스한 반송이 행해지지 않게 될 가능성이 있다. 그립 이동 기구(43)는, 그립(42)이 반송 롤러쌍(61)의 직전까지 온 시점에서, 잔부 필름(Fr)의 전방단을 파지시키는 그립(42)을 해제한다.

반송 롤러쌍(61)에 의해서 잔부 필름(Fr)이 후방으로 반송될 때, 잔부 필름(Fr)의 재단단은, 상부 롤러(61a)에 마련되어 있는 상부 필름 가이드(66) 및 하부 롤러(61b)에 마련되어 있는 하부 필름 가이드(67)에 의해, 흡인 수용부(70)의 도입로(74)의 수납구(75)를 향해 스무스하게 안내된다.

흡인 수용부(70)에서는, 진공 펌프(73)에 의해, 도입로(74)의 수납구(75)로부터 도입로(74)를 통하여 수용 상자(71) 내로 공기가 흡인되고 있다. 수납구(75)는 세로폭이 좁기 때문에 그곳에서 공기의 층류가 생기고, 잔부 필름(Fr)은 그 공기의 층류를 타고, 수납구(75)의 상하의 벽면에 부착하지 않게 스무스하게 도입로(74)로 도입된다.

진공 펌프(73)에 연결되는 흡인구(72)는 수용 상자(71)의 측면 상부에 마련되어 있고, 또한, 격리판(76)의 상부에는 큰 관통공(77)이 마련되어 있기 때문에, 도입로(74)로부터 나온 곳의 수용 상자(71) 상부에서는 공기는 비교적 강하게 흡인되고 있다. 그 결과, 도입로(74)를 빠져나간 잔부 필름(Fr)은 강한 힘으로 수용 상자(71) 내로 끌여들여진다. 한편, 격리판(76)의 하부에 마련되어 있는 관통공(77)은 작기 때문에, 흡인구(72)로부터 먼 수용 상자(71) 하부에서는 공기의 흡인은 잔잔하게 되고, 수용 상자(71) 내로 끌여들여진 잔부 필름(Fr)은, 그 자중으로 수용 상자(71)의 하부(수용부(78))로 떨어진다(도 4).

수용 상자(71)의 하부로 낙하한 잔부 필름(Fr)은, 흡인구(72)로부터의 흡인에 의해 다소 떠오르는 경우가 있어도, 수용 상자(71)의 바닥과 흡인구(72)의 사이에는 격리판(76)이 있기 때문에, 잔부 필름(Fr)이 흡인구(72)로 끌여들여져 흡인이 정지해 버리지는 않는다.

제어부(80)는, 하부 롤러(61b)를 소정 수만큼 회전시킨 후, 모터(64)를 정지한다. 이것에 의해, 잔부 필름(Fr)의 전체가 반송 롤러쌍(61)을 통과하여, 흡인 수용부(70)의 수용 상자(71)에 수용된다. 또, 진공 펌프(73)를 정지함과 아울러, 롤러 승강 기구(65)에 의해 상부 롤러(61a)를 상승시킨다(스텝 S18). 이상과 같이 하여, 폐재인 잔부 필름(Fr)이 오려냄용 기대(51)로부터 제거된다.

그 후, 스텝 S11로 되돌아가, 스텝 S11 ~ S18이 반복된다.

이상과 같이 하여 원형의 이형 필름 시트가 연속적으로 안정적으로 제작된다.

이와 같이, 본 실시예에 관한 필름 시트 오려냄 장치(30)에 의하면, 1매의 이형 필름 시트를 제작할 때마다 생기는 잔부 필름(Fr)(폐재)을, 장척 이형 필름(F)으로부터 재단하여 오려냄용 기대(51)로부터 없애고, 장척 이형 필름(F)을 그립(42)에 의해 새롭게 다시 배치하기 때문에, 종래와 같이 그대로 권취되어 있던 경우에 생기던 변형이나 주름이 생기지 않는다. 또, 잔부 필름(Fr)의 회수에 있어서도, 공기의 흡인에 의하는 층류를 이용하는 것에 의해, 정전기에 의한 잔부 필름(Fr)의 도입로(74)로의 부착 등의 트러블을 방지할 수 있다.

30 - 필름 시트 오려냄 장치 40 - 필름 공급부
41 - 롤 유지부 42 - 그립
43 - 그립 이동 기구 50 - 필름 오려냄부
51 - 오려냄용 기대 52 - 홈
53 - 시트 강하대 54 - 오려냄 가이드
55 - 오려냄 기구 56 - 회전축
57 - 암 58 - 회전 커터
60 - 잔부 반송부 61 - 반송 롤러쌍
61a - 상부 롤러 61b - 하부 롤러
62 - 재단 칼날 63 - 재단 구동 기구
64 - 모터 65 - 롤러 승강 기구
66 - 상부 필름 가이드 67 - 하부 필름 가이드
70 - 흡인 수용부 71 - 수용 상자
72 - 흡인구 73 - 진공 펌프
74 - 도입로 75 - 수납구
76 - 격리판 77 - 관통공
80 - 제어부 F - 이형 필름
Fr - 잔부 필름

Claims

장척(長尺) 필름으로부터 필름 시트를 오려내는 장치로서,
a) 오려냄용 기대(基台)와,
b) 장척 필름을 반송하여 그 일단의 소정 길이의 부분을 상기 오려냄용 기대 상에 재치(載置)하는 제1 반송 수단과,
c) 장척 필름의 상기 부분으로부터 필름 시트를 오려내는 오려냄 수단과,
d) 상기 필름 시트가 오려내어진 후의 장척 필름을, 상기 부분의 경계에서 절단하는 절단 수단과,
e) 오려내어지고 절단된 장척 필름인 잔부(殘部) 필름을, 제1 반송 수단과는 반대의 방향으로 반송하여 상기 오려냄용 기대로부터 취출하는 제2 반송 수단과,
f) 상기 오려냄용 기대로부터 취출된 잔부 필름을 받아 들이는, 해당 잔부 필름의 폭에 대응하는 가로폭과 좁은 세로폭을 가지는 수납구와, 흡인 장치를 구비한 흡인 수용부를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 시트 오려냄 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 반송 수단은, 상기 장척 필름의 선단을 파지하여 상기 오려냄용 기대 상으로 끌어 들이는 그립인 것을 특징으로 하는 필름 시트 오려냄 장치.
청구항 1 또는 2에 있어서,
상기 제2 반송 수단은, 상기 잔부 필름을 2개의 롤러 사이에 끼워 상기 제1 반송 수단과는 반대 방향으로 반송하는 반송 롤러쌍이며, 해당 반송 롤러쌍 중 상부의 롤러는 상부로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 필름 시트 오려냄 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 반송 롤러쌍 중 상부의 롤러에, 상기 잔부 필름의 선단인 절단 단부를 상기 수납구로 안내하는 필름 가이드가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 필름 시트 오려냄 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 반송 롤러쌍 중 하부의 롤러에, 상기 잔부 필름의 선단인 절단 단부가 상기 수납구에 들어갈 때에 해당 하부의 롤러에 감겨 너무 돌지 않도록 하기 위한 필름 가이드가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 필름 시트 오려냄 장치.
청구항 4에 있어서,
상기 반송 롤러쌍 중 하부의 롤러에, 상기 잔부 필름의 선단인 절단 단부가 상기 수납구에 들어갈 때에 해당 하부의 롤러에 감겨 너무 돌지 않도록 하기 위한 필름 가이드가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 필름 시트 오려냄 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 흡인 수용부의 내부에 있어서, 상기 수납구의 하부에 상기 잔부 필름을 다수 수용하기 위한 수용부가 마련되어 있으며, 상기 흡인 장치는 해당 수용부 보다도 상부의, 상기 수납구로부터 낙하하여 오는 잔부 필름의 낙하 통로에 간섭하지 않는 위치에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 필름 시트 오려냄 장치.
장척 필름으로부터 필름 시트를 오려내는 방법으로서,
a) 장척 필름을 반송하여 그 일단의 소정 길이의 부분을 오려냄용 기대 상에 재치하는 제1 반송 스텝과,
b) 장척 필름의 상기 부분으로부터 필름 시트를 오려내는 오려냄 스텝과,
c) 상기 필름 시트가 오려내어진 후의 장척 필름을, 상기 부분의 경계에서 절단하는 절단 스텝과,
d) 오려내어지고 절단된 장척 필름인 잔부 필름을, 제1 반송 스텝과는 반대의 방향으로 반송하여 상기 오려냄용 기대로부터 취출하는 제2 반송 스텝과,
e) 상기 오려냄용 기대로부터 취출된 잔부 필름을, 해당 잔부 필름의 폭에 대응하는 가로폭과 좁은 세로폭을 가지는 수납구와, 흡인 장치를 구비한 흡인 수용부에서 받아 들이는 폐재(廢材) 수용 스텝을 가지는 것을 특징으로 하는 필름 시트 오려냄 방법.