KR101621990B1 - 기판 액처리 장치, 기판 액처리 장치의 제어 방법 및 기판 액처리 장치의 제어 방법을 기판 액처리 장치로 실시하게 하는 기록 매체 - Google Patents

기판 액처리 장치, 기판 액처리 장치의 제어 방법 및 기판 액처리 장치의 제어 방법을 기판 액처리 장치로 실시하게 하는 기록 매체 Download PDF

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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명에 따른 기판 액처리 장치는, 기판을 유지하는 배치대와, 배치대를 회전시키는 회전 구동부와, 배치대에 배치된 상기 기판에 액체를 공급하는 액체 공급부와, 배치대에 배치되어 회전하는 기판으로부터 비산되는 액체를 아래쪽으로 안내하기 위해서, 위에서부터 차례로 마련된, 액체 안내 상부컵과, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵을 포함하고 있다. 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵은, 구동 기구에 의해 승강하도록 되어 있다. 구동 기구는, 액체 안내 중앙컵에 접속되어 있다.

Description

기판 액처리 장치, 기판 액처리 장치의 제어 방법 및 기판 액처리 장치의 제어 방법을 기판 액처리 장치로 실시하게 하는 기록 매체{LIQUID PROCESSING APPARATUS FOR SUBSTRATE, METHOD FOR CONTROLLING THE SAME AND STORAGE MEDIUM FOR PERFORMING THE METHOD}
[관련출원의 참조]
본 출원은, 2010년 6월 3일에 출원된 일본국 특허 출원 제2010-128160호에 기초한 것으로서, 그 우선권의 이익을 구하는 것이며, 그 전체의 내용은, 참조됨으로써 본 출원에 삽입되는 것으로 한다.
본 발명은, 액을 이용하여 피처리체를 처리하는 기판 액처리 장치, 기판 액처리 장치의 제어 방법 및 기판 액처리 장치의 제어 방법을 기판 액처리 장치로 실시하게 하는 기록 매체에 관한 것이다.
반도체 제품의 제조 프로세스나 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조 프로세스에 있어서는, 피처리 기판인 반도체 웨이퍼나 유리 기판에 처리액을 공급하여 액처리를 행하는 프로세스가 다용되고 있다. 이러한 프로세스로서, 예컨대 기판에 부착된 파티클이나 오염물 등을 제거하는 세정 처리 등이 있다.
이러한 액처리를 실시하는 액처리 장치로서, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 스핀척에 유지하고, 기판을 회전시킨 상태에서 웨이퍼의 표면 또는 표리면에 처리액을 공급하여 처리를 행하는 매엽식의 복수의 처리 유닛이 알려져 있다.
기판에 공급된 처리액은, 회전하는 기판으로부터 털어내어져 기판 배치대의 주변 영역에서 미스트가 되어 비산된다. 이 미스트를 회수하는 기구로서, 일본 특허 공개 제2000-183010호 공보에, 약액 회수용 컵과 린스액 회수용 컵이 개시되어 있다.
이 종래의 기구는, 도 7에 도시된 바와 같이, 약액 회수용 컵(115)과 린스액 회수용 컵(116)이, 중간컵벽(130)에 의해 분리되어 있고, 또한 이 중간컵벽(130)을 에어실린더(132)에 의해 승강시킬 수 있다.
에어실린더(132)가 수축하여 중간컵벽(130)이 하강 위치에 있을 때(도 7의 상태), 약액 회수용 컵(115)의 개구(115a)가 크게 개방되어 스핀척(111) 상의 기판(W)의 둘레가장자리에 대향한다. 이 상태에서 약액 처리가 행해지고, 기판(W)으로부터 털어내어진 약액(그 미스트를 포함함)이, 약액 회수용 컵(115)에 회수된다.
한편, 에어실린더(132)가 신장되어 중간컵벽(130)이 상승 위치에 있을 때, 린스액 회수용 컵(116)의 개구(116a)가 크게 개방되어 스핀척(111) 상의 기판(W)의 둘레가장자리에 대향한다. 이 상태에서 린스액 처리가 행해지고, 기판(W)으로부터 비산된 린스액(그 미스트를 포함함)이, 린스액 회수용 컵(116)에 회수된다.
일본 특허 공개 제2000-183010호 공보
그러나, 도 7을 이용하여 설명한 미스트 회수 기구에서는, 2종류의 미스트를 분리 회수하는 것이 가능하지만, 이 미스트 회수 기구를 기초로 하여, 3종류 이상의 미스트를 분리 회수할 수 있는 구성을 실현하는 것은, 실질적으로 불가능하였다.
본 발명은, 이러한 사정에 기초하여 행해진 것으로서, 그 목적은, 3종류 이상의 미스트를 분리 회수할 수 있는 기판 액처리 장치, 기판 액처리 장치의 제어 방법 및 기판 액처리 장치의 제어 방법을 기판 액처리 장치로 실시하게 하는 기록 매체를 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 기판을 유지하는 배치대와, 상기 배치대를 회전시키는 회전 구동부와, 상기 배치대에 배치된 상기 기판에 액체를 공급하는 액체 공급부와, 상기 배치대에 배치되어 회전하는 기판으로부터 비산되는 액체를 아래쪽으로 안내하기 위해서, 위에서부터 차례로 마련된, 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵과, 상기 액체 안내 상부컵, 상기 액체 안내 중앙컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 승강시키기 위한 구동 기구를 포함하고, 상기 구동 기구는, 상기 액체 안내 중앙컵에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치이다.
본 발명에 따르면, 기판에 공급되는 액체의 종류에 따라, 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵을 적절하게 승강시켜, 기판으로부터 비산된 액체를 대응하는 컵으로 안내하게 할 수 있다. 이에 따라, 3종류 이상의 미스트를 효율적으로 분리 회수할 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판을 유지하는 배치대와, 상기 배치대를 회전시키는 회전 구동부와, 상기 배치대에 배치된 상기 기판에 액체를 공급하는 액체 공급부와, 상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를 아래쪽으로 안내하기 위해서, 위에서부터 차례로 마련된, 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵과, 상기 액체 안내 상부컵, 상기 액체 안내 중앙컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 승강시키기 위한 구동 기구를 포함하는 기판 액처리 장치를 제어하는 기판 액처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 공정과, 상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 다른 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵을 지지하고, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 상부컵이 함께 상승하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치의 제어 방법이다.
또한, 본 발명은, 기판 액처리 장치를 제어하는 제어부에 의해 실행되는 프로그램이 기록된 기록 매체로서, 상기 프로그램이 상기 제어부에 의해 실행됨으로써, 기판을 유지하는 배치대와, 상기 배치대를 회전시키는 회전 구동부와, 상기 배치대에 배치된 상기 기판에 액체를 공급하는 액체 공급부와, 상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를 아래쪽으로 안내하기 위해서, 위에부터 차례로 마련된, 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵과, 상기 액체 안내 상부컵, 상기 액체 안내 중앙컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 승강시키기 위한 구동 기구를 포함하는 기판 액처리 장치를 제어하는 기판 액처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 공정과, 상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 다른 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵을 지지하고, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 상부컵이 함께 상승하는 공정을 포함하는 기판 액처리 장치의 제어 방법을, 기판 액처리 장치로 실시하게 하는 기록 매체이다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 액처리 장치의 제1 회수 상태를 개략적으로 나타낸 구성 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 액처리 장치의 제2 회수 상태를 개략적으로 나타낸 구성 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 액처리 장치의 제3 회수 상태를 개략적으로 나타낸 구성 단면도이다.
도 4는 도 1에 대응하는 제1 회수 상태를 상세하게 나타낸 단면도이다.
도 5는 도 2에 대응하는 제2 회수 상태를 상세하게 나타낸 단면도이다.
도 6은 도 3에 대응하는 제3 회수 상태를 상세하게 나타낸 단면도이다.
도 7은 종래의 액처리 장치를 개략적으로 나타낸 구성 단면도이다.
본 발명의 실시형태에 따른 기판 액처리 장치에 있어서는, 바람직하게는, 상기 액체 안내 상부컵은, 상기 액체 안내 중앙컵에 지지됨으로써 상승한다. 특히, 바람직하게는, 상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵은, 그 상승 이동 구간의 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 한편, 그 상승 이동 구간의 다른 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵을 지지하고, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 상부컵이 함께 상승한다.
또한, 바람직하게는, 상기 액체 안내 하부컵은, 상기 액체 안내 중앙컵에 지지됨으로써 상승한다. 특히, 바람직하게는, 상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 한편, 그 상승 이동 구간의 다른 일부 구간에서, 상기 액체 안내 하부컵을 지지하고, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 하부컵이 함께 상승한다.
또한, 바람직하게는, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵은, 상기 액체 안내 중앙컵에 각각 지지됨으로써 상승한다. 특히, 바람직하게는, 상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 한편, 그 상승 이동 구간의 다른 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 각각 지지하여, 상기 액체 안내 중앙컵이, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵과 함께 상승한다.
이러한 구성을 채용함으로써, 액체 안내 중앙컵이 그 승강 이동 구간의 일부 구간에서 액체 안내 상부컵 및 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 승강하고, 액체 안내 상부컵과 액체 안내 중앙컵 사이의 간격 및/또는 액체 안내 중앙컵과 액체 안내 하부컵 사이의 간격이 가변으로 되어 각 컵의 수직 방향의 승강을 위한 스페이스를 저감할 수 있다. 또한, 액체 안내 상부컵과 액체 안내 중앙컵 사이의 간격 및/또는 액체 안내 중앙컵과 액체 안내 하부컵 사이의 간격이 가변으로 되어 있음으로써, 기판 액처리 장치의 높이가 증대되는 것을 억제하면서, 회수한 액체를 일시적으로 저류하는 탱크를 그 아래쪽 영역에 마련할 수 있다.
구체적으로는, 예컨대 상기 액체 안내 상부컵은, 그 외주벽에 외측 플랜지를 갖고 있고, 상기 액체 안내 중앙컵은, 상기 액체 안내 상부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 외주측 접촉부를 갖고 있으며, 상기 액체 안내 중앙컵의 상기 외주측 접촉부가 상기 액체 안내 상부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지한 상태에서, 상기 액체 안내 중앙컵이 상승할 때, 상기 액체 안내 상부컵도 동시에 상승한다.
또한, 구체적으로는, 예컨대 상기 액체 안내 하부컵은, 그 외주벽에 외측 플랜지를 갖고 있고, 상기 액체 안내 중앙컵은, 상기 액체 안내 하부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 내주측 접촉부를 갖고 있으며, 상기 액체 안내 중앙컵의 상기 내주측 접촉부가 상기 액체 안내 하부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지한 상태에서, 상기 액체 안내 중앙컵이 상승할 때, 상기 액체 안내 하부컵도 동시에 상승한다.
또한, 구체적으로는, 예컨대 상기 액체 안내 상부컵은, 그 외주벽에 외측 플랜지를 갖고, 상기 액체 안내 하부컵은, 그 외주벽에 외측 플랜지를 가지며, 상기 액체 안내 중앙컵은, 상기 액체 안내 상부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 외주측 접촉부와, 상기 액체 안내 하부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 내주측 접촉부를 갖고, 상기 액체 안내 중앙컵의 상기 외주측 접촉부가 상기 액체 안내 상부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지하며, 상기 액체 안내 중앙컵의 상기 내주측 접촉부가 상기 액체 안내 하부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지한 상태에서, 상기 액체 안내 중앙컵이 상승할 때, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵도 동시에 상승한다.
이러한 구성을 채용함으로써, 액체 안내 중앙컵을 승강시키는 구동 기구의 동력에 의해, 액체 안내 상부컵 및 액체 안내 하부컵의 승강을 용이하게 실현할 수 있다. 즉, 구동계의 구조를 간소화할 수 있다.
바람직하게는, 상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를, 상기 액체 안내 상부컵과 상기 액체 안내 중앙컵의 사이로 안내할 때, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 하부컵의 사이는 폐색된다.
또한, 바람직하게는, 상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 하부컵의 사이로 안내할 때, 상기 액체 안내 상부컵과 상기 액체 안내 중앙컵의 사이는 폐색된다.
본 발명의 실시형태에 따른 기판 액처리 장치의 제어 방법에 있어서는, 바람직하게는, 상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 또 다른 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 각각 지지하고, 상기 액체 안내 중앙컵이, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵과 함께 상승하는 공정을 더 포함하고 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 본 발명은, 전형적으로는, 반도체 웨이퍼(피처리체의 일례)의 세정 처리, 특히 약액을 이용한 처리(약액 처리)에 적용할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 액처리 장치(10)는, 매엽식의 기판 액처리 장치로서, 매엽식으로 기판이 반입/반출되어 처리되는 기판 처리실(11)을 갖고 있다. 기판 처리실(11)에는, 예컨대 반도체 웨이퍼와 같은 기판이 배치되는 배치대(12)가 마련되어 있다. 배치대(12)는, 회전 모터(회전 구동부의 일례)(13)에 의해 수평면 내에서 회전되도록 되어 있다.
또한, 기판 처리실(11)에는, 각종 처리액을 기판의 상면에 대하여 공급하는 노즐(액체 공급부의 일례)(14)이 마련되어 있다. 노즐(14)은, 예컨대 선택적으로, 각종 처리액의 공급원(도시되지 않음)에 접속되도록 되어 있다. 그리고, 배치대(12)의 주변에는, 비산되는 처리액이나 그 미스트를 안내하기 위한 미스트 안내컵(15)이 마련되어 있다. 미스트 안내컵(15)은, 대략적으로는 링형의 부재이지만, 위쪽 개구단의 직경보다 아래쪽 개구단의 직경 쪽이 크게 되어 있고, 그 단면은 위로 볼록한 곡선으로 되어 있다.
미스트 안내컵(15)의 주변에는, 미스트 안내컵(15)에 의해 안내된 처리액을 아래쪽으로 각각 안내하기 위해서, 액체 안내 상부컵(21), 액체 안내 중앙컵(22) 및 액체 안내 하부컵(23)이, 위에서부터 차례로 마련되어 있다.
본 실시형태에서, 액체 안내 상부컵(21)은, 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리(내주측 단가장자리)가 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역의 위쪽에 위치하도록 마련되어 있다. 액체 안내 상부컵(21)은, 대략적으로는, 절두 원추 형상의 경사부와, 이 경사부의 외주측단으로부터 아래쪽으로 연장되는 수직부를 갖고 있다.
또한, 액체 안내 중앙컵(22)은, 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 상기 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대하여 그 아래쪽에서 위쪽까지 수직 방향으로 이동 가능하게 되도록 마련되어 있다. 액체 안내 중앙컵(22)에는, 이것을 승강시키기 위한 승강 실린더(25)가 접속되어 있다[다만, 액체 안내 중앙컵(22)을 승강시키기 위한 구동 기구는, 승강 실린더(25)에 한정되지 않고, 모터 등의 구동 기구여도 좋음). 액체 안내 중앙컵(22)도, 대략적으로는, 절두 원추 형상의 경사부와, 이 경사부의 외주측단으로부터 아래쪽으로 연장되는 수직부를 갖고 있다.
그리고, 액체 안내 하부컵(23)은, 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 이 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대하여 그 아래쪽에서 위쪽까지 수직 방향으로 이동 가능하게 되도록 마련되어 있다. 액체 안내 하부컵(23)도, 대략적으로는, 절두 원추 형상의 경사부와, 이 경사부의 외주측단으로부터 아래쪽으로 연장되는 수직부를 갖고 있다.
도 1의 상태에서의 액체 안내 중앙컵(22)은, 승강 실린더(25)에 의해 도 1 내지 도 3의 3가지 상태 중 가장 낮은 위치에 위치 결정되어 있다. 이 상태는, 뒤에 상세히 설명하는 도 4의 상태에 대응하고 있다. 이 상태에서, 액체 안내 상부컵(21)은, 기판 처리실(11)에 마련된 지지 돌기부(29s)(도 4 참조)에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있고, 즉 액체 안내 중앙컵(22)에 의해서는 지지되고 있지 않은 상태이다. 또한, 액체 안내 하부컵(23)도, 기판 처리실(11)에 고정된 부재(28)에 형성된 지지 돌기부(28s)에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있고, 즉 액체 안내 중앙컵(22)에 의해서는 지지되고 있지 않은 상태이다.
본 실시형태에서는, 액체 안내 상부컵(21)도 수직 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 액체 안내 상부컵(21)은, 그 외주벽에 외측 플랜지(21a)를 갖고 있고, 액체 안내 중앙컵(22)은, 액체 안내 상부컵(21)의 외측 플랜지(21a)를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 외주측 접촉부(22a)를 갖고 있으며, 액체 안내 중앙컵(22)의 외주측 접촉부(22a)가 액체 안내 상부컵(21)의 외측 플랜지(21a)를 아래쪽으로부터 지지한 상태에서는, 액체 안내 중앙컵(22)이 승강 실린더(25)에 의해 수직 방향으로 이동할 때, 액체 안내 상부컵(21)도 마찬가지로 수직 방향으로 이동하도록 되어 있다.
즉, 액체 안내 중앙컵(21)은, 그 수직 방향 이동 구간의 일부 구간에서, 액체 안내 상부컵(21)으로부터 독립적으로 수직 방향으로 이동하는 한편, 다른 일부 구간에서, 액체 안내 상부컵(21)과 함께 수직 방향으로 이동하도록 되어 있다.
이러한 구성을 채용함으로써, 액체 안내 중앙컵(22)을 승강시키는 승강 실린더(25)의 동력에 의해, 액체 안내 상부컵(21)의 승강도 실현할 수 있다. 즉, 구동계의 구조가 간편하다.
다만, 외측 플랜지(21a)와 외주측 접촉부(22a)의 접촉을 이용하는 양태는, 단순한 일례에 불과하다. 액체 안내 상부컵(21)의 임의의 부위와 액체 안내 중앙컵(22)의 임의의 부위를 이용하여, 액체 안내 상부컵(21)과 액체 안내 중앙컵(22)을 함께 수직 방향으로 이동시키도록 하여도 좋다.
또한, 액체 안내 하부컵(23)은, 그 외주벽에 외측 플랜지(23b)를 갖고 있고, 액체 안내 중앙컵(22)은, 액체 안내 하부컵(23)의 외측 플랜지(23b)를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 내주측 접촉부(22b)를 갖고 있으며, 액체 안내 중앙컵(22)의 내주측 접촉부(22b)가 액체 안내 하부컵(23)의 외측 플랜지(23b)를 아래쪽으로부터 지지한 상태에서는, 액체 안내 중앙컵(22)이 승강 실린더(25)에 의해 수직 방향으로 이동할 때, 액체 안내 하부컵(23)도 마찬가지로 수직 방향으로 이동하도록 되어 있다.
즉, 액체 안내 중앙컵(22)은, 그 수직 방향 이동 구간의 일부 구간에서, 액체 안내 하부컵(23)으로부터 독립적으로 수직 방향으로 이동하는 한편, 다른 일부 구간에서, 액체 안내 하부컵(23)과 함께 수직 방향으로 이동하도록 되어 있다.
이러한 구성을 채용함으로써, 액체 안내 중앙컵(22)을 승강시키는 승강 실린더(25)의 동력에 의해, 액체 안내 하부컵(23)의 승강도 실현할 수 있다. 즉, 구동계의 구조가 간편하다.
다만, 외측 플랜지(23b)와 내주측 접촉부(22b)의 접촉을 이용하는 양태는, 단순한 일례에 불과하다. 액체 안내 하부컵(23)의 임의의 부위와 액체 안내 중앙컵(22)의 임의의 부위를 이용하여, 액체 안내 하부컵(23)과 액체 안내 중앙컵(22)을 함께 수직 방향으로 이동시키도록 하여도 좋다.
즉, 본 실시형태에 있어서는, 액체 안내 중앙컵(22)의 승강 이동 구간 중 제1 구간에서는, 액체 안내 중앙컵(22)이 액체 안내 상부컵(21) 및 액체 안내 하부컵(23)으로부터 독립적으로 승강한다. 제2 구간에서는, 액체 안내 중앙컵(22)이 액체 안내 상부컵(21)과 함께 승강하고, 제3 구간에서는, 액체 안내 상부컵(21) 및 액체 안내 하부컵(23)과 함께 승강하도록 되어 있다.
후술하는 제1 회수 상태(도 1)에서 제2 회수 상태(도 2)로 이행하는 경우, 우선, 승강 실린더(25)에 의해, 액체 안내 중앙컵(22)은, 액체 안내 상부컵(21) 및 액체 안내 하부컵(23)으로부터 독립적으로 상승한다(상승 이동 구간 중 제1 구간). 계속해서, 액체 안내 중앙컵(22)의 외주측 접촉부(22a)가 액체 안내 상부컵(21)의 외측 플랜지(21a)를 아래쪽으로부터 지지하고, 액체 안내 중앙컵(22)은, 액체 안내 상부컵(21)과 함께 상승하여(제2 구간) 도 2에 도시된 형태에 이른다.
또한, 제2 회수 상태(도 2)에서 제3 회수 상태(도 3)로 이행하는 경우, 우선, 승강 실린더(25)에 의해, 액체 안내 중앙컵(22)은, 액체 안내 상부컵(21)과 함께 상승한다(제2 구간). 그 후, 액체 안내 중앙컵(22)의 내주측 접촉부(22b)가 액체 안내 하부컵(23)의 외측 플랜지(23b)를 아래쪽으로부터 지지하고, 액체 안내 중앙컵(22)은, 액체 안내 상부컵(21) 및 액체 안내 하부컵(23)과 함께 상승하여(제3 구간) 도 3에 도시된 형태에 이른다.
제3 회수 상태에서 제1 회수 상태로 이행하는 경우에는, 액체 안내 중앙컵(22)을 하강시킴으로써, 전술한 제3 구간, 제2 구간 및 제1 구간을 거쳐 도 1에 도시된 형태로 되돌릴 수 있다.
또한, 내주측 접촉부(22b)는, 액체 안내를 위한 선반부로서도 기능한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 이 선반부(22b)는, 내주측이 낮은 경사면(테이퍼면)으로 되어 있다.
또한, 액체 안내 하부컵(23)의 바닥부에도, 액체 안내를 위한 선반부가 마련되어 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 이 선반부도, 내주측이 낮은 경사면(테이퍼면)으로 되어 있다.
이상과 같은 구성에 있어서, 액체 안내 상부컵(21)의 수직 방향의 위치와, 액체 안내 중앙컵(22)의 수직 방향의 위치와, 액체 안내 하부컵(23)의 수직 방향의 위치는, 다음 3가지 회수 상태를 실현하도록 제어부(41)에 의해 제어된다. 즉, 회전 모터(13) 및 승강 실린더(25)에 제어부(41)가 접속되어, 회전 모터(13) 및 승강 실린더(25)가 제어부(41)에 의해 제어되도록 되어 있다. 또한, 제어부(41)는, 노즐(14)을 통해 기판에 공급하는 각 처리액을 선택하도록 되어 있다. 즉, 제어부(41)에 의해, 노즐(14)로부터, 산성 액체, 알칼리성 액체 및 유기 액체를 선택적으로 공급시키도록 되어 있다.
그런데, 도 1에 도시된 바와 같이, 제어부(41)에는, 공정 관리자 등이 액처리 장치(10)를 관리하기 위해서, 커맨드의 입력 조작 등을 행하는 키보드나, 액처리 장치(10)의 가동 상황 등을 가시화하여 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 입출력부(41)가 접속되어 있다. 또한, 제어부(41)는, 액처리 장치(10)에 의해 실행되는 처리를 실현하기 위한 프로그램 등이 기록된 기록 매체(43)에 액세스 가능하게 되어 있다. 기록 매체(43)는, ROM 및 RAM 등의 메모리, 하드디스크, CD-ROM, DVD-ROM 및 플렉시블 디스크 등의 디스크형 기록 매체 등, 기지(旣知)의 기록 매체로 구성될 수 있다. 이와 같이 하여, 제어부(41)가, 기록 매체(43)에 미리 기록된 프로그램 등을 실행함으로써, 액처리 장치(10)에 있어서 웨이퍼(W)의 처리가 행해지도록 되어 있다.
즉, 제어부(41)는, 액체 안내 중앙컵(22)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리와 액체 안내 하부컵(23)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대한 아래쪽에 위치 결정되어 액체 안내 상부컵(21)과 액체 안내 중앙컵(22)의 사이를 통하여 액체를 회수하는 제1 회수 상태(도 1)와, 액체 안내 중앙컵(22)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대한 위쪽에 위치 결정되고, 액체 안내 하부컵(23)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대한 아래쪽에 위치 결정되어 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 하부컵(23)의 사이를 통하여 액체를 회수하는 제2 회수 상태(도 2)와, 액체 안내 중앙컵(22)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리와 액체 안내 하부컵(23)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대한 위쪽에 위치 결정되어, 액체 안내 하부컵(23)의 하방을 통하여 액체를 회수하는 제3 회수 상태(도 3)를 실현하도록 액처리 장치(10)를 제어한다.
그리고, 제1 회수 상태에서 회수되는 액체는, 액체 안내 상부컵(21), 액체 안내 중앙컵(22) 및 액체 안내 하부컵(23)의 아래쪽 영역의 외주측 영역에 마련된 제1 드레인용 탱크(31)로 안내되도록 되어 있다(도 1).
또한, 제3 회수 상태에서 회수되는 액체는, 액체 안내 상부컵(21), 액체 안내 중앙컵(22) 및 액체 안내 하부컵(23)의 아래쪽 영역의 내주측 영역에 마련된 제3 드레인용 탱크(33)로 안내되도록 되어 있다(도 3).
그리고, 제2 회수 상태에서 회수되는 액체는, 직경 방향으로 보아 제1 드레인용 탱크(31)와 제3 드레인용 탱크(33) 사이에 마련된 제2 드레인용 탱크(32)로 안내되도록 되어 있다(도 2).
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 드레인용 탱크(31), 제2 드레인용 탱크(32) 및 제3 드레인용 탱크(33)는, 직경 방향으로 연속하도록 배치되어 있다.
본 실시형태에서는, 제3 드레인용 탱크(33)의 내경측에, 제4 드레인용 탱크(34)가 더 마련되어 있다. 그리고, 제4 드레인용 탱크(34)의 내경측의 영역은, 기체를 방출하는 기체용 경로로 되어 있다.
다음에, 제1 회수 상태 내지 제3 회수 상태에 대해서, 각각 도 4 내지 도 6을 이용하여 상세히 설명한다. 우선, 도 4를 이용하여, 도 1의 제1 회수 상태를 상세하게 설명한다. 이 제1 회수 상태에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 액체 안내 상부컵(21)의 외측 플랜지(21a)가 지지 돌기부(29s)에 의해 지지되고, 액체 안내 상부컵(21)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대한 위쪽에 위치 결정되는 한편, 액체 안내 중앙컵(22)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리와 액체 안내 하부컵(23)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대한 아래쪽에 위치 결정되어 있다. 이에 따라, 액체 안내 상부컵(21)과 액체 안내 중앙컵(22)의 사이를 통하여 액체(및 그 미스트)가 회수된다.
구체적으로는, 액체(및 그 미스트)는, 액체 안내 상부컵(21)의 경사부와 액체 안내 중앙컵(22)의 경사부 사이를 통과하고, 또한 액체 안내 중앙컵(22)의 수직부의 외주측 영역을 통과하여, 제1 드레인용 탱크(31)에 이른다. 액체 안내 중앙컵(22)의 수직부의 외주측 영역에서 액체(및 그 미스트)의 유로를 확보하기 위해서, 액체 안내 중앙컵(22)의 수직부와 외주측 접촉부(22a)는, 둘레 방향으로 소정 간격을 두고 몇 곳에서만 접속되어 있다.
또한, 제1 회수 상태에서는, 전술한 바와 같이, 액체 안내 중앙컵(22)이 승강 실린더(25)에 의해 가장 낮은 위치에 위치 결정되어 있다. 따라서, 이와 같은 낮은 위치에 있는 액체 안내 중앙컵(22)과 간섭하지 않도록 제1 드레인용 탱크(31)의 내주측 격벽의 높이는 낮게 형성되어 있다.
또한, 제1 회수 상태에서는, 전술한 바와 같이, 액체 안내 하부컵(23)이 기판 처리실(11)에 고정된 부재(28)에 형성된 지지 돌기부(28s)에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있다. 그리고, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 하부컵(23)의 사이가 폐색되어 있다. 이 경우, 액체 안내 중앙컵(22)의 경사부가 액체 안내 하부컵(23)의 경사부와 중첩되어 있다. 즉, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 하부컵(23)의 간격이 최소화되어 있다. 이에 따라, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 하부컵(23)의 간격이 각 회수 상태에 걸쳐 일정하게 되도록 구성되어 있는 경우에 비하면, 각 컵(21, 22, 23)의 수직 방향의 승강을 위한 스페이스가 저감되고 있다. 이 때문에, 액처리 장치(10)의 전체 높이가 증대되는 것을 억제하면서, 액체 안내 하부컵(23)의 수직부가, 아래쪽 영역에 마련된 드레인용 탱크와 간섭하는 것이 회피되고 있다.
또한, 이 상태에서의 액체 안내 중앙컵(22)의 위치 결정은, 그 경사부가 중력에 의해 액체 안내 하부컵(23)의 경사부에 지지됨으로써 이루어져도 좋고, 제어부(41)에 의한 승강 실린더(25)의 제어에 의해 이루어져도 좋다.
다음에, 도 5를 이용하여, 도 2의 제2 회수 상태를 상세하게 설명한다. 이 제2 회수 상태에서는, 액체 안내 중앙컵(22)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대한 위쪽에 위치 결정되고, 액체 안내 하부컵(23)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리가 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대한 아래쪽에 위치 결정되어 있다. 이에 따라, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 하부컵(23)의 사이를 통하여 액체(및 그 미스트)가 회수된다.
구체적으로는, 액체(및 그 미스트)는, 액체 안내 중앙컵(22)의 경사부와 액체 안내 하부컵(23)의 경사부 사이를 통과하고, 또한 액체 안내 하부컵(23)의 수직부의 외주측 영역을 통과하여, 제2 드레인용 탱크(32)에 이른다. 액체 안내 하부컵(23)의 수직부의 외주측 영역에 외측 플랜지(23b)가 마련되어 있음으로써, 미스트의 액화가 촉진된다. 여기서, 액체 안내 중앙컵(22)의 내주측 접촉부(22b)는, 내주측으로 돌출되는 링형의 부위로서 형성되어 있지만, 이 내주측 접촉부(22b)의 존재에 의해서도 미스트의 액화가 촉진된다.
제2 회수 상태에서는, 도 5에 도시된 바와 같이, 액체 안내 상부컵(21)의 외측 플랜지(21a)가 액체 안내 중앙컵(22)의 외주측 접촉부(22a)를 통해 밀어 올려져, 액체 안내 상부컵(21)은 액체 안내 중앙컵(22)에 의해 지지되고 있다. 그리고, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 상부컵(21)의 사이가 폐색되어 있다. 이 경우, 액체 안내 중앙컵(22)의 경사부가 액체 안내 상부컵(21)의 경사부와 중첩되어 있다. 즉, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 상부컵(21)의 간격이 최소화되어 있다. 이에 따라, 각 컵(21, 22, 23)의 수직 방향의 승강을 위한 스페이스가 저감되고 있다.
이 상태에서의 액체 안내 중앙컵(22)의 위치 결정은, 제어부(41)에 의한 승강 실린더(25)의 제어에 의해 이루어진다. 또한, 액체 안내 하부컵(23)의 위치는, 제1 회수 상태와 동일하다.
다음에, 도 6을 이용하여, 도 3의 제3 회수 상태를 상세하게 설명한다. 이 제3 회수 상태에서는, 액체 안내 하부컵(23)의 미스트 안내컵(15)측의 단가장자리도 미스트 안내컵(15)의 둘레가장자리단 영역에 대한 위쪽에 위치 결정되어 있다. 이에 따라, 액체 안내 하부컵(23)의 하방을 통하여 액체(및 그 미스트)가 회수된다.
구체적으로는, 액체(및 그 미스트)는, 액체 안내 하부컵(23)의 경사부의 아래쪽을 통과하고, 또한 액체 안내 하부컵(23)의 수직부의 내주측 영역을 통과하여, 제3 드레인용 탱크(33)에 이른다. 도 6에 도시된 바와 같이, 액체 안내 하부컵(23)의 수직부의 하단에, 내주측으로 돌출되는 링형의 부위를 형성해 두면, 이 부위에 의해 미스트의 액화가 촉진된다.
제3 회수 상태에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 액체 안내 상부컵(21)의 외측 플랜지(21a)가 액체 안내 중앙컵(22)의 외주측 접촉부(22a)를 통해 제2 회수 상태보다도 높은 위치로 밀어 올려져, 액체 안내 상부컵(21)은 액체 안내 중앙컵(22)에 의해 지지되어 있다. 그리고, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 상부컵(21)의 사이가 폐색되어 있다. 이 경우, 액체 안내 중앙컵(22)의 경사부가 액체 안내 상부컵(21)의 경사부와 중첩되어 있다. 즉, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 상부컵(21)의 간격이 최소화되어 있다. 이에 따라, 액체 안내 상부컵(21)과 액체 안내 중앙컵(22)의 간격이 각 회수 상태에 걸쳐 일정하게 되도록 구성되어 있는 경우에 비하면, 각 컵(21, 22, 23)의 수직 방향의 승강을 위한 스페이스가 저감되고 있다.
그리고, 또한, 제3 회수 상태에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 액체 안내 하부컵(23)의 외측 플랜지(23b)가 액체 안내 중앙컵(22)의 내주측 접촉부(22b)를 통해 제2 회수 상태보다 높은 위치로 밀어 올려져 액체 안내 하부컵(23)은 액체 안내 중앙컵(22)에 의해 지지되어 있다. 이때, 액체 안내 중앙컵(22)의 경사부와 액체 안내 하부컵(23)의 경사부와의 간격은, 제2 회수 상태(도 5)일 때의 간격보다도 크지만, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 상부컵(21)의 간격이 최소화되어 있는 것의 효과가 크기 때문에, 전체적으로는, 각 컵(21, 22, 23)의 수직 방향의 승강을 위한 스페이스가 저감되고 있다.
이 상태에서의 액체 안내 중앙컵(22)의 위치 결정은, 제어부(41)에 의한 승강 실린더(25)의 제어에 의해 이루어진다.
실제의 액처리에서는, 제1 드레인용 탱크(31)에서 유기 액체를 회수하고, 제2 드레인용 탱크(32)에서 산성 액체를 회수하며, 제3 드레인용 탱크(33)에서 알칼리성 액체를 회수하는 것이 바람직하다. 제4 드레인용 탱크(34)는, 예컨대 배치대(12)의 회전이 저속일 때에, 각종 액체를 혼재 상태로 회수하기 위해서 이용될 수 있다.
이상과 같은 본 실시형태에 따르면, 기판에 유기 액체가 공급되는 경우에는, 기판으로부터 비산된 유기 액체를, 액체 안내 상부컵(21)에 의해 안내하여 제1 드레인용 탱크(31)에 회수할 수 있다. 마찬가지로, 기판에 산성 액체가 공급되는 경우에는, 기판으로부터 비산된 산성 액체를, 액체 안내 중앙컵(22)에 의해 안내하여 제2 드레인용 탱크(32)에 회수할 수 있고, 기판에 알칼리성 액체가 공급되는 경우에는, 액체 안내 하부컵(23)에 의해 안내하여 제3 드레인용 탱크(33)에 회수할 수 있다. 즉, 기판에 공급되는 액체의 종류에 따라, 액체 안내 상부컵(21), 액체 안내 중앙컵(22) 및 액체 안내 하부컵(23)을 적절하게 승강시켜, 기판으로부터 비산된 액체를 대응하는 컵으로 안내하게 할 수 있다. 이에 따라, 3종류 이상의 처리액의 미스트를 효율적으로 분리 회수할 수 있다.
또한, 제1 회수 상태에서, 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 하부컵(23)이 폐색되고, 제2 회수 상태 및 제3 회수 상태에서, 액체 안내 상부컵(21)과 액체 안내 중앙컵(22)이 폐색되고 있다. 이에 따라, 액체 안내 상부컵(21)과 액체 안내 중앙컵(22)의 간격 및 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 하부컵(23)의 간격이 각 회수 상태에 걸쳐 일정하게 되도록 구성되어 있는 경우에 비하면, 각 컵(21, 22, 23)의 수직 방향의 승강을 위한 스페이스가 저감되고 있다. 또한, 액체 안내 상부컵(21), 액체 안내 중앙컵(22) 및 액체 안내 하부컵(23)의 아래쪽 영역에, 대응하는 컵에 의해 안내된 액체를 회수하여 일시적으로 저류하는 탱크(31∼34)가 마련되어 있다. 이러한 배치 관계를 채용함으로써, 일단 액화된 액체가 다시 미스트화하는 것이 억제된다. 또한, 각 탱크(31∼34)가 직경 방향으로 연속하도록 배치되어 있기 때문에, 각 탱크(31∼34)에 대한 액체 안내 드레인관의 접속도 용이해진다. 또한, 기판으로부터 털어낸 기체를 방출시키는 경로도 용이하게 설계할 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 제1 드레인용 탱크(31)의 내주측의 격벽, 즉 제1 드레인용 탱크(31)와 제2 드레인용 탱크(32) 사이의 격벽의 높이가, 제2 드레인용 탱크(32)와 제3 드레인용 탱크(33) 사이의 격벽의 높이보다도 낮게 되어 있다. 이에 따라, 제1 드레인용 탱크(31)와 제2 드레인용 탱크(32) 사이의 격벽이 액체 안내 중앙컵(22)과 간섭하는 것을 방지하여, 각 컵 구조의 설계 자유도가 향상된다.
또한, 본 실시형태에서는, 제3 회수 상태에서의 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 하부컵(23) 사이의 간격이, 제2 회수 상태에서의 간격보다도 길게 되어 있지만, 이것에 한정되지 않고, 제3 회수 상태에서의 액체 안내 중앙컵(22)과 액체 안내 하부컵(23) 사이의 간격을, 제2 회수 상태에서의 간격보다도 짧게 하는 양태도 채용할 수 있다. 그러한 양태에 있어서도, 상기 실시형태와 거의 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 이상의 설명에 있어서는, 본 발명에 따른 기판 액처리 장치, 기판 액처리 장치의 제어 방법 및 기판 액처리 장치의 제어 방법을 기판 액처리 장치로 실시하게 하는 기록 매체를, 반도체 웨이퍼(W)의 세정 처리에 적용한 예를 나타내고 있다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, LCD 기판 또는 CD 기판 등, 여러 가지 기판 등의 세정에 본 발명을 적용할 수도 있다.

Claims (15)

  1. 기판을 유지하는 배치대와,
    상기 배치대를 회전시키는 회전 구동부와,
    상기 배치대에 배치된 상기 기판에 액체를 공급하는 액체 공급부와,
    상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를 아래쪽으로 안내하기 위해서, 위에서부터 차례로 마련된, 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵과,
    상기 액체 안내 상부컵, 상기 액체 안내 중앙컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 승강시키기 위한 구동 기구
    를 포함하고, 상기 구동 기구는 상기 액체 안내 중앙컵에 접속되어 있고,
    상기 액체 안내 상부컵은, 상기 액체 안내 중앙컵에 지지됨으로써 상승하며,
    상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵은, 그 상승 이동 구간의 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 한편, 그 상승 이동 구간의 다른 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵을 지지하여, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 상부컵이 함께 상승하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 액체 안내 상부컵은, 그 외주벽에 외측 플랜지를 갖고 있고,
    상기 액체 안내 중앙컵은, 상기 액체 안내 상부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 외주측 접촉부를 갖고 있으며,
    상기 액체 안내 중앙컵의 상기 외주측 접촉부가 상기 액체 안내 상부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지한 상태에서, 상기 액체 안내 중앙컵이 상승할 때, 상기 액체 안내 상부컵도 동시에 상승하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  5. 삭제
  6. 기판을 유지하는 배치대와,
    상기 배치대를 회전시키는 회전 구동부와,
    상기 배치대에 배치된 상기 기판에 액체를 공급하는 액체 공급부와,
    상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를 아래쪽으로 안내하기 위해서, 위에서부터 차례로 마련된, 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵과,
    상기 액체 안내 상부컵, 상기 액체 안내 중앙컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 승강시키기 위한 구동 기구
    를 포함하고, 상기 구동 기구는 상기 액체 안내 중앙컵에 접속되어 있고,
    상기 액체 안내 하부컵은, 상기 액체 안내 중앙컵에 지지됨으로써 상승하며,
    상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵은, 그 상승 이동 구간의 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 한편, 그 상승 이동 구간의 다른 일부 구간에서, 상기 액체 안내 하부컵을 지지하여, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 하부컵이 함께 상승하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 액체 안내 하부컵은, 그 외주벽에 외측 플랜지를 갖고 있고,
    상기 액체 안내 중앙컵은, 상기 액체 안내 하부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 내주측 접촉부를 갖고 있으며,
    상기 액체 안내 중앙컵의 상기 내주측 접촉부가 상기 액체 안내 하부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지한 상태에서, 상기 액체 안내 중앙컵이 상승할 때, 상기 액체 안내 하부컵도 동시에 상승하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  8. 삭제
  9. 기판을 유지하는 배치대와,
    상기 배치대를 회전시키는 회전 구동부와,
    상기 배치대에 배치된 상기 기판에 액체를 공급하는 액체 공급부와,
    상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를 아래쪽으로 안내하기 위해서, 위에서부터 차례로 마련된, 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵과,
    상기 액체 안내 상부컵, 상기 액체 안내 중앙컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 승강시키기 위한 구동 기구
    를 포함하고, 상기 구동 기구는 상기 액체 안내 중앙컵에 접속되어 있고,
    상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵은, 상기 액체 안내 중앙컵에 각각 지지됨으로써 상승하며,
    상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵은, 그 상승 이동 구간의 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 한편, 그 상승 이동 구간의 다른 일부 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 각각 지지하여, 상기 액체 안내 중앙컵이, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵과 함께 상승하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 액체 안내 상부컵은 그 외주벽에 외측 플랜지를 갖고,
    상기 액체 안내 하부컵은 그 외주벽에 외측 플랜지를 가지며,
    상기 액체 안내 중앙컵은, 상기 액체 안내 상부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 외주측 접촉부와, 상기 액체 안내 하부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지할 수 있는 내주측 접촉부를 갖고,
    상기 액체 안내 중앙컵의 상기 외주측 접촉부가 상기 액체 안내 상부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지하며, 상기 액체 안내 중앙컵의 상기 내주측 접촉부가 상기 액체 안내 하부컵의 상기 외측 플랜지를 아래쪽으로부터 지지한 상태에서, 상기 액체 안내 중앙컵이 상승할 때, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵도 동시에 상승하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  11. 제1항, 제6항 및 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를, 상기 액체 안내 상부컵과 상기 액체 안내 중앙컵의 사이로 안내할 때, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 하부컵의 사이는 폐색되는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  12. 제1항, 제6항 및 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 하부컵의 사이로 안내할 때, 상기 액체 안내 상부컵과 상기 액체 안내 중앙컵의 사이는 폐색되는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치.
  13. 기판을 유지하는 배치대와,
    상기 배치대를 회전시키는 회전 구동부와,
    상기 배치대에 배치된 상기 기판에 액체를 공급하는 액체 공급부와,
    상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를 아래쪽으로 안내하기 위해서, 위에서부터 차례로 마련된, 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵과,
    상기 액체 안내 상부컵, 상기 액체 안내 중앙컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 승강시키기 위한 구동 기구를 포함하는 기판 액처리 장치를 제어하는 기판 액처리 장치의 제어 방법으로서,
    상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 제1 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 공정과,
    상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 제2 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵을 지지하여, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 상부컵이 함께 상승하는 공정과,
    상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 제3 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 각각 지지하여, 상기 액체 안내 중앙컵이, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵과 함께 상승하는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 액처리 장치의 제어 방법.
  14. 삭제
  15. 기판 액처리 장치를 제어하는 제어부에 의해 실행되는 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체로서,
    상기 프로그램이 상기 제어부에 의해 실행됨으로써,
    기판을 유지하는 배치대와,
    상기 배치대를 회전시키는 회전 구동부와,
    상기 배치대에 배치된 상기 기판에 액체를 공급하는 액체 공급부와,
    상기 배치대에 배치되어 회전하는 상기 기판으로부터 비산되는 액체를 아래쪽으로 안내하기 위해서, 위에서부터 차례로 마련된, 액체 안내 상부컵, 액체 안내 중앙컵 및 액체 안내 하부컵과,
    상기 액체 안내 상부컵, 상기 액체 안내 중앙컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 승강시키기 위한 구동 기구를 포함하는 기판 액처리 장치를 제어하는 기판 액처리 장치의 제어 방법으로서,
    상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 제1 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵으로부터 독립적으로 상승하는 공정과,
    상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 제2 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵을 지지하여, 상기 액체 안내 중앙컵과 상기 액체 안내 상부컵이 함께 상승하는 공정과,
    상기 구동 기구가 상기 액체 안내 중앙컵을 상승시킴으로써, 상기 액체 안내 중앙컵이, 그 상승 이동 구간의 제3 구간에서, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵을 각각 지지하여, 상기 액체 안내 중앙컵이, 상기 액체 안내 상부컵 및 상기 액체 안내 하부컵과 함께 상승하는 공정을 포함하는 기판 액처리 장치의 제어 방법을, 기판 액처리 장치로 실시하게 하는 것인 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
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