JP3929192B2 - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3929192B2 JP3929192B2 JP36225298A JP36225298A JP3929192B2 JP 3929192 B2 JP3929192 B2 JP 3929192B2 JP 36225298 A JP36225298 A JP 36225298A JP 36225298 A JP36225298 A JP 36225298A JP 3929192 B2 JP3929192 B2 JP 3929192B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- chemical
- opening
- cup
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板などの基板を回転させながら基板上に薬液やリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置に係り、特に、基板周縁から振り切られた薬液やリンス液を分離して回収する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板処理装置として、例えば実公平４−３４９０２号公報に記載されたものがある。この基板処理装置は図７に示すように、基板Ｗを水平姿勢で保持するスピンチャック１を備えている。スピンチャック１はモータ２の出力軸に連結されている。モータ２はエアーシリンダ３で昇降駆動されて、スピンチャック１が上昇位置と下降位置とに設定される。スピンチャック１の上方には薬液やリンス液などを基板Ｗに供給するためのノズル４が設けられている。また、スピンチャック１の周囲には、基板Ｗの周縁から振り切られた薬液やリンス液を分離回収するためのカップ５および６が設けられている。カップ５の開口５ａは上昇位置にある基板Ｗに、カップ６の開口６ａは下降位置にある基板Ｗに、それぞれ対向するように設定されている。
【０００３】
この基板処理装置は、基板Ｗを回転させながら基板Ｗに薬液を供給して所要の薬液処理を行った後に、基板Ｗに純水などのリンス液を供給して薬液をリンス液で置換し、続いて基板Ｗを高速回転させて基板Ｗを乾燥させるという一連の処理を行っている。一般に薬液処理はミストの発生を防止する観点から基板Ｗを比較的に低速回転させて行われるのに対して、リンス液処理や乾燥処理は薬液処理のときよりも基板Ｗを高速に回転させて行われる。したがって、薬液処理中の薬液はそれほど勢いよく基板Ｗから振り切られないのに対して、リンス液処理や乾燥処理中のリンス液は基板Ｗの周縁から勢いよく水平に振り切られる。そのため、基板Ｗから振り切られた薬液やリンス液を分離回収する上で、薬液は内側のカップ６で回収し、リンス液は外側のカップ５で回収するようにしている。つまり基板Ｗを下降位置に設定して薬液処理を行うと、基板Ｗから振り切られた薬液は内側のカップ６に確実に受け止め回収され、続いて基板Ｗを上昇位置に設定してリンス・乾燥処理を行うと、基板Ｗから振り切られたリンス液の多くは外側のカップ５に回収される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
最近、この種の基板処理装置では、省資源の観点からカップに回収された薬液を装置内の薬液タンクに集め、このタンク内の薬液をフィルタなどを通して再びノズルに送って利用するという形態を採るものが多くなっている。このような薬液循環タイプの基板処理装置において、図７に示したようなカップ配置構造にすると次のような問題が生じる。
【０００５】
すなわち、リンス・乾燥処理のとき基板Ｗは高速回転されるが、基板Ｗの周縁から振り切られたリンス液のいくらが内側のカップ６に入ることは避けられない。特に基板Ｗの回転数が十分に上昇していないような回転の立ち上がりの段階では内側のカップ６に入るリンス液の量は少なくない。カップ６に入ったリンス液は装置内の薬液タンクに流入して薬液の濃度を下げるという不都合を引き起こす。もちろん基板処理装置内の薬液の濃度は管理されており、濃度低下を起こした場合は薬液が補充されるように構成されてはいるが、上記のようなバラツキのある薬液濃度低下は極力避けたいという要請がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板から振り切られた薬液をカップで回収して循環利用するにあたり、薬液の濃度変化を極力抑えることができる基板処理装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、前記両カップを隔てる昇降自在の中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて前記薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて前記リンス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、前記両カップを隔てる昇降自在の中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて、基板周縁から振り切られた薬液が前記薬液回収用カップの開口に到達するのを許容する一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて、前記基板周縁から振り切られたリンス液を受け止めて前記リンス液回収用カップの開口に案内する中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、前記薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられ、前記両カップを隔てる中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて前記薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて前記リンス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、前記薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられ、前記両カップを隔てる中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて、基板周縁から振り切られた薬液が前記薬液回収用カップの開口に到達するのを許容する一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて、前記基板周縁から振り切られたリンス液を受け止めて前記リンス液回収用カップの開口に案内する中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞することを特徴とする。
【００１６】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を下降させて薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は基板周縁に対向している薬液回収用カップの開口に入って回収される。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を上昇させてリッス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス液は基板周縁に対向しているリンス液回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理の間、中間カップが上昇することによって狭められた薬液回収用カップの開口は基板端縁よりも上側に位置するので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップの開口へ侵入することがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動することがない。
また、リンス液処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カップ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
【００１７】
請求項２に記載の発明の作用は次のとおりである。
薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を下降させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は、内側にあるリッス液回収用カップの開口および下降位置にある中間カップ壁を飛び越えて、外側にある薬液回収用カップの開口に入る。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を上昇させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス液は上昇位置にある中間カップ壁に案内されてリンス液回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理の間、中間カップが上昇して基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップの開口に到達するのを阻止するので、リンス液が薬液回収用カップ内へ侵入することがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動することがない。
また、リンス液処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カップ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
【００２０】
請求項３に記載の発明の作用は次のとおりである。前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。の発明によれば、前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。薬液処理時には中間カップ壁を下降させて上側の薬液回収用カップの開口を大きく開く一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて下側のリンス液回収用カップの開口を大きく開いて、各開口を基板周縁に対向させているので、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防止することができる。
薬液処理時には中間カップ壁を下降させて基板周縁から振り切られた薬液を外側の薬液回収用カップの開口に到達させる一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて基板周縁から振り切られたリンス液を内側のリンス液回収用カップの開口に案内しているので、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防止することができる。リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。また、リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。また、リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口にリンス液が侵入することがない。前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。
薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を下降させて薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は基板周縁に対向している薬液回収用カップの開口に入って回収される。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を上昇させてリッス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス液は基板周縁に対向しているリンス液回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理の間、中間カップが上昇することによって狭められた薬液回収用カップの開口は基板端縁よりも上側に位置するので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップの開口へ侵入することがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動することがない。
また、リンス液処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カップ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
さらに、中間カップは、薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられている。
【００２１】
請求項４に記載の発明の作用は次のとおりである。
薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を下降させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は、内側にあるリッス液回収用カップの開口および下降位置にある中間カップ壁を飛び越えて、外側にある薬液回収用カップの開口に入る。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を上昇させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス液は上昇位置にある中間カップ壁に案内されてリンス液回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理の間、中間カップが上昇して基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップの開口に到達するのを阻止するので、リンス液が薬液回収用カップ内へ侵入することがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動することがない。
また、リンス液処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カップ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
さらに、中間カップは、薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられている。
【００２４】
請求項５に記載の発明によれば、前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
＜第１実施例＞
図１は本発明に係る基板処理装置の第１実施例の概略構成を示した縦断面図である。
本実施例の基板処理装置は、図７に示した従来装置と同様に、半導体ウエハなどの基板Ｗを水平姿勢で吸着保持するスピンチャック１１と、このスピンチャック１１を回転駆動するモータ１２を備えている。スピンチャック１１およびモータ１２は本発明における基板回転保持手段に相当する。なお、基板回転保持手段は、基板Ｗを吸着保持するものに限らず、回転台上に立設された複数本の支持ピンで基板Ｗの端縁を係止保持するものであってもよい。
【００２６】
モータ１２はエアーシリンダ１３で昇降駆動されて、スピンチャック１１が上昇位置と下降位置とに設定される。エアーシリンダ１３は本発明における昇降手段に相当する。スピンチャック１１の上方には三方弁ＶＬの切り換えにより薬液や、純水などのリンス液を選択的に基板Ｗに供給するためのノズル１４が設けられている。このノズル１４は本発明における薬液供給手段およびリンス液供給手段に相当する。なお、薬液供給手段およびリンス液供給手段は、もちろん個別のノズルで構成されてもよい。
【００２７】
スピンチャック１の周囲には、基板Ｗの周縁から振り切られた薬液やリンス液を分離回収するための薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６が設けられている。
【００２８】
本実施例の特徴的な構成として、薬液回収用カップ１５は基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられ、基板Ｗの周縁から振り切られた薬液を回収するための開口１５ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った上側に設定されている。また、リンス液回収用カップ１６は基板Ｗの回転軸芯周りの内側に設けられ、基板Ｗの周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口１６ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った下側に設定されている。そして、上昇位置にある基板Ｗの周縁が薬液回収用カップ１５の開口１５ａに、下降位置にある基板Ｗの周縁がリンス液回収用カップ１６の開口１６ａに、それぞれ対向するようにエアーシリンダ１３の昇降ストロークが設定されている。
【００２９】
本実施例の基板処理装置は薬液回収用カップ１５に回収された薬液を循環して利用するように構成されている。具体的には薬液回収用カップ１５の廃液口１５ｂから導出された薬液廃液は管路１７を通って薬液タンク１８に集められる。薬液タンク１８内の薬液はポンプ１９によって管路２０に送りだされ、管路２０の途中に設けられたパーティクル除去用のフィルタ２１などを介してノズル１４に戻される。管路１７および２０、薬液タンク１８、ポンプ１９などは本発明における薬液循環手段に相当する。
【００３０】
次に、上述した構成を備えた実施例装置を使って薬液処理、リンス液処理、および乾燥処理をその順に行うときの動作を説明する。
処理対象となる基板Ｗは図示しない基板搬送ロボットなどによってスピンチャック１１上に搭載されて吸着保持される。薬液処理のときエアーシリンダ１３が伸張して基板Ｗを上昇位置（図１中に鎖線で示す基板Ｗの位置）に持ち上げる。この状態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４から基板Ｗ上に薬液が供給されて薬液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られた薬液は、基板周縁に対向する開口１５ａから薬液回収用カップ１５に回収される。回収された薬液は管路１７を介して薬液タンク１８に集められ、続いてポンプ１９によって管路２０に送りだされてノズル１４に再び戻される。
【００３１】
所定時間の薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理ではエアーシリンダ１３が収縮して基板Ｗを下降位置（図１中に実線で示した基板Ｗの位置）にまで下げる。この状態で基板Ｗを回転させながら、三方弁ＶＬを切り換えてノズル１４から基板Ｗ上にリンス液が供給される。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られたリンス液は、基板周縁に対向する開口１６ａからリンス液回収用カップ１６に回収される。回収されたリンス液はリンス液回収用カップ１６の廃液口１６ｂから排出される。
【００３２】
リンス液処理のとき、薬液回収用カップ１５の開口１５ａは基板Ｗよりも上側の高い位置にあるので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ１５に侵入することがない。したがって、循環利用される薬液にリンス液が混入しないので、薬液の濃度変動を抑えることができる。
【００３３】
所定時間のリンス液処理が終わるとリンス液の供給を停止して、下降位置にある基板をその状態で高速回転させることにより、基板Ｗから余剰のリンス液を振り切って基板Ｗを乾燥させる。乾燥された基板Ｗは基板搬送ロボットによって装置外へ搬出される。以上で一連の基板処理が終了し、続いて新たな基板の処理が同様に繰り返し行われる。
【００３４】
＜第２実施例＞
図２は本発明に係る基板処理装置の第２実施例の概略構成を示した縦断面図である。図２において図１中の各符号と同一の符号で示した構成部分は第１実施例と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００３５】
第１実施例では基板Ｗを昇降させて基板周縁をカップ１５、１６の各開口１５ａ、１６ａに対向させるようにしたが、第２実施例では基板Ｗの位置を変えずに薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６を一体に昇降させるようにしている。具体的には一体に形成された薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６を支持アーム２２を介してリング状のベース部材２３に取り付け、このベース部材２３を複数本のエアーシリンダ２４で昇降駆動するようにしてある。これらエアーシリンダ２４は本発明における昇降手段に相当する。また、カップ１５、１６が昇降する関係で、各カップ１５、１６の廃液口１５ｂ、１６ｂを大径の繋ぎ管２５にそれぞれ緩く挿入してある。
【００３６】
本実施例装置によれば、薬液処理のとき、エアーシリンダ２４が収縮して薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６が一体に下降することにより、薬液回収用カップ１５の開口１５ａがスピンチャック１１上の基板Ｗの周縁に対向する。この状態で第１実施例と同様に薬液処理されることにより、基板Ｗから振り切られた薬液は薬液回収用カップ１５に回収されて薬液タンク１８に集められる。リンス液処理のときは、図３に示すように、エアーシリンダ２４が伸張することにより、薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６が一体に上昇して、リンス液回収用カップ１６の開口１６ａが基板Ｗの周縁に対向する。この状態で第１実施例と同様にリンス液処理と乾燥処理が順に行われて、基板周縁から振り切られたリンス液がリンス液回収用カップ１６に回収される。
【００３７】
本実施例によっても第１実施例と同様に、図３に示したリンス液処理のときに、薬液回収用カップ１５の開口１５ａは基板Ｗよりも高い位置にあるので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ１５に侵入することがない。
【００３８】
＜第３実施例＞
図４は本発明に係る基板処理装置の第３実施例の概略構成を示した縦断面図である。図４において図１ないし図３中の各符号と同一の符号で示した構成部分は第１および第２実施例と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００３９】
本実施例装置は、第１および第２実施例装置と同様に、基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられ、基板周縁から振り切られた薬液を取り込む開口１５ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った上側にある薬液回収用カップ１５と、基板Ｗの回転軸芯周りの内側に設けられ、基板周縁から振り切られたリンス液を取り込む開口１６ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った下側にあるリンス液回収用カップ１６とを備えている。そして、本実施例の特徴として、両カップ１５および１６を隔てる中間カップ壁３０が昇降自在に構成されている。
【００４０】
具体的には、中間カップ壁３０は、上端部が内側に傾斜するように絞り込まれた筒状体であって、その基端部には２重のリング状の裾部３０ａ、３０ｂが形成されている。この裾部３０ａ、３０ｂが、カップ１５、１６の底面に２重に形成されたリング状の案内壁３１ａ、３１ｂの外側に緩く嵌め込まれている。中間カップ壁３０の裾部３０ａ、３０ｂの内側中程に複数個のエアーシリンダ３２のロッド３２ａが連結されている。各エアーシリンダ３２のロッド３２ａの周囲はベローズ３３で遮蔽されており、カップ１５、１６内の雰囲気が装置外へ漏れたり、あるいは装置外からカップ１５、１６内へパーティクルが侵入しないようになっている。これらのエアーシリンダ３２が伸縮することにより中間カップ壁３０が昇降する。このエアーシリンダ３２は本発明における中間カップ壁昇降手段に相当する。
【００４１】
なお、本実施例装置は薬液およびリンス液を個別に供給する２つのノズル１４ａおよび１４ｂを備えている。また、モータ１２の下部には、装置内へ基板Ｗを搬入するときにスピンチャック１１を基板搬入位置にまで上昇させるためのエアーシリンダ３４が設けられている。さらに、リンス液回収用カップ１６の内側には、カップ１５、１６内を排気するための排気口３５（ただし、図１ないし図３では図示を省略してある）が設けられている。
【００４２】
次に上述した構成を備えた第３実施例装置の動作を説明する。
まず、基板Ｗを装置内に搬入するためにエアーシリンダ３４が伸張してスピンチャック１１が上昇する。スピンチャック１１に基板Ｗが搭載されると、エアーシリンダ３４が収縮して基板Ｗを処理位置（図４中に実線で示す基板Ｗの位置）にまで下降させる。
【００４３】
薬液処理のときエアーシリンダ３２は収縮し、中間カップ壁３０は下降位置にある。その結果、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが大きく開いて基板Ｗの周縁に対向する。この状態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４ａから薬液を基板Ｗ上に供給することにより薬液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られた薬液は開口１５ａを通って薬液回収用カップ１５に回収される。回収された薬液は第１および第２実施例装置と同様に循環されてノズル１４ａに戻される。
【００４４】
薬液処理が終わると薬液の供給が停止されてリンス液処理に移る。リンス液処理では、エアーシリンダ３２が伸張して中間カップ壁３０が上昇する。図５に示すように、中間カップ壁３０が上昇してその上端部が薬液回収用カップ１５の上部内壁に当接することにより、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞されるとともに、リンス液回収用カップ１６の開口１６ａが大きく開いて基板Ｗの周縁に対向する。この状態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４ｂからリンス液を基板Ｗ上に供給することによりリンス液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られたリンス液は開口１６ａを通ってリンス液回収用カップ１６に回収される。リンス液処理が終わるとリンス液の供給が停止されるとともに、開口１６ａを大きく開いた状態のままで基板Ｗが高速回転されて基板Ｗが乾燥される。
【００４５】
リンス液処理および乾燥処理のとき、上昇した中間カップ壁３０によって薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞され、また中間カップ壁３０の上端部と薬液回収用カップ１５の上部内壁との突き合わせ部は基板Ｗよりも高い位置にあるので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ１５と中間カップ壁３０との隙間から薬液回収用カップ１５に侵入することがない。また、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞されているので、薬液回収用カップ１５から漏れ出た薬液雰囲気によってリンス液処理あるいは乾燥処理を受けている基板Ｗが汚染されることがない。
【００４６】
なお、中間カップ壁３０が下降しているときに、中間カップ壁３０でリンス液回収用カップ１６の開口１６ａを閉塞するように構成すれば、薬液処理のときにリンス液回収用カップ１６に入り込む薬液の量が軽減されるので、その分だけ薬液を節約することもできる。
【００４７】
＜第４実施例＞
図６は本発明に係る基板処理装置の第４実施例の概略構成を示した縦断面図である。図６において図１ないし図５中の各符号と同一の符号で示した構成部分は第１ないし第３実施例と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００４８】
本実施例装置も第１ないし第３実施例装置と同様に、基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられた薬液回収用カップ１５と、基板Ｗの回転軸芯周りの内側に設けられたリンス液回収用カップ１６とを備えている。そして、本実施例装置では、基板周縁から振り切られた薬液を取り込む薬液回収用カップ１５の開口１５ａが基板Ｗの回転軸芯周りの外側に、基板周縁から振り切られたリンス液を取り込むリンス液回収用カップ１６の開口１６ａが基板Ｗの回転軸芯周りの内側に、それぞれ配置されている。そして、基板Ｗの回転軸芯に対して同芯状に配置された開口１５ａおよび１６ａを隔てる中間カップ壁３０が昇降自在に設けられている。
【００４９】
本実施例装置によれば、薬液処理のときに中間カップ壁３０が下降することにより、基板周縁から振り切られた薬液は、その勢いによってリンス液回収用カップ１６の開口１６ａおよび中間カップ壁３０を飛び越えて薬液回収用カップ１５の開口１５ａに入って回収される。一方、リンス液処理および乾燥処理のときは、中間カップ壁３０が上昇することにより、基板周縁から振り切られたリンス液が中間カップ壁３０によって全て受け止められてリンス液回収用カップ１６に回収される。本実施例装置によっても、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ１５に侵入することがないので、循環利用される薬液の濃度変動を防止することができる。
【００５０】
なお、本実施例装置においても、薬液回収用カップ１５の上端部を内側に張り出して形成すれば、リンス液処理や乾燥処理中に中間カップ壁３０を上昇させることにより、薬液回収用カップ１５の開口１５ａを閉塞することができる。
【００５１】
本発明は上述の各実施例に限らず次のように変形実施することもできる。
上述した各実施例では、薬液回収用カップ１５とリンス液回収用カップ１６の２つのカップを備えた基板処理装置を例に採ったが、複数種類の薬液を用いて各薬液を分離して循環利用するような場合には、３つ以上のカップを基板の回転軸芯周りに同芯状に配置して構成することもできる。このような場合もリンス液回収用カップを基板の回転軸芯に最も近い内側に配置し、その外側に各薬液に対応した複数個のカップを同芯状に配置すればよい。
【００５２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば次の効果を奏する。
請求項１に記載の発明によれば、薬液処理時には中間カップ壁を下降させて上側の薬液回収用カップの開口を大きく開く一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて下側のリンス液回収用カップの開口を大きく開いて、各開口を基板周縁に対向させているので、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防止することができる。
また、リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
【００５３】
請求項２に記載の発明によれば、薬液処理時には中間カップ壁を下降させて基板周縁から振り切られた薬液を外側の薬液回収用カップの開口に到達させる一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて基板周縁から振り切られたリンス液を内側のリンス液回収用カップの開口に案内しているので、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防止することができる。
また、リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
【００５６】
請求項５に記載の発明によれば、前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る基板処理装置の第１実施例の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】 第２実施例装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図３】 第２実施例装置のリンス液処理の状態を示す縦断面図である。
【図４】 第３実施例装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図５】 第３実施例装置のリンス液処理の状態を示す縦断面図である。
【図６】 第４実施例装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図７】 従来装置の概略構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
１１…スピンチャック
１２…モータ
１３…エアーシリンダ
１４…ノズル
１５…薬液回収用カップ
１５ａ…開口
１６…リンス液回収用カップ
１６ａ…開口
１８…薬液タンク
２４…エアーシリンダ
３０…中間カップ壁３
３２…エアーシリンダ
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板などの基板を回転させながら基板上に薬液やリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置に係り、特に、基板周縁から振り切られた薬液やリンス液を分離して回収する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板処理装置として、例えば実公平４−３４９０２号公報に記載されたものがある。この基板処理装置は図７に示すように、基板Ｗを水平姿勢で保持するスピンチャック１を備えている。スピンチャック１はモータ２の出力軸に連結されている。モータ２はエアーシリンダ３で昇降駆動されて、スピンチャック１が上昇位置と下降位置とに設定される。スピンチャック１の上方には薬液やリンス液などを基板Ｗに供給するためのノズル４が設けられている。また、スピンチャック１の周囲には、基板Ｗの周縁から振り切られた薬液やリンス液を分離回収するためのカップ５および６が設けられている。カップ５の開口５ａは上昇位置にある基板Ｗに、カップ６の開口６ａは下降位置にある基板Ｗに、それぞれ対向するように設定されている。
【０００３】
この基板処理装置は、基板Ｗを回転させながら基板Ｗに薬液を供給して所要の薬液処理を行った後に、基板Ｗに純水などのリンス液を供給して薬液をリンス液で置換し、続いて基板Ｗを高速回転させて基板Ｗを乾燥させるという一連の処理を行っている。一般に薬液処理はミストの発生を防止する観点から基板Ｗを比較的に低速回転させて行われるのに対して、リンス液処理や乾燥処理は薬液処理のときよりも基板Ｗを高速に回転させて行われる。したがって、薬液処理中の薬液はそれほど勢いよく基板Ｗから振り切られないのに対して、リンス液処理や乾燥処理中のリンス液は基板Ｗの周縁から勢いよく水平に振り切られる。そのため、基板Ｗから振り切られた薬液やリンス液を分離回収する上で、薬液は内側のカップ６で回収し、リンス液は外側のカップ５で回収するようにしている。つまり基板Ｗを下降位置に設定して薬液処理を行うと、基板Ｗから振り切られた薬液は内側のカップ６に確実に受け止め回収され、続いて基板Ｗを上昇位置に設定してリンス・乾燥処理を行うと、基板Ｗから振り切られたリンス液の多くは外側のカップ５に回収される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
最近、この種の基板処理装置では、省資源の観点からカップに回収された薬液を装置内の薬液タンクに集め、このタンク内の薬液をフィルタなどを通して再びノズルに送って利用するという形態を採るものが多くなっている。このような薬液循環タイプの基板処理装置において、図７に示したようなカップ配置構造にすると次のような問題が生じる。
【０００５】
すなわち、リンス・乾燥処理のとき基板Ｗは高速回転されるが、基板Ｗの周縁から振り切られたリンス液のいくらが内側のカップ６に入ることは避けられない。特に基板Ｗの回転数が十分に上昇していないような回転の立ち上がりの段階では内側のカップ６に入るリンス液の量は少なくない。カップ６に入ったリンス液は装置内の薬液タンクに流入して薬液の濃度を下げるという不都合を引き起こす。もちろん基板処理装置内の薬液の濃度は管理されており、濃度低下を起こした場合は薬液が補充されるように構成されてはいるが、上記のようなバラツキのある薬液濃度低下は極力避けたいという要請がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板から振り切られた薬液をカップで回収して循環利用するにあたり、薬液の濃度変化を極力抑えることができる基板処理装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、前記両カップを隔てる昇降自在の中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて前記薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて前記リンス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、前記両カップを隔てる昇降自在の中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて、基板周縁から振り切られた薬液が前記薬液回収用カップの開口に到達するのを許容する一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて、前記基板周縁から振り切られたリンス液を受け止めて前記リンス液回収用カップの開口に案内する中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、前記薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられ、前記両カップを隔てる中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて前記薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて前記リンス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、前記薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられ、前記両カップを隔てる中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて、基板周縁から振り切られた薬液が前記薬液回収用カップの開口に到達するのを許容する一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて、前記基板周縁から振り切られたリンス液を受け止めて前記リンス液回収用カップの開口に案内する中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞することを特徴とする。
【００１６】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を下降させて薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は基板周縁に対向している薬液回収用カップの開口に入って回収される。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を上昇させてリッス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス液は基板周縁に対向しているリンス液回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理の間、中間カップが上昇することによって狭められた薬液回収用カップの開口は基板端縁よりも上側に位置するので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップの開口へ侵入することがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動することがない。
また、リンス液処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カップ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
【００１７】
請求項２に記載の発明の作用は次のとおりである。
薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を下降させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は、内側にあるリッス液回収用カップの開口および下降位置にある中間カップ壁を飛び越えて、外側にある薬液回収用カップの開口に入る。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を上昇させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス液は上昇位置にある中間カップ壁に案内されてリンス液回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理の間、中間カップが上昇して基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップの開口に到達するのを阻止するので、リンス液が薬液回収用カップ内へ侵入することがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動することがない。
また、リンス液処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カップ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
【００２０】
請求項３に記載の発明の作用は次のとおりである。前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。の発明によれば、前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。薬液処理時には中間カップ壁を下降させて上側の薬液回収用カップの開口を大きく開く一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて下側のリンス液回収用カップの開口を大きく開いて、各開口を基板周縁に対向させているので、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防止することができる。
薬液処理時には中間カップ壁を下降させて基板周縁から振り切られた薬液を外側の薬液回収用カップの開口に到達させる一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて基板周縁から振り切られたリンス液を内側のリンス液回収用カップの開口に案内しているので、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防止することができる。リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。また、リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。また、リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口にリンス液が侵入することがない。前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。
薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を下降させて薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は基板周縁に対向している薬液回収用カップの開口に入って回収される。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を上昇させてリッス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス液は基板周縁に対向しているリンス液回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理の間、中間カップが上昇することによって狭められた薬液回収用カップの開口は基板端縁よりも上側に位置するので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップの開口へ侵入することがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動することがない。
また、リンス液処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カップ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
さらに、中間カップは、薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられている。
【００２１】
請求項４に記載の発明の作用は次のとおりである。
薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を下降させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は、内側にあるリッス液回収用カップの開口および下降位置にある中間カップ壁を飛び越えて、外側にある薬液回収用カップの開口に入る。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間カップ壁を上昇させる。この状態で基板回転保持手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス液は上昇位置にある中間カップ壁に案内されてリンス液回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理の間、中間カップが上昇して基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップの開口に到達するのを阻止するので、リンス液が薬液回収用カップ内へ侵入することがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動することがない。
また、リンス液処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カップ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
さらに、中間カップは、薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられている。
【００２４】
請求項５に記載の発明によれば、前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
＜第１実施例＞
図１は本発明に係る基板処理装置の第１実施例の概略構成を示した縦断面図である。
本実施例の基板処理装置は、図７に示した従来装置と同様に、半導体ウエハなどの基板Ｗを水平姿勢で吸着保持するスピンチャック１１と、このスピンチャック１１を回転駆動するモータ１２を備えている。スピンチャック１１およびモータ１２は本発明における基板回転保持手段に相当する。なお、基板回転保持手段は、基板Ｗを吸着保持するものに限らず、回転台上に立設された複数本の支持ピンで基板Ｗの端縁を係止保持するものであってもよい。
【００２６】
モータ１２はエアーシリンダ１３で昇降駆動されて、スピンチャック１１が上昇位置と下降位置とに設定される。エアーシリンダ１３は本発明における昇降手段に相当する。スピンチャック１１の上方には三方弁ＶＬの切り換えにより薬液や、純水などのリンス液を選択的に基板Ｗに供給するためのノズル１４が設けられている。このノズル１４は本発明における薬液供給手段およびリンス液供給手段に相当する。なお、薬液供給手段およびリンス液供給手段は、もちろん個別のノズルで構成されてもよい。
【００２７】
スピンチャック１の周囲には、基板Ｗの周縁から振り切られた薬液やリンス液を分離回収するための薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６が設けられている。
【００２８】
本実施例の特徴的な構成として、薬液回収用カップ１５は基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられ、基板Ｗの周縁から振り切られた薬液を回収するための開口１５ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った上側に設定されている。また、リンス液回収用カップ１６は基板Ｗの回転軸芯周りの内側に設けられ、基板Ｗの周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口１６ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った下側に設定されている。そして、上昇位置にある基板Ｗの周縁が薬液回収用カップ１５の開口１５ａに、下降位置にある基板Ｗの周縁がリンス液回収用カップ１６の開口１６ａに、それぞれ対向するようにエアーシリンダ１３の昇降ストロークが設定されている。
【００２９】
本実施例の基板処理装置は薬液回収用カップ１５に回収された薬液を循環して利用するように構成されている。具体的には薬液回収用カップ１５の廃液口１５ｂから導出された薬液廃液は管路１７を通って薬液タンク１８に集められる。薬液タンク１８内の薬液はポンプ１９によって管路２０に送りだされ、管路２０の途中に設けられたパーティクル除去用のフィルタ２１などを介してノズル１４に戻される。管路１７および２０、薬液タンク１８、ポンプ１９などは本発明における薬液循環手段に相当する。
【００３０】
次に、上述した構成を備えた実施例装置を使って薬液処理、リンス液処理、および乾燥処理をその順に行うときの動作を説明する。
処理対象となる基板Ｗは図示しない基板搬送ロボットなどによってスピンチャック１１上に搭載されて吸着保持される。薬液処理のときエアーシリンダ１３が伸張して基板Ｗを上昇位置（図１中に鎖線で示す基板Ｗの位置）に持ち上げる。この状態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４から基板Ｗ上に薬液が供給されて薬液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られた薬液は、基板周縁に対向する開口１５ａから薬液回収用カップ１５に回収される。回収された薬液は管路１７を介して薬液タンク１８に集められ、続いてポンプ１９によって管路２０に送りだされてノズル１４に再び戻される。
【００３１】
所定時間の薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リンス液処理ではエアーシリンダ１３が収縮して基板Ｗを下降位置（図１中に実線で示した基板Ｗの位置）にまで下げる。この状態で基板Ｗを回転させながら、三方弁ＶＬを切り換えてノズル１４から基板Ｗ上にリンス液が供給される。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られたリンス液は、基板周縁に対向する開口１６ａからリンス液回収用カップ１６に回収される。回収されたリンス液はリンス液回収用カップ１６の廃液口１６ｂから排出される。
【００３２】
リンス液処理のとき、薬液回収用カップ１５の開口１５ａは基板Ｗよりも上側の高い位置にあるので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ１５に侵入することがない。したがって、循環利用される薬液にリンス液が混入しないので、薬液の濃度変動を抑えることができる。
【００３３】
所定時間のリンス液処理が終わるとリンス液の供給を停止して、下降位置にある基板をその状態で高速回転させることにより、基板Ｗから余剰のリンス液を振り切って基板Ｗを乾燥させる。乾燥された基板Ｗは基板搬送ロボットによって装置外へ搬出される。以上で一連の基板処理が終了し、続いて新たな基板の処理が同様に繰り返し行われる。
【００３４】
＜第２実施例＞
図２は本発明に係る基板処理装置の第２実施例の概略構成を示した縦断面図である。図２において図１中の各符号と同一の符号で示した構成部分は第１実施例と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００３５】
第１実施例では基板Ｗを昇降させて基板周縁をカップ１５、１６の各開口１５ａ、１６ａに対向させるようにしたが、第２実施例では基板Ｗの位置を変えずに薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６を一体に昇降させるようにしている。具体的には一体に形成された薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６を支持アーム２２を介してリング状のベース部材２３に取り付け、このベース部材２３を複数本のエアーシリンダ２４で昇降駆動するようにしてある。これらエアーシリンダ２４は本発明における昇降手段に相当する。また、カップ１５、１６が昇降する関係で、各カップ１５、１６の廃液口１５ｂ、１６ｂを大径の繋ぎ管２５にそれぞれ緩く挿入してある。
【００３６】
本実施例装置によれば、薬液処理のとき、エアーシリンダ２４が収縮して薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６が一体に下降することにより、薬液回収用カップ１５の開口１５ａがスピンチャック１１上の基板Ｗの周縁に対向する。この状態で第１実施例と同様に薬液処理されることにより、基板Ｗから振り切られた薬液は薬液回収用カップ１５に回収されて薬液タンク１８に集められる。リンス液処理のときは、図３に示すように、エアーシリンダ２４が伸張することにより、薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１６が一体に上昇して、リンス液回収用カップ１６の開口１６ａが基板Ｗの周縁に対向する。この状態で第１実施例と同様にリンス液処理と乾燥処理が順に行われて、基板周縁から振り切られたリンス液がリンス液回収用カップ１６に回収される。
【００３７】
本実施例によっても第１実施例と同様に、図３に示したリンス液処理のときに、薬液回収用カップ１５の開口１５ａは基板Ｗよりも高い位置にあるので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ１５に侵入することがない。
【００３８】
＜第３実施例＞
図４は本発明に係る基板処理装置の第３実施例の概略構成を示した縦断面図である。図４において図１ないし図３中の各符号と同一の符号で示した構成部分は第１および第２実施例と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００３９】
本実施例装置は、第１および第２実施例装置と同様に、基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられ、基板周縁から振り切られた薬液を取り込む開口１５ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った上側にある薬液回収用カップ１５と、基板Ｗの回転軸芯周りの内側に設けられ、基板周縁から振り切られたリンス液を取り込む開口１６ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った下側にあるリンス液回収用カップ１６とを備えている。そして、本実施例の特徴として、両カップ１５および１６を隔てる中間カップ壁３０が昇降自在に構成されている。
【００４０】
具体的には、中間カップ壁３０は、上端部が内側に傾斜するように絞り込まれた筒状体であって、その基端部には２重のリング状の裾部３０ａ、３０ｂが形成されている。この裾部３０ａ、３０ｂが、カップ１５、１６の底面に２重に形成されたリング状の案内壁３１ａ、３１ｂの外側に緩く嵌め込まれている。中間カップ壁３０の裾部３０ａ、３０ｂの内側中程に複数個のエアーシリンダ３２のロッド３２ａが連結されている。各エアーシリンダ３２のロッド３２ａの周囲はベローズ３３で遮蔽されており、カップ１５、１６内の雰囲気が装置外へ漏れたり、あるいは装置外からカップ１５、１６内へパーティクルが侵入しないようになっている。これらのエアーシリンダ３２が伸縮することにより中間カップ壁３０が昇降する。このエアーシリンダ３２は本発明における中間カップ壁昇降手段に相当する。
【００４１】
なお、本実施例装置は薬液およびリンス液を個別に供給する２つのノズル１４ａおよび１４ｂを備えている。また、モータ１２の下部には、装置内へ基板Ｗを搬入するときにスピンチャック１１を基板搬入位置にまで上昇させるためのエアーシリンダ３４が設けられている。さらに、リンス液回収用カップ１６の内側には、カップ１５、１６内を排気するための排気口３５（ただし、図１ないし図３では図示を省略してある）が設けられている。
【００４２】
次に上述した構成を備えた第３実施例装置の動作を説明する。
まず、基板Ｗを装置内に搬入するためにエアーシリンダ３４が伸張してスピンチャック１１が上昇する。スピンチャック１１に基板Ｗが搭載されると、エアーシリンダ３４が収縮して基板Ｗを処理位置（図４中に実線で示す基板Ｗの位置）にまで下降させる。
【００４３】
薬液処理のときエアーシリンダ３２は収縮し、中間カップ壁３０は下降位置にある。その結果、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが大きく開いて基板Ｗの周縁に対向する。この状態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４ａから薬液を基板Ｗ上に供給することにより薬液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られた薬液は開口１５ａを通って薬液回収用カップ１５に回収される。回収された薬液は第１および第２実施例装置と同様に循環されてノズル１４ａに戻される。
【００４４】
薬液処理が終わると薬液の供給が停止されてリンス液処理に移る。リンス液処理では、エアーシリンダ３２が伸張して中間カップ壁３０が上昇する。図５に示すように、中間カップ壁３０が上昇してその上端部が薬液回収用カップ１５の上部内壁に当接することにより、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞されるとともに、リンス液回収用カップ１６の開口１６ａが大きく開いて基板Ｗの周縁に対向する。この状態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４ｂからリンス液を基板Ｗ上に供給することによりリンス液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周縁から振り切られたリンス液は開口１６ａを通ってリンス液回収用カップ１６に回収される。リンス液処理が終わるとリンス液の供給が停止されるとともに、開口１６ａを大きく開いた状態のままで基板Ｗが高速回転されて基板Ｗが乾燥される。
【００４５】
リンス液処理および乾燥処理のとき、上昇した中間カップ壁３０によって薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞され、また中間カップ壁３０の上端部と薬液回収用カップ１５の上部内壁との突き合わせ部は基板Ｗよりも高い位置にあるので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ１５と中間カップ壁３０との隙間から薬液回収用カップ１５に侵入することがない。また、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞されているので、薬液回収用カップ１５から漏れ出た薬液雰囲気によってリンス液処理あるいは乾燥処理を受けている基板Ｗが汚染されることがない。
【００４６】
なお、中間カップ壁３０が下降しているときに、中間カップ壁３０でリンス液回収用カップ１６の開口１６ａを閉塞するように構成すれば、薬液処理のときにリンス液回収用カップ１６に入り込む薬液の量が軽減されるので、その分だけ薬液を節約することもできる。
【００４７】
＜第４実施例＞
図６は本発明に係る基板処理装置の第４実施例の概略構成を示した縦断面図である。図６において図１ないし図５中の各符号と同一の符号で示した構成部分は第１ないし第３実施例と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００４８】
本実施例装置も第１ないし第３実施例装置と同様に、基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられた薬液回収用カップ１５と、基板Ｗの回転軸芯周りの内側に設けられたリンス液回収用カップ１６とを備えている。そして、本実施例装置では、基板周縁から振り切られた薬液を取り込む薬液回収用カップ１５の開口１５ａが基板Ｗの回転軸芯周りの外側に、基板周縁から振り切られたリンス液を取り込むリンス液回収用カップ１６の開口１６ａが基板Ｗの回転軸芯周りの内側に、それぞれ配置されている。そして、基板Ｗの回転軸芯に対して同芯状に配置された開口１５ａおよび１６ａを隔てる中間カップ壁３０が昇降自在に設けられている。
【００４９】
本実施例装置によれば、薬液処理のときに中間カップ壁３０が下降することにより、基板周縁から振り切られた薬液は、その勢いによってリンス液回収用カップ１６の開口１６ａおよび中間カップ壁３０を飛び越えて薬液回収用カップ１５の開口１５ａに入って回収される。一方、リンス液処理および乾燥処理のときは、中間カップ壁３０が上昇することにより、基板周縁から振り切られたリンス液が中間カップ壁３０によって全て受け止められてリンス液回収用カップ１６に回収される。本実施例装置によっても、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ１５に侵入することがないので、循環利用される薬液の濃度変動を防止することができる。
【００５０】
なお、本実施例装置においても、薬液回収用カップ１５の上端部を内側に張り出して形成すれば、リンス液処理や乾燥処理中に中間カップ壁３０を上昇させることにより、薬液回収用カップ１５の開口１５ａを閉塞することができる。
【００５１】
本発明は上述の各実施例に限らず次のように変形実施することもできる。
上述した各実施例では、薬液回収用カップ１５とリンス液回収用カップ１６の２つのカップを備えた基板処理装置を例に採ったが、複数種類の薬液を用いて各薬液を分離して循環利用するような場合には、３つ以上のカップを基板の回転軸芯周りに同芯状に配置して構成することもできる。このような場合もリンス液回収用カップを基板の回転軸芯に最も近い内側に配置し、その外側に各薬液に対応した複数個のカップを同芯状に配置すればよい。
【００５２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば次の効果を奏する。
請求項１に記載の発明によれば、薬液処理時には中間カップ壁を下降させて上側の薬液回収用カップの開口を大きく開く一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて下側のリンス液回収用カップの開口を大きく開いて、各開口を基板周縁に対向させているので、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防止することができる。
また、リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
【００５３】
請求項２に記載の発明によれば、薬液処理時には中間カップ壁を下降させて基板周縁から振り切られた薬液を外側の薬液回収用カップの開口に到達させる一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて基板周縁から振り切られたリンス液を内側のリンス液回収用カップの開口に案内しているので、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防止することができる。
また、リンス液処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
【００５６】
請求項５に記載の発明によれば、前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る基板処理装置の第１実施例の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】 第２実施例装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図３】 第２実施例装置のリンス液処理の状態を示す縦断面図である。
【図４】 第３実施例装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図５】 第３実施例装置のリンス液処理の状態を示す縦断面図である。
【図６】 第４実施例装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図７】 従来装置の概略構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
１１…スピンチャック
１２…モータ
１３…エアーシリンダ
１４…ノズル
１５…薬液回収用カップ
１５ａ…開口
１６…リンス液回収用カップ
１６ａ…開口
１８…薬液タンク
２４…エアーシリンダ
３０…中間カップ壁３
３２…エアーシリンダ
Claims (5)
- 基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、
基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、
前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、
前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、
前記両カップを隔てる昇降自在の中間カップ壁と、
薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて前記薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて前記リンス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる中間カップ壁昇降手段と、
前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段と
を備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、
基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、
前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、
前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、
前記両カップを隔てる昇降自在の中間カップ壁と、
薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて、基板周縁から振り切られた薬液が前記薬液回収用カップの開口に到達するのを許容する一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて、前記基板周縁から振り切られたリンス液を受け止めて前記リンス液回収用カップの開口に案内する中間カップ壁昇降手段と、
前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段と
を備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、
基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、
前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、
前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、
前記薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられ、前記両カップを隔てる 中間カップ壁と、
薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて前記薬液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて前記リンス液回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる中間カップ壁昇降手段と、
前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段と
を備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に薬液およびリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置において、
基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、
前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段と、
前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための開口を有するリンス液回収用カップと、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収用カップと、
前記薬液回収用カップの上端以下の高さで昇降自在に設けられ、前記両カップを隔てる中間カップ壁と、
薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて、基板周縁から振り切られた薬液が前記薬液回収用カップの開口に到達するのを許容する一方、リンス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて、前記基板周縁から振り切られたリンス液を受け止めて前記リンス液回収用カップの開口に案内する中間カップ壁昇降手段と、
前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段と
を備え、前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カップの開口を閉塞するものであることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記薬液回収用カップの上端部を張り出して形成し、中間カップ壁を上昇させることにより、薬液回収用カップの開口を閉塞することを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36225298A JP3929192B2 (ja) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36225298A JP3929192B2 (ja) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | 基板処理装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003378077A Division JP3966848B2 (ja) | 2003-11-07 | 2003-11-07 | 基板処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000183010A JP2000183010A (ja) | 2000-06-30 |
| JP3929192B2 true JP3929192B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
ID=18476379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36225298A Expired - Fee Related JP3929192B2 (ja) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3929192B2 (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002353186A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-06 | Ses Co Ltd | 枚葉式基板洗浄装置の薬液リサイクルシステムおよび枚葉式基板洗浄装置 |
| KR100414022B1 (ko) * | 2001-06-30 | 2004-01-07 | 동부전자 주식회사 | 웨이퍼 세정장치의 매엽식 챔버 |
| JP2003297801A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-17 | Shibaura Mechatronics Corp | スピン処理装置 |
| JP2004031400A (ja) * | 2002-06-21 | 2004-01-29 | Sipec Corp | 基板処理装置及びその処理方法 |
| JP4146709B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2008-09-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| US7584760B2 (en) * | 2002-09-13 | 2009-09-08 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
| JP2007088398A (ja) * | 2004-12-14 | 2007-04-05 | Realize Advanced Technology Ltd | 洗浄装置、この洗浄装置を用いた洗浄システム、及び被洗浄基板の洗浄方法 |
| JP4676272B2 (ja) * | 2005-07-26 | 2011-04-27 | 株式会社 エイ・エス・エイ・ピイ | 基板処理装置 |
| JP5084639B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2012-11-28 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | スピン処理装置 |
| EP2372749B1 (de) * | 2010-03-31 | 2021-09-29 | Levitronix GmbH | Behandlungsvorrichtung zur Behandlung einer Oberfläche eines Körpers |
| JP5242632B2 (ja) | 2010-06-03 | 2013-07-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置 |
| KR101592058B1 (ko) | 2010-06-03 | 2016-02-05 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 액처리 장치 |
| JP5309118B2 (ja) | 2010-12-17 | 2013-10-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置 |
| JP5375871B2 (ja) | 2011-04-18 | 2013-12-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、液処理方法、コンピュータプログラムを格納した記憶媒体 |
| JP5844681B2 (ja) * | 2011-07-06 | 2016-01-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法 |
| KR102188349B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2020-12-08 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
| JP6543534B2 (ja) * | 2015-08-26 | 2019-07-10 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
| JP6746471B2 (ja) * | 2016-11-08 | 2020-08-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| KR101970338B1 (ko) * | 2017-10-12 | 2019-04-18 | 주식회사 위드텍 | 스피닝 방식의 웨이퍼 표면 분석 장치 및 방법 |
| KR102271566B1 (ko) * | 2019-10-28 | 2021-07-01 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
| CN111146122B (zh) * | 2019-12-26 | 2022-10-28 | 厦门通富微电子有限公司 | 一种液体收集装置、显影/刻蚀机台和显影/刻蚀方法 |
-
1998
- 1998-12-21 JP JP36225298A patent/JP3929192B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000183010A (ja) | 2000-06-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3929192B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP5270251B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP5312856B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| US6009890A (en) | Substrate transporting and processing system | |
| JP4426036B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| KR102658596B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 세정 방법 | |
| US20080006299A1 (en) | Liquid processing apparatus and liquid processing method | |
| US6245156B1 (en) | Substrate transport method and apparatus, and substrate processing system | |
| JP2002353181A (ja) | 枚葉式基板洗浄方法および枚葉式基板洗浄装置 | |
| TWI753789B (zh) | 基板處理方法及基板處理裝置 | |
| CN110890292B (zh) | 基板处理装置以及基板处理方法 | |
| CN111095512B (zh) | 清洗半导体硅片的方法及装置 | |
| KR20130103378A (ko) | 액 처리 장치 | |
| JP3966848B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP5031684B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| CN107275271A (zh) | 基板搬运装置、基板处理装置以及结露抑制方法 | |
| JP4036513B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
| KR20130111150A (ko) | 기판 처리 장치 | |
| KR20120023296A (ko) | 기판처리장치 | |
| JP3892687B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
| JP2002353186A (ja) | 枚葉式基板洗浄装置の薬液リサイクルシステムおよび枚葉式基板洗浄装置 | |
| JP3640837B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP4505563B2 (ja) | 液処理装置 | |
| TW201940255A (zh) | 基板處理方法及基板處理裝置 | |
| JPH08102457A (ja) | 洗浄処理装置の制御方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060502 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060630 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061031 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061220 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070306 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070306 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130316 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130316 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130316 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140316 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |