JP2000183010A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置Info
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- JP2000183010A JP2000183010A JP10362252A JP36225298A JP2000183010A JP 2000183010 A JP2000183010 A JP 2000183010A JP 10362252 A JP10362252 A JP 10362252A JP 36225298 A JP36225298 A JP 36225298A JP 2000183010 A JP2000183010 A JP 2000183010A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板から振り切られた薬液をカップで回収し
て循環利用する際に、リンス液の混入による薬液の濃度
変化を抑える。 【解決手段】 本発明の基板処理装置は基板Ｗの回転軸
芯周りの外側に薬液回収用カップ１５を、内側にリンス
液回収用カップ１６を備える。カップ１５の開口１５ａ
は基板Ｗの回転軸芯に沿った上側に、カップ１６の開口
１６ａは下側にそれぞれ配置される。カップ１５、１６
を隔てる中間カップ壁３０は昇降自在に構成される。薬
液処理のときは中間カップ壁３０を下降させて薬液をカ
ップ１５で回収する。一方、リンス液処理のときは中間
カップ壁３０を上昇させて開口１５ａを閉塞するととも
に、下側の開口１６ａを大きく開いてリンス液をカップ
１６で回収する。リンス液処理のときに閉塞された開口
１５ａは基板Ｗよりも高い位置にあるので、薬液回収用
カップ１５にリンス液が侵入することがない。
て循環利用する際に、リンス液の混入による薬液の濃度
変化を抑える。 【解決手段】 本発明の基板処理装置は基板Ｗの回転軸
芯周りの外側に薬液回収用カップ１５を、内側にリンス
液回収用カップ１６を備える。カップ１５の開口１５ａ
は基板Ｗの回転軸芯に沿った上側に、カップ１６の開口
１６ａは下側にそれぞれ配置される。カップ１５、１６
を隔てる中間カップ壁３０は昇降自在に構成される。薬
液処理のときは中間カップ壁３０を下降させて薬液をカ
ップ１５で回収する。一方、リンス液処理のときは中間
カップ壁３０を上昇させて開口１５ａを閉塞するととも
に、下側の開口１６ａを大きく開いてリンス液をカップ
１６で回収する。リンス液処理のときに閉塞された開口
１５ａは基板Ｗよりも高い位置にあるので、薬液回収用
カップ１５にリンス液が侵入することがない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや液
晶表示器用のガラス基板などの基板を回転させながら基
板上に薬液やリンス液を順に供給して基板の処理を行う
基板処理装置に係り、特に、基板周縁から振り切られた
薬液やリンス液を分離して回収する技術に関する。
晶表示器用のガラス基板などの基板を回転させながら基
板上に薬液やリンス液を順に供給して基板の処理を行う
基板処理装置に係り、特に、基板周縁から振り切られた
薬液やリンス液を分離して回収する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の基板処理装置として、例
えば実公平４−３４９０２号公報に記載されたものがあ
る。この基板処理装置は図７に示すように、基板Ｗを水
平姿勢で保持するスピンチャック１を備えている。スピ
ンチャック１はモータ２の出力軸に連結されている。モ
ータ２はエアーシリンダ３で昇降駆動されて、スピンチ
ャック１が上昇位置と下降位置とに設定される。スピン
チャック１の上方には薬液やリンス液などを基板Ｗに供
給するためのノズル４が設けられている。また、スピン
チャック１の周囲には、基板Ｗの周縁から振り切られた
薬液やリンス液を分離回収するためのカップ５および６
が設けられている。カップ５の開口５ａは上昇位置にあ
る基板Ｗに、カップ６の開口６ａは下降位置にある基板
Ｗに、それぞれ対向するように設定されている。
えば実公平４−３４９０２号公報に記載されたものがあ
る。この基板処理装置は図７に示すように、基板Ｗを水
平姿勢で保持するスピンチャック１を備えている。スピ
ンチャック１はモータ２の出力軸に連結されている。モ
ータ２はエアーシリンダ３で昇降駆動されて、スピンチ
ャック１が上昇位置と下降位置とに設定される。スピン
チャック１の上方には薬液やリンス液などを基板Ｗに供
給するためのノズル４が設けられている。また、スピン
チャック１の周囲には、基板Ｗの周縁から振り切られた
薬液やリンス液を分離回収するためのカップ５および６
が設けられている。カップ５の開口５ａは上昇位置にあ
る基板Ｗに、カップ６の開口６ａは下降位置にある基板
Ｗに、それぞれ対向するように設定されている。
【０００３】この基板処理装置は、基板Ｗを回転させな
がら基板Ｗに薬液を供給して所要の薬液処理を行った後
に、基板Ｗに純水などのリンス液を供給して薬液をリン
ス液で置換し、続いて基板Ｗを高速回転させて基板Ｗを
乾燥させるという一連の処理を行っている。一般に薬液
処理はミストの発生を防止する観点から基板Ｗを比較的
に低速回転させて行われるのに対して、リンス液処理や
乾燥処理は薬液処理のときよりも基板Ｗを高速に回転さ
せて行われる。したがって、薬液処理中の薬液はそれほ
ど勢いよく基板Ｗから振り切られないのに対して、リン
ス液処理や乾燥処理中のリンス液は基板Ｗの周縁から勢
いよく水平に振り切られる。そのため、基板Ｗから振り
切られた薬液やリンス液を分離回収する上で、薬液は内
側のカップ６で回収し、リンス液は外側のカップ５で回
収するようにしている。つまり基板Ｗを下降位置に設定
して薬液処理を行うと、基板Ｗから振り切られた薬液は
内側のカップ６に確実に受け止め回収され、続いて基板
Ｗを上昇位置に設定してリンス・乾燥処理を行うと、基
板Ｗから振り切られたリンス液の多くは外側のカップ５
に回収される。
がら基板Ｗに薬液を供給して所要の薬液処理を行った後
に、基板Ｗに純水などのリンス液を供給して薬液をリン
ス液で置換し、続いて基板Ｗを高速回転させて基板Ｗを
乾燥させるという一連の処理を行っている。一般に薬液
処理はミストの発生を防止する観点から基板Ｗを比較的
に低速回転させて行われるのに対して、リンス液処理や
乾燥処理は薬液処理のときよりも基板Ｗを高速に回転さ
せて行われる。したがって、薬液処理中の薬液はそれほ
ど勢いよく基板Ｗから振り切られないのに対して、リン
ス液処理や乾燥処理中のリンス液は基板Ｗの周縁から勢
いよく水平に振り切られる。そのため、基板Ｗから振り
切られた薬液やリンス液を分離回収する上で、薬液は内
側のカップ６で回収し、リンス液は外側のカップ５で回
収するようにしている。つまり基板Ｗを下降位置に設定
して薬液処理を行うと、基板Ｗから振り切られた薬液は
内側のカップ６に確実に受け止め回収され、続いて基板
Ｗを上昇位置に設定してリンス・乾燥処理を行うと、基
板Ｗから振り切られたリンス液の多くは外側のカップ５
に回収される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。最近、この種の基板処理装置では、省資源の観点
からカップに回収された薬液を装置内の薬液タンクに集
め、このタンク内の薬液をフィルタなどを通して再びノ
ズルに送って利用するという形態を採るものが多くなっ
ている。このような薬液循環タイプの基板処理装置にお
いて、図７に示したようなカップ配置構造にすると次の
ような問題が生じる。
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。最近、この種の基板処理装置では、省資源の観点
からカップに回収された薬液を装置内の薬液タンクに集
め、このタンク内の薬液をフィルタなどを通して再びノ
ズルに送って利用するという形態を採るものが多くなっ
ている。このような薬液循環タイプの基板処理装置にお
いて、図７に示したようなカップ配置構造にすると次の
ような問題が生じる。
【０００５】すなわち、リンス・乾燥処理のとき基板Ｗ
は高速回転されるが、基板Ｗの周縁から振り切られたリ
ンス液のいくらが内側のカップ６に入ることは避けられ
ない。特に基板Ｗの回転数が十分に上昇していないよう
な回転の立ち上がりの段階では内側のカップ６に入るリ
ンス液の量は少なくない。カップ６に入ったリンス液は
装置内の薬液タンクに流入して薬液の濃度を下げるとい
う不都合を引き起こす。もちろん基板処理装置内の薬液
の濃度は管理されており、濃度低下を起こした場合は薬
液が補充されるように構成されてはいるが、上記のよう
なバラツキのある薬液濃度低下は極力避けたいという要
請がある。
は高速回転されるが、基板Ｗの周縁から振り切られたリ
ンス液のいくらが内側のカップ６に入ることは避けられ
ない。特に基板Ｗの回転数が十分に上昇していないよう
な回転の立ち上がりの段階では内側のカップ６に入るリ
ンス液の量は少なくない。カップ６に入ったリンス液は
装置内の薬液タンクに流入して薬液の濃度を下げるとい
う不都合を引き起こす。もちろん基板処理装置内の薬液
の濃度は管理されており、濃度低下を起こした場合は薬
液が補充されるように構成されてはいるが、上記のよう
なバラツキのある薬液濃度低下は極力避けたいという要
請がある。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、基板から振り切られた薬液をカップで
回収して循環利用するにあたり、薬液の濃度変化を極力
抑えることができる基板処理装置を提供することを目的
としている。
たものであって、基板から振り切られた薬液をカップで
回収して循環利用するにあたり、薬液の濃度変化を極力
抑えることができる基板処理装置を提供することを目的
としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、基板に薬液およびリンス
液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置におい
て、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前
記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給
するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持
された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保
持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、
基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための
開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持して
いる前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の
周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記
リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収
用カップと、薬液処理時には基板周縁と前記薬液回収用
カップの開口とが、リンス液処理時には基板周縁と前記
リンス液回収用カップの開口とが、それぞれ対向するよ
うに、前記基板回転保持手段と前記両カップとを相対的
に昇降させる昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収
された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液
循環手段とを備えたことを特徴とする。
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、基板に薬液およびリンス
液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装置におい
て、基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、前
記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供給
するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手段に保持
された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、基板を保
持している前記基板回転保持手段の外周側に配置され、
基板の周縁から振り切られたリンス液を回収するための
開口を有するリンス液回収用カップと、基板を保持して
いる前記基板回転保持手段の外周側に配置され、基板の
周縁から振り切られた薬液を回収するための開口を前記
リンス液回収用カップの開口より上側に有する薬液回収
用カップと、薬液処理時には基板周縁と前記薬液回収用
カップの開口とが、リンス液処理時には基板周縁と前記
リンス液回収用カップの開口とが、それぞれ対向するよ
うに、前記基板回転保持手段と前記両カップとを相対的
に昇降させる昇降手段と、前記薬液回収用カップに回収
された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与える薬液
循環手段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の基板処理装置において、前記昇降手段が基板回転保持
手段を昇降させるものである。
の基板処理装置において、前記昇降手段が基板回転保持
手段を昇降させるものである。
【０００９】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の基板処理装置において、前記昇降手段が前記薬液回収
用カップおよび前記リンス液回収用カップを一体に昇降
させるものである。
の基板処理装置において、前記昇降手段が前記薬液回収
用カップおよび前記リンス液回収用カップを一体に昇降
させるものである。
【００１０】請求項４に記載の発明は、基板に薬液およ
びリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装
置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手
段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス
液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手
段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収す
るための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を
保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置さ
れ、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための
開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有す
る薬液回収用カップと、前記両カップを隔てる昇降自在
の中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を
下降させて前記薬液回収用カップの開口を大きく開き、
この開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時
には前記中間カップ壁を上昇させて前記リンス液回収用
カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向
させる中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップ
に回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与え
る薬液循環手段とを備えたことを特徴とする。
びリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装
置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手
段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス
液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手
段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収す
るための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を
保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置さ
れ、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための
開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有す
る薬液回収用カップと、前記両カップを隔てる昇降自在
の中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を
下降させて前記薬液回収用カップの開口を大きく開き、
この開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時
には前記中間カップ壁を上昇させて前記リンス液回収用
カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向
させる中間カップ壁昇降手段と、前記薬液回収用カップ
に回収された薬液を循環させて前記薬液供給手段に与え
る薬液循環手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】請求項５に記載の発明は、基板に薬液およ
びリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装
置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手
段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス
液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手
段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収す
るための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を
保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置さ
れ、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための
開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有す
る薬液回収用カップと、前記両カップを隔てる昇降自在
の中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を
下降させて、基板周縁から振り切られた薬液が前記薬液
回収用カップの開口に到達するのを許容する一方、リン
ス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて、前記基
板周縁から振り切られたリンス液を受け止めて前記リン
ス液回収用カップの開口に案内する中間カップ壁昇降手
段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環さ
せて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備えた
ことを特徴とする。
びリンス液を順に供給して基板の処理を行う基板処理装
置において、基板を保持して回転させる基板回転保持手
段と、前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス
液を供給するリンス液供給手段と、前記基板回転保持手
段に保持された基板に薬液を供給する薬液供給手段と、
基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収す
るための開口を有するリンス液回収用カップと、基板を
保持している前記基板回転保持手段の外周側に配置さ
れ、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するための
開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に有す
る薬液回収用カップと、前記両カップを隔てる昇降自在
の中間カップ壁と、薬液処理時には前記中間カップ壁を
下降させて、基板周縁から振り切られた薬液が前記薬液
回収用カップの開口に到達するのを許容する一方、リン
ス液処理時には前記中間カップ壁を上昇させて、前記基
板周縁から振り切られたリンス液を受け止めて前記リン
ス液回収用カップの開口に案内する中間カップ壁昇降手
段と、前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環さ
せて前記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備えた
ことを特徴とする。
【００１２】請求項６に記載の発明は、請求項４または
５に記載の基板処理装置において、前記中間カップ壁
が、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カ
ップの開口を閉塞するものである。
５に記載の基板処理装置において、前記中間カップ壁
が、リンス液処理時に上昇されたときに、薬液回収用カ
ップの開口を閉塞するものである。
【００１３】
【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。薬液処理時には、昇降手段が基板回転保持手段と両
カップとを相対的に昇降させて基板周縁と薬液回収用カ
ップの開口とを対向させる。この状態で基板回転保持手
段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に
薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は基板
周縁に対向している薬液回収用カップの開口に入って回
収される。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循
環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利
用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リ
ンス液処理時には、昇降手段が基板回転保持手段と両カ
ップとを相対的に昇降させて基板周縁とリンス液回収用
カップの開口とを対向させる。この状態で基板回転保持
手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が
基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られた
リンス液は基板周縁に対向しているリンス液回収用カッ
プの開口に入って回収される。リンス液処理の間、薬液
回収用カップの開口は、リンス液回収用カップの開口よ
りも上側、すなわち基板周縁よりも上側に位置している
ので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用
カップの開口に入ることがない。したがって、循環利用
される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動するこ
とがない。
る。薬液処理時には、昇降手段が基板回転保持手段と両
カップとを相対的に昇降させて基板周縁と薬液回収用カ
ップの開口とを対向させる。この状態で基板回転保持手
段が基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に
薬液を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は基板
周縁に対向している薬液回収用カップの開口に入って回
収される。薬液回収用カップに回収された薬液は薬液循
環手段によって循環されて薬液供給手段に送られて再利
用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移る。リ
ンス液処理時には、昇降手段が基板回転保持手段と両カ
ップとを相対的に昇降させて基板周縁とリンス液回収用
カップの開口とを対向させる。この状態で基板回転保持
手段が基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が
基板にリンス液を供給する。基板周縁から振り切られた
リンス液は基板周縁に対向しているリンス液回収用カッ
プの開口に入って回収される。リンス液処理の間、薬液
回収用カップの開口は、リンス液回収用カップの開口よ
りも上側、すなわち基板周縁よりも上側に位置している
ので、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用
カップの開口に入ることがない。したがって、循環利用
される薬液の濃度がリンス液の混入によって変動するこ
とがない。
【００１４】請求項２に記載の発明によれば、薬液処理
時には、昇降手段か基板回転保持手段を上昇させること
により、基板周縁を薬液回収用カップの開口に対向させ
る。リンス液処理時には、昇降手段が基板回転保持手段
を下降させることにより、基板周縁をリンス液回収用カ
ップの開口に対向させる。
時には、昇降手段か基板回転保持手段を上昇させること
により、基板周縁を薬液回収用カップの開口に対向させ
る。リンス液処理時には、昇降手段が基板回転保持手段
を下降させることにより、基板周縁をリンス液回収用カ
ップの開口に対向させる。
【００１５】請求項３に記載の発明によれば、薬液処理
時には、昇降手段か薬液回収用カップおよびリンス液回
収用カップを一体に下降させることにより、薬液回収用
カップの開口を基板周縁に対向させる。リンス液処理時
には、昇降手段が薬液回収用カップおよびリンス液回収
用カップを一体に上昇させることにより、リンス液回収
用カップの開口を基板周縁に対向させる。
時には、昇降手段か薬液回収用カップおよびリンス液回
収用カップを一体に下降させることにより、薬液回収用
カップの開口を基板周縁に対向させる。リンス液処理時
には、昇降手段が薬液回収用カップおよびリンス液回収
用カップを一体に上昇させることにより、リンス液回収
用カップの開口を基板周縁に対向させる。
【００１６】請求項４に記載の発明の作用は次のとおり
である。薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間
カップ壁を下降させて薬液回収用カップの開口を大きく
開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基
板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給
手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られ
た薬液は基板周縁に対向している薬液回収用カップの開
口に入って回収される。薬液回収用カップに回収された
薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に
送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処
理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段
が中間カップ壁を上昇させてリッス液回収用カップの開
口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。こ
の状態で基板回転保持手段が基板を回転させるととも
に、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基
板周縁から振り切られたリンス液は基板周縁に対向して
いるリンス液回収用カップの開口に入って回収される。
リンス液処理の間、中間カップが上昇することによって
狭められた薬液回収用カップの開口は基板端縁よりも上
側に位置するので、基板周縁から振り切られたリンス液
が薬液回収用カップの開口へ侵入することがない。した
がって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入に
よって変動することがない。
である。薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間
カップ壁を下降させて薬液回収用カップの開口を大きく
開き、この開口を基板周縁に対向させる。この状態で基
板回転保持手段が基板を回転させるとともに、薬液供給
手段が基板に薬液を供給する。基板周縁から振り切られ
た薬液は基板周縁に対向している薬液回収用カップの開
口に入って回収される。薬液回収用カップに回収された
薬液は薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に
送られて再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処
理に移る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段
が中間カップ壁を上昇させてリッス液回収用カップの開
口を大きく開き、この開口を基板周縁に対向させる。こ
の状態で基板回転保持手段が基板を回転させるととも
に、リンス液供給手段が基板にリンス液を供給する。基
板周縁から振り切られたリンス液は基板周縁に対向して
いるリンス液回収用カップの開口に入って回収される。
リンス液処理の間、中間カップが上昇することによって
狭められた薬液回収用カップの開口は基板端縁よりも上
側に位置するので、基板周縁から振り切られたリンス液
が薬液回収用カップの開口へ侵入することがない。した
がって、循環利用される薬液の濃度がリンス液の混入に
よって変動することがない。
【００１７】請求項５に記載の発明の作用は次のとおり
である。薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間
カップ壁を下降させる。この状態で基板回転保持手段が
基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液
を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は、内側に
あるリッス液回収用カップの開口および下降位置にある
中間カップ壁を飛び越えて、外側にある薬液回収用カッ
プの開口に入る。薬液回収用カップに回収された薬液は
薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られ
て再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移
る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間
カップ壁を上昇させる。この状態で基板回転保持手段が
基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板に
リンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス
液は上昇位置にある中間カップ壁に案内されてリンス液
回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理
の間、中間カップが上昇して基板周縁から振り切られた
リンス液が薬液回収用カップの開口に到達するのを阻止
するので、リンス液が薬液回収用カップ内へ侵入するこ
とがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリ
ンス液の混入によって変動することがない。
である。薬液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間
カップ壁を下降させる。この状態で基板回転保持手段が
基板を回転させるとともに、薬液供給手段が基板に薬液
を供給する。基板周縁から振り切られた薬液は、内側に
あるリッス液回収用カップの開口および下降位置にある
中間カップ壁を飛び越えて、外側にある薬液回収用カッ
プの開口に入る。薬液回収用カップに回収された薬液は
薬液循環手段によって循環されて薬液供給手段に送られ
て再利用される。薬液処理が終わるとリンス液処理に移
る。リンス液処理時には、中間カップ壁昇降手段が中間
カップ壁を上昇させる。この状態で基板回転保持手段が
基板を回転させるとともに、リンス液供給手段が基板に
リンス液を供給する。基板周縁から振り切られたリンス
液は上昇位置にある中間カップ壁に案内されてリンス液
回収用カップの開口に入って回収される。リンス液処理
の間、中間カップが上昇して基板周縁から振り切られた
リンス液が薬液回収用カップの開口に到達するのを阻止
するので、リンス液が薬液回収用カップ内へ侵入するこ
とがない。したがって、循環利用される薬液の濃度がリ
ンス液の混入によって変動することがない。
【００１８】請求項６に記載の発明によれば、リンス液
処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カッ
プ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回
収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板
が汚染されることがない。
処理時に中間カップ壁が上昇したときに、この中間カッ
プ壁が薬液回収用カップの開口を閉塞するので、薬液回
収用カップの開口から漏れ出た薬液雰囲気によって基板
が汚染されることがない。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。 ＜第１実施例＞図１は本発明に係る基板処理装置の第１
実施例の概略構成を示した縦断面図である。本実施例の
基板処理装置は、図７に示した従来装置と同様に、半導
体ウエハなどの基板Ｗを水平姿勢で吸着保持するスピン
チャック１１と、このスピンチャック１１を回転駆動す
るモータ１２を備えている。スピンチャック１１および
モータ１２は本発明における基板回転保持手段に相当す
る。なお、基板回転保持手段は、基板Ｗを吸着保持する
ものに限らず、回転台上に立設された複数本の支持ピン
で基板Ｗの端縁を係止保持するものであってもよい。
施例を説明する。 ＜第１実施例＞図１は本発明に係る基板処理装置の第１
実施例の概略構成を示した縦断面図である。本実施例の
基板処理装置は、図７に示した従来装置と同様に、半導
体ウエハなどの基板Ｗを水平姿勢で吸着保持するスピン
チャック１１と、このスピンチャック１１を回転駆動す
るモータ１２を備えている。スピンチャック１１および
モータ１２は本発明における基板回転保持手段に相当す
る。なお、基板回転保持手段は、基板Ｗを吸着保持する
ものに限らず、回転台上に立設された複数本の支持ピン
で基板Ｗの端縁を係止保持するものであってもよい。
【００２０】モータ１２はエアーシリンダ１３で昇降駆
動されて、スピンチャック１１が上昇位置と下降位置と
に設定される。エアーシリンダ１３は本発明における昇
降手段に相当する。スピンチャック１１の上方には三方
弁ＶＬの切り換えにより薬液や、純水などのリンス液を
選択的に基板Ｗに供給するためのノズル１４が設けられ
ている。このノズル１４は本発明における薬液供給手段
およびリンス液供給手段に相当する。なお、薬液供給手
段およびリンス液供給手段は、もちろん個別のノズルで
構成されてもよい。
動されて、スピンチャック１１が上昇位置と下降位置と
に設定される。エアーシリンダ１３は本発明における昇
降手段に相当する。スピンチャック１１の上方には三方
弁ＶＬの切り換えにより薬液や、純水などのリンス液を
選択的に基板Ｗに供給するためのノズル１４が設けられ
ている。このノズル１４は本発明における薬液供給手段
およびリンス液供給手段に相当する。なお、薬液供給手
段およびリンス液供給手段は、もちろん個別のノズルで
構成されてもよい。
【００２１】スピンチャック１の周囲には、基板Ｗの周
縁から振り切られた薬液やリンス液を分離回収するため
の薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１
６が設けられている。
縁から振り切られた薬液やリンス液を分離回収するため
の薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ１
６が設けられている。
【００２２】本実施例の特徴的な構成として、薬液回収
用カップ１５は基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けら
れ、基板Ｗの周縁から振り切られた薬液を回収するため
の開口１５ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った上側に設定さ
れている。また、リンス液回収用カップ１６は基板Ｗの
回転軸芯周りの内側に設けられ、基板Ｗの周縁から振り
切られたリンス液を回収するための開口１６ａが基板Ｗ
の回転軸芯に沿った下側に設定されている。そして、上
昇位置にある基板Ｗの周縁が薬液回収用カップ１５の開
口１５ａに、下降位置にある基板Ｗの周縁がリンス液回
収用カップ１６の開口１６ａに、それぞれ対向するよう
にエアーシリンダ１３の昇降ストロークが設定されてい
る。
用カップ１５は基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けら
れ、基板Ｗの周縁から振り切られた薬液を回収するため
の開口１５ａが基板Ｗの回転軸芯に沿った上側に設定さ
れている。また、リンス液回収用カップ１６は基板Ｗの
回転軸芯周りの内側に設けられ、基板Ｗの周縁から振り
切られたリンス液を回収するための開口１６ａが基板Ｗ
の回転軸芯に沿った下側に設定されている。そして、上
昇位置にある基板Ｗの周縁が薬液回収用カップ１５の開
口１５ａに、下降位置にある基板Ｗの周縁がリンス液回
収用カップ１６の開口１６ａに、それぞれ対向するよう
にエアーシリンダ１３の昇降ストロークが設定されてい
る。
【００２３】本実施例の基板処理装置は薬液回収用カッ
プ１５に回収された薬液を循環して利用するように構成
されている。具体的には薬液回収用カップ１５の廃液口
１５ｂから導出された薬液廃液は管路１７を通って薬液
タンク１８に集められる。薬液タンク１８内の薬液はポ
ンプ１９によって管路２０に送りだされ、管路２０の途
中に設けられたパーティクル除去用のフィルタ２１など
を介してノズル１４に戻される。管路１７および２０、
薬液タンク１８、ポンプ１９などは本発明における薬液
循環手段に相当する。
プ１５に回収された薬液を循環して利用するように構成
されている。具体的には薬液回収用カップ１５の廃液口
１５ｂから導出された薬液廃液は管路１７を通って薬液
タンク１８に集められる。薬液タンク１８内の薬液はポ
ンプ１９によって管路２０に送りだされ、管路２０の途
中に設けられたパーティクル除去用のフィルタ２１など
を介してノズル１４に戻される。管路１７および２０、
薬液タンク１８、ポンプ１９などは本発明における薬液
循環手段に相当する。
【００２４】次に、上述した構成を備えた実施例装置を
使って薬液処理、リンス液処理、および乾燥処理をその
順に行うときの動作を説明する。処理対象となる基板Ｗ
は図示しない基板搬送ロボットなどによってスピンチャ
ック１１上に搭載されて吸着保持される。薬液処理のと
きエアーシリンダ１３が伸張して基板Ｗを上昇位置（図
１中に鎖線で示す基板Ｗの位置）に持ち上げる。この状
態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４から基板Ｗ上
に薬液が供給されて薬液処理が行われる。基板Ｗの回転
に伴って基板周縁から振り切られた薬液は、基板周縁に
対向する開口１５ａから薬液回収用カップ１５に回収さ
れる。回収された薬液は管路１７を介して薬液タンク１
８に集められ、続いてポンプ１９によって管路２０に送
りだされてノズル１４に再び戻される。
使って薬液処理、リンス液処理、および乾燥処理をその
順に行うときの動作を説明する。処理対象となる基板Ｗ
は図示しない基板搬送ロボットなどによってスピンチャ
ック１１上に搭載されて吸着保持される。薬液処理のと
きエアーシリンダ１３が伸張して基板Ｗを上昇位置（図
１中に鎖線で示す基板Ｗの位置）に持ち上げる。この状
態で基板Ｗを回転させながら、ノズル１４から基板Ｗ上
に薬液が供給されて薬液処理が行われる。基板Ｗの回転
に伴って基板周縁から振り切られた薬液は、基板周縁に
対向する開口１５ａから薬液回収用カップ１５に回収さ
れる。回収された薬液は管路１７を介して薬液タンク１
８に集められ、続いてポンプ１９によって管路２０に送
りだされてノズル１４に再び戻される。
【００２５】所定時間の薬液処理が終わるとリンス液処
理に移る。リンス液処理ではエアーシリンダ１３が収縮
して基板Ｗを下降位置（図１中に実線で示した基板Ｗの
位置）にまで下げる。この状態で基板Ｗを回転させなが
ら、三方弁ＶＬを切り換えてノズル１４から基板Ｗ上に
リンス液が供給される。基板Ｗの回転に伴って基板周縁
から振り切られたリンス液は、基板周縁に対向する開口
１６ａからリンス液回収用カップ１６に回収される。回
収されたリンス液はリンス液回収用カップ１６の廃液口
１６ｂから排出される。
理に移る。リンス液処理ではエアーシリンダ１３が収縮
して基板Ｗを下降位置（図１中に実線で示した基板Ｗの
位置）にまで下げる。この状態で基板Ｗを回転させなが
ら、三方弁ＶＬを切り換えてノズル１４から基板Ｗ上に
リンス液が供給される。基板Ｗの回転に伴って基板周縁
から振り切られたリンス液は、基板周縁に対向する開口
１６ａからリンス液回収用カップ１６に回収される。回
収されたリンス液はリンス液回収用カップ１６の廃液口
１６ｂから排出される。
【００２６】リンス液処理のとき、薬液回収用カップ１
５の開口１５ａは基板Ｗよりも上側の高い位置にあるの
で、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カ
ップ１５に侵入することがない。したがって、循環利用
される薬液にリンス液が混入しないので、薬液の濃度変
動を抑えることができる。
５の開口１５ａは基板Ｗよりも上側の高い位置にあるの
で、基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カ
ップ１５に侵入することがない。したがって、循環利用
される薬液にリンス液が混入しないので、薬液の濃度変
動を抑えることができる。
【００２７】所定時間のリンス液処理が終わるとリンス
液の供給を停止して、下降位置にある基板をその状態で
高速回転させることにより、基板Ｗから余剰のリンス液
を振り切って基板Ｗを乾燥させる。乾燥された基板Ｗは
基板搬送ロボットによって装置外へ搬出される。以上で
一連の基板処理が終了し、続いて新たな基板の処理が同
様に繰り返し行われる。
液の供給を停止して、下降位置にある基板をその状態で
高速回転させることにより、基板Ｗから余剰のリンス液
を振り切って基板Ｗを乾燥させる。乾燥された基板Ｗは
基板搬送ロボットによって装置外へ搬出される。以上で
一連の基板処理が終了し、続いて新たな基板の処理が同
様に繰り返し行われる。
【００２８】＜第２実施例＞図２は本発明に係る基板処
理装置の第２実施例の概略構成を示した縦断面図であ
る。図２において図１中の各符号と同一の符号で示した
構成部分は第１実施例と同様であるので、ここでの説明
は省略する。
理装置の第２実施例の概略構成を示した縦断面図であ
る。図２において図１中の各符号と同一の符号で示した
構成部分は第１実施例と同様であるので、ここでの説明
は省略する。
【００２９】第１実施例では基板Ｗを昇降させて基板周
縁をカップ１５、１６の各開口１５ａ、１６ａに対向さ
せるようにしたが、第２実施例では基板Ｗの位置を変え
ずに薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ
１６を一体に昇降させるようにしている。具体的には一
体に形成された薬液回収用カップ１５およびリンス液回
収用カップ１６を支持アーム２２を介してリング状のベ
ース部材２３に取り付け、このベース部材２３を複数本
のエアーシリンダ２４で昇降駆動するようにしてある。
これらエアーシリンダ２４は本発明における昇降手段に
相当する。また、カップ１５、１６が昇降する関係で、
各カップ１５、１６の廃液口１５ｂ、１６ｂを大径の繋
ぎ管２５にそれぞれ緩く挿入してある。
縁をカップ１５、１６の各開口１５ａ、１６ａに対向さ
せるようにしたが、第２実施例では基板Ｗの位置を変え
ずに薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カップ
１６を一体に昇降させるようにしている。具体的には一
体に形成された薬液回収用カップ１５およびリンス液回
収用カップ１６を支持アーム２２を介してリング状のベ
ース部材２３に取り付け、このベース部材２３を複数本
のエアーシリンダ２４で昇降駆動するようにしてある。
これらエアーシリンダ２４は本発明における昇降手段に
相当する。また、カップ１５、１６が昇降する関係で、
各カップ１５、１６の廃液口１５ｂ、１６ｂを大径の繋
ぎ管２５にそれぞれ緩く挿入してある。
【００３０】本実施例装置によれば、薬液処理のとき、
エアーシリンダ２４が収縮して薬液回収用カップ１５お
よびリンス液回収用カップ１６が一体に下降することに
より、薬液回収用カップ１５の開口１５ａがスピンチャ
ック１１上の基板Ｗの周縁に対向する。この状態で第１
実施例と同様に薬液処理されることにより、基板Ｗから
振り切られた薬液は薬液回収用カップ１５に回収されて
薬液タンク１８に集められる。リンス液処理のときは、
図３に示すように、エアーシリンダ２４が伸張すること
により、薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カ
ップ１６が一体に上昇して、リンス液回収用カップ１６
の開口１６ａが基板Ｗの周縁に対向する。この状態で第
１実施例と同様にリンス液処理と乾燥処理が順に行われ
て、基板周縁から振り切られたリンス液がリンス液回収
用カップ１６に回収される。
エアーシリンダ２４が収縮して薬液回収用カップ１５お
よびリンス液回収用カップ１６が一体に下降することに
より、薬液回収用カップ１５の開口１５ａがスピンチャ
ック１１上の基板Ｗの周縁に対向する。この状態で第１
実施例と同様に薬液処理されることにより、基板Ｗから
振り切られた薬液は薬液回収用カップ１５に回収されて
薬液タンク１８に集められる。リンス液処理のときは、
図３に示すように、エアーシリンダ２４が伸張すること
により、薬液回収用カップ１５およびリンス液回収用カ
ップ１６が一体に上昇して、リンス液回収用カップ１６
の開口１６ａが基板Ｗの周縁に対向する。この状態で第
１実施例と同様にリンス液処理と乾燥処理が順に行われ
て、基板周縁から振り切られたリンス液がリンス液回収
用カップ１６に回収される。
【００３１】本実施例によっても第１実施例と同様に、
図３に示したリンス液処理のときに、薬液回収用カップ
１５の開口１５ａは基板Ｗよりも高い位置にあるので、
基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ
１５に侵入することがない。
図３に示したリンス液処理のときに、薬液回収用カップ
１５の開口１５ａは基板Ｗよりも高い位置にあるので、
基板周縁から振り切られたリンス液が薬液回収用カップ
１５に侵入することがない。
【００３２】＜第３実施例＞図４は本発明に係る基板処
理装置の第３実施例の概略構成を示した縦断面図であ
る。図４において図１ないし図３中の各符号と同一の符
号で示した構成部分は第１および第２実施例と同様であ
るので、ここでの説明は省略する。
理装置の第３実施例の概略構成を示した縦断面図であ
る。図４において図１ないし図３中の各符号と同一の符
号で示した構成部分は第１および第２実施例と同様であ
るので、ここでの説明は省略する。
【００３３】本実施例装置は、第１および第２実施例装
置と同様に、基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられ、
基板周縁から振り切られた薬液を取り込む開口１５ａが
基板Ｗの回転軸芯に沿った上側にある薬液回収用カップ
１５と、基板Ｗの回転軸芯周りの内側に設けられ、基板
周縁から振り切られたリンス液を取り込む開口１６ａが
基板Ｗの回転軸芯に沿った下側にあるリンス液回収用カ
ップ１６とを備えている。そして、本実施例の特徴とし
て、両カップ１５および１６を隔てる中間カップ壁３０
が昇降自在に構成されている。
置と同様に、基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられ、
基板周縁から振り切られた薬液を取り込む開口１５ａが
基板Ｗの回転軸芯に沿った上側にある薬液回収用カップ
１５と、基板Ｗの回転軸芯周りの内側に設けられ、基板
周縁から振り切られたリンス液を取り込む開口１６ａが
基板Ｗの回転軸芯に沿った下側にあるリンス液回収用カ
ップ１６とを備えている。そして、本実施例の特徴とし
て、両カップ１５および１６を隔てる中間カップ壁３０
が昇降自在に構成されている。
【００３４】具体的には、中間カップ壁３０は、上端部
が内側に傾斜するように絞り込まれた筒状体であって、
その基端部には２重のリング状の裾部３０ａ、３０ｂが
形成されている。この裾部３０ａ、３０ｂが、カップ１
５、１６の底面に２重に形成されたリング状の案内壁３
１ａ、３１ｂの外側に緩く嵌め込まれている。中間カッ
プ壁３０の裾部３０ａ、３０ｂの内側中程に複数個のエ
アーシリンダ３２のロッド３２ａが連結されている。各
エアーシリンダ３２のロッド３２ａの周囲はベローズ３
３で遮蔽されており、カップ１５、１６内の雰囲気が装
置外へ漏れたり、あるいは装置外からカップ１５、１６
内へパーティクルが侵入しないようになっている。これ
らのエアーシリンダ３２が伸縮することにより中間カッ
プ壁３０が昇降する。このエアーシリンダ３２は本発明
における中間カップ壁昇降手段に相当する。
が内側に傾斜するように絞り込まれた筒状体であって、
その基端部には２重のリング状の裾部３０ａ、３０ｂが
形成されている。この裾部３０ａ、３０ｂが、カップ１
５、１６の底面に２重に形成されたリング状の案内壁３
１ａ、３１ｂの外側に緩く嵌め込まれている。中間カッ
プ壁３０の裾部３０ａ、３０ｂの内側中程に複数個のエ
アーシリンダ３２のロッド３２ａが連結されている。各
エアーシリンダ３２のロッド３２ａの周囲はベローズ３
３で遮蔽されており、カップ１５、１６内の雰囲気が装
置外へ漏れたり、あるいは装置外からカップ１５、１６
内へパーティクルが侵入しないようになっている。これ
らのエアーシリンダ３２が伸縮することにより中間カッ
プ壁３０が昇降する。このエアーシリンダ３２は本発明
における中間カップ壁昇降手段に相当する。
【００３５】なお、本実施例装置は薬液およびリンス液
を個別に供給する２つのノズル１４ａおよび１４ｂを備
えている。また、モータ１２の下部には、装置内へ基板
Ｗを搬入するときにスピンチャック１１を基板搬入位置
にまで上昇させるためのエアーシリンダ３４が設けられ
ている。さらに、リンス液回収用カップ１６の内側に
は、カップ１５、１６内を排気するための排気口３５
（ただし、図１ないし図３では図示を省略してある）が
設けられている。
を個別に供給する２つのノズル１４ａおよび１４ｂを備
えている。また、モータ１２の下部には、装置内へ基板
Ｗを搬入するときにスピンチャック１１を基板搬入位置
にまで上昇させるためのエアーシリンダ３４が設けられ
ている。さらに、リンス液回収用カップ１６の内側に
は、カップ１５、１６内を排気するための排気口３５
（ただし、図１ないし図３では図示を省略してある）が
設けられている。
【００３６】次に上述した構成を備えた第３実施例装置
の動作を説明する。まず、基板Ｗを装置内に搬入するた
めにエアーシリンダ３４が伸張してスピンチャック１１
が上昇する。スピンチャック１１に基板Ｗが搭載される
と、エアーシリンダ３４が収縮して基板Ｗを処理位置
（図４中に実線で示す基板Ｗの位置）にまで下降させ
る。
の動作を説明する。まず、基板Ｗを装置内に搬入するた
めにエアーシリンダ３４が伸張してスピンチャック１１
が上昇する。スピンチャック１１に基板Ｗが搭載される
と、エアーシリンダ３４が収縮して基板Ｗを処理位置
（図４中に実線で示す基板Ｗの位置）にまで下降させ
る。
【００３７】薬液処理のときエアーシリンダ３２は収縮
し、中間カップ壁３０は下降位置にある。その結果、薬
液回収用カップ１５の開口１５ａが大きく開いて基板Ｗ
の周縁に対向する。この状態で基板Ｗを回転させなが
ら、ノズル１４ａから薬液を基板Ｗ上に供給することに
より薬液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周
縁から振り切られた薬液は開口１５ａを通って薬液回収
用カップ１５に回収される。回収された薬液は第１およ
び第２実施例装置と同様に循環されてノズル１４ａに戻
される。
し、中間カップ壁３０は下降位置にある。その結果、薬
液回収用カップ１５の開口１５ａが大きく開いて基板Ｗ
の周縁に対向する。この状態で基板Ｗを回転させなが
ら、ノズル１４ａから薬液を基板Ｗ上に供給することに
より薬液処理が行われる。基板Ｗの回転に伴って基板周
縁から振り切られた薬液は開口１５ａを通って薬液回収
用カップ１５に回収される。回収された薬液は第１およ
び第２実施例装置と同様に循環されてノズル１４ａに戻
される。
【００３８】薬液処理が終わると薬液の供給が停止され
てリンス液処理に移る。リンス液処理では、エアーシリ
ンダ３２が伸張して中間カップ壁３０が上昇する。図５
に示すように、中間カップ壁３０が上昇してその上端部
が薬液回収用カップ１５の上部内壁に当接することによ
り、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞されると
ともに、リンス液回収用カップ１６の開口１６ａが大き
く開いて基板Ｗの周縁に対向する。この状態で基板Ｗを
回転させながら、ノズル１４ｂからリンス液を基板Ｗ上
に供給することによりリンス液処理が行われる。基板Ｗ
の回転に伴って基板周縁から振り切られたリンス液は開
口１６ａを通ってリンス液回収用カップ１６に回収され
る。リンス液処理が終わるとリンス液の供給が停止され
るとともに、開口１６ａを大きく開いた状態のままで基
板Ｗが高速回転されて基板Ｗが乾燥される。
てリンス液処理に移る。リンス液処理では、エアーシリ
ンダ３２が伸張して中間カップ壁３０が上昇する。図５
に示すように、中間カップ壁３０が上昇してその上端部
が薬液回収用カップ１５の上部内壁に当接することによ
り、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉塞されると
ともに、リンス液回収用カップ１６の開口１６ａが大き
く開いて基板Ｗの周縁に対向する。この状態で基板Ｗを
回転させながら、ノズル１４ｂからリンス液を基板Ｗ上
に供給することによりリンス液処理が行われる。基板Ｗ
の回転に伴って基板周縁から振り切られたリンス液は開
口１６ａを通ってリンス液回収用カップ１６に回収され
る。リンス液処理が終わるとリンス液の供給が停止され
るとともに、開口１６ａを大きく開いた状態のままで基
板Ｗが高速回転されて基板Ｗが乾燥される。
【００３９】リンス液処理および乾燥処理のとき、上昇
した中間カップ壁３０によって薬液回収用カップ１５の
開口１５ａが閉塞され、また中間カップ壁３０の上端部
と薬液回収用カップ１５の上部内壁との突き合わせ部は
基板Ｗよりも高い位置にあるので、基板周縁から振り切
られたリンス液が薬液回収用カップ１５と中間カップ壁
３０との隙間から薬液回収用カップ１５に侵入すること
がない。また、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉
塞されているので、薬液回収用カップ１５から漏れ出た
薬液雰囲気によってリンス液処理あるいは乾燥処理を受
けている基板Ｗが汚染されることがない。
した中間カップ壁３０によって薬液回収用カップ１５の
開口１５ａが閉塞され、また中間カップ壁３０の上端部
と薬液回収用カップ１５の上部内壁との突き合わせ部は
基板Ｗよりも高い位置にあるので、基板周縁から振り切
られたリンス液が薬液回収用カップ１５と中間カップ壁
３０との隙間から薬液回収用カップ１５に侵入すること
がない。また、薬液回収用カップ１５の開口１５ａが閉
塞されているので、薬液回収用カップ１５から漏れ出た
薬液雰囲気によってリンス液処理あるいは乾燥処理を受
けている基板Ｗが汚染されることがない。
【００４０】なお、中間カップ壁３０が下降していると
きに、中間カップ壁３０でリンス液回収用カップ１６の
開口１６ａを閉塞するように構成すれば、薬液処理のと
きにリンス液回収用カップ１６に入り込む薬液の量が軽
減されるので、その分だけ薬液を節約することもでき
る。
きに、中間カップ壁３０でリンス液回収用カップ１６の
開口１６ａを閉塞するように構成すれば、薬液処理のと
きにリンス液回収用カップ１６に入り込む薬液の量が軽
減されるので、その分だけ薬液を節約することもでき
る。
【００４１】＜第４実施例＞図６は本発明に係る基板処
理装置の第４実施例の概略構成を示した縦断面図であ
る。図６において図１ないし図５中の各符号と同一の符
号で示した構成部分は第１ないし第３実施例と同様であ
るので、ここでの説明は省略する。
理装置の第４実施例の概略構成を示した縦断面図であ
る。図６において図１ないし図５中の各符号と同一の符
号で示した構成部分は第１ないし第３実施例と同様であ
るので、ここでの説明は省略する。
【００４２】本実施例装置も第１ないし第３実施例装置
と同様に、基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられた薬
液回収用カップ１５と、基板Ｗの回転軸芯周りの内側に
設けられたリンス液回収用カップ１６とを備えている。
そして、本実施例装置では、基板周縁から振り切られた
薬液を取り込む薬液回収用カップ１５の開口１５ａが基
板Ｗの回転軸芯周りの外側に、基板周縁から振り切られ
たリンス液を取り込むリンス液回収用カップ１６の開口
１６ａが基板Ｗの回転軸芯周りの内側に、それぞれ配置
されている。そして、基板Ｗの回転軸芯に対して同芯状
に配置された開口１５ａおよび１６ａを隔てる中間カッ
プ壁３０が昇降自在に設けられている。
と同様に、基板Ｗの回転軸芯周りの外側に設けられた薬
液回収用カップ１５と、基板Ｗの回転軸芯周りの内側に
設けられたリンス液回収用カップ１６とを備えている。
そして、本実施例装置では、基板周縁から振り切られた
薬液を取り込む薬液回収用カップ１５の開口１５ａが基
板Ｗの回転軸芯周りの外側に、基板周縁から振り切られ
たリンス液を取り込むリンス液回収用カップ１６の開口
１６ａが基板Ｗの回転軸芯周りの内側に、それぞれ配置
されている。そして、基板Ｗの回転軸芯に対して同芯状
に配置された開口１５ａおよび１６ａを隔てる中間カッ
プ壁３０が昇降自在に設けられている。
【００４３】本実施例装置によれば、薬液処理のときに
中間カップ壁３０が下降することにより、基板周縁から
振り切られた薬液は、その勢いによってリンス液回収用
カップ１６の開口１６ａおよび中間カップ壁３０を飛び
越えて薬液回収用カップ１５の開口１５ａに入って回収
される。一方、リンス液処理および乾燥処理のときは、
中間カップ壁３０が上昇することにより、基板周縁から
振り切られたリンス液が中間カップ壁３０によって全て
受け止められてリンス液回収用カップ１６に回収され
る。本実施例装置によっても、基板周縁から振り切られ
たリンス液が薬液回収用カップ１５に侵入することがな
いので、循環利用される薬液の濃度変動を防止すること
ができる。
中間カップ壁３０が下降することにより、基板周縁から
振り切られた薬液は、その勢いによってリンス液回収用
カップ１６の開口１６ａおよび中間カップ壁３０を飛び
越えて薬液回収用カップ１５の開口１５ａに入って回収
される。一方、リンス液処理および乾燥処理のときは、
中間カップ壁３０が上昇することにより、基板周縁から
振り切られたリンス液が中間カップ壁３０によって全て
受け止められてリンス液回収用カップ１６に回収され
る。本実施例装置によっても、基板周縁から振り切られ
たリンス液が薬液回収用カップ１５に侵入することがな
いので、循環利用される薬液の濃度変動を防止すること
ができる。
【００４４】なお、本実施例装置においても、薬液回収
用カップ１５の上端部を内側に張り出して形成すれば、
リンス液処理や乾燥処理中に中間カップ壁３０を上昇さ
せることにより、薬液回収用カップ１５の開口１５ａを
閉塞することができる。
用カップ１５の上端部を内側に張り出して形成すれば、
リンス液処理や乾燥処理中に中間カップ壁３０を上昇さ
せることにより、薬液回収用カップ１５の開口１５ａを
閉塞することができる。
【００４５】本発明は上述の各実施例に限らず次のよう
に変形実施することもできる。上述した各実施例では、
薬液回収用カップ１５とリンス液回収用カップ１６の２
つのカップを備えた基板処理装置を例に採ったが、複数
種類の薬液を用いて各薬液を分離して循環利用するよう
な場合には、３つ以上のカップを基板の回転軸芯周りに
同芯状に配置して構成することもできる。このような場
合もリンス液回収用カップを基板の回転軸芯に最も近い
内側に配置し、その外側に各薬液に対応した複数個のカ
ップを同芯状に配置すればよい。
に変形実施することもできる。上述した各実施例では、
薬液回収用カップ１５とリンス液回収用カップ１６の２
つのカップを備えた基板処理装置を例に採ったが、複数
種類の薬液を用いて各薬液を分離して循環利用するよう
な場合には、３つ以上のカップを基板の回転軸芯周りに
同芯状に配置して構成することもできる。このような場
合もリンス液回収用カップを基板の回転軸芯に最も近い
内側に配置し、その外側に各薬液に対応した複数個のカ
ップを同芯状に配置すればよい。
【００４６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば次の効果を奏する。請求項１に記載の発明によ
れば、基板の回転軸芯周りの外側に設けられた薬液回収
用カップの開口が基板の回転軸芯に沿った上側にあると
ともに、基板の回転軸芯周りの内側に設けられたリンス
液回収用カップの開口が基板の回転軸芯に沿った下側に
あるので、基板周縁とリンス液回収用カップの開口とを
対向させた状態でリンス液処理を行ったときに、基板か
ら振り切られたリンス液が上側の薬液回収用カップの開
口に侵入することがない。したがって、請求項１に記載
の発明によれば、リンス液の混入にする薬液濃度の変動
を防止することができる。
によれば次の効果を奏する。請求項１に記載の発明によ
れば、基板の回転軸芯周りの外側に設けられた薬液回収
用カップの開口が基板の回転軸芯に沿った上側にあると
ともに、基板の回転軸芯周りの内側に設けられたリンス
液回収用カップの開口が基板の回転軸芯に沿った下側に
あるので、基板周縁とリンス液回収用カップの開口とを
対向させた状態でリンス液処理を行ったときに、基板か
ら振り切られたリンス液が上側の薬液回収用カップの開
口に侵入することがない。したがって、請求項１に記載
の発明によれば、リンス液の混入にする薬液濃度の変動
を防止することができる。
【００４７】請求項２に記載の発明によれば、昇降手段
が基板回転保持手段を昇降させているので、薬液処理時
には基板周縁を薬液回収用カップの開口に対向させる一
方、リンス液処理時には基板周縁をリンス液回収用カッ
プの開口に対向させることにより請求項１記載の発明と
同様の効果が得られる。
が基板回転保持手段を昇降させているので、薬液処理時
には基板周縁を薬液回収用カップの開口に対向させる一
方、リンス液処理時には基板周縁をリンス液回収用カッ
プの開口に対向させることにより請求項１記載の発明と
同様の効果が得られる。
【００４８】請求項３に記載の発明によれば、昇降手段
が薬液回収用カップおよびリンス液回収用カップを一体
に昇降させているので、薬液処理時には薬液回収用カッ
プの開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時
にはリンス液回収用カップの開口を基板周縁に対向させ
ることにより請求項１記載の発明と同様の効果が得られ
る。
が薬液回収用カップおよびリンス液回収用カップを一体
に昇降させているので、薬液処理時には薬液回収用カッ
プの開口を基板周縁に対向させる一方、リンス液処理時
にはリンス液回収用カップの開口を基板周縁に対向させ
ることにより請求項１記載の発明と同様の効果が得られ
る。
【００４９】請求項４に記載の発明によれば、薬液処理
時には中間カップ壁を下降させて上側の薬液回収用カッ
プの開口を大きく開く一方、リンス液処理時には中間カ
ップ壁を上昇させて下側のリンス液回収用カップの開口
を大きく開いて、各開口を基板周縁に対向させているの
で、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがな
く、薬液の濃度変動を防止することができる。
時には中間カップ壁を下降させて上側の薬液回収用カッ
プの開口を大きく開く一方、リンス液処理時には中間カ
ップ壁を上昇させて下側のリンス液回収用カップの開口
を大きく開いて、各開口を基板周縁に対向させているの
で、薬液回収用カップにリンス液が侵入することがな
く、薬液の濃度変動を防止することができる。
【００５０】請求項５に記載の発明によれば、薬液処理
時には中間カップ壁を下降させて基板周縁から振り切ら
れた薬液を外側の薬液回収用カップの開口に到達させる
一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて基
板周縁から振り切られたリンス液を内側のリンス液回収
用カップの開口に案内しているので、薬液回収用カップ
にリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防
止することができる。
時には中間カップ壁を下降させて基板周縁から振り切ら
れた薬液を外側の薬液回収用カップの開口に到達させる
一方、リンス液処理時には中間カップ壁を上昇させて基
板周縁から振り切られたリンス液を内側のリンス液回収
用カップの開口に案内しているので、薬液回収用カップ
にリンス液が侵入することがなく、薬液の濃度変動を防
止することができる。
【００５１】請求項６に記載の発明によれば、リンス液
処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口
を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ
出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
処理時に中間カップ壁によって薬液回収用カップの開口
を閉塞しているので、薬液回収用カップの開口から漏れ
出た薬液雰囲気によって基板が汚染されることがない。
【図１】本発明に係る基板処理装置の第１実施例の概略
構成を示す縦断面図である。
構成を示す縦断面図である。
【図２】第２実施例装置の概略構成を示す縦断面図であ
る。
る。
【図３】第２実施例装置のリンス液処理の状態を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図４】第３実施例装置の概略構成を示す縦断面図であ
る。
る。
【図５】第３実施例装置のリンス液処理の状態を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図６】第４実施例装置の概略構成を示す縦断面図であ
る。
る。
【図７】従来装置の概略構成を示す縦断面図である。
１１…スピンチャック １２…モータ １３…エアーシリンダ １４…ノズル １５…薬液回収用カップ １５ａ…開口 １６…リンス液回収用カップ １６ａ…開口 １８…薬液タンク ２４…エアーシリンダ ３０…中間カップ壁３ ３２…エアーシリンダ
Claims (6)
- 【請求項１】 基板に薬液およびリンス液を順に供給し
て基板の処理を行う基板処理装置において、 基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、 前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供
給するリンス液供給手段と、 前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給す
る薬液供給手段と、 基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収す
るための開口を有するリンス液回収用カップと、 基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するた
めの開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に
有する薬液回収用カップと、 薬液処理時には基板周縁と前記薬液回収用カップの開口
とが、リンス液処理時には基板周縁と前記リンス液回収
用カップの開口とが、それぞれ対向するように、前記基
板回転保持手段と前記両カップとを相対的に昇降させる
昇降手段と、 前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前
記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備えたことを
特徴とする基板処理装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の基板処理装置におい
て、 前記昇降手段は基板回転保持手段を昇降させるものであ
る基板処理装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の基板処理装置におい
て、 前記昇降手段は前記薬液回収用カップおよび前記リンス
液回収用カップを一体に昇降させるものである基板処理
装置。 - 【請求項４】 基板に薬液およびリンス液を順に供給し
て基板の処理を行う基板処理装置において、 基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、 前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供
給するリンス液供給手段と、 前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給す
る薬液供給手段と、 基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収す
るための開口を有するリンス液回収用カップと、 基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するた
めの開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に
有する薬液回収用カップと、 前記両カップを隔てる昇降自在の中間カップ壁と、 薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて前記薬液
回収用カップの開口を大きく開き、この開口を基板周縁
に対向させる一方、リンス液処理時には前記中間カップ
壁を上昇させて前記リンス液回収用カップの開口を大き
く開き、この開口を基板周縁に対向させる中間カップ壁
昇降手段と、 前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前
記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備えたことを
特徴とする基板処理装置。 - 【請求項５】 基板に薬液およびリンス液を順に供給し
て基板の処理を行う基板処理装置において、 基板を保持して回転させる基板回転保持手段と、 前記基板回転保持手段に保持された基板にリンス液を供
給するリンス液供給手段と、 前記基板回転保持手段に保持された基板に薬液を供給す
る薬液供給手段と、 基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られたリンス液を回収す
るための開口を有するリンス液回収用カップと、 基板を保持している前記基板回転保持手段の外周側に配
置され、基板の周縁から振り切られた薬液を回収するた
めの開口を前記リンス液回収用カップの開口より上側に
有する薬液回収用カップと、 前記両カップを隔てる昇降自在の中間カップ壁と、 薬液処理時には前記中間カップ壁を下降させて、基板周
縁から振り切られた薬液が前記薬液回収用カップの開口
に到達するのを許容する一方、リンス液処理時には前記
中間カップ壁を上昇させて、前記基板周縁から振り切ら
れたリンス液を受け止めて前記リンス液回収用カップの
開口に案内する中間カップ壁昇降手段と、 前記薬液回収用カップに回収された薬液を循環させて前
記薬液供給手段に与える薬液循環手段とを備えたことを
特徴とする基板処理装置。 - 【請求項６】 請求項４または５に記載の基板処理装置
において、 前記中間カップ壁は、リンス液処理時に上昇されたとき
に、薬液回収用カップの開口を閉塞するものである基板
処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36225298A JP3929192B2 (ja) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36225298A JP3929192B2 (ja) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | 基板処理装置 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003378077A Division JP3966848B2 (ja) | 2003-11-07 | 2003-11-07 | 基板処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000183010A true JP2000183010A (ja) | 2000-06-30 |
| JP3929192B2 JP3929192B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36225298A Expired - Fee Related JP3929192B2 (ja) | 1998-12-21 | 1998-12-21 | 基板処理装置 |
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|---|---|
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- 1998-12-21 JP JP36225298A patent/JP3929192B2/ja not_active Expired - Fee Related
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