KR102271566B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 기재의 기판 처리 장치는 기판을 지지하고, 기판을 회전시키는 회전 유닛; 상기 회전 유닛으로 약액을 토출하는 약액 토출 유닛; 상기 회전 유닛에 인접하게 위치되고, 상기 회전 유닛에서 비산되는 약액을 회수하는 약액 회수 유닛; 상기 약액 회수 유닛과 결합되고, 상기 약액 회수 유닛이 상기 회전 유닛에 대하여 상하방향으로 이동될 수 있게 하는 승강 유닛; 및 상기 약액 회수 유닛이 상기 승강 유닛에 대해 탄성 지지될 수 있게 하고, 상기 승강 유닛에 대한 약액 회수 유닛의 상대적인 위치가 가변될 수 있게 하는 하나 이상의 위치 보정 부재;를 포함한다.

Description

기판 처리 장치{Substrate treatment apparatus}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체를 제조하는데 사용될 수 있는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자가 고밀도, 고집적화, 고성능화됨에 따라 회로 패턴의 미세화가 급속히 진행됨으로써, 기판 표면에 잔류하는 파티클(Particle), 유기 오염물, 금속 오염물 등의 오염 물질은 소자의 특성과 생산 수율에 많은 영향을 미치게 된다. 이에 따라 기판 표면에 부착된 각종 오염 물질을 제거하는 세정 공정이 반도체 제조 공정에서 매우 중요하게 대두되고 있으며, 반도체를 제조하는 각 단위 공정의 전후 단계에서 기판을 세정 처리하는 세정 공정이 실시되고 있다.
반도체 제조 공정에서 사용되는 세정 방법은 건식 세정(Dry Cleaning)과 습식 세정(Wet Cleaning)으로 분류될 수 있다. 습식 세정은 약액 중에 기판을 침적시켜 화학적 용해 등에 의해서 오염 물질을 제거하는 배스(Bath) 타입의 방식과, 스핀 척 위에 기판을 놓고 기판을 회전시키는 동안 기판의 표면에 약액을 공급하여 오염물질을 제거하는 스핀(Spin) 타입의 방식으로 분류될 수 있다.
한편, 스핀 타입의 방식은, 한 장의 기판을 처리할 수 있는 척 부재에 기판을 고정한 후, 기판을 회전시키면서 분사 노즐을 통해 기판에 약액 또는 탈이온수를 공급하여, 원심력에 의해 약액 또는 탈이온수를 기판의 전면으로 퍼지게 함으로써 기판을 세정 처리하며, 기판의 세정 처리 후에는 건조 가스로 기판을 건조한다.
이처럼 기판에 대해 약액 처리를 하는 기판 처리 장치에서 약액은 회수 장치로 회수하여 재사용하는 것이 일반적이다. 회수 장치는 약액의 종류마다 각각 유입되는 다양한 공간을 포함한다. 약액이 회수 장치의 다양한 공간에 유입되도록, 회수 장치에는 상하방향으로 승강시키는 장치가 설치될 수 있다.
이러한 승강 장치는 공압 실린더로 구성될 수 있고, 공압 실린더는 실린더와 피스톤으로 구성되는 것이 일반적이다. 이러한 공압 실린더들은 회수 장치에 설치될 수 있으며, 동작을 시작하기 전의 대기중 상태에서 실린더 내부의 압축 공기의 차이에 의하여 회수 장치를 지지하는 부분에서 서로간 높이차가 발생될 수 있다.
이에 따라, 회수 장치가 기울어지면서, 실린더에 횡방향으로 하중이 발생될 수 있다. 이때, 피스톤의 둘레에 설치된 씰링에 마모가 발생되고, 실린더 하부의 공기가 유출될 수 있다. 따라서, 승강 장치가 원활하게 동작되지 않을 수 있다.
뿐만 아니라, 회수 장치가 과도하게 기울어지는 경우, 약액의 회수 장치의 목표로하는 공간에 유입되지 않고 다른 공간으로 유입되면서, 약액이 혼합되어 재사용되지 어려워질 수 있다.
한국공개특허 제2014-0067892호
본 발명의 목적은 파손을 방지하고 동작 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 기판 처리 장치는 기판을 지지하고, 기판을 회전시키는 회전 유닛; 상기 회전 유닛으로 약액을 토출하는 약액 토출 유닛; 상기 회전 유닛에 인접하게 위치되고, 상기 회전 유닛에서 비산되는 약액을 회수하는 약액 회수 유닛; 상기 약액 회수 유닛과 결합되고, 상기 약액 회수 유닛이 상기 회전 유닛에 대하여 상하방향으로 이동될 수 있게 하는 승강 유닛; 및 상기 약액 회수 유닛이 상기 승강 유닛에 대해 탄성 지지될 수 있게 하고, 상기 승강 유닛에 대한 약액 회수 유닛의 상대적인 위치가 가변될 수 있게 하는 하나 이상의 위치 보정 부재;를 포함한다.
한편, 상기 약액 회수 유닛은, 약액을 회수하는 몸체부; 및 상기 몸체부로부터 외부로 돌출되는 브라켓부;를 포함할 수 있다.
한편, 상기 승강 유닛은, 막대 형상으로 이루어지고, 상기 브라켓부를 관통하며, 상기 위치 보정 부재를 지지하는 이동 부재; 상기 이동 부재를 승강시키는 동력 발생 부재; 및 상기 이동 부재가 상기 브라켓부를 관통하는 상태에서 상기 이동 부재의 끝부분에 결합되는 이탈 방지 부재;를 포함할 수 있다.
한편, 상기 위치 보정 부재는 상기 이동 부재를 감싸도록 설치되고, 상기 동력 발생 부재와 상기 브라켓부 사이에 위치될 수 있다.
한편, 상기 이동 부재가 관통되도록 설치되고, 상기 이탈 방지 부재와 상기 브라켓부 사이에 개재되는 응력 방지 부재를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 응력 방지 부재는 구(sphere) 형상일 수 있다.
한편, 상기 위치 보정 부재는 두 개이고, 어느 하나의 위치 보정 부재는 상기 이동 부재를 감싸도록 설치되고, 상기 동력 발생 부재와 상기 브라켓부 사이에 위치되며, 나머지 하나는 상기 이탈 방지 부재와 상기 브라켓부 사이에 위치될 수 있다.
한편, 상기 위치 보정 부재는 압축 스프링일 수 있다.
한편, 상기 동력 발생 부재는, 내부 공간을 포함하는 실린더; 상기 실린더의 내부 공간에 위치되고, 상기 이동 부재와 결합되며, 상기 실린더의 길이 방향을 따라 이동되는 피스톤; 및 상기 실린더에 연결되고, 상기 실린더의 내부 공간의 압력을 조절하는 압력 조절기;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 위치 보정 부재를 포함한다. 위치 보정 부재는 승강 유닛과 약액 회수 유닛 사이에 설치되어 있다. 그리고, 승강 유닛은 약액 회수 유닛의 좌측 및 우측 각각에 설치될 수 있다. 실린더 내부의 압력 차이로 인하여 이동 부재들에서 높이차가 발생되더라도, 약액 회수 유닛은 위치 보정 부재에 의하여 거의 수평인 상태를 유지할 수 있다.
따라서, 동력 발생 부재에 포함된 실린더 또는 피스톤이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 실린더가 공압 방식인 경우, 실린더의 공기가 유출(leak)되는 것이 방지될 수 있으므로, 피스톤이 목표 위치에 도달하지 못하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 약액 회수 유닛이 항상 수평을 유지하게 함으로써, 다양한 종류의 약액의 약액 회수 장치의 목표로하는 유입구에 유입될 수 있다. 이에 따라, 다양한 종류의 약액이 혼합되는 것을 방지하여 약액을 회수하여 재사용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는, 도 1의 기판 처리 장치에서 Ⅱ-Ⅱ'라인을 따라 취한 단면도이다.
도 3은 비교예에 따른 기판 처리 장치가 동작되는 과정에서 약액 회수 유닛의 좌우 각각의 높이를 측정한 그래프이다.
도 4는 실시예에 따른 기판 처리 장치가 동작되는 과정에서 약액 회수 유닛의 좌우 각각의 높이를 측정한 그래프이다.
도 5는 비교예에 따른 기판 처리 장치에서, 약액 회수 유닛의 변위 편차에 따라 실린더에 발생되는 최대 횡하중을 측정한 그래프이다.
도 6은 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 약액 회수 유닛의 변위 편차에 따라 실린더에 발생되는 최대 횡하중을 측정한 그래프이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 처리 장치를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치를 도시한 도면이다.
도 9는, 도 8의 기판 처리 장치에서 약액 회수 유닛이 상승되는 과정을 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치(100)는 회전 유닛(110), 약액 토출 유닛(120), 약액 회수 유닛(130), 승강 유닛(150) 및 위치 보정 부재(140)를 포함한다.
회전 유닛(110)은 기판(미도시)을 지지하고, 기판을 회전시킨다. 회전 유닛(110)은 일례로 지지 플레이트(111)와, 회전 모터(112)를 포함할 수 있다.
지지 플레이트(111)는 기판을 지지할 수 있다. 지지 플레이트(111)는 기판보다 상대적으로 큰 크기일 수 있다. 예를 들어, 기판이 원형의 웨이퍼인 경우, 지지 플레이트(111)는 웨이퍼의 직경보다 큰 직경으로 이루어진 원판일 수 있다.
회전 모터(112)는 지지 플레이트(111)의 아래에 위치될 수 있다. 회전 모터(112)는 플레이트(111)를 회전시킬 수 있다.
기판이 지지 플레이트(111)에 안착되고, 지지 플레이트(111)가 회전되면, 기판도 회전될 수 있다. 이때, 약액이 기판의 중심에 토출되면, 약액은 원심력에 의하여 기판의 외곽까지 퍼질 수 있다.
약액 토출 유닛(120)은 상기 회전 유닛(110)으로 약액을 토출할 수 있다. 약액 토출 유닛(120)은 저장 탱크(미도시)에 저장된 약액을 펌핑하여 기판에 토출할 수 있다.
약액은 다양한 목적으로 사용될 수 있고, 약액의 일례로 불산(HF), 황산(H3SO4), 질산(HNO3), 인산(H3PO4), 및 SC-1 용액(수산화암모늄(NH4OH), 과산화수소(H2O2) 및 물(H2O)의 혼합액) 등으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다.
그리고, 세정에 사용되는 약액으로는 탈이온수(DIW)가 사용될 수 있고, 건조에 사용되는 가스로는 질소(N2), 이소프로필 알코올(IPA: IsoPropyl Aalcohol) 등이 사용될 수 있다.
약액 회수 유닛(130)은 상기 회전 유닛(110)에 인접하게 위치되고, 상기 회전 유닛(110)에서 비산되는 약액을 회수한다. 더욱 상세하게 설명하면, 약액 회수 유닛(130)은 상기 회전 유닛(110)의 둘레 전체를 감싸도록 설치되고, 회전 유닛(110)에서 비산되는 약액을 회수할 수 있다.
이러한 약액 회수 유닛(130)은 일례로 몸체부(131)와 브라켓부(132)를 포함할 수 있다.
몸체부(131)는 약액을 회수할 수 있다. 몸체부(131)의 외부 형상은 일례로 상부의 일부분이 개구된 블럭 형상일 수 있다. 몸체부(131)에서 개구된 상부는 기판을 로딩 및 언로딩하기 위한 출입구로 이용될 수 있다.
브라켓부(132)는 상기 몸체부(131)로부터 외부로 돌출될 수 있다. 브라켓부(132)는 몸체부(131)의 좌측 및 우측 각각으로부터 멀어지는 방향으로 멀어질 수 있다.
후술할 승강 유닛(150)이 브라켓부(132)를 상하방향으로 관통될 수 있다. 승강 유닛(150)의 상측이 상승 또는 하강하면, 브라켓부(132)는 승강 유닛(150)에 의해 상승 또는 하강될 수 있다. 다만, 브라켓부(132)는 후술할 위치 보정 부재(140)에 의하여 승강 유닛(150)의 이동 거리와 완전히 동일하게 이동되지는 않을 수 있고, 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
이와 같은 약액 회수 유닛(130)은 공정에 사용된 약액들 중 서로 상이한 약액을 분리하고 회수한다. 이를 위하여 약액 회수 유닛(130)의 몸체부(131)는 다양한 종류의 약액이 각각 유입되는 복수의 유입구(131)를 포함할 수 있다.
복수의 유입구(131) 각각은 상하방향으로 나란하게 위치될 수 있다. 즉, 각각의 유입구(131)는 서로 상이한 높이에 위치될 수 있다.
기판을 처리하는 과정에서, 다양한 종류의 약액들 각각은 약액 회수 유닛(130)의 특정 공간에 유입되어 저장될 수 있다. 예를 들어, 각각의 유입구(131)에 유입된 약액은 미도시된 회수 라인을 통하여 외부의 약액 재생부(미도시)로 제공되어 재사용될 수 있다. 약액 재생부는 사용된 약액의 농도 조절과 온도 조절, 그리고 오염 물질의 필터링 등을 수행하여 재사용이 가능하도록 약액을 재생시키는 장치일 수 있다.
기판을 처리하는 과정에서 발생된 파티클 등에 의해 오염 물질이 약액 회수 유닛(130)에 생성되거나, 퓸(Fume)과 같은 오염 물질이 잔류하는 약액으로부터 생성될 수 있다. 이와 같은 오염 물질은 약액 재생부에 의해 재생됨으로써, 이후의 공정에서 기판이 오염된 약액에 의하여 오염되는 것이 방지될 수 있다.
약액 회수 유닛(130)과 전술한 약액 토출 유닛(120)은 일반적인 기판 처리 장치에 포함된 것일 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
승강 유닛(150)은 상기 약액 회수 유닛(130)과 결합된다. 승강 유닛(150)은 상기 약액 회수 유닛(130)이 상기 회전 유닛(110)에 대하여 상하방향으로 이동될 수 있게 한다. 승강 유닛(150)은 약액 회수 유닛(130)의 좌측 및 우측 각각에 설치될 수 있다.
승강 유닛(150)은 일례로, 이동 부재(151), 동력 발생 부재(152) 및 이탈 방지 부재(156)를 포함할 수 있다.
이동 부재(151)는 막대 형상으로 이루어질 수 있다. 이동 부재(151)는 상기 브라켓부(132)를 관통할 수 있다. 즉, 브라켓부(132)는 이동 부재(151)에 대해 자유롭게 이동될 수 있다.
이동 부재(151)는 상기 위치 보정 부재(140)를 지지할 수 있다. 이를 위하여 이동 부재(151)의 둘레에는 걸림턱(151a)이 있을 수 있다.
걸림턱(151a)은 도면에 도시된 방향을 기준으로 위치 보정 부재(140)의 하단과 밀착될 수 있다. 걸림턱(151a)은 리본 형상으로 이루어지고, 이동 부재(151)의 둘레면을 따라 설치될 수 있다.
이와 다르게, 도면에 도시하지는 않았으나, 이동 부재(151)가 위치 보정 부재(140)를 지지할 수 있도록, 위치 보정 부재(140)의 하단이 이동 부재(151)에 고정 결합된 것도 가능할 수 있다.
동력 발생 부재(152)는 상기 이동 부재(151)를 승강시킬 수 있다. 동력 발생 부재(152)는 유압 방식, 공압 방식 등 이동 부재(151)를 승강시킬 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.
동력 발생 부재(152)는 일례로 실린더(153), 피스톤(154) 및 압력 조절기(155)를 포함할 수 있다.
실린더(153)는 후술할 피스톤(154)이 이동될 수 있는 내부 공간을 포함할 수 있다.
피스톤(154)은 상기 실린더(153)의 내부에 위치되고, 상기 이동 부재(151)와 결합될 수 있다. 피스톤(154)은 상기 실린더(153)의 길이 방향을 따라 이동될 수 있다.
압력 조절기(155)는 실린더(153)에 연결되고, 상기 실린더(153)의 내부 공간의 압력을 조절할 수 있다.
더욱 상세하게 설명하면, 압력 조절기(155)는 실린더(153)의 하부에 압축 공기를 가감할 수 있다. 여기서, 실린더(153)의 하부란 피스톤(154)보다 아래의 공간일 수 있다.
압력 조절기(155)가 실린더(153) 하부로 압축 공기를 공급하면, 피스톤(154)은 상승할 수 있다. 반면, 압력 조절기(155)가 실린더(153) 하부의 압축 공기를 제거하면, 피스톤(154)은 하강할 수 있다.
이탈 방지 부재(156)는 상기 이동 부재(151)가 상기 브라켓부(132)를 관통하는 상태에서 상기 이동 부재(151)의 끝부분에 결합될 수 있다. 도면에 도시된 방향을 기준으로, 이탈 방지 부재(156)는 브라켓부(132)의 위에 위치될 수 있다. 이탈 방지 부재(156)는 브라켓부(132)로부터 이동 부재(151)가 분리되는 것을 방지할 수 있다.
동력 발생 부재(152)가 이동 부재(151)를 상승시키면, 위치 보정 부재(140)도 상승할 수 있다. 전술한 바와 같이, 약액 회수 유닛(130)의 브라켓부(132)는 위치 보정 부재(140)에 의해 탄성 지지되고 있으므로, 약액 회수 유닛(130)도 위치 보정 부재(140)와 함께 상승할 수 있다. 이와 반대로, 동력 발생 부재(152)가 이동 부재(151)를 하강시키면, 약액 회수 유닛(130)도 하강할 수 있다.
위치 보정 부재(140)는 상기 약액 회수 유닛(130)이 상기 승강 유닛(150)에 대해 탄성 지지될 수 있게 한다. 위치 보정 부재(140)는 상기 승강 유닛(150)에 대한 약액 회수 유닛(130)의 상대적인 위치가 가변될 수 있게 한다. 위치 보정 부재(140)는 하나 이상일 수 있다. 위치 보정 부재(140)가 복수개인 경우에 대해서는 후술하기로 한다.
이와 같은 위치 보정 부재(140)는 상기 이동 부재(151)를 감싸도록 설치되고, 상기 동력 발생 부재(152)와 상기 브라켓부(132) 사이에 개재될 수 있다. 이를 위한 위치 보정 부재(140)는 압축 스프링일 수 있다. 압축 스프링의 일단은 브라켓부(132)에 밀착될 수 있다.
한편, 두 개의 승강 유닛(150) 각각의 동력 발생 부재(152) 내부의 실린더(153)의 상태가 상이할 수 있다. 이때, 승강 유닛(150)이 동작을 시작하면, 각각의 동력 발생 부재(152)의 이동 부재(151)에서 높이차가 발생될 수 있다. 위치 보정 부재(140)는 이와 같은 높이차를 보정하여 약액 회수 유닛(130)이 기울어지는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치가 동작되는 과정에서 약액 회수 유닛이 기울어지는 것이 방지될 수 있다는 것은 다음의 실험 결과를 통하여 확인할 수 있다.
실험은 실시예에 따른 기판 처리 장치와 비교예에 따른 기판 처리 장치가 각각 동작되는 과정에서, 몸체부의 좌측 및 우측에 위치된 브라켓부의 변위차와 실린더에 가해진 횡하중을 측정한 것이다.
실시예에 따른 기판 처리 장치는 도 2에 도시된 것이다. 반면, 비교예에 따른 기판 처리 장치는 위치 보정 부재를 포함하지 않은 종래의 기판 처리 장치이다.
약액 회수 유닛이 점차 상승하였다가 일정 높이를 유지한 다음, 다시 하강하도록 실시예에 따른 기판 처리 장치와 비교예에 따른 기판 처리 장치를 각각 동작시켰다.
도 3을 참조하면, 비교예에 따른 기판 처리 장치에서 약액 회수 유닛이 하강하는 1.6초에서 2.0초 사이의 구간에서는 약액 회수 유닛의 좌측과 우측 브라켓부 각각의 변위 차이가 약간 발생되었다. 그러나, 약액 회수 유닛이 상승하는 1.18초에서 0.8초 사이의 구간에서는 약액 회수 유닛의 좌측과 우측 브라켓부 각각의 변위 차이(대략 5.33mm)가 상당히 크게 발생되었다.
도 4를 참조하면, 실시예에 따른 기판 처리 장치에서는 모든 구간에서 약액 회수 유닛의 좌측과 우측 브라켓부 각각의 변위 차이가 거의 발생되지 않았음을 확인할 수 있다.
도 5를 참조하면, 비교예에 따른 기판 처리 장치에서는, 약액 회수 유닛의 좌측과 우측 브라켓부 각각의 변위 차이가 1.3mm일 때에는 131N이었다. 그리고, 변위 차이가 2.5mm일 때에는 137N이었으며, 변위 차이가 3.4mm일 때에는 143N이었다. 즉, 비교예에 따른 기판 처리 장치에서는 변위 차이에 따라 실린더에 상당히 큰 횡하중이 발생되었다.
도 6을 참조하면, 실시예에 따른 기판 처리 장치에서는, 약액 회수 유닛의 좌측과 우측 브라켓부 각각의 변위 차이가 1.3mm일 때에는 103N이었다. 그리고, 변위 차이가 2.5mm일 때에는 106N이었으며, 변위 차이가 3.4mm일 때에는 108N이었다. 즉, 실시예에 따른 기판 처리 장치는 비교예에 따른 기판 처리 장치와 비교하여 실린더에 발생되는 횡하중이 현저하게 감소되었음을 확인할 수 있다.
이와 같은 실험 결과를 통하여 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치가 동작되는 과정에서 약액 회수 유닛이 기울어지지 않고 거의 수평을 유지한다는 것을 확인할 수 있다.
도 2로 되돌아가서, 전술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 처리 장치(100)는 위치 보정 부재(140)를 포함한다. 그리고, 승강 유닛(150A, 150B)은 약액 회수 유닛(130)의 좌측 및 우측 각각에 설치될 수 있다. 또한, 위치 보정 부재(140)는 승강 유닛(150)과 약액 회수 유닛(130) 사이에 설치되어 있다. 그러므로, 승강 유닛(150A, 150B) 각각에 포함된 이동 부재(151)에서 높이차가 발생되더라도, 약액 회수 유닛(130)은 위치 보정 부재(140)에 의하여 거의 수평인 상태를 유지할 수 있다.
따라서, 실린더(153) 또는 피스톤(154)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 실린더(153)가 공압 방식인 경우, 실린더(153)의 공기가 유출(leak)되는 것이 방지될 수 있으므로, 피스톤(154)이 목표 위치에 도달하지 못하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 기판 처리 장치(100)는 약액 회수 유닛(130)이 항상 수평을 유지하게 함으로써, 다양한 종류의 약액의 약액 회수 장치의 목표로하는 유입구(131)에 유입될 수 있다. 이에 따라, 다양한 종류의 약액이 혼합되는 것을 방지하여 약액을 회수하여 재사용할 수 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 처리 장치(200)는 두개의 위치 보정 부재(140A, 140B)를 포함할 수 있다.
두 개의 위치 보정 부재(140)에서 어느 하나의 위치 보정 부재(140A)는 상기 이동 부재(151)를 감싸도록 설치될 수 있고, 상기 동력 발생 부재(152)와 상기 브라켓부(132) 사이에 위치될 수 있다. 그리고, 두 개의 위치 보정 부재(140)에서 나머지 하나의 위치 보정 부재(140B)는 상기 이탈 방지 부재(156)와 상기 브라켓부(132) 사이에 위치될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 처리 장치(200)는 브라켓부(132)의 상측 및 하측 모두가 위치 보정 부재(140)에 의하여 탄성 지지될 수 있다. 그러므로, 약액 회수 유닛(130)이 전술한 실시예에 따른 기판 처리 장치(100, 도 2 참조)와 비교하여 더욱 유연하게 상하방향으로 이동될 수 있다. 따라서, 약액 회수 유닛(130)이 수평 상태를 더욱 안정적으로 유지할 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치(300)는 응력 방지 부재(360)를 더 포함할 수 있다.
응력 방지 부재(360)는 상기 이동 부재(151)가 관통되도록 설치될 수 있다. 응력 방지 부재(360)는 상기 이탈 방지 부재(156)와 상기 브라켓부(132) 사이에 개재될 수 있다.
응력 방지 부재(360)는 일례로 구(sphere) 형상일 수 있다. 이에 따라, 응력 방지 부재(360)는 이탈 방지 부재(156)와 점(spot) 접촉될 수 있고, 브라켓부(132)와도 점 접촉될 수 있다.
약액 회수 유닛(130)이 외력이나 파손에 의하여 어느 한쪽으로 과도하게 기울어지려고 하는 경우, 응력 방지 부재(360)는 브라켓부(132)와 이탈 방지 부재(156)가 서로 접촉되지 않게 하여 브라켓부(132) 및 이탈 방지 부재(156)가 서로의 모서리와 같은 뾰족한 부분에 의해 강하게 눌려서 손상이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100, 200, 300: 기판 처리 장치
110: 회전 유닛
120: 약액 토출 유닛
130: 약액 회수 유닛
131: 몸체부
132: 브라켓부
140: 위치 보정 부재
150: 승강 유닛
151: 이동 부재
152: 동력 발생 부재
153: 실린더
154: 피스톤
155: 압력 조절기
156: 이탈 방지 부재
360: 응력 방지 부재

Claims (9)

  1. 기판을 지지하고, 기판을 회전시키는 회전 유닛;
    상기 회전 유닛으로 약액을 토출하는 약액 토출 유닛;
    상기 회전 유닛에 인접하게 위치되고, 상기 회전 유닛에서 비산되는 약액을 회수하는 약액 회수 유닛;
    상기 약액 회수 유닛과 결합되고, 상기 약액 회수 유닛이 상기 회전 유닛에 대하여 상하방향으로 이동될 수 있게 하는 승강 유닛; 및
    상기 약액 회수 유닛이 상기 승강 유닛에 대해 탄성 지지될 수 있게 하고, 상기 승강 유닛에 대한 약액 회수 유닛의 상대적인 위치가 가변될 수 있게 하는 하나 이상의 위치 보정 부재;를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 약액 회수 유닛은,
    약액을 회수하는 몸체부; 및
    상기 몸체부로부터 외부로 돌출되는 브라켓부;를 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 승강 유닛은,
    막대 형상으로 이루어지고, 상기 브라켓부를 관통하며, 상기 위치 보정 부재를 지지하는 이동 부재;
    상기 이동 부재를 승강시키는 동력 발생 부재; 및
    상기 이동 부재가 상기 브라켓부를 관통하는 상태에서 상기 이동 부재의 끝부분에 결합되는 이탈 방지 부재;를 포함하는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 위치 보정 부재는 상기 이동 부재를 감싸도록 설치되고, 상기 동력 발생 부재와 상기 브라켓부 사이에 위치되는 기판 처리 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 이동 부재가 관통되도록 설치되고, 상기 이탈 방지 부재와 상기 브라켓부 사이에 개재되는 응력 방지 부재를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 응력 방지 부재는 구(sphere) 형상인 기판 처리 장치.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 위치 보정 부재는 두 개이고, 어느 하나의 위치 보정 부재는 상기 이동 부재를 감싸도록 설치되고, 상기 동력 발생 부재와 상기 브라켓부 사이에 위치되며, 나머지 하나는 상기 이탈 방지 부재와 상기 브라켓부 사이에 위치되는 기판 처리 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 위치 보정 부재는 압축 스프링인 기판 처리 장치.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 동력 발생 부재는,
    내부 공간을 포함하는 실린더;
    상기 실린더의 내부 공간에 위치되고, 상기 이동 부재와 결합되며, 상기 실린더의 길이 방향을 따라 이동되는 피스톤; 및
    상기 실린더에 연결되고, 상기 실린더의 내부 공간의 압력을 조절하는 압력 조절기;를 포함하는 기판 처리 장치.
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