KR101612752B1 - 경질 재료로 코팅된 몸체 - Google Patents

경질 재료로 코팅된 몸체 Download PDF

Info

Publication number
KR101612752B1
KR101612752B1 KR1020107020053A KR20107020053A KR101612752B1 KR 101612752 B1 KR101612752 B1 KR 101612752B1 KR 1020107020053 A KR1020107020053 A KR 1020107020053A KR 20107020053 A KR20107020053 A KR 20107020053A KR 101612752 B1 KR101612752 B1 KR 101612752B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
cvd
outer layer
range
hard material
Prior art date
Application number
KR1020107020053A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100126363A (ko
Inventor
덴 베르그 헨드리쿠스 반
하르트무트 베스트팔
폴크마르 소트케
Original Assignee
케나메탈 아이엔씨.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=40528005&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=KR101612752(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 케나메탈 아이엔씨. filed Critical 케나메탈 아이엔씨.
Publication of KR20100126363A publication Critical patent/KR20100126363A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101612752B1 publication Critical patent/KR101612752B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/24—Deposition of silicon only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/32—Carbides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/36—Carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/048—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material with layers graded in composition or physical properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
    • C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
    • C04B2235/3856—Carbonitrides, e.g. titanium carbonitride, zirconium carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
    • C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
    • C04B2235/3886—Refractory metal nitrides, e.g. vanadium nitride, tungsten nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/72—Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
    • C04B2235/724—Halogenide content
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/76—Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
    • C04B2235/762—Cubic symmetry, e.g. beta-SiC
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/79—Non-stoichiometric products, e.g. perovskites (ABO3) with an A/B-ratio other than 1
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Abstract

본 발명은 경질 재료로 코팅되어 있으며 CVD에 의하여 형성되는 다수의 층들을 가지는 몸체에 관한 것으로서, 외층은 Ti1 - xAlxN, Ti1 - xAlxC 및/또는 Ti1 -xAlxCN(여기서, 0.65 ≤ x ≤ 0.9, 바람직하게는 0.7 ≤ x ≤ 0.9)을 포함하고, 상기 외층은 100 내지 1100MPa, 바람직하게는 400 내지 800MPa 사이의 압축 응력을 가지며, 상기 외층 아래에 TiCN층 또는 Al2O3층이 배치되어 있다.

Description

경질 재료로 코팅된 몸체{Body coated with hard material}
본 발명은 경질 재료로 코팅되어 있으며 CVD에 의하여 형성되는 적어도 하나의 경질 재료층을 가지는 몸체에 관한 것이다.
절삭 가공에 이용되는 절삭 공구는, 특히 높은 절삭 속도에서의 선삭(turning)에 의한 단강 또는 경화강(tempered or hardened steels)과 같은 경질 또는 거친 재료의 절삭 가공에 있어서, 안정성 및 강도에 관한 요구 조건을 만족시켜야 한다. 절삭 공구의 재료는, 특히, 내마모성이 있어야 되는데, 이것은 종래에는 표면 코팅재가 제공되는 초경합금 몸체 또는 서멧 기재 몸체(cemented carbide or cermet substrate bodies)를 만들어내며, 상기 표면 코팅은 처음에는 티타늄의 탄화물, 질화물 또는 탄질화물로, 이후에는 마모 보호 코팅재(wear protection coatings)로서 사용되고 있는 산화 알루미늄층으로도 이루어진다. 상이한 경질 재료로 구성되는 다중층 마모 보호 코팅재가 또한 알려져 있다. 예를 들어, 탄질화 티타늄 또는 질화 티타늄과 같은 하나 이상의 중간층들 상에 배치되는 산화 알루미늄층이 마모 감소 코팅재로서 알려져 있다.
WO 03/085152 A2는 PVD에 의하여 60%까지의 알루미늄 함량을 가지는 단일상 층(monophase layer)으로서 생산될 수 있는 Ti-Al-N 층의 이용을 공지한다. 그러나, 더 높은 알루미늄 함량에서 입방정계 및 육방정계 TiAlN의 혼합물이, 그리고 더욱 더 높은 알루미늄 함량에서는 오직 더 연성이고 내마모성이 아닌 육방정계 우르차이트 구조(wurtzite structure)가 형성된다.
단상(single-phase) Ti1 - xAlx-N(x = 0.9) 경질 재료층이 플라즈마 CVD에 의하여 생산될 수 있음이 또한 알려져 있다. 그러나, 상기 층 조성물의 만족스럽지 않은 균질성 및 상기 층에서의 상대적으로 높은 염소 함량은 단점이다.
Ti1 - xAlxN 경질 재료층을 생산하기 위하여 PVD 또는 플라즈마 CVD 공정을 이용하였을 때, 이 층들의 사용은 700℃ 미만의 온도로 제한되었다. 복잡한 부품 형상의 코팅이 어렵다는 단점이 있다. PVD는 복합 형상이 비규칙적으로 코팅되는 통제 공정(directed process)이다. 플라즈마 CVD는 높은 플라즈마 균질성을 요구하는데, 이는 플라즈마 전력 밀도가 상기 층의 Ti/Al 원자 비율에 직접 영향을 주기 때문이다. 높은 알루미늄 함량을 가지는 단상 입방정계 Ti1 - xAlx-N 층의 생산은 산업에서 이용되는 PVD 공정에 의하여는 가능하지 않다.
또한 1000℃ 초과의 온도에서는 종래의 CVD 공정에 의한 TiAl의 증착이 불가능한데, 이는 준안정 Ti1 - xAlxN이 그러한 높은 온도에서 TiN 및 육방정계 AlN으로 분해되기 때문이다.
마지막으로, 550℃ 내지 650℃의 범위의 온도에서 플라즈마 보조 없이 열적 CVD 공정(thermal CVD process)에 의하여 Ti1 - xAlxN층(x는 0.1 내지 0.6의 범위 내에 있음)을 생산하기 위한 미국 특허 번호 제 US 6,238,739 B1호에 서술된 공정에서, x ≤ 0.6인 상대적으로 낮은 알루미늄 함량에 대한 제한이 지시되어 있다. 상기 서술된 공정에서, 염화 알루미늄 및 염화 티타늄, 그리고 NH3 및 H2도 가스 혼합물로서 이용된다. 이 코팅재의 경우에도, 12원자%까지의 높은 염소 함량이 허용되어야 한다.
내마모성 및 내산화성을 향상시키기 위하여, 제 WO 2007/003648 A1호는 경질 재료로 코팅되어 있으며 CVD에 의하여 적어도 하나의 Ti1 - xAlxN 경질 재료층을 포함하는 단일층 또는 다중층 코팅재 시스템을 가지는 몸체를 생산하는 것을 제안하며, 그 목적을 위하여 상기 몸체를 반응기 내에서 플라즈마 여기 없이 CVD 에 의하여 700℃ 내지 900℃의 온도에서 코팅하며, 승온에서 혼합된 티타늄 할로겐화물, 알루미늄 할로겐화물 및 반응성 질소 화합물을 전구체로서 사용할 것을 제안한다. 이것은 입방정계 NaCl 구조 및 >0.75 내지 0.93의 화학양론계수 x를 가지는 단상 Ti1 -xAlxN 경질 재료층, 또는 입방정계 NaCl 구조 및 메인 상(main phase)으로서 >0.75 내지 0.93의 화학양론계수 x, 그리고 추가 상(further phase)으로서 우르차이트 구조 및/또는 TiNxNaCl 구조를 가지는 Ti1 - xAlxN을 포함하는 다중상층(multiphase layer)을 가지는 몸체를 제공한다. 염소의 함량은 0.05 내지 0.9원자%의 범위 내에 있다. 또한 이 문헌으로부터, Ti1 - xAlxN 경질 재료층 또는 층들이 30질량%까지의 비정질층 성분을 포함할 수 있다는 것이 알려져 있다. 수득된 상기 층의 경도는 2500HV 내지 3800HV 범위 내에 있다.
높은 내마모성에서 Ti1 - xAlxN 경질 재료층의 접착을 향상시키기 위하여, 이전 공개물이 아닌 제 DE 10 2007 000 512호는, 또한 기재 몸체(substrate body)에 적용되는 층 시스템이, 몸체에 적용되는 질화 티타늄, 탄질화 티타늄 또는 탄화 티타늄의 결합층, 이어서 상 구배층(phase gradient layer), 그리고 마지막으로 단상 또는 다중상 Ti1 - xAlxN 경질 재료층의 외층을 포함하는 것을 제안한다. 상 구배층은, 결합층에 접하는 그의 측면 상에서, TiN/h-AlN 상 혼합물을 포함하며, 층 두께가 증가하면, 50% 초과의 비율에서 fcc-TiAlN 상의 비율이 증가하고, 그것에 연관되어, 동시에 TiN 및 h-AlN 상의 비율이 감소한다.
상기 언급한 코팅재의 단점은, 특히 냉각 윤활제가 절삭 중에 사용될 때, 절삭 단속이 있는 밀링, 선삭 및 드릴링과 같은 단속 절삭의 경우에 수명이 짧다는 것이다.
따라서 본 발명의 목적은 경질 재료로 코팅되어 있고 열적 내성 및 주기적 피로 강도를 향상시키는 몸체를 제공하는 것이다.
이 목적은 청구항 제1항에서 청구된 경질 재료로 코팅된 몸체에 의하여 성취될 수 있다. 상기 몸체는, 외층이 Ti1 - xAlxN, Ti1 - xAlxC 및/또는 Ti1 - xAlxCN(여기서, 0.65 ≤ x ≤ 0.9, 바람직하게는 0.7 ≤ x ≤ 0.9)을 포함하며, 상기 외층이 100 내지 1100MPa, 바람직하게는 400 내지 800MPa의 범위 내의 압축 응력을 가지며, TiCN층 또는 Al2O3층이 상기 외층 아래에 배치되어 있는 특징을 가지고 있다.
본 발명에 의하여, 경질 재료로 코팅되어 있고 열적 내성 및 주기적 피로 강도를 향상시키는 몸체가 제공된다.
CVD에 의하여 형성되는 Ti1 - xAlxN, Ti1 - xAlxC 또는 Ti1 - xAlxCN의 층은, 종래의 기술에서 알려지고 사용된 기타 코팅재의 경우에서 접한 바와 같이, 크랙 형성 및 크랙 성장에 매우 잘 견디는 것으로 밝혀졌다. 기재 몸체로서 사용되는 초경합금(cemented carbides), 서멧(cermets) 또는 세라믹(ceramics)은 TiCN 및 Al2O3보다 낮은 팽창 계수를 가지는데, 그 결과로 TiCN에서는 약 900℃ 그리고 Al2O3에서는 약 1000℃의 코팅 온도에서부터 냉각할 때 이들 경질 재료층 내에서 인장 응력이 일어난다. 이들 인장 응력은 크랙 구조의 형성에 의하여 부분적으로 완화된다. 입방정계 질화 티타늄 알루미늄 또는 탄질화 티타늄 알루미늄은, 준안정 결정계와 같이, 코팅 온도에서부터의 냉각 후에, 100 내지 1100MPa, 바람직하게는 400 내지 800MPa 범위의 압축 응력을 가지며, 크랙 구조를 형성하지 않은데, 이는 내마모성이 극히 우수한 것으로 밝혀진 청구항 제1항에서 지정된 층들의 상기 조합을 만든다. 압축 잔여 응력을 가지는 외층으로서 비슷하게 매우 우수한 내마모성 및 내산화성의 질화 티타늄 알루미늄 또는 탄질화 티타늄 알루미늄 코팅재와 함께, TiCN의 공지된 높은 내마모성과 Al2O3의 낮은 열전도성 및 높은 내산화성의 조합은 높은 부하 변화 및 높은 온도 변화를 포함하는 응용에서 절삭 내구성을 유의하게 향상시킨다. 그 예들이 밀링(milling) 및, 또한 단속이 있는 선삭(turning) 및 드릴링(drilling)이거나, 특히 냉각 윤활제를 이용할 때, 절삭 단면을 바꾸는 것이다.
본 발명의 구체예는 종속항에 서술되어 있다.
따라서, Ti1 - xAlxN층, Ti1 - xAlxC층 또는 Ti1 - xAlxCN층은, 단상으로 구성되고 입방정계 구조를 가지거나, 다수의 상으로 구성되고 입방정계 메인 상(main phase)을 우르차이트 구조 및/또는 NaCl 구조를 가지는 TiN을 가지는 추가 상(further phase)과 더불어 포함할 수 있다.
상기 언급된 질화 또는 탄질화 티타늄 알루미늄층은 30질량%까지의 비정질층 성분을 가질 수 있다. 질화 티타늄 알루미늄층 또는 탄질화 티타늄 알루미늄층의 염소 함량은 바람직하게는 0.01 내지 3원자%의 범위 내에 있다.
본 발명의 추가 구체예에서, 각각이 1nm 내지 5nm의 두께를 가지며 동일한 또는 다른, 바람직하게는 교호의 조성물을 가지는, 층들을 포함하는 다중층 코팅재가 또한 외층으로서 이용될 수 있다. 상기 코팅재 내의 개별 층들은 탄질화 티타늄 알루미늄층 및 질화 티타늄 알루미늄층인데, 최외곽 코팅재를 형성하는 이들 층들의 총 두께는 1㎛ 내지 5㎛의 범위에 있다.
또한, 구배(gradient)가, 코팅이 진행하는 동안에, 변화하는 가스 분위기에 의하여 개별 층들에서 만들어질 수 있는데, 그 결과로 탄소 함량이 소구역에서 안쪽에서부터 바깥쪽으로 계속해서 증가하거나 감소한다. 초경합금, 서멧 또는 세라믹으로 구성되는 기재 몸체에 적용되는 모든 층들의 총 두께는 5㎛ 내지 25㎛의 범위에 있어야 한다.
본 발명의 목적을 위하여, 질화 티타늄 알루미늄층 또는 탄질화 티타늄 알루미늄층은 25%까지의 육방정계 AlN을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 경질 재료로 코팅된 몸체를 생산하기 위하여, 초경합금 또는 서멧 몸체가, 700℃ 내지 900℃의 범위의 코팅 온도에서, 캐리어 가스에 더하여, TiCN의 적용을 위해서는 염화 티타늄, 메탄 및 암모니아를 포함하는, 또는 산화 알루미늄의 적용을 위해서는 염화 알루미늄 및 이산화탄소를 포함하는 가스 분위기 내로, 도입된다. 상기 언급한 기재들 중의 하나, 또는 상단에 Al2O3층이 형성된 TiCN 베이스층 상에 결합층을 생산한 후에, 염화 알루미늄, 염화 티타늄, 암모니아 및 에틴(ethene)이 상기 가스 분위기로 도입되어 최외곽층을 형성한다. 바람직한 층 두께는 2 내지 5㎛의 범위에 있다. 모든 층들의 층 두께는 2 내지 10㎛, 바람직하게는 3 내지 7㎛이다.

Claims (9)

  1. 경질 재료(hard material)로 코팅되어 있고 CVD에 의하여 형성된 다수의 층들을 가지는 몸체로서, 외층이 CVD Ti1-xAlxN, CVD Ti1-xAlxC 또는 CVD Ti1-xAlxCN(여기서, 0.65 ≤ x ≤ 0.9)을 포함하며, 상기 외층이 100 내지 1100MPa 범위의 압축 응력(compressive stresses)을 가지며, 상기 외층 아래에 CVD TiCN층 또는 CVD Al2O3층이 배치되어 있는 것이 특징인 몸체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 Ti1-xAlxN층, 상기 Ti1-xAlxC층 또는 상기 Ti1-xAlxCN층은 단상(single phase)으로 구성되고 입방정계 구조를 가지거나, 다수의 상으로 구성되고 우르차이트 구조(wurtzite structure)를 가지는 추가 상(further phase)과 함께 입방정계 메인 상(main phase)을 포함하거나 또는 TiN을 포함하는 것이 특징인 경질 재료로 코팅된 몸체.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    30질량%까지의 비정질층 성분이 상기 외층에 존재하는 것이 특징인 경질 재료로 코팅된 몸체.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 외층의 염소 함량이 0.01 내지 3원자% 범위 내에 있는 것이 특징인 경질 재료로 코팅된 몸체.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 외층은 다수의 층들을 포함하고, 상기 층들 각각은 1 내지 5nm의 두께를 가지며 또한 Ti1-xAlxN, Ti1-xAlxC 및 Ti1-xAlxCN으로부터 선택된, 동일한 또는 다른 조성물을 가지며, 상기 외층은 1㎛ 내지 5㎛의 총 두께를 가지는 것이 특징인 경질 재료로 코팅된 몸체.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    초경합금(cemented carbide), 서멧(cermet) 또는 세라믹으로 구성되는 기재 몸체(substrate body)에 적용되는 모든 층들의 총 두께가 5㎛ 내지 25㎛ 범위 내에 있는 것이 특징인 경질 재료로 코팅된 몸체.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 Ti1-xAlxN층 또는 상기 Ti1-xAlxCN층이 25%까지의 육방정계 AlN을 함유하는 것이 특징인 경질 재료로 코팅된 몸체.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    0.7 ≤ x ≤ 0.9인 것이 특징인 경질 재료로 코팅된 몸체.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 외층이 400 내지 800MPa 범위의 압축 응력을 가지는 것이 특징인 경질 재료로 코팅된 몸체.
KR1020107020053A 2008-03-12 2009-01-20 경질 재료로 코팅된 몸체 KR101612752B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008013966A DE102008013966A1 (de) 2008-03-12 2008-03-12 Hartstoffbeschichteter Körper
DE102008013966.1 2008-03-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100126363A KR20100126363A (ko) 2010-12-01
KR101612752B1 true KR101612752B1 (ko) 2016-04-15

Family

ID=40528005

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020107020053A KR101612752B1 (ko) 2008-03-12 2009-01-20 경질 재료로 코팅된 몸체

Country Status (13)

Country Link
US (1) US8394513B2 (ko)
EP (1) EP2250299B1 (ko)
JP (1) JP5832748B2 (ko)
KR (1) KR101612752B1 (ko)
CN (2) CN101970716B (ko)
BR (1) BRPI0908918B1 (ko)
CA (1) CA2717188C (ko)
DE (1) DE102008013966A1 (ko)
ES (1) ES2524310T3 (ko)
MX (1) MX2010009889A (ko)
PL (1) PL2250299T3 (ko)
RU (1) RU2501887C2 (ko)
WO (1) WO2009112116A1 (ko)

Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009046667B4 (de) * 2009-11-12 2016-01-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetal, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper
US8844483B2 (en) 2010-02-09 2014-09-30 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Clamping disk and cam adjusting unit
AT510963B1 (de) * 2011-03-18 2012-08-15 Boehlerit Gmbh & Co Kg Beschichteter körper und verfahren zu dessen herstellung
CN103459070B (zh) * 2011-03-31 2016-01-20 日立工具股份有限公司 硬质皮膜被覆部件及其制造方法，以及具备其的刀刃更换式旋转工具
JP5838769B2 (ja) * 2011-12-01 2016-01-06 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
AT511950B1 (de) * 2012-03-14 2013-04-15 Boehlerit Gmbh & Co Kg Beschichteter Körper und Verfahren zum Beschichten eines Körpers
CN103372764B (zh) * 2012-04-20 2017-03-01 三菱综合材料株式会社 硬质包覆层发挥优异的耐崩刀性的表面包覆切削工具
JP5946016B2 (ja) * 2012-05-22 2016-07-05 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP5946017B2 (ja) * 2012-05-30 2016-07-05 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP5939508B2 (ja) * 2012-07-25 2016-06-22 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP5939509B2 (ja) * 2012-07-25 2016-06-22 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6090063B2 (ja) 2012-08-28 2017-03-08 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
JP6037113B2 (ja) * 2012-11-13 2016-11-30 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6206133B2 (ja) 2012-11-30 2017-10-04 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
JP6044336B2 (ja) * 2012-12-27 2016-12-14 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6143158B2 (ja) * 2012-12-28 2017-06-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆部材およびその製造方法
JP5618429B2 (ja) 2012-12-28 2014-11-05 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆部材およびその製造方法
US9103036B2 (en) 2013-03-15 2015-08-11 Kennametal Inc. Hard coatings comprising cubic phase forming compositions
JP6268530B2 (ja) 2013-04-01 2018-01-31 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6150109B2 (ja) * 2013-04-18 2017-06-21 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
DE102013104254A1 (de) 2013-04-26 2014-10-30 Walter Ag Werkzeug mit CVD-Beschichtung
US9896767B2 (en) 2013-08-16 2018-02-20 Kennametal Inc Low stress hard coatings and applications thereof
US9168664B2 (en) 2013-08-16 2015-10-27 Kennametal Inc. Low stress hard coatings and applications thereof
DE102014103220A1 (de) * 2014-03-11 2015-09-17 Walter Ag TiAIN-Schichten mit Lamellenstruktur
JP6402662B2 (ja) 2014-03-26 2018-10-10 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具及びその製造方法
JP6548071B2 (ja) 2014-04-23 2019-07-24 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6548073B2 (ja) 2014-05-28 2019-07-24 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP5924507B2 (ja) 2014-09-25 2016-05-25 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
EP3000913B1 (en) 2014-09-26 2020-07-29 Walter Ag Coated cutting tool insert with MT-CVD TiCN on TiAI(C,N)
AT516062B1 (de) * 2015-01-15 2016-02-15 Boehlerit Gmbh & Co Kg Verfahren zum Beschichten eines Gegenstandes und damit hergestellte Beschichtung
JP6590255B2 (ja) 2015-03-13 2019-10-16 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
WO2016148056A1 (ja) * 2015-03-13 2016-09-22 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
US9994717B2 (en) * 2015-04-13 2018-06-12 Kennametal Inc. CVD-coated article and CVD process of making the same
JP6726403B2 (ja) 2015-08-31 2020-07-22 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6931452B2 (ja) 2015-10-30 2021-09-08 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性および耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6931453B2 (ja) 2015-10-30 2021-09-08 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
CA3007278A1 (en) * 2015-12-07 2017-06-15 Ihi Ionbond Ag Coated extrusion tool
US11247276B2 (en) 2016-03-31 2022-02-15 Walter Ag Coated cutting tool with h-AlN and Ti1-xAlxCyNz layers
JP6045010B1 (ja) * 2016-04-14 2016-12-14 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
EP3483302B1 (en) * 2016-07-07 2022-03-16 MOLDINO Tool Engineering, Ltd. Hard coating-covered tool, and method for producing
JP6905807B2 (ja) 2016-08-29 2021-07-21 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具
JPWO2018047734A1 (ja) * 2016-09-06 2019-06-24 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具およびその製造方法
JPWO2018047735A1 (ja) * 2016-09-06 2019-06-24 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具およびその製造方法
WO2018047733A1 (ja) * 2016-09-06 2018-03-15 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具およびその製造方法
CN106893975B (zh) * 2017-04-27 2019-04-19 济宁学院 AlC/AlCN叠层涂层刀具及其制备工艺
WO2019065682A1 (ja) * 2017-09-29 2019-04-04 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP7063206B2 (ja) * 2017-09-29 2022-05-17 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
DE102018103320A1 (de) * 2018-02-14 2019-08-14 Iwis Motorsysteme Gmbh & Co. Kg Hartstoffschicht auf Metallsubstrat
WO2020213260A1 (ja) * 2019-04-17 2020-10-22 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000505507A (ja) * 1996-02-27 2000-05-09 サントル ナスィオナル デ ラ ルシェルシェ スィアンティフィーク Ｔｉ▲下１―ｘ▼Ａ１▲下ｘ▼Ｎコーティングを形成する方法
US20020136933A1 (en) * 1996-09-03 2002-09-26 Hans Braendle Method for manufacturing a workpiece with wear-protective coating
WO2007003648A1 (de) * 2005-07-04 2007-01-11 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hartstoffbeschichtete körper und verfahren zu deren herstellung

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3825399C5 (de) * 1988-07-23 2005-05-12 Cemecon Ag PVD- oder Plasma- CVD-Beschichtung
SE464818B (sv) * 1989-06-16 1991-06-17 Sandvik Ab Belagt skaer foer skaerande bearbetning
DE69007885T2 (de) * 1989-07-13 1994-07-28 Seco Tools Ab Mit mehreren Oxiden beschichteter Karbidkörper und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE4115616C2 (de) * 1991-03-16 1994-11-24 Leybold Ag Hartstoff-Mehrlagenschichtsystem für Werkzeuge
JP2999346B2 (ja) * 1993-07-12 2000-01-17 オリエンタルエンヂニアリング株式会社 基体表面被覆方法及び被覆部材
SE502223C2 (sv) * 1994-01-14 1995-09-18 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
JPH07305181A (ja) * 1994-05-09 1995-11-21 Hitachi Tool Eng Ltd 被覆超硬合金
JP2793772B2 (ja) * 1994-05-13 1998-09-03 神鋼コベルコツール株式会社 密着性に優れた硬質皮膜被覆工具および硬質皮膜被覆部材
DE19518781C1 (de) * 1995-05-22 1996-09-05 Fraunhofer Ges Forschung Vakuumbeschichteter Verbundkörper und Verfahren zu seiner Herstellung
US5879823A (en) * 1995-12-12 1999-03-09 Kennametal Inc. Coated cutting tool
JP3705381B2 (ja) * 1996-09-03 2005-10-12 日立ツール株式会社 多層被覆硬質工具
JP3705382B2 (ja) * 1996-09-03 2005-10-12 日立ツール株式会社 多層被覆硬質工具
JPH10128602A (ja) * 1996-10-30 1998-05-19 Kyocera Corp 被覆切削工具
FR2767841B1 (fr) 1997-08-29 1999-10-01 Commissariat Energie Atomique PROCEDE DE PREPARATION PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD) D'UN REVETEMENT MULTICOUCHE A BASE DE Ti-Al-N
SE521284C2 (sv) 1999-05-19 2003-10-21 Sandvik Ab Aluminiumoxidbelagt skärverktyg för metallbearbetning
DE10002861A1 (de) * 2000-01-24 2001-08-09 Walter Ag Zerspannungswerkzeug mit Carbonitrid-Beschichtung
US6572991B1 (en) 2000-02-04 2003-06-03 Seco Tools Ab Deposition of γ-Al2O3 by means of CVD
JP2001341008A (ja) * 2000-06-02 2001-12-11 Hitachi Tool Engineering Ltd 窒化チタンアルミニウム膜被覆工具及びその製造方法
DE10061436A1 (de) * 2000-12-09 2002-06-27 Plasmotec Gmbh & Co Kg Umformwerkzeug und Verfahren zu seiner Herstellung
WO2003085152A2 (de) 2002-04-11 2003-10-16 Cemecon Ag Beschichteter körper und ein verfahren zur beschichtung eines körpers
CN101080295B (zh) 2004-12-14 2010-08-18 住友电工硬质合金株式会社 被覆切削工具
US20070298280A1 (en) * 2004-12-22 2007-12-27 Naoya Omori Surface-Coated Cutting Tool
JP4936211B2 (ja) * 2006-04-04 2012-05-23 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層が高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP2008126334A (ja) 2006-11-17 2008-06-05 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 耐摩耗性皮膜およびこれを備えた工具
JP2008137129A (ja) * 2006-12-04 2008-06-19 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具
JP2008149390A (ja) * 2006-12-14 2008-07-03 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具
DE102007000512B3 (de) 2007-10-16 2009-01-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000505507A (ja) * 1996-02-27 2000-05-09 サントル ナスィオナル デ ラ ルシェルシェ スィアンティフィーク Ｔｉ▲下１―ｘ▼Ａ１▲下ｘ▼Ｎコーティングを形成する方法
US20020136933A1 (en) * 1996-09-03 2002-09-26 Hans Braendle Method for manufacturing a workpiece with wear-protective coating
WO2007003648A1 (de) * 2005-07-04 2007-01-11 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hartstoffbeschichtete körper und verfahren zu deren herstellung

Also Published As

Publication number Publication date
CN103484832B (zh) 2016-01-20
KR20100126363A (ko) 2010-12-01
RU2010141751A (ru) 2012-04-20
US20110003126A1 (en) 2011-01-06
EP2250299A1 (de) 2010-11-17
RU2501887C2 (ru) 2013-12-20
BRPI0908918B1 (pt) 2024-01-16
JP5832748B2 (ja) 2015-12-16
US8394513B2 (en) 2013-03-12
EP2250299B1 (de) 2014-10-22
MX2010009889A (es) 2010-09-30
CA2717188A1 (en) 2009-09-17
WO2009112116A1 (de) 2009-09-17
PL2250299T3 (pl) 2015-03-31
BRPI0908918A2 (pt) 2015-12-15
CN101970716A (zh) 2011-02-09
CN103484832A (zh) 2014-01-01
ES2524310T3 (es) 2014-12-05
JP2011513594A (ja) 2011-04-28
CA2717188C (en) 2015-11-24
CN101970716B (zh) 2013-08-21
DE102008013966A1 (de) 2009-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101612752B1 (ko) 경질 재료로 코팅된 몸체
CA2717187C (en) Body coated with hard material
US11459660B2 (en) Articles consisting of metal, hard metal, cermet or ceramic and coated with a hard material, and method for producing such articles
Endler et al. Novel aluminum-rich Ti1− xAlxN coatings by LPCVD
KR20070093403A (ko) Ａｌ２ｏ３ 다층 플레이트
Barquete et al. Thermodiffused vanadium carbide interface for diamond films on steel and cemented carbides substrates
KR100832868B1 (ko) 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 부재용 박막
US20140308511A1 (en) Multi-Layer Coating with Cubic Boron Nitride Particles
JP4761291B2 (ja) 切断工具の耐摩耗性複合セラミック被膜
JP2757580B2 (ja) 表面被覆切削工具およびその製造方法
JP2001096404A (ja) 断続重切削で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
JP2002205204A (ja) 多層被覆工具
JP2002192401A (ja) 被覆工具及びその製造方法
CN117062938A (zh) 金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷体上的AlN基硬材料层及其制造方法
JPH0929511A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
JPH0929510A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
JPH08318409A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
KR19990030862A (ko) 다층코팅층을 갖는 초경 인서트(Ｉｎｓｅｒｔ)
JPH0929509A (ja) 硬質被覆層がすぐれた層間密着性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190327

Year of fee payment: 4