KR101587179B1 - 캐리어 테이프에 전자 부품들을 채우는 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 캐리어 테이프(10)에 전자 부품들(12)을 채우고 캐리어 테이프로부터 결함 있는 전기 부품들(13)을 제거하고 대체하기 위한 방법으로서, 필링 스테이션(1)에서, 상기 캐리어 테이프(10)의 포켓(11)에 부품을 채우는 단계, 상기 캐리어 테이프(10)를 앞으로 이동시키는 단계, 상기 부품에 결함이 있는 지를 자동으로 탐지하는 단계, 상기 캐리어 테이프를 뒤로 이동시키고, 결함 있는 전자 부품(13)을 캐리어 테이프(10)로부터 제거하고, 상기 터릿을 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 회전시키고, 상기 필링 스테이션(1)에서 상기 포켓에 새로운 전자 부품을 채우는 단계를 포함한다.

Description

캐리어 테이프에 전자 부품들을 채우는 방법 및 장치{Method and device for filling carrier tapes with electronic components}

본 발명은 캐리어 테이프에 전자 부품들을 채우는 방법 및 상응하는 장치에 관한 것이다.

전자 부품의 제조 동안, 이의 품질검사 동안 또는 인쇄회로기판으로 집적되기 전에, 전자 부품, 예를 들어, 반도체 칩은 전기 검사와 같은 일련의 작업을 거치는데, 전기 검사 동안 전자 부품들은 시험되고 주로 전자동화된 검사 및 생산 라인에서 처리된다. 그런 후에 전자 부품들은, 예를 들어, 선형 또는 원형일 수 있는 컨베이어에 의해 한 프로세싱 스테이션으로부터 다른 곳으로 전달된다.

터릿과 같은 원형 컨베이어들은 회전하는 터릿의 주변에 위치한 복수의 프로세싱 스테이션 사이에, 소형 크기의 부품들, 특히 전자 부품들을 운반하도록 설계된다. 이런 터릿은 상기한 대로 전자 부품들의 시험과 품질검사에 주로 사용된다. 하나의 터릿과 복수의 프로세싱 스테이션(processing stations)을 포함하는 검사 라인의 한 예는 WO2004/052069에 개시된다.

도 1을 참조하면, 원형 터릿(1)은 복수의 표시된 위치(indexed positions)를 가질 수 있다. 프로세싱 스테이션(2)의 여러 규칙적으로 이격된 위치들이 터릿 주위에 형성되고, 이 위치의 각각은 프로세싱 스테이션에 제공된 전기 부품들에 대해 한 작업 또는 여러 작업을 수행하는 프로세싱 스테이션이 일반적으로 차지한다. 특정한 경우에, 프로세싱 스테이션은 여러 위치를 차지할 수 있다. 배럴(barrel) 주위에 위치한 모든 프로세싱 스테이션은 터릿 위로 운반된 부품이 받는 시각적, 기계적 및 전기적 검사와 같은 연속적인 작업의 한 사이클을 수행한다. 터릿(1)에 다른 프로세싱 스테이션으로부터 부품들을 제거하거나 수용하고, 터릿이 움직이는 동안 부품들을 고정하며, 필요한 경우, 다음 프로세싱 스테이션에 부품들을 제공하는 역할을 하는 부품 홀더가 장착된다.

대부분의 경우에, 부품-홀더는 공기-진공을 통해 전자 부품들을 붙잡고 고정하는 픽업 노즐을 포함한다.

테이프 필링 스테이션(tape filling station)을 포함하는 다른 프로세싱 스테이션들은 터릿(1) 주위에 모듈 방식으로 고정되는 게 유리하다. 터릿(1)에 대한 각 프로세싱 스테이션의 위치는 정확하게 측정된다.

자동 처리 라인에 의해 검사된 처리된 전자 부품들은 터릿(1)에 의해 아웃풋 스테이션 상에 배치된다. 검사 동안 거절된 부품들은 다른 아웃풋 스테이션 상에 또는 트레이 속에 주로 배치된다.

전자 부품들의 크기와 모양에 상응하는 세로방향으로 이격된 포켓을 구비한 유연한 테이프 지지대 상에서 전자 부품들이 포장되게 하는 것은 전자 제품들의 자동화에서 일반적인 관행이다. 포장 테이프는 정해지지 않은 길이를 가질 수 있고 조밀한 보관, 보호 및 자동화기와의 공동 사용을 위해 감는 틀에 편리하게 감길 수 있다. 일부 검사 및 처리 라인에 다른 프로세싱 스테이션 상에서 모든 검사들을 통과하는 전자 부품들을 테이프의 포켓들 속으로 떨어뜨리는 아웃풋 스테이션이 장착된다.

테이프에 삽입 후에 전자 부품들을 정밀검사하는 것이 주로 바람직하다. 이것이 결함 있는 부품들, 예를 들어, 적절하게 작동하지 않고, 정확하게 표시되지 않거나 잘못 정렬되고, 기울어지거나 포켓들에서 뒤집어 진 부품들 또는 다른 프로세싱 스테이션들에 의해 탐지되지 않은 다른 결함들을 가진 부품들을 탐지하게 한다. 제거 장치는 테이프로부터 결함 있는 부품들을 골라내고 결함 없는 부품들만을 포함하는 캐리어 테이프를 생산하기 위해 사용될 수 있다.

그러나, 결함 있는 부품들의 이런 선택적 제거는 부품들이 제거된 빈 포켓인 빈틈들을 가진 테이프를 생산한다. 이것은 종종 바람직하지 않은데, 이는 이런 캐리어 테이프에 있는 부품들의 숫자는 기록하기 어려워지고 다른 장치, 예를 들어, 픽 앤 플레이스 장치(pick-and-place device)에 의한 테이프의 자동 처리를 훨씬 더 어렵게 하기 때문이다.

US5974903은 캐리어 테이프 내에 포함된 집적회로들의 시각적 정밀검사를 위한 방법과 장치를 기술한다. 이 장치에서, 결함 있는 집적회로들은 작업자에 의해 수동으로 대체된다. 이것은 고가이고, 느리고 지루한 해결법이며, 사람의 개입 때문에 품질 위험을 일으킨다.

EP1073325는 다른 픽 앤 플레이스 도구가 불량으로 발견된 칩들을 제거하고 불량 칩을 좋은 칩으로 대체하기 위해 사용되는 반도체 칩들을 시험하기 위한 시스템을 기술한다. 이 픽 앤 플레이스 도구의 작업은 기술되지 않으나, 공보는 좋은 칩들이 채워진 다른 카세트가 대체 칩의 공급원으로 사용될 수 있다는 것을 나타낸다. 따라서 이 해결법은 칩들의 다른 공급원과 테이프로부터 제거된 결함 있는 칩들을 대체하기 위한 다른 배치 장치를 필요로 한다.

WO9903733은 정밀검사를 위한 기계의 픽 앤 플레이스 모듈과 함께 사용된 캐리어 테이프를 위한 드라이브를 기술한다. 이 드라이브는 캐리어 테이프를 이의 바람직한 위치로 두 단계로 전진시킨다. 한 격실에 한 부품의 적절하게 배치는 정밀 검사된다. 전자 부품이 결함이 있는 경우, 캐리어 테이프는 뒤로 이동하고, 이 부품은 캐리어 테이프로부터 제거되고 포켓은 새로운 부품으로 채워진다.

이 마지막 해결법에서, 결함 있는 부품은 제거되고 새로운 부품이 동일한 위치에 있는 동일한 포켓 속에 채워진다. 이것은 동일한 장치가 부품을 채우고 제거하는데 사용되는 경우에만 가능하다. 두 기능(결함 있는 부품을 제거하고 새로운 부품을 채우기)을 위한 공동 장치를 작동시키는 것은 필수적으로 느리고 터릿-기반 기계에서는 불가능하다.

결함 있는 부품을 제거하고 동일한 위치에서 동일한 포켓 속에 대체 부품을 채우기 위한 두 다른 장치를 작동시키는 것은 주로 불가능한데, 이는 요즘의 소형 전자 부품들을 위한 포켓들의 크기가 너무 작기 때문이다. 이런 경우에, 채우고 제거하는 시스템은 너무 크고 하나의 포켓 위에 두 장치를 중심에 오도록 맞추는 것이 불가능하다.

테이프에 부품들을 채우는 다른 장치들은 JP2004090955, JP2001018911 및 US6634159에 기술된다.

본 발명의 목적은 테이프로부터 결함 있는 부품들을 제거하고 대체하고 빈틈을 갖지 않는 결함이 없는 테이프를 전달하기 위한 새로운 방법과 새로운 장치를 제안하는 것이다.

본 발명에 따라, 이런 목적들은 캐리어 테이프에 전자 부품들을 채우고 캐리어 테이프로부터 결함 있는 전기 부품들을 제거하고 대체하기 위한 방법에 의해 성취되며, 상기 전자 부품들은 터릿에 의해 복수의 프로세싱 스테이션과 상기 필링 스테이션 사이로 운반되고,

필링 스테이션에서, 상기 캐리어 테이프의 포켓에 부품을 채우는 단계,

상기 캐리어 테이프를 앞으로 이동시키는 단계,

상기 부품에 결함이 있는 지를 자동으로 탐지하는 단계,

결함 있는 부품이 탐지되었을 때, 제 1 방향으로 상기 터릿을 회전시키고, 상기 캐리어 테이프를 뒤로 이동시키고, 결함 있는 전자 부품을 캐리어 테이프로부터 제거하고, 상기 터릿을 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 회전시키고, 상기 필링 스테이션에서 상기 포켓에 새로운 전자 부품을 채우는 단계를 포함한다.

제 1 방향으로 터릿을 회전하고 테이프를 뒤로 이동하는 것은 임의의 순서로 또는 동시에 이루어질 수 있다.

이 방법은 부품들을 시험하고 처리하기 위한 최신의 빠른 터릿 기반 기계에 적합한 장점을 가진다.

또한 이 방법은 최초 전자 부품과 대체 부품을 포켓 속에 채우기 위해 동일한 필링 스테이션을 사용하는 장점을 가진다. 게다가, 부품들의 동일한 공급원이 캐리어 테이프의 포켓을 처음에 채우고 결함 있는 부품들을 대체하는데 사용된다.

제 1 방향으로 터릿을 회전하면 필링 스테이션에 있는 포켓 위로 제거 장치를 제공하게 한다. 결함 있는 부품을 제거한 후 반대 방향으로 회전하면 이 언로딩 시스템(unloading system)을 대체 부품을 삽입하기 위해 사용된 필링 시스템(filling system)으로 대체시킨다.

터릿은 대체하는 동안 앞뒤로 움직이기 때문에, 포켓 위에 제 1 단계에서 언로딩 시스템 및 제 2 단계에서 필링 시스템을 중심에 오도록 맞추는 것이 가능하다. 따라서, 두 다른 시스템은 동일한 필링 및 언로딩 스테이션에서 사용된다.

본 출원에서, 결함 있는 전자 부품은 정확하게 작동하지 않는 임의의 부품, 정확하게 표시되지 않은 부품, 휘거나 다른 결함이 있는 패드(pads) 또는 리드(leads)를 구비한 부품 또는 캐리어 테이프의 포켓 속에 삽입되지 않거나 정확하게 정렬되지 않은 부품, 예를 들어, 포켓에서 돌아가고, 뒤집히거나 기울어진 부품(비록 이 부품이 적절하게 작동하는 경우에도)을 의미한다.

본 발명의 내용 중에 포함되어 있다.

본 발명은 실시예로 제공되고 도면으로 나타낸 설명의 도움으로 더 잘 이해될 것이다.
도 1은 검사된 부품들을 캐리어 테이프 속에 채우기 위한 터릿과 생산 장치를 포함하는 전자 부품들을 검사하기 위한 시스템의 평면도를 도시한다.
도 2-10은 캐리어 테이프에 전자 부품들을 채우고 캐리어 테이프로부터 전자 부품들을 제거하고 대체하기 위한 장치의 연속적 측면도를 도시한다.

도 1은 터릿(1)과 터릿 주위에 배열된 다양한 형태와 크기의 복수의 워킹(working) 스테이션(2)을 포함하는 전자 부품들을 시험하기 위한 시스템의 평면도를 도시한다.

터릿(1)에 주변에 전자 부품들이 진공에 의해 고정되게 하고 한 워킹 스테이션(2)으로부터 다음 처리 라인까지 수송되게 하는 복수의 부품-홀더(17), 예를 들어, 흡입 노즐이 장착된다. 연속된 워킹 스테이션은 시험, 마킹, 품질검사, 분류 및 다른 작업과 같은 다양한 연속적인 작업을 전자 부품들에 수행한다.

검사될 부품들은 (워킹 스테이션(2) 중 임의의 것일 수 있는) 피딩 스테이션(feeding stations)에 의해 터릿에 공급된다. 일련의 시험과 조작 후, 결함 없는 부품들이 터릿으로부터 내려지고 테이프 필링 스테이션(3)에서 캐리어 테이프의 포켓 속에 채워진다. 도면부호(18)는 캐리어 테이프로부터 결함 있는 부품들을 제거하기 위한 진공 시스템을 나타내며, 나중에 설명할 것이다.

도 2 내지 10은 캐리어 테이프 속에 전자 부품들을 채우는 테이프 필링 스테이션의 측면도이다. 공정의 연속 단계들은 연속적인 도면들 상에 도시된다.

도 2에 도시된 시스템은 터릿 상에서 검사 후 전자 부품들(12)을 채우기 위한 복수의 규칙적으로 이격된 포켓(11)을 구비한 캐리어 테이프(10)를 포함한다. 전자 부품들은 터릿(1)의 부품 홀더(17)의 진공이 해제될 때 테이프(10) 속으로 떨어져서, 이 홀더에 의해 고정된 전자 부품(12)은 중력에 의해 노즐 아래의 캐리어 테이프(10)의 포켓 속으로 들어간다. 캐리어 테이프에 터릿으로부터의 전자 부품들을 채우기 위한 다른 장치들이 본 발명의 구조물 내에 사용될 수 있다.

캐리어 테이프(10)는 롤러(19)에 의해 화살표의 방향으로 연속적으로 앞으로 이동한다. 필링 스테이션에 떨어진 전자 부품(12)은 정밀검사 위치에 도달하여 정밀검사 시스템(15)에 의해 정밀검사된다. 테이프는 전자 부품이 비정상적으로 채워졌을 경우라도 다른 장소에서 정밀검사될 수 있도록 전진한다. 설명된 예에서, 정밀검사 시스템(15)은 테이프의 포켓들 사이의 높이에 따라 필링 스테이션의 12밀리미터 앞에 있는 부품을 정밀검사하며, 이 부품은 필링 스테이션의 2, 3 또는 4 피치 앞에 있는 부품에 해당할 수 있다. 정밀검사 시스템은 카메라(152)뿐만 아니라 카메라를 향하는 부품의 이미지를 반사하기 위한 프리즘(150, 151) 또는 거울을 포함하는 시각 시스템일 수 있다. 다른 정밀검사 시스템은 본 발명의 구조물 내에 사용될 수 있다. 정밀검사 시스템(15)은 부품들의 자동 검증과 결함 있는 부품들(13), 예를 들어, 잘못 표시되고, 잘못 정렬되고, 뒤집히고, 기울어지거나 벗어나 있는 부품들의 자동 탐지를 가능하게 한다. 다른 시험과 정밀검사가 포켓 내의 부품들(12, 13)에 대해 수행될 수 있다.

다른 설명되지 않은 실시예에서, 시스템은 테이프를 따라 복수의 정밀검사 스테이션을 포함한다. 예를 들어, 한 실시예에서, 시스템은 제 1 기계적 정밀검사 시스템 및 제 2 광학 정밀검사 시스템을 포함한다. 기계적 정밀검사 시스템은 기울어지거나 뒤집힌 부품이 포켓 바깥으로 돌출될 때마다 이동되도록 배열된, 테이프 바로 위에 회전 덮개 또는 차광판(flag)을 포함한다. 이런 이동은 유도감응 센서 또는 임의의 적절한 센서에 의해 탐지된다. 스프링은 덮개가 제거된 후 이의 최초 위치로 돌아오게 한다. 한 실시예에서, 기계적 정밀검사 시스템은 필링 스테이션의 (피치의 정수에 반드시 해당하지 않는) 수 1/10 밀리미터 앞에 배열되는 반면, 광학 정밀검사 시스템은 기계적 시스템 뒤에, 예를 들어, 필링 스테이션의 12 밀리미터 앞에 위치한다.

도 2의 도면부호(13)는 결함 있는 부품을 나타낸다. 광학 및/또는 기계적 정밀검사 시스템에 의한 이 결함 있는 부품의 탐지는, 도 3에 설명된 대로, 결함 있는 부품(13)이 진공 노즐(17) 아래 필링 스테이션으로 되돌아갈 때까지 캐리어 테이프(10)의 방향 전환을 자동으로 일으킨다. 이동 거리는 결함 있는 부품을 탐지한 정밀검사 스테이션과 필링 스테이션 사이의 거리에 해당한다.

도 4에서, 터릿(1)은 반 단계만큼 앞으로 이동되어(indexed), 진공 시스템(18)이 결함 있는 부품(13)을 포함하는 캐리어 테이프(10)의 포켓에 자유롭게 접근할 수 있게 한다. 결함 있는 부품(13)은 결함 있는 부품들을 위한 트레이(도시되지 않음) 속으로 흡입하는 진공 시스템(18)(도 5)을 사용하여 포켓 밖으로 제거된다. 다른 시스템들도 결함 있는 부품들을 포켓들로부터 제거하는데 사용될 수 있다. 또한, 부품의 위치는, 예를 들어, 진동 시스템을 사용하여 수정될 수 있다. 적절하게 작동하나, 단지 포켓에서 잘못 정렬되거나 뒤집힌 결함 있는 부품들은 물론 다시 사용할 수 있고 다른 캐리어 테이프 속에 채워질 수 있다.

도 6에서, 터릿(1)은 반 단계만큼 뒤로 돌려져서 도 3의 이전 모퉁이에 있는 위치로 되돌아간다. 도 7에서, 터릿은, 다음 전자 부품(12)을 결함 있는 부품이 제거되어진 빈 포켓(11) 위로 제공하도록, 전체 단계만큼 앞으로 이동된다(indexed onward). 이런 두 단계는 결합될 수 있다. 이런 대체 부품은 도 8에 도시된 대로 이 포켓 속에 떨어진다. 캐리어 테이프(10)는 대체 전자 부품(12)이 결함 있는 부품을 탐지하는 정밀검사 스테이션에 도달할 때까지, 도 9에서 앞으로 이동한다. 대체 부품의 정확한 삽입은 도 10에 설명된 대로 입증된다.

전체 공정은 정밀검사 스테이션(15)(또는 다른 정밀검사 스테이션)이 대체 부품(12)도 결함이 있다는 것을 탐지하는 경우 반복된다. 결함 있는 부품들을 동일한 포켓 속으로 삽입한 소정의 숫자(N)(N>=1 및 통상적으로 <10) 이후, 알람이 발생하고 기계는 멈추고, 동일한 포켓에 의한 반복된 문제들은 고르지 않거나 더러운 포켓에 의해 유발될 수 있다.

한편, 대체 부품들의 정밀검사가 긍정적인 결과(결함이 발견되지 않음)를 제공하는 경우, 캐리어 테이프에 전자 부품들을 채우는 것은, 새로운 결함 있는 부품(13)이 탐지될 때까지 계속된다.

1 터릿
2 프로세싱 스테이션
3 필링 스테이션
10 캐리어 테이프
11 포켓
12 부품
13 불량 부품
15 정밀검사 시스템
150 제 1 프리즘
151 제 2 프리즘
152 카메라
17 진공 노즐과 같은 부품 홀더
18 진공 시스템
19 장력 롤러

Claims (16)

1. 캐리어 테이프(10)에 전자 부품들(12)을 채우고 캐리어 테이프로부터 결함 있는 전기 부품들(13)을 제거하고 대체하기 위한 방법으로서, 상기 전자 부품들(12, 13)은 터릿(1)에 의해 복수의 프로세싱 스테이션과 필링 스테이션 사이로 운반되고,
   필링 스테이션(3)에서, 상기 캐리어 테이프(10)의 포켓(11)에 부품을 채우는 A 단계,
   상기 캐리어 테이프(10)를 앞으로 이동시키는 B 단계,
   상기 부품에 결함이 있는 지를 자동으로 탐지하는 C 단계,
   결함 있는 부품(13)이 탐지되었을 때, 필링 스테이션에 있는 포켓 위로 제거 장치를 제공하게 하도록 제 1 방향으로 상기 터릿(1)을 회전시키고, 상기 캐리어 테이프를 뒤로 이동시키고, 제거 장치를 사용하여 결함 있는 전자 부품(13)을 캐리어 테이프(10)로부터 제거하고, 필링 스테이션에 있는 포켓 위로 로딩 시스템을 제공하게 하도록 상기 터릿을 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 회전시키고, 로딩 시스템을 사용하여 상기 필링 스테이션(3)에서 상기 포켓에 새로운 전자 부품을 채우는 D 단계를 포함하는 방법.
2. 제 1 항에 있어서,
   동일한 필링 스테이션(3) 및 동일한 전자 부품들의 공급원이 결함 있는 부품(13) 및 상기 새로운 전자부품을 채우기 위해 사용되는 방법.
3. 제 1 항에 있어서,
   결함 있는 전자 부품(13)이 탐지되었을 때, 상기 터릿(1)은 D 단계에서 보다 적게 상기 제 1 및 제 2 방향으로 회전하는 방법.
4. 제 1 항에 있어서,
   결함 있는 부품들(13)은 필링 스테이션과 무관하게 진공 시스템(18)에 의해 제거되는 방법.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 캐리어 테이프(10)는 새로운 부품이 채워진 후 앞으로 이동하는 방법.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 캐리어 테이프(10)는 새로운 부품(12)이 채워진 후 캐리어 테이프의 최초 위치까지 앞으로 이동하는 방법.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 새로운 전자부품이 상기 캐리어 테이프(10)에 채워진 후, 새로운 부품을 정밀검사하는 단계 및 결함이 있는 경우 새로운 부품을 제거하는 단계를 포함하는 방법.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 전자 부품(13)이 결함이 있다는 것을 자동으로 탐지하는 상기 단계는 상기 전자 부품의 시각적 정밀검사를 수행하는 것을 포함하는 방법.
9. 제 1 항에 있어서,
   상기 전자 부품이 결함이 있다는 것을 자동으로 탐지하는 상기 단계는 차광판을 사용하여 상기 전자 부품의 기계적 정밀검사를 수행하는 것을 포함하는 방법.
10. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자 부품(13)이 결함이 있다는 것을 자동으로 탐지하는 상기 단계는 포켓 밖으로 돌출된 전자 부품들을 탐지하기 위한 제 1 기계적 정밀검사 시스템 및 포켓에 있는 상기 전자 부품의 시각적 정밀검사를 수행하기 위한 제 2 광학 시스템을 포함하는 방법.
11. 제 10 항에 있어서,
    뒤로 움직이는 길이는 결함 있는 부품을 탐지한 정밀검사 스테이션에 의해 결정되는 방법.
12. 제 1 항에 있어서,
    결함 있는 전자 부품들의 상기 탐지는 비록 전자 부품들이 작동하는 경우에도, 잘못 정렬되고, 뒤집히고, 돌아가거나 기울어진 전자 부품들을 탐지하는 방법.
13. 전자 부품이 부품 홀더(17)에 의해 캐리어 테이프(10)의 포켓(11) 속으로 채워지는 필링 스테이션(3),
    캐리어 테이프(10)를 앞뒤로 이동시키기 위한 모터,
    상기 전자부품이 결함이 있는 지를 자동으로 탐지하기 위한 정밀검사 시스템(15),
    상기 필링 스테이션에서 상기 캐리어 테이프(10)로부터 결함 있는 전자 부품들(13)을 제거하기 위해 상기 부품 홀더(17)와 다른 언로딩 시스템(18)을 포함하여, 캐리어 테이프(10)에 전자 부품들(12, 13)을 채우고 캐리어 테이프로부터 결함 있는 부품들(13)을 제거하고 대체하기 위한 장치.
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 필링 스테이션에서 상기 부품 홀더(17)를 상기 언로딩 시스템(18)으로 대체하기 위한 전동 수단(motorized means)을 더 포함하는 장치.
15. 제 14 항에 있어서,
    상기 정밀검사 시스템은 상기 캐리어 테이프에서 결함 있는 전자 부품들을 자동으로 탐지하기 위한 시각적 정밀검사 시스템(15)인 장치.
16. 제 15 항에 있어서,
    상기 정밀검사 시스템은 상기 캐리어 테이프에서 결함 있는 전자 부품들을 자동으로 탐지하기 위한 기계적 정밀검사 시스템을 더 포함하는 장치.

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