KR101513344B1 - 정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법 - Google Patents

정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101513344B1
KR101513344B1 KR1020127032973A KR20127032973A KR101513344B1 KR 101513344 B1 KR101513344 B1 KR 101513344B1 KR 1020127032973 A KR1020127032973 A KR 1020127032973A KR 20127032973 A KR20127032973 A KR 20127032973A KR 101513344 B1 KR101513344 B1 KR 101513344B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plating
double
chemical plating
glass
ito glass
Prior art date
Application number
KR1020127032973A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130032317A (ko
Inventor
칭위엔 차이
마사히데 니시
Original Assignee
우시 알파 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 우시 알파 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드 filed Critical 우시 알파 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드
Publication of KR20130032317A publication Critical patent/KR20130032317A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101513344B1 publication Critical patent/KR101513344B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/96Touch switches
    • H03K17/962Capacitive touch switches
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/42Coating with noble metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1633Process of electroless plating
    • C23C18/1646Characteristics of the product obtained
    • C23C18/165Multilayered product
    • C23C18/1651Two or more layers only obtained by electroless plating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/1851Pretreatment of the material to be coated of surfaces of non-metallic or semiconducting in organic material
    • C23C18/1872Pretreatment of the material to be coated of surfaces of non-metallic or semiconducting in organic material by chemical pretreatment
    • C23C18/1875Pretreatment of the material to be coated of surfaces of non-metallic or semiconducting in organic material by chemical pretreatment only one step pretreatment
    • C23C18/1879Use of metal, e.g. activation, sensitisation with noble metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/32Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/54Contact plating, i.e. electroless electrochemical plating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)
  • Manufacture Of Switches (AREA)

Abstract

정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법은, 정전용량식 터치스크린 유리기판의 표면에 ITO막을 스퍼터링하여 양면 ITO 유리를 형성하고, 이 양면 ITO 유리를 조판에 근거하여 터치제어 유리의 표시영역과 주변영역으로 구획하고, 사진공정을 이용하여 각 터치제어 유리의 표시영역에 센서 감응전극을 에칭 형성하면서 주변영역에 배선을 에칭 형성한 후, 각 터치제어 유리의 표시영역에 보호막을 프린트하고 나서, 니켈 화학도금 및 화학도금 공정을 통해 각 터치제어 유리의 배선에 도금을 진행한다.

Description

정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법{METHOD FOR CHEMICALLY PLATING GOLD SURFACE OF CAPACITIVE TOUCH SCREEN}
본 발명은 정전용량 방식의 터치스크린(touch screen) 표면을 도금하는 기술영역에 관한 것으로서, 구체적으로, 전기용량 방식 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법에 관한 것이다.
IC의 회로입력저항에 대한 제한을 충족시키기 위해, 정전용량 방식의 터치스크린에 주변배선 부분의 저항을 낮추어야 하므로, 화학도금을 통해 주변배선 상에 도전성이 좋은 금속막을 한층 형성할 수 있다.
종래의 정전용량 방식의 터치스크린은 전기도금법을 이용하여 도금을 진행하는데, 대형 ITO 유리의 상면은 일반적으로 다수의 소형 터치제어 유리를 포함하고 있기 때문에, 대형 ITO 유리의 주변에 도전영역을 미리 남겨두어 전기도금시 전극을 형성하도록 하고, 동시에 각 소형 터치제어 유리도 단독으로 도전영역과의 회로를 형성하여야 하기에, 각 소형 터치제어 유리 사이에 충분한 간격을 남겨 두어 회로의 공간을 확보하여야 하며, 다시 전기도금을 통하여 ITO 유리 상에 금속막을 형성하는데, 도전영역이 존재하기 때문에, 대형 ITO 유리의 실사용율이 낮고, 동시에 도전영역 상에도 금속층을 형성하기에 도금액의 사용량이 증가하여 원가가 상승한다.
상술한 문제에 대하여, 본 발명은 정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법을 제공하여, ITO 유리의 실사용율을 향상시키고, 동시에 도금액의 사용을 줄여 원가를 낮춘다.
본 발명의 기술방안은,
정전용량 방식의 터치스크린 유리기판의 표면에 ITO를 스퍼터링하여 양면 ITO 유리를 형성하고, 상기 양면 ITO 유리를 조판에 근거하여 터치제어 유리의 표시영역과 주변영역으로 구획하고, 사진공정을 이용하여 각 터치제어 유리의 표시영역에 센서 감응 전극을 에칭 형성하면서 주변영역에 배선을 에칭 형성한 후, 각 터치제어 유리의 표시영역에 도금보호막을 프린트하고, 그런 후에 니켈 화학도금과 화학도금 공정을 통하여 상기 각 터치제어 유리의 배선에 도금을 진행하며, 상기 도금보호막은 강 내산성이고, 고 내열성이며, 니켈(Ni)과 금(Au) 금속입자가 부착불가한 보호막인 것을 특징으로 한다.
이에 대한 구체적 공정 단계는,
(1) 정전용량 방식의 터치스크린 유리기판 상에 양면의 ITO 스퍼터링을 진행하여 양면 ITO 유리를 형성하고, 상기 양면 ITO 유리를 조판에 근거하여 터치제어 유리의 표시영역과 주변영역으로 구획하는 단계,
(2) 사진공정을 이용하여 각 터치제어 유리의 표시영역에는 X 및 Y방향의 센서 감응전극을 에칭 형성하고, 주변영역에는 각각의 X 및 Y방향의 센서 배선을 에칭 형성하는 단계,
(3) 각 터치제어 유리의 표시영역에 도금보호막을 프린트하는 단계-상기 도금보호막은 강 내산성이고, 고 내열성이며, Ni 및 Au 금속입자가 부착불가한 인쇄잉크를 이용하여 표시영역의 감응전극 상에 실크프린트(silk print) 됨-,
(4) 양면 ITO 유리에 예비처리를 진행하고 나서, 각 터치제어 유리의 주변영역의 배선에 각각의 니켈 화학도금 공정을 진행한 후 다시 화학도금을 진행하여 배선을 강화하는 단계,를 포함하는 것을 특징으로 한다.
더욱이, 상기 도금보호막은 질량 백분율에 따라 그 성분이 구체적으로 55 ∼ 65%의 아세트산비닐수지 유도체, 10 ∼ 20%의 지방산에스테르, 10 ∼ 20%의 에폭시에스테르, 5%미만의 고분자 연소억제제, 5%미만의 틱소트로피 에이전트(thixotropic agent), 1%미만의 유기염료, 3%미만의 소포제를 포함한다.
상기 사진공정은 구체적으로, 포토레지스트와 보호막을 이용하여 사진공정을 통해 양면 ITO 유리 상에 배치된 각 터치제어 유리를 X 및 Y 방향의 센서 감응전극과 배선으로 에칭 형성하는 단계이다.
상기 정전용량 방식의 터치스크린을 예비처리하는 단계는 구체적으로,
1. 탈지 단계
양면 ITO 유리를 표준 산성 수조 중에 15 ∼ 28℃의 온도로 5분의 시간 동안 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
2. 에칭 단계
10 ∼ 50g/L 또는 10 ∼ 50㎖/L의 산성 에칭제가 함유된 에칭액 중에 10 ∼ 50℃의 온도로 5분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척하여, ITO 표면의 미세립을 조대화시켜, 도금층의 밀착성을 향상시킨다.
3. 예민화 단계
염화팔라듐 농도가 10 ∼ 50㎖/L이고, 0.1 ㏖/L의 수산화칼륨(KOH)용액의 농도가 1.5㎖/L인 용액 중에 10 ∼ 50℃의 온도로 1 ∼ 10분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
4. 활성화 단계
활성화제 농도가 10㎖/L인 용액 중에 10 ∼ 50℃의 온도로 1 ∼ 10분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
정밀배선 기판 상에 도금한 경우에 있어서, 상기 니켈 화학도금과 화학도금 공정은 구체적으로, 납(lead) 금속안정제를 갖고, pH가 1 ∼ 5이며, 온도가 50 ∼ 100℃이고, ±0의 피막응력을 갖도록 하는, 무나트륨 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 니켈 화학도금을 진행한 후, 이미 니켈 화학도금된 양면 ITO 유리를 2분 동안 물로 세척하고, pH가 1 ∼ 5이고, 온도가 50 ∼ 100℃인, 시안화물 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 화학도금을 진행한다.
증가된 두께가 1㎛ 이상인 도금의 경우에 있어서, 상기 니켈 화학도금, 화학도금 공정은 구체적으로, 납 금속안정제를 갖고, pH가 1 ∼ 5이며, 온도가 50 ∼ 100℃이고, 낮은 피막응력을 가지도록 하며, 도금막의 두께를 증가시키기에 적합한 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 니켈 화학도금을 진행한 후, 2분동안 물로 세척하고, 다시 pH가 6 ∼ 10이고 온도가 50 ∼ 100℃인 도금액을 포함한 저침식형 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 화학도금을 진행한다.
RoHS (The Restriction of the Use of Certain Hazardous Substances in Electrical and Electronic Equipment)에 대응하는 경우에 있어서, 상기 니켈 화학도금, 화학도금 공정은 구체적으로, 금속 안정제를 포함하지 않고, pH가 6 ∼ 10이며, 온도가 50 ∼ 100℃이고, 낮은 피막응력을 가지도록 하는 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 화학도금을 진행하고, 유황계 첨가제를 통해 도금 수조의 안정성을 유지한 후, 2분 동안 물로 세척하고, 다시 pH가 6 ∼ 10이고, 온도가 50 ∼ 100℃인, 시안화물 없는 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 화학도금을 진행한다.
본 발명의 방법을 이용한 후 사진공정을 이용하여 각 터치제어 유리의 표시영역에 센서 감응전극을 에칭 형성하면서 주변영역에 배선을 에칭 형성한 후, 각 터치제어 유리의 표시영역에 도금보호막을 프린트하고 나서, 니켈 화학도금과 화학도금 공정을 통하여 상기 각 터치제어 유리의 배선에 도금을 진행하며, 상기 도금보호막이 강 내산성, 고 내열성, 및 Ni와 Au 금속입자가 부착불가한 보호막이기 때문에, 완전하게 도전영역의 존재 필요성을 제거할 수 있으며, 이로써 ITO 유리의 실사용율을 크게 향상시키고 동시에 도전영역이 존재하지 않기 때문에 도금액의 사용율을 낮추어 원가를 절감한다.
실시예 1 : 정밀배선 기판 상에 도금
(1) 정전용량 방식의 터치스크린 유리기판의 표면에 ITO 스퍼터링을 진행하여 양면 ITO 유리를 형성하는데, 양면 ITO 유리 전체는 표시영역과 주변영역의 두 부분으로 나뉘는 터치제어 유리가 된다.
(2) 사진공정을 이용하여 양면의 표시영역에 각각 X 및 Y방향의 센서 감응전극을 에칭 형성하고, 대응하는 면의 주변영역에 각각 X 및 Y방향의 센서 배선을 에칭 형성한다.
(3) 표시영역에 도금보호막을 프린트하는데, 도금보호막은 강 내산성이고, 고 내열성이며, Ni와 Au 금속입자가 부착 불가한 인쇄잉크를 이용하여 표시영역의 감응전극 상에 실크프린트(silk print) 되고, 도금보호막은 질량백분율에 따라 그 성분이 구체적으로 55% ~ 60%의 아세트산비닐수지 유도체, 10% ~ 20%의 지방산에스테르, 10% ~ 15%의 에폭시에스테르, 5%미만의 고분자 연소억제제, 5%미만의 틱소트로피 에이전트(thixotropic agent), 1%미만의 유기염료, 3%미만의 소포제를 포함한다.
(4) 양면 ITO 유리를 예비처리하고 나서, 주변영역의 배선에 각각 니켈 화학도금 공정을 진행한 후 다시 화학도금을 진행하여 배선을 강화한다.
구체적 단계는 이하와 같다.
a. 탈지 단계
양면 ITO 유리를 표준 산성 수조 중에 15℃의 온도로 5분의 시간 동안 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
b. 에칭 단계
10g/L의 산성 에칭제가 함유된 에칭액 중에 10℃의 온도로 5분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척하여, ITO 표면의 미세립을 조대화시켜, 도금층의 밀착성을 향상시킨다.
c. 예민화 단계
염화팔라듐 농도가 10㎖/L이고, 0.1 ㏖/L의 수산화칼륨(KOH)용액의 농도가 1.5㎖/L인 용액 중에 10℃의 온도로 1분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
d. 활성화 단계
활성화제 농도가 10㎖/L인 용액 중에 10℃의 온도로 1분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
e. 니켈 화학도금 단계
납 금속안정제를 갖고, pH가 1이며, 온도가 50℃이고, ±0의 피막응력을 갖도록 하는, 무나트륨 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 니켈 화학도금을 진행한 후, 이미 니켈 화학도금된 유리기판을 2분 동안 물로 세척한다.
f. 화학도금 단계
pH가 1이고, 온도가 50℃인, 시안화물 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 상술한 단계를 거친 양면 ITO 유리에 화학도금을 진행한다.
실시예 2 : 증가 두께 1㎛ 이상 도금의 경우
(1) 정전용량 방식의 터치스크린 유리기판의 표면에 ITO 스퍼터링을 진행하여 양면 ITO 유리를 형성하는데, 양면 ITO 유리 전체에는 6개의 소형 터치제어 유리가 배치되어 있고, 각 소형 ITO 유리는 표시영역과 주변영역을 포함한다.
(2) 사진공정을 이용하여 각 소형 ITO 유리의 양면 표시영역에 각각 X 및 Y방향의 센서 감응전극을 에칭 형성하고, 이에 대응하는 주변영역에 각각 X 및 Y방향의 센서 배선을 에칭 형성한다.
(3) 각 소형 ITO 유리의 양면 표시영역에 도금보호막을 프린트하는데, 도금보호막은 강 내산성이고, 고 내열성이며, Ni와 Au 금속입자가 부착 불가한 인쇄잉크를 이용하여 표시영역의 감응전극 상에 실크프린트(silk print) 되고, 도금보호막은 질량백분율에 따라 그 성분이 구체적으로 60% ~ 65%의 아세트산비닐수지 유도체, 10% ~ 15%의 지방산에스테르, 10% ~ 15%의 에폭시에스테르, 5%미만의 고분자 연소억제제, 5%미만의 틱소트로피 에이전트(thixotropic agent), 1%미만의 유기염료, 3%미만의 소포제를 포함한다.
(4) 정전용량 방식의 터치스크린을 예비처리하고 나서, 각 소형 ITO 유리의 주변영역의 배선에 각각 니켈 화학도금 공정을 진행한 후 다시 화학도금을 진행하여 배선을 강화한다.
구체적 단계는 하기와 같다.
a. 탈지 단계
양면 ITO 유리를 표준 산성 수조 중에 23℃의 온도로 5분의 시간 동안 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
b. 에칭 단계
25g/L의 산성 에칭제가 함유된 에칭액 중에 30℃의 온도로 5분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척하고, ITO 표면의 미세립을 조대화시켜, 도금층의 밀착성을 향상시킨다.
c. 예민화 단계
염화팔라듐 농도가 30㎖/L이고, 0.1 ㏖/L의 수산화칼륨(KOH)용액의 농도가 1.5㎖/L인 용액 중에 30℃의 온도로 5분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
d. 활성화 단계
활성화제 농도가 10㎖/L인 용액 중에 30℃의 온도로 5분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
e. 니켈 화학도금 단계
납 금속안정제를 갖고, pH가 3이며, 온도가 75℃이고, 낮은 피막응력을 가지도록 하며, 도금막의 두께를 증가시키기에 적합한 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 니켈 화학도금을 진행한 후 2분 동안 물로 세척한다.
f. 화학도금 단계
pH가 8이고 온도가 75℃인 도금액을 포함한 저침식형 도금 수조 중에서 상술한 단계를 거친 양면 ITO 유리에 화학도금을 진행한다.
실시예 3 : RoHS에 대응하는 경우
(1) 정전용량 방식의 터치스크린 유리기판의 표면에 ITO 스퍼터링을 진행하여 양면 ITO 유리를 형성하는데, 양면 ITO 유리 전체에는 6개의 소형 터치제어 유리가 배치되어 있고, 각 소형 ITO 유리는 표시영역과 주변영역을 포함한다.
(2) 사진공정을 이용하여 각 소형 ITO 유리의 양면 표시영역에 각각 X 및 Y방향의 센서 감응전극을 에칭 형성하고, 이에 대응하는 주변영역에 각각 X 및 Y방향의 센서 배선을 에칭 형성한다.
(3) 각 소형 ITO 유리의 양면 표시영역에 도금보호막을 프린트하는데, 도금보호막은 강 내산성이고, 고 내열성이며, Ni와 Au 금속입자가 부착 불가한 인쇄잉크를 이용하여 표시영역의 감응전극 상에 실크프린트(silk print) 되고, 도금보호막은 질량백분율에 따라 그 성분이 구체적으로 55% ~ 65%의 아세트산비닐수지 유도체, 10% ~ 20%의 지방산에스테르, 10% ~ 20%의 에폭시에스테르, 5%미만의 고분자 연소억제제, 5%미만의 틱소트로피 에이전트(thixotropic agent), 1%미만의 유기염료, 3%미만의 소포제를 포함한다.
(4) 정전용량 방식의 터치스크린을 예비처리하고 나서, 각 소형 ITO 유리의 주변영역의 배선에 각각 니켈 화학도금 공정을 진행한 후 다시 화학도금을 진행하여 배선을 강화한다.
구체적 단계는 하기와 같다.
a. 탈지 단계
양면 ITO 유리를 표준 산성 수조 중에 28℃의 온도로 5분의 시간 동안 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
b. 에칭 단계
50g/L의 산성 에칭제가 함유된 에칭액 중에 50℃의 온도로 5분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척하여, ITO 표면의 미세립을 조대화시켜, 도금층의 밀착성을 향상시킨다.
c. 예민화 단계
염화팔라듐 농도가 50㎖/L이고, 0.1 ㏖/L의 수산화칼륨(KOH)용액의 농도가 1.5㎖/L인 용액 중에 50℃의 온도로 10분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
d. 활성화 단계
활성화제 농도가 10㎖/L인 용액 중에 50℃의 온도로 10분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
e. 니켈 화학도금 단계
금속안정제가 없고, pH가 10이며, 온도가 100℃이고, 낮은 피막응력을 가지도록 하는 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 유리기판에 화학도금을 진행한 후, 유황계 첨가제를 통해 도금 수조의 안정성을 유지한 후, 2분 동안 물로 세척한다.
f. 화학도금
pH가 10이고, 온도가 100℃인, 시안화물이 없는 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 상술한 단계를 거친 양면 ITO 유리에 화학도금을 진행한다.
RoHS는 유럽연합으로부터 입법제정된 하나의 강제성 표준으로, 이에 대한 정식명칭은 ≪전자전기설비에 있어서 일부 유해성분의 사용 제한에 관한 지시≫ 이다.

Claims (8)

  1. 정전용량 방식의 터치스크린 유리기판의 표면에 ITO를 스퍼터링하여 양면 ITO 유리를 형성하고, 상기 양면 ITO 유리를 조판에 근거하여 터치제어 유리의 표시영역과 주변영역으로 구획하고, 사진공정을 이용하여 각 터치제어 유리의 표시영역에 센서 감응 전극을 에칭 형성하면서 주변영역에 배선을 에칭 형성한 후, 각 터치제어 유리의 표시영역에 도금보호막을 프린트하며, 그런 후에 니켈을 포함한 제1 화학도금 및 후속되는 제2 화학도금을 통하여 상기 각 터치제어 유리의 배선에 도금을 진행하며, 상기 도금보호막은 내산성 및 내열성의 특성을 갖고, 니켈(Ni)과 금(Au) 금속입자가 부착불가한 보호막이며, 상기 도금보호막은 질량 백분율에 따라 그 성분이 구체적으로 55% ∼ 65%의 아세트산비닐수지 유도체, 10% ∼ 20%의 지방산에스테르, 10% ∼ 20%의 에폭시에스테르, 5%미만의 고분자 연소억제제, 5%미만의 틱소트로피 에이전트(thixotropic agent), 1%미만의 유기염료, 3%미만의 소포제를 포함하는,
    정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 구체적 공정단계는,
    (1) 정전용량 방식의 터치스크린 유리기판 상에 양면의 ITO 스퍼터링을 진행하여 양면 ITO 유리를 형성하고, 상기 양면 ITO 유리를 조판에 근거하여 터치제어 유리의 표시영역과 주변영역으로 구획하는 단계,
    (2) 사진공정을 이용하여 각 터치제어 유리의 표시영역에 X 및 Y방향의 센서 감응전극을 에칭 형성하고, 주변영역에 각각의 X 및 Y방향의 센서 배선을 에칭 형성하는 단계,
    (3) 각 터치제어 유리의 표시영역에 도금보호막을 프린트하는 단계-상기 도금보호막은 내산성 및 내열성의 특성을 갖고, Ni와 Au 금속입자가 부착불가한 인쇄잉크를 이용하여 표시영역의 감응전극 상에 실크프린트(silk print) 됨-,
    (4) 양면 ITO 유리에 예비처리를 진행하고 나서, 각 터치제어 유리의 주변영역의 배선에 각각 니켈을 포함한 제1 화학도금을 진행한 후 다시 제2 화학도금을 진행하여 배선을 강화하는 단계를 포함하는,
    정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서, 상기 사진공정은 구체적으로 포토레지스트와 보호막을 이용하여 사진공정을 통해 양면 ITO 유리 상에 배치된 각 터치제어 유리에 대해 X 및 Y 방향의 센서 감응전극과 배선으로 에칭 형성하는 단계인
    정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법.
  5. 제2항에 있어서, 상기 정전용량 방식의 터치스크린을 예비처리하는 단계는,
    a. 양면 ITO 유리를 표준 산성 수조 중에 15 ∼ 28℃의 온도로 5분의 시간 동안 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척하는 탈지단계,
    b. 10 ∼ 50g/L 또는 10 ∼ 50㎖/L의 산성 에칭제가 함유된 에칭액 중에 10 ∼ 50℃의 온도로 5분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척하여, ITO 표면의 미세립을 조대화시켜, 도금층의 밀착성을 향상시키는 에칭단계,
    c. 염화팔라듐 농도가 10 ∼ 50㎖/L이고, 0.1 ㏖/L의 수산화칼륨(KOH)용액의 농도가 1.5㎖/L인 용액 중에 10 ∼ 50℃의 온도로 1 ∼ 10분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척하는 예민화 단계,
    d. 활성화제 농도가 10㎖/L인 용액 중에 10 ∼ 50℃의 온도로 1 ∼ 10분의 시간 동안 양면 ITO 유리를 담금 처리한 후, 2분 동안 물로 세척하는 활성화 단계를 포함하는,
    정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법.
  6. 제2항에 있어서, 상기 각 터치제어 유리의 주변영역의 배선에 각각 니켈을 포함한 제1 화학도금을 진행한 후 다시 제2 화학도금을 진행하여 배선을 강화하는 단계는,
    납 금속안정제를 갖고, pH가 1 ∼ 5이며, 온도가 50 ∼ 100℃이고, 무나트륨 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 상기 니켈을 포함한 제1 화학도금을 진행한 후,
    이미 니켈을 포함한 제1 화학도금이 진행된 양면 ITO 유리를 2분 동안 물로 세척하고, pH가 1 ∼ 5이고, 온도가 50 ∼ 100℃인, 시안화물 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 상기 제2 화학도금을 진행하는,
    정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법.
  7. 제2항에 있어서, 상기 각 터치제어 유리의 주변영역의 배선에 각각 니켈을 포함한 제1 화학도금을 진행한 후 다시 제2 화학도금을 진행하여 배선을 강화하는 단계는,
    납 금속안정제를 갖고, pH가 1 ∼ 5이며, 온도가 50 ∼ 100℃인 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 상기 니켈을 포함한 제1 화학도금을 진행한 후,
    2분 동안 물로 세척하고, 다시 pH가 6 ∼ 10이고 온도가 50 ∼ 100℃인 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 상기 제2 화학도금을 진행하여,
    상기 제1 및 제2 화학도금을 통해 전체 도금두께가 1㎛ 이상이 되도록 하는,
    정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법.
  8. 제2항에 있어서, 상기 각 터치제어 유리의 주변영역의 배선에 각각 니켈을 포함한 제1 화학도금을 진행한 후 다시 제2 화학도금을 진행하여 배선을 강화하는 단계는,
    금속 안정제를 포함하지 않고, pH가 6 ∼ 10이며, 온도가 50 ∼ 100℃인 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 상기 니켈을 포함한 제1 화학도금을 진행하고, 유황계 첨가제를 통해 도금 수조의 안정성을 유지한 후,
    2분 동안 물로 세척하고, 다시 pH가 6 ∼ 10이고, 온도가 50 ∼ 100℃인, 시안화물이 없는 도금액을 포함한 도금 수조 중에서 양면 ITO 유리에 상기 제2 화학도금을 진행하는,
    정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법.
KR1020127032973A 2010-06-01 2011-05-28 정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법 KR101513344B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010101884529A CN101845625B (zh) 2010-06-01 2010-06-01 一种在电容式触摸屏表面进行化学镀金的方法
CN201010188452.9 2010-06-01
PCT/CN2011/074833 WO2011150781A1 (zh) 2010-06-01 2011-05-28 一种在电容式触摸屏表面进行化学镀金的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130032317A KR20130032317A (ko) 2013-04-01
KR101513344B1 true KR101513344B1 (ko) 2015-04-17

Family

ID=42770441

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020127032973A KR101513344B1 (ko) 2010-06-01 2011-05-28 정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20130082026A1 (ko)
KR (1) KR101513344B1 (ko)
CN (1) CN101845625B (ko)
WO (1) WO2011150781A1 (ko)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101845625B (zh) * 2010-06-01 2012-03-21 无锡阿尔法电子科技有限公司 一种在电容式触摸屏表面进行化学镀金的方法
CN102455807A (zh) * 2010-10-19 2012-05-16 睿明科技股份有限公司 触控面板的低阻抗电控线路及其制造方法
CN102176194B (zh) * 2011-03-18 2014-06-25 深圳南玻显示器件科技有限公司 金属引线电极的加工方法
CN102207806B (zh) * 2011-05-31 2012-12-26 无锡阿尔法电子科技有限公司 一种在电容式触摸屏上均匀化学镀金ito走线的方法
CN102289315A (zh) * 2011-06-07 2011-12-21 南京福莱克斯光电科技有限公司 基于电荷转移的传感器结构
CN102214042A (zh) * 2011-06-07 2011-10-12 南京福莱克斯光电科技有限公司 基于电荷转移的传感器结构制作方法
CN102200654A (zh) * 2011-06-07 2011-09-28 南京福莱克斯光电科技有限公司 一体化触摸显示装置及其制作方法
CN103132057A (zh) * 2011-11-24 2013-06-05 睿明科技股份有限公司 触控面板的低阻抗电控线路及其制造方法
CN102915165A (zh) * 2012-09-26 2013-02-06 深圳市雅视科技有限公司 一种触摸屏双面ito刻蚀方法
KR101663854B1 (ko) * 2012-12-21 2016-10-07 (주)인터플렉스 무전해도금을 이용한 터치패널 형성 방법
CN104281338A (zh) * 2013-07-03 2015-01-14 向火平 Ogs制作工艺及单层电容式触摸面板
CN104281337B (zh) * 2013-07-03 2017-11-03 湖南点燃科技有限公司 电容屏边缘走线镀金属方法及电容屏
CN103425372B (zh) * 2013-07-25 2017-06-20 深圳华视光电有限公司 一种电容式触摸屏金属刻蚀工艺
CN103436869B (zh) * 2013-08-13 2016-03-09 中国地质大学(武汉) 一种在玻璃容器内壁获得纳米金镀层的方法
CN103882492B (zh) * 2014-02-24 2016-08-24 哈尔滨工程大学 金属基体化学镀前处理方法
CN106325629B (zh) * 2015-07-06 2024-01-02 湖州胜僖电子科技有限公司 一种优化化学镀金析出的ito走线设计方法
CN106775151A (zh) * 2016-12-12 2017-05-31 晟光科技股份有限公司 电容触摸屏玻璃传感器中替换钼铝钼金属膜层的加工工艺
CN107313036A (zh) * 2017-06-19 2017-11-03 合肥市惠科精密模具有限公司 一种在电容式触摸屏表面进行化学镀钼的方法
CN108389936A (zh) * 2018-04-10 2018-08-10 苏州太阳井新能源有限公司 一种太阳能电池上tco导电材料的表面处理方法
CN109158590B (zh) * 2018-09-29 2020-11-24 淮阴师范学院 一维棒状核壳结构的复合金粉的制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101634021A (zh) 2008-07-24 2010-01-27 罗门哈斯电子材料有限公司 无电镀金液
CN101706703A (zh) 2009-11-24 2010-05-12 无锡阿尔法电子科技有限公司 一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56152958A (en) * 1980-04-30 1981-11-26 Mitsubishi Electric Corp Electroless gold plating solution
JPS5830760B2 (ja) * 1980-10-09 1983-07-01 株式会社日立製作所 プリント回路板の製法
US5100714A (en) * 1986-07-24 1992-03-31 Ceramic Packaging, Inc. Metallized ceramic substrate and method therefor
JPH0756336A (ja) * 1993-06-07 1995-03-03 Ajinomoto Co Inc 樹脂組成物
US5910340A (en) * 1995-10-23 1999-06-08 C. Uyemura & Co., Ltd. Electroless nickel plating solution and method
US5944879A (en) * 1997-02-19 1999-08-31 Elf Atochem North America, Inc. Nickel hypophosphite solutions containing increased nickel concentration
JP2000297380A (ja) * 1999-04-14 2000-10-24 Yamato Denki Kogyo Kk ガラスセラミック基板への無電解めっき方法
EP1645658A4 (en) * 2003-06-05 2011-08-03 Nippon Mining Co SOLUTION FOR CURRENT GILDING
US20050260338A1 (en) * 2004-05-19 2005-11-24 Trendon Touch Technology Corp. Method of manufacturing circuit layout on touch panel by utilizing metal plating technology
CN100476027C (zh) * 2005-07-11 2009-04-08 佛山市顺德区汉达精密电子科技有限公司 化学镀镍镀液及工艺
CN1912180A (zh) * 2005-08-11 2007-02-14 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 化学镀镍磷合金镀层的制备方法
US8026903B2 (en) * 2007-01-03 2011-09-27 Apple Inc. Double-sided touch sensitive panel and flex circuit bonding
KR100826360B1 (ko) * 2007-04-18 2008-05-02 삼성전기주식회사 반도체 패키지용 인쇄회로기판의 제조방법
KR101172112B1 (ko) * 2008-11-14 2012-08-10 엘지이노텍 주식회사 터치 스크린 및 그 제조방법
CN101845625B (zh) * 2010-06-01 2012-03-21 无锡阿尔法电子科技有限公司 一种在电容式触摸屏表面进行化学镀金的方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101634021A (zh) 2008-07-24 2010-01-27 罗门哈斯电子材料有限公司 无电镀金液
CN101706703A (zh) 2009-11-24 2010-05-12 无锡阿尔法电子科技有限公司 一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101845625A (zh) 2010-09-29
US20130082026A1 (en) 2013-04-04
WO2011150781A1 (zh) 2011-12-08
CN101845625B (zh) 2012-03-21
KR20130032317A (ko) 2013-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101513344B1 (ko) 정전용량 방식의 터치스크린 표면에 화학도금을 진행하는 방법
KR101422270B1 (ko) 터치 스크린 센서용 메탈 메쉬의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 터치 스크린 센서
CN105474140B (zh) 透光性导电构件及其布图方法
CN103257746B (zh) 一种ogs触控屏制作方法
KR101468074B1 (ko) 직접 도금에 의한 도전성 박막소재 및 이의 제조방법
CN102176194B (zh) 金属引线电极的加工方法
TW201606594A (zh) 導電性結構體及其製造方法以及顯示裝置
CN103526192B (zh) 一种用于ito/fto/azo导电玻璃上具有强选择性的新型化学镀镍法
CN103582285A (zh) 一种ito导电膜汇流电极及其制作方法
CN103823603A (zh) Ogs触摸屏及其制作方法
KR101796525B1 (ko) 터치스크린패널의 제조방법 및 이로부터 제조된 터치스크린패널
CN101706703B (zh) 一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法
CN102776495B (zh) 一种用于在电容式触摸屏ito走线上的化学镀镍方法
TW502247B (en) Touch panel to form the conductive film by using plating
CN106935511B (zh) 薄膜晶体管、显示基板及其制作方法、显示装置
CN201654751U (zh) 一种电容触摸屏
CN107385487A (zh) 一种hdi板快速镀铜前处理液及其前处理工艺
KR101412990B1 (ko) 터치 스크린 패널의 제조방법
CN108118316A (zh) 一种ito线路化学镍金工艺
KR101380599B1 (ko) 복수의 도금층을 포함하는 터치 스크린 패널 및 이의 제조방법
JP2019212524A (ja) 導電材料の処理方法
CN209345436U (zh) 一种无导线镀金印制线路板结构
CN103207704B (zh) 触控面板及其制造方法
US11966551B2 (en) Metal mesh touch screen and method for manufacturing metal mesh touch screen
CN203276240U (zh) 自感式电容屏用导电玻璃

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee