CN101706703A - 一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明为一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法。其加工工艺简单、加工成本低。其包括中心带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板,其特征在于:所述ITO导线表面所覆盖的金属膜通过镀金工艺制作而成,其镀金工艺步骤依次为:玻璃基板的脱脂、敏化、活化、通过无电解镀金将ITO导线镀上预处理金属膜、通过电解镀金将ITO导线镀上金属膜。

Description

一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法
(一)技术领域
本发明涉及电容式触摸屏技术领域,具体为一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法。
(二)背景技术
现有的电容式触摸屏结构包括:(1)单面纳米铟锡金属氧化物(ITO)膜玻璃基板上贴上另外一层ITO膜的结构、(2)双面ITO膜玻璃基板,这两种结构均需要通过其四边边缘的ITO导线连通不在同一表面的ITO膜,为满足控制芯片的输入阻抗的限制,必须要降低边缘设置的ITO导线的电阻值,现有的成熟做法是预先在玻璃基板的ITO膜区域丝印上保护层后,将ITO导线上加上一层金属膜,现有的金属膜制作工艺:在ITO玻璃基板的ITO导线上溅射之后形成金属膜层,金属膜层上覆盖一层阻抗保护层,然后通过紫外线的露光照射使之显象,再进行蚀刻,最后对阻抗保护层进行剥离。其金属膜处理工艺复杂,加工成本高。
(三)发明内容
针对上述问题,本发明提供了一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法,其加工工艺简单、加工成本低。
其技术方案是这样的:其包括中心带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板,其特征在于:所述ITO导线表面所覆盖的金属膜通过镀金工艺制作而成,其镀金工艺步骤依次为:玻璃基板的脱脂、敏化、活化、通过无电解镀金将ITO导线镀上预处理金属膜、通过电解镀金将ITO导线镀上金属膜。
其进一步特征在于:
所述镀金工艺的步骤具体如下:
(1)、脱脂:玻璃基板在含硫化合物的中性脱脂液进行浸渍处理,温度15℃~28℃,时间5分钟;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;
(2)、敏化:用氨水将氯化锡、盐酸肼的混合液调整到PH3~PH5的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液中进行浸渍处理,温度15℃~28℃,时间2分钟~4分钟;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;
(3)、活化:用氨水将氯化钯、盐酸的混合液调整到PH3~PH6的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液中进行浸渍处理,温度15℃~28℃,时间2分钟~4分钟;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗后,再用纯氮气吹干;
(4)、无电解镀金:将玻璃基板非电镀区域的ITO膜区域丝印上保护层后,将玻璃基板放入含有酸性化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理,温度48℃~52℃,时间5分钟~10分钟,使得ITO导线上形成厚度为1μm~3μm的镍磷合金金属膜,镍磷合金金属膜中磷元素的所占的质量百分数为2%~4%;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度148℃~152℃的环境中进行5小时~10小时的退火处理;
(5)、电解镀金:采用电镀镍金,预先把电镀区域的ITO导线全部接通,ITO导线一端作为阴极,导通电流,电流密度为2A/dm2~5A/dm2,ITO导线另一端作为阳极,连接镍板,导通电流直至ITO导线的金属膜的厚度到达40μm~100μm;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度148℃~152℃的环境中进行23小时~25小时的退火处理。
采用本发明的方法,将所述ITO导线表面所覆盖的金属膜通过镀金工艺制作而成后,其ITO导线的电阻值的效果和溅射金属膜工艺一样。由于其镀金工艺步骤依次为:玻璃基板的脱脂、敏化、活化、通过无电解镀金将电镀区域的ITO导线镀上预处理金属膜、通过电解镀金将ITO导线镀上金属膜,其无需经过复杂的溅射、蚀刻工艺,其加工工艺简单、加工成本低。
(四)具体实施方式
具体实施例一:
将带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板放入含硫化合物的中性脱脂液进行浸渍脱脂处理,其温度15℃,时间5分钟,之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后,再用纯氮气吹干;
将1g/L的氯化锡,0.5g/L的盐酸肼的混合液,用氨水调整到PH3的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液进行浸渍处理,温度15℃,时间4分钟,之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;
将0.1g/L的氯化钯,0.3cc/L的盐酸的混合液,用氨水调整到PH3的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液进行浸渍处理,温度15℃,时间4分钟,之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后,再用纯氮气吹干;
将玻璃基板非电镀区域的ITO膜区域丝印上保护层后,将玻璃基板放入含有酸性化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理,温度48℃,时间5分钟,使得ITO导线上形成厚度为1μm的镍磷合金金属膜,镍磷合金金属膜中磷元素的所占的质量百分数为2%;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度148℃的环境中进行10小时的退火处理;
采用电镀镍金,预先把电镀区域的ITO导线全部接通,ITO导线靠近ITO膜的一端为阴极,其导通电流,ITO导线靠近玻璃基板边缘的一端为阳极,其连接镍板,其阴、阳极面积比等于1∶1.5,其电解液为金属离子为镍离子的电解液,导通电流,电解液温度为15℃,其电流密度为2A/dm2,经过97.5分钟后,ITO导线的金属膜的厚度到达40μm(电流密度为1A/dm2时其成膜速度为0.205μm/分),停止电离;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度148℃的环境中进行25小时的退火处理。
具体实施例二:
将带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板放入含硫化合物的中性脱脂液进行浸渍脱脂处理,其温度28℃,时间5分钟,之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后,再用纯氮气吹干;
将1g/L的氯化锡,0.5g/L的盐酸肼的混合液,用氨水调整到PH5的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液进行浸渍处理,温度28℃,时间2分钟,之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;
将0.1g/L的氯化钯,0.3cc/L的盐酸的混合液,用氨水调整到PH6的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液进行浸渍处理,温度28℃,时间2分钟,之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后,再用纯氮气吹干;
将玻璃基板非电镀区域的ITO膜区域丝印上保护层后,将玻璃基板放入含有酸性化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理,温度52℃,时间10分钟,使得ITO导线上形成厚度为3μm的镍磷合金金属膜,镍磷合金金属膜中磷元素的所占的质量百分数为4%;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度152℃的环境中进行5小时的退火处理;
采用电镀镍金,预先把电镀区域的ITO导线全部接通,ITO导线靠近ITO膜的一端为阴极,其导通电流,ITO导线靠近玻璃基板边缘的一端为阳极,其连接镍板,其阴、阳极面积比等于1∶2,其电解液为金属离子为镍离子的电解液,导通电流,电解液温度为35℃,其电流密度为5A/dm2,经过97.5分钟后,ITO导线的金属膜的厚度到达100μm(电流密度为1A/dm2时其成膜速度为0.205μm/分),停止电离;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度152℃的环境中进行23小时的退火处理。
具体实施例三:
将带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板放入含硫化合物的中性脱脂液进行浸渍脱脂处理,其温度23℃,时间5分钟,之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后,再用纯氮气吹干;
将1g/L的氯化锡,0.5g/L的盐酸肼的混合液,用氨水调整到PH4的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液进行浸渍处理,温度23℃,时间3分钟,之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;
将0.1g/L的氯化钯,0.3cc/L的盐酸的混合液,用氨水调整到PH5的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液进行浸渍处理,温度23℃,时间3分钟,之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板各30分钟后,再用纯氮气吹干;
将玻璃基板非电镀区域的ITO膜区域丝印上保护层后,将玻璃基板放入含有酸性化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理,温度50℃,时间8分钟,使得ITO导线上形成厚度为2μm的镍磷合金金属膜,镍磷合金金属膜中磷元素的所占的质量百分数为3%;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度150℃的环境中进行7小时的退火处理;
采用电镀镍金,预先把电镀区域的ITO导线全部接通,ITO导线靠近玻璃基板边缘的一端为阴极,其导通电流,ITO导线靠近ITO膜的一端为阳极,其连接镍板,其阴、阳极面积比等于1∶1.75,其电解液为金属离子为镍离子的电解液,导通电流,电解液温度为25℃,其电流密度为3A/dm2,经过114分钟后,ITO导线的金属膜的厚度到达70μm(电流密度为1A/dm2时其成膜速度为0.205μm/分),停止电离;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度150℃的环境中进行24小时的退火处理.

Claims (2)

1.一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法,其包括中心带有ITO膜且四边边缘带有ITO导线的玻璃基板,其特征在于:所述ITO导线表面所覆盖的金属膜通过镀金工艺制作而成,其镀金工艺步骤依次为:玻璃基板的脱脂、敏化、活化、通过无电解镀金将ITO导线镀上预处理金属膜、通过电解镀金将ITO导线镀上金属膜。
2.根据权利要求1所述一种电容式触摸屏四边边缘金属膜的制作方法,其特征在于:所述镀金工艺的步骤具体如下:
(1)、脱脂:玻璃基板在含硫化合物的中性脱脂液进行浸渍处理,温度15℃~28℃,时间5分钟;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;
(2)、敏化:用氨水将氯化锡、盐酸肼的混合液调整到PH3~PH5的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液中进行浸渍处理,温度15℃~28℃,时间2分钟~4分钟;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;
(3)、活化:用氨水将氯化钯、盐酸的混合液调整到PH3~PH 6的碱性范围后,将玻璃基板放入混合液中进行浸渍处理,温度15℃~28℃,时间2分钟~4分钟;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗后,再用纯氮气吹干;
(4)、无电解镀金:将玻璃基板非电镀区域的ITO膜区域丝印上保护层后,将玻璃基板放入含有酸性化学镀镍磷合金溶液进行浸渍处理,温度48℃~52℃,时间5分钟~10分钟,使得ITO导线上形成厚度为1μm~3μm的镍磷合金金属膜,镍磷合金金属膜中磷元素的所占的质量百分数为2%~4%;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗玻璃基板后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度148℃~152℃的环境中进行5小时~10小时的退火处理;
(5)、电解镀金:采用电镀镍金,预先把电镀区域的ITO导线全部接通,ITO导线一端作为阴极,导通电流,电流密度为2A/dm2~5A/dm2,ITO导线另一端作为阳极,连接镍板,导通电流直至ITO导线的金属膜的厚度到达40μm~100μm;之后依次用去离子水、丙酮、无水醇三种液体超声波清洗后,再用纯氮气吹干;然后将整个玻璃基板置于温度148℃~152℃的环境中进行23小时~25小时的退火处理。
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