KR101681663B1 - 전도성 패턴 적층체 및 이의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
또한, 상기 전도성 패턴 적층체는 연성 필름으로 이루어진 기재의 일면 또는 양면에 촉매를 포함하는 잉크로 패턴을 형성하는 단계; 상기 패턴 상에 무전해 도금층을 형성하는 단계로 제조되는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 무전해 도금층을 형성하는 단계는 탈지 및 촉매 공정을 생략하는 것을 특징으로 한다.
Description
| 포토리소그래피 | 인쇄 | 스퍼터링 증착 | |
| 방법 | 전도층 원판에 빛을 조사하여 원하는 회로(패턴)만 남김 | 전도성 재료를 원하는 회로(패턴) 모양으로 인쇄 | 전도성을 가진 금속 입자를 충돌에 의해 증착시킴 |
| 특징 | - 범용적 기술 - 공정 단가 높음 - 공정 단계 복잡 - 재료가 한정적 |
- 두께 편차가 큼 - 전도도 편차가 큼 |
- 고가의 설비 비용 - 고가의 재료 비용 - 낮은 균일도 |
도 2는 본 발명의 촉매잉크를 PET 필름에 인쇄하여 바이오센서 전극 스트립의 패턴을 형성한 사진이다.
도 3은 PET 필름 상의 촉매잉크 패턴에 Cu를 도금한 상태를 나타낸 사진이다.
도 4는 PET 필름 상의 촉매잉크 패턴에 Au를 도금한 상태를 나타낸 사진이다.
도 5는 인쇄층의 두께 및 도금 후 패턴의 두께(a), 도금 후 저항(b), 및 인쇄 종료 후 패턴의 선폭(c)을 측정한 위치를 나타낸 시트의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제조방법과 종래기술의 제조방법에 의해 제조된 패턴에 대한 인쇄표면 및 도금표면 조도, 인쇄표면 및 도금표면 상태를 고배율 현미경으로 관찰한 결과 및 도금면의 밀착력을 시험한 결과를 나타낸 시험결과이다.
| 공정 | 구성 | 특징 |
| 도금방지층 인쇄 | 절연 페이스트 | 도금 기재층 경계 구성 |
| 탈지 | 금속 알칼리염+계면활성제 | 기재층 개질 및 유기물 제거 |
| 촉매 | 팔라듐 이온 공급용액+ 계면활성제 |
기재층 촉매 이온 부여 |
| 환원 | 붕소-디아민착물+ 계면활성제 |
촉매 이온 활성화 |
| 도금 | 황산구리+알칼리금속염+ 계면활성제+포르말린 |
촉매 산화-환원에 의한 구리층 형성 |
| 절연층 인쇄 | 절연 페이스트 | 전극 이외 부분에 절연막 형성 |
| 피복 전극 형성 | Au 보호층 형성 | 산화방지 및 전극보호 |
| 항목 | 종래기술 | 본 발명 |
| 도금균일성 | 개방(OPEN) 발생 | 개방(OPEN)/단락(SHORT) 없음 |
| 저항균일성(편차) | 10% 이상 | 10% 이내 |
| 밀착력(ASTM 3359) | 3B | 4B |
| 구성성분 | 함량(중량%) | 농도(중량%) |
| NaOH | 10~20 | 12 |
| 황산 | 1~5 | |
| 첨가제 | 10~20 | |
| 물 | 잔부 | |
| 황산구리 | 10~25 | 5 |
| 첨가제1 | 1~5 | |
| 첨가제2 | 1~5 | |
| 물 | 잔부 | |
| 안정제 | 1~10 | 1 |
| 물 | 잔부 | |
| 계면활성제 | 1~10 | 1 |
| 포르말린 | 0.5 | |
| 물 | 잔부 |
| 최소 | 최대 | 평균 | 표준편차 | |
| 본 발명 | 4.9 | 5.9 | 5.5 | 0.289 |
| 포지티브 패턴 | 5.4 | 5.8 | 5.6 | 0.166 |
| 네거티브 패턴 | 5.7 | 6.7 | 6.2 | 0.300 |
| 최소 | 최대 | 평균 | 표준편차 | |
| 본 발명 | 7.8 | 9.2 | 8.3 | 0.442 |
| 포지티브 패턴 | 7.4 | 8.8 | 8 | 0.420 |
| 네거티브 패턴 | 2.1 | 2.7 | 2.3 | 0.222 |
| 시료 | 최소 | 최대 | 평균 | 표준편차 |
| 본 발명 | 7.0 | 12.9 | 10.1 | 1.974 |
| 포지티브 패턴 | 0.8 | 1.0 | 1.0 | 0.088 |
| 네거티브 패턴 | 12.3 | 23.0 | 17.7 | 3.612 |
| 시료 | 최소 | 최대 | 평균 | 표준편차 | |
| 도면 | 0.6000 | 0.6000 | 0.6000 | ||
| 본 발명 | 측정값 | 0.6598 | 0.7021 | 0.6842 | 0.017 |
| 도면대비 | 0.0598 | 0.1021 | 0.0842 | 3.961 | |
| 포지티브 패턴 | 측정값 | 0.6289 | 0.6381 | 0.6334 | 0.002 |
| 도면대비 | 0.0289 | 0.0381 | 0.0334 | 3.956 | |
| 네거티브 패턴 | 측정값 | 0.4909 | 0.5828 | 0.5556 | 0.023 |
| 도면대비 | -0.1091 | -0.0172 | -0.0444 | 8.932 |
| 잉크종류 | 본 발명 | 포지티브 패턴 | 네거티브 패턴 |
| 공정진행순서 | 촉매패턴 인쇄 | Ag 패턴인쇄 | 도금방지층인쇄 |
| × | 탈지 | 탈지 | |
| × | 촉매 | 촉매 | |
| 환원 | 환원 | 환원 | |
| 무전해도금 | 무전해도금 | 무전해도금 | |
| 3 공정 | 5 공정 | 5 공정 | |
| 인쇄두께(㎛) | 4.9~5.9 | 17.7~18.7 | 5.7~6.7 |
| 도금두께(㎛) | 2.7~3.3 | 2.0~3.0 | 2.1~2.7 |
| 선저항(mΩ) | 7.0~12.9 | 0.8~1.0 | 12.3~23.0 |
Claims (5)
- 연성 필름으로 이루어진 기재;
상기 연성 기재 상에 적층되며, 도금공정에서 사용하는 촉매금속을 인쇄가 가능하도록 비이클과 혼합한 후 인쇄적성 부가를 위한 보조첨가제를 첨가하여 잉크화한 촉매를 포함하는 잉크에 의해 형성되는 패턴층; 및 상기 패턴층 상에 적층되는 무전해 도금층;으로 이루어지며,
상기 무전해 도금층은 도금 공정에서 탈지 및 촉매 공정을 생략하여 형성되며, 상기 무전해 도금층은 상기 패턴층 상에만 형성되되,
도금에 따른 개방(OPEN) 및 단락(SHORT)이 없으며,
상기 패턴의 전기 저항이 10Ω 이하이며, 균일도 편차가 10% 이하이며, ASTM 3359에 따른 밀착력이 4B 이상이며,
상기 패턴층의 인쇄두께가 4.5 내지 5.9㎛이며, 상기 무전해 도금층의 두께가 2.7 내지 3.3㎛이며, 상기 패턴의 선저항이 7.0 내지 12.9mΩ인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴 적층체.
- 청구항 1에 있어서,
상기 패턴층을 구성하는 패턴은 두께의 표준편차가 0.3 이하이며, 상기 무전해 도금층을 구성하는 패턴의 두께의 표준편차가 0.45 이하인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴 적층체.
- 연성 필름으로 이루어진 기재의 일면 또는 양면에 도금공정에서 사용하는 촉매금속을 인쇄가 가능하도록 비이클과 혼합한 후 인쇄적성 부가를 위한 보조첨가제를 첨가하여 잉크화한 촉매를 포함하는 잉크로 패턴을 형성하는 단계;
상기 패턴 상에 무전해 도금층을 형성하는 단계;로 이루어지며,
상기 무전해 도금층을 형성하는 단계는 탈지 및 촉매 공정을 생략하되,
도금에 따른 개방(OPEN) 및 단락(SHORT)이 없으며,
상기 패턴의 전기 저항이 10Ω 이하이며, 균일도 편차가 10% 이하이며, ASTM 3359에 따른 밀착력이 4B 이상이며,
상기 패턴층의 인쇄두께가 4.5 내지 5.9㎛이며, 상기 무전해 도금층의 두께가 2.7 내지 3.3㎛이며, 상기 패턴의 선저항이 7.0 내지 12.9mΩ인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴 적층체의 제조방법.
- 청구항 3에 있어서,
상기 무전해 도금층을 형성하는 단계는 환원 공정을 생략하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴 적층체의 제조방법.
- 청구항 3에 있어서,
상기 기재는 비아홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴 적층체의 제조방법.
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