KR101485097B1 - 진공 유리 부재의 연속 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공 유리 부재를 연속적으로 처리하기 위한 장치를 개시한다. 장치는 유리의 진행 방향을 따라 순차적으로 배치된 로딩 테이블, 전단 보조 진공 챔버들, 메인 진공 챔버, 후단 보조 진공 챔버들 및 언로딩 테이블을 구비하고; 로딩 테이블 위의 유리 플레이트들을 전단 보조 진공 챔버들, 메인 진공 챔버, 후단 보조 진공 챔버들 및 언로딩 테이블로 순차적으로 이송하기 위한 유리 플레이트 이송 장치; 및 진공 밀봉 처리와 장비 작동 플로우를 제어하기 위한 전기 제어 시스템을 구비하고; 진공 챔버들은 서로 독립적이고 진공 획득 시스템과 진공 감지 장치가 각각 마련되며, 전단 보조 진공 챔버들과 후단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버의 진공도와 동일하거나 낮으며, 2개의 보조 진공 챔버들은 메인 진공 챔버의 전단과 후단에서 각각 천이 진공 공간을 마련하고; 메인 진공 챔버 내부의 유리 플레이트들에 플레이트의 결합과 밀봉 동작을 수행할 수 있도록 메인 진공 챔버에 배치된 플레이트 결합 장치와 밀봉 장치를 구비하고, 플레이트 결합 장치의 입력단과 출력단은 상류와 하류에 위치된 유리 플레이트 이송 장치에 각각 연결되고; 전단 보조 진공 챔버들과 후단 보조 진공 챔버들 모두는 모듈 구조를 가지며, 전단 및 후단 보조 진공 챔버들은 각각 필요한 만큼 하나 또는 그 이상의 보조 진공 챔버들이 마련되고, 다수의 전단 보조 진공 챔버들과 다수의 후단 보조 진공 챔버들이 사용될 때, 전단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버에 가까워질수록 점차 높아지고, 후단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버로부터 멀어질수록 점차 감소된다.

Description

진공 유리 부재의 연속 처리 장치{Device for continuously vacuum glass member}
본 발명은 진공 유리 부재를 연속적 처리할 수 있는 장치 및 방법에 관한 것으로, 진공 유리 플레이트들 사이의 밀봉 공정이 개선된 진공 유리 부재 연속 처리 장치에 관한 것이다.
2개 또는 그 이상의 유리 플레이트들을 사용하여 결합되는 진공 유리 부재는 뛰어난 방음 및 방열 성능 때문에 세상의 관심을 끌고 있고, 다양한 진공 유리 제조법과 상응하는 진공 유리 제품들이 끊임없이 제안되고 있다. 본 출원인에 의해 발명된 초기의 진공 유리 구조물은 도 1 내지 도 3에 도시되어 있다. 이러한 도면들에 있어서, 참조부호 14a는 상부 유리 플레이트를 나타내고, 참조부호 14b는 하부 유리 플레이트를 나타내며, 참조부호 14c는 중간 서포트를 나타내고, 참조부호 14d는 실링 부재를 나타낸다. 중간 서포트(14c)는 하부 유리 플레이트(14b)에 미리 놓여지고, 실링 부재(14d)는 상부 플레이트와 하부 플레이트에 미리 놓여진 금속층을 서로 직접 용접하여 형성될 수 있고, 상부 플레이트와 하부 플레이트에 미리 놓여진 U-자형 영역을 가진 금속 밀봉 쉬트와 금속층을 용접하여 형성될 수도 있고, 가열에 의해 상부 플레이트와 하부 플레이트를 밀봉할 수 있는 모든 물질에 의해 제조될 수도 있고, 저융점 유리 파우더를 이용하여 제조될 수 있다. 현재, 진공 유리 부재가 제조될 때, 진공을 얻기 위한 방법은 주로 2개의 방식을 포함한다. 제1 방식은, 블리더 홀(bleeder hole)(14e)을 유리 플레이트에 먼저 형성시키고, 진공 유리의 내부 공간이 진공 유리 부재의 주변에 밀폐된 밀봉이 완성되면 블리더 홀을 통해 진공처리하여, 미리 결정된 진공도를 얻은 후 블리더 홀을 폐쇄하여 진공 유리 부재의 제조를 완료한다. 제2 방식은, 먼저, 진공 유리 부재를 형성하기 위한 유리 플레이트들을 서로 조립하여, 조립된 유리 플레이트들을 진공 추출용 진공 챔버 속으로 이송시키고, 진공 유리 부재의 제조를 완성하기 위한 미리 결정된 값에 진공 챔버의 진공도가 도달되면 조립된 유리 플레이트들을 진공 챔버 안에서 밀봉시킨다.
진공 유리 부재를 위한 전술한 2개의 방식들의 경우, 인접하여 조립된 유리 플레이트들 사이의 간격이 어떤 경우에는 수십 마이크론까지 작은 좁은 공간이기 때문에 진공처리될 때 필요한 시간이 길고, 높은 진공도를 얻기가 어렵다. 또한 이러한 2개의 방식은 연속 생산의 구현이 불가능하다. 따라서, 높은 진공도를 가진 진공 유리 부재를 연속적으로 처리할 수 있는 장치의 필요성이 매우 높다.
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 착상된 것으로서, 진공 유리 부재를 연속적으로 처리할 수 있는 진공 유리 부재 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 진공 유리 부재를 연속적으로 처리하기 위한 장치를 제공한다. 실질적으로, 장치는 유리의 진행 방향을 따라 각각 배치된 로딩 테이블, 전단 보조 진공 챔버, 메인 진공 챔버, 후단 보조 진공 챔버 및 언로딩 테이블을 구비한다. 또한, 장치는 유리 플레이트 전송 장치와 전기 제어 시스템을 구비한다. 로딩 테이블 위의 유리 플레이트들은 전송 장치를 통해 전단 보조 진공 챔버, 메인 진공 챔버, 후단 보조 진공 챔버 및 언로딩 테이블로 순차적으로 공급된다. 전기 제어 시스템은 진공 밀봉 공정과 장비 작동 플로우를 제어하는데 사용된다. 진공 챔버들은 서로 독립하고 각각 진공 획득 시스템, 진공 감지 장치가 마련되고, 전단 보조 진공 챔버와 후단 보조 진공 챔버의 진공도는 메인 진공 챔버의 진공도와 동일하거나 그보다 더 낮으며, 2개의 보조 진공 챔버들은 메인 진공 챔버의 전단과 후단에서 각각 천이 진공 공간을 제공하는데 사용된다. 플레이트 결합 장치와 밀봉 장치는 메인 진공 챔버에 배치되고, 2개의 장치들은 메인 진공 챔버 내부의 유리 플레이트에 플레이트 결합 및 밀봉 작업을 수행할 수 있고, 플레이트 결합 장치의 입력단과 출력단은 플레이트 결합 장치의 상류와 하류에 각각 위치된 유리 플레이트 전송 장치들에 연결되고, 메인 진공 챔버의 진공도는 1~5×10-3Pa이고, 전단 보조 진공 챔버와 후단 보조 진공 챔버 모두 모듈 구조를 가지며, 메인 진공 챔버의 전단과 후단은 각각 필요한 만큼 하나 또는 그 이상의 보조 진공 챔버들이 설비될 수 있고, 복수의 전단 보조 진공 챔버들과 복수의 후단 보조 진공 챔버들이 배치될 경우, 전단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버에 근접할 수록 점진적으로 증가되고, 후단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버로부터 멀어질수록 점진적으로 감소된다.
또한, 유리 플레이트들의 진행 방향을 따라, 각각의 진공 챔버는 개방 가능한 격리 도어를 통해 연결된 상류 스테이션과 하류 스테이션과 기밀하게 분리된다.
또한, 처리 장치는 세정 장비를 구비하고, 세정 장비는 전단 보조 진공 챔버에 배치된다.
또한, 플레이트 결합 장치는 적어도 2개의 유리 플레이트 전송 메커니즘들을 구비하고, 하나의 전송 메커니즘에 의해 전송된 유리 플레이트가 다른 전송 메커니즘에 의해 전송된 유리 플레이트 위에 자동적으로 적층되는 방식으로, 플레이트 결합 장치는 전송 메커니즘들에 의해 전송되는 유리 플레이트를 자동적으로 조립한다.
또한, 전송 메커니즘은 롤러 테이블 전송 메커니즘이거나 벨트 타입 전송 메커니즘이고, 롤러 테이블 전송 메커니즘은 서로 평행하고 소정 간격 이격 배치된 다수의 유리 플레이트 전송 롤러들로 구성되고, 벨트 타입 전송 메커니즘은 서포팅 롤러들과 서포팅 롤러들에 감긴 컨베이어로 구성된다.
또한, 유리 플레이트 전송 메커니즘들은 상,하로 소정 간격으로 배치되고, 유리 플레이트 전송 메커니즘들의 유리 플레이트 전송 방향이 서로 일치하고, 각각의 상부 전송 메커니즘들에 의해 전송되는 유리 플레이트들이 자동적으로 조립되도록 각각의 바닥 전송 메커니즘에 최종적으로 스택킹된다.
또한, 각각의 상부 전송 메커니즘에 의해 전송되는 유리 플레이트들은 순서대로 즉, 위에서부터 바닥까지의 순서대로 각각의 바닥 전송 메커니즘에 스택킹되며, 제1 층의 전송 메커니즘에 의해 전송되는 유리 플레이트는 제2 층의 전송 메커니즘에 의해 전송되는 유리 플레이트 위에 스택킹되고, 제2 층의 전송메커니즘으로부터 스택킹된 유리 플레이트들은 제3 층의 전송 메커니즘에 의해 전송된 유리 플레이트 위에 스택킹되고, 모든 유리 플레이트들이 바닥 전송 메커니즘에 스택킹될 때까지 위의 공정들이 반복된다.
유리 플레이트 전송 메커니즘들에 있어서, 바닥 전송 메커니즘 위의 전송 메커니즘들에 의해 전송되는 유리 플레이트들은 바닥 전송 메커니즘에 동시에 스택킹되거나 바닥 전송 메커니즘에 의해 전송되는 유리 플레이트가 상부와 하부 플레이트의 관계가 변화되지 않은 상태로 유지되어 유리 플레이트들이 조립된다.
또한, 유리 플레이트 전송 메커니즘들에 있어서, 유리 플레이트를 다른 전송 메커니즘으로 전송하기 위한 전송 메커니즘의 꼬리 부분에서 유리 플레이트 전송 표면은 비스듬하게 정렬되고, 유리 플레이트의 진행 방향을 따라 전송된 유리 플레이트를 지탱하기 위해 전송 메커니즘 위의 유리 플레이트 전송 표면에 점차적으로 근접한다.
또한, 유리 플레이트 전송 메커니즘은 유리 플레이트 안내 장치가 마련되고, 안내 장치는 전송 메커니즘에 의해 전송된 유리 플레이트의 위치를 유리 플레이트의 진행 방향에 수직인 방향으로 제한한다.
또한, 유리 플레이트 전송 장치들에 있어서, 다른 전송 메커니즘에 의해 전송된 유리 플레이트를 수용하기 위한 전송 메커니즘은 유리 플레이트 포지셔닝 장치 또는 조절 장치가 마련되고, 유리 플레이트의 횡 위치와 종 위치는 조절 장치를 통해 조절되어, 유리 플레이트들의 상호 조립 정밀도가 보장된다.
또한, 플레이트 결합 장치는 서포팅 장치와 서포팅 롤러 테이블을 가진 트롤리를 구비하고, 트롤리는 서포팅 롤러 테이블에 이동 가능하게 배치되고, 진공 유리 부재의 하부 유리 플레이트는 트롤리의 바닥 플레이트에 배치되고, 상부 유리 플레이트는 서포팅 장치를 통해 하부 유리 플레이트 위에 배치되며, 상부 및 하부 유리 플레이트들은 그 어떤 형태로든 접촉없이 서로 평행하거나 상부 유리 플레이트의 일단이 하부 유리 플레이트의 동일한 측단에 지지되어 하부 유리 플레이트에 국부적으로 접촉되며, 상부 및 하부 유리 플레이트들은 충분한 이격 공간 또는 충분한 협각(included angle)을 가짐으로써, 상부 및 하부 유리 플레이트들 주위의 진공도는 메인 진공 챔버의 진공도와 동일하며, 플레이트 결합이 필요할 때, 서포팅 장치를 통해 하부 유리 플레이트에 배치됨으로써, 상부 유리 플레이트의 결합 동작이 완료된다.
또한, 플레이트 결합 장치는 서포팅 장치와 서포팅 롤러 테이블을 가진 트롤리를 구비하고, 트롤리는 서포팅 롤러 테이블에 이동가능하게 배치되고, 진공 유리 부재의 각각의 유리 플레이트는 직립 상태로 트롤리에 배치되고, 각각의 유리 플레이트의 중간 부분 또는 끝단 부분은 서포팅 장치에 기대고, 인접한 유리 플레이트들은 서로 평행하거나 국부적으로 접촉되고, 인접한 유리 플레이트들은 충분한 공간 이격 또는 협각을 가짐으로써, 유리 플레이트들 주변의 진공도는 메인 진공 챔버의 진공도와 동일하고, 각각의 플레이트의 결합 동작은 각각의 유리 플레이트에 의해 기댄 서포트팅 장치의 동작에 의해 구현될 수 있다.
또한, 밀봉 장치는 유도 가열 헤드이고, 유도 가열 헤드는 작동 메커니즘을 통해 이동되어 진공 유리 부재의 밀봉 동작을 완료한다.
또한, 밀봉 장치는 슬릿 타입 유리 밀봉 장치이고, 슬릿 타입 유리 밀봉 장치는 그곳을 통해 밀봉될 유리가 통과하는 슬릿이 마련되고, 유도 가열 코일이 슬릿 주변에 배치되고, 밀봉될 유리 부재가 슬릿을 통과할 때 밀봉이 완료되며, 컴팩션(compaction) 롤러 또는 컴팩션 휠이 슬릿에 배치되고, 밀봉될 유리 부재가 완전하게 밀봉되는 것을 보장하기 위해 컴팩션 롤러 또는 컴팩션 휠을 사용하여 밀봉될 유리 부재가 슬릿을 관통하여 서로 꽉 채워지는 상태로 된다.
또한, 밀봉 장치는 메인 진공 챔버의 외부에 배치된 레이저 가열 장치이고, 메인 진공 챔버의 쉘(shell)은 투명 윈도우에 제공되고, 레이저 가열 장치는 투명 윈도우를 통해 메인 진공 챔버에 있는 결합 조립된 유리 플레이트 부재를 밀봉한다.
진공 유리 부재를 연속적으로 처리하기 위한 본 발명에 개시된 장치는 다음과 같은 장점들을 가진다.
1. 본 발명에 따른 진공 유리 부재 처리 장치를 사용함으로써, 진공 유리의 전체 밀봉 공정이 정상 온도에서 수행되므로 고온 가스에 의해 유발되는 어닐링 영향 및 단단해진 유리에 용융 용접이 방지될 수 있다.
2. 다양한 형태의 진공 유리 플레이트의 밀봉을 위해 본 장치가 적용될 수 있다.
3. 메인 진공 챔버의 전후에 배치된 보조 진공 챔버들과, 계단-모양의 진공 천이 영역이 메인 진공 챔버와 외기 사이에 배치됨으로써, 메인 진공 챔버가 작업하는 동안 모든 시간에 높은 진공도를 유지할 수 있고, 생산성이 향상되고 제조비가 감소된다.
4. 보조 진공 챔버들과 메인 진공 챔버는 서로 독립하고, 각각의 진공 챔버는 모듈 구조를 가지기 때문에, 생산량 조건에 따라 보조 진공 챔버들의 수가 설정될 수 있다.
5. 진공 유리 부재를 형성하기 위한 유리 플레이트들이 결합되기 전에, 각각의 유리 기재의 표면 진공도는 진공 챔버의 진공도와 동일하기 때문에 결합된 진공 유리 부재의 플레이트의 높은 진공도가 보장된다.
6. 진공 챔버의 내부 공간은 제조될 진공 유리 부재의 최대 사이즈에 따라 만들어지고, 더 작은 크기를 가진 진공 유리 부재가 제조될 때, 생산 라인의 로딩율은 합리적인 유리 플레이트 배열에 의해 최대화될 수 있으므로, 진공 유리 부재의 생산 효율이 보장되고 생산비 및 작업비가 감소된다.
도 1은 제1 구조 형태의 진공 유리의 개략도이다.
도 2는 제2 구조 형태의 진공 유리의 개략도이다.
도 3은 제3 구조 형태의 진공 유리의 개략도이다.
도 4는 연속적 진공 유리 부재의 처리 공정도이다.
도 5는 본 발명의 연속적인 유리 부재 밀봉 장치의 개략적 구성도이다.
도 6은 본 발명의 제1 플레이트 결합 장치의 개략적 구성도이다.
도 7은 본 발명의 제2 플레이트 결합 장치의 개략적 구성도이다.
도 8은 본 발명의 제3 플레이트 결합 장치의 개략적 구성도이다.
도 9는 본 발명의 제4 플레이트 결합 장치의 개략적 구성도이다.
도 10은 본 발명의 제5 플레이트 결합 장치의 개략적 구성도이다.
도 11은 본 발명의 제6 플레이트 결합 장치의 개략적 구성도이다.
도 12는 본 발명의 제7 플레이트 결합 장치의 개략적 구성도이다.
도 13은 본 발명의 제1 밀봉 장치의 개략적 구성도이다.
도 14는 도 13에 도시된 밀봉 장치의 컴팩션 롤러 또는 컴팩선 휠의 제1 설정 모드의 개략도이다.
도 15는 도 13에 도시된 슬릿 밀봉 장치의 컴팩션 롤러 또는 컴팩션 휠의 제2 설정 모드의 개략도이다.
도 16은 도 13에 도시된 슬릿 밀봉 장치의 컴팩션 롤러 또는 컴팩션 휠의 제3 설정 모드의 개략도이다.
도 17은 본 발명의 제2 밀봉 장치의 개략적 구성도이다.
도 18은 본 발명의 제3 밀봉 장치의 개략적 구성도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 진공 유리 부재를 연속적으로 처리하기 위한 공정은 일반적으로 유리 플레이트 전처리 단계, 유리 플레이트 이온 세정 단계, 플레이트 결합 단계, 진공 밀봉 단계 등을 포함한다. 본 발명에 있어서, 유리 플레이트 전처리 단계는, 상부 및 하부 유리 기재들의 밀봉된 위치에서 밀봉 물질을 미리 설정하는 단계 및 하부 기재에 서포트를 배치시키는 단계 등을 포함하고, 여기서, 미리 설정된 밀봉 물질은 (1) 저융점 유리 파우더 실링 물질, (2) 2개의 유리 플레이트들의 적어도 하나의 금속층이 솔더(solder)로 미리 플레이팅되거나 솔더 포일 스트립으로 고정된 유리 플레이트들에 통합된 금속층들, 및 (3) 2개의 유리 플레이트들의 표면에 미리 고정되어 유리 플레이트들 외측으로 확장되는 금속 밀봉 스트립들이기 때문에, 2개의 유리 플레이트들이 상호 조립된 후, 유리 플레이트들을 위한 밀봉 공정은 밀봉 장치를 통해 수행될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 유리 부재를 연속적으로 처리하기 위한 특정의 장치는 전처리된 유리 플레이트들에 대한 이온 세정 단계, 한 쌍의 플레이트들을 결합하는 단계, 진공 탈기 단계, 진공 밀봉 단계, 플레이트 불하 등의 단계를 수행할 수 있다. 장치는 유리의 진행 방향을 따라 순차적으로 배치된 로딩 테이블(미도시), 입구 버퍼 챔버(1), 선추출 진공 챔버(2), 메인 진공 챔버(3), 팽창 천이 챔버(4), 출구 버퍼 챔버(5), 언로딩 테이블(미도시), 유리 플레이트 이송 장치(9) 및 전기 제어 시스템(10)을 구비한다. 입구 버퍼 챔버(1)와 선추출 진공 챔버(2)는 전단 보조 진공 챔버들이고, 팽창 천이 챔버(4)와 출구 버퍼 챔버(5)는 후단 보조 진공 챔버들이고, 각각의 보조 진공 챔버는 모듈 구조를 가지며, 보조 진공 챔버들의 수는 메인진공 챔버(3)의 전단과 후단에 필요한 만큼 무작위로 배치될 수 있다.
보조 진공 챔버들의 각각과 메인 진공 챔버(3)의 입구 끝단과 출구 끝단에는 진공 도어 록(7)이 마련되고, 보조 진공 챔버들과 메인 진공 챔버에는 진공 획득 시스템(6)과 진공 감지 장치(8)가 각각 마련된다. 진공 도어 록(7)이 폐쇄되면, 진공 챔버들 각각이 폐쇄되어 서로 분리됨으로써 진공 챔버들은 독립적인 진공도를 유지할 수 있다. 각각의 챔버의 진공 획득 시스템(6)은 각각의 챔버를 위해 독립된 진공을 제공할 수 있다. 진공 감지 장치(8)는 각각의 챔버의 진공도를 감지하기 위해 사용된다. 진공 플레이트 이송 장치(9)는 유리 부재와 같은 이송 대상물을 챔버들 사이에서 이송시키기 위해 사용되고, 예를 들어, 롤러 테이블 구조 또는 벨트 이송 구조 등과 같이 현존하는 기술에서 편평한 물체를 전송할 수 있는 다양한 구조물을 채택할 수 있다.
보조 진공 챔버들은 메인 진공 챔버(3)의 전단과 후단의 진공 버퍼 공간에 특정의 진공도를 제공하는 주요 기능을 수행하고, 각각의 보조 진공 챔버의 진공도는 메인 진공 챔버(3)의 그것보다 크지 않으며, 메인 진공 챔버의 2개의 끝단들에 2개 또는 그 이상의 보조 진공 챔버들이 제공되는 경우, 전단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버(3)에 가까워질수록 점차 증가되고, 후단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버(3)로부터 멀어질수록 점차 감소된다.
예를 들어, 도 5의 연속적인 진공 유리 부재 처리 장치를 고려하면, 먼저, 진공 유리는 입구 버퍼 챔버(1)로 들어간 후, 입구 버퍼 챔버(1)가 진공처리되어 입구 버퍼 챔버(1)의 진공도는 선추출 진공 챔버(2)의 진공도에 도달하며, 이어서 입구 버퍼 챔버(1)와 선추출 진공 챔버(2) 사이의 진공 도어 록(7)이 폐쇄되고, 선추출 진공 챔버(2)가 진공처리되어 선추출 진공 챔버(2)의 진공도가 메인 진공 챔버(3)의 진공도에 도달한다. 유리 플레이트는 메인 진공 챔버로 들어가면 선추출 진공 챔버(2)와 메인 진공 챔버(3) 사이의 진공 도어 록(7)이 폐쇄된다. 유리 플레이트들은 메인 진공 챔버(3) 안에서 처리된다. 팽창 천이 챔버(4)의 진공도는 메인 진공 챔버(3)의 그것과 동일하도록 개선되고, 팽창 천이 챔버(4)와 메인 진공 챔버(3) 사이의 진공 도어 록(7)이 개방되고, 진공 유리 부재가 메인 진공 챔버로부터 팽창 천이 챔버(4) 속으로 들어가면 진공 도어 록(7)이 폐되고, 팽창 천이 챔버(4)는 미리 결정된 진공도로 감소되는 한편, 출구 버퍼 챔버(5)의 진공도는 팽창 천이 챔버(4)의 그것과 동일하도록 개선되고, 출구 팽창 챔버(5)와 팽창 천이 챔버(4) 사이의 진공 도어 록(7)이 개방되고, 진공 유리 부재는 출구 버퍼 챔버(5) 속으로 들어간 후, 천이 챔버(4)와 버퍼 챔버(5) 사이의 진공 도어 록(7)이 폐쇄되고, 버퍼 챔버(5)는 정상 압력으로 감소되고, 버퍼 챔버(5)의 진공 도어 록이 개방되고, 진공 유리 부재는 언로딩 테이블로 이송되어 언로딩 테이블을 통해 다음 공정으로 들어간다.
이온 세정 장치는 선추출 진공 챔버(2)에 배치되고, 유리 플레이트의 표면에 있는 잔여 가스 분자들과 물 분자들은 작업을 하는 동안 이온 세정 장치를 통해 제거된다.
플레이트 결합 장치와 밀봉 장치는 메인 진공 챔버(3)에 배치된다. 또한, 다양하게 선택된 형태에 따라 밀봉 장치는 메인 진공 챔버(3)의 내부 또는 외부에 배치될 수 있다.
메인 진공 챔버(3)의 진공도는 1~5×10-3Pa 또는 그 이상이다.
본 발명의 진공 유리 부재의 연속 처리 장치에 사용된 제1 구조 형태의 유리 플레이트 결합 장치는 도 6에 도시되어 있다. 플레이트 결합 장치는 2개의 유리 플레이트 이송 메커니즘들을 구비하고, 상부 이송 메커니즘(21)과 하부 이송 메커니즘(22)은 소정 간격으로 상호 상,하부에 배치되며, 상부 이송 메커니즘(21)은 2 층 구조를 가진 유리 부재(14)의 상부 유리 플레이트(14a)를 이송하기 위해 사용되고, 하부 이송 메커니즘(22)은 하부 유리 플레이트(14b)를 이송하기 위해 사용된다. 상부 및 하부 이송 메커니즘들(21)(22)은 롤러 테이블 이송 메커니즘을 이용하고, 각각의 이송 메커니즘은 서로 평행한 복수의 유리 플레이트 이송 롤러들로 구성된다. 하부 이송 메커니즘(22)의 하부 유리 플레이트(14b)의 이송 표면은 수평으로 배치되고, 상부 유리 플레이트(14a)가 하부 유리 플레이트(14b)에 안정되고 매끄럽게 스택킹될 수 있도록, 상부 이송 메커니즘(21)의 꼬리 부분에서 유리 플레이트 이송 표면은 하방으로 비스듬하게 배치되어 하부 이송 메커니즘(22)의 유리 플레이트 이송 표면에 점차적으로 가까워진다.
일 예로서, 2층 구조를 가진 유리 부재의 플레이트 결합 동작을 고려해 보면, 플레이트 결합 장치가 작동할 때, 상부 이송 메커니즘(21)과 하부 이송 메커니즘(22)은 외부로부터 각각 이송된 상부 및 하부 유리 플레이트들(14a)(14b)을 수용하고, 2개의 유리 플레이트들이 각각 이동되고, 상부 유리 플레이트(14a)가 상부 이송 메커니즘(21)의 꼬리 끝단을 떠난 후, 상부 유리 플레이트(14a)는 하부 이송 메커니즘(22)에 의해 이송된 하부 유리 플레이트(14b)에 자동적으로 낙하하여 하부 유리 플레이트(14b)에 자동적으로 조립되며, 상부 및 하부 유리 플레이트들(14a)(14b)의 플레이트 결합 동작이 완료된다.
조립된 유리 플레이트들의 상대 위치들을 확보하기 위해 미리 결정된 위치에 따라 하부 유리 플레이트(14b)에 상부 유리 플레이트(14a)를 낙하시키기 위해, 상부 및 하부 유리 플레이트들(14a)(14b)의 위치들은 결합하기 전에 제어될 필요가 있으며, 이러한 제어는 다음과 같은 특정의 제어 모드들을 포함한다:
(1) 상부 및 하부 이송 메커니즘들(21)(22)로 전송될 때 상부 및 하부 유리 플레이트들(14a)(14b)의 횡적 위치들(즉, 유리 플레이트들의 진행 방향에 직교하는 방향의 위치)를 제어함으로써, 2개의 유리 플레이트들의 횡적 위치가 매칭되고, 상부 및 하부 이송 메커니즘들(21)(22)의 이송 속도에 따른 각각의 이송 메커니즘들에 의해 이송될 때 상부 및 하부 유리 플레이트들(14a)(14b)의 초기 종적 위치들(즉, 유리 플레이트들의 진행 방향을 따르는 위치들)을 제어함으로써, 상부 이송 메커니즘(21)의 꼬리 끝단을 떠나는 상부 유리 플레이트(14a)는 미리 결정된 각각의 종적 위치에 따라 하부 유리 플레이트(14b)에 바로 낙하된다.
(2) 상부 및 하부 이송 메커니즘들(21)(22)에 안내 장치들을 배치하고, 안내 장치를 사용하여 유리 플레이트들의 진행 방향에 직교하는 횡적 위치들에 상부 및 하부 유리 플레이트들(14a)(14b)을 제한함으로써, 2개의 유리 플레이트들이 조립되어 횡적 위치들을 매칭된 상태 유지하고, 하부 이송 메커니즘(22)에 종적 포지셔닝 장치를 배치하고, 상부 이송 메커니즘(21)으로부터 상부 유리 플레이트(14a)의 낙하를 지탱하기 위해 포지셔닝 장치를 사용하여 하부 유리 플레이트(14b)의 진행을 적절한 위치에서 붙잡음으로써, 상부 유리 플레이트(14a)가 미리 결정된 각각의 종적 위치에 따라 하부 유리 플레이트(14b)에 조립된다. 여기서, 포지셔닝 장치는 위치 센서이거나 롤러 이송 표면의 상방으로 확장하는 가동 배플 플레이트 등일 수 있다.
(3) 상부 유리 플레이트(14a)가 하부 유리 플레이트(14b)에 안정되게 낙하하는 것을 보장하는 한편, 하부 이송 메커니즘(22)에 조절 장치들을 배치하고, 조절 장치들을 통해 서로 스택킹되는 상부 및 하부 유리 플레이트들(14a)(14b)의 각각의 종적 및 횡적 위치들을 조절함으로써, 2개의 플레이트들은 미리 결정된 각각의 위치에 따라 조립된다. 여기서, 조절 장치들은 유리 플레이트들의 종 방향과 횡 방향을 조절하기 위한 2쌍의 푸시 플레이트들일 수 있으며, 푸시 플레이트들은 실린더 또는 유압 실린더에 의해 구동될 수 있으며 다른 적절한 구동 메커니즘들에 의해 구동될 수도 있다.
유리 플레이트들의 위치를 위한 이러한 3개의 특정의 제어 모드들은 서로 분리되거나 상호 통합하여 사용될 수 있다.
본 발명의 제2 플레이트 결합 장치는 도 7에 도시되어 있다. 제1 플레이트 결합 장치와 비교하여, 제2 플레이트 결합 장치는 소정 간격으로 상,하로 상호 배열된 3층의 유리 플레이트 이송 메커니즘을 구비하고, 3층의 이송 메커니즘들의 유리 플레이트 이송 방향들은 서로 일치하고, 상부의 2층의 이송 메커니즘들은 벨트 타입 이송 메커니즘(27)이고, 바닥 이송 메커니즘의 전단 절반은 벨트 타입 이송 메커니즘(27)이고, 바닥 이송 메커니즘의 후단 절반은 롤러 테이블 이송 메커니즘이며, 바닥 이송 메커니즘의 유리 플레이트 이송 표면은 수평으로 배치되고, 상부의 2층의 이송 메커니즘의 유리 플레이트 이송 표면들은 하방으로 경사지게 배치되어 유리 플레이트의 진행 방향을 따라 바닥 이송 메커니즘의 유리 플레이트 이송 표면에 점차적으로 가깝게 된다.
작업을 하는 동안, 3층의 유리 플레이트 이송 메커니즘들은 다층 구조의 유리 부재의 상부, 중간 및 하부 유리 플레이트들을 각각 이송하고, 상부의 2층 이송 메커니즘들에 의해 이송된 유리 플레이트들이 각각의 이송 메커니즘의 꼬리 끝단을 떠난 후, 유리 플레이트들은 바닥 이송 메커니즘에 의해 동시에 이송된 유리 플레이트 위에 자동적으로 낙하되어 서로 자동적으로 조립된다.
미리 결정된 상대적 위치 관계에 따라 상부, 중간 및 하부 유리 플레이트들을 조립하기 위하여, 제2 유리 플레이트 결합 장치의 유리 플레이트들의 위치들은 제1 플레이트 결합 장치에서 설명된 제어 모드들을 사용하여 제어될 수 있다.
본 발명의 제3 플레이트 결합 장치는 도 8에 도시되어 있다. 제3 플레이트 결합 장치에 있어서, 4개의 유리 플레이트 이송 메커니즘들이 상호 상,하로 소정 간격으로 배치되고, 4개의 이송 메커니즘들의 유리 플레이트 이송 방향들은 서로 일치함으로써 4층 구조의 유리 플레이트 결합 장치를 형성하며, 바닥 이송 메커니즘의 유리 플레이트 이송 표면은 수평으로 배치되고, 상부의 3개의 이송 메커니즘들의 꼬리 부분의 유리 플레이트 이송 표면들은 하방으로 비스듬하게 배치되어 유리 플레이트들의 진행 방향을 따라 하부의 인접하는 이송 메커니즘의 유리 플레이트 이송 표면에 점차적으로 가까워지며, 4개의 이송 메커니즘들은 롤러 테이블 이송 메커니즘들이다.
작업을 하는 동안, 4개의 이송 메커니즘들은 4층 구조의 유리 부재에서 상응하는 층들의 유리 플레이트들을 각각 이송하기 위해 사용되며, 모든 층들의 유리 플레이트들은 꼭대기로부터 바닥까지 순차적으로 조립된다. 먼저, 꼭대기 이송 메커니즘에 의해 이송된 유리 플레이트는 제2 이송 메커니즘에 의해 이송된 유리 플레이트에 꼭대기로부터 바닥까지 자동적으로 낙하되며, 유리 플레이트들이 조립되면, 제2 이송 메커니즘의 꼬리 끝단을 떠난 후, 상호 스택킹된 2개의 유리 플레이트들은 제3 이송 메커니즘에 의해 이송된 유리 플레이트 위에 자동적으로 낙하되고, 최종적으로, 3층으로 조립된 유리 플레이트들은 제3 이송 메커니즘의 꼬리 끝단으로부터 바닥 이송 메커니즘에 의해 이송된 유리 플레이트 위에 자동적으로 낙하되어 유리 플레이트와 조립되어 최종적으로 4층 구조의 유리 부재의 플레이트 결합 동작을 완료한다.
본 발명의 제4 플레이트 결합 장치는 도 9에 도시되어 있으며, 4층 구조의 다른 유리 플레이트 결합 장치이다. 4층 구조의 제3 플레이트 결합 장치와 비교하여, 제4 플레이트 결합 장치는 다음과 같은 차이점을 가진다. 제4 이송 메커니즘들에 의해 이송된 유리 플레이트들은 바닥으로부터 꼭대기까지 순차적으로 조립되며, 바닥으로부터 꼭대기까지 제2 이송 메커니즘에 의해 전송된 유리 플레이트가 바닥 이송 메커니즘에 의해 이송된 유리 플레이트 위에 자동적으로 낙하되어 유리 플레이트에 조립되면, 제3 이송 메커니즘에 의해 이송된 유리 플레이트는 바닥 이송 메커니즘에 의해 이송된 2개의 조립된 유리 플레이트 위에 자동적으로 낙하되어, 최종적으로 제4 이송 메커니즘에 의해 이송된 유리 플레이트는 바닥 이송 메커니즘에 의해 이송된 3층으로 조립된 유리 플레이트들 위에 자동적으로 낙하됨으로써, 4개의 유리 플레이트들의 조립이 최종적으로 완료될 수 있다.
제1 플레이트 결합 장치와 동일하게, 미리 결정된 상대 위치 관계에 따라 유리 플레이트들을 조립시키기 위하여, 제1 플레이트 결합 장치에서 설명된 제어 모드들은 유리 플레이트들의 위치를 제어하기 위해 제3 및 제4 플레이트 결합 장치에 사용될 수 있다. 또한, 제3 및 제4 플레이트 결합 장치들은 제2 플레이트 결합 장치의 벨트 타입 이송 메커니즘들을 사용하여 구성될 수도 있다.
또한, 2층의 유리 부재가 제2 플레이트 결합 장치를 사용하여 조립되면, 상부의 2개의 이송 메커니즘들은 조립된 상부 및 하부 유리 플레이트들을 각각 이송하는데 사용되고, 바닥 이송 메커니즘은 2층 유리 플레이트의 조립을 위한 서포트를 제공하고 조립된 유리 플레이트들의 이송을 위해 사용될 수 있음을 유의해야 한다. 유사하게, 3층 구조의 유리 부재는 제4 결합 장치를 사용하여 조립될 수 있으며, 그러면, 바닥 이송 메커니즘은 유리 플레이트들의 조립을 위한 서포트의 제공과 조립된 유리 플레이트들의 이송을 위해서만 사용된다.
플레이트 결합 장치는 메인 진공 챔버에 위치된 유리 플레이트 이송 장치(9)의 일 부분일 수 있고, 유리 플레이트 이송 장치(9)는 플레이트 결합 메커니즘들로서 동일한 층의 유리 플레이트 이송 표면들을 가진다. 즉, 유리 플레이트 이송 장치(9)만 이송 표면을 가지며, 이송 표면은 각각의 플레이트 결합 메커니즘의 바닥 이송 메커니즘의 입력단 또는 출력단이고, 조정기(manipulator)와 같은 작동 장치는 플레이트 결합 장치의 입력단에 배치되고, 유리 플레이트 이송 장치(9)에 의해 이송되는 다수의 유리 플레이트들은 작동 장치를 사용하여 플레이트 결합 메커니즘의 이송 메커니즘으로 전송된다.
플레이트 결합 장치의 제5 구조 형태가 도 10에 도시된다. 플레이트 결합 장치는 트롤리(30)와 서포팅 롤러 테이블(32)을 구비하고, 트롤리(30)는 서포팅 장치(29)에 마련되고, 트롤리(30)는 서포팅 롤러 테이블(32) 위에서 이동될 수 있고, 서포팅 롤러 테이블(32)의 입력단과 출력단은 각각 유리 플레이트 이송 장치들(9)의 상류와 하류에 연결된다.
서포팅 장치(29)는 트롤리(30)에 배치되고 유리 플레이트들을 지지하기 위해 사용된다. 하부 유리 플레이트(14b)는 트롤리(30)의 바닥 플레이트에 배치되고, 상부 유리 플레이트(14a)는 서포팅 장치(29) 위에 배치되고, 상부 및 하부 유리 플레이트들은 상호 평행하고, 상부 및 하부 유리 플레이트들은 2개의 유리 플레이트들이 진공 챔버와 동일한 진공도를 가지는 것을 보장할 만큼 충분한 공간 간격을 가지며, 이러한 간격은 적어도 5mm인 것이 바람직하다. 트롤리(30)가 메인 진공 챔버(3)의 적절한 위치로 이동한 후, 서포팅 장치(29)는 하부 유리 플레이트(14b) 위에 상부 유리 플레이트(14a)를 배치시켜 플레이트 결합 동작을 완료한다.
플레이트 결합 장치의 제6 구조 형태가 도 11에 도시된다. 플레이트 결합 장치는 유사하게 트롤리(30) 및 서포팅 롤러 테이블(32)을 구비하고, 트롤리(30)는 유사하게 서포팅 장치(29)에 마련되고, 서포팅 장치(29)는 트롤리(30)에 배치되어 유리 플레이트들을 지지하는데 사용되며, 트롤리(30)는 서포팅 롤러 테이블(32) 위로 이동할 수 있고, 서포팅 롤러 테이블(32)의 입력단과 출력단은 각각 유리 플레이트 이송 장치들(9)의 상류와 하류에 연결된다. 하부 유리 플레이트(14b)는 트롤리(30)의 바닥 플레이트에 배치되고, 상부 유리 플레이트(14a)의 일단은 하부 유리 플레이트(14b) 위에 지지되어 하부 유리 플레이트(14b)의 상응하는 끝단과 정렬되며, 상부 유리 플레이트(14a)의 타단은 서포팅 장치(29)에 배치되고, 2개의 유리 플레이트들은 V-형상 상태로 있으며, V-형상 개구에서 크기는 2개의 유리 플레이트들이 진공 챔버와 동일한 진공도를 가질 수 있도록 충분한 협각을 가진다. 트롤리(30)가 메인 진공 챔버(3)의 적절한 위치로 이동한 후, 서포팅 장치(29)는 하부 유리 플레이트(14b) 위에 상부 유리 플레이트(14a)를 배치시켜 플레이트 결합 동작을 완료한다.
플레이트 결합 장치의 제7 구조 형태가 도 12에 도시된다. 플레이트 결합 장치는 트롤리(30)와 서포팅 롤러 테이블(32)을 구비하고, 트롤리(30)는 서포팅 장치(31)에 마련되고, 2개의 유리 플레이트들(14a)(14b)은 서포팅 장치(31)에 기댄채로 트롤리(30)에 배치되고, 제6 플레이트 결합 장치와 동일하게, 2개의 유리 플레이트들 사이의 간격 또는 협각은 2개의 유리 플레이트들 사이의 진공도가 진공 챔버의 그것과 동일한 것을 보장한다. 2개의 유리 플레이트들 사이의 플레이트 결합 동작은 서포팅 롤러(31)를 이동시키는 작동에 의해 완료된다. 플레이트 결합 장치에 있어서, 상부 및 하부 유리 플레이트들이 트롤리(30)에 배치되어 있기 때문에 2개의 유리 플레이트들 사이의 상대 위치는 위치 조절 장치를 사용하지 않고 보장될 수 있다.
유리 플레이트들이 서로 조립되기 전에, 모든 플레이트 결합 장치들은 각각의 유리 플레이트가 진공 환경에 독립적으로 위치되는 것 즉, 각각의 유리 플레이트의 테두리의 진공도가 진공 챔버의 그것과 동일하게 되는 것을 보장할 수 있으므로, 진공 유리 부재의 진공 공간은 조립하는 동안 완전히 진공 환경(진공 챔버)와 동일한 진공도를 가진다.
본 발명의 밀봉 장치는 도 13에 도시되어 있다. 밀봉 장치는 슬릿 타입 유도 가열 장치이고 전체적으로 스트립-모양이고, 쉘(46)의 높이 방향의 중간 부분은 쉘(46)의 길이 방향을 따라 연장하고, 유도 가열 코일(43)이 종래의 방식에 따라 쉘(46)의 슬릿(42) 주위에 배치되고, 유도 가열 코일(43)의 접합부는 쉘의 일단에 배치된다.
또한, 밀봉될 진공 유리 부재(14)가 슬릿(42)을 통과할 때 용접될 테두리부가 확실하게 용접 및 연결되는 것을 보장하기 위하여, 밀봉될 진공 유리 부재(14)의 용접된 부분에 유도 가열 코일(43)의 정상 가열이 영향을 미치지 않는 상태에서, 유리 플레이트 컴팩션 롤러 또는 컴팩션 휠 역시 슬릿(42)에 배치될 수 있다. 도 14는 슬릿(42)에 배치된 컴팩션 롤러 또는 컴팩션 휠(44)의 제1 모드의 개략도이고, 도 14에서, 참조부호 46은 실링 장치의 쉘을 나타내고, 참조부호 43은 슬릿(42) 주위에 배치된 고주파 유도 가열 코일들을 나타내며, 참조부호 44는 컴팩션 롤러 또는 컴팩션 휠을 나타내며, 참조부호 45는 배출 스프링을 나타내고, 컴팩션 롤러 또는 컴팩션 휠(44)은 고주파 유도 가열 코일들(43) 사이에 배치된다. 작동 시, 밀봉될 진공 유리 부재(14)는 상부 및 하부 컴팩션 롤러들 또는 컴팩션 휠들(44) 안으로 들어가고, 진공 유리 부재(14)의 2개의 유리 플레이트들은 서로 조밀해져서 유리 플레이트들이 조밀 상태에서 서로 용접 및 연결됨으로써 2개의 유리 플레이트들의 테두리가 완전하고 기밀되게 밀봉되는 것을 보장한다.
도 14에 도시된 설정 형태 이외에, 컴팩션 롤러 또는 컴팩션 휠(44)은 도 15에 도시된 바와 같이, 유도 가열 코일들(43)의 일측에 배치될 수 있고, 도 16에 도시된 바와 같이, 유도 가열 코일들(43)의 양측에 배치될 수도 있다.
슬릿 타입 유도 가열 장치가 밀봉 장치로서 사용되는 것 이외에, 고주파 유도 헤드(head), 레이저 헤드 등도 본 발명의 진공 유리 부재의 밀봉을 위해 사용될 수 있다. 도 17에 도시된 밀봉 장치는 다수의 가열 헤드들(51) 및 그 작동 장치로 구성되고, 가열 헤드(51)는 3차원 공간으로 이동할 수 있고, 가열 헤드들(51)의 수는 1-4개이고, 일반적으로 2개이다. 진공 유리 부재(14)가 가열 헤드들(51)을 사용하여 밀봉될 때, 가열 헤드들(51)은 진공 유리 부재(14)에 밀봉될 부분을 따라 이동하도록 작동될 수 있고, 진공 유리 부재(14)가 이동하도록 작동하는 동안 가열 헤드들(51)은 이동하지 않을 수 있다.
도 17의 가열 헤드들(51)은 진공 챔버에 배치된다. 도 18에 도시된 바와 같이, 레이저 헤드들이 가열 헤드들(51)로서 사용될 때, 투명 윈도우(52)는 메인 진공 챔버(3)의 꼭대기 위에 배치될 수 있고, 메인 진공 챔버(3) 내부의 진공 유리 부재(14)는 윈도우(52)를 통해 가열 헤드들(51)에 의해 가열 및 밀봉될 수 있다.
진공 유리 부재(14)의 각각의 단계의 처리 상태를 보다 잘 모니터하기 위하여, 전체 처리 공정을 실시간으로 모니터하기 위한 하나 또는 그 이상의 공업용 카메라들이 메인 진공 챔버(3) 및 각각의 보조 진공 챔버에 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 연속 처리 장치가 동작할 때, 입구 버퍼 챔버(1)의 입구 끝단에 있는 진공 도어 록(7)이 개방되고, 로딩 테이블에서 전처리된 유리 플레이트들은 입구 버퍼 챔버(1) 안으로 들어간 후, 입구 버퍼 챔버(1)의 입구 끝단과 출구 끝단에 있는 2개의 진공 도어 록(7)은 폐쇄되고, 입구 버퍼 챔버(1)는 진공 획득 시스템을 사용하여 진공처리되며, 입구 버퍼 챔버(1)의 진공도가 선추출 진공 챔버(2)의 진공도와 동일할 때, 입구 버퍼 챔버(1)와 선추출 진공 챔버(2) 사이의 진공 도어 록(7)이 개방되고, 유리 플레이트가 선추출 진공 챔버(2) 안으로 들어간 후, 입구 버퍼 챔버(1)와 선추출 친공 챔버(2) 사이의 진공 도어 록(7)이 폐쇄되고, 선추출 진공 챔버(2)가 진공처리되고, 유리 플레이트는 유리 플레이트의 표면에 부착된 기체 분자들과 물 분자들을 제거하기 위해 동시에 이온 세정을 거치게 되며, 선추출 진공 챔버(2)의 진공도가 메인 진공 챔버(3)의 진공도와 동일하게 된 후, 메인 진공 챔버(3)와 선추출 진공 챔버(2) 사이의 진공 도어 록(7)이 개방되고, 유리 플레이트가 메인 진공 챔버(3) 속으로 들어간 후, 메인 진공 챔버(3)와 선추출 진공 챔버(3) 사이의 진공 도어 록(7)이 폐쇄되고, 메인 진공 챔버(3)의 진공도는 1~5×10-3Pa이고, 확실히, 메인 진공 챔버는 필요한 것보다 더 높은 진공도를 가질 수 있으며, 메인 진공 챔버(3)에서, 유리 플레이트들은 플레이트 결합 장치를 사용하여 결합되고, 그러면 유리 플레이트들은 필요한 진공 유리 부재(14)를 생산하기 위해 밀봉 장치를 사용하여 밀봉되며, 팽창 천이 챔버(4)는 메인 진공 챔버(3)와 동일한 진공도로 진공처리되고, 메인 진공 챔버(3)와 팽창 천이 챔버(4) 사이의 진공 도어 록(7)이 개방되고, 진공 유리 부재(14)가 팽창 천이 챔버(4) 속으로 들어가고, 메인 진공 챔버와 팽창 천이 챔버(4) 사이의 진공 도어 록(7)이 폐쇄되고, 팽창 천이 챔버(4)의 진공도가 출구 버퍼 챔버(5)의 진공도와 동일하게 감소되고, 팽창 천이 챔버(4)와 출구 버퍼 챔버(5) 사이의 진공 도어 록(7)이 개방되고, 진공 유리 부재가 출구 버퍼 챔버(5) 안으로 들어가면, 출구 버퍼 챔버(5)와 입구 버퍼 챔버 사이의 진공 도어 록(7)이 폐쇄되고, 출구 버퍼 챔버(5)의 진공도는 대기와 동일하도록 더 감소되며, 그러면 출구 버퍼 진공 챔버의 진공 도어 록(7)이 개방되고, 진공 유리 부재(14)는 언로딩 테이블로 이송된다.
메인 진공 챔버(3)에 들어가기 전에, 유리 플레이트들은 개별적으로 배치되고, 유리 플레이트의 테두리에서 진공도는 메인 진공 챔버(3)의 진공도와 동일하고, 결합된 유리 플레이트들 사이의 진공도는 메인 진공 챔버(3)의 진공도와 동일하기 때문에, 높은 진공도를 가진 진공 유리 부재가 제조될 수 있다. 예를 들어, 메인 진공 챔버(3)의 진공도가 1~5×10-3Pa일 때, 처리된 진공 유리 부재의 진공도는 1~3×10-3Pa이고, 진공도는 종래의 진공 유리 부재의 표준 진공도 조건을 더 상회 한다.
본 발명에 개시된 연속 진공 유리 처리 장치에 따르면, 보조 진공 챔버들(전단 보조 진공 챔버들은 입구 버퍼 챔버(1)와 선추출 진공 챔버(2)를 구비하고, 후단 보조 진공 챔버들은 팽창 천이 챔버(4)와 출구 버퍼 챔버(5)를 구비함)은 메인 진공 챔버의 전단과 후단에 배치되고, 작동시 챔버들은 연속적으로 배치되고 계단-모양의 진공 분포가 메인 진공 챔버의 양단에 형성되어 메인 진공 챔버와 외기를 분리시키며, 메인 진공 챔버에만 진공이 마련되는 구조와 비교하여, 에너지 소비가 크게 감소되고, 진공 유리 부재의 생산 능률이 향상될 수 있고, 수율이 향상되며 제조비가 절감된다.
본 발명에 있어서, 유리 플레이트들은 결합되기 전에 각각 이송되며, 2개의 유리 플레이트들은 특정의 공간 간격을 가지며, 이러한 간격은 2개의 유리 플레이트들의 표면들의 진공도가 진공 챔버들의 그것과 동일하도록 유지되어야 하며, 유리 플레이트들이 평행하게 배치될 때 그 간격은 적어도 5mm 이상인 것이 바람직하다. 설정 모드는 결합되기 전의 유리 플레이트들의 테두리의 진공도가 기본적으로 메인 진공 챔버의 그것과 동일한 것을 보장할 수 있으므로, 결합된 유리 플레이트들 사이의 작은 슬릿에 의해 야기되는 긴 소거 시간 및 불완전성의 상태가 방지된다.
가열 장비는 메인 진공 챔버의 전단에 있는 2개의 보조 진공 챔버들에 배치될 수 있고, 유리 플레이트는 메인 진공 챔버에 들어가기 전에 예열됨으로써, 유리 표면 배출(exhaust) 및 연속적인 밀봉 공정들이 원만하게 수행된다. 메인 진공 챔버의 후단에 있는 2개의 보조 진공 챔버에는 아무런 가열 장비가 배치되지 않기 때문에, 밀봉된 진공 유리 부재는 2개의 챔버들 안에서 점차적으로 냉각되어 보다 더 나은 작업 성능을 구현할 수 있다.
1...입구 버퍼 챔버 2...선추출 진공 챔버
3...메인 진공 챔버 4...팽창 천이 챔버
5...출구 버퍼 챔버 6...진공 획득 시스템
7...진공 도어 록 8...진공 감지 장치
9...유리 플레이트 이송 장치 10...전기 제어 시스템
14...유리 부재 14a...상부 유리 플레이트
14b...하부 유리 플레이트 21...상부 이송 메커니즘
22...하부 이송 메커니즘 29...서포팅 장치
30...트롤리 32...서포팅 롤러 테이블
42...슬릿 43...유도 가열 코일
44...컴팩션 롤러 45...배출 스프링
46...쉘 51...가열 헤드

Claims (17)

  1. 유리의 진행 방향을 따라 순차적으로 각각 배치된 로딩 테이블, 전단 보조 진공 챔버들, 메인 진공 챔버, 후단 보조 진공 챔버들 및 언로딩 테이블을 구비하고;
    로딩 테이블 위의 유리 플레이트들을 전단 보조 진공 챔버들, 메인 진공 챔버, 후단 보조 진공 챔버들 및 언로딩 테이블로 순차적으로 이송시키기 위한 유리 플레이트 이송 장치; 및
    진공 밀봉 처리와 장비 작동 플로우를 제어하기 위한 전기 제어 시스템을 구비하고;
    진공 챔버들은 서로 독립적이고, 진공 획득 시스템과 진공 감지 장치가 각각 마련되며, 전단 보조 진공 챔버들과 후단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버의 진공도와 동일하거나 낮으며, 2개의 보조 진공 챔버들은 메인 진공 챔버의 전단과 후단에서 각각 천이 진공 공간을 마련하고;
    상기 메인 진공 챔버 내부의 유리 플레이트들에 플레이트 결합 동작과 밀봉 동작을 각각 수행할 수 있도록 메인 진공 챔버에 각각 배치된 플레이트 결합 장치와 밀봉 장치를 구비하고, 플레이트 결합 장치의 입력단과 출력단은 상류와 하류에 각각 위치된 유리 플레이트 이송 장치에 연결되고;
    전단 보조 진공 챔버들과 후단 보조 진공 챔버들 모두는 모듈 구조를 가지며, 메인 진공 챔버의 전단과 후단에는 각각 필요한 만큼 하나 또는 그 이상의 보조 진공 챔버들이 마련될 수 있고, 다수의 전단 보조 진공 챔버들과 다수의 후단 보조 진공 챔버들이 사용될 때, 전단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버에 가까워질수록 점차 높아지고, 후단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버로부터 멀어질수록 점차 감소되고;
    플레이트 결합 장치는 서포팅 장치와 서포팅 롤러 테이블을 가진 트롤리를 구비하고, 트롤리는 서포팅 롤러 테이블에 이동 가능하게 배치되고, 진공 유리 부재의 하부 유리 플레이트는 트롤리의 바닥 플레이트에 배치되고, 상부 유리 플레이트는 서포팅 장치를 통해 하부 유리 플레이트 위에 배치되고, 상부 유리 플레이트와 하부 유리 플레이트는 서로 접촉하지 않고 평행하거나, 상부 유리 플레이트의 일단이 하부 유리 플레이트의 동일한 측단에 지지되어 하부 유리 플레이트에 국부적으로 접촉하고, 상부 유리 플레이트와 하부 유리 플레이트는 충분한 공간 간격 또는 충분한 협각을 가짐으로써, 유리 플레이트 주위의 진공도가 메인 진공 챔버의 진공도와 동일하게 될 수 있고, 플레이트 결합이 필요할 때, 상부 유리 플레이트는 서포팅 장치를 통해 하부 유리 플레이트에 배치되어 결합 동작이 완료되는 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    유리 플레이트들의 진행 방향을 따라 상류 스테이션과 하류 스테이션이 개방 가능한 분리 도어를 통해 연결된 상태에서, 각각의 진공 챔버는 기밀하게 분리된 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 전단 보조 진공 챔버에 배치된 세정 장비를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 밀봉 장치는 유도 가열 헤드이고;
    상기 유도 가열 헤드는 작동 메커니즘을 통해 이동되어 진공 유리 부재의 밀봉 동작을 완료하는 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    밀봉 장치는 메인 진공 챔버의 외측에 배치된 레이저 가열 장치이고, 메인 진공 챔버의 쉘에는 투명 윈도우가 마련되고, 레이저 가열 장치는 투명 윈도우를 통해 메인 진공 챔버의 결합 조립된 유리 부재를 밀봉하는 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
  6. 유리의 진행 방향을 따라 각각 순차적으로 배치된 로딩 테이블, 전단 보조 진공 챔버들, 메인 진공 챔버, 후단 보조 진공 챔버들 및 언로딩 테이블을 구비하고;
    로딩 테이블 위의 유리 플레이트들을 전단 보조 진공 챔버들, 메인 진공 챔버, 후단 보조 진공 챔버들 및 언로딩 테이블로 순차적으로 이송시키기 위한 유리 플레이트 이송 장치; 및
    진공 밀봉 처리와 장비 작동 플로우를 제어하기 위한 전기 제어 시스템을 구비하고;
    진공 챔버들은 서로 독립적이고, 진공 획득 시스템과 진공 감지 장치가 각각 마련되며, 전단 보조 진공 챔버들과 후단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버의 진공도와 동일하거나 낮으며, 2개의 보조 진공 챔버들은 메인 진공 챔버의 전단과 후단에서 각각 천이 진공 공간을 마련하고;
    상기 메인 진공 챔버 내부의 유리 플레이트들의 플레이트 결합 동작과 밀봉 동작을 각각 수행할 수 있도록 메인 진공 챔버에 각각 배치된 플레이트 결합 장치와 밀봉 장치를 구비하고, 플레이트 결합 장치의 입력단과 출력단은 상류와 하류에 각각 위치된 유리 플레이트 이송 장치에 연결되고;
    전단 보조 진공 챔버들과 후단 보조 진공 챔버들 모두는 모듈 구조를 가지며, 메인 진공 챔버의 전단과 후단에는 각각 필요한 만큼 하나 또는 그 이상의 보조 진공 챔버들이 마련될 수 있고, 다수의 전단 보조 진공 챔버들과 다수의 후단 보조 진공 챔버들이 사용될 때, 전단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버에 가까워질수록 점차 높아지고, 후단 보조 진공 챔버들의 진공도는 메인 진공 챔버로부터 멀어질수록 점차 감소되고;
    플레이트 결합 장치는 서포팅 장치와 서포팅 롤러 테이블을 가진 트롤리를 구비하고, 트롤리는 서포팅 롤러 테이블에 이동 가능하게 배치되고, 진공 유리 부재의 각각의 유리 플레이트는 직립 상태로 트롤리에 배치되고, 각각의 유리 플레이트의 중간 부분 또는 끝단 부분은 서포팅 장치에 기대고, 인접하는 유리 플레이트들은 서로 평행하거나 국부적으로 접촉하며, 인접하는 유리 플레이트들은 충분한 공간 간격 또는 충분한 협각을 가짐으로써, 유리 플레이트 주위의 진공도가 메인 진공 챔버의 진공도와 동일하게 될 수 있고, 각각의 플레이트의 결합 동작은 각각의 유리 플레이트가 기대진 서포팅 장치의 작동에 의해 구현될 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    유리 플레이트들의 진행 방향을 따라 상류 스테이션과 하류 스테이션이 개방 가능한 분리 도어를 통해 연결된 상태에서, 각각의 진공 챔버는 기밀하게 분리된 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 전단 보조 진공 챔버에 배치된 세정 장비를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 밀봉 장치는 유도 가열 헤드이고;
    상기 유도 가열 헤드는 작동 메커니즘을 통해 이동되어 진공 유리 부재의 밀봉 동작을 완료하는 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
  10. 청구항 6에 있어서,
    밀봉 장치는 메인 진공 챔버의 외측에 배치된 레이저 가열 장치이고, 메인 진공 챔버의 쉘에는 투명 윈도우가 마련되고, 레이저 가열 장치는 투명 윈도우를 통해 메인 진공 챔버의 결합 조립된 유리 부재를 밀봉하는 것을 특징으로 하는 진공 유리 부재의 연속 처리 장치.
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