KR101483291B1 - 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치 - Google Patents

진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 적어도 한 장 이상의 진공창용 유리판이 안착된 파레트를 이송하고, 상기 유리판과 유리판 사이의 공간에 고진공압을 형성시키는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치에 관한 것으로서, 일측에 파레트 투입구가 설치되고, 타측에 파레트 배출구가 설치되며, 내부에 파레트 이송 공간이 형성되는 제 1 외부 챔버; 상기 제 1 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트에 안착된 유리판을 1차로 가열 또는 냉각하는 제 1 내부 챔버; 및 상기 제 1 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트를 이송하는 파레트 이송 장치;를 포함하기 때문에 자동화 라인을 따라 이송되는 유리판과 유리판 사이의 공간에 고진공압을 다단계로 형성시켜서 공정을 자동화할 수 있고, 내부의 열매체 순환식 챔버를 설치하여 열효율을 높게 하며, 생산성을 크게 향상시킬 수 있으며, 진공도를 높일 수 있는 효과를 갖는다.

Description

진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치{Vacuum chamber apparatus of manufacturing equipment for vacuum window}
본 발명은 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리판과 유리판 사이의 공간에 고진공압을 형성시키는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치에 관한 것이다.
일반적으로 진공창이란, 상판과 하판 사이에 진공부를 형성하여 외부로부터 전달되는 소음과 진동을 차단하는 것은 물론, 외부로부터 전달되는 열에너지를 차단함으로써 단열성을 증대시키는 유리창의 일종이다.
이러한 진공창을 제조하기 위하여, 종래에는, 한 쌍의 상판과 하판으로 이루어진 유리판의 가장자리에 프릿실(frit seal)을 도포하여 열처리한 후, 상온에서 냉각한 다음, 상판과 하판 사이에 진공부를 형성하였다.
특히, 상기 하판에는 배기홀이 형성되고, 배기홀 주변으로 짧은 파이프 형상의 팁(tip)을 설치한 후, 상기 팁에 진공 호스를 연결함으로써 상판과 하판 사이의 공기를 배기하여 진공부를 형성한 다음, 상기 진공 호스가 제거된 팁을 융접하여 진공부를 밀폐하는 방식을 적용하였다.
그러나, 이러한 방식으로 제조된 종래의 진공창은 팁의 일부가 융착되어 하판 표면에 남아 돌출되는 것으로서, 표면이 매끄럽지 못하고, 진공 호스로 형성할 수 있는 진공도가 낮아서 진공창의 기능이 떨어지고, 돌출된 팁이 외력에 취약하여 제품이 파손되는 등 많은 문제점이 있었다.
특히, 종래의 진공창 제조방법은, 고온과, 고진공의 환경에서도 거대한 유리판을 안전하게 운반할 수 있는 파레트(pallet)가 개발되지 못하고, 고진공을 쉽게 형성하지 못해서, 일련의 과정들이 수작업에 의존하는 것으로서, 공정을 자동화 및 라인화할 수 없어서 생산성이 크게 떨어지는 문제점이 있었다.
KR 0319824 B1 KR 0202332 B1 KR 1198343 B1
본 발명의 사상은, 자동화 라인을 따라 이송되는 유리판과 유리판 사이의 공간에 고진공압을 다단계로 형성시켜서 공정을 자동화할 수 있고, 생산성을 크게 향상시킬 수 있게 하는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치를 제공함에 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치는, 적어도 한 장 이상의 진공창용 유리판이 안착된 파레트를 이송하고, 상기 유리판과 유리판 사이의 공간에 고진공압을 형성시키는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치를 구성함에 있어서, 일측에 파레트 투입구가 설치되고, 타측에 파레트 배출구가 설치되며, 내부에 파레트 이송 공간이 형성되는 제 1 외부 챔버; 상기 제 1 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트에 안착된 유리판을 1차로 가열 또는 냉각하는 제 1 내부 챔버; 및 상기 제 1 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트를 이송하는 파레트 이송 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 파레트 투입구에 선택적으로 개폐할 수 있는 게이트가 설치될 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 내부 챔버는, 내부에 열매체 순환홀이 형성되는 격벽이 설치되고, 외벽은 상기 제 1 외부 챔버의 내벽과 이격되어 설치되는 제 1 내부 챔버 몸체; 및 상기 제 1 내부 챔버 몸체 내부에 열매체를 순환시키는 열매체 순환장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 열매체는 고온으로 가열된 공기일 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 열매체 순환장치는, 상기 제 1 내부 챔버에 설치되는 송풍팬; 및 상기 송풍팬을 회전시키는 송풍 모터;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 파레트 이송 장치는, 상기 제 1 외부 챔버의 내벽면에 설치되고, 상기 파레트의 측면에 설치된 가이드 롤러를 안내하는 가이드 레일; 상기 파레트의 측면에 설치된 이빨 돌기와 맞물리는 체인; 상기 체인과 함께 회전되는 스프로킷휠; 및 상기 스프로킷휠을 회전시키는 구동 모터;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따른 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치는, 상기 제 1 외부 챔버와 연결되고, 내부에 파레트 이송 공간이 형성되는 제 2 외부 챔버; 상기 제 2 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트에 안착된 유리판을 2차로 가열하는 제 2 내부 챔버; 및 상기 제 2 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트를 이송하는 파레트 이송 장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따른 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치는, 상기 제 2 외부 챔버와 연결되고, 내부에 파레트 이송 공간이 형성되는 제 3 외부 챔버; 상기 제 3 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트에 안착된 유리판을 3차로 가열하는 제 3 내부 챔버; 상기 제 3 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트를 이송하는 파레트 이송 장치; 상기 제 3 외부 챔버와 연결되고, 내부에 파레트 이송 공간이 형성되는 제 4 외부 챔버; 상기 제 4 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트에 안착된 유리판을 4차로 가열하는 제 4 내부 챔버; 상기 제 4 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트를 이송하는 파레트 이송 장치;를 포함할 수 있다.
본 발명의 사상에 따른 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치는, 자동화 라인을 따라 이송되는 유리판과 유리판 사이의 공간에 고진공압을 다단계로 형성시켜서 공정을 자동화할 수 있고, 내부의 열매체 순환식 챔버를 설치하여 열효율을 높게 하며, 생산성을 크게 향상시킬 수 있으며, 진공도를 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다.
도 1은 본 발명 사상의 일부 실시예들에 따른 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 정단면도이다.
도 3은 도 1의 측단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
명세서 전체에 걸쳐서, 막, 영역 또는 기판 등과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 접촉하거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 상에", "직접 연결되어", 또는 "직접 커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다. 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 제 1, 제 2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제 1 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제 2 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.
또한, "상의" 또는 "위의" 및 "하의" 또는 "아래의"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면들에서 묘사되는 방향에 추가하여 소자의 다른 방향들을 포함하는 것을 의도한다고 이해될 수 있다. 예를 들어, 도면들에서 소자가 뒤집어 진다면(turned over), 다른 요소들의 상부의 면 상에 존재하는 것으로 묘사되는 요소들은 상기 다른 요소들의 하부의 면 상에 방향을 가지게 된다. 그러므로, 예로써 든 "상의"라는 용어는, 도면의 특정한 방향에 의존하여 "하의" 및 "상의" 방향 모두를 포함할 수 있다. 소자가 다른 방향으로 향한다면(다른 방향에 대하여 90도 회전), 본 명세서에 사용되는 상대적인 설명들은 이에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명 사상의 일부 실시예들에 따른 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치(100)를 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1의 정단면도이고, 도 3은 도 1의 측단면도이다.
먼저, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치(100)는, 적어도 한 장 이상의 진공창용 유리판(1)이 안착된 파레트(2)를 이송하고, 상기 유리판(1)과 유리판(1) 사이의 공간에 고진공압을 형성시키는 장치로서, 제 1 외부 챔버(10)와, 제 1 내부 챔버(11)와, 파레트 이송 장치(12)와, 제 2 외부 챔버(20)와, 제 2 내부 챔버(21)와, 파레트 이송 장치(22)와, 제 3 외부 챔버(30)와, 제 3 내부 챔버(31)와, 파레트 이송 장치(32)와, 제 4 외부 챔버(40)와, 제 4 내부 챔버(41) 및 파레트 이송 장치(42)를 포함할 수 있다.
여기서, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예에 따른 진공 챔버 장치(100)는, 제 1 외부 챔버(10)와, 제 2 외부 챔버(20)와, 제 3 외부 챔버(30) 및 제 4 외부 챔버(40) 즉 4개의 챔버로 이루어진 4단 연결식 장치를 예시하였으나 이외에도 1단, 2단, 3단, 5단, 6단, 다단 등 자동화 라인의 형태나 종류나 설치 환경이나 제약 조건 등에 따라 최적화되어 설계될 수 있다.
이러한, 상기 제 1 외부 챔버(10)는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 일측에 파레트 투입구(10a)가 설치되고, 타측에 파레트 배출구(10b)가 설치되며, 내부에 파레트 이송 공간(A)이 형성되는 챔버 구조물일 수 있다.
여기서, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 파레트 투입구(10a)에 선택적으로 개폐할 수 있는 게이트(G)가 설치될 수 있다.
또한, 상기 제 1 내부 챔버(11)는, 상기 제 1 외부 챔버(10) 내부에 설치되는 것으로서, 상기 파레트(2)에 안착된 유리판(1)을 1차로 가열 또는 냉각하는 히터나 쿨러일 수 있다. 여기서, 상기 제 1 내부 챔버(11)의 가열 온도는 상기 유리판(1)의 열 스트레스를 줄일 수 있도록 비교적 낮은 온도로 설정할 수 있다.
여기서는 상기 제 1 내부 챔버(11)가 상기 유리판(1)을 가열하는 경우를 예시하였으나, 냉각시키는 것도 가능하다.
또한, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 내부 챔버(11)는, 내부에 열매체 순환홀(H)이 형성되는 격벽(W)이 설치되고, 외벽은 상기 제 1 외부 챔버(10)의 내벽과 이격되어 설치되는 제 1 내부 챔버 몸체(11-1) 및 상기 제 1 내부 챔버 몸체(11-1) 내부에 열매체(M)를 순환시키는 열매체 순환장치(11-2)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 열매체(M)는 열전달에 소요되는 시간을 단축할 수 있도록 고온으로 가열된 공기일 수 있다. 이러한 상기 열매체(M)는 공기 이외에도 질소나 불활성 가스 등 각종 가스나 액체도 가능하다.
또한, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 열매체 순환장치(11-2)는, 상기 제 1 내부 챔버(11)에 설치되는 송풍팬(11-3) 및 상기 송풍팬(11-3)을 회전시키는 송풍 모터(11-4)를 포함할 수 있다.
따라서, 미리 가열된 고온의 공기 등의 열매체(M)를 상기 송풍 모터(11-4)에 의해 고속으로 회전되는 상기 송풍팬(11-3)을 이용하여 상기 제 1 내부 챔버 몸체(11-1) 내부에서 순환시킴으로써 고온의 열 에너지를 상기 유리판(1)으로 매우 신속하게 전달할 수 있고, 상기 제 1 내부 챔버 몸체(11-1)의 외벽은 상기 제 1 외부 챔버(10)의 내벽과 이격되어 설치되어 있기 때문에 상기 제 1 내부 챔버 몸체(11-1)에서 발생된 열 에너지가 외부로 전도되는 것을 방지하여 열효율을 극대화할 수 있다.
이외에도, 상기 제 1 내부 챔버 몸체(11-1)에는 니켈 합금체나 크롬 합금체 등 다양한 전기 저항체를 이용하여 열에너지를 발생시키는 전열방식의 히터나 이외에도 다양한 형태의 발광체나 발열체를 이용한 히터가 적용될 수 있다.
한편, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 외부 챔버(20)는, 상기 제 1 외부 챔버(10)와 연결되는 것으로서, 내부에 파레트 이송 공간(A)이 형성되는 챔버 구조물일 수 있다.
또한, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 내부 챔버(21)는, 상기 제 2 외부 챔버(20) 내부에 설치되고, 상기 파레트(2)에 안착된 유리판(1)을 2차로 가열하는 내부 챔버일 수 있다. 여기서, 상기 제 2 내부 챔버(21)의 가열 온도는 상기 유리판(1)의 열 스트레스를 줄이면서 고온에 도달될 수 있도록 상기 제 1 내부 챔버(11)의 가열 온도와 같거나 그 이상일 수 있다.
또한, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 3 외부 챔버(30)는, 상기 제 2 외부 챔버(20)와 연결되는 것으로서, 내부에 파레트 이송 공간(A)이 형성되는 챔버 구조물일 수 있다.
또한, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 3 내부 챔버(31)는, 상기 제 3 외부 챔버(30) 내부에 설치되고, 상기 파레트(2)에 안착된 유리판을 3차로 가열하는 내부 챔버일 수 있다. 여기서, 상기 제 3 내부 챔버(31)의 가열 온도는 상기 유리판(1)의 열 스트레스를 줄이면서 고온에 도달될 수 있도록 상기 제 2 내부 챔버(21)의 가열 온도와 같거나 그 이상일 수 있다.
또한, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 4 외부 챔버(40)는, 상기 제 3 외부 챔버(30)와 연결되는 것으로서, 내부에 파레트 이송 공간(A)이 형성되는 챔버 구조물이다.
또한, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 4 내부 챔버(41)는, 상기 제 4 외부 챔버(40) 내부에 설치되고, 상기 파레트(2)에 안착된 유리판(1)을 4차로 가열하는 내부 챔버일 수 있다. 여기서, 상기 제 4 내부 챔버(41)의 가열 온도는 상기 유리판(1)의 열 스트레스를 줄이면서 고온에 도달될 수 있도록 상기 제 3 내부 챔버(31)의 가열 온도와 같거나 그 이상일 수 있다.
또한, 상기 파레트 이송 장치(12)(22)(32)(42)는, 상기 제 1 외부 챔버(10), 제 2 외부 챔버(20), 제 3 외부 챔버(30) 및 제 4 외부 챔버(40)의 내부에 각각 설치되어 상기 파레트(2)를 연달아서 이송하는 장치들일 수 있다.
여기서, 상기 파레트 이송 장치(12)는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 외부 챔버(10)의 내벽면에 설치되고, 상기 파레트(2)의 측면에 설치된 가이드 롤러(3)를 안내하는 가이드 레일(12-1)과, 상기 파레트(2)의 측면에 설치된 이빨 돌기와 맞물리는 체인(12-2)과, 상기 체인(12-2)과 함께 회전되는 스프로킷휠(12-3) 및 상기 스프로킷휠(12-3)을 회전시키는 구동 모터(12-4)를 포함할 수 있다.
따라서, 이러한 본 발명의 일부 실시예에 따른 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치(100)의 작동 과정을 설명하면, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 외부 챔버(10)의 상기 파레트 투입구(10a)를 통해서 상기 파레트(2)가 투입되면, 스프로킷휠(12-3)에 맞물려서 상기 구동 모터(12-4)에 의해 회전된 상기 체인(12-2)이 상기 파레트(2)의 측면에 설치된 이빨 돌기와 맞물리면서 상기 파레트(2)를 견인하여 상기 파레트 배출구(10b)로 이동시키고, 이 때, 상기 파레트(2)는 가이드 레일(12-1)에 의해 안내되면서 상기 파레트(2)에 안착된 유리판(1)은 상기 제 1 내부 챔버(11)에 의해 1차로 가열될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 내부 챔버(11)의 가열 온도는 상대적으로 낮은 온도에서 시작할 수 있다.
이어서, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 파레트 이송 장치(12)(22)(32)(42)에 의해 순차적으로 이동되어 상기 제 1 외부 챔버(10), 제 2 외부 챔버(20), 제 3 외부 챔버(30) 및 제 4 외부 챔버(40)의 내부를 통과하면서, 상기 제 1 내부 챔버(11), 제 2 내부 챔버(21), 제 3 내부 챔버(31), 제 4 내부 챔버(41)에 의해 1차, 2차, 3차, 4차에 걸쳐 다단계로 가열되고, 각각의 상기 제 1 외부 챔버(10), 제 2 외부 챔버(20), 제 3 외부 챔버(30) 및 제 4 외부 챔버(40)에 연결된 진공 펌프에 의해 다단계로 진공압이 형성될 수 있다. 이 때, 상기 유리판(1)의 열 스트레스를 줄이면서 다단계로 고온에 도달될 수 있도록 상기 제 2 내부 챔버(21)의 가열 온도는 상기 제 1 내부 챔버(11)의 가열 온도 이상이고, 상기 제 3 내부 챔버(31)의 가열 온도는 상기 제 2 내부 챔버(21)의 가열 온도 이상이며, 상기 제 4 내부 챔버(41)의 가열 온도는 상기 제 3 내부 챔버(31)의 가열 온도 이상일 수 있다.
이러한, 상기 제 1 내부 챔버(11), 제 2 내부 챔버(21), 제 3 내부 챔버(31), 제 4 내부 챔버(41)의 가열 온도 및 진공압력은 상기 유리판(1)의 재질이나 물리적, 화학적 특성이나 주변 조건 등에 따라 상기 유리판(1)의 열 스트레스 및 진공 스트레스를 최소화할 수 있도록 최적화되어 설정될 수 있다.
본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상을 해치지 않는 범위 내에서 당업자에 의한 변형이 가능함은 물론이다.
따라서, 본 발명에서 권리를 청구하는 범위는 상세한 설명의 범위 내로 정해지는 것이 아니라 후술되는 청구범위와 이의 기술적 사상에 의해 한정될 것이다.
1: 유리판 2: 파레트
3: 가이드 롤러 100: 진공 챔버 장치
10a: 파레트 투입구 10b: 파레트 배출구
A: 파레트 이송 공간 10: 제 1 외부 챔버
11: 제 1 내부 챔버 12: 파레트 이송 장치
G: 게이트 H: 열매체 순환홀
11-1: 제 1 내부 챔버 몸체 M: 열매체
11-2: 열매체 순환장치 11-3: 송풍팬
11-4: 송풍 모터 12-1: 가이드 레일
12-2: 체인 12-3: 스프로킷휠
12-4: 구동 모터 20: 제 2 외부 챔버
21: 제 2 내부 챔버 22, 32, 42: 파레트 이송 장치
30: 제 3 외부 챔버 31: 제 3 내부 챔버
40: 제 4 외부 챔버 41: 제 4 내부 챔버

Claims (8)

  1. 적어도 한 장 이상의 진공창용 유리판이 안착된 파레트를 이송하고, 상기 유리판과 유리판 사이의 공간에 고진공압을 형성시키는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치를 구성함에 있어서,
    일측에 파레트 투입구가 설치되고, 타측에 파레트 배출구가 설치되며, 내부에 파레트 이송 공간이 형성되는 제 1 외부 챔버;
    상기 제 1 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트에 안착된 유리판을 1차로 가열 또는 냉각하는 제 1 내부 챔버; 및
    상기 제 1 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트를 이송하는 파레트 이송 장치;
    를 포함하는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 파레트 투입구에 선택적으로 개폐할 수 있는 게이트가 설치되는 것인 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 내부 챔버는,
    내부에 열매체 순환홀이 형성되는 격벽이 설치되고, 외벽은 상기 제 1 외부 챔버의 내벽과 이격되어 설치되는 제 1 내부 챔버 몸체; 및
    상기 제 1 내부 챔버 몸체 내부에 열매체를 순환시키는 열매체 순환장치;
    를 포함하는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 열매체는 고온으로 가열된 공기인 것인 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 열매체 순환장치는,
    상기 제 1 내부 챔버에 설치되는 송풍팬; 및
    상기 송풍팬을 회전시키는 송풍 모터;
    를 포함하는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 파레트 이송 장치는,
    상기 제 1 외부 챔버의 내벽면에 설치되고, 상기 파레트의 측면에 설치된 가이드 롤러를 안내하는 가이드 레일;
    상기 파레트의 측면에 설치된 이빨 돌기와 맞물리는 체인;
    상기 체인과 함께 회전되는 스프로킷휠; 및
    상기 스프로킷휠을 회전시키는 구동 모터;
    를 포함하는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 외부 챔버와 연결되고, 내부에 파레트 이송 공간이 형성되는 제 2 외부 챔버;
    상기 제 2 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트에 안착된 유리판을 2차로 가열하는 제 2 내부 챔버; 및
    상기 제 2 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트를 이송하는 파레트 이송 장치;
    를 더 포함하는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 2 외부 챔버와 연결되고, 내부에 파레트 이송 공간이 형성되는 제 3 외부 챔버;
    상기 제 3 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트에 안착된 유리판을 3차로 가열하는 제 3 내부 챔버;
    상기 제 3 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트를 이송하는 파레트 이송 장치;
    상기 제 3 외부 챔버와 연결되고, 내부에 파레트 이송 공간이 형성되는 제 4 외부 챔버;
    상기 제 4 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트에 안착된 유리판을 4차로 가열하는 제 4 내부 챔버;
    상기 제 4 외부 챔버 내부에 설치되고, 상기 파레트를 이송하는 파레트 이송 장치;
    를 포함하는 진공창 제조 설비의 진공 챔버 장치.
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