KR102032005B1 - 가열 처리 장치 - Google Patents

가열 처리 장치

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KR102032005B1
KR102032005B1 KR1020147020648A KR20147020648A KR102032005B1 KR 102032005 B1 KR102032005 B1 KR 102032005B1 KR 1020147020648 A KR1020147020648 A KR 1020147020648A KR 20147020648 A KR20147020648 A KR 20147020648A KR 102032005 B1 KR102032005 B1 KR 102032005B1
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야츠하루 요코타
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유겐가이샤 요코타테쿠니카
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Abstract

리플로우로(1)는 감압실(5)을 갖고, 이 감압실(5)에서, 기판(7) 상의 용융된 땜납에 포함되는 기포가 제거된다. 제1 반송 레일(8)에 지지되는 기판(7)은 제1 반송 로드(18)에 의해 감압실(5)로 송입된다. 감압실(5) 내의 기판(7)은 제2 반송 로드(32)에 의해 취출되고, 제2 반송 레일(9)에 지지되면서 리플로우로(1)의 출구까지 반송된다. 폭 치수가 다른 기판(7)을 처리하는 것에 앞서, 제1 반송 레일(8)의 폭 및 제2 반송 레일(9)의 폭이 조정된다. 이 조정시에, 제2 반송 로드(32)를 감압실(5) 중에 침입시킨 상태에서 기판(7)의 폭 방향으로 변위되고, 이것에 수반하여 감압실(5) 내의 좌우의 레일부(12a, 12a) 사이의 간격이 조정된다.

Description

가열 처리 장치 {HEAT PROCESSING DEVICE}
본 발명은, 피처리물을 반송하는 반송 경로에 피처리물의 가열 처리를 행하는 처리부를 구비한 가열 처리 장치에 관한 것이다.
리플로우 솔더링 장치는, 예를 들어 전자 부품을 크림 땜납 등으로 장착한 프린트 배선 기판을, 예비 가열 공정과 리플로우 공정과 냉각 공정을 순차 갖고 있는 노내를 컨베이어에 의해 반송하면서, 전자 부품을 기판에 솔더링한다(특허문헌 1 참조).
한편, 솔더링시에 땜납부에 발생한 기포가 남는 것을 방지하기 위해, 기판의 반송 경로에 분위기 압력을 감소시킬 수 있는 감압실을 설치하고, 기판의 가열 용융된 땜납부를 감압실에서 탈포하도록 한 리플로우 솔더링 장치가 제안되어 있다(특허문헌 2 참조). 이 리플로우 솔더링 장치는 감압실이 좌우 한 쌍의 기판 지지 레일을 내부에 갖고, 이 감압실 내의 한 쌍의 기판 지지 레일 사이의 이격 거리(레일의 폭)를 기판의 폭 치수에 따라서 변경할 수 있도록 구성하고 있다.
보다 상세하게 설명하면, 감압실을 사이에 두고 상류측 및 하류측에 배치된 기판 반송 레일은, 그 좌우의 레일 중 적어도 한쪽이 폭 방향으로 이동 가능하다. 이 한쪽 레일을 이동시킴으로써, 폭 치수가 다른 기판에 대응하여 반송 레일 사이의 이격 거리(레일의 폭)를 조절할 수 있다.
감압실 내의 한 쌍의 기판 지지 레일도 적어도 한쪽이 폭 방향으로 이동 가능하다. 이 한쪽 레일을 이동시킴으로써, 폭 치수가 다른 기판에 대응하여 감압실 내의 기판 지지 레일 사이의 이격 거리(레일의 폭)를 조절할 수 있다.
감압실 내의 기판 지지 레일과, 감압실보다도 상류측 및 하류측의 기판 반송 레일은, 레일 연결 기구에 의해 서로 연결되어 있다. 이 레일 연결 기구는, 감압실의 개폐를 행하는 셔터의 개폐 동작에 연동하여 기판 반송 레일과 기판 지지 레일을 접속하거나 분리한다. 즉, 셔터의 폐쇄 동작에 의해 레일 연결 부재가 기판 반송 레일과 기판 지지 레일을 분리한다. 한편, 셔터의 개방 동작에 의해 레일 연결 부재가 기판 반송 레일과 기판 지지 레일을 연결한다. 기판 반송 레일과 기판 지지 레일이 일체화되는 셔터가 개방일 때, 좌우의 기판 반송 레일 사이의 간격과, 감압실 내의 좌우의 기판 지지 레일 사이의 간격을 함께 변경할 수 있다.
그러나, 특허문헌 2에 개시하는 구조에서는, 감압실의 개폐를 행하는 셔터의 개폐 동작에 연동하여 레일 연결 부재를 동작시키므로 감압실의 개폐를 행하는 셔터 구조를 필요로 한다.
일본 특허 공개 제2000-188467호 공보 일본 특허 공개 제2011-171714호 공보
본 발명의 목적은, 피처리물을 가열 처리하는 처리부에 배치되고, 또한 상기 피처리물을 지지하는 좌우의 지지 부재의 사이의 간격 조정을 간단한 구성으로 행할 수 있도록 한 가열 처리 장치를 제공하는 것이다.
상기한 기술적 과제는, 본 발명에 따르면,
피처리물을 반송하는 반송 경로에 처리부를 갖는 가열 처리 장치이며,
상기 반송 경로에 배치되고, 또한 상기 피처리물을 반송하기 위한 왕복 이동 가능한 반송 로드와,
상기 처리실의 좌우로 이격되어 배치되고, 또한 상기 피처리물을 지지하기 위한 지지 부재를 갖고,
상기 좌우의 지지 부재 중 적어도 한쪽의 지지 부재가 상기 반송 경로의 횡방향으로 이동 가능하고,
상기 이동 가능한 지지 부재는, 상기 반송 로드를 삽입할 수 있는 제1 홈을 갖고,
상기 제1 홈에 상기 반송 로드를 삽입한 상태에서 상기 반송 로드를 상기 반송 경로의 폭 방향으로 변위시킴으로써 상기 처리부의 상기 좌우의 지지 부재 사이의 간격이 조정되는 것을 특징으로 하는 가열 처리 장치를 제공함으로써 달성된다.
본 발명의 바람직한 실시 형태에서는, 상기 반송 로드가, 상기 피처리물과 결합되는 푸셔 부재를 갖고,
상기 가열 처리 장치가, 상기 반송 로드를 그 축선을 중심으로 하여 정방향 또는 역방향으로 축 회전시키는 전환 기구를 더 갖고,
상기 전환 기구를 동작시킴으로써 상기 푸셔 부재가, 상기 피처리물과 결합되는 결합 위치와, 상기 피처리물로부터 이격되는 퇴피 위치를 취할 수 있다. 더욱 바람직하는 형태로는, 상기 전환 기구가, 상기 반송 로드의 왕복 이동에 연동하여 상기 반송 로드를 정방향 또는 역방향으로 축 회전시키는 캠 기구로 구성되어 있다.
본 발명에서 말하는 「처리부」는, 실시예에서는 리플로우로의 감압실이 상당하고, 이 감압실은 개폐 가능하다. 본 발명의 처리부는, 평면에서 보았을 때에 당해 반송 경로부터 횡방향으로 이격되는 방향으로 이동 가능해도 된다.
본 발명에 따르면, 왕복 이동하는 반송 로드를 사용하여, 처리부 내의 좌우의 지지 부재로 규정되는 반송 경로의 폭 조정이 행해진다. 따라서, 처리실부의 구조를 간단한 구성으로 할 수 있고, 메인터넌스도 용이하다.
본 발명의 다른 목적 및 작용 효과는, 본 발명의 실시예의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태인 리플로우 솔더링 장치를 도시하는 개략 구성도이다.
도 2는 감압실을 도시하는 종단면도로, 감압실의 개방 상태를 도시한다.
도 3은 반송 장치의 작용 설명도이다.
도 4는 반송 장치를 설명하기 위한 종단면도이다.
도 5는 가이드 부재를 도시하는 평면도로, (a)는 노의 출구측으로부터 입구측을 보았을 때의 우측 가이드 부재, (b)는 좌측의 가이드 부재를 도시한다.
도 6은 가이드 부재를 설명하기 위한 종단면도이다.
도 7은 제1 및 제2 반송 로드의 이동 기구를 도시하는 평면도이다.
도 8은 감압실보다도 상류측에 위치하는 제1 반송 레일을 구성하는 상류측 안내 부재를 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 감압실보다도 하류측에 위치하는 제2 반송 레일을 구성하는 하류측 안내 부재를 설명하기 위한 단면도이다.
도 10은 감압실의 좌우의 기판 지지 부재(레일부)의 사이의 간격을 조정하기 위한 순서를 설명하기 위한 도면으로, (I)는 제2 반송 로드를 감압실에 침입시키는 제1 공정을 도시하고, (II)는 다음 공정으로서 제1, 제2 반송 로드를 기판의 폭 방향으로 변위시키는 제2 공정을 도시한다.
이하에, 첨부한 도면에 기초하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
리플로우로의 전체 구성:
리플로우 솔더링 장치[리플로우로(1)]는, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 노(1) 내에 기판 반송 방향으로 구획되고 또한 직렬로 나열된 복수의 스테이션(방)을 갖고 있다. 구체적으로는, 리플로우로(1)는 기판 반송 방향으로 차례로, 도면 우측에 위치하는 2개의 예비 가열실(2A, 2B)과, 도면 중앙에 위치하는 2개의 리플로우실(3A, 3B)과, 도면 좌측에 위치하는 1개의 냉각실(4)을 갖고 있다. 또한, 리플로우로(1)는 리플로우실(3B)의 내부에, 개폐 가능한 방(처리실), 즉 감압실(5)을 갖고 있다. 기판(7)은, 스테이션인 각 방(2A, 2B, 3A, 3B)에서 일시 정지하여 처리가 행해진다. 감압실(5)은, 이것을 부압 상태로 함으로써, 기판(7)의 용융된 땜납에 포함되는 기포를 제거하는 탈포 처리를 행하는 처리실이다. 참조 부호 6은, 각 실을 구획하는 구획벽이다. 리플로우로(1) 내에는, 분위기 가스로서, 땜납의 산화를 방지하기 위해 불활성 가스, 본 실시 형태에서는 질소 가스가 공급되어 있다. 이 실시예에서는 처리실이 감압실(5)로 구성되어 있지만, 이 대신에, 솔더링 부분의 산화를 방지하기 위해 수소 분위기에서 가열하는 방이어도 된다.
전자 부품을 탑재한 프린트 배선 기판(이하, 간단히 기판이라 함)(7)은 리플로우로(1)의 감압실(5)을 사이에 두고, 그 상류측에 배치된 제1 기판 반송 레일(8)과, 감압실(5)의 하류측에 배치된 제2 기판 반송 레일(9)을 갖고 있다. 제1, 제2 기판 반송 레일(8, 9)은 직선 형상으로 배치되어 있다. 제1, 제2 반송 레일(8, 9)은, 각각, 서로 평행하게, 또한 수평하게 배치된 2개의 안내 부재(이후에 상세히 설명함)로 구성되어 있다. 제1 반송 레일(8)은, 노(1)의 입구(10)의 앞쪽 위치로부터 노(1) 내를 감압실(5)의 바로 앞쪽 위치까지 수평하게 배치되어 있다. 제2 반송 레일(9)은 감압실(5)의 직후로부터 노(1)의 출구(11)보다도 하류측의 위치까지 수평하게 배치되어 있다. 기판(7)은, 그 하면의 좌우 단부가 제1 반송 레일(8)을 구성하는 좌우의 안내 부재 및 제2 반송 레일(9)을 구성하는 좌우의 안내 부재에 의해 지지되면서 반송된다.
감압실(5)의 내부에는 기판 지지 부재(12)(도 2 참조)가 기판(7)의 반송 경로에 좌우로 배치되어 있다. 좌우의 기판 지지 부재(12)는, 주된 부분이 단면 대략 직사각형의 형상을 갖는다. 좌우의 기판 지지 부재(12)는, 서로 대향하는 측의 상면의 단부에 단차부를 갖고, 이 단차부에 의해 수평한 레일부(12a)가 구성되어 있다. 이 좌우의 레일부(12a, 12a)에 의해 기판(7)의 하면의 좌우 단부가 지지된다. 또한, 기판 지지 부재(12)의 상면에는 후술하는 반송 로드(32)를 받아들이는 오목 홈(13)이 레일부(12a)와 평행하게 형성되어 있다. 오목 홈(13)은 기판 지지 부재(12)의 상면의 일단부로부터 타단부까지 연장되어 있다.
리플로우로(1)에 투입되는 기판(7)은, 그 상면의 솔더링 개소에 크림 땜납이 도포되어 있고, 이 크림 땜납 상에 전자 부품이 적재된 상태에 있다. 상기 기판(7)은 제1 및 제2 반송 장치(14A, 14B)에 의해 노(1) 내를 간헐적으로 순차, 후속의 공정으로 반송된다.
즉, 상기 기판(7)은 노(1)의 입구(10)의 근방으로부터 제1 반송 장치(14A)에 의해 제1 예비 가열실(2A)로 보내지고, 이 최초의 예비 가열 공정에서, 히터(15)에 의해 가열된 분위기 기체에 의해 일정 시간 가열된다. 기판(7)은, 다음으로, 제1 반송 장치(14A)에 의해 인접하는 제2 예비 가열실(2B)로 보내지고, 이 제2 예비 가열 공정에서, 히터(15)에 의해 가열된 분위기 기체에 의해 일정 시간 가열된다. 이어서, 기판(7)은 제1 반송 장치(14A)에 의해 리플로우실(3A)로 보내진다. 리플로우실(3A)에서는 리플로우 공정이 행해진다. 리플로우 공정은, 히터(16)에 의해 가열된 분위기 기체에 의해 땜납부를 일정 시간 가열하여 용융시킨다.
도 2를 참조하여, 리플로우 공정은 다음의 제2 리플로우실(3B)에서도 계속된다. 제2 리플로우실(3B)에는 감압실(5)이 설치되어 있다. 감압실(5)은 상측 하우징(5A)과 하측 베이스(5B)로 개략 구성되고, 하측 베이스(5B)는 리플로우실(3B) 내에 고정 배치되어 있다. 이에 대해, 상측 하우징(5A)은 액추에이터, 구체적으로는 실린더 장치(도시하지 않음)에 의해 상하로 이동 가능하다. 상측 하우징(5A)은, 하강하여 하측 베이스(5B)에 밀접하는 밀폐 상태(도 1 참조)를 취할 수 있다. 또한 상측 하우징(5A)이 상승하여 하측 베이스(5B)에 대해 상방에 간격을 두고 위치하는 개방 상태(도 2 참조)를 취할 수 있다.
감압실(5)은, 상측 하우징(5A)이 하측 베이스(5B)의 상방에 간격을 두고 위치하는 개방 상태에서, 기판(7)이 제1 반송 장치(14A)에 의해 제1 리플로우실(3A)로부터 제2 리플로우실(3B) 내의 감압실(5)로 반입된다. 이어서 감압실(5)은 밀폐 상태로 된다. 밀폐 상태의 감압실(5)은 진공화된다. 이 감압 공정에 의해 기판(7) 상의 크림 땜납은 탈포된다. 이 감압 공정은 일정 시간 행해진다. 즉, 히터(16)에 의해 가열된 제2 리플로우실(3B) 내의 분위기 기체에 의해, 기판(7)의 땜납부는 그 용융 상태가 유지된다. 그리고, 제2 리플로우실(3B) 내의 감압실(5)은, 개방 상태에서 기판(7)을 받아들인 후에 밀폐 상태로 된다. 감압실(5)은, 밀폐 상태에서 기판(7)의 땜납부를 탈포할 수 있는 소정의 감압 분위기까지 진공 펌프(도시하지 않음)에 의해 감압된다. 감압실(5)을 감압함으로써 기판(7)의 용융 땜납부가 탈포된다.
감압 공정이 완료되면 감압실(5)이 개방 상태로 된다. 탈포 처리가 종료된 기판(7)은 제2 반송 장치(14B)에 의해 제2 리플로우실(3B)[감압실(5)]로부터 냉각실(4)로 보내진다. 냉각실(4)은 기판(7)을 냉각하기 위한 방이다. 이 냉각 공정에서는, 냉각 장치(17)에 의해 기판(7)이 일정 시간 냉각되어 기판(7)의 땜납부가 고화된다. 기판(7)은 그 후, 제2 반송 장치(14B)에 의해 냉각실(4)로부터 노(1)의 출구(11)를 통해 외부로 반출된다.
반송 장치(14):
제1 반송 장치(14A) 및 제2 반송 장치(14B)에 대해 설명한다.
제1 반송 장치(14A):
우선, 제1 반송 장치(14A)에 대해 설명한다. 도 1, 도 4, 도 7을 참조하여, 제1 반송 로드(18)는 감압실(5)의 상류측에 배치되어 있다. 제1 반송 로드(18)는 수평 상태로 배치되고, 그 길이 방향으로 왕복 이동 가능하다. 제1 반송 로드(18)는, 그 길이 방향에 있어서 소정의 간격을 두고 배치된 4개의 푸셔편(19)을 갖는다. 이 푸셔편(19)은 제1 반송 로드(18)와는 별도의 부재이지만, 일체 성형품이어도 된다. 각 푸셔편(19)과 제1 반송 로드(18)는 일체 구조이며, 푸셔편(19)은 제1 반송 로드(18)의 반경 방향으로 돌출되어 있다.
제1 반송 로드(18)는, 그 노 입구(10)측의 단부가, 로드 지지 부재(20)의 지지 구멍(20a)에 삽입 관통되어 있다. 제1 반송 로드(18)는 로드 지지 부재(20)에 의해 축 회전 가능하게 지지되어 있다. 제1 반송 로드(18)는 로드 지지 부재(20)에 대해 길이 방향으로 변위 불가능하다. 로드 지지 부재(20)는, 그 외측면에 가이드부(20b)를 갖고 있다. 로드 지지 부재(20)의 외측에는 지지벽(21)이 기립 설치되어 있다. 로드 지지 부재(20)의 가이드부(20b)는, 수평한 가이드 홈(21a)에 끼워 맞추어져 있다. 이 가이드 홈(21a)은, 지지벽(21)의 내측면에 형성되어 있다. 로드 지지 부재(20)는 가이드 홈(21a)에 안내되면서 수평 방향으로 이동 가능하다. 제1 반송 로드(18)는 로드 지지 부재(20)와 길이 방향으로 변위 불가능하므로, 로드 지지 부재(20)가 이동하면, 이것과 함께 제1 반송 로드(18)가 노(1) 내를 수평하게 이동하여 기판(7)을 반송할 수 있다.
제1 반송 로드(18)가 기판(7)의 반송 방향으로 진행할 때(이하, 「전진」이라 함), 제1 반송 로드(18)가 축 회전하여, 푸셔편(19)(도 4 참조)은 제1 반송 레일(8) 상의 기판(7)의 후방면(반송 방향 지연측의 단부면)과 결합되는 위치(이하, 「압박 위치」 또는 「결합 위치」라 함)에 위치 결정된다. 한편, 제1 반송 로드(18)가 기판(7)의 반송 방향과는 역방향으로 진행할 때(이하, 「후퇴」라 함), 제1 반송 로드(18)가 축 회전하여, 푸셔편(19)은 기판(7)보다도 상방으로 퇴피하는 위치(이하, 「퇴피 위치」라 함)에 위치 결정된다. 이 푸셔편(19)의 압박 위치(결합 위치)와 퇴피 위치의 전환은, 제1 반송 로드(18)를 소정 각도, 축 회전시킴으로써 달성되어 있다.
푸셔편(19)을 결합 위치와 퇴피 위치로 전환하기 위한 전환 기구:
전환 기구는, 제1 반송 로드(18)의 왕복 이동에 연동한 캠 기구에 의해 구성되어 있다. 이 점에 대해 상세하게 설명하면, 전환 기구는, 제1 반송 로드(18)의 노 입구(10)측의 단부에 위치 고정된 가이드 막대(22)(도 1 및 도 4 참조)를 갖고 있다. 가이드 막대(22)는 제1 반송 로드(18)로부터 하방으로 연장되어 있다. 전환 기구는, 가이드 막대(22)에 관련하여 배치된 가이드 부재(23)(도 1, 도 4∼도 6 참조)를 갖고, 가이드 부재(23)는 가이드 막대(22)의 하방에 배치되어 있다. 가이드 부재(23)는 상자형 부재의 본체(23a)를 갖고, 상자형의 본체(23a)의 상면에는 가이드 구멍(24)이 형성되어 있다. 제1 반송 로드(18)로부터 돌출되는 가이드 막대(22)는 그 하단부가 가이드 구멍(24)에 삽입되어 있다.
도 5는 가이드 부재(23)의 평면도로, (a)는 노의 출구측으로부터 입구측을 보았을 때의 우측의 가이드 부재를 도시하고, (b)는 좌측의 가이드 부재를 도시한다. 도 5를 참조하여, 가이드 구멍(24)은 제1 반송 로드(18)의 푸셔편(19)을 결합 위치에 배치시키는 제1 가이드 구멍(25)과, 푸셔편(19)을 퇴피 위치에 배치시키는 제2 가이드 구멍(26)과, 이 제1, 제2의 2개의 가이드 구멍(25, 26)을 연결하는 연결 가이드 구멍(27)으로 구성되어 있다. 제1 가이드 구멍(25)과 제2 가이드 구멍(26)은 기판(7)의 반송 방향을 따라 직선적으로 연장되어 있다. 또한, 제1, 제2 가이드 구멍(25, 26)은, 서로 간격을 두고 평행하게 연장되어 있다. 또한, 제1, 제2 가이드 구멍(25, 26)은 전후, 즉 기판 반송 방향의 전단부 및 후단부는 상술한 연결 가이드 구멍(27)에 의해 서로 합류하고 있다.
계속해서 도 5를 참조하여, 제1 가이드 구멍(25)의 후단부(도 5의 상방에 위치하는 단부)는 비스듬히 직선적으로 연장되는 경사 연결 가이드 구멍(27)에 의해 제2 가이드 구멍(26)의 후단부(도 5의 상방에 위치하는 단부)에 연결되어 있다. 한편, 제1 가이드 구멍(25)의 전단부(도 5의 하방에 위치하는 단부)는 비스듬히 직선적으로 연장되는 경사 연결 가이드 구멍(27)에 의해 제2 가이드 구멍(26)의 전단부(도 5의 하방에 위치하는 단부)에 연결되어 있다. 이와 같이 제1, 제2 가이드 구멍(25, 26)의 전단부 및 후단부의 단부끼리를 2개의 연결 가이드 구멍(27, 27)에 의해 연결함으로써, 폐루프의 가이드 구멍 구조(24)가 형성되고, 이 가이드 구멍 구조(24)는 제1 가이드 구멍(25) 및 제2 가이드 구멍(26)에 의해 안내되는 가이드 막대(22)와 협동하여, 푸셔편(19)을 결합 위치와 퇴피 위치 사이에서 요동시키는 캠 기구를 구성하고 있다.
상술한 바와 같이 푸셔편(19)은 결합 위치와 퇴피 위치를 취한다. 제1 가이드 구멍(25)은 푸셔편(19)을 결합 위치에 위치시키기 위한 캠 홈으로서 기능한다. 레일 상에 위치하는 기판(7)은, 그 후단부가 푸셔편(19)과 결합되고, 그리고 제1 반송 로드(18)가 전진 동작함으로써 기판(7)은 푸셔편(19)에 압박되어 하나의 처리 위치로부터 다음 처리 위치로 반송된다. 이 반송이 종료되면, 제1 반송 로드(18)는 후퇴하여 원 위치로 복귀된다. 이 제1 반송 로드(18)가 후퇴 이동할 때에는, 푸셔편(19)은 퇴피 위치에 위치 결정된다.
가이드 막대(22)가 제1 가이드 구멍(25)에 위치할 때에 푸셔편(19)은 결합 위치를 취한다. 한편, 가이드 막대(22)가 제2 가이드 구멍(26)에 위치할 때에 푸셔편(19)은 퇴피 위치를 취한다. 따라서, 제1 반송 로드(18)는 가이드 막대(22)가 제1 가이드 구멍(25)으로 안내되면서 전진하면(도 5의 화살표 A방향), 푸셔편(19)은 결합 위치(도 3 참조)에 위치 결정되어 기판(7)의 후방면을 압박하면서 기판(7)을 전진시킨다. 한편, 제1 반송 로드(18)는 가이드 막대(22)가 제2 가이드 구멍(26)으로 안내되면서 후퇴할 때에는(도 5의 화살표 B방향), 푸셔편(19)이 기판(7)과 간섭하지 않도록 기판(7)보다도 상방 위치인 퇴피 위치(도 3 참조)에 위치 결정된다.
제1 반송 로드(18)는 전진시, 가이드 막대(22)가 제1 가이드 구멍(25)에 안내되면서 전진하고, 후퇴시, 가이드 막대(22)가 제2 가이드 구멍(26)에 안내되면서 후퇴하도록 다음 수단이 설치되어 있다.
도 5 및 도 6에 도시되어 있는 바와 같이, 가이드 부재(23)의 본체(23a)(도 6)의 상면부의 이면에는, 차단편(28)이 폐루프 형상의 가이드 구멍(24)의 양단부에 배치되어 있다. 한쪽의 차단편(28)은 제1 가이드 구멍(25)에 교차하도록 배치되고, 다른 쪽의 차단편(28)은 제2 가이드 구멍(26)에 교차하도록 배치되어 있다. 차단편(28)의 한쪽 단부는 지지축(29)에 고정되어 있다. 지지축(29)은 제1 가이드 구멍(25)과 제2 가이드 구멍(26) 사이에 배치하고, 가이드 부재(23)의 본체(23a)를 수직으로 관통하여 회전 가능하게 설치되어 있다. 가이드 부재(23)의 본체(23a)의 하면부의 하면에는 링크편(30)이 배치되어 있다. 링크편(30)의 한쪽 단부는 지지축(29)의 하단부에 고정되고, 다른 쪽의 단부는 인장 스프링으로 이루어지는 리턴 스프링(31)의 일단부에 고정되어 있다. 리턴 스프링(31)의 타단부는 가이드 부재(23)의 본체(23a)의 하면부에 고정되어 있다.
상술한 바와 같이, 지지축(29)을 통해 링크편(30)과 연결된 차단편(28)은 가이드 막대(22)와 간섭하는 높이 위치에 배치되어 있고, 한편, 링크편(30)은 가이드 막대(22)와 간섭하지 않는 높이 위치에 배치되어 있다.
따라서, 제1 반송 로드(18)의 전진시, 가이드 막대(22)가 제1 가이드 구멍(25)에 안내되면서 전진하여 제1 가이드 구멍(25)의 전단부까지 진행되면, 가이드 막대(22)가 도 5의 하방에 도시되어 있는 제1 차단편(28)과 접촉한다. 가이드 막대(22)가 더 전진하면, 리턴 스프링(31)의 스프링력에 저항하여 제1 차단편(28)을 회전시킨다. 그리고 가이드 막대(22)는 제1 가이드 구멍(25)의 전단부(도 5의 하방에 위치하는 단부)까지 도달한다. 또한, 가이드 막대(22)가 제1 차단편(28)을 통과하면 차단편(28)은 리턴 스프링(31)에 의해 원 위치로 복귀한다. 이 제1 반송 로드(18)의 전진 공정, 즉 제1 가이드 구멍(25)에 안내되면서 도 5에 도시한 하방의 단부까지 진행하는 공정에서는, 전술한 바와 같이 푸셔편(19)은 결합 위치(도 2 참조)에 위치하고 있다. 따라서, 푸셔편(19)은 기판(7)과 결합하여 기판(7)을 1공정, 즉 인접하는 다음 공정으로(예를 들어, 리플로우 공정으로부터 감압 공정으로) 추진한다.
다음으로, 제1 반송 로드(18)의 후퇴시, 가이드 막대(22)가 제1 가이드 구멍(25)으로 안내되면서 제1 가이드 구멍(25)의 전단부로부터 후퇴[도 5에 도시한 제1 가이드 구멍(25)의 하단부로부터 상방으로 이동]하면, 제1 가이드 구멍(25)을 횡단하여 위치하는 차단편(28)에 가이드 막대(22)가 충돌한다. 도 5로부터 잘 이해할 수 있는 바와 같이, 차단편(28)은 제1 가이드 구멍(25)을 비스듬히 횡단하고 있다. 바람직하게는, 차단편(28)의 경사 각도는 연결 가이드 구멍(27)의 경사 각도와 동일한 것이 좋다. 도 5에 있어서, 제1 가이드 구멍(25)의 하단부로부터 상방으로 이동하는 가이드 막대(22)가 차단편(28)과 충돌하면, 이 차단편(28)의 경사진 측부 모서리에 안내되어 가이드 막대(22)가 경사 연결 가이드 구멍(27)에 진입하고, 그리고, 이 연결 가이드 구멍(27)을 경유하여 가이드 막대(22)는 제2 가이드 구멍(26)으로 이행한다.
제1 반송 로드(18)는 가이드 막대(22)가 제2 가이드 구멍(26)으로 안내되면서 후퇴하면, 가이드 막대(22)가 도 5에 있어서 상방에 도시되어 있는 제2 차단편(28)과 접촉한다. 가이드 막대(22)가 더 후퇴하면, 도 5에 있어서 상방에 도시되어 있는 리턴 스프링(31)의 스프링력에 저항하여 제2 차단편(28)을 회전시킨다. 그리고 가이드 막대(22)는 제2 가이드 구멍(26)의 단부[도 5에 있어서 제2 가이드 구멍(26)의 상단부]까지 도달한다. 또한, 가이드 막대(22)가 제2 차단편(28)을 통과하면 차단편(28)은 리턴 스프링(31)에 의해 원 위치로 복귀한다. 이 제1 반송 로드(18)의 후퇴 공정, 즉 제2 가이드 구멍(26)으로 안내되면서 후퇴하는 제1 반송 로드(18)의 후퇴 공정에서는, 전술한 바와 같이 푸셔편(19)은 퇴피 위치(도 4의 파선)에 위치하고 있다. 따라서 푸셔편(19)이 기판(7)과 간섭하지 않도록 기판(7)보다도 상방의 퇴피 위치에 푸셔편(19)이 위치 결정된 상태에서 1공정, 후퇴한다.
다음으로, 제1 반송 로드(18)는 가이드 막대(22)가 제2 가이드 구멍(26)으로 안내되면서 전진하면[도 5에 있어서 제2 가이드 구멍(26)의 상단부로부터 하강하면], 제2 가이드 구멍(26)을 횡단하여 위치하는 차단편(28)에 가이드 막대(22)가 충돌한다. 도 5로부터 잘 이해할 수 있는 바와 같이, 도 5에 있어서 상방에 도시되어 있는 차단편(28)은 제2 가이드 구멍(26)을 비스듬히 횡단하고 있다. 바람직하게는, 차단편(28)의 경사 각도는 연결 가이드 구멍(27)의 경사 각도와 동일한 것이 좋다. 도 5에 있어서, 제2 가이드 구멍(26)의 상단부로부터 하방으로 이동하는 가이드 막대(22)가 차단편(28)과 충돌하면, 이 차단편(28)의 경사진 측부 모서리에 안내되어 가이드 막대(22)가 경사 연결 가이드 구멍(27)에 진입하고, 그리고, 이 연결 가이드 구멍(27)을 경유하여 가이드 막대(22)는 제1 가이드 구멍(25)으로 이행한다. 즉, 가이드 막대(22)가 진행하는 방향으로 경사진 측부 모서리를 구비한 차단편(28)에 가이드 막대(22)가 안내되어, 가이드 막대(22)는 연결 가이드 구멍(27)에 진입한다. 이 연결 가이드 구멍(27)은 가이드 막대(22)가 진행하는 방향으로 경사져 있고, 이 경사진 연결 가이드 구멍(27)으로 안내되어 가이드 막대(22)는 제1 가이드 구멍(25)으로 들어간다. 이하, 상기에서 설명한 동작을 반복한다.
상기한 바와 같이 하여, 제1 반송 로드(18)의 1회의 왕복 동작(전진 및 후퇴)에 의해 기판(7)을 1공정, 즉 다음 공정으로 반송할 수 있다. 또한, 경사 연결 가이드 구멍(27)은 상술한 바와 같이 직선이어도 되고, 다소 만곡되어 있어도 된다.
또한, 제1 반송 로드(18)에는 복수의 공정의 각각의 공정에 대응한 복수의 푸셔편(19)이 고정되어 있다(도 3). 이에 의해, 제1 반송 로드(18)의 1회의 전진 동작에 의해 기판(7)을 순차, 전방으로 보낼 수 있다. 즉, 제1 반송 로드(18)에 의해, 리플로우로(1)의 입구(10)에 인접한 위치에 위치하고 있는 기판(7)이 최초의 예비 가열실(2A)(예비 가열 공정)로 반송되고, 또한 최초의 예비 가열실(2A)에 위치하고 있는 기판(7)이 다음의 예비 가열실(2B)(예비 가열 공정)로 반송되고, 또한 예비 가열실(2B)에 위치하고 있는 기판(7)이 리플로우실(3A)(리플로우 공정)로 반송되고, 또한 리플로우실(3A)에 위치하고 있는 기판(7)이 감압실(5)(감압 공정)로 보내진다.
제1 반송 로드(18)가 전진하였을 때에, 제1 반송 로드(18)의 선단부는 감압실(5) 중에 약간 침입한다.
제2 반송 장치(14B):
다음으로, 제2 반송 장치(14B)에 대해 설명한다. 제2 반송 장치(14B)는 제1 반송 장치(14A)와 마찬가지의 구성을 갖고 있다. 즉, 제2 반송 장치(14B)를 구성하는 제2 반송 로드(32)(도 1 및 도 7 참조)는 리플로우로(1)의 내부에 있어서 수평하게 배치되어 있다. 제2 반송 로드(32)는, 감압실(5)을 포함하는 하류측에 위치하고 있다. 제2 반송 로드(32)에는, 그 길이 방향으로 간격을 두고 2개의 푸셔편(19)이 고정되어 있다. 각 푸셔편(19)은 제2 반송 로드(32)의 반경 방향으로 돌출되어 있다. 제2 반송 로드(32)도 제1 반송 로드(18)와 마찬가지로 로드 지지 부재(20)에 길이 방향으로 변위 불가능하게 지지되고, 또한 축 회전 가능하게 지지되어 있다. 로드 지지 부재(20)는 지지벽의 가이드 홈에 안내되면서 수평하게 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 따라서, 제2 반송 로드(32)는 로드 지지 부재(20)의 변위에 수반하여 노(1) 내를 기판(7)의 반송 방향으로 수평 이동 가능하다.
또한, 제2 반송 로드(32)에 대해서도 제1 반송 로드(18)에 설치된 상기한 전환 기구와 동일한 기구에 의해, 제2 반송 로드(32)가 전진할 때, 제2 반송 로드(32)가 축 회전하여, 푸셔편(19)이 반송 레일(9) 상의 기판(7)의 후방면을 압박하는 위치(결합 위치)에 위치 결정된다. 제2 반송 로드(32)가 후퇴할 때, 제2 반송 로드(32)가 축 회전하여, 푸셔편(19)은 기판(7)보다도 상방으로 퇴피하는 위치(퇴피 위치)에 위치 결정된다. 제2 반송 로드(32)의 1회의 왕복 동작(전진 및 후퇴)으로 기판(7)을 다음 공정으로 반송한다. 즉, 제2 반송 로드(32)는 그 후퇴에 의해 감압실(5) 중으로 들어간다. 그리고, 제2 반송 로드(32)는 그 전진에 의해 감압실(5) 중에 위치하고 있는 기판(7)을 냉각실(4)(냉각 공정)로 반송하고, 또한 냉각실(4)에 위치하고 있는 기판(7)을 노(1)의 출구(11)로부터 외부로 송출한다.
또한, 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 푸셔편(19)을 갖는 제1 반송 로드(18) 및 전환 기구는 기판(7)의 좌우 단부를 압박하도록 반송 경로의 좌우에 한 쌍 설치되어 있고, 좌우의 로드 지지 부재(20)의 상면에 기립 설치된 직립 부재(33)가 연결 로드(34)에 의해 연결되고, 좌우의 제1 반송 로드(18)가 함께 동작하도록 되어 있다. 제2 반송 로드(32)에 대해서도 마찬가지로 구성되어 있다.
제1, 제2 반송 로드(18, 32)의 연동 기구(도 1):
제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)를 왕복 이동(전진, 후퇴)시키는 수단을 다음으로 설명한다. 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 노(1)의 출구(11)측의 외부에 체인 컨베이어(35)가 배치되어 있다. 체인 컨베이어(35)는 기판(7)의 반송 방향과 평행하게 수평으로 배치되어 있다. 이 체인 컨베이어(35)의 체인 부분에 제2 반송 로드(32)의 로드 지지 부재(20)가 고정되어 있다. 제1 반송 로드(18)의 로드 지지 부재(20)와 제2 반송 로드(32)의 로드 지지 부재(20)는 연결 로드(36)에 의해 연결되어 있다. 연결 로드(36)는, 노(1) 내를 감압실(5)의 외측에 배치되어 관통 배치되어 있다.
체인 컨베이어(35)가 도 1의 화살표 A방향으로 소정 각도, 정회전하면, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)가 소정 거리(1공정분) 전진하고, 도 1의 화살표 B방향으로 소정 각도, 역회전하면, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)가 소정 거리(1공정분) 후퇴한다. 이와 같이, 소정 각도, 정역회전되는 체인 컨베이어(35)에 의해, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)가 소정 거리(1공정분)를 왕복 이동한다.
이하, 제1 및 제2 반송 장치(14A, 14B)의 동작을 도 3을 참조하면서 설명한다. 도 3의 (A)는 기판(7)이 각 공정에 배치되고, 각 공정에서 기판(7)이 일정 시간 처리되는 상태를 나타낸다. 도 3의 (B)∼도 3의 (D)는, 도 3의 (A)의 상태에서 기판(7)의 처리가 일정 시간 실시된 후, 기판(7)을 다음 공정으로 이행하는 상태를 나타내고 있다.
도 3의 (C)에서는 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)는 다음의 상태에 있다. 즉, 제1 반송 로드(18)는 푸셔편(19)이 압박 위치(결합 위치)에 있고, 각 푸셔편(19)이 리플로우실(3A)(리플로우 공정), 예비 가열실(2B)(예비 가열 공정), 예비 가열실(2A)(예비 가열 공정) 및 노(1) 입구의 전방측, 즉 상류측에 위치하는 각 기판(7)의 상류측에 위치한다. 제2 반송 로드(32)는 푸셔편(19)이 압박 위치(결합 위치)에 있고, 각 푸셔편(19)이 감압실(5)(감압 공정) 및 냉각실(4)(냉각 공정)의 각 기판(7)의 각각 앞쪽에 배치되어 있다.
도 3의 (C)의 상태로부터, 체인 컨베이어(35)의 정회전(도 1의 화살표 A)에 의해, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)가, 가이드 막대(22)가 제1 가이드 구멍(25)으로 안내되면서, 전진하면, 도 3의 (C)→도 3의 (D)에 도시되는 바와 같이, 푸셔편(19)에 의해 각 공정에 있는 기판(7)이 다음 공정으로 보내진다.
즉, 제1 반송 로드(18)에 의해, 노(1)의 입구(10)의 앞쪽에 배치되어 있는 기판(7)은 최초의 예비 가열실(2A)(예비 가열 공정)로, 최초의 예비 가열실(2A)에 배치되어 있는 기판(7)은 다음의 예비 가열실(2B)(예비 가열 공정)로, 예비 가열실(2B)에 배치되어 있는 기판(7)은 리플로우실(3A)(리플로우 공정)로, 리플로우실(3A)에 배치되어 있는 기판(7)은 감압실(5)(감압 공정)로 보내진다. 또한, 제2 반송 로드(32)에 의해, 감압실(5)에 배치되어 있는 기판(7)은 감압실(5)로부터 냉각실(4)(냉각 공정)로, 냉각실(4)에 배치되어 있는 기판(7)은 노(1)의 출구(11)로부터 외부로 송출된다.
다음으로, 체인 컨베이어(35)의 역회전에 의해(도 1의 화살표 B), 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)는 도 3의 (D)로부터 도 3의 (A)의 상태로 이행된다. 즉, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)가 후퇴하면, 가이드 막대(22)가 연결 가이드 구멍(27)으로 안내되면서, 제2 가이드 구멍(26)으로 들어가, 푸셔편(19)이 퇴피 위치에 배치된다.
도 3의 (A)에서는 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)는 다음의 상태에 있다. 즉, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)는 감압실(5)의 외측에 배치되고, 각 푸셔편(19)이 퇴피 위치에 있고, 각각의 로드(18, 32)의 선두의 푸셔편(19)이 감압실(5)의 양측 위치에 배치된다. 이 상태에서, 기판(7)이 각 공정에서 일정 시간 처리된다.
도 3의 (A)의 상태하에서, 기판(7)의 처리가 각 공정에서 일정 시간 실시되면, 체인 컨베이어(35)의 역회전에 의해, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)가 후퇴하여, 도 3의 (A)로부터 도 3의 (B)의 상태로 이행한다. 즉, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)가, 가이드 막대(22)가 제2 가이드 구멍(26)에 안내되면서, 푸셔편(19)이 퇴피 위치에 배치된 상태에서 대략 1공정분 후퇴한다.
도 3의 (B)에서는 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)는 다음의 상태에 있다. 즉, 제1 반송 로드(18)는 푸셔편(19)이 퇴피 위치에 있고, 각 푸셔편(19)이 리플로우실(3A)(리플로우 공정), 예비 가열실(2B)(예비 가열 공정), 예비 가열실(2A)(예비 가열 공정) 및 노(1) 입구의 앞쪽 위치의 각 기판(7)의 각각 앞쪽 위치에 있다. 제2 반송 로드(32)는 푸셔편(19)이 퇴피 위치에 있고, 각 푸셔편(19)이 감압실(5)(감압 공정) 및 냉각실(4)(냉각 공정)의 각 기판(7)의 후단부측에 위치 결정된다.
다음으로, 체인 컨베이어(35)의 정회전에 의해, 제1 반송 로드(18) 및 제2 반송 로드(32)는 도 3의 (B)로부터 도 3의 (C)의 상태로 이행된다. 즉, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)가 전진하면, 가이드 막대(22)가 연결 가이드 구멍(27)으로 안내되면서, 제1 가이드 구멍(25)으로 들어가, 푸셔편(19)이 압박 위치(결합 위치)에 배치되고, 도 3의 (C)의 상태로 이행한다. 그리고 이 도 3의 (C)의 상태로부터 전술한 동작이 반복되어, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)의 1회의 왕복 동작(전진 및 후퇴)에 의해 기판(7)을 다음 공정으로, 1공정씩 보내고, 기판(7)은 각 공정에서 일정 시간 처리가 실시된다.
감압실(5)에 있어서, 제1 반송 장치(14A)에 의해 감압실(5)에 기판(7)이 반입되고, 한편, 제2 반송 장치(14B)에 의해 감압실(5)로부터 기판(7)이 반출된다.
따라서, 전자 부품을 탑재한 프린트 배선 기판(7)은, 노(1)의 입구(10)의 상류측의 위치로부터, 제1 및 제2 반송 장치(14A, 14B)에 의해 노(1) 내의 감압 공정을 포함하는 각 공정을 순차 반송되고, 각 공정에서 일정 시간 처리되어, 전자 부품이 솔더링된 기판(7)이 노(1)의 출구(11)로부터 노 밖으로 반출된다.
또한, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)의 동작은 미리 설정된 시퀀스에 따라서 체인 컨베이어(35)의 구동 모터가 제어되어 행해진다.
감압실(5)의 좌우의 레일부 (12a, 12a) 사이의 간격 조정:
도 2를 참조하여, 감압실(5)의 내부에 배치되어 있는 좌우의 기판 지지 부재(12) 중, 한쪽의 기판 지지 부재(12A)는 하측 베이스(5B)에 고정되어 있다. 다른 쪽의 기판 지지 부재(12B)는 슬라이더(50)에 고정되어 있다. 슬라이더(50)는 하측 베이스(5B)에 형성된 2개의 가이드(52)에 의해 이동 가능하다. 그 이동 방향은, 기판(7)의 반송 방향과 직교하는 방향이다. 즉, 다른 쪽의 기판 지지 부재(12B)는, 기판(7)의 반송 방향을 횡단하는 방향으로 변위 가능, 즉 한쪽의 기판 지지 부재(12A)에 대해 이격 접근 가능하다. 따라서, 다른 쪽의 기판 지지 부재(12B)를 이동시킴으로써, 좌우의 기판 지지 부재(12A, 12B)의 사이의 간격 조정이 가능하다.
감압실(5)의 좌우의 기판 지지 부재(12A, 12B)의 간격 조정, 즉 감압실(5)의 좌우 레일부(12a, 12a)의 간격은, 감압실(5)의 상류측에 위치하는 제1 반송 레일(8) 및 감압실(5)의 하류측에 위치하는 제2 반송 레일(9)의 간격을 조정할 때에 행해진다. 이 레일의 간격 조정(쌍의 레일간의 이격 거리의 조정)은, 폭 치수가 다른 기판(7)을 처리하기 위한 준비 단계에서 행해진다.
제1 기판 반송 레일(8)의 폭 조정:
도 8은, 제1 반송 레일(8)을 구성하는 상류측 안내 부재(60)를 도시한다. 상류측 안내 부재(60)는, 상술한 감압실(5)의 기판 지지 부재(12)와 실질적으로 동일한 구성을 갖고 있다. 즉, 상류측 안내 부재(60) 중, 한쪽의 상류측 안내 부재(60A)는 하측 베이스(62)에 고정되어 있다. 다른 쪽의 상류측 안내 부재(60B)는 슬라이더(64)에 고정되어 있다. 슬라이더(64)는, 하측 베이스(62)에 형성된 2개의 가이드(66)에 의해 이동 가능하다. 그 이동 방향은, 기판(7)의 반송 방향과 직교하는 방향, 즉 기판(7)의 폭 방향이다. 즉, 다른 쪽의 상류측 안내 부재(60B)는, 기판(7)의 반송 방향을 횡단하는 방향, 즉 기판(7)의 폭 방향으로 변위 가능하다. 바꾸어 말하면, 다른 쪽의 상류측 안내 부재(60B)는 한쪽의 상류측 안내 부재(60A)에 대해 상대적으로 이격 접근 가능하다. 따라서, 다른 쪽의 상류측 안내 부재(60B)를 이동시킴으로써, 좌우의 상류측 안내 부재(60A, 60B)의 간격을 조정할 수 있다. 물론, 좌우의 상류측 안내 부재(60A, 60B)를 서로 이격 접근 가능하게 변위할 수 있도록 해도 된다.
좌우의 상류측 안내 부재(60A, 60B)는, 서로 대향하는 상면 단부에 단차부가 형성되고, 이 단차부에 의해 반송 경로를 따른 수평한 레일부(60a)가 형성되어, 이들 레일부(60a, 60a)에 의해 기판(7)의 하면 좌우 단부가 지지된다. 즉, 좌우의 레일부(60a, 60a)가 제1 기판 반송 레일(8)을 실질적으로 구성하고 있다. 또한, 상류측 안내 부재(60A, 60B)의 상면에는 제1 반송 로드(18)를 받아들이는 오목 홈(68)이 기판(7)의 반송 경로를 따라, 또한 상류측 안내 부재(60A, 60B)의 전체 길이에 걸쳐 형성되어 있다. 오목 홈(68)에 삽입된 제1 반송 로드(18)는 그 길이 방향으로 변위 가능하지만, 횡방향으로는 변위 불가능하다.
제2 기판 반송 레일(9)의 폭 조정:
도 9는, 제2 반송 레일(9)을 구성하는 하류측 안내 부재(70)를 도시한다. 하류측 안내 부재(70)는, 상술한 감압실(5)의 기판 지지 부재(12) 및 상류측 안내 부재(60)와 실질적으로 동일한 구성을 갖고 있다. 즉, 하류측 안내 부재(70) 중, 한쪽의 하류측 안내 부재(70A)는 하측 베이스(72)에 고정되어 있다. 다른 쪽의 하류측 안내 부재(70B)는 슬라이더(74)에 고정되어 있다. 슬라이더(74)는 하측 베이스(72)에 형성된 2개의 가이드(76)에 의해 이동 가능하다. 그 이동 방향은, 기판(7)의 반송 방향과 직교하는 방향, 즉 기판(7)의 폭 방향이다. 즉, 다른 쪽의 하류측 안내 부재(70B)는, 기판(7)의 반송 방향을 횡단하는 방향, 즉 기판(7)의 폭 방향으로 변위 가능하다. 바꾸어 말하면, 다른 쪽의 하류측 안내 부재(70B)는 한쪽의 하류측 안내 부재(70A)에 대해 이격 접근 가능하다. 따라서, 다른 쪽의 하류측 안내 부재(70B)를 이동시킴으로써, 좌우의 하류측 안내 부재(70A, 70B)의 간격을 조정할 수 있다. 물론, 좌우의 하류측 안내 부재(70A, 70B)를 서로 이격 접근 가능하게 변위할 수 있도록 해도 된다.
좌우의 하류측 안내 부재(70A, 70B)는, 서로 대향하는 상면 단부에 단차부가 형성되고, 이 단차부에 의해 반송 경로를 따른 수평한 레일부(70a)가 형성되어, 좌우의 레일부(70a, 70a)에 의해 기판(7)의 하면의 좌우 단부가 지지된다. 즉, 좌우의 레일부(70a, 70a)가 제2 기판 반송 레일(9)을 구성하고 있다. 또한, 하류측 안내 부재(70A, 70B)의 상면에는 제2 반송 로드(32)를 받아들이는 오목 홈(78)이 기판(7)의 반송 경로를 따라, 또한 하류측 안내 부재(70A, 70B)의 전체 길이에 걸쳐 형성되어 있다. 오목 홈(78)에 삽입된 제2 반송 로드(32)는, 그 길이 방향으로 변위 가능하지만, 횡방향으로는 변위 불가능하다.
폭 치수가 다른 기판(7)을 리플로우 처리하는 경우, 이것을 개시하기 전의 준비로서, 제1, 제2 기판 반송 레일(8, 9)의 각각을 구성하는 좌우의 안내 부재(60, 70)의 폭 조정이 행해진다. 즉, 감압실(5)의 전후에 배치된 제1, 제2 기판 반송 레일(8, 9)은, 기판(7)의 폭 치수에 따라서 좌우의 안내 부재의 사이의 이격 거리, 즉 제1, 제2 반송 레일(8, 9)의 폭 치수를 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 이것에 종동하여, 감압실(5) 내의 좌우 한 쌍의 기판 지지 부재(12A, 12B)[좌우의 레일부(12a)]의 이격 거리가 조정된다. 이 점에 관해서는 이후에 설명한다.
좌우의 쌍을 이루는 2개의 제1 반송 로드(18) 중, 한쪽의 제1 반송 로드(18)는 기판(7)의 폭 방향으로 이동 가능하다. 다른 쪽의 제1 반송 로드(18)는 위치 고정되어 있다. 마찬가지로, 좌우의 쌍을 이루는 2개의 제2 반송 로드(32) 중, 상기한 가동인 한쪽의 제1 반송 로드(18)와 동일한 측에 위치하는 한쪽의 제2 반송 로드(32)는 기판(7)의 폭 방향으로 이동 가능하다. 상기한 고정된 다른 쪽의 제1 반송 로드(18)와 동일한 측에 위치하는 다른 쪽의 제2 반송 로드(32)는 위치 고정되어 있다.
제1, 제2 반송 로드(18, 32)의 기판(7)의 폭 방향으로의 이동 기구:
제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)를 기판(7)의 폭 방향으로 이동시키는 기구, 즉 기판 반송 경로를 횡단하는 방향으로 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)를 이동시키는 기구를 다음으로 설명한다.
도 7을 참조하여, 제1 반송 로드(18)가 지지되어 있는 좌우의 지지벽(21)에 이송 나사 로드(37)가 관통하여 장착되어 있다. 이송 나사 로드(37)는, 외주의 일부분에 수나사(37a)가 형성되어 있다. 이 수나사(37a)가 한쪽의 지지벽(가동 지지벽)(21A)에 형성된 암나사 구멍(21b)에 나사 결합되어 있다. 이송 나사 로드(37)의 나사가 없는 부분은, 다른 쪽의 지지벽(위치 고정 지지벽)(21B)에 형성된 관통 구멍에 회전 가능하게 지지되어 있다. 이송 나사 로드(37)는, 좌우의 지지벽(21) 사이에 기판(7)의 반송 경로를 따라 간격을 두고 전후 한 쌍 설치되어 있다. 한쪽의 구동용의 이송 나사 로드(37)는 모터(도시하지 않음)에 의해 회전 구동되도록 구성되어 있다. 한 쌍의 이송 나사 로드(37)의 일단부에는 각각 스프로킷(38)이 장착되고, 이들 사이에 체인(39)이 걸쳐져 있다.
제2 반송 로드(32)가 지지되어 있는 좌우의 지지벽(21A, 21B) 사이에도, 제1 반송 로드(18)측과 마찬가지로 하여, 전후 한 쌍의 이송 나사 로드(37)가 설치되어 있고, 스프로킷(38) 사이에 체인(39)이 걸쳐져 있다.
제1 반송 로드(18)측의 종동용 이송 나사 로드(37)와, 제2 반송 로드(32)의 한쪽의 이송 나사 로드(37)의 타단부에는, 각각 스프로킷(40)이 장착되고, 이들 사이에 체인(41)이 걸쳐져 있다.
따라서, 제1 반송 로드(18)측의 구동용 이송 나사 로드(37)가 모터에 의해 회전되면, 체인 전도에 의해, 다른 하나의 이송 나사 로드(37)가 회전됨과 함께, 제2 반송 로드(32)측의 한 쌍의 이송 나사 로드(37)도 회전 구동된다. 이에 의해, 가동 지지벽(21A)이 기판(7)의 폭 방향으로 변위하여 위치 고정 지지벽(21B)과의 사이의 간격이 변화된다. 또한, 전도 수단은 체인 전도로 하였지만, 이것에 한정되지 않는 것은 물론이다.
상기한 바와 같이 제1 반송 로드(18)측의 이송 나사 로드(37) 및 제2 반송 로드(32)측의 이송 나사 로드(37)가 회전하면, 제1 반송 로드(18)에 관련된 가동 지지벽(21A)과, 제2 반송 로드(32)에 관련된 가동 지지벽(21A)이, 기판(7)의 폭 방향으로 변위된다. 이에 의해, 제1 좌우의 반송 로드(18)의 간격 및 제2 좌우 반송 로드(32)의 간격을 조정할 수 있다.
또한, 도 4를 참조하여, 좌우의 로드 지지 부재(20) 상에 설치되어 있는 좌우의 직립 부재(33A, 33B)의 사이에 설치된 연결 로드(34)는 그 일단부가 한쪽의 직립 부재(33B)에 고정되어 있지만, 연결 로드(34)의 타단부는 다른 쪽의 직립 부재(33A)에 헐겁게 끼워져, 이 다른 쪽의 직립 부재(33A)와 연결 로드(34)는 상대 이동 가능하다.
제1, 제2 기판 반송 레일(8, 9)의 각각을 구성하는 좌우의 레일부 (60a, 60a, 70a, 70a) 사이의 간격 조정:
전술한 바와 같이, 제1 반송 레일(8)을 실질적으로 구성하는 좌우의 상류측 안내 부재(60A, 60B)는 간격 조정이 가능하다. 그리고, 이 좌우의 상류측 안내 부재(60A, 60B)의 각각에 레일부(60a)가 형성됨과 함께, 제1 반송 로드(18)를 받아들이는 오목 홈(68)이 형성되어 있다.
마찬가지로, 제2 반송 레일(9)을 실질적으로 구성하는 좌우의 하류측 안내 부재(70A, 70B)는 간격 조정이 가능하다. 그리고, 이 좌우의 하류측 안내 부재(70A, 70B)의 각각에 레일부(70a)가 형성됨과 함께, 제2 반송 로드(32)를 받아들이는 오목 홈(78)이 형성되어 있다.
따라서, 제1 반송 로드(18)의 폭 조정, 즉 쌍을 이루는 2개의 제1 반송 로드(18, 18)의 간격을 조정하면, 이것에 종동하는 형식으로, 쌍을 이루는 2개의 제1 반송 레일(8, 8)의 간격이 조정된다. 또한, 2개의 제2 반송 로드(32, 32)의 간격을 조정하면, 이것에 종동하는 형식으로, 쌍을 이루는 2개의 제2 반송 레일(9, 9)의 간격이 조정된다.
그리고, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)가 서로 연동하므로, 제1 기판 반송 레일(8, 8)의 간격 조정[제1 기판 반송 레일(8)의 폭 조정]과, 2개의 제2 기판 반송 레일(9, 9)의 간격 조정[제2 기판 반송 레일(9)의 폭 조정]은 서로 연동하여 행해진다.
변형예로서, 제1 기판 반송 레일(8, 8)의 사이의 간격을 조정하는 구동 기구를 설치하고, 또한 제2 기판 반송 레일(9, 9) 사이의 간격을 조정하는 구동 기구를 설치하고, 이것에 종동하여, 제1 반송 로드(18, 18) 사이의 간격 조정 및 제2 반송 로드(32, 32) 사이의 간격 조정이 행해지도록 해도 된다.
감압실(5)의 좌우의 레일부 (12a, 12a) 사이의 간격 조정 순서:
폭이 다른 기판(7)을 처리하기 전의 준비로서, 다음으로 처리하는 기판(7)의 폭에 대응하도록, 다음 순서에서, 제1, 제2 기판 반송 레일(8, 9)의 폭 조정 및 감압실(5)의 레일부(12a)의 폭 조정이 행해진다.
(1) 제1 반송 로드(18)를 후퇴 위치에 위치 결정한다[도 10의 (I)].
(2) 제2 반송 로드(32)를 후퇴 위치에 위치 결정한다. 제2 반송 로드(32)를 후퇴시킨 상태에서는, 제2 반송 로드(32)의 후단부가 감압실(5) 중에 침입한 상태로 된다[도 10의 (I)].
(3) 제1, 제2 반송 로드(18, 32)의 폭 조정을 행한다. 이 제1, 제2 반송 로드(18, 32)의 폭 조정에 의해 제1 기판 반송 레일(8), 제2 기판 반송 레일(9)의 폭 조정이 완료된다[도 10의 (II)].
(4) 상기 (3)에 포함되는 제2 반송 로드(32)의 폭 조정에 의해, 이 폭 조정에 종동하는 형식으로 감압실(5)의 좌우의 레일부(12a, 12a) 사이의 간격이 조정된다.
(5) 제1, 제2 반송 로드(18, 32)를 대기 위치에 위치 결정한다.
리플로우로(1)의 통상 운전에서의 감압실(5)의 좌우 레일부 (12a, 12a) 사이의 간격 조정:
기판(7)을 반송하는 과정에서, 전술한 바와 같이 제1 반송 로드(18)는 전진하면 감압실(5)에 약간 침입한다. 또한, 제2 반송 로드(32)는 후퇴하면 감압실(5)에 침입한다. 따라서, 리플로우로(1)가 운전하고 있는 동안에, 항상, 감압실(5)의 좌우의 레일부(12a, 12a)[기판 지지 부재(12A, 12B)]의 간격은, 제1, 제2 반송 로드(18, 32)에 의해 그 정규의 간격으로 되도록 조정된다.
이상, 실시예의 리플로우로(1)를 설명하였다. 실시예의 리플로우로(1)에서는, 감압실(5) 내는 기판 지지 부재(12)에 오목 홈(13)을 형성할 뿐이므로, 감압실(5) 내의 구조를 간단한 구성으로 할 수 있고, 메인터넌스도 용이하다. 또한, 감압실(5)의 크기를 작게 할 수 있으므로, 감압 분위기로 하는 시간의 단축화를 도모할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 감압실(5)을 사이에 두고 상류측에 위치하는 제1 반송 로드(18)와, 하류측에 위치하는 제2 반송 로드(32)를 하나의 체인 컨베이어(35)에 의해 함께 움직이도록 구성하였지만, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)를 개별로 구동하도록 해도 된다.
제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)를 개별로 구동하는 경우에는, 제1 반송 로드(18)에 의해 감압실(5) 내의 레일부(12a, 12a)[기판 지지 부재(12A, 12B)]의 간격을 조정하도록 해도 된다.
즉, 제1 반송 로드(18)와 제2 반송 로드(32)는, 그 로드 지지 부재(20)끼리를 연결 로드에 의해 연결하지 않고 분리시켜, 제1 반송 로드(18)를 구동하는 체인 컨베이어를 노(1)의 입구측에 설치하고, 제2 반송 로드(32)를 구동하는 체인 컨베이어를 노(1)의 출구측에 설치하면 된다.
상기 실시 형태에서는, 전환 기구에 있어서의 가이드 막대(22)의 안내를 가이드 구멍(24)에서 행하는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 가이드 홈에서 행해도 된다. 또한, 압박 위치와 퇴피 위치로 전환 가능한 푸셔 부재의 전환 기구는 상기 실시 형태에서 나타낸 것에 한정되지 않는다.
상기 실시 형태에서는, 제1 반송 장치(14A)는 제1 좌우의 반송 로드(18)를 갖고, 제2 반송 장치(14B)는 제2 좌우의 반송 로드(32)를 갖는 구성을 채용하였지만, 제1 반송 로드(18) 및 제2 반송 로드(32)를 각각 1개의 로드로 구성해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 제1 반송 로드(18) 및 제2 반송 로드(32)를 왕복 이동시키는 구동 수단은 체인 컨베이어를 사용하였지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.
상기 실시 형태에서는, 제1 반송 로드(18) 및 제2 반송 로드(32)의 폭을 조정함으로써 제1 기판 반송 레일(8), 제2 기판 반송 레일(9)의 폭을 조정하도록 하였지만, 제1 기판 반송 레일(8) 및 제2 기판 반송 레일(9)의 폭을 직접적으로 조정하는 기구를 설치해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 제1 좌우의 반송 로드(18), 제2 좌우의 반송 로드(32) 및 좌우의 기판 지지 부재(12) 중 한쪽을 다른 쪽에 대해 상대적으로 기판(7)의 폭 방향으로 이동 가능하게 한 예를 나타냈지만, 한 쌍의 부재 모두 기판(7)의 폭 방향으로 이동 가능하게 구성해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 감압실을 리플로우실의 내부에 설치한 예를 나타냈지만, 감압실을 기판의 반송 경로의 도중(리플로우실과는 다른 부위)에 배치해도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는 노내의 기체로서 질소 가스를 사용한 것을 나타냈지만, 기체는 질소 가스에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 공기를 사용하는 경우도 있다.
본 발명은, 기판 상의 전자 부품을 용접하는 리플로우로에 한정되지 않는다. 본 발명은 피처리물(워크)을 반송하는 반송 경로에 처리부를 갖는 가열 처리 장치이다. 처리부에서는 워크의 반송을 정지한 상태에서 워크에 대해 처리가 행해진다. 이 처리부를 개폐 가능한 방으로 구성해도 된다. 처리실의 개폐는 도어로 행해도 되고, 상기한 실시예와 같이 상측 하우징(제1 하우징)과 하측 하우징(제2 하우징)이 상대적으로 이격되거나 근접하거나 하여 개방된 상태와 폐쇄된 상태를 형성하도록 해도 된다.
처리부에 관한 예로서, 처리부가 예를 들어 턴테이블을 갖고, 이 턴테이블에서 워크의 방향을 수평면 내에서 바꾸도록 해도 된다. 또한, 상기 반송 경로에 설치한 처리부가, 평면에서 보았을 때에 당해 반송 경로로부터 횡방향으로 이격되는 방향으로 이동 가능해도 된다.
1 : 리플로우로
2A, 2B : 예비 가열실
3A, 3B : 리플로우실
4 : 냉각실
5 : 감압실
5A : 감압실의 상측 하우징
5B : 감압실의 하측 베이스
7 : 전자 부품을 탑재한 프린트 기판
8 : 상류측 기판 반송 레일
9 : 하류측 기판 반송 레일
12 : 감압실의 기판 지지 부재
12a : 기판 지지 부재의 레일부
13 : 기판 지지 부재의 오목 홈
18 : 제1 반송 로드
19 : 푸셔편
32 : 제2 반송 로드

Claims (10)

  1. 피처리물(7)을 반송하는 반송 경로에 처리부(5)를 갖는 가열 처리 장치이며,
    상기 반송 경로가, 상기 처리부(5)의 좌우로 이격되어 배치되고 또한 상기 피처리물(7)을 지지하기 위한 한 쌍의 지지 부재(12A, 12B)와, 상기 처리부(5)를 사이에 두고, 상류측에 좌우로 이격되어 배치되고 또한 상기 피처리물(7)을 지지하기 위한 한 쌍의 상류측 안내 부재(60A, 60B)와, 상기 처리부(5)의 하류측에 좌우로 이격되어 배치되고 또한 상기 피처리물(7)을 지지하기 위한 한 쌍의 하류측 안내 부재(70A, 70B)로 구성되고,
    상기 한 쌍의 지지 부재(12A, 12B), 상기 한 쌍의 상류측 안내 부재(60A, 60B), 상기 한 쌍의 하류측 안내 부재(70A, 70B) 중 적어도 한쪽의 상기 지지 부재(12B), 상기 상류측 안내 부재(60B), 상기 하류측 안내 부재(70B)가 상기 반송 경로의 횡방향으로 이동 가능하고,
    상기 횡방향으로 이동 가능한 상기 상류측 안내 부재(60B)에 설치되고 또한 제1 반송 로드(18)를 왕복 운동 가능하게 수용하는 상류측 홈(68)과,
    상기 처리부(5)의 상기 횡방향으로 이동 가능한 상기 지지 부재(12B) 및 상기 횡방향으로 이동 가능한 상기 하류측 안내 부재(70B)에 각각 설치되고 또한 제2 반송 로드(32)를 왕복 운동 가능하게 수용하는 지지 부재 홈(13), 하류측 홈(78)과,
    상기 제1 반송 로드(18)에 설치되고 또한 상기 피처리물(7)의 후방면과 결합하는 제1 푸셔 부재(19)와,
    상기 제2 반송 로드(32)에 설치되고 또한 상기 처리부(5) 내의 상기 피처리물(7)의 후방면과 결합하는 제2 푸셔 부재(19)를 갖고,
    상기 상류측 홈(68)에 상기 제1 반송 로드(18)를 삽입한 상태에서 상기 제1 반송 로드(18)를 상기 반송 경로의 폭방향으로 변위시킴으로써 상기 한 쌍의 상류측 안내 부재(60A, 60B)의 간격이 조정되고,
    상기 지지 부재 홈(13) 및 상기 하류측 홈(78)에 상기 제2 반송 로드(32)를 삽입한 상태에서 상기 제2 반송 로드(32)를 상기 반송 경로의 폭방향으로 변위시킴으로써 상기 처리부(5)의 상기 한 쌍의 지지 부재(12A, 12B) 및 상기 한 쌍의 하류측 안내 부재(70A, 70B)의 간격이 조정되는 것을 특징으로 하는, 가열 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가열 처리 장치가, 상기 제1 반송 로드(18), 상기 제2 반송 로드(32)를 그 축선을 중심으로 하여 정방향 또는 역방향으로 축 회전시키는 전환 기구를 더 갖고,
    상기 전환 기구를 동작시킴으로써, 제1 반송 로드(18)의 상기 제1 푸셔 부재(19) 및 제2 반송 로드(32)의 상기 제2 푸셔 부재(19)가, 상기 피처리물(7)의 후방면과 결합되는 결합 위치와, 상기 피처리물(7)로부터 이격되는 퇴피 위치를 취할 수 있는, 가열 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 전환 기구가, 상기 제1 반송 로드(18), 상기 제2 반송 로드(32)의 왕복 이동에 연동되어, 상기 제1 반송 로드(18), 상기 제2 반송 로드(32)를 정방향 또는 역방향으로 축 회전시키는 캠 기구로 구성되어 있는, 가열 처리 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 가열 처리 장치를 동작시켜 상기 제1 반송 로드(18)에 의해 상기 피처리물(7)을 반송할 때, 상기 제1 반송 로드(18)의 일부가 상기 지지부재 홈(13)에 삽입되는, 가열 처리 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 처리부(5)가 개폐 가능한 방으로 구성되고,
    상기 방이 개방된 상태에서 상기 피처리물(7)의 출납이 행해지고,
    상기 방이 폐쇄된 상태에서 상기 피처리물(7)이 가열 처리되는, 가열 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 개폐 가능한 방이 상대적으로 이격 접근하는 제1, 제2 2개의 하우징으로 구성되고,
    상기 제1, 제2 하우징이 상대적으로 접근함으로써 상기 방이 폐쇄된 상태로 되고,
    상기 제1, 제2 하우징이 상대적으로 이격됨으로써 상기 방이 개방된 상태로 되는, 가열 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 가열 처리 장치가 리플로우로이고,
    상기 처리부(5)가 감압실로 구성되어 있는, 가열 처리 장치.
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