JPH01228734A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は電子回路基板等の基板を加工する工程で用いる
基板搬送装置に関する。

（ロ）従来の技術 平行するガイドレールにより基板搬送ラインを構成し、
この基板搬送ラインに沿って基板を移動させつつ基板を
加工する生産方式は、電子回路基板組立工程において広
く実用化され工いる。かかる装置では、爪により基板を
後続ステーンヨンヘかき送って行くことが多い、特開昭
５９−１３９４１４号公報、実開昭６１−１８７６２９
号公報、同６２−１３６４４３号公報等にその例を見る
ことができる。また、ガイドレールの一方を他方に対し
間隔可変にして、異なる幅の基板に対応させることも一
般的である。特開昭６２−１４４２０７号公報、実開昭
５７−７７２１３号公報、同５９−４２０６６号公報等
にその例がある。

（ハ）発明が解決しようとする問題点 基板搬送ライン中の基板を爪で押す場合、押す位置が基
板中心線から大きく偏っていると、基板がこじられる形
になり、基板送りがスムーズに行かない場合が生じる。

そこで、基板は常に中心線近傍を押すようにしたい、と
ころで基板の幅が変化した場合、ガイドレールの一方は
動かず、もう一方のみが動くため、基板の中心線の位置
はその都度変動することになる。そこで本発明は、基板
の幅が変わり基板中心線の位置がずれた場合、これに追
随して爪の位置を自動的に変化きせることのできる装置
を提供しようとするものである。

（ニ）　　問題点を解決するための手段本発明では、固
定ガイドレール及び可動ガイドレールからなる基板搬送
ラインにスライダを並設し、このスライダから基板送り
用の爪を突出させる。スライダの支持フレームは基板搬
送ラインと直角に延びるスライド軌道上に設置する。こ
のスライド軌道と平行に位置不動の同定ラックを設け、
また可動ガイドレールの可動支持部材には、同じくスラ
イド軌道と平行に可動ラックを取り付ける。これら固定
ラックと可動ラックとに、スライダ支持フレームに枢着
したピニオンをかみ合わせる。

（ホ）作用 基板の幅がＷｌなる値増減すると、可動ガイドレールも
固定ガイドレールに対しＷｌだけ間隔を広げまたは狭め
る。可動ガイドレールに移動に伴ない、可動ラックによ
って支持フレームのピニオンに回転が与えられ、ピニオ
ンは固定ラックの上を転がる。ピニオンの移動距離はＷ
１／２、すなわち支持フレームは可動ガイドレールの移
動量の半分だけ移動することになる。ところで基板の中
心線の位置も、固定ガイドレールから見てＷ１／２の距
離変化しているから、結局爪の変位と基板中心線の変位
とが一致し、常に基板の中心線近傍に爪を当接させるこ
とが可能となる。

くべ）実施例 （１）は平行するガイドレールの間に基板を流す基板搬
送ラインである。基板搬送ライン（１）中、加工ステー
ジョン（３）に相当する個所は水平面内で２次元移動す
る基板位置決め装置く５）により構成され、それより上
流側の部分はローディングブリッジ（７）、下流側の部
分はアンローディングブリッジ（９）となっている、基
板位置決め装置（５）は平行するガイドレール（ｔｔ）
（ｔ２）を有し、ローディングブリッジ（７）、アンロ
ーディングブリッジ（９）も同じく平行するガイドレー
ル（１３）（１４）（１５）（１６）を有する。ガイド
レール（１１）（１３）（１５）が−直線に並び、また
ガイドレール（１２）（１４）（１６）が−直線に並ぶ
ことにより、連続したガイドレール構造が構成される。

基板位置決め装置（５）は基板（１８）を受は渡す時の
みローディングブリッジ（７）とアンローディングブリ
・／ジ（９）の間に入り込み、基板加工時にはそこから
抜は出して２次元移動を行なうものである。あるいは、
この種基板搬送平面において多く見受けられるように、
ローディングブリッジ（７）とアンローディングブリッ
ジ（９）を互に遠ざけて基板位置決め装！（５）の移動
空間を確保するようにしても良い。基板位置決め装置（
５）には前縁用位置基準部材（２０）と後縁用位置基準
部材（２１）が設けられる。前縁用位置基準部材（２０
）と後縁用位置基準部材（２１）は図示しない昇降機構
によって基板搬送平面に持ら上ぼられ、また、そこから
引き下げられる。前縁用位置基準部材（２０）と後縁用
位置基準部材（２１）は、これまた図示しない水平駆動
機構により水平方向の動きも与えられるものであり、位
置基準として選択されなかった方の部材はこの水平方向
の動きにより他方の部材に基板（１８）を押しつける役
割を果たす。

ガイドレール（１３）（１４）（１５）（１６）の内側
にはそれぞれ基板搬送ベルト（２３）（２４）を配置す
る。ローディングブリッジ（７）には基板搬送ベルト（
２３）によって運ばれて来た基板（１８）を一定位置で
待機させる基板ストッパ（２６）を設ける。基板ストッ
パ（２６）は、位置基準部材（２０）（２１）と同様、
図示しない昇降機構によって基板搬送平面に持ち上げら
れ、また、そこから引き下げられるものである。

（３０）は基板搬送ライン（１）と平行してスライドす
るスライダである。スライダ（３０）は矩形のベース（
３１）を中心として組み立てられており、゛ベース（３
１）の上面には両端と中央に計３個の支持Ｗ（３２）を
固設し、その間に１対の平行な取付バー（３３）を掛は
渡す、ベース（３１）の下面にはボールスプライン軸受
（３４）が固設されている。ボールスプライン軸受（３
４）は支持フレーム（３５）に支持したボールスプライ
ン軸（３６）にスライド自在且つ回転不能に嵌合する。

従ってボールスプライン軸（３６）を回動させればその
軸線まわりにスライダ（３０）も回動する。第２図に示
すように、ボールスプライン軸（３６）の一端にはレバ
ー（３７）を固定する。レバー（３７）の先端と支持フ
レーム（３５）との間には引張コイルばね（３８）を張
り渡し、ボールスプライン軸（３６）に一方向への回動
力を与える。支持フレーム（３５）にはまた、エアシリ
ンダ（３９）を枢支し、このエアシリンダ（３９）のロ
ッド（４０）をレバー（３７）に連結し、ロッド（４０
）を伸長させることにより、引張フィルばね（３８）に
抗しボールスプライン軸（３６）を逆方向に回動させる
。このボールスプライン軸（３６）の回動が、後述する
爪の昇降をもたらすものである。　（４１）（４２）は
スライダ（３０）に連結した引張フィルばねとワイヤで
、引張コイルばね（４１）によりスライダ（３０）を下
流方向へ引き、ワイヤ（４２）でこれを上流に引き戻す
ことにより、スライダ（３０）に基板送り方向の直線往
復動が与えられるものである。

取付バー（３３）には上流側より順に第１爪（５０）、
第２爪〈５１）、第３爪（５２）を装着する。冬瓜は基
板搬送ライン（１）の中央位置に延び出し、下向きに折
れ曲がった先端部で基板（１８）の中心線近傍を押して
、基板（１８）の送り込み、送り出しを行なう。

前記ガイドレールのうち、スライダ（３０）から遠い方
のガイドレール（１１）（１３）（１５）は、基板搬送
幅の変更に関与しないという意味での固定ガイドレール
であり、近い方のガイドレール（１２）（１４）＜１６
）は、固定ガイドレール（１１）（１３）（１５）との
間隔を変更可能な可動ガイドレールとなっている。

支持フレーム（３５）は、基板搬送ライン（１）と直角
に延びるスライド軌道（６０）上に支持されている。す
なわち支持フレーム（３５）は、スライダ（３０）は直
角の方向に・スライド可能である。基板搬送ライン（１
）を支えるテーブル面にはスライド軌道（６０）と平行
に固定ラック（６１）を固着する。また可動ガイドレー
ル（１４）を支える可動支持部材（６２）には、これも
スライド軌道（６０）と平行に、可動ラック（６３）を
固定する。可動ラック（６３）と固定ラック（６１）は
上下向かい合う位置にあり、その間にピニオン（６４）
を挾み込んで、ラック（６１）（６３）の歯部に対しピ
ニオン（６４）の歯部を同時にかみ合わせている。ピニ
オン（６３）は支持フレーム（３５）に枢着した片持軸
（６５）に固定する。可動支持部材（６２）からは被駆
動ラック（６６）が突出し、駆動軸（６７）のピニオン
（６８）にかみ合う、駆動軸（６７）は図示しない電動
機によって回転せしめられ、これによって可動支持部材
（６２）に移動が生じる。可動ガイドレール（１６）の
移動機構、また可動ガイドレール（１６）と支持フレー
ム（３５）の間の運動伝達機構も上記と同様に構成され
る。可動ガイドレール（１２）は、可動ガイドレール（
１４）（１６）に連結して間隔変更の動きを与えられる
が、その機構についての説明はここでは省略する。

次に動作を説明する。第５図において、基板（１８）は
ＷＯなる幅を有しており、基板搬送ラインく１）の幅も
それに合わせて調整されている。基板位置決め装置（５
）の上の基板（１８）は加工済であり、ローディングブ
リッジ（７）の上の基板（１８）には未だ加工が施され
ていない０位置基準部材（２０）（２１）及び基板スト
ッパ（２６）は当初基板搬送平面に先端を突き出してい
るが、基板（１８）の送り込み・送り出しを行なう段階
では基板搬送平面の下へ沈み込む、第１・第２・第３爪
（５０）（５１）（５２）は、基板搬送平面の上に持ち
上げられていたものが、位置基準部材（２０）（２１）
及び基板ストッパ（２６）と入れ替わりに降下し、第１
爪（５０）はローディングブリッジ（７）上の基板（１
８）の直後に、第２爪（５１）は同じ基板（１８）の直
前に、第３爪（５２）は基板位置決め装置（５）上の基
板（１８）の直後に、それぞれ位置を占める。第１・第
２・ｖＪ３爪（５０）（５１）（５２）の先端は、固定
ガイドレール（１１）（１３Ｘ　１５）の側から約Ｗｏ
／２離れている。この状態でワイヤ（４２）を繰り出す
と、スライダ（３０）はばね（４１）に引かれてスライ
ドし、第１爪（５０）と第２爪（５１）は未加工の基板
（１８）を挾んで基板位置決め装置へ送り込み、第３爪
（５２）は基板位置決め装置（５）から加工済の基板（
１８）をアンローディングブリッジ（９）へ送り出す、
その後第１・第２・第３爪（５０）（５１）（５２）は
持ち上げられ、スライダ（３０）は旧位置に復する０位
置基準部材（２０）（２１＞と基板ストッパ（２６）は
基板微速平面に浮上する０位置基準部材（２０）（２１
）は、−方が位置基準となって静止位置を保ち、他方が
これに基板（１８）を押しつける。基板ストッパ（２６
）は基板搬送ヘルド（２３）によって運ばれて来た基板
（１８）を受は止める。基板搬送ベルト（２４）は加工
済の基板（１８〉を運び去る。加工ステージョン（３）
においては、基板位置決め装置く５）がローディングプ
リッ′）（７）とアンローディングプリ／ジ（９）の間
から抜は出し、基板＜１８）の所定個所を加工用工具の
下に位置させる。第１図には、加工用工具の一例として
、基板（１δ）に密布したｍ１剤にナツプ状１子部品（
７０）を押しっけ名真空チャック（７１）が描かれてい
る。

第６図は、より幅広の基板（１８’）を扱うことになっ
た時の状況を示す、基板（１ｇ’）の幅Ｗ２は基板（１
８）の幅ＷＯよりもＷｌだけ大きい、その分可動ガイド
レール（１２）（１４）（１６）が移動した訳であるが
、移動に伴なって可動ラック（６３）はピニオン（６４
）を固定ラック（６１）の上で転がす０機構学の教える
通り、ピニオン（６４）は可動ラック（６３）の移動量
１／２の距離だけ移動する。従ってこの場合、支持フレ
ーム（３５）はＷ１／２の距離を移動する。これに伴な
って固定ガイドレール（１１）（１３）（１５）の側と
第１・第２・第３爪（５０）（５１）（５２）の先端と
はＷｚ／２１１１れることになり、基板中心線の変位に
冬瓜の先端は正しく追随したことになる。

なお本実施例においては単一のピニオン（６４）を固定
ラック（６１）と可動ラック〈６３）にかみ合わせてい
るが、スペースの関係で固定ラック（６１）と可動ラッ
ク（６３）を向かい合わせに配置できない場合は、嬢−
の軸に歯数にピッチ円直径の等しい企個のピニオンを固
定し、１方のピニオンを固定テ・７りにかみ合わせ、他
方のピニオンを可動ラックにかみ合わせても、同じ動き
を得ることができる。

（ト）　発明の効果 本発明によれば、可動ガイドレールの移動に伴なって爪
がその半分の距離だけ自動的に移動するから、基板の幅
如何にかかわらず、基板における爪の当接個所を常に一
定の寸法比の位置に、好ましくは基板の中心線近傍に保
つことが可能となり、基板送り動作を円滑に遂行するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置上部の構成
を示す斜視図、第２図は第１図とは逆の方向から見た要
部斜視図、第３図はスライダ支持フレームの移動機構を
示す斜視図、第４図は部分拡大正面図、第５図及び第６
図は基板幅と爪位置との対応関係を説明する上面図であ
る。 （１８）（１８’）・・・基板、〈１）・・・基板搬送
ライン、（１１）（１３）（１５）・・・固定ガイドレ
ール、（１２＞（１４＞＜１６＞・・・可動ガイドレー
ル、　（３０）・・・スライダ、　（５０）・・・第１
爪、（５１）・・・第２爪、り５２）・・・第３爪、（
３５）・・・支持フレーム、（６０）・・・スライド軌
道、（６１）・・・固定ラック、（６２）・・・可動支
持部材、〈６３）・・・可動ラック、（６４）・・・ピ
ニオン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）固定ガイドレール及び、これに対し間隔可変の可
   動ガイドレールからなる基板搬送ラインにスライダを並
   設し、このスライダから突出した爪を基板搬送ライン上
   の基板に係合させて基板送りを行なうものにおいて、 前記スライダを支持する支持フレームを、基板搬送ライ
   ンと直角に延びるスライド軌道上に設置すると共に、位
   置不動の固定ラックと、前記可動ガイドレールの可動支
   持部材に取り付けた可動ラックとを、それぞれ前記スラ
   イド軌道と平行に配置し、これら固定ラックと可動ラッ
   クとに、前記支持フレームに枢着したピニオンをかみ合
   わせてなる基板搬送装置。