JPS6081950U - ウエハ搬送レ−ル - Google Patents
ウエハ搬送レ−ルInfo
- Publication number
- JPS6081950U JPS6081950U JP17401883U JP17401883U JPS6081950U JP S6081950 U JPS6081950 U JP S6081950U JP 17401883 U JP17401883 U JP 17401883U JP 17401883 U JP17401883 U JP 17401883U JP S6081950 U JPS6081950 U JP S6081950U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- guide rail
- wafer transfer
- transfer rail
- movable guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Special Conveying (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図イは従来方式の空圧による搬送方式の斜視図、第
1図口、ハは同じくベルト搬送の正面図、第2図は本考
案の実施例を示す斜視図、第3図は第2図に示した実施
例の平面図、第4図は正面図である。 1・・・ウェハ、2・・・固定ガイドレール、3・・・
送り爪、4・・・送り爪駆動用動力機構、5・・・可動
ガイドレール、6・・・可動ガイドレール引張用動力機
構、7・・・可動ガイドレール押しバネ、訃・・スライ
ドガイド。
1図口、ハは同じくベルト搬送の正面図、第2図は本考
案の実施例を示す斜視図、第3図は第2図に示した実施
例の平面図、第4図は正面図である。 1・・・ウェハ、2・・・固定ガイドレール、3・・・
送り爪、4・・・送り爪駆動用動力機構、5・・・可動
ガイドレール、6・・・可動ガイドレール引張用動力機
構、7・・・可動ガイドレール押しバネ、訃・・スライ
ドガイド。
Claims (1)
- ウェハの搬送路を形成する固定ガイドレール及び可動ガ
イドレールと、両ガイドレール間にはさまれたウェハを
押しながら、両ガイドレールに沿って送りを与える送り
爪とからなり、前記両ガイ−トレールに、ウェハ外周の
面取部を支えるテーパ部を付設し、前記固定ガイドレー
ルを固設するとともに、前記可動ガイドレールに開閉制
御機構を連結してこれをウェハの搬送方向に対して直角
方向に移動可能に設置したことを特徴とするウェハ搬送
レール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17401883U JPS6081950U (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | ウエハ搬送レ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17401883U JPS6081950U (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | ウエハ搬送レ−ル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6081950U true JPS6081950U (ja) | 1985-06-06 |
Family
ID=30378948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17401883U Pending JPS6081950U (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | ウエハ搬送レ−ル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6081950U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2013099886A1 (ja) * | 2011-12-26 | 2015-05-07 | 有限会社ヨコタテクニカ | 加熱処理装置 |
-
1983
- 1983-11-10 JP JP17401883U patent/JPS6081950U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2013099886A1 (ja) * | 2011-12-26 | 2015-05-07 | 有限会社ヨコタテクニカ | 加熱処理装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6081950U (ja) | ウエハ搬送レ−ル | |
JPS60183742U (ja) | シ−ト状部材の選択供給装置 | |
JPS585343U (ja) | リ−ドフレ−ム搬送位置決め機構 | |
JPS592139U (ja) | 搬送部品の位置決め機構 | |
JPS595549U (ja) | 搬送シ−ト材の位置決め装置 | |
JPS584532U (ja) | ワ−ク集積装置 | |
JPS6132138U (ja) | 給紙トレイ装置 | |
JPS58131219U (ja) | ベルトコンベアによる被加工物反転移送装置 | |
JPS6091602U (ja) | 搬送機構 | |
JPS5841719U (ja) | パレツト停止装置 | |
JPS60157748U (ja) | 給紙搬送装置 | |
JPS601720U (ja) | ネツトコンベア | |
JPS6115084U (ja) | 搬送シユ−ト装置 | |
JPS60166851U (ja) | カセツト・オ−トチエンジヤにおけるカセツト駆動装置 | |
JPS5913007U (ja) | 閉鎖配電盤のシヤツタ装置 | |
JPS5929251U (ja) | 用紙ガイド | |
JPS595511U (ja) | パネルハンガ−搬送装置 | |
JPS58117433U (ja) | 紙の幅寄せ搬送装置 | |
JPS6133436U (ja) | リードフレーム搬送装置 | |
JPS5932610U (ja) | 包装体用ガイド | |
JPS592720U (ja) | 被搬送体の搬送装置 | |
JPS595461U (ja) | 荷搬送設備 | |
JPS5840840U (ja) | 無塵搬送装置 | |
JPS58112503U (ja) | 部材送り機構 | |
JPS5867816U (ja) | 部品の分配機構 |