KR101427433B1 - 결함 검출 장치 및 결함 검출 방법 - Google Patents

결함 검출 장치 및 결함 검출 방법 Download PDF

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다이사쿠 모치다
도루 요시카와
히로마사 시바타
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Abstract

표면에 패턴이 형성된 시료의 결함을 검사하는 장치로서, 시료(10)를 얹어 놓고 직선 이동 및 회전이 가능한 스테이지(11)와, 광원(1)과, 광원으로부터의 임의의 파장 영역을 선택하여, 편광자(7)와 대물 렌즈(9)를 통해서 시료면을 낙사 조명하는 조명 광학계와, 그 조사에 의한 상기 시료의 표면으로부터의 반사광을 상기 대물 렌즈(9)와, 편광자와 크로스니콜 조건을 만족하는 검광자(12)를 통해서 동공상을 얻는 검출 광학계와, 얻어진 동공상을 미리 기억해 둔 동공상과 비교하여 상기 시료의 결함을 검출하는 검출부를 갖는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치. 피검사 기판 위의 패턴 형상의 양부를 단시간에 판별할 수 있다.
결함 검사 장치

Description

결함 검출 장치 및 결함 검출 방법{DEFECT DETECTING APPARATUS AND DEFECT DETECTING METHOD}
본 발명은, 결함 검출 장치 및 결함 검출 방법에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼의 표면에 형성된 패턴의 양부(良否)를 판단하는 방법으로서, 주사형 전자현미경(SEM)에 의한 관찰에 의해, 단면 형상을 계측하는 방법이 여러 가지 제안되어 있다. SEM에 의한 단면 형상의 계측은, 피검 기판 위의 패턴에 조사한 전자선을 패턴의 단면 방향으로 주사하여, 패턴으로부터의 반사 전자나 2차 전자를 검출, 분석하고, 주사한 부분의 단면 형상을 구하는 방법으로 행해진다. 상기의 조작을 패턴 위의 몇 점에서 행하여, 패턴 전체의 형상의 양부를 판단한다.
패턴의 양부를 판단하는 그 외의 방법으로서, 스케터로미터에 의한 CD 및 오버레이의 인라인 측정 기술이 있다.
분광 스케터로미터는, 파장의 함수로서의 고정 각도로써 산란광의 특성을 측정하고, 통상은 크세논, 중수소, 또는 크세논아크등과 같은 할로겐계 광원과 같은 광대역 광원을 사용한다. 고정 각도는 수직 입사나 경사 입사가 좋다.
각도 분해 스케터로미터는 입사각의 함수로서 고정 파장으로써 산란광의 특성을 측정하고, 통상은 단일 파장의 광원으로서 레이저를 사용한다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2005-188944호 공보
SEM에 의한 계측 방법은, 패턴 위에 전자선을 조사하여 주사하는 작업을 몇 회 반복하여 행하기 때문에, 패턴의 형상을 구하는 데 방대한 시간이 요구된다. 또한 관찰 배율이 높기 때문에, 웨이퍼 위의 모든 패턴 형상을 구하는 것은 곤란하고, 몇 점을 샘플링하여 웨이퍼 전체의 양부를 판단한다. 그 결과, 샘플링된 패턴 이외의 부분에 결함이 있어도 놓쳐 버린다. 또한, 레지스트 패턴에서는, 전자선을 조사하면 가속 전압에 의해 전자선이 레지스트에 흡수, 차지되어 패턴의 감소가 발생한다. 경우에 의해서는 방전이 발생하여 패턴이 무너져 버리고, 그 후의 공정에서 문제점이 생기기 때문에, 가속 전압이나 관찰 배율을 여러 가지로 바꾸면서 최적의 관찰 조건을 구한다. 이 때문에, 계측에 시간을 더 요한다.
각도 분해 스케터로미터 기술의 문제는, 1회에 하나의 파장밖에 검출하지 않는 것이고, 따라서 복수의 파장이 있는 스펙트럼은, 그 파장을 시분할 다중화해야 하며, 스펙트럼의 검출 및 처리에 따른 전체 취득 시간이 증가해 버린다. 분광 스케터로미터로는, 작은 격자를 입사각의 작은 확대로 조명해야하기 때문에, 이 확장 광원으로부터의 대량의 광이 쓸모없어진다. 그 결과, 검출기 위의 광의 레벨이 낮아져, 취득 시간이 길어지고, 작업 처리량에 마이너스의 영향을 미친다. 짧은 취득 시간을 선택하면, 측정 결과가 안정되지 않는 경우가 있다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 레지스트 패턴, 에칭 후의 패턴에 상관없이, 피검사 기판 위의 패턴 형상의 양부를 단시간에 판별할 수 있는 표면 검사 장치 및 표면 검사 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 제1 수단은, 표면에 패턴이 형성된 시료의 결함을 검사하는 장치로서,
상기 시료를 얹어 놓는 스테이지와,
광원과,
상기 광원으로부터 출사된 광을 편광자와 대물 렌즈를 통해서 시료면에 낙사 조명하는 조명 광학계와,
그 조사에 의한 상기 시료 표면으로부터의 반사광을 상기 대물 렌즈와, 상기 편광자와 크로스니콜 조건을 만족하는 검광자를 통과시켜 상기 대물 렌즈의 동공상(瞳像)을 검출하는 검출 광학계와,
얻어진 상기 동공상을 미리 기억해 둔 동공상과 비교하고 상기 시료의 결함을 검출하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제2 수단은, 표면에 패턴이 형성된 시료의 결함을 검사하는 장치로서,
상기 시료를 얹어 놓는 스테이지와,
광원과,
상기 광원으로부터 출사된 광을 편광자와 대물 렌즈를 통해서 시료면에 낙사 조명하는 조명 광학계와,
그 조사에 의한 상기 시료 표면으로부터의 반사광을 상기 대물 렌즈와, 상기 편광자와 크로스니콜 조건을 만족하는 검광자를 통과시켜 상기 대물 렌즈의 동공상을 검출하는 검출 광학계와,
상기 동공상의 광축에 대하여 대칭인 부분을 서로 비교하고, 상기 시료의 결함을 검출하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제3 수단은, 상기 제1 수단 또는 제2 수단으로서, 상기 조명 광학계는 조도 균일화 유닛, 임의의 파장 대역을 선택 가능한 복수의 간섭 필터, 개구 조리개를 가지며, 상기 대물 렌즈에 대한 조명 σ가 가변적인것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제4 수단은, 상기 제1 수단부터 제3 수단 중 어느 하나로서, 상기 대물 렌즈에 의한 편광 주축의 회전량이 1˚∼25˚인 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제5 수단은, 상기 제1 수단부터 제4 수단 중 어느 하나로서, 상기 편광자 또는 상기 검광자는 회전 기구를 포함하고,
상기 편광자와 상기 검광자의 크로스니콜(cross nicol) 관계 대신에, 상기 편광자 또는 상기 검광자를 그 광축 중심으로 회전시킴으로써 상기 편광자의 투과축과 상기 검광자의 투과축이 이루는 각이 65˚로부터 89˚의 범위 내에 있도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제6 수단은, 상기 제1 수단부터 제5 수단 중 어느 하나로서, 상기 검출부에서의 시료의 결함 검출에 있어서, 상기 동공상 중, 감도가 높은 지점이 채용되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제7 수단은, 상기 제1 수단부터 제6 수단 중 어느 하나로서, 상기 조명 광학계 내에, 복수의 상이한 종류의 개구 조리개가, 이들 중 하나를 선택하여 사용 가능하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하는 제8 수단은, 표면에 패턴이 형성된 시료의 결함을 검사하는 방법으로서,
광원으로부터 출사된 광을 편광자와 대물 렌즈를 통해서 시료면에 낙사 조명하고,
그 조사에 의한 상기 시료의 표면으로부터의 반사광을 상기 대물 렌즈와, 상기 편광자와 크로스니콜 조건을 만족하는 검광자를 통과시켜 상기 대물 렌즈의 동공상을 얻으며,
상기 동공상을 미리 기억해 둔 동공상과 비교하여 상기 시료의 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제9 수단은, 상기 제8 수단으로서, 상기 패턴의 반복 방향을, 상기 편광자 방위로부터 45˚ 어긋나게 하여 설정하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제10 수단은, 상기 제8 수단으로서, 상기 패턴의 반복 방향을, 상기 편광자 방위로부터 22.5˚ 또는 67.5˚ 어긋나게 하여 설정하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제11 수단은, 상기 제8 수단부터 제10 수단 중 어느 하나로서, 상기 동공상의 비교는, 상기 동공상의 방사 방향의 휘도 분포와, 미리 기억해 둔 동공상의 방사 방향의 휘도 분포의 비교인 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제12 수단은, 상기 제8 수단부터 제11 수단 중 어느 하나로서, 상기 결함의 검출은, 상기 동공상의 휘도 분포와, 미리 기억해 둔 상기 동공상의 휘도 분포의 차분과 임계값에 기초하여 행하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제13 수단은, 표면에 패턴이 형성된 시료의 결함을 검사하는 방법으로서,
광원으로부터 출사된 광을 편광자와 대물 렌즈를 통해서 시료면에 낙사 조명하고,
그 조사에 의한 상기 시료의 표면으로부터의 반사광을 상기 대물 렌즈와, 상기 편광자와 크로스니콜 조건을 만족하는 검광자를 통해서 검출하여 상기 대물 렌즈의 동공상을 얻으며, 이 동공상의 광축에 대한 대칭 위치끼리의 휘도 또는 색상의 차에 기초하여, 상기 시료의 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제14 수단은, 상기 제8 수단부터 제13 수단 중 어느 하나로서, 상기 편광자와 상기 검광자의 크로스니콜 관계 대신에, 상기 편광자 또는 상기 검광자를 그 광축 중심으로 회전시킴으로써, 상기 편광자의 투과축과 상기 검광자의 투과축이 이루는 각이 65˚부터 89˚의 범위 내에 있도록 설정하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 제15 수단은, 상기 제8 수단부터 제14 수단 중 어느 하나로서, 상기 시료의 결함 검출에 있어서, 상기 동공상 중, 감도가 높은 지점을 채용하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명에 의하면, 레지스트 패턴, 에칭 후의 패턴에 상관없이, 피검사 기판 위의 패턴 형상의 양부를 단시간에 판별할 수 있는 표면 검사 장치 및 표면 검사 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태의 일례인 결함 검사 장치의 개요를 도시하는 도면이다.
도 2는 관찰하는 동공상의 분할의 예를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시형태의 다른 예인 결함 검사 장치의 개요를 도시하는 도면이다.
도 4는 복수의 단위 개구 조리개를 갖는 개구 조리개의 예를 도시하는 도면이다.
도 5은 검광자와 편광자 방위와 L/S 패턴으로 이루어지는 웨이퍼의 위치 관계를 도시하는 도면이다.
도 6은 웨이퍼에의 조사광의 입사 각도와 동공 내의 장소의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 L/S 레지스트 패턴의 이상 형상의 모식도이다.
도 8은 L/S 레지스트 패턴의 사다리꼴 형상의 모식도이다.
도 9a는 L/S 레지스트 패턴으로부터의 정반사광이 검광자를 투과하여 동공 내에 형성하는 광량 분포를 도시하는 도면이다.
도 9b는 L/S 레지스트 패턴으로부터의 정반사광이 검광자를 투과하여 동공 내에 형성하는 광량 분포를 도시하는 도면이다.
도 9c는 L/S 레지스트 패턴으로부터의 정반사광이 검광자를 투과하여 동공 내에 형성하는 광량 분포를 도시하는 도면이다.
도 10은 동공의 각 위치에서의 반사광의 편광 주축 방향을 도시하는 도면이다.
도 11a는 웨이퍼에의 광의 입사 각도와 정반사 광량과의 관계를 도시하는 도면이다.
도 11b는 웨이퍼에의 광의 입사 각도와 정반사 광량과의 관계를 도시하는 도면이다.
도 11c는 웨이퍼에의 광의 입사 각도와 정반사 광량과의 관계를 도시하는 도면이다.
도 12는 L/S 레지스트 패턴 방위각α=45˚로 설정하고, 파장λ=546 ㎚ 입사 각도 60˚에서, L/S 레지스트 패턴으로부터의 정반사광이 검광자를 투과하여 동공 내에 형성하는 광량을 계산에 의해 구한 도면이다.
도 13은 L/S 레지스트 패턴 방위각 α=45˚로 설정하고, 파장λ=436 ㎚ 입사 각도 60˚에서, L/S 레지스트 패턴으로부터의 정반사광이 검광자를 투과하여 동공 내에 형성하는 광량을 계산에 의해 구한 도면이다.
도 14는 웨이퍼 패턴의 회전 각도 α를 22.5로 하고, 웨이퍼의 상이한 장소 를 측정했을 때의, 동공 반경 방향의 반사 광량 분포를 도시하는 도면이다.
도 15는 웨이퍼 패턴의 회전 각도 α를 45˚로 하고, 웨이퍼의 상이한 장소를 측정했을 때의, 동공 반경 방향의 반사 광량 분포를 도시하는 도면이다.
도 16은 웨이퍼 패턴의 회전 각도α를 67.5˚로 하고, 웨이퍼의 상이한 장소를 측정했을 때의, 동공 반경 방향의 반사 광량 분포를 도시하는 도면이다.
도 17은 도 1에 도시하는 장치를 이용하여, 베어 웨이퍼를 관찰했을 때에 얻어지는 관찰상을 도시하는 도면이다.
<부호의 설명>
1: 광원, 2: 렌즈, 3: 조도 균일화 유닛, 4: 개구 조리개, 4a∼4e: 단위 개구 조리개, 5: 시야 조리개, 6: 렌즈, 7: 편광자, 8: 하프 미러, 9: 대물 렌즈, 10: 웨이퍼, 11: 웨이퍼 스테이지, 12: 검광자, 13: 렌즈, 14: 하프 프리즘, 15: 렌즈, 16: 시야 조리개, 17: 촬상 소자, 18: 촬상 소자, 19: 하프 미러, 20: 광원
이하, 본 발명의 실시형태의 예를, 도면을 이용하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시형태의 일례인 결함 검사 장치의 개요를 도시하는 도면이다. 광원(1)(예컨대 백색 LED나 할로겐 램프 등)으로부터 방출된 광은, 렌즈(2), 및 간섭 필터를 포함하는 조도 균일화 유닛(3)을 통해, 개구 조리개(4), 시야 조리개(5)를 경유하여, 렌즈(6)에 의해 시준된다. 개구 조리개(4), 시야 조리개(5)는, 광축에 대하여 개구부의 형상 및 개구부의 위치가 변경 가능한 구조로 되어 있다. 이것에 의해, 조명 영역의 크기와 위치가 가변이 되고, 조명의 개구각이 가변이 된다.
콜리메이트된 광은 착탈 가능한 편광자(7)를 경유하고, 하프 미러(8)에 의해 반사되어 대물 렌즈(9)에 유도되며, 직교 x, y, z 3축 방향으로 이동 가능하고, z축 둘레에 θ 회전 가능한 웨이퍼 스테이지(11) 위에 설치된 웨이퍼(10)를 동축 낙사 조명한다(이 동축 낙사 조명의 광축을 z축으로 하고 있다).
웨이퍼(10)에 동축 낙사 조명된 광은, 웨이퍼(10)에서 반사되어 다시 대물 렌즈(9)로 되돌아가고, 하프 미러(8)를 투과하며, 착탈 가능한 검광자(12), 렌즈(13)를 경유하여, 하프 프리즘(14)에 입사한다. 하프 프리즘(14)에서 반사된 광은 촬상 소자(18)에 웨이퍼(10)의 상을 결상하고, 하프 프리즘(14)을 투과한 광은, 또한 렌즈(15)를 경유하여, 광축(z축)에 대하여 x, y축 방향으로 이동 가능한 개구 형상 가변 기능을 갖는 시야 조리개(16)에 웨이퍼(10)의 상을 결상하며, 촬상 소자(17)에 대물 렌즈(9)의 동공상을 결상시킨다.
도시하지 않는 제어 장치에, 미리 촬상 소자(17)에 의해 촬상된, 건전한 패턴을 갖는 동공상을 기억해 두고(기준상), 피검사대상인 동공상(검출상)과 비교하여, 그 차이를 검출함으로써 결함을 검출한다.
결함의 검출 방법으로서는, 예컨대 기준상과 검출상의 화소마다의 휘도의 차를 비교하고, 어떤 화소에 있어서 그 차가 소정의 임계값을 초과했을 때에 결함이 있다고 판정하여도 좋다. 비교하는 화소는, 전체 화소가 아니어도 좋고, 뒤에 나타내는 바와 같이, 광축을 통과하는 소정의 선 위(방사 방향)의 화소만을 비교 대상으로 하여도 좋다.
또한, 결함이 있으면, 반사광의 대칭성이 무너지고, 동공상의 광축에 대하여 대칭인 부분끼리의 휘도 또는 색상에 차이가 나기 때문에, 이 차이를 검출함으로써 결함을 검출할 수 있다.
또한, 동공상의, 웨이퍼에의 입사각이 45˚인 경우에 대응하는 원의 내측과 외측으로 나눠, 이들 각 부분에서의 기준상과 검출상의 차를 검출하고, 그 결과에 기초하여 결함을 검출하여도 좋다. 그 외, 도 2의 (a)에 도시하는 바와 같이, 동공상(21)을 A, B, C, D, D의 각 부분으로 분할하고, 이들 각 부분에서의 기준상과 검출상의 차를 검출하여, 그 결과에 기초하여 결함을 검출하여도 좋고, 도 2의 (b)에 도시하는 바와 같이, 동공상(21)중의, 원으로 도시하는 9개의 부분에서의 기준상과 검출상의 차이를 검출하여, 그 결과에 기초하여 결함을 검출하여도 좋다. 또한, 도 2 이하의 도면에 있어서, 앞에 나온 도면에 도시된 구성 요소에는, 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략하는 것이 있다.
또한, 결함 검출의 방법으로서 동공상(대물 렌즈의 동공면의 상)의 비교를 이용하고 있는 것은, 간단한 웨이퍼면의 화상에서는, 패턴의 피치가 검사 장치의 분해능 이하가 되고, 결함이 있어도 광학적으로 검출할 수 없기 때문이다.
또한, 시야 조리개(16)를 개구의 위치나 형상이 가변인 것으로 하고 있는 것은, 웨이퍼(10)의 원하는 위치의 원하는 크기의 영역의 정보를 검출 가능하게 하기 때문이다. 또한 편광자(7)와 검광자(12)는, 크로스니콜 조건을 만족하도록 설정되어 있기 때문에, 뒤에 나타내는 바와 같은 대물 렌즈에 의한 편광 주축의 회전에 의한 영향이 있는 경우를 제외하고, 웨이퍼(10)의 패턴에 의해 편광 주축이 회전하지 않는 한, 관측되는 광량이 0에 가까워진다.
이 실시형태에서는, 개구 조리개(4)에 의해, 조명 σ(조명의 NA/대물 렌즈의 NA)가 가변으로 되어 있다. 따라서, 적당한 밝기로 웨이퍼(10)를 조명할 수 있다.
도 3은, 본 발명의 실시형태의 다른 예인 결함 검사 장치의 개요를 도시하는 도면이다. 도 3에 도시하는 결함 검사 장치는, 도 1에 도시하는 결함 검사 장치란, 하프 프리즘(14)을 투과한 광이 촬상 소자(18)에 도달하는 점과, 하프 미러(19), 광원(20)이 설치되어 있고, 하프 프리즘(14)으로 반사된 광이, 하프 미러(19)로 반사되어 촬상 소자(17)에 도달하는 점, 시야 조리개(16)와 렌즈(15)의 위치 관계가 역전되어 있는 점이 상이하다. 또한 개구 조리개(4)는, 뒤에 설명하는 바와 같이, 복수의 상이한 형상을 한 개구 조리개 중, 하나가 선택되어 광로중에 넣어지는 점도 상이하다. 그 외의 점에서는, 도 1에 도시하는 결함 검사 장치와 동일하기 때문에, 동일한 부분의 설명을 생략하고, 상이한 부분만을 설명한다.
개구 조리개(4)는, 예컨대 도 4에 도시한 단위 개구 조리개(4a, 4b, 4c, 4d, 4e)로 구성되어 있고, 개구 조리개(4)를 회전시킴으로써, 단위 개구 조리개(4a, 4b, 4c, 4d, 4e)를 선택하여 사용하는 것이 가능하다.
단위 개구 조리개(4a)는, 도 4에 도시하는 바와 같이 4 지점의 개구로 이루어지고, 단위 개구 조리개(4b)는, 도 4에 도시하는 바와 같이 8 지점의 개구로 이루어지며, 단위 개구 조리개(4c)는 도 4에 도시하는 바와 같이 9 지점의 개구로 이루어지고, 단위 개구 조리개(4d)는 도 4에 도시하는 바와 같이 중심부를 차광한 개구로 이루어지며, 단위 개구 조리개(4e)는 도 4에 도시하는 바와 같이 개구로만 이루어진다. 그리고, 각 개구의 직경은 크기 가변으로 하여도 좋다. 각 개구부에 광원(예컨대 백색 LED나 할로겐 램프 등)을 배치하여도 좋다.
웨이퍼(10)의 종류에 의해서는 조명광의 입사각을 선택하고 특별한 입사각으로 입사하는 조명광으로만 조명하는 편이 결함의 검출 성능을 상승시키는 경우가 있다. 이 때문에 단위 개구 조리개(4a, 4b, 4c, 4d, 4e)를 축차 선택함으로써, 조명광의 입사각을 바꿔 검사를 행하고, 검출 성능이 가장 좋은 검사 결과를 채용하면 좋다. 웨이퍼의 종류에 의해서, 미리 행한 검사에 의해, 어떤 단위 개구 조리개가 최적인지 알고 있는 경우에는, 처음부터, 그 단위 개구 조리개를 사용하여 검사할 수 있다.
또한, 웨이퍼(10)의 종류에 의해서는, 많은 조명광을 조사하면 손상을 부여하여 바람직하지 않은 경우가 있다. 이 경우에는, 단위 개구 조리개(4a, 4b, 4c, 4d)를 선택함으로써, 조명광의 광량을 줄일 수 있고, 웨이퍼(10)에 손상을 부여하지 않도록 할 수 있다.
또한, 검사를 행하는 경우에, 촬상 소자(18)에서 관측되는 웨이퍼(10)의 상은 넓은 범위를 촬상하고, 촬상 소자(17)에서 관측되는 웨이퍼(10)의 동공상은, 웨이퍼(10)의 특정한 좁은 범위로 한정하고자 하는 경우가 있다. 이러한 경우에는, 시야 조리개(5)의 개구를 크게 하여 웨이퍼(10)의 넓은 범위를 조명하고, 시야 조리개(16)의 개구를 작게 하여 특정한 개구 위치로 하며, 특정 범위로 시야를 좁히도록 하면 좋다.
이 경우에, 웨이퍼(10)의 어느 범위가, 동공상이 되어 촬상 소자(17)에 의해 관측되고 있는지를 알 수 없다. 이것에 대응하기 위해, 이 실시형태에서는 광 원(20)을 갖고 있다. 즉, 광원(20)으로부터 방출된 조명광은, 하프 미러(19)를 투과하고, 시야 조리개(16)를 통과하여 하프 미러(14)에서 반사되며, 렌즈(13), 검광자(12), 하프 미러(8), 대물 렌즈(9)로 이루어지는 낙사 조명 광학계를 통해서, 시야 조리개(16)의 상을 웨이퍼(10)의 표면 위에 결상한다. 그 상을, 촬상 장치(18)로 관측함으로써, 웨이퍼(10)의 어느 범위가, 동공상이 되어 촬상 소자(17)에 의해 관측되고 있는지를 알 수 있다. 광원(20)으로부터의 광이, 검사의 지장이 되는 경우에는, 예컨대 광원(1)과 광원(20)을 전환하여 사용하면 좋다. 또는 동공상이 되어 촬상 소자(17)에 의해 관측되어 있는 위치를 알 때만, 광원(20)을 점등하고, 실제의 검사시에는 광원(20)을 소등하도록 하면 좋다.
도 5는, 검광자와 편광자의 방위와 L/S 패턴으로 이루어지는 웨이퍼의 위치관계를 도시하는 도면이다. 도 5에 있어서, X축 방향으로 검광자의 방위를, Y축 방향으로 편광자 방위를 설정하고, L/S 패턴의 반복 방향이, Y축으로부터 X축 방향으로 α만큼 회전하고 있다.
여기서, 웨이퍼에의 조사광의 입사 각도와 동공 내의 장소의 관계에 대해서 도 6을 사용하여 설명한다. 웨이퍼에의 입사 각도 0˚는, 도 6의 파선으로 도시한 화살표와 같이, 동공 위에서는, 동공 중심에 위치한다. 한편, 입사 각도 64˚(NA=0.9 상당)는, 실선으로 도시한 화살표와 같이, 동공 위에서는, 동공 최주변에 위치한다. 따라서, 입사 각도는 동공 위에서는, 동공 내의 반경 방향 장소에 대응한다. 즉, 동공 내에서 광축으로부터 동일 반경에 있는 위치에 결상하는 광은, 웨이퍼에 동일 각도로 입사한 광이다.
NA=0.9의 대물 렌즈를 이용하여, 45 ㎚L/S 레지스트 패턴으로부터의 정반사광이 검광자를 투과하여 동공 내에 형성하는 광량 분포를 벡터 해석 방법으로 구한 일례를 다음에 설명한다.
도 7은, 벡터를 해석하는 데 있어서 45 ㎚L/S 레지스트 패턴의 이상 형상의 모식도를 도시하고 있고, 레지스트 폭 L1=스페이스 폭 L2=45 ㎚, 레지스트 두께 h1=110 ㎚, SiO2 두께 h2=100 ㎚로 되어 있다.
도 8은, 45 ㎚L/S 레지스트 패턴의 사다리꼴 형상의 모식도이고, 예컨대 노광 장치에 있어서, 베스트 포커스로부터 떨어져 노광되어 레지스트 패턴이 사다리꼴 형상의 형상 변화를 일으킨 경우를 상정할 수 있다. 이 사다리꼴 형상의 형상 변화를 (t1+t2)/L1(t1, t2는 각각, 사다리꼴의 좌우의 사변의 폭)로 수치화하면, 이상 상태 즉 직사각형이면 형상 변화는 0%가 되고, 삼각형이면 형상 변화는 100%가 된다.
도 5에 도시한 웨이퍼 패턴의 회전 각도 α를 45˚로 하고, 파장λ=546 ㎚에 있어서, 45 ㎚L/S 레지스트 패턴으로부터의 정반사광이 검광자를 투과하여 동공 내에 형성하는 광량 분포를 구한 바, 도 9a∼도 9c에 도시하는 바와 같은 결과를 얻을 수 있었다.
도 9a∼도 9c는, 횡축에 입사 각도, 종축에 정반사 광량을 취하고, 형상 변화가 0%, 40%, 80%인 L/S 패턴을 관찰했을 때의 양자의 관계를 꺽은선 그래프로 도시한 것이며, 도 9a는, 도 10에 도시한 동공 내의 O-U 단면에서의 반사 광량, 도 9b는, 도 10에 도시한 동공 내의 O-UL 단면에서의 반사 광량, 도 9c는 도 10에 도시한 동공 내의 O-UR 단면에서의 반사 광량이 된다. 또한, 도 9a∼도 9c에 도시하는 그래프의 종축의 스케일은, 형상 변화 0%일 때의, O-UL 단면의 정반사광 최대값을 1로 하여 규격화하고 있다. 또한, 입사 각도는, 전술과 같이 동공 내에서는 반경에 대응하기 때문에, 도 9a∼도 9c의 데이터는, 상기 각 단면의 반경을 횡축으로 취했을 때의 정반사 분포에 대응하는 것이다.
또한, 도 10은 동공의 각 위치에서의 반사광의 편광 주축 방향을 화살표로 도시하는 것이다. 편광축은 X축 방향, Y축 방향(R, L, U, D, O)에서는, Y축 방향(편광자의 방위 방향)을 향하고 있고 회전하지 않지만, X축, Y축에 대하여 45˚경사진 방향(UR, LR, LL, UL)에서는, 동공 주변부에서 약 4.5˚ 회전하고 있다.
도 9a∼도 9c로부터, 입사 각도가 커지면 반사 광량이 증가하지만, 형상 변화가 커지면 반사 광량이 저하하는 것을 알 수 있다. 따라서, 정상적인 L/S 패턴을 갖는 웨이퍼의 반사 광량과, 피검사체인 웨이퍼의 반사 광량을 비교함으로써, 형상 변화의 크기, 즉 결함의 정도가 검출 가능해진다.
또한, 도 9로부터 동공 내의 장소에 의해 반사 광량이 상이하고, O-UL 단면이 가장 반사 광량이 큰 것을 알 수 있다. 또한 입사 각도 60˚에서는 형상 변화에 수반하는 반사 광량의 변화량은, O-UL 단면에서 가장 큰 것을 알 수 있다. 따라서, 편광자와 검광자를 크로스니콜의 상태로 하고, 도 7, 도 8에 도시하는 구조로 이루어지는 45 ㎚L/S 패턴의 형상 변화를 동공 내에서 검출하는 방법에 있어서는, 파장λ=546 ㎚에서는, O-UL 단면의 입사 각도 60˚ 부근의 광량 변화를 계측함 으로써 감도가 높은 패턴 결함 검사가 가능하게 된다.
도 11a∼도 11c는, 횡축에 웨이퍼에의 광의 입사 각도, 종축에 정반사 광량비를 취하고, 형상 변화가 0%, 40%, 80%인 L/S 패턴을 관찰했을 때의 양자의 관계를 꺽은선 그래프로 도시한 것이고, 도 11a는, 도 10에 도시하는 동공 내의 O-U 단면에서의 반사 광량비, 도 11b는, 도 10에 도시한 동공 내의 O-UL 단면에서의 반사 광량비, 도 11c는, 도 10에 도시한 동공 내의 O-UR 단면에서의 반사 광량비가 된다. 또한, 도 11은, 형상 변화 0%에서의 정반사 광량으로 규격화하고 있다.
도 11a∼도 11c로부터, 형상 변화에 수반하는 반사 광량비가 입사 각도와 동공 내의 장소에 따라 상이한 것을 알 수 있다. O-UL 단면에서는, 입사 각도가 커지면, 형상 변화에 수반하는 정반사 광량비의 변화가 작아지지만, O-UR 단면에서는, 입사 각도가 커지면, 형상 변화에 수반하는 정반사 광량비의 변화가 커지는 것을 알 수 있다.
이 때문에, 편광자와 검광자를 크로스니콜의 상태로 하여, 도 7, 도 8에 도시하는 구조로 이루어지는 45 ㎚L/S 패턴의 형상 변화를 동공 내에서 검출하는 방법에 있어서는, 파장λ=546 ㎚에서는, O-UR 단면의 입사 각도 60˚ 부근의 광량 변화 비율을 계측함으로써 감도가 높은 패턴 결함 검사가 가능하게 된다.
따라서, 패턴 구조의 정보를 바탕으로, 미리 벡터 해석에 의해 형상 변화와 입사 각도를 파라미터로서, 동공 내의 광량 분포를 구하고, 동공 내에서 형상 변화에 대한 광량 변화가 큰 장소, 또는 동공 내에서 형상 변화에 대한 광량 변화 비율이 큰 장소를 우선적으로 선택하고, 광량 변화 또는, 광량 변화 비율을 검출함으로 써 고감도인 형상 결함을 검사할 수 있다.
본 실시예에서는, 도 7, 도 8에 도시한 모식도를 이용하여 계산하였지만, 레지스트폭(L1)과 스페이스폭(L2)의 비율을 바꿔 선폭 변화에 대한 동공 내의 광량 분포를 구하고, 동공 내에서 선폭 변화에 대한 광량 변화가 큰 장소, 또는 동공 내에서 선폭 변화에 대한 광량 변화 비율이 큰 장소를 우선적으로 선택하며, 광량 변화 또는, 광량 변화 비율을 검출함으로써 고감도인 선폭 결함 검사를 할 수 있다.
또한, 레지스트 두께(h1)나 SiO2 두께를 바꿔 막 두께 변화에 대한 동공 내의 광량 분포를 구하여, 동공 내에서 막 두께 변화에 대한 광량 변화가 큰 장소, 또는 동공 내에서 막 두께 변화에 대한 광량 변화 비율이 큰 장소를 우선적으로 선택하며, 광량 변화 또는, 광량 변화 비율을 검출함으로써 고감도인 막 두께 결함 검사를 할 수 있다.
또한, 파장λ를 바꿔 계산하고, 각종 결함에 대하여 감도가 높아지는 최적 파장λ를 선택하며, 동공 내의 장소를 선택함으로써 고감도의 결함 검사를 할 수 있다.
예컨대, 백색 LED를 광원으로 하고, 동공 내의 광량 분포를 컬러 CCD로 촬상함으로써 RGB 분할하는 것으로도 파장 선택 가능하며, 패턴 구조를 바탕으로 미리 계산에 의해 최적의 동공 위치를 선택하고, RGB비를 검출하거나, 양품 패턴의 동공 화상과 불량품의 동공 화상을 기억해 두며, 동공상의 비교 검사에 의해 결함 검사도 할 수 있다.
지금, 편광자에 의한 직선 편광의 투과축을 y축으로 하고, 검광자의 투과축을 x축으로 한 경우, 검광자를 투과하여 관찰되는 동공상의 광 강도는, 도 10의 동공의 상하 좌우의 U, R, D, L에서는, 이하의 식으로 나타낸다. 단, Ax는 x 방향의 진동 성분의 진폭이다.
[수학식 1]
Figure 112009002704680-pct00001
한편, 도 10에서의 동공의 대각 방향(UR, UL, LR, LL)에서는, 대물 렌즈(9)의 편광 주축이 ±4.5˚ 회전하고 있기 때문에, 이 회전량을 θ로 하고, 검광자를 투과하여 관찰되는 동공상의 광 강도는, 이하의 식으로 부여된다. 단 Ax, Ay는 각각, x 방향, y 방향의 진동 성분의 진폭이고, δx, δy는 각각, x 방향, y 방향의 진동 성분의 위상이다.
[수학식 2]
Figure 112009002704680-pct00002
편광 주축이 우측 방향(시계 방향)으로 회전하는 경우를 +, 좌측 방향으로 회전하는 경우를 -로 하면, UR, LL에서는, 편광 주축이 θ=+4.5˚ 회전하고 있고, UL, LR에서는, 편광 주축이 θ=-4.5˚ 회전하고 있기 때문에, U, R, D, L과는 상이한 광 강도가 되고, 또한 UR, LL과 UL, LR과는 상이한 광 강도가 된다. 이 때문에, 패턴 형상을 따라서 동공 내의 휘도 및 색상의 변화가 확인되고, 양품과의 차 분에 의해 결함을 검사할 수 있다.
이상에서, 대물 렌즈(9)의 편광 주축 회전량 θ=±4.5˚에 의한 효과를 설명했지만, 이 회전량 θ의 최적의 범위에 대해서 검토한 결과를 도 12, 도 13에 도시한다. 도 12는 파장λ=546 ㎚, L/S 패턴의 주기 방향의 회전 각도를 α=45˚, 입사 각도를 60˚로 한정하고, 횡축에 편광 주축의 회전 각도, 종축에 정반사 광량을 취하며, 편광 주축의 회전 각도 -25˚∼+ 25˚의 범위에서, 형상 변화 0%, 40%, 80%의 45 ㎚L/S 패턴을 관찰했을 때의 관계를 꺽은선 그래프로 도시하는 것이다. 또한, 도 12는 형상 변화 0 %에서의 정반사 광량으로 규격화하고 있다.
도 12에 화살표로 도시한 UL, UR은 NA0.9 정도의 대물 렌즈(9)의 편광 주축 회전량 ±4.5˚로 대응하고 있고, 형상 변화에 수반하는 반사 광량비의 변화량은 UR이 큰 것을 도시하고 있지만, 편광 주축 회전량이 -7.5˚가 되면, 형상 변화에 따르는 반사 광량비의 변화량이 UR보다 더 큰 것을 알았다.
도 13은, 파장λ=436 ㎚, L/S 패턴의 주기 방향의 회전 각도를 α=45˚, 입사 각도를 60˚로 한정하고, 횡축에 편광 주축의 회전 각도, 종축에 정반사 광량을 취하며, 편광 주축의 회전 각도 -25˚∼+25˚의 범위에서, 형상 변화 0%, 40%, 80%의 45 ㎚L/S 패턴을 관찰했을 때의 관계를 꺽은선 그래프로 도시한 것이다. 또한 도 13은 형상 변화 0%에서의 정반사 광량으로 규격화하고 있다.
도 13에 화살표로 도시한 UL, UR은 NA 0.9 정도의 대물 렌즈(9)의 편광 주축 회전량 ±4.5˚에 대응하고 있고, 형상 변화에 따르는 반사 광량비의 변화량은 UR이 큰 것을 도시하고 있지만, 편광 주축 회전량이 -1.5˚가 되면, 형상 변화에 수 반하는 반사 광량비의 변화량이 UR보다 더 큰 것을 알았다.
이 때문에, 파장, 입사 각도 및 편광 주축 회전량을 선택하여, 광량 변화 비율을 계측함으로써, 감도가 높은 패턴 결함 검사가 가능하고, 최적의 편광 주축 회전량은 1˚부터 25˚인 것을 알았다.
편광 주축 회전량을 가변으로 하기 위해서는, 대물 렌즈의 각 렌즈면에 실시되어 있는 반사 방지막의 위상 특성이 각각 상이한 복수의 대물 렌즈를 준비하고, 각 대물 렌즈를 전환하여 사용한다. 또한, 편광자와 검광자의 크로스니콜의 관계를 무너뜨리는 것으로 대응 가능하고, 편광자 또는 검광자에 광축 중심으로 회전 가능한 기구를 설치하며, 편광자 또는 검광자를 그 광축 중심으로 회전시킴으로써, 편광자의 투과축과 검광자의 투과축이 이루는 각이 65˚부터 89˚의 범위 내에 있도록 설정하는(이것에 의해, 편광 주축의 회전량을 1˚부터 25˚로 할 수 있는) 것이 바람직하다.
동공 내의 휘도 및 색상의 변화를 파악하는 방법으로서는, 광원으로서, 백색 LED를 이용하고, 컬러 CCD 촬상 소자에 의해 가능하다. 또한, 동공 내의 특정한 장소에서, 휘도 및 색상의 변화가 크기 때문에, 동공 내를 분할하여 분광 측광함으로써 동공 내의 휘도 및 색상의 변화를 측정하고, 양품과 비교함으로써 결함을 검사할 수 있다. 또한, 패턴 형상의 비대칭성을 판별하기 위해, 광축을 중심으로 하여 동공 내의 대칭인 장소를 선택하여 휘도 및 색상의 변화를 측정하는 것이 유효하다. 동공 내의 분할은, 웨이퍼에의 입사 각도 45˚를 기준으로서, 내측의 원과 외측의 원으로 분할하여 휘도 및 색상의 변화를 측정하는 것이 유효하다.
이상의 실시예에서는, 웨이퍼 패턴의 회전 각도 α를 45˚로서 측정하였다. α가 0˚ 또는 90˚일 때, 웨이퍼 패턴의 결함이 있어도, 이것에 의해 편광축의 회전이 그다지 나타나지 않고, 결함 검출 능력이 저하된다. 따라서, α를 이들 중간인 45˚로 함으로써, 웨이퍼 패턴의 결함에 의한 편광축의 회전이 커지며, 결함 검출 능력이 향상한다고 생각된다.
α를 22.5˚, 45˚, 67.5˚로 3 단계로 변화시켜, 웨이퍼 내 특정 노광 범위 내 2 지점(중앙 부분과 최하 외주 부근)을 측정한 결과를, 도 14∼도 16에 도시한다. 도 14는 α=22.5˚, 도 15는 α=45˚, 도 16은 α=67.5˚에 관한 것이고, 모두 도 10의, UL-LR 방향 단면에서의 반사 광량 분포를 도시하는 것이다. 횡축은 동공 내 반경 방향 위치(웨이퍼에의 입사 각도), 종축은 반사 광량을 도시한다. 웨이퍼 내 특정한 노광 범위 2 지점으로서는, 노광 장치의 투영 렌즈의 노광 범위(직사각형 영역)의 중앙 부분과 최하 외주부 부근을 채용하였다.
이들 도면에 의하면, α=45˚에서는 노광 범위 내 2 지점에서의 광량 분포의 차이는 그다지 보이지 않는 것에 대하여, α=22.5˚와 67.5˚에서는 동공 내의 주변부(웨이퍼에의 입사 각도가 큰 부분)에서 큰 차이가 있는 것을 알 수 있다. 이들 차이는, 웨이퍼의 각 부분에서의 L/S 패턴의 미소한 차이에 의한 것으로 생각되기 때문에, α=22.5˚, 67.5˚로 함으로써, α=45˚에서는 검출할 수 없던 결함을 검출할 수 있는 가능성이 있는 것을 알 수 있다.
구조성 복굴절을 갖는 패턴으로부터의 반사광은, 웨이퍼의 두께(h) 및 형상에 따라서 입사광의 진동면에 평행한 성분(Y축 방향 성분)과 수직인 성분(X축 방향 성분) 사이에서 위상차, 진폭 Ax, 진폭 Ay가 변화되고, 타원 편광이 된다. 또한 웨이퍼면에 입사각이나 파장에 의해서도, 입사광의 진동면에 평행한 성분과 수직인 성분 사이에서 위상차, 진폭 Ax, 진폭 Ay가 변화된다.
스테이지 위에 베어 웨이퍼를 세팅하고, NA0.9 정도의 대물 렌즈(9)를 이용하여, 편광자의 투과축을 동공 내의 상하 방향으로 설정하며, 검광자의 투과축을 동공 내의 좌우 방향, 즉 서로 직교하여 크로스니콜 조건이 성립하도록 하면, 촬상 소자(17)에 의해 관찰되는 동공상은 도 17에 도시한 중심부가 암흑인 4개의 리프형이 되었다.
이것은, 대물 렌즈(9)의 NA가 커짐에 따라서, 대물 렌즈면에의 광선의 입사각이 커지고, 편광 주축이 회전하기 때문에 발생하는 현상이다. 본 실시예에서는, NA=0.9의 대물 렌즈에 있어서, 동공의 대각 방향에서 최대로 약 4.5˚ 정도(대물 렌즈를 투과하여 웨이퍼면에서 반사되어 다시 대물 렌즈를 투과하여 되돌아가는 왕복 광로에서)의 편광 주축의 회전이 발생하고 있는 것에 의해, 이 회전량에 따라서 검광자로부터 누설광이 투과하고, 촬상 소자(17)로 관찰되는 동공상은, 대각 방향이 밝은 상으로 되어 있다.
다음에, 구조성 복굴절을 갖는 패턴이 있는 웨이퍼를 세팅하고, 시야 조리개(5) 또는 시야 조리개(16)의 개구 형상 및 위치를 적절히 설정하며, 웨이퍼면의 패턴의 주기 방향을 편광자의 투과축에 대하여 회전시키면서, 웨이퍼면으로부터의 정반사광을 동공 위에서 관찰하면, 베어 웨이퍼에서 암흑부로 되어 있던 부분의 휘도 및 색상의 변화가 확인되었다.
이것은, 웨이퍼의 패턴으로부터의 회절광 및 정반사광이 동공 위에서 관찰되기 때문이고, 특히 시야 조리개(5) 또는 시야 조리개(16)의 개구 형상 및 위치를, 검사하고자 하는 패턴이 형성되어 있는 영역 내에 설정하면, 회절광은 관찰되지 않고, 구조성 복굴절에 의해, 웨이퍼에 조명한 직선 편광광이 타원 편광이 되어 반사되어 오는 것으로 검광자를 투과하여 촬상 소자(17)의 촬상면으로 할 수 있는 동공 내에 휘도 및 색상의 변화가 나타난다.
예컨대, 웨이퍼의 패턴 주기의 방향을 편광자의 투과축에 대하여 45˚ 방향 및 135˚ 방향으로 세팅하면, 동공상 전체의 휘도가 높아졌다.
또한, 웨이퍼의 패턴 주기의 방향을 편광자의 투과축에 대하여 22.5˚, 67.5˚로 세팅하면, 전술과 같이, 패턴 프로파일 변화에 따른 동공 내의 휘도 분포 변화가 가장 큰 것을 알 수 있었다.
또한, 동공 내의 휘도 분포는, 패턴 프로파일 변화에 따라서, 동공 내의 장소에 의해 휘도 및 색상의 변화가 확인되었다.

Claims (22)

  1. 표면에 반복 패턴이 형성된 시료의 결함을 검사하는 장치로서,
    상기 시료의 표면에 편광광을 조사하는 조명 광학계와,
    상기 조명 광학계에 의한 편광광의 조사에 의해 상기 시료로부터 사출된 광을 대물 렌즈와, 정해진 방향으로 투과축이 설치된 검광자를 통과시켜, 상기 대물 렌즈의 동공면의 광 강도 분포를 검출하는 강도 검출계와,
    상기 강도 검출계로 검출된 상기 대물 렌즈의 동공면의 광 강도 분포와, 대물 렌즈의 동공면의 기준 광 강도 분포를 비교하여 상기 시료의 결함을 검출하는 검출부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기준 광 강도 분포는, 표면에 양품의 반복 패턴이 형성된 양품 시료의 그 표면을 편광광으로 조명하고, 그 조명에 의해 상기 양품 시료의 표면으로부터 사출된 광을 대물 렌즈와 검광자를 통과시켜 검출된 대물 렌즈의 동공면의 광 강도 분포인 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  3. 표면에 반복 패턴이 형성된 시료의 결함을 검사하는 장치로서,
    상기 시료의 표면에 편광광을 조사하는 조명 광학계와,
    상기 조명 광학계에 의한 편광광의 조사에 의해 상기 시료로부터 사출된 광을 대물 렌즈와, 정해진 방향으로 투과축이 설치된 검광자를 통과시켜, 상기 대물 렌즈의 동공면의 광 강도 분포를 검출하는 강도 검출계와,
    상기 대물 렌즈의 동공면의 광축에 대하여 대칭인 부분끼리의 광 강도를 비교하여, 상기 시료의 결함을 검출하는 검출부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 조명 광학계는, 상기 시료 표면에 직선 편광광을 조명하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 직선 편광광의 진동 방향과 상기 패턴의 반복 방향이 이루는 각도는 45도인 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 직선 편광광의 진동 방향과 상기 패턴의 반복 방향이 이루는 각도는 22.5도 또는 67.5도인 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 검광자의 투과축은, 상기 직선 편광광의 진동 방향과 크로스니콜 조건을 만족하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  8. 삭제
  9. 제4항에 있어서, 상기 직선 편광광의 진동 방향 및 상기 검광자 중 하나 이상을 회전시키는 회전 기구를 구비하고, 상기 직선 편광광의 진동 방향과 상기 검광자의 투과축이 이루는 각이 65˚ 내지 89˚의 범위 내가 되도록 설정하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  10. 제4항에 있어서, 상기 조명 광학계는, 광원과, 상기 광원으로부터 출사된 광을 직선 편광광으로 변환하는 편광자를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  11. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 조명 광학계는, 조도 균일화 유닛, 임의의 파장 대역을 선택할 수 있는 복수의 간섭 필터, 개구 조리개를 가지며, 상기 대물 렌즈에 대한 조명의 조건이 가변적인 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  12. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 조명 광학계에는, 복수의 상이한 종류의 개구 조리개가, 이들 중 하나를 선택하여 사용 가능하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  13. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시료의 결함 검출에 있어서, 상기 동공면의 광 강도 분포 중에서 감도가 높은 지점을 채용하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
  14. 표면에 반복 패턴이 형성된 시료의 결함을 검사하는 방법으로서,
    상기 시료의 표면에 편광광을 조사하고,
    그 조사에 의해 상기 시료의 표면으로부터 사출된 광을 대물 렌즈와, 정해진 방향으로 투과축이 설치된 검광자를 통과시켜, 상기 대물 렌즈의 동공면의 광 강도 분포를 검출하고,
    검출된 상기 광 강도 분포와, 대물 렌즈의 동공면의 기준 광 강도 분포를 비교하여 상기 시료의 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 기준 광 강도 분포는, 표면에 양품의 반복 패턴이 형성된 양품 시료의 그 표면을 편광광으로 조명하고, 그 조명에 의해 상기 양품 시료의 표면으로부터 사출된 광을 대물 렌즈와 검광자를 통과시켜 검출된 대물 렌즈의 동공면의 광 강도 분포인 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법.
  16. 표면에 반복 패턴이 형성된 시료의 결함을 검사하는 방법으로서,
    상기 시료의 표면에 편광광을 조사하고,
    그 조사에 의해 상기 시료의 표면으로부터 사출된 광을 대물 렌즈와, 정해진 방향으로 투과축이 설치된 검광자를 통과시켜, 상기 대물 렌즈의 동공면의 광 강도 분포를 검출하고,
    상기 대물 렌즈의 동공면의 광축에 대하여 대칭인 부분끼리의 광 강도를 비교하여, 상기 시료의 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법.
  17. 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시료의 표면에 조사하는 편광광은, 직선 편광광인 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 직선 편광광의 진동 방향과 상기 패턴의 반복 방향이 이루는 각은 45도인 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법.
  19. 제17항에 있어서, 상기 직선 편광광의 진동 방향과 상기 패턴의 반복 방향이 이루는 각도는 22.5도 또는 67.5도인 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법.
  20. 제17항에 있어서, 상기 검광자의 투과축은, 상기 직선 편광광의 진동 방향과 크로스니콜 조건을 만족하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법.
  21. 삭제
  22. 제17항에 있어서, 상기 직선 편광광의 진동 방향과 상기 검광자의 투과축이 이루는 각은 65˚ 내지 89˚의 범위 내인 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법.
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