JP2011027662A - 欠陥検査装置およびその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】広帯域波長の照明を用いて結像性能を向上させることが有効である。そこで、従来の屈折型光学系より広帯域波長の照明が使用可能な反射型光学系を用い、更に良好な収差状態を得られるレンズ外周部の円弧形状のスリット状視野にする。しかしこの方式は、受光面での各検出画素寸法の違いによる明るさの差と、センサの出力配列を視野内の位置座標に対応付けることが課題である。課題を解決するために、明るさの差及び座標を画素位置に応じて個別に補正する。
【選択図】 図1
Description
また、本発明のその他の特徴は、一次元センサ及び二次元センサの出力配列と、反射型光学系の視野内の位置とを対応付けることを特徴とする。
102 ステージ
103 照明光学系
104,301 反射型光学系
105 空間フィルタ
106,123,124 検出器
107 画像処理部
108 全体制御部
109 入出力操作部
110 可視光レーザ
111 紫外光レーザ
112 深紫外光レーザ
113〜115 アッテネータ
116 ミラー
117〜119 シャッター
120 反射型光学系の光軸
121 反射型光学系のウェハ上の視野の長辺方向サイズ
122 回折光学素子
125 ランプ
126 波長フィルタ
127 真空紫外光源
128 真空チャンバ
201 屈折型光学系のセンサ上の視野(直線形状)
202 TDIセンサ
203 ウェハ上のパターンからの光
204 画素
205 TDIセンサ出力配列の座標
206 反射型光学系のセンサ上の視野(非直線形状)
207,208 一次元センサ
209 二次元センサ
210 センサ出力配列の座標
302 ウェハ上照明領域
303〜308 光源(レーザもしくはランプ)
Claims (19)
- パターンが形成された試料に光を照明し、試料の像を反射型光学系を介して画像センサに結像し、欠陥の有無を判定する欠陥検査装置において、反射型光学系は共役な2組のフーリエ変換光学系を含み、反射型光学系の収差は光軸外で補正され、試料面における視野は非直線形状のスリット状であり、画像センサの画素位置に応じて明るさを補正することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1において、前記フーリエ変換光学系のフーリエ変換面に、空間フィルタを含むことを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1又は請求項2において、前記試料面における視野は円弧形状のスリット状であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれかにおいて、前記反射型光学系の光軸は試料面の法線方向に対して傾きをなし、試料面における視野は楕円の一部のスリット状であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1乃至請求項4のいずれかにおいて、前記試料面におけるスリット状視野の短辺方向に、試料を走査するステージを含むことを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1乃至請求項5のいずれかにおいて、前記可視光から深紫外光領域の範囲で、試料に応じて所定の単一の波長帯域の光を選定し、試料を照明することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1乃至請求項5のいずれかにおいて、前記可視光から深紫外光領域の範囲で、試料に応じて所定の複数の波長帯域の光を選定し、試料を照明することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項7において、前記複数の波長帯域の光を単一の画像センサに結像することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項7において、前記複数の波長帯域の光を複数の画像センサに結像することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項6乃至請求項9のいずれかにおいて、前記複数の波長帯域を射出する光源は単一光源であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項6乃至請求項9のいずれかにおいて、前記複数の光源から所定の波長帯域の光を選定し、試料を照明することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1乃至請求項11のいずれかにおいて、前記検査領域の画像と、検査領域と隣接または近接する領域の画像とを比較して、欠陥の有無を判定することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1乃至請求項12のいずれかにおいて、前記画像センサは時間遅延積分型であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項13において、前記時間遅延積分型画像センサの出力配列と、反射型光学系の視野内位置との対応により、明るさを補正することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1乃至請求項12のいずれかにおいて、前記一次元センサ及び二次元センサの出力配列と、反射型光学系の視野内の位置とを対応付けることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1乃至請求項15のいずれかにおいて、前記円弧形状の視野内において、複数の視野を確保し、それぞれ別の画像センサに結像することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項15において、前記複数の画像センサに結像した画像を、統合処理することを特徴とする欠陥検査装置。
- パターンが形成された試料に光を照明し、試料の像を反射型光学系を介して画像センサに結像し、欠陥の有無を判定する欠陥検査方法において、試料面における視野が非直線形状のスリット状であり、画像センサの画素位置に応じて明るさを補正することを特徴とする欠陥検査方法。
- パターンが形成された試料に光を照明し、試料の像を光学系を介して画像センサに結像し、欠陥の有無を判定する欠陥検査装置において、
照明視野領域の形状に対応した画像センサ領域形状とし、画像センサの画素位置に応じて明るさを補正することを特徴とする欠陥検査装置。
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