JP5895305B2 - 検査用照明装置及び検査用照明方法 - Google Patents
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Description
式1 1/S1+1/S2=1/f
式2 M=S1/S2
式3 tanθH=(H/2−Y2/2)S2=(H−Y2)/2S2
ここで、θH:照射立体角ωOの中心軸と前記光軸LXのなす角であり、中心軸が光軸LXに対して外縁側から中心側に交差する場合は負、中心側から外縁側に交差する場合は正となるように設定してある。また、Y2:結像面IMの半径、H/2:レンズ2中心から、結像面IMの最外縁に到達する検査光の主光線が通過する位置までの距離、S2:レンズ2中心から結像面IMまでの距離である。
式4 H=S3Y1/(S1―S3)
式5 tanθH=(S3Y1/(S1―S3)−MY1)/2S2
式6 tanθO=(K/2)/S2θO=tan−1(K/2S2)
式7 K=S1T/(S1−S3)
式8 ωO=2π(1−cosθO)
式9 ωO=2π[1−cos{tan−1(S1T/2S2(S1−S3))}]
1 ・・・光源
2 ・・・レンズ
31 ・・・第1絞り
32 ・・・第2絞り
33 ・・・第3絞り
34 ・・・第4絞り
4 ・・・ハーフミラー
C ・・・撮像装置
W ・・・検査対象
Claims (13)
- 検査光を射出する面光源と、
前記面光源から射出される検査光の光軸上であり、検査対象と前記面光源との間に設けられるレンズと、
前記面光源及び前記レンズの間、又は、前記レンズ及び前記検査対象の間に設けられる第1絞りと、を備え、
前記面光源及び前記レンズの前記検査対象に対する位置が、前記面光源の結像する結像面が前記検査対象の近傍にあるように設定されており、
前記結像面の外縁部に入射する検査光で規定される照射立体角の中心軸が、前記光軸に対して平行となる、又は、光軸からずれるとともに所定量だけ傾くように、前記第1絞りの前記レンズに対する位置が設定されており、
前記第1絞りの位置が、前記照射立体角の中心軸と前記光軸のなす角と、前記面光源が前記レンズにより結像される前記結像面の倍率に基づいて設定されることを特徴とする検査用照明装置。 - 検査光を射出する面光源と、
前記面光源から射出される検査光の光軸上であり、検査対象と前記面光源との間に設けられるレンズと、
前記面光源及び前記レンズの間、又は、前記レンズ及び前記検査対象の間に設けられる第1絞りと、を備え、
前記面光源及び前記レンズの前記検査対象に対する位置が、前記面光源の結像する結像面が前記検査対象の近傍にあるように設定されており、
前記結像面の外縁部に入射する検査光で規定される照射立体角の中心軸が、光軸からずれるとともに所定量だけ傾くように、前記第1絞りの前記レンズに対する位置が設定されており、
前記照射立体角の中心軸が前記結像面の外縁側から中心側へと傾くように、前記第1絞りが前記レンズの焦点の外側に配置されていることを特徴とする検査用照明装置。 - 前記照射立体角の中心軸が前記結像面の外縁側から中心側へと傾くように、前記第1絞りが前記レンズの焦点の外側に配置されている請求項1記載の検査用照明装置。
- 前記照射立体角の中心軸が前記結像面の中心側から外縁側へと傾くように、前記第1絞りが前記レンズの焦点の内側に配置されている請求項1記載の検査用照明装置。
- 前記照射立体角の中心軸が前記光軸と平行となるように、前記第1絞りが前記レンズの焦点に配置されている請求項1記載の検査用照明装置。
- 前記面光源から射出される検査光の射出面積を調節する第2絞りが、前記光源の近傍に設けられている請求項1、2、3、4又は5記載の検査用照明装置。
- 前記検査対象と、当該検査対象を撮像する撮像装置との間に第3絞りが、更に設けられている請求項1、2、3、4、5又は6記載の検査用照明装置。
- 前記第3絞りと、前記撮像装置との間に第4絞りが、更に設けられている請求項7記載の検査用照明装置。
- 前記面光源から射出された検査光を前記検査対象へ反射するとともに、前記検査対象からの反射光を透過するように配置されたハーフミラーを更に備え、
前記検査光が前記光源から前記検査対象に至るまでの光路である照射光路と、少なくとも前記検査対象から前記ハーフミラーに至るまでの光路を含む反射光路と、が重複している部分に前記第3絞りが配置されている請求項7又は8記載の検査用照明装置。 - 検査光を射出する面光源と、前記面光源から射出される検査光の光軸上であり、検査対象と前記面光源との間に設けられるレンズと、前記面光源及び前記レンズの間、又は、前記レンズ及び前記検査対象の間に設けられる第1絞りと、を備えた検査用照明装置に用いた検査用照明方法であって、
前記面光源及び前記レンズの前記検査対象に対する位置を、前記面光源の結像する結像面が前記検査対象の近傍にあるように設定する結像位置設定ステップと、
前記結像面の外縁部に入射する検査光で規定される照射立体角の中心軸が、前記光軸に対して平行となる、又は、光軸からずれるとともに所定量だけ傾くように、前記第1絞りの前記レンズに対する位置を設定する照射立体角傾き調節ステップと、を備え、
前記第1絞りの位置が、前記照射立体角の中心軸と前記光軸のなす角と、前記面光源が前記レンズにより結像される前記結像面の倍率に基づいて設定されることを特徴とする検査用照明方法。 - 検査光を射出する面光源と、前記面光源から射出される検査光の光軸上であり、検査対象と前記面光源との間に設けられるレンズと、前記面光源及び前記レンズの間、又は、前記レンズ及び前記検査対象の間に設けられる第1絞りと、を備えた検査用照明装置に用いた検査用照明方法であって、
前記面光源及び前記レンズの前記検査対象に対する位置を、前記面光源の結像する結像面が前記検査対象の近傍にあるように設定する結像位置設定ステップと、
前記結像面の外縁部に入射する検査光で規定される照射立体角の中心軸が、光軸からずれるとともに所定量だけ傾くように、前記第1絞りの前記レンズに対する位置を設定する照射立体角傾き調節ステップと、を備え、
前記照射立体角の中心軸が前記結像面の外縁側から中心側へと傾くように、前記第1絞りが前記レンズの焦点の外側に配置されることを特徴とする検査用照明方法。 - 前記結像面の大きさを前記検査対象の大きさと略同じになるように前記第1絞りの絞り量を調節する第1絞り量調節ステップを更に備えた請求項10又は11記載の検査用照明方法。
- 検査光を射出する面光源と、前記面光源から射出される検査光の光軸上であり、検査対象と前記面光源との間に設けられるレンズと、前記面光源及び前記レンズの間、又は、前記レンズ及び前記検査対象の間に設けられる第1絞りと、を備えた検査用照明装置に用いた検査用照明方法であって、
前記面光源及び前記レンズの前記検査対象に対する位置を、前記面光源の結像する結像面が前記検査対象の近傍にあるように設定する結像位置設定ステップと、
前記結像面の外縁部に入射する検査光で規定される照射立体角の中心軸が、光軸からずれるとともに所定量だけ傾くように、前記第1絞りの前記レンズに対する位置を設定する照射立体角傾き調節ステップと、を備え、
前記検査対象において前記検査光が照射される検査対象面が凹面をなしており、
前記照射立体角の中心軸が前記結像面の中心側から外縁側へと傾くように、前記第1絞りが前記レンズの焦点の内側に配置されていることを特徴とする検査用照明方法。
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