WO2012042943A1 - 投光ビームの調整方法 - Google Patents

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健太 山川
星文 一柳
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オムロン株式会社
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    • G—PHYSICS
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    • G01S17/06—Systems determining position data of a target
    • G01S17/46—Indirect determination of position data
    • G01S17/48—Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves

Definitions

  • the present invention relates to a method for adjusting a projection beam in an optical displacement sensor, and more particularly to a method for adjusting a projection beam in an optical displacement sensor with stable measurement accuracy.
  • FIG. 7 is a diagram showing a conventional optical displacement sensor 100 disclosed in Patent Document 1.
  • an optical displacement sensor 100 includes a light projecting module 101 including a laser diode 101a that irradiates light onto a measurement object 106 and a light projecting lens 101b that condenses light from the laser diode 101a.
  • the light from the light projecting module 101 is reflected by the measurement object 106, so that the CCD 103 that receives the reflected light on the light receiving surface 103 a and the light receiving lens 104 that forms the reflected light on the light receiving surface 103 a of the CCD 103.
  • the optical displacement sensor 100 When the optical displacement sensor 100 emits light from the laser diode 101 a toward the measurement object 106, the irradiated light is reflected by the measurement object 106, and the reflected light is received by the CCD 103 via the light receiving lens 104. When the surface 103a receives light, the displacement of the measuring object 106 is measured based on the position of the received image.
  • the light from the laser diode 101 is projected onto the measurement object 106 through the projection lens 101b.
  • the projection light beam passing through the projection lens 101b is referred to as a projection beam.
  • the light projecting module 101, the CCD 103, and the light receiving lens 104 are adjusted and arranged so as to satisfy the Scheinproof condition.
  • the light receiving surface 103a of the CCD103 has a predetermined width W 2
  • the reflection position of the object receiving surface 103a is capable of receiving light range reflected light
  • the optical axis of the laser diode 101a That is, it has a predetermined width W 1 on the light projecting axis L 1 .
  • FIG. 8 shows an optical system of a conventional displacement sensor that is arranged so as to satisfy the Scheimpflug condition, and spot diameters S1 to S3 by the projected beam 108 at the position of the measurement object, and the spot diameters S1 to S3.
  • It is a schematic diagram showing the size of an image formed on the CCD 103 by reflecting S3.
  • the object to be measured is close to the light projecting lens 101b (displayed as “near” in the figure), when it is far (displayed as “far” in the figure), and an intermediate position (displayed as “middle” in the figure). It is shown separately if it exists.
  • the projection beam 108 is as shown in FIG.
  • the spot diameter S1 is the largest when the measurement object is close to the light projecting lens 101b, slightly smaller than the spot diameter S3 when it is far away, and the spot diameter S2 is the smallest when it is at the intermediate position.
  • the width of the image is the largest when the object being measured is close to the light source, the second largest when it is far, and the intermediate position Is small.
  • the image size is determined by spot diameter ⁇ magnification.
  • the magnification is an optical magnification determined by the ratio of the size of the image formed on the CCD 103 to the spot diameters S1 to S3 of the measurement object in the optical system shown in FIGS.
  • the spot diameter S1 when close is 2
  • the S2 is 1 in the middle
  • S3 is 2.0 when far away.
  • the optical magnification is, for example, about 0.3 times when close, 0.25 times intermediate, and 0.2 times far. From these values, the image size is 0.6 when close, 0.25 when intermediate, and 0.4 when far. This state is shown in Table 1.
  • the optical magnification is displayed as approximately 0.3 times when close, 0.25 times when intermediate, and 0.2 times when distant.
  • It is expressed as a ratio.
  • an optical displacement sensor in order to accurately detect a measurement position, it is easier to detect an image formed over a plurality of photodiodes constituting the CCD 103.
  • the size (width) of the image on the photodiode is small, it is not clear whether the image actually exists. That is, in the conventional method of adjusting the projection beam, the spot diameter varies depending on the measurement position, so that the image size on the CCD varies. As a result, there is a problem that measurement accuracy varies.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and it is an object of the present invention to provide a method for adjusting a projection beam with stable measurement accuracy in an optical displacement sensor using a Scheinproof optical system. To do.
  • the method for adjusting a projection beam relates to a method for adjusting a projection beam of an optical displacement sensor having a projection lens that projects a measurement object.
  • the optical displacement sensor includes a light receiving unit that receives reflected light reflected by a measurement object, and a light receiving lens that is positioned between the object and the light receiving unit and forms an image of the reflected light on a light receiving surface.
  • the light projecting lens, the light receiving unit, and the light receiving lens are disposed so as to satisfy the Scheinproof condition.
  • the method of adjusting the projection beam is to focus the light emitted from the projection lens so that the size of the image formed by the reflected light at the light receiving unit is constant regardless of the distance between the projection lens and the measurement object. Adjust the position.
  • the projection beam is a laser beam.
  • the image size is determined by the product of the spot diameter of the measurement object formed by the projection beam and the optical magnification determined by the ratio of the image size formed on the light receiving portion to the spot diameter of the measurement object.
  • the step of adjusting the focal position of the light emitted from the light source so that the size of the image at the light receiving unit is constant regardless of the distance between the light source and the measurement object is such that the image size at the light receiving unit
  • the method includes a step of adjusting to form an image on at least three or more of the plurality of photodiodes constituting the photodiode.
  • the method for adjusting a projection beam according to the second aspect of the present invention relates to a method for adjusting a projection beam of an optical displacement sensor having a projection lens that projects a measurement object.
  • the optical displacement sensor includes a light receiving unit that receives reflected light reflected by the measurement object, and a light receiving lens that is positioned between the object and the light receiving unit and forms an image of the reflected light on the light receiving surface.
  • the light projecting lens, the light receiving unit, and the light receiving lens are arranged so as to satisfy the Scheinproof condition.
  • the size of the image formed by the reflected light at the light receiving unit is the same as the size of the image at the light receiving unit, forming an image on the multiple photodiodes that make up the light receiving unit. In this way, the focal position of the light emitted from the light projecting lens is adjusted.
  • the method of adjusting the light projection beam according to the present invention is such that the size of the image in the light receiving portion by the reflected light from the measurement object is constant regardless of the distance between the light projection lens and the measurement object. Adjust the focal position of the irradiated light.
  • FIG. 1 It is a perspective view which shows the external appearance of an optical displacement sensor. It is a top view at the time of removing the lid
  • FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of the optical displacement sensor 10.
  • FIG. 2 is a plan view when the lid 33 of the optical displacement sensor 10 shown in FIG. 1 is removed and viewed from the direction of arrow II. 2, in addition to the plan view of the optical displacement sensor 10, the measurement object 16 is also illustrated.
  • the optical displacement sensor 10 measures the displacement of the measurement object 16.
  • the optical displacement sensor 10 includes a light projecting module 9 that irradiates a measurement target 16 with light having a desired beam shape inside a substantially rectangular parallelepiped housing 30, and a measurement target using light from the light projecting module 9.
  • the light projecting module 9 includes a light source 11 that emits light and a light projecting lens 12 that is positioned between the measurement object 16 and the light source 11.
  • the light projecting module 9, the light receiving element 13, and the light receiving lens 14 constitute a predetermined optical system.
  • a chain line three points in FIG. 2, a light beam emitted by the light emitting module 9, the optical axis of the projection module 9, i.e. a light projecting axis L 1, for receiving reflected light from the measurement object 16 optical axis of the light receiving lens 14, that is, the light-receiving axis L 2.
  • the housing 30 is disposed at the bottom, has a bottom surface 31 to which members constituting the optical system of the optical displacement sensor 10 are fixed, and openings 32a and 32b, and is disposed so as to surround the periphery of the bottom surface 31.
  • positioned facing the bottom face 31 are included.
  • the bottom surface 31 is planar, and the light source 11 and the like are fixed thereon.
  • the side wall 32 has a connection portion that can connect a cable or the like.
  • the opening 32 a is provided so as to face the light receiving lens 14, and the opening 32 b is provided so as to face the light projecting lens 12.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the light projecting lens 12.
  • FIG. 4 is a perspective view showing the light receiving lens 14. 1 to 4, the light source 11 is a laser diode, and irradiates the measurement object 16 with a laser beam.
  • the light projecting lens 12 includes a lens holder that accommodates the lens, collects the light emitted from the light source 11, and adjusts the light from the light source 11 into a predetermined shape.
  • the light receiving element 13 is a CCD (Charge Coupled Device) sensor, and receives light reflected from the measurement object 16 on the light receiving surface. On the light receiving surface, a plurality of light receiving elements are arranged in a line.
  • CCD Charge Coupled Device
  • the light receiving lens 14 is, for example, a single lens having an aspherical surface on which reflected light is incident.
  • the light receiving lens 14 is accommodated in the lens holder 15 and collects the reflected light from the measurement object 16 and connects it to the light receiving surface.
  • Light-receiving lens 14, the light-receiving axis L 2 are arranged so as to pass through the center of the light receiving lens 14, the principal surface of the light receiving lens 14 are arranged so as to be perpendicular to the receiving axis L 2.
  • the lens holder 15 accommodates the light receiving lens 14 so as to be hooked at, for example, four positions on the periphery of the light receiving lens 14, and the surface in contact with the bottom surface 31 is planar, and from the direction of the arrow II
  • the shape when seen is a substantially square shape.
  • pins 15a to 15d are fixed to the bottom surface 31 at four locations. The four pins 15a to 15d are arranged so as to correspond to the respective apexes of the substantially square shape of the lens holder 15, and serve as positioning members when the lens holder 15 is moved.
  • the optical displacement sensor 10 When the optical displacement sensor 10 emits a laser beam from the light source 11 of the light projecting module 9, the irradiated light reaches the measurement object 16 through the opening 32 b of the side wall 32 and is reflected by the measurement object 16. Then, the reflected light from the measurement object 16 enters the light receiving lens 14 through the opening 32a of the side wall 32, and the light receiving lens 14 forms an image of the reflected light on the light receiving surface. Then, the position of the received image at the time of image formation is detected. Accordingly, the optical displacement sensor 10 measures the light projection axis L 1 direction of displacement of the measuring object 16.
  • FIG. 5 is a schematic diagram showing the optical displacement sensor 10.
  • the optical displacement sensor 10 is a displacement of the measurement object 16 with a predetermined measurement range W 1 measurable.
  • the predetermined measurement range W 1 indicates a light reflection position 16 a on the measurement object 16, and is a first position P N1 close to the light source 11 on the light projecting axis L 1 and a first distance P N1 away from the light source 11.
  • the range is up to the second position P F1 .
  • the reflection position 16a of the light in the measurement object 16 has a predetermined width of the measurement range W 1 on the projection optical axis L 1.
  • a dotted line in FIG. 5 the measurement object of the first position P N1 16 ', and the second shows the measurement object 16'' position P F1
  • reflection of light is a predetermined measurement range W 1
  • the position 16a is indicated by a bold line.
  • a predetermined measurement range W 1 is, for example, 20 ⁇ 30 mm.
  • the optical displacement sensor 10 is configured so that the predetermined optical system satisfies the Scheimpflug condition, that is, the reflection position 16a (light projection axis L 1 ) on the measurement object 16, and the main surface 14a of the light receiving lens 14. as line extended and a light receiving surface 13a of the light receiving element 13 intersect at a point S 1, is disposed adjusted to. Accordingly, the optical displacement sensor 10 may be a reflected light reflected at the position of the measurement range W 1 throat, so focus is the light receiving surface 13a during imaging. The optical displacement sensor 10 measures the displacement of the measurement object 16 in the measurement range W 1.
  • the Scheimpflug condition that is, the reflection position 16a (light projection axis L 1 ) on the measurement object 16, and the main surface 14a of the light receiving lens 14. as line extended and a light receiving surface 13a of the light receiving element 13 intersect at a point S 1, is disposed adjusted to. Accordingly, the optical displacement sensor 10 may be a reflected light reflected at the position of the measurement range W 1 throat, so focus is
  • FIG. 6 is a diagram showing the relationship among the spot diameters S1 to S3, the optical magnification, and the image size when the projection beam 18 is adjusted in this embodiment.
  • the actual relationship between the position of the measuring object 16 by the light projection beam 18 and the image on the CCD, which is the light receiving unit 13, is as shown in FIG. 5, but here, for the sake of easy understanding, here is a conventional example. However, as shown in FIG.
  • optical displacement sensor 10 includes light projecting lens 12, light receiving unit 13, and light receiving lens 14, which satisfy the Scheinproof condition, as in conventional FIG. 8. It is arranged so as to adjust.
  • an image formed on the light receiving unit 13 forms an image on a plurality of photodiodes constituting the light receiving unit 13, and Adjustment is made so that the width sizes of the images are the same (here, 1).
  • adjustment is made so as to form on three or more photodiodes. Table 2 shows this adjustment state.
  • the image size is represented by spot diameter ⁇ magnification.
  • the magnifications at the near position, the intermediate position, and the far position are, for example, 0.3, 0.25, and 0.2 as shown in the magnification column of Table 2.
  • the spot diameters S1 to S3 that satisfy this condition can be calculated from the same size / magnification, ie, 1 / 0.3, 1 / 0.25, and 1 / 0.2, respectively. 0.0, 5.0. That is, as shown in S1 to S3 in FIG. 1, the optical system of the light projection beam may be adjusted so that the spot diameter increases in order from the near side to the far side. In this example, the ratio is adjusted to be a ratio of 1: 1.2: 1.5.
  • the focal position of the projection beam 18 irradiated from the projection lens 12 may be adjusted so that it is slightly far from the “close” position.
  • the focal position has a constant image size, and an image formed on the light receiving unit 13 is formed on the three photodiodes of the CCD constituting the light receiving unit 13.
  • an image formed on the light receiving unit 13 is formed on the three photodiodes of the CCD constituting the light receiving unit 13.
  • the present invention is not limited to this, and may be LED illumination or the like.
  • the method for adjusting the image size in the light receiving unit to be substantially the same is not described in detail, but the “near” position, the “center” position, and the “far” position are defined in advance. It is also possible to form images at these positions, determine the size of a certain image, and automatically adjust the focal position so that this size or larger than this size.
  • the present invention is not limited to this, and may be a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) sensor.
  • CMOS Complementary Metal Oxide Semiconductor
  • This invention is advantageously used when adjusting an optical displacement sensor.
  • Light Emitting Module 10 Optical Displacement Sensor 11 Light Source 12 Light Emitting Lens 13 Light Receiving Unit 14 Light Receiving Lens 16 Measurement Object 18 Light Projecting Beam

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Abstract

　シャインプルーフ光学系を用いた光学式変位センサ（１０）は、測定対象物に対して光を照射する投光モジュール（９）と、投光モジュール（９）からの光が測定対象物で反射して、反射光を受光面で受光する受光部（１３）と、測定対象物と受光部（１３）との間に位置して、反射光を受光面に結像する受光レンズ（１４）とを備える。投光ビームの調整方法は、受光部（１３）における像のサイズが、投光モジュール（９）を構成する投光レンズ（１２）と測定対象物との距離によらず一定になるように光源（１１）から照射される光の焦点位置を調整する。

Description

投光ビームの調整方法
　この発明は光学式変位センサにおける投光ビームの調整方法に関し、特に、測定精度が安定した光学式変位センサにおける投光ビームの調整方法に関する。
　従来の光学式変位センサが、例えば、特開２００８－１４５１６０号公報（特許文献１）に開示されている。図７は、特許文献１に開示の従来の光学式変位センサ１００を示す図である。図７を参照して、光学式変位センサ１００は、測定対象物１０６に対して光を照射するレーザダイオード１０１ａ、およびレーザダイオード１０１ａからの光を集光する投光レンズ１０１ｂを含む投光モジュール１０１と、投光モジュール１０１からの光が測定対象物１０６で反射することにより、その反射光を受光面１０３ａで受光するＣＣＤ１０３と、反射光をＣＣＤ１０３の受光面１０３ａに結像する受光レンズ１０４とを備える。
　光学式変位センサ１００は、レーザダイオード１０１ａから測定対象物１０６に向けて光を照射すると、照射した光が測定対象物１０６で反射して、受光レンズ１０４を介して、その反射光をＣＣＤ１０３の受光面１０３ａが受光することにより、この受光した像の位置に基づいて、測定対象物１０６の変位を測定する。
　ここで、レーザダイオード１０１からの光は投光レンズ１０１ｂを通って測定対象物１０６に投光される。この投光レンズ１０１ｂを通る投光光線を投光ビームという。
特開２００８－１４５１６０号公報
　ここで、投光モジュール１０１、ＣＣＤ１０３、および受光レンズ１０４は、シャインプルーフの条件を満たすように調整して配置されている。具体的には、ＣＣＤ１０３の受光面１０３ａは、所定の幅Ｗ２を有しており、受光面１０３ａが反射光を受光可能な範囲となる対象物の反射位置は、レーザダイオード１０１ａの光軸、すなわち投光軸Ｌ１上で、所定の幅Ｗ１を有している。そして、反射位置と、受光面１０３ａと、受光レンズ１０４の主面１０４ａとを延長した線が一点Ｄで交わるように調整して配置される。この調整により、所定の幅Ｗ１のどの位置で反射した反射光であっても、結像の際に受光面１０３ａ全体でピントが合うようになる。
　図８はシャインプルーフの条件を満たすように調整して配置されている従来の変位センサの光学系において、測定対象物の位置における投光ビーム１０８によるスポット径Ｓ１～Ｓ３と、そのスポット径Ｓ１～Ｓ３が反射して、ＣＣＤ１０３上に形成される像の大きさを示す模式図である。ここでは、測定対称物が投光レンズ１０１ｂに近い場合（図中「近」と表示）と、遠い場合（図中「遠」と表示）と、その中間位置（図中「中」と表示）とに存在する場合に分けて示している。従来においては、投光ビーム１０８の焦点を中間位置の投光レンズ１０１ｂ側に設定していたため、投光ビーム１０８は図８に示すようになる。その結果、測定対象物が投光レンズ１０１ｂに近い場合が最もスポット径Ｓ１が大きく、次いで遠い場合のスポット径Ｓ３が近い場合より若干小さく、中間位置にあるときはスポット径Ｓ２が最も小さい。これらのスポット径Ｓ１～Ｓ３を、受光レンズ１０４を通してＣＣＤ１０３上に結像すると、測定対称物が光源に近い場合は像の幅が最も大きく、遠い場合は２番目に大きく、中間の位置にあるときは小さい。これは、像のサイズがスポット径×倍率で決定されるためである。ここで、倍率とは、図７および図８に示した光学系において、ＣＣＤ１０３に形成される像のサイズの測定対象物のスポット径Ｓ１～Ｓ３に対する比で定まる光学倍率である。
　たとえば、近い場合のスポット径Ｓ１を２とすると、中間ではＳ２が１、遠い場合はＳ３が２．０となる。一方、光学倍率は、たとえば、近い場合は約０．３倍、中間では０．２５倍、遠い場合は０．２倍となる。これらの値から、像のサイズは、近い場合は０．６、中間では０．２５、遠い場合は０．４となるためである。この状態を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　なお、ここでは光学倍率として、近い場合は約０．３倍、中間では０．２５倍、遠い場合は０．２倍と表示したが、このようなシャインプルーフ光学系では基本的にこのような比で表される。
　光学式変位センサにおいて、測定位置を正確に検出するには、ＣＣＤ１０３を構成する複数のフォトダイオードの上にまたがって像が形成されるほうが検出しやすい。
　したがって、像のフォトダイオード上のサイズ（幅）が小さいと実際に像が存在するのか否かがはっきりしなくなる。すなわち、従来の投光ビームの調整方法では測定位置によってスポット径が異なるため、ＣＣＤ上における像のサイズがばらつく。その結果、測定精度がばらつくという問題があった。
　この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、シャインプルーフ光学系を用いた光学式変位センサにおいて、測定精度が安定した投光ビームの調整方法を提供することを目的とする。
　本発明の第１の観点に係る投光ビームの調整方法は、測定対象物に対して投光する投光レンズを有する光学式変位センサの投光ビームの調整方法に関する。光学式変位センサは、測定対象物で反射した反射光を受光する受光部と、対象物と受光部との間に位置して、反射光を受光面に結像する受光レンズとを備える。投光レンズと受光部と受光レンズとはシャインプルーフの条件満たすように配置される。投光ビームの調整方法は受光部における反射光によって形成される像のサイズが、投光レンズと測定対象物との距離によらず一定になるように、投光レンズから照射される光の焦点位置を調整する。
　好ましくは、投光ビームはレーザ光である。
　なお、像のサイズは投光ビームによって形成される測定対象物のスポット径と、受光部に形成される像のサイズの測定対象物のスポット径に対する比で定まる光学倍率との積によって決まる。
　受光部における像のサイズが、光源と測定対象物との距離によらず一定になるように光源から照射される光の焦点位置を調整するステップは、受光部における像のサイズが、受光部を構成する複数のフォトダイオードのうち、少なくとも３個以上のフォトダイオードの上に像を形成するよう調整するステップを含むのが好ましい。
　本発明の第２の観点に係る投光ビームの調整方法は、測定対象物に対して投光する投光レンズを有する光学式変位センサの投光ビームの調整方法に関する。光学式変位センサは、測定対象物で反射した反射光を受光する受光部と、対象物と受光部との間に位置して、反射光を前記受光面に結像する受光レンズとを備え、投光レンズと受光部と前記受光レンズとはシャインプルーフの条件満たすように配置される。受光部における反射光によって形成される像のサイズが、投光レンズと測定対象物との距離によらず受光部における像のサイズが、受光部を構成する複数のフォトダイオードの上に像を形成するように投光レンズから照射される光の焦点位置を調整する。
　この発明に係る投光ビームの調整方法は、測定対象物からの反射光による受光部における像のサイズが、投光レンズと測定対象物との距離によらず一定になるように投光レンズから照射される光の焦点位置を調整する。
　その結果、測定精度が安定した投光ビームの調整方法を提供できる。
光学式変位センサの外観を示す斜視図である。 図１に示す光学式変位センサの蓋を取り外し、矢印ＩＩの方向から見た場合の平面図である。 投光レンズを示す斜視図である。 受光レンズを示す斜視図である。 光学式変位センサを示す模式図である。 この実施の形態における測定位置ごとのスポット径の大きさと受光部における像のサイズとの関係を示す図である。 特許文献１に開示の従来の光学式変位センサを示す図である。 従来のシャインプルーフを満たす変位センサの光学系において、測定対象物の位置におけるスポット径と像の状態とを示す図である。
　以下、図面を参照して、この発明の一実施形態に係る光学式変位センサの調整方法について説明する。図１は、光学式変位センサ１０の外観を示す斜視図である。図２は、図１に示す光学式変位センサ１０の蓋３３を取り外し、矢印ＩＩの方向から見た場合の平面図である。なお、図２においては、光学式変位センサ１０の平面図に加え、測定対象物１６も図示している。図１および図２を参照して、光学式変位センサ１０は、測定対象物１６の変位を測定する。光学式変位センサ１０は、略直方体形状の筐体３０の内部に、測定対象物１６に対して所望のビーム形状の光を照射する投光モジュール９と、投光モジュール９からの光による測定対象物１６からの反射光を受光する受光素子１３と、測定対象物１６と受光素子１３との間に位置する受光レンズ１４とを備える。投光モジュール９は、光を照射する光源１１と、測定対象物１６と光源１１との間に位置する投光レンズ１２とを含む構成である。投光モジュール９、受光素子１３、および受光レンズ１４は、所定の光学系を構成する。なお、図２中の三点鎖線で、投光モジュール９による照射される光線であり、投光モジュール９の光軸、すなわち投光軸Ｌ１と、測定対象物１６からの反射光を受光する受光レンズ１４の光軸、すなわち受光軸Ｌ２とを示している。
　筐体３０は、底部に配置され、光学式変位センサ１０の光学系を構成する部材が固定される底面３１と、開口部３２ａ，３２ｂを有し、底面３１の周縁を取り囲むように配置される側壁３２と、底面３１に対向して配置される蓋３３とを含む。底面３１は、平面状であって、その上に光源１１等が固定される。側壁３２は、図示はしないが、ケーブル等を接続可能な接続部を有する構成である。そして、開口部３２ａは、受光レンズ１４に対向するように設けられており、開口部３２ｂは、投光レンズ１２に対向するように設けられている。
　図３は、投光レンズ１２を示す斜視図である。図４は、受光レンズ１４を示す斜視図である。図１～図４を参照して、光源１１は、レーザダイオードであって、測定対象物１６に対してレーザビームを照射する。投光レンズ１２は、レンズを収容するレンズホルダーを含み、光源１１から照射された光を集光し、光源１１からの光を所定の形状に調整する。受光素子１３は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）センサであって、受光面に測定対象物１６からの反射光を受光する。受光面は、複数の受光素子がライン状に配置されている。受光レンズ１４は、例えば、反射光の入射する表面が非球面形状の単レンズであって、レンズホルダー１５に収容されており、測定対象物１６からの反射光を集光して受光面に結像する。受光レンズ１４は、受光軸Ｌ２が受光レンズ１４の中心を通るようにして配置されており、受光レンズ１４の主面が、受光軸Ｌ２に直交するようにして配置されている。
　また、レンズホルダー１５は、例えば、受光レンズ１４の周縁の４箇所を掛止するようにして受光レンズ１４を収容しており、底面３１と接する面は、平面状であり、矢印ＩＩの方向から見た場合の形状が、略四角形状である。また、レンズホルダー１５の周囲には、ピン１５ａ～１５ｄが４箇所底面３１に固定されている。この４個のピン１５ａ～１５ｄは、レンズホルダー１５の略四角形状の各頂点に対応するようにして配置されており、レンズホルダー１５を移動させる際の位置決め部材となる。
　光学式変位センサ１０は、投光モジュール９の光源１１からレーザビームを照射すると、照射した光が側壁３２の開口部３２ｂを介して測定対象物１６に到達し、測定対象物１６で反射する。そして、測定対象物１６からの反射光が側壁３２の開口部３２ａを介して受光レンズ１４に入射し、受光レンズ１４が反射光を受光面に結像する。そして、結像の際の受光した像の位置を検出する。これにより、光学式変位センサ１０は、測定対象物１６の投光軸Ｌ１方向の変位を測定する。
　ここで、光学式変位センサ１０は、投光レンズ１２、受光素子１３、および受光レンズ１４をシャインプルーフの条件を満たすように調整して配置される。図５は、光学式変位センサ１０を示す模式図である。図５を参照して、具体的には、光学式変位センサ１０は、測定対象物１６の変位を測定可能な所定の測定範囲Ｗ１を有している。この所定の測定範囲Ｗ１は、測定対象物１６における光の反射位置１６ａを示すものであり、投光軸Ｌ１上の光源１１に近い第一の位置ＰＮ１から、光源１１から離れた第二の位置ＰＦ１までの範囲である。すなわち、測定対象物１６における光の反射位置１６ａは、投光軸Ｌ１上の所定の測定範囲Ｗ１の幅を有する。なお、図５中の点線で、第一の位置ＰＮ１の測定対象物１６´、および第二の位置ＰＦ１の測定対象物１６´´を示し、所定の測定範囲Ｗ１である光の反射位置１６ａを太線で示している。そして、所定の測定範囲Ｗ１は、例えば２０～３０ｍｍである。受光素子１３の受光面１３ａは、所定の測定範囲Ｗ１に対応して、光源１１に近い位置ＰＮ２から光源１１から離れた位置ＰＦ２までの所定の幅Ｗ２を有する。
　そして、光学式変位センサ１０は、所定の光学系がシャインプルーフの条件を満たすように、すなわち、測定対象物１６における反射位置１６ａ（投光軸Ｌ１）と、受光レンズ１４の主面１４ａと、受光素子１３の受光面１３ａとを延長した線が一点Ｓ１で交わるように、調整して配置される。これにより、光学式変位センサ１０は、測定範囲Ｗ１のどの位置で反射した反射光であっても、結像の際に受光面１３ａでピントが合うようになる。そして、光学式変位センサ１０は、測定範囲Ｗ１における測定対象物１６の変位を測定する。
　次に、この実施の形態における投光レンズ１２による投光ビーム１８の調整方法を説明する。図６はこの実施の形態において、投光ビーム１８を調整した場合のスポット径Ｓ１～Ｓ３と光学倍率と像サイズとの関係を示す図である。実際の、投光ビーム１８による測定対象物１６の位置と受光部１３である、ＣＣＤ上の像との関係は図５に示すとおりであるが、ここでは、理解の容易のために、従来例において図８で示したように簡素化している。
　図６を参照して、この実施の形態においては、従来の図８と同様に、光学式変位センサ１０は、投光レンズ１２、受光部１３、および受光レンズ１４は、シャインプルーフの条件を満たすように調整して配置されている。
　この実施の形態においては、受光部１３上の像を確実に検出するために、受光部１３上において形成される像は、受光部１３を構成する複数のフォトダイオード上に像を形成するとともに、像の幅サイズが同一（ここでは１）となるように調整する。ここでは、たとえば、３個分以上のフォトダイオード上に形成するように調整する。この調整状態を表２に示す。
　上記したように、像サイズはスポット径×倍率で表される。この構成のシャインプルーフ配置においては、近い位置、中間位置、および、遠い位置における倍率は表２の倍率欄に示すように、たとえば、０．３、０．２５、および、０．２である。この条件を満たすスポット径Ｓ１～Ｓ３は、それぞれ、同一サイズ／倍率、すなわち、１／０．３、１／０．２５、１／０．２から計算可能であり、それぞれ、３.３、４．０、５．０となる。すなわち、図１においてＳ１～Ｓ３に示すように、近い側から遠い側に向けて順にスポット径が大きくなるように、投光ビームの光学系を調整すればよい。この例では、１：１．２：１．５の比になるように調整されている。
　このようなスポット径を得るためには、投光レンズ１２から照射された投光ビーム１８の焦点位置を「近い」側の位置の少し「遠い」側となるように調整すればよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　なお、上記実施の形態においては、焦点位置は、像のサイズが一定で、且つ、受光部１３上に形成される像が受光部１３を構成するＣＣＤの３個のフォトダイオードの上に像を形成する場合を例にあげて説明したが、これに限ることはない。
　この理由は、投光レンズと測定対象物との距離によらず一定の像サイズになるまで焦点位置を調整する、すなわち、投光ビームのビームサイズの比率にあったビームを形成すると、ビーム径が大きくなりすぎたり、パワーが低くなる等の他の性能が低下する可能性があるためである。したがって、受光部１３を構成するＣＣＤの複数のフォトダイオード上に像を形成するだけでも十分所望の測定結果を得ることができる。
　また、ここでは、複数のフォトダイオードとして、たとえば３個の場合を例にあげて説明したが、安定した計測精度を実現するためには５個以上が望ましい。
　また、上記実施の形態においては、像のサイズが「スポット径×倍率」で表され、このサイズが一定になるように調整する場合について説明したが、これは、光学系の収差が発生しない理想光学系を考慮したためである。実際には投光レンズには収差が発生するため、像のサイズは、「スポット径×倍率＋光学系の収差」となる。したがって、この収差を考慮した像のサイズを用いるのがさらに好ましい。
　なお、上記実施の形態においては、投光ビームはレーザ光である場合について説明したが、これに限らず、ＬＥＤ照明等であってもよい。
　また、上記実施の形態は、「近い」位置、「中間」位置、および、「遠い」位置における光学倍率が特定の値の場合について説明したが、この値はシャインプルーフを満たす光学系によって変化する。
　また、上記実施の形態においては、受光部における像のサイズをほぼ同一に調整する方法について詳細に述べていないが、「近い」位置、「中央」位置、および「遠い」位置をあらかじめ規定し、これらの位置における像を形成して、一定の像のサイズを決めておき、このサイズ、または、このサイズより大きくなるように、焦点位置を自動的に調整するようにしてもよい。
　また、上記の実施の形態においては、受光部は、ＣＣＤセンサである例について説明したが、これに限ることなく、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ　Ｍｅｔａｌ　Ｏｘｉｄｅ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）センサであってもよい。
　以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明したが、この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示された実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。
　この発明は、光学式変位センサを調整する際に、有利に利用される。
　９　投光モジュール
１０　光学式変位センサ
１１　光源
１２　投光レンズ
１３　受光部
１４　受光レンズ
１６　測定対象物
１８　投光ビーム

Claims (5)

  1. 　測定対象物に対して投光する投光レンズを有する光学式変位センサの投光ビームの調整方法であって、
    　前記光学式変位センサは、前記測定対象物で反射した反射光を受光する受光部と、前記対象物と前記受光部との間に位置して、前記反射光を前記受光面に結像する受光レンズとを備え、
    　前記投光レンズと前記受光部と前記受光レンズとはシャインプルーフの条件を満たすように配置され、
    　前記受光部における前記反射光によって形成される像のサイズが、前記投光レンズと前記測定対象物との距離によらず一定になるように前記投光レンズから照射される光の焦点位置を調整する、
    投光ビームの調整方法。
  2. 　前記投光ビームはレーザ光である、
    請求項１に記載の投光ビームの調整方法。
  3. 　前記像のサイズは前記投光ビームによって形成される前記測定対象物のスポット径と、前記受光部に形成される像のサイズの前記測定対象物のスポット径に対する比で定まる光学倍率との積によって決まる、
    請求項１または２に記載の投光ビームの調整方法。
  4. 　前記受光部における像のサイズが、光源と測定対象物との距離によらず一定になるように光源から照射される光の焦点位置を調整するステップは、受光部における像のサイズが、受光部を構成する複数のフォトダイオードのうち、少なくとも３個以上のフォトダイオードの上に像を形成するよう調整するステップを含む、
    請求項１～３のいずれかに記載の投光ビームの調整方法。
  5. 　測定対象物に対して投光する投光レンズを有する光学式変位センサの投光ビームの調整方法であって、
    　前記光学式変位センサは、前記測定対象物で反射した反射光を受光する受光部と、前記対象物と前記受光部との間に位置して、前記反射光を前記受光面に結像する受光レンズとを備え、
    　前記投光レンズと前記受光部と前記受光レンズとはシャインプルーフの条件満たすように配置され、
    　前記受光部における前記反射光によって形成される像のサイズが、前記投光レンズと前記測定対象物との距離によらず受光部における像のサイズが、受光部を構成する複数のフォトダイオードの上に像を形成するように前記投光レンズから照射される光の焦点位置を調整する、
    投光ビームの調整方法。
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